Home

advarsel! - Agilent Technologies

1. TH Texvirean mv TOV Oke THY TNA AVTO 80 Nm 80 Nm ES va NA ATOM NA H TIN TOAPTA 2 bar anog 33 US TO ETLATE O TOV
2. 10010v EVTVATOV TIN ANOA TOUR Hoven Xwvevon tou logo WEEE E K WEEE
3. Bagon TM Turbo V6000 EAVAV TOV Varian 969 9491 969 9591 ELQVOL MQA oxnaua ori H Begon HE LIMA 10 H OKOVATLOHEGYN TIN NA TNI ZTEPEW OTE Begon EVOAVOVTA pga OTOBEPNA
4. ELAVOL emanedo MIN a THY TNA TIN ES ATOPEVAYOVTOL NQ TNA ELAVOLL KINAYNOZ AQVTANON TO IKOUV ng podtevepywav TIN OL m Turbo V6000 To UNOAVETN na OKOVAPO
5. EKTEDELUEAVOUV XLOQVL OKOQLVE NA TNI ot 2 bar anoa 5 C 35 C O 95 87 900 838 01 D AN KINAYNOZ TPAVHATIOHOVA NA OLOVO TIM TNI dVXTLOLA zavan katag na
6. US anopvayete anog YUuvooa TUNOHOTA TPOQKELIOL NA AAN H dev annan San OQUO K EIOTIJA TH OTIJUNA EXTOL WAOTE 1 anoa OKOQVI KINAYNOZ H TOV m TPEQTEL pETOKLAVNON 1 EEKOAANQOTE TO TO OTLYLNA THY TH H
7. N 87 900 838 01 D HASZN LATI UTAS T S Biztons gi tmutat Turbomolekularis szivattyukhoz A turb molekul ris szivatty k ahogy a k vetkez g pk nyvben le van irva nagy mozgasi energi val rendelkeznek a nagy forg si sebess g k s a rotorok fajlagos tomege miatt A rendszer hib s m kod se p ld ul a rotor ll r sz rintkez si hib ja vagy ak r a forg r sz sz tt r se eset n a forg si energia felszabadulhat A BETSTVIN A berendez s k rosod s nak s a kezel szem lyzet s r l s nek megel z s re az ebben a g pkonyvben adott telepit si utasitasokat szigor an be kell tartani 34 87 900 838 01 D LTAL NOS INFORM CI A berendez st professzion lis felhaszn l k sz m ra tervezt k A felhaszn l nak a berendez s m k dtet se el tt el kell olvasnia ezt a g pk nyvet s a Varian ltal biztos tott b rmely inform ci t A Varian nem vonhat felel ss gre olyan esem nyek rt amelyek az ezen utas t soknak val ak r r szbeni meg nem felel s szakk pzetlen szem lyek ltali nem megfelel haszn lat a berendez sbe val jogosulatlan beavatkoz s vagy a konkr t nemzeti szabv nyokkal ellent tes b rmely m velet miatt t rt ntek A Turbo V 6000 sorozat szivatty k turb molekul ris szivatty k magas s ultramagas v kuumalkalmaz sokhoz s b rmilyen t pus g zt vagy g zeleg
8. 31 87 900 838 01 D Avtna O TL TOV TOPOQVTO AAN TOV Saver Varian anog m HVarian okn na NA dev T Or Turbo V6000 erva VYNAOVA Tovg VYM OVA KEVOVA aveg copo na VYPOAV NA H
9. 10 1 o HE TIA H LIMA Av wvnoqpxovv im OVUBOVAEVTELATE TO TUNQUA TOV AVOLAYHATON TNT SMAGTE EQTOL W OTE To VALIKON m 85 399
10. avna 20000 Nm yvapo anog aotEovaa TM H ISO KEVOUX HEXGM NA HOVOOV pegyyevov H TO VOVEJIEPO KOL AANTZA ISO 500 12 M16 Movna 12 M16 TOV TIN TV M12 TOV Avrea oneaf KVAKAO pe 550 mm 21 8 H TO G TO TO
11. BENTE Texvikean KINAYNOZ enequ oon TO KOLQLVTE TOV KOL HEAXPL THT T ELAVAL KOTWQLTEPN arog 50 C Varian na oto Varian advanced exchange service CON AVEL NA advanced exchange service EIAVAL OVUTATPOXOETE I Ppapeiao HoAnaoeov TO
12. TOVPUTLAVON 14 000 max KIVELATAI EVO vyninoni Turbo V6000 PUTOVTIKOVA EVAL EVO KEVOQL un enogpeve EYYVOVAVTOL TOV KATA TN TNA OTEXVIKEAN AVTOM TO TIN KINAYNOE KLVOVAVOV EAKVQOLV TOV uga NA mga
13. France and Benelux Varian s a 7 Avenue des Tropigues Z A de Courtaboeuf B P 12 Les Ulis cedex Orsay 91941 France Tel 33 1 69 86 38 84 Fax 33 1 69 86 29 88 From Benelux Tel 31 118 67 15 70 From Benelux Fax 31 118 67 15 69 Canada Central coordination through Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 USA Tel 781 861 7200 Fax 781 860 5437 Toll Free 1 800 882 7426 China Varian Technologies Beijing Rm 1648 Central Tower South Wing Beijing Junefield Plaza No 10 XuanWuMenWai Street Beijing 100052 P R China Tel 86 10 63108550 Fax 86 10 63100141 Toll Free 800 820 6556 Germany and Austria Varian Deutschland GmbH Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel 49 6151 703 353 Fax 49 6151 703 302 India Varian India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 28521171 Fax 91 11 28521173 Italy Varian Inc Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 10040 Leini Torino Italy Tel 39 011 997 9 111 Fax 39 011 997 9 350 03 06 Sales and Service Offices Japan Varian Vacuum Technologies Sumitomo Shibaura Building 8th Floor 4 16 36 Shibaura Minato ku Tokyo 108 Japan Tel 81 3 5232 1253 Fax 81 3 5232 1263 Toll Free 0120 655 040 Korea Varian Technologies Korea Ltd Shinsa 2nd Bldg 2F 966 5 Dae
14. Aby unikn uszkodzenia pompy podczas dzia ania pompy poziom oleju smarowania nie mo e obni y si poni ej minimalnego poziomu oznaczonego jako MIN IS UWAGA Unika uderze lub gwa townych przesuni turbopompy podczas jej dzia ania Mog uszkodzi si o yska AN NIEBEZPIECZENSTWO Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gaz w toksycznych atwo palnych lub radioaktywnych nale y wykona odpowiednie procedury typowe dla ka dego z gaz w Nie stosowa pompy w obecno ci gaz w wybuchowych KONSERWACJA Pompy serii Turbo V6000 nie wymagaj adnej konserwacji Jakakolwiek interwencja musi by wykonana przez upowa niony personel Olej smarowania musi by wymieniany co sze miesi cy lub kiedy stanie si matowy lub ciemnego koloru Dla danej procedury nale y zapozna si z dodatkiem Informacje Techniczne A NIEBEZPIECZE STWO Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na turbopompie nale y odtaczy konektor zasilania otworzy odpowiedni zaw r dla wlotu powietrza odczeka az do catkowitego zatrzymania wirnika i odczeka az temperatura powierzchni pompy b dzie wynosi a poni ej 50 C W przypadku usterki mo liwe jest skorzystanie z serwisu naprawczego Varian lub Varian advanced exchange service kt ry pozwoli na uzyskanie zregenerowanej pompy w zast pstwie tej uszkodzonej INFORMACJA Przed wysy k do konstruktora pompy do naprawy lub advanced exchange se
15. n Ennen laitteen k ytt nottoa tulee k ytt j n lukea huolellisesti mukana seuraava k yttoohje sek kaikki muu Varianin toimittama lisatieto Varian ei ota vastuuta seurauksista jotka johtuvat laitteen k ytt ohjeiden t ydest tai osittaisesta laiminly nnist ammattitaidottoman henkil n virheellisest laitteen k yt st valtuuttamattomista toimenpiteist tai kansallisen lains d nn n vastaisesta k yt st Turbo V6000 sarjan pumput ovat turbomolekyylipumppuja jotka on tarkoitettu korkean ja ultrakorkean tyhji n muodostamiseen Ne soveltuvat kaikentyyppisien kaasujen tai kaasuseosten pumppaamiseen Ne eiv t sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaukseen Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella 14000 kierrosta min max py riv n turbiinin avulla jonka korkeatehoinen kolmivaiheinen s hk moottori k ynnist Turbo V6000 sarjan pumpuissa ei ole lainkaan likaavia aineita joten ne soveltuvat my s puhdasta tyhji t vaativiin k ytt tarpeisiin Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto laitteen k ytt j n turvallisuuden takaamiseksi laitteen k yt n aikana Yksityiskohtaista tietoa saa osasta Technical Information T m k sikirja k ytt seuraavanlaisia merkint j VAARA Vaara merkit saavat k ytt j n kiinnitt m n huomion erityiseen k ytt tai toimintatapaan joiden v r nlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkil vaurioihin
16. ES OL Tpocoxna anog Th OTOLAETN EKTE EOTOVAV OVOKEVNU TEPLEAYOVV ANOA KELAJLEVO e TOV 20 C 70 C O 95 e o o
17. ES Huomio Huomio merkit ovat n ht viss ennen toimintatapoja joiden laiminly nti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen HUOMAUTUKSET Huomautuksissa k yv t ilmi tekstiss k sitellyt t rke t tiedot VARASTOINTI Noudata seuraavia ohjeita jotta Varian turbomolekyylinen pumppu toimisi eritt in tehokkaasti ja luotettavasti e Kun pumppua kuljetetaan siirret n ja varastoidaan seuraavia ymp r ivi olosuhteita ei tule ylitt e l mp tila 20 C 70 C e suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v e Asiakkaan tulee aina k ynnist turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan pumpun ja k ytt ess n sit ensimm isen kerran e Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimitusp iv st IS Huomio Jos varastointiaika on jostain syyst pidempi pumppu tulee palauttaa tehtaalle Pyyd lis tietoja paikalliselta Varian edustajalta K YTT OHJEET IS Huomio Jotta kaasun poistumisongelmilta v ltytt isiin ei tyhji n tarkoi tettuihin osiin tule koskea paljain k sin Hanskojen tai muun sopivan suojan k ytt on tarpeellinen VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN Pumpun toimitus tapahtuu erityisess suojaavassa pakkauksessa mik li havaittavissa on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun putoamista tai siihen kohdistuvia is
18. NOTICE This document contains references to Varian Please note that Varian Inc is now part of Agilent Technologies For more information go to www agilent com chem SHE Agilent Technologies I MANUALE DI ISTRUZIONI D BEDIENUNGSHANDBUCH F NOTICE DE MODE D EMPLOI E MANUAL DE INSTRUCCIONES P MANUAL DE INSTRUCOES NL BEDRIJFSHANDLEIDING Tu r b V 6000 DK INSTRUKSTIONSBOG S BRUKSANVISNING Model 969 9081 N INSTRUKSJON MANUAL Model 969 9082 FIN OHJEK SIKIRJA GR OAHTIES XPHZEQZ H FELHASZN L I K ZIK NYV PL PODRECZNIK INSTRUKCJI CZ N VOD K POU IT SK N VOD NA OBSLUHU SLO PRIRO NIK ZA NAVODILA GB INSTRUCTION MANUAL 87 900 838 01 D JULY 2006 Turbo V 6000 a VARIAN gt lt vacuum technologies Dear Customer Thank you for purchasing a VARIAN vacuum product At VARIAN Vacuum Technologies we make every effort to ensure that you will be satisfied with the product and or service you have purchased As part of our Continuous Improvement effort we ask that you report to us any problem you may have had with the purchase or operation of our product On the back side you find a Corrective Action Request form that you may fill out in the first part and return to us This form is intended to supplement normal lines of communications and to resolve problems that existing systems are not addressing in an adequate or timely manner Upon receipt of your Correctiv
19. Voitelu ljy tulee vaihtaa joka kuuden kuukauden v lein tai aina silloin kun se muuttuu sameaksi tai tummaksi Kappaleesta Technical Information saatte ohjeet t m n toimenpiteen suorittamiseen ZN VAARA Ennen mink n tyyppist toimenpidett ottakaa pois p lt verkkovirta p st k pumppuun ilmaa avaten siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin t ydellist pys htymist ja ett pumpun pintal mp on alle 50 Laitteen vahingoittuessa on mahdollista k ytt Varianin korjauspalvelua tai Varian advanced exchange service joka mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen tilalle HUOMAUTUS Ennen pumpun l hett mist valmistajalle korjausta tai advanced exchange service varten on ehdottomasti t ytett v ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon Turvallisuus ja Terveys kaavake joka l ytyy liitteen ohjekirjan mukana Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liitt pumpun pakkaukseen ennen sen l hett mist Mik li pumppu t ytyy romuttaa toimikaa kansallisen lains d nn n m r m ll tavalla H VITT MINEN Pakkausmerkinn iss olevan WEEE logon merkitys Alla n kyv merkki on lis tty pakkaukseen EY n ns WEEE direktiivin mukaisesti Merkki koskee ainoastaan Euroopan Unionin j senmaita tarkoittaa ett tuotetta EI saa h vitt tavallisen kotitalous tai teollisuusj tteen mukana vaan se on toimitettava erilliseen ker yspistees
20. brancher le connecteur refouler l air de la pompe en ouvrant la soupape pr vue cet effet et attendre jusqu l arr t complet du rotor et jusqu ce que la temp rature superficielle de la pompe soit inf rieure 50 C En cas de panne il est possible de s adresser au service r pa rations Varian ou bien au Varian advanced exchange service qui permet d obtenir une pompe r g n r e a la place de la pompe endommag e NOTE Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des r para tions ou un advanced exchange service remplir et faire par venir au bureau local Varian la fiche S curit et Sant an nex e a la pr sente notice d instructions Une copie de cette fiche devra tre mise dans l emballage de la pompe avant l ex p dition En cas de mise au rebut de la pompe proc der son limination conform ment aux r glementations nationales en la mati re MISE AU REBUT Signification du logo WEEE figurant sur les tiquettes Le symbole ci dessous est appliqu conform ment a la direc tive CE nomm e WEEE Ce symbole uniquement valide pour les pays de la Com munaut europ enne indique que le produit sur lequel il est appliqu NE doit PAS tre mis au rebut avec les ordures m nag res ou les d chets industriels ordinaires mais passer par un syst me de collecte s lective Apr s avoir v rifi les termes et conditions du contrat de vente l utilisateur final est donc pri de contac
21. akajte da se rotor ustavi an po akajte da povr inska temperatura rpalke pade pod 50 C V primeru okvare kontaktirajte lokalni Varian servisni center ki vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim OPOMBA Preden odnesete sistem na popravilo ali zamenjavo z drugo enoto morate izpolniti Health and Safety obrazec ki je prilo en navodilom in ga poslate lokalni prodajni pisarni Pred po iljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v embala o sistema Sistem je treba uni iti v skladu z dolo enimi nacionalnimi standardi ODLAGANJE OPADKOV Pomen znamke WEEE na etiketah Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom WEEE Ta simbol ki velja samo v dr avah Evropske Skupnosti pomeni da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki temve morate poskrbeti za njihovo primerno lo evanje Zato pozivamo uporabnike da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku lo evanja in odstranitve odpadkov ele nato ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe 87 900 838 01 D INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors In case of a malfunction of the system for example rotor stator cont
22. tar vid uppackningen Kasta inte packmaterialet i soporna Materialet ar atervinningsbart till 100 och uppfyller EU direktiv 85 399 om milj skydd IS VIKTIGT Komponenter som skall uts ttas f r vakuum f r inte hanteras med bara hander p g a kontamineringsrisken Anv nd alltid handskar eller liknande skydd BRUKSANVISNING OBSERVERA Normal paverkan fran omgivningen kan inte skada pumpen Trots det ar det s krast att halla den st ngd tills den har installerats i systemet f r att f rhindra att det kommer in damm eller annat i den INSTALLATION A VARNING Med tanke p pumpens vikt f r den endast hanteras med hj lp av d rtill avsedda lyft och flyttningsanordningar IS VIKTIGT Ta inte bort tejpen och skyddsk pan innan turbopumpen har anslutits till systemet Installera inte pumpen i milj6er som uts tts for p verkan fran atmosf ren regn sn is damm aggressiva gaser och inte heller i explosiv eller brandfarlig milj F ljande krav p omgivningsf rhallanden g ller vid drift maximitryck 2 bar ver atmosf riskt tryck temperatur fran 5 C till 35 C relativ luftfuktighet 0 95 utan kondens 87 900 838 01 D For att undvika personskador far du aldrig sticka in fingrarna eller andra f rem l i turbopumpens intags ppningar Vi rekommenderar anvandning av skyddsn tet tillval Om en vibrationsd mpare eller en flexibel metallb lg anv nds f r int
23. va mus chr nit feromagnetick m st n n m Viz podrobn informace v p loze Technick informace 87 900 838 01 D Aby nedoch zelo k raz m nestrkejte nikdy prsty nebo jak koli p edm ty do p vodn ho otvoru turbov v vy D razn doporu ujeme ochrann s to dopln k zvl Pokud se na p vodn m otvoru pou ije tlumi vibrac nebo pru n kovov skl dac man ety zajist te p i roubov n v v vy k z kladn V v vy ady Turbo V 6000 se mus pou vat jenom s jedn m ze speci ln ch regul tor firmy Varian ady 969 9491 969 9591 a mus b t p ipojeny k prim rn mu erpadlu viz Technick informace Turbovyv va se mus instalovat vertik ln s maxim ln m sklonem 10 V v va m e sed t na sv m nosn m podstavci nebo m e viset z p ruby o vysok m vakuu V v vu upevn te v n jak stabiln poloze a p vodn p rubu turbov v vy p ipojte k pevn protip rub kter snese torzn moment 20000 Nm kolem sv osy Turbomolekul rn v v va se vstupn p rubou ISO se mus p ipevnit k vakuov komo e pou it m p slu n ch spon a p chytek N sleduj c tabulka uv d nezbytn po et spon nebo p chytek a p slu n utahovac moment UTAHOVAC MOMENT UPEV OVAC PO ET ZA ZEN P RUBA ISO 500 spony M16 p chytky M16 Pokud v v va stoj na sv ch podp r ch p ipevn te je k pracovn mu stolu
24. vagy fel lehet f ggeszteni a magas v kuum karim t l R gz tse a turb szivatty t stabil helyzetben a turb szivatty bemeneti karim j t egy r gz tett ellenkarim ra csatlakoztatva amely k pes ellen llni 20000 Nm tengely k r li nyomat knak Az ISO bemeneti karim s turb szivatty t kapcsokkal vagy peckekkel kell r gz teni a v kuumkamr hoz A k vetkez t bl zat a kapcsok s peckek sz ks ges sz m t s a hozz tartoz r gz t nyomat kot mutatja R GZ T R GZ T ESZK Z NYOMAT K M16 kapcsok M16 peckek Ha a szivatty a l bain ll a l bakban l v M12 es menetes lyukakkal er s tse azokat a munkapadhoz ahol a gumil bak fel vannak ll tva Ezek a lyukak 550 mm 21 6 h velyk tm r n vannak Opcion lis tartoz kok telep t s hez v lassza a inform ci t HASZN LAT A turb szivatty helyes haszn lat hoz az sszes utas t s benne van a vez rl egys g k zik nyv ben Gondosan olvassa el a k zik nyvet a szivatty haszn lata el tt ISO 500 M szaki US FIGYELEM Haszn ljon port l s szil rd r szekt l mentes leveg t vagy k z mb s g zt a szivatty szell ztet s hez A szell z porton l v nyom snak 2 barn l kisebbnek kell lennie a l gk ri nyom s f l tt US FIGYELEM A szivatty s r l s nek elker l s re az olajszint soha nem cs kkenhet a MIN szint al a szivatty m k d se k zben 36 HASZN LATI UTAS T S U
25. de gas o de compuesto gaseoso No son id neas para bombear l guidos o particulas s lidas El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad 14000 r p m m x movida por un motor el ctrico trif sico de alto rendimiento Las bombas Turbo V6000 no poseen ning n agente contaminante y por lo tanto son adecuadas para aplicaciones gue reguieren un vac o limpio A continuaci n se facilita toda la informaci n necesaria para garantizar la seguridad del operador al usar el aparato En el anexo Technical Information se facilita informaci n m s detallada Este manual utiliza las convenciones siguientes E Los mensajes de peligro atraen la atenci n del operador sobre un procedimiento o una ejecuci n espec fica que de no realizarse correctamente podr a provocar graves lesiones personales US ATENCI N Los mensajes de atenci n se visualizan antes de los procedimientos que de no cumplirse podr an provocar da os al aparato NOTA Las notas contienen informaci n importante extra da del texto ALMACENAMIENTO Para garantizar el nivel m ximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Varian deber n aplicarse las siguientes instrucciones e durante el transporte desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deber n superarse las siguientes condiciones ambientales e temperatura entre 20 C y 70 C e humedad relativa entre 0 y 95 no condens
26. kell selejtezni azt rtalmatlan tani kell a konkr t nemzeti szabv nyoknak megfelel en MEGSEMMIS T S A c mk n jelenl v WEEE logo jelent se Az al bb l that szimb lum az EK WEEE elnevez s ir nyelv vel sszhangban ker l alkalmaz sra Ez a szimb lum mely csak az Eur pai K z ss g orsz gaiban rv nyes azt jelzi hogy a term k melyen megtal lhat NEM ker lhet k z ns ges h ztart si vagy ipari hullad kkal egy tt megsemmis t sre hanem azt egy szelekt v hullad kgy jt rendszerbe kell tov bb tani A v gfelhaszn l nak a gy jt si s megsemmis t si elj r s beind t sa c lj b l az ad sv teli szerz d s hat rid inek s felt teleinek alapos ttanulm nyoz sa ut n fel kell vennie a kapcsolatot a berendez s sz ll t j val legyen ez a gy rt vagy egy viszontelad 87 900 838 01 D INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskaz wki dotyczace bezpiecze stwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obstugi posiadaja wysoka energie kinetyczn spowodowan bardzo wysok pr dko ci obrot w razem z mas w a ciw wirnik w W przypadku uszkodzenia systemu na przyk ad z powodu kontaktu mi dzy wirnikiem a stojanem lub z powodu p kni cia wirnika energia obrotowa mo e by zwolniona AN NIEBEZPIECZE STWO Aby unikn uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom cia a operator w nale y obowi zkow
27. ko nierzem wej ciowym ISO musi by zamocowana do komory pr niowej poprzez podw jne lub pojedyncze zaciski Niniejsza tabela opisuje ilo potrzebnych zacisk w i na jaki moment je dokr ci KO NIERZ TYP ZACISKU MOMENT DOKR CENIA ISO 500 80 Nm Podw jny zacisk 12 z gwintem M16 Pojedynczy zacisk 12 80 Nm z gwintem M16 W przypadku kiedy pompa opiera si na w asnych podporach podp rki te powinny by zamocowane do p aszczyzny oparcia stosuj c gwintowane otwory M12 znajduj ce si przy podp rkach oparcia Otwory te znajduj si na kr ku o rednicy 550 mm 21 6 cali Pompa ta jest wysy ana z olejem smarowania w oddzielnym zbiorniku dlatego te przed u yciem jej nale y wla olej do miski olejowej W celu szczeg owych informacji dotycz cych procedury wykonania tej czynno ci nale y zapozna si z dodatkiem Informacje Techniczne Aby zainstalowa opcjonalne akcesoria nale y zapozna si z Informacje Techniczne U YTKOWANIE Wszystkie instrukcje dotycz ce prawid owego dzia ania turbopompy s zawarte w instrukcji jednostki sterowania Przed zastosowaniem nale y zapozna si dok adnie z odpowiedni instrukcj 5 UWAGA Dla wlotu do powietrza pompy zastosowa powietrze lub oboj tny gaz bez py u lub innych cz stek Ci nienie wej ciowe poprzez odpowiedni wlot musi by ni sze od 2 bar ponad ci nienie atmosferyczne 39 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA US UWAGA
28. letsel bij de bedieners te voorkomen moeten de installatie instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd 16 87 900 838 01 D ALGEMENE INFORMATIE Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving De pompen van de serie Turbo V6000 zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge vacu mtoepassingen die in staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen Ze zijn niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine max 14 000 toeren min die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement De Turbo V6000 pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen en zijn dus ook geschikt voor toepassingen die een schoon vacu m verlangen In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage Technical information Deze h
29. ont une nergie cin tigue lev e due a la grande vitesse de rotation associ e a la masse sp cifigue de leurs rotors En cas de panne du syst me par exemple a cause d un contact entre rotor et stator ou d une rupture du rotor l nergie de rotation pourrait tre lib r e ZN DANGER Pour viter tout d g t aux appareillages et emp cher toute blessure aux op rateurs il faut suivre attentivement les instructions d installation d crites dans ce manuel 7 87 900 838 01 D INDICATIONS G N RALES Cet appareillage a t concu en vue d une utilisation profes sionnelle Il est conseill l utilisateur de lire attentivement cette notice d instructions ainsi que toute autre indication sup pl mentaire fournie par Varian avant d utiliser l appareil Varian d cline par cons quent toute responsabilit en cas d inobserva tion totale ou partielle des instructions donn es d utilisation incorrecte de la part d un personnel non form d op rations non autoris es ou d un emploi contraire aux r glementations nationales sp cifigues Les pompes de la s rie Turbo V6000 sont des pompes turbomol culaires concues pour des applications de vide pouss et ultrapouss particuli rement adapt es a l utilisation dans les secteurs li s a industrie des semi conducteurs et elles sont appropri es pour le pompage de n importe guel type de gaz ou de compos gazeux Elles ne sont pas indigu es pour le pompage de liguides
30. ou de particules solides L effet de pompage est obtenu grace a une turbine tournant a vitesse lev e 14000 tr mn maxi anim e par un moteur lectrique triphas a haut rendement Les pompes Turbo V6000 sont totalement exemptes d agents polluants et sont par cons quent indiqu es pour des applications exigeant un vide propre Les paragraphes suivants donnent toutes les indications n cessaires garantir la s curit de l op rateur pendant l utilisa tion de l appareillage Des renseignements plus d taill s se trouvent dans l appendice Technical Information Cette notice utilise les signes conventionnels suivants A EXT Les messages de danger attirent l attention de l op rateur sur une proc dure ou une manoeuvre sp ciale gui si elle n est pas effectu e correctement risgue de provoguer de graves l sions US ATTENTION Les messages d attention apparaissent avant certaines proc dures gui si elles ne sont pas observ es pourraient endom mager s rieusement l appareillage NOTE Les notes contiennent des renseignements importants isol s du texte STOCKAGE Pour garantir les performances et la fiabilit maximales des pompes turbomol culaires Varian il est indispensable de res pecter les instructions suivantes e Le transport la manutention et le stockage des pompes doivent imp rativement avoir lieu dans les conditions am biantes suivantes e temp rature de 20 C 70 C e
31. pou v n sleduj c standardn protokol V stra n hl en jsou ur ena pro upozorn n obsluhy na ur it postup nebo innosti kter by v p pad nedodr en mohly zp sobit v n raz IS VAROV N Varovn hl en jsou uvedena p ed postupy kter by v p pad nedodr en mohly po kodit za zen POZN MKA Pozn mky obsahuj d le it informace p evzat z textu USKLADN N Aby byla zaji t na maxim ln provozuschopnost a spolehlivost turbomolekul rn ch v v v firmy Varian mus te dodr ovat n sleduj c pokyny P i p eprav p em s ov n a skladov n vyv v byste nem li p ekra ovat n sleduj c technick podm nky prost ed e Teplotn rozp t 20 C a 70 C Rozp t vlhkosti 0 a 95 bez sr en e turbomolekul rn v v vy mus u ivatel po dod vce a poprv v dycky spou t t pozvoln skladovatelnost turbomolekularni v v vy je 10 m s c ode dne doru en ES VAROV N Pokud dojde z jak hokoli d vodu k p ekro en skladovac lh ty v v vu mus te vr tit v robci Informujte se pros m u m stn ho z stupce pro prodej a servis v v v firmy Varian P PRAVA K INSTALACI V v va se dod v ve speci ln m ochrann m obalu Pokud toto balen vykazuje zn mky po kozen kn mu mohlo doj t b hem p epravy kontaktujte va i m stn prodejn pobo ku P i vybalov
32. pumppu tulee suojata t h n tarkoitukseen olevilla suojilla Lis tietoja l ytyy Technical Information liitteest Sarjan V6000 turbomolekyylipumppuja tulee k ytt ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa sarja 969 9491 969 9591 ja niiden t ytyy olla yhdistettyin p pumppuun katso kaaviota osasta Technical Information Turbopumppu tulee asentaa pystyasentoon jolloin sen maksimikallistuskulma ei saa ylitt 10 suhteessa pystyakseliin Pumppu voidaan asettaa maahan jalkojensa varaan tai asettaa riippumaan sis ntulolaipan avulla Turbopumppu tulee kiinnitt vakaaseen asentoon liitt m ll turbopumpun sis ntulolaippa kiinte n vastalaippaan joka kannattaa 20000 Nm momenttia akselinsa ymp rill tai k ytt en tarkoitukseen sopivia lis varusteita sen kiinnitt miseen Turbopumpun ISO sis ntulolaipalla tulee kiinnitt tyhji kammariin kaksois kiinnikkeill tai yksinkertaisilla kiinnikkeill Seuraava taulukko kuvaa kaikki laippakoot ja kiinnikemallit kiinnikkeiden tarpeellisen m r n ja kiristysmomentti LAIPPA MAA KIRISTYS R MOMENTTI ISO 500 Kaksoiskiinnike kierteitys M16 Yksinkertainen kiinnike 12 80 Nm kierteitys M16 Mik li pumppu asetetaan jalkojensa varaan ne tulee kiinnitt laitteen perustan kierteill varustettuihin reikiin M12 jotka on sijoitettu tukijalasten mukaisesti Rei t on asetettu ympyr n muotoon jonka l pimitta on 550 mm 21 6 tuumaa Pump
33. rpalka za visoko in ultravisoko vakuumsko uporabo in lahko rpa poljubne tipe plinov ali plinskih zmesi rpalke niso primerne za rpanje teko in ali trdnih delcev rpanje se izvaja preko hitre turbine maks 14000 rpm ki jo vodi visoko u inkovit 3 fazni elektri ni motor Turbo V 6000 ne vsebuje onesna evalnih agentov in je primeren za isto vakuumiranje Naslednji odstavki vsebujejo informacije ki so potrebne za varnost tistega ki uporablja to opremo Podrobne informacije lahko najdete v prilogi Tehni ne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu AN OPOZORILO Opozorila so za to da pritegnejo pozornost uporabnika na dolo amp ene postopke pri katerih lahko pride do resnih po kodb e se jih ne dr i IS POZOR Sporo ila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do po kodbe opreme OPOMBA Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila SHRANJEVANJE Da bi zagotovili maksimalni u inek in zanesljivost rpalk Varian Turbomolecular se morate dr ati naslednjih vodil Pri po iljanju premikanju in shranjevanju rpalk ne smete prese i naslednjih specifikacij e temperaturno obmo je 20 C do 70 C obmo je relativne vla nosti O do 95 brez kondenza e Turbomolekularne rpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko e ivljenjska doba turbomolekularne rpalke je 10 mesecev od datum po iljanja IS POZOR e zaradi kakr nega ko
34. ruby turbov vevy k pevnej pr rube upevnenej tak aby vydr ala nam hanie kr tiacim momentom 20 000 Nm okolo svojej osi Turbov veva so vstupnou pr rubou ISO mus by pripojen k v kuovej komore pomocou svoriek alebo kle t n Nasleduj ca tabu ka uv dza potrebn po et svoriek a kle t n a relevantn stanoven to iv moment PO ET polohy s PR RUBA U AHOVAC KR TIACI MOMENT UPEV OVAC MECHANIZMUS ISO 500 svorky M16 svorky M16 Ak v veva stoj na svojich noh ch pripevnite ich k pracovn mu stolu skrutkami M12 cez otvory v noh ch tam kde s gumen n ky Tieto otvory sa nach dzaj na obvode kruhu s priemerom 550 mm 21 6 palca O in tal cia doplnkovej v bavy pozri pr ru ku Technick Inform cie POU ITIE V etky pokyny pre spr vne pou vanie turbov vevy n jdete n vode pre pou itie kontroln ho modulu Pred pou it m v vevy starostlivo pre tudujte n vod na pou itie US UPOZORNENIE V vevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertn ho plynu zbaven ho prachu a ast c Tlak na preplachovacom vstupe US UPOZORNENIE Aby nedo lo k po kodeniu v vevy hladina mazacieho oleja po as prev dzky v vevy nesmie nikdy klesn pod rove MIN 45 N VOD K POU ITIU ES UPOZORNENIE Dbajte na to aby v veva po as innosti nebola vystaven n razom alebo prudk m pohybom Mohli by sa po kodi lo isk VAROVANIE Ak v vevu pou v
35. toute pollution due la poussi re INSTALLATION DANGER Vu son poids la pompe doit tre manipul e a l aide des instru ments de levage et de d placement appropri s ES ATTENTION N enlever l adh sif puis le couvercle gu au moment de la connexion de la turbopompe au syst me Ne pas installer et ou utiliser la pompe dans des milieux expos s aux agents atmosph riques pluie gel neige aux poussi res aux gaz de combat ni dans des milieux explosifs ou a risque lev d incendie Pendant le fonctionnement il est n cessaire de respec ter les conditions environnementales suivantes pression maxi 2 bar au del de la pression atmosph rigue temp rature de 5 C a 35 C humidit relative 0 95 non condensante 87 900 838 01 D EXT Pour viter tout risgue de l sion aux personnes ne jamais intro duire sous aucun pr texte ni les doigts ni aucun objet dans la bouche de la turbopompe Il est conseill d utiliser le filet de protection fourni en option En cas d utilisation d un amortisseur de vibrations ou un soufflet m tallique flexible sur la bouche d entr e toujours bien fixer la turbopompe a sa base En pr sence de champs magn tiques la pompe doit tre pro t g e par des crans appropri s Pour tous autres d tails se reporter l appendice Technical Information Les pompes turbomol culaires de la s rie Turbo V6000 ne doivent tre utilis es qu avec
36. upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on each pump model TECHNICAL INFORMATION The following figure shows the overall flange di mensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange VENT VALVE INSTALLATION The vent valve mod 969 9843 allows to avoid un desired venting of the pump during a temporary power failure 5 sec maximum and enables an automatic vent operation Fix the vent valve to the vent port of the pump as shown in the figure of the following paragraph 87 900 838 01 D VENT DEVICE INSTALLATION The vent device mod 969 9831 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure adjustable time up to 36 min and enables an automatic vent operation Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp as shown in the fol lowing figure FIN StB Seal rin ie klamp Vent device TECHNICAL INFORMATION TYPICAL LAYOUT DIAGRAM MAINS TURBO V SUPPLY CONTROLLER Turbo V controller Vent valve Vacuum pump shut off valve optional System vent valve optional Vacuum chamber lonisation gauge Fore vacuum pump connecting flange Oil mist eliminator DD OVO INS Fore vacuum pump with internal one way valve 10 Fore vacuum pump control relay 11 Connection for water cooling 12 Roughing line with valve optional 13 Turbopump 14 Flex
37. vel ligando a flange de entrada da turbobomba a uma contraflange fixa capaz de resistir a um torque de 20000 Nm ao redor do pr prio eixo A turbobomba com flange de entrada ISO deve ser fixada c mara de vacuo atrav s de bornes duplos ou simples A tabela a seguir descreve para cada dimens o de flange e tipo de borne o numero de bornes e o torque de aperto necess rios FLANGE TIPO DE BORNE iz ISO 500 Borne duplo com 12 rosca M16 Borne simples com 12 rosca M16 Se a bomba apoiar nos seus p s estes dever o ser fixados ao plano de apoio utilizando os furos rosqueados M12 colocados em correspondencia com os pes referidos Estes furos s o posicionados num anel com di metro de 550 mm 21 6 polegadas A bomba amp expedida com o leo de lubrificac o num recipiente separado portanto antes da utilizac o preciso encher o colector do leo Para maiores detalhes a respeito do procedimento a executar ver o ap ndice Technical Information Para a instalac o dos acess rios opcionais ver Technical Information UTILIZACAO Todas as instrug es para o correcto funcionamento da turbobomba est o contidas no manual da unidade de controlo Ler atentamente este manual antes da utilizac o IS ATEN O Para a sa da de ar da bomba utilizar ar ou g s inerte sem poeiras ou particulas A press o de entrada atrav s da porta especifica deve ser inferior a 2 bar al m da press o atmosf rica 15 INSTRUC ES PA
38. 9 ACCESSORIES e luana KEL NANJ aak EEK sand 59 ISTRUZIONI PER L USO Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantit di energia cinetica dovuta alla alta velocit di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori Nel caso di un guasto del sistema ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore l energia di rotazione potrebbe essere rilasciata AN METLIKI Per evitare danni all apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale 1 87 900 838 01 D INFORMAZIONI GENERALI Questa apparecchiatura destinata ad uso professionale L uti lizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell utilizzo dell apparecchiatura La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilit dovute all inosser vanza totale o parziale delle istruzioni ad uso improprio da parte di personale non addestrato ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche Le pompe della serie Turbo V6000 sono pompe turbomolecola ri per applicazioni di alto e ultra alto vuoto capaci di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso Non sono adatte per il pompaggio di liquidi o di part
39. ARSEL Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmate eller praksis som hvis den ikke folges kan medfore alvorlige skader I FORSIKTIG Denne advarselen vises foran fremgangsm ter som dersom de ikke f lges kan fore til at utstyret skades MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten LAGRING For garantere optimal drift og p litelighet for Varian turbomo lekyl re pumper m f lgende anvisninger f lges Under transport flytting og lagring av pumpene m ikke f lgende milj forhold overstiges e Temperatur fra 20 C til 70 C e Relativ fuktighet fra O til 95 uten kondensering e Kunden m alltid soft starte de turbomolekyl re pumpene nar de mottas og startes opp f rste gang e Lagringstiden for en turbomolekyl r pumpe er 10 m neder fra sendedato ES FORSIKTIG Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger m pumpen returneres til fabrikken Vennligst kontakt den lokale Varian forhandleren for informasjon KLARGJGRE TIL INSTALLASJON Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje Viser denne tegn p skader som kan ha oppst tt under transporten m du ta kontakt med det lokale salgskontoret N r pumpen pakkes ut m du se til at den ikke slippes ned eller utsettes for noen form for stot Emballasjen m ikke kastes p en ulovlig m te Alle materialer er 100 resirkulerbare og er i samsvar me
40. Betrieb der Turbopumpe sind im Handbuch der entsprechenden Steuereinheit enthalten Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen werden IS ACHTUNG F r die Bel ftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie Luft oder Edelgase verwenden Der Eingangsdruck am Bel f tungsanschlu amp muf kleiner als 2 bar ber dem atmosph ri schen Druck sein GEBRAUCHSANLEITUNG US ACHTUNG Um eine Besch digung der Pumpe auszuschlieBen darf der Schmier lstand w hrend des Pumpenbetriebs nicht unter den vorgesehenen Mindeststand MIN absinken ES ACHTUNG W hrend des Betriebs darf die Pumpe weder St Ren noch ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden da die Lager besch digt werden k nnen A EEE Zum Pumpen von giftigen leicht entflammbaren oder radioakti ven Gasen m ssen die f r das jeweilige Medium vorgeschrie benen Vorg nge und Ma nahmen befolgt werden Benutzen Sie die Pumpe niemals in Pr senz von explosiven Gasen WARTUNG Die Pumpen der Serie Turbo V6000 sind wartungsfrei Eventu elle Eingriffe d rfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausge f hrt werden Das Schmier l mu alle 6 Monate oder aber bei sichtbarer Tr bung ausgewechselt werden lwechsel siehe Technical Information A Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen die Pumpe ber Offnung des entsprechenden Ventils bel ften warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur a
41. MPEOL gt neen umen E t uet 7 INSTRUCCIONES DE SQ eei cote rennen NI 10 INSTRU ES PARA USO s ik tasti brio agit ak aba Sa BP hs ili 13 GEBRUIKSAANWIJZINGEN 5 p bene a e epu en va arie 16 BRUGSANVISNING cami ia 19 BRUKSANVISNING nine do edet rer aio retos 22 BRUKERVEILEDNING al es do ea tin atum 25 KOTTOONIEE lleida nier 28 DAHTIEE XPHEEOD AT D 31 FASZNALATIUTASITA SA A TIE rasens 34 INSTRUKCJA UZY TKOWAN IA 51 tt etr alieni halo Ra lu tant 37 PRIRUCKAK POU ITE ia SS IUS Eo AE Do 40 NAVODIRPOUZII EN or sneren ben Bede dad ob an a e de slirar sne bad MeL Hot t oai EB ind mp sie 43 NAVODIEA ZA UPORABO isin namen oben edet ede AE ettet 46 INSTRUCTIONS FOR USE 2 m nk ori la En a 49 TECHNICAL INFORMATION vart aren anderer ea tn ln AA tae 52 DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ii 52 TEGHNIGAL SPEGIFIGATION wes ieee zaa nat A OAK hr ao 53 INLET SCREEN INSTALLATION use egent bussen had Lai 55 VENT VALVE INSTALLATION het ANE Spi IE anal 55 VENT DEVICE INSTALLATION eee aaa aaa reen 56 TYPICAL EAYOUT DIAGRAM ii to alia ener 56 Connection A HIGH VACUUM FLANGE i 57 Connection B FORE VACUUM PUMP nen giana nnne 57 Connection C EEEGTRIGAL heredero ee ea kati 57 OLE FILE sit eee 58 WATER COOLING CONNECTION usines 58 PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS 59 PREVENTIVE MAINTENANCE ren ext haken tn nn ut trn 5
42. NG Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim Anschlu der Turbopumpe an die Anlage Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden die un gesch tzt vor Wetter Regen Frost Schnee Staub und ag gressiven Gasen sind und in denen Explosions und erh hte Brandgefahr besteht Beim Betrieb m ssen folgende Umgebungsbedingungen ein gehalten werden Maximaldruck 2 Bar ber dem atmosph rischen Druck Temperatur von 5 C bis 35 C Relative Luftfeuchtigkeit 0 95 nicht kondensierend Sind Magnetfelder vorhanden m ssen die Pumpen Uber Einsatz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms gesch tzt werden Weitere Informationen siehe Schema in Technical Information 87 900 838 01 D Um Verletzungen auszuschlieRen darf auf keinen Fall und aus keinem Grunde in die Eingangs ffnung der Turbo pumpe gefa t werden aus dem gleichen Grunde d rfen keine Gegenst nde in diese Offnung gegeben werden Es wird der Einsatz eines Schutzgitters Sonderzubeh r empfohlen Bei Installation eines Ersch tterungsd mpfers oder eines Metallbalges auf der Eingangs ffnung muf die Turbopumpe am Unterteil befestigt werden Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo V6000 d rfen nur mit den Varian Spezial Controllern Serie 969 9491 969 9591 be nutzt werden und m ssen an eine Prim rpumpe angeschlossen werden siehe Schema in Technical Information Die Turbopum pen m ssen in vertikaler Position und mit eine
43. NW 14000 rpm 30 minutes Varian SD 1400 Vertical max slope 10 5 Cto 35 C 53 TECHNICAL INFORMATION Coolant water flow 100 I h 0 45 GPM minimum characteris temp 10 C to 25 C tics pressure 2 to 4 bar 30 to 60 Psi Bakeout temperature 120 C at inlet flange maximum Vibration level lt 0 05 um at inlet flange displacement lt 55 dB A at 1 meter Input 100 Vac three phase 233 Hz Varian T A oil Noise level Lubricant type Lubricant charge 1000 cm Storage temperature 20 C to 70 C Weight kg Ibs 250 550 According to standard DIN 28 428 the base pressure is that measured in a leak free test dome 48 hours after the completion of test dome bake out using the recommended forepump 87 900 838 01 D N e Pumping speed l s Compression ratio Throughput mbar l s TECHNICAL INFORMATION 10 1 Foreline pressure mbar Graph of compression ratio vs foreline pressure iii iii Te Sr E RT ETT Inlet pressure mbar Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 54 87 900 838 01 D INLET SCREEN INSTALLATION The inlet screens mod 969 9308 prevents the blades of the pump from being damaged by debris greater than 2 mm diameter The inlet screen however will reduce the pumping speed by about 15 The inlet screen is fitted in the
44. RA O USO ES ATEN O Durante o funcionamento da bomba para evitar danos a mesma o nivel do leo de lubrificac o nunca deve descer abaixo do nivel MIN ES ATEN O Evitar colis es ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando est a funcionar Os rolamentos poderiam sofrer danos A PERIGO Quando a bomba utilizada para bombear gases t xicos inflam veis ou radioactivos seguir os procedimentos adequados tipicos para cada gas Nao usar a bomba na presenca de gases explosivos MANUTENGAO As bombas da s rie Turbo V6000 n o requerem qualquer manutenc o Todas as operac es devem ser efectuadas por pessoal autorizado O leo de lubrifica o deve ser trocado de seis em seis meses ou guando estiver opaco ou com uma cor escura No gue diz respeito ao procedimento relativo consultar Technical Information Antes de efectuar gualguer operac o na turbobomba desligar o conector de alimentac o introduzir ar na bomba abrindo a v lvula especifica aguardar at a completa paragem do rotor e at que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 C Em caso de defeito possivel usufruir do servico de reparac o Varian ou do Varian advanced exchange service que permite obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com defeito NOTA Antes de reenviar ao fabricante uma bomba para reparag es ou advanced exchange service indispens vel preencher e enviar ao escritori
45. S FIGYELEM Ker lje a szivatty t s t vagy durva mozgat s t zem k zben A csap gyak megs r lhetnek A MZZ Amikor a szivatty t m rgez gy l kony vagy radioaktiv g zok szivatty z s ra haszn lja k rem k vesse az egyes g zok artalmatlanitasahoz sz ks ges elj r sokat Ne haszn lja a szivatty t robban g zok jelenl t ben KARBANTART S A Turbo V 6000 sorozat szivatty nem ig nyel karbantart st A szivatty n v gzett b rmely munk t jogosult szem lyzetnek kell elv geznie Az olajat hathavonta vagy amikor hom lyos vagy s t t lesz cser lni kell A vonatkoz elj r s a M szaki inform ci f ggel kben van r szletezve N VIGYAZAT A turb szivatty n b rmely munka v gz se el tt valassza le azt a t pfesz lts gr l szell ztesse a szivatty t a megfelel szelep kinyit s val v rjon am g a rotor forg sa le ll s am g a szivattyu fel let nek h m rs klete 50 C al esik Varian Meghib sod s eset n l pjen kapcsolatba a helyi szervizk zponttal ahol tudnak adni egy helyre ll tott turb szivatty t a hib s helyett MEGJEGYZ S Miel tt jav t sra vagy cser re visszak ldi a szivatty t a gy rt hoz az ehhez a g pk nyvh z csatolt Eg szs g s biztons g lapot ki kell t lteni s el kell k ldeni a helyi kereskedelmi irod hoz A lap egy m solat t sz ll t s el tt be kell illeszteni a szivatty csomagba Ha a szivatty t le
46. act or even a rotor crash the rotational energy may be released N WARNING To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed 49 87 900 838 01 D GENERAL INFORMATION This eguipment is destined for use by professionals The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the eguipment Varian will not be held responsible for any events occurring due to non compliance even partial with these instructions improper use by untrained persons non authorised interference with the eguipment or any action contrary to that provided for by specific national standards The Turbo V 6000 series pumps are turbo molecular pumps for high and ultra high vacuum applications and can pump any type of gas or gas compound They are not suitable for pumping liguids or solid particles The pumping action is obtained through a high speed turbine max 14000 rpm driven by a high performance 3 phase electric motor The Turbo V 6000 pumps are free of contaminating agents and therefore are suitable for applications requiring a clean vacuum The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equipment Detailed information is supplied in the appendix Technical Information This manual uses the following stan
47. ags ppningen m ste turbopumpen alltid fastas till fundamentet I n rvaro av magnetf lt skall pumpen skyddas med en s rskild skarm Se bilagan Technical information f r ytterligare upplysningar Turbomolekyl rpumparna i serien V6000 m ste anv ndas med en s rskild styrenhet fr n Varian serie 969 9491 969 9591 och anslutas till en f rpump se schemat Technical information Turbopumpen ska installeras i vertikalt lage med en max lutning p 10 i f rh llande till den vertikala axeln Pumpen kan sta p sina f tter eller h ngas upp i intagsfl nsen F st turbopumpen i ett stabilt l ge genom att ansluta pumpens intagsfl ns till en fast fl ns som maste tala ett vridmoment p 20000 Nm runt den genomg ende axeln Turbopumpen med ISO intagsfl ns ska f stas i vakuumkammaren med hj lp av dubbla eller enkla klamrar Den f ljande tabellen beskriver olika fl nsstorlekar olika typer av klamrar nodv ndigt antal klamrar och tdragningsmoment FL NS TYP AV KLAMMER ISO 500 Dubbel klammer 12 ganga M16 Enkel klammer 12 ganga M16 Om pumpen stalls p f tterna ska dessa fastas till underlaget med M12 halen som aterfinns intill f tterna Dessa hal bildar en cirkel med en diameter pa 550 mm 21 6 tum Pumpen levereras med sm rjolja i en separat behallare Det r darfor n dv ndigt att fylla p oljesumpen innan pumpen anvands Se sarskilda anvisningar i Technical information Installation av ti
48. andleiding gebruikt de volgende symbolen AN GEVAAR Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die indien niet correct uitgevoerd ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken IS ATTENTIE Bij dit symbool staat tekst met procedures die indien niet opgevolgd schade aan apparatuur kunnen veroorzaken OPMERKING De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht OPSLAG Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen e tijdens transport verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan e temperatuur van 20 C tot 70 C e relatieve vochtigheid van 0 tot 95 niet condenserend e de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld e de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum US ATTENTIE Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is moet de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Varian UITPAKKEN De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd als er schade wordt geconstateerd die tijdens he
49. ante e el cliente deber activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez e el periodo m ximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de env o al cliente US ATENCI N En caso de superarse por cualquier motivo el per odo m ximo permitido de almacenamiento ser necesario devolver la bom ba al fabricante Para mayores informaciones al respecto se ruega contactar con el representante local de Varian INSTRUCCIONES DE USO No abandonar el embalaje en el medio ambiente El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85 399 para la preservaci n del medio ambiente PREPARACI N PARA LA INSTALACI N La bomba se suministta en un embalaje especial de protecci n si se observan da os que podr an haberse producido durante el transporte ponerse en contacto con la oficina local de ventas Durante la operaci n de desembalaje tener cuidado de que no se caiga la bomba y de no someterla a choques o vibraciones US ATENCI N Para evitar problemas de desgasificaci n no tocar con las manos desnudas los componentes destinados a exponerse al vac o Utilizar siempre guantes u otra protecci n adecuada NOTA La bomba no puede da arse permaneciendo simplemente expuesta a la atm sfera De todas formas se aconseja mantenerla cerrada hasta que se instale en e
50. ar de 10 meses a contar da data da expedi o SS ATEN O Se por uma raz o qualquer o per odo de armazenagem for superior ser necess rio enviar outra vez a bomba para o fabricante Para mais informa es contatar o representante local da Varian PREPARA O PARA A INSTALA O A bomba fornecida numa embalagem protectora especial se esta apresentar sinais de danos que poderiam verificar se durante o transporte entrar em contacto com o escrit rio de vendas local Durante a retirada da embalagem tomar muito cuidado para n o deixar cair a bomba e para n o submet la a choques ou vibra es N o depositar a embalagem no meio ambiente O material completamente recicl vel e em conformidade com a directriz CEE 85 399 para a protec o do meio ambiente 14 INSTRU ES PARA O USO IS ATEN O Para evitar problemas de perdas de g s n o tocar com as m os os componentes destinados exposi o do v cuo Utilizar sempre luvas ou outra protec o adequada NOTA A bomba n o pode ser danificada permanecendo simplesmente exposta atmosfera Aconselha se no entanto mant la fechada at o momento da instala o no sistema para evitar que se suje com poeiras INSTALA O EEE A bomba devido ao seu peso deve ser manejada utilizando ferramentas espec ficas de levantamento e deslocamento IS ATEN O Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de pret
51. arians Advanced Exchange Service hvorved man kan fa en repareret pumpe i bytte for den der er g et i stykker BEM RK Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller til Advanced Exchange Service skal man udfylde formularen Sikkerhed og Helbred vedlagt denne h ndbog og tilsende den til den lokale forhandler En kopi af formularen skal vedl gges i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen Hvis en pumpe skal skrottes skal dette foreg i overensstemmelse med det p g ldende lands s rlige love BORTSKAFFELSE Betydningen af WEEE logoet p m rkaterne Nedenst ende symbol anvendes i overensstemmelse med det s kaldte EU direktiv WEEE Symbolet kun g ldende for EU landene viser at produktet som det sidder p IKKE m bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres p en godkendt affaldsstation Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverand ren af anordningen enten fabrikken eller en forhandler for igangs t telse af afhentnings og bortskaffelsesprocessen efter n je at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten 87 900 838 01 D BRUKSANVISNING Sakerhetsanvisningar for Molekylara turbopumpar De molekyl ra turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en h g kinetisk energi beroende p den h ga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa det fall fel skulle uppst i systemet t ex p
52. artikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen Trykket ved inngangen ma ikke vaere mindre enn 2 bar over atmosfeerisk trykk BRUKERVEILEDNING ES FORSIKTIG For A unng skader pa pumpen ma smgreoljens niv aldri synke under MIN niv et under bruk av pumpen ES FORSIKTIG Unnga stet eller bra bevegelser av pumpen nar den er i bruk Dette kan f re til at lagrene skades N ADVARSEL N r pumpen brukes for pumpe giftige brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene folges Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige milj er VEDLIKEHOLD Turbo V6000 serien pumper er vedlikeholdsfrie Alt arbeid p pumpen m kun utfgres av autorisert personell Smgreoljen m byttes ut hver 6 m ned eller n r oljen blir matt eller m rk Se den spesifikke prosedyren i Teknisk Informasjon N ADVARSEL F r noe arbeid gjores p turbopumpen m den frakoples tilforselen den m luftes ved pne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 C Dersom pumpen stanser ma du ta kontakt med Varians reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den delagte pumpen MERK F r pumpen returneres til produsenten for reparasjon eller som innbytte for en overhalt pumpe ma det vedlagte skjemaet Helse og sikkerhet fylles inn og s
53. ate na vy erp vanie toxick ch horfav ch alebo radioaktivnych plynov dodr iavajte pros m po adovan postupy pre likvid ciu jednotliv ch plynov Nepou vajte v vevu v pr tomnosti v bu n ch plynov UDRZBA V vevy s rie Turbo V 6000 nevy aduj iadnu dr bu Ak ko vek pravy a opravy v vevy mus vykona autorizovan person l Mazac olej treba vymeni raz za pol roka alebo ke sa olej zakal i zmen farbu na tmavohned Pr slu n postupy podrobne popisuje dodatok Technick Inform cie AN VAROVANIE Sk r ne za nete okolvek robi na turbovyveve odpojte ju od zdroja nap jania prepl chnite v vevu tak Ze otvor te pr slu n ventil po kajte k m sa rotor neprestane ot a a k m teplota povrchu v vevy neklesne pod 50 C V pr pade poruchy zariadenia vyh adajte miestne servisn stredisko spolo nosti Varian kde v m pokazen v vevu vymenia POZN MKA Sk r ne syst m odo lete na opravu alebo v menu mus te vyplni dotazn k Zdravie a bezpe nos Dotazn k pripojen k n vodu na pou itie je potrebn vyplni a odosla miestnemu predajcovi K piu dotazn ka vlo te do bal ka so syst mom a odo lite spolu s n m Ak je potrebn likvid cia v vevy mus prebehn v s lade so pecifick mi predpismi danej krajiny LIKVID CIA V znam loga WEEE nach dzaj ceho sa na t tkoch Aplikovanie doluozzna en ho symbolu dodr uje sme
54. boven de atmosferische druk temperatuur van 5 C tot 35 C relatieve vochtigheid 0 95 niet condenserend Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden Zie de bijlage Technical Information voor meer informatie 87 900 838 01 D Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit om geen enkele reden de vingers of voorwerpen in de inlaatopening van de turbopomp worden gestoken Men raadt gebruik van het beschermgaasje aan optional Als een trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de inlaatopening wordt aangebracht de turbopomp altijd aan de basis bevestigen De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo V6000 mogen alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale Varian controllers serie 969 9491 969 9591 en moeten aangesloten zijn op een primaire pomp zie schema in Technical information De turbopomp moet in verticale stand worden ge nstalleerd met een max hellingshoek van 10 ten opzichte van de verticale as De pomp mag op haar eigen pootjes staan of opgehangen worden met behulp van de ingangsflens Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 20000 Nm rondom de eigen as kan verdragen De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacu mkamer worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige klemmen De volgende tabel beschrijft voor elke maat fl
55. chi dong Kangnam gu Seoul Korea 135 280 Tel 82 2 3452 2452 Fax 82 2 3452 2451 Toll Free 080 222 2452 Mexico Varian S de R L de C V Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C P 03100 Mexico D F Tel 52 5 523 9465 Fax 52 5 523 9472 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd 14F 6 No 77 Hsin Tai Wu Rd Sec 1 Hsi chih Taipei Hsien Taiwan R O C Tel 886 2 2698 9555 Fax 886 2 2698 9678 Toll Free 0800 051342 UK and Ireland Varian Ltd 6 Mead Road Oxford Industrial Park Yarnton Oxford OX5 1QU England Tel 44 1865 291570 Fax 44 1865 291571 United States Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 USA Tel 781 861 7200 Fax 781 860 5437 Other Countries Varian Inc Vacuum Technologies Via F Ili Varian 54 10040 Leini Torino Italy Tel 39 011 997 9 111 Fax 39 011 997 9 350 Customer Support amp Service North America Toll Free 1 800 882 7426 vtl technical support varianinc com Europe Tel 00 800 234 234 00 vtt technical supportQvarianinc com China Toll Free 800 820 8266 vic technical support varianinc com Japan Toll Free 0120 655 040 vtj technical support varianinc com Korea Toll Free 080 222 2452 vtk technical support varianinc com Taiwan Toll Free 0 800 051 342 vtw technical support varianinc com Worldwide Web Site Catalog and Order On line www varianinc com Representative in most countri
56. cidade 14000 r p m m x movida por um motor el ctrico trif sico de alto rendimento As bombas Turbo V6000 s o totalmente sem agentes contaminadores e portanto s o adequadas para aplica es que requerem um v cuo limpo Nos par grafos a seguir est o descritas todas as informa es necess rias para garantir a seguran a do operador durante o uso da aparelhagem Informa es detalhadas s o fornecidas no ap ndice Technical Information Este manual utiliza as seguintes conven es EEE As mensagens de perigo chamam a aten o do operador para um procedimento ou uma pr tica espec fica que se n o efectuada correctamente pode provocar graves les es pessoais IS ATEN O As mensagens de aten o s o visualizadas antes de procedimentos que se n o observados podem causar danos aparelhagem NOTA As notas cont m informa es importantes destacadas do texto ARMAZENAGEM Para garantir o n vel M ximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Varian devem ser observadas as seguintes prescri es e durante o transporte o deslocamento e a armazenagem das bombas as condi es ambientais devem ser as seguintes e temperatura de 20 C a 70 C e umidade relativa de 0 a 95 n o condensante e 20 acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve ativ las sempre em modalidade Soft Start e o tempo m ximo de armazenagem de uma bomba turbomolecul
57. cuum flange end The turbine is made of high strength light alumin ium alloy The first 3 high vacuum stages have blade angles of 40 the subsequent four stages have blade angles of 30 and the lower stages have blade angles of 20 The turbine rotor is supported by high precision ball bearings oil lubricated the upper one is a double ceramic ball bearing the lower one is a double stainless steel ball bearing The static blades of the stator are made of alumin ium These are supported and accurately posi tioned by spacer rings TECHNICAL INFORMATION During normal operation the motor is fed with a voltage of 100 Vac three phase at 233 Hz To re duce losses during start up to a minimum the fre quency increases according to a ramp with a higher initial voltage frequency ratio The motor stator windings and the earth are connected to a Turbo V controller through a 7 pin socket on the bottom side ofthe pump A water jacket surrounds the pump stator and is used to cool the lubrication oil and the motor which operates in the forevacuum region of the pump Cooling water is connected to the pump via two riffled nozzles on the cooling jacket Temperature sensors are located near the top and the bottom bearings and the values are displayed on the controller upon selection Another tempera ture sensors is located between the motor and the body and switches off the pump if the temperature exceeds 65 C A photodetector located
58. d EU direktiv 85 399 om milj beskyttelse I FORSIKTIG For unng avgassingsproblemer m ingen del som skal utsettes for vakuum h ndteres med bare hendene Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr BRUKERVEILEDNING MERK Normale miljamessige belastninger kan ikke gdelegge pumpen Likevel anbefaler vi a holde den lukket til den er montert i systemet slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstoving INSTALLASJON AN ADVARSEL Med tanke p pumpens vekt skal den bare h ndteres ved bruk av dertil egnede lofte og flyttingsanordninger ES FORSIKTIG Fjern tapen og ta ut beskyttelsesproppen f rst n r turbopumpen skal sluttes til systemet Ikke installer eller bruk pumpen i milj er som utsettes for regn sn eller is st v aggressive gasser eksplosjonsfarlige milj er eller milj er med stor brannfare Under bruk m f lgende forhold respekteres maksimalt trykk 2 bar over atmosf risk trykk temperatur fra 5 C til 35 C relativ fuktighet 0 95 uten kondens 87 900 838 01 D ZN ADVARSEL For A unnga personskader ma du aldri stikke inn fingrene eller annet i turbopumpens inngangsapning Vi anbefaler bruk av beskyttelsesnettet tilbeh r Dersom en vibrasjonsdemper eller en fleksibel metallbelge brukes pa inngangs pningen ma turbopumpen alltid festes til fundamentet Ved magnetfelt ma pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer Se Teknisk inf
59. dard protocol WARNING The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which if not followed correctly could lead to serious injury ES CAUTION The caution messages are displayed before procedures which if not followed could cause damage to the equipment NOTE The notes contain important information taken from the text STORAGE In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Varian Turbomolecular pumps the following guidelines must be followed e when shipping moving and storing pumps the following environmental specifications should not be exceeded e temperature range 20 C to 70 C relative humidity range 0 to 95 non condensing e the turbomolecular pumps must be always soft started when received and operated for the first time by the customer e the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the shipping date US CAUTION If for any reason the shelf life time is exceeded the pump has to be returned to the factory Please contact the local Varian Vacuum Sales and Service representative for informations PREPARATION FOR INSTALLATION The pump is supplied in a special protective packing If this shows signs of damage which may have occurred during transport contact your local sales office When unpacking the pump be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to i
60. dbogen til kontrolenheden L s den n vnte h ndbog omhyggeligt f r brugen IS VIGTIGT Til pumpens luftafl b anvendes luft eller en inaktiv luftart der er fri for st v og partikler Indgangstrykket gennem den s rlige bning skal v re under 2 bar 21 BRUGSANVISNING IS VIGTIGT For at undg beskadigelse af pumpen m niveauet med sm ringsolie aldrig s nke til under MIN niveauet mens pumpen er aktiveret IS VIGTIGT Undg st d eller pludselig flytning af turbopumpen mens den er i drift Lejerne kan beskadiges ZN ADVARSEL N r pumpen anvendes til pumpning af giftige brandfarlige eller radioaktive gasser skal de gaeldende forskrifter for den enkelte gastype strengt overholdes Pumpen m ikke anvendes i eksplosionsfarlige milj er VEDLIGEHOLDELSE Pumperne af TURBO V6000 typen beh ver ikke nogen vedligeholdelse Ethvert indgreb p pumpen skal foretages af autoriseret personale Sm ringsolien skal udskiftes hver 6 m ned eller s fremt den bliver uigennemsigtig eller m rk Se Technical Information vedr rende fremgangsm den ZN ADVARSEL Inden der foretages noget som helst indgreb pa turbopumpen skal str mmen f rst afbrydes og luften lukkes ud af pumpen ved at man bner den s rlige ventil og venter indtil rotoren er standset helt og pumpens overfladetemperatur er lavere end 50 C Hvis pumpen gar i stykker kan man benytte sig af Varians reparationsservice eller af V
61. des for ikke at skabe risiko for skade p udstyret BEM RK Bem rkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger OPBEVARING Det er n dvendigt at overholde f lgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekyl re pum per fra Varian e S rg for at omgivelserne opfylder f lgende betingelser i forbindelse med transport flytning og opbevaring af pumperne e temperatur fra 20 C til 70 C e relativ fugtighed fra 0 til 95 ikke kondenserende e Kunden skal altid starte de turbomolekylaere pumper ved hj lp af Soft Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for f rste gang e De turbomolekyleere pumper m opbevares i 10 m neder fra forsendelsesdatoen ES VIGTIGT Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er l ngere er det n dvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken Yderligere oplysninger f s ved henvendelse til den lokale Varian repr sentant FORBEREDELSE TIL MONTERING Pumpen leveres med en s rlig beskyttelsesemballage Kontakt vores lokale salgskontor hvis der findes tegn p beskadigelse der kan v re sket under transporten Pas p at pumpen ikke falder p gulvet og at der ikke st des til den under udpakningen Smid ikke emballagen v k ude i naturen Al emballage er genbrugsmateriale i overensstemmelse med direktivet 85 399 E F vedr rende milj beskyttelse BRUGSANVISNING IS VIGTIGT For at undg afgasningsproblemer ska
62. detector pins E and D to the motor stator thermistor pins E and C to the body thermistor pins F and G to the top bearing thermistor pins F and H to the bottom bearing thermistor pins A and J to the oil level sensor and pins L M and N are not used see the following figure 87 900 838 01 D OIL FILL Prior the use of the pump the oil sump must be filled with oil according to the following procedure 1 Remove the screws at the bottom of the pump and detach the empty oil sump 2 Check the cleanliness of the sump then fill it with the recommended oil up to the OIL mark level 3 Place O ring into the seat and reattach the sump immediately to avoid particulate contami nation of the oil Do not overtighten the screws to prevent breakage of the sump NOTE When the pump is first operated with a new charge of oil for some minutes after starting a foam for mation due to outgassing is visible through the oil sump After several minutes the oil becomes clear and will drip back into the sump NOTE The oil level will be lower than the OIL mark when the pump is in operation Ly D Y Y 7 INS TECHNICAL INFORMATION WATER COOLING CONNECTION The turbopump must be used with the water cool ing connected To connect the water cooling to the turbopump see the following figure 87 900 838 01 D PUMP USED IN P ESENCE OF MAGNETIC FIELDS Magnetic fields induce eddy currents in the rotor o
63. diciones contractuales de venta N x 87 900 838 01 D INSTRUC ES PARA O USO Indicac es de Seguranca para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruc es t m uma alta quantidade de energia cin tica devida a alta velocidade de rotac o unida a massa especifica de seus rotores Em caso de avaria do sistema causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor a energia de rotac o pode ser liberada Para evitar danos a aparelhagem e prevenir les es aos operadores necess rio seguir atentamente as instruc es de instalac o descritas neste manual 13 87 900 838 01 D INFORMAG ES GERAIS Esta aparelhagem destina se ao uso profissional O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruc es e qualquer outra informac o adicional fornecida pela Varian antes de usar a aparelhagem A Varian n o se responsabiliza pela eventual inobservancia total ou parcial das instruc es pelo uso indevido por parte de pessoas n o treinadas por operag es nao autorizadas ou pelo uso contr rio as normas nacionais especificas As bombas da s rie Turbo V6000 sao bombas turbomoleculares para aplicag es de alto e ultra alto vacuo capazes de bombear qualquer tipo de gas ou de composto gasoso N o s o apropriadas bombear l quidos ou part culas s lidas O efeito da bomba obtido atrav s de uma turbina rotativa de alta velo
64. e Technick Informace NT Ne za nete prov d t jak koli pr ce na tomto za zen odpojte jej od s t odvzdu n te v v vu otev en m p slu n ho ventilu po kejte a se rotor p estane ot et a po kejte dokud povrchov teplota v v vy neklesne pod 50 C V p pad poruchy kontaktujte m stn servisn st edisko firmy Varian kter m e dodat n hradn repasovan za zen v m nou za porouchan POZN MKA P ed odesl n m v v vy v robci na opravu nebo v m nu za repasovan kus mus te list Health and Safety Zdrav a bezpe nos p ilo en k tomuto n vodu vyplnit a odeslat do kancel e m stn ho prodejn ho odd len P ed odesl n m za zen mus te k za zen p ibalit kopii tohoto listu Pokud se m za zen vy adit mus se zlikvidovat v souladu s konkr tn mi st tn mi normami LIKVIDACE V znam loga WEEE nach zej c ho se na t tku N e uveden symbol odpov d sm rnic m CE pojmenovan m WEEE Tento symbol platn jen pro st ty Evropsk Unie ur uje e v robek kter je takto ozna en NESM b t likvidov n spole n s ostatn mi dom c mi nebo pr myslov mi odpady ale je nutno ho p edat do pat i n ch provozn ch sb ren kde mus b t t d n a likvidov n odd len od m stsk ho odpadu U ivateli kter m n v robek likvidovat doporu ujeme aby se nakontaktoval p mo s v robcem nebo prode
65. e Action Request we will determine the Root Cause of the problem and take the necessary actions to eliminate it You will be contacted by one of our employees who will review the problem with you and update you with the second part of the same form on our actions Your business is very important to us Please take the time and let us know how we can improve Sincerely 4 RE NN PS s Sergio PIRAS Vice President and General Manager VARIAN Vacuum Technologies Note Fax or mail the Customer Request for Action see backside page to VARIAN Vacuum Technologies Torino Quality Assurance or to your nearest VARIAN representative for onward transmission to the same address CUSTOMER REQUEST FOR CORRECTIVE PREVENTIVE IMPROVEMENT ACTION TO VARIAN VACUUM TECHNOLOGIES TORINO QUALITY ASSURANCE FAX N XXXX 011 9979350 ADDRESS VARIAN S p A Via F lli Varian 54 10040 Leini Torino Italy E MAIL marco marzio varianinc com COMPANY FUNCTION ADDRESS TEL N E MAIL PROBLEM SUGGESTION REFERENCE INFORMATION model n serial n ordering information time to failure after installation etc CORRECTIVE ACTION PLAN ACTUATION by VARIAN VTT XXXX Code for dialing Italy from your country es 01139 from USA 00139 from Japan etc ap VARIAN gt lt ISTRUZIONI PER E SO x ied etae alii Jah ek 1 GEBRAUCHSANEEITUNG nnee iii AEO al pae ume 4 MODE D E
66. e a una bomba primaria v ase esquema en Technical Information La turbobomba ha de instalarse en posici n vertical con una inclinaci n maxima respecto al eje vertical de 10 La bomba puede permanecer apoyada en sus patas o colgarse mediante la brida de entrada Fijar la turbobomba en una posici n estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija capaz de resistir a un par de 20000 Nm alrededor de su eje La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la camara de vacio mediante mordazas dobles o mordazas sencillas La tabla siguiente describe el numero de mordazas necesarias y al par de apriete al que apretarlas BRIDA TYPO DE MORDAZA p ISO 500 Mordaza doble con 12 roscado M16 Mordaza sencilla 12 con roscado M16 En caso de que la bomba se apoye sobre sus patas stas se fijar n a la superficie de apoyo utilizando los orificios roscados M12 haci ndolos coincidir con la pata de apoyo Estos orificios est n colocados en un c rculo con di metro de 550 mm 21 6 pulgadas La bomba se env a con el aceite de lubricaci n a un recipiente separado por lo tanto antes de usarla hay que llenar el c rter del aceite Para una informaci n detallada sobre el procedimiento que hay que realizar v ase el anexo Technical Information Para la instalaci n de los opcionales v ase Technical Information UTILIZACI N Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la turbobomba se e
67. e air or inert gas free from dust or particles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 bar above atmospheric pressure 51 INSTRUCTIONS FOR USE ES CAUTION To avoid damage to the pump the lubrication oil level must never decrease below the MIN level during the pump operation ES CAUTION Avoid impacts or harsh movements of the pump when in operation The bearings may become damaged mne When employing the pump for pumping toxic flammable or radioactive gases please follow the required procedures for each gas disposal Do not use the pump in presence of explosive gases MAINTENANCE The Turbo V 6000 series pump does not require any maintenance Any work performed on the pump must be carried out by authorised personnel The lubrication oil must be changed every six months or whenever the oil becomes opaque or dark brown The relevant procedure is detailed into the appendix Technical Information MENINI Before carrying out any work on the turbopump disconnect it from the supply vent the pump by opening the appropriate valve wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 C In the case of breakdown contact your local Varian service center who can supply a reconditioned pump to replace that broken down NOTE Before returning the pump to the constructor for repairs or replacement with a recond
68. e i V6000 serien ma kun anvendes med en af de saerlige Varian kontrolapparater serie 969 9491 969 9591 og skal forbindes med en prim r pumpe se skemaet i Technical Information Turbopumpen skal monteres i lodret position med en maksimal h ldning i forhold til den lodrette akse p 10 Pumpen kan hvile p f dderne eller kan oph nges ved hj lp af indgangsflangen Fastger turbopumpen i en stabil position ved at fastgore indgangsflangen til en fast modflange der er i stand til at modsta et drejningsmoment pa 20000 Nm omkring aksen Turbopumperne med ISO indlabsflange skal fastspaendes til vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer F lgende tabel angiver det n dvendige antal af klemmer og det anvendte tilsp ndingsmoment for de enkelte flangedimensioner og typer af klemmer FLANGE KLEMMETYPE ANT ISO 500 Enkelt klemme gevind M16 Dobbelt klemme 12 gevind M16 S fremt pumpen hviler p f dderne skal f dderne fastg res til st ttepladen ved hj lp af gevindhullerne M12 der er anbragt i overensstemmelse med f dderne Disse huller er anbragt p en krans med en diameter p 550 mm 21 6 tommer Pumpen leveres med olie i en separat beholder Det er s ledes at foretage p fyldning af olie inden pumpen tages i brug For detaljer henvises til Technical Information Se Technical Information for montering af optionals ANVENDELSE Al vejledning ang ende turbopumpens korrekte drift er beskrevet i h n
69. e pompe turbomolecolari nel modo Soft Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta e il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomoleco lare di 10 mesi dalla data di spedizione US ATTENZIONE Se per qualsiasi ragione il tempo di immagazzinamento superiore occorre reinviare la pompa in fabbrica Per ogni in formazione si prega di contattare il locale rappresentante della Varian PREPARAZIONE PER L INSTALLAZIONE La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale se si presentano segni di danni che potrebbero essersi verificati durante il trasporto contattare l ufficio vendite locale Durante l operazione di disimballaggio prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o vibrazioni Non disperdere l imballo nell ambiente Il materiale comple tamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85 399 per la tutela dell ambiente ISTRUZIONI PER L USO US ATTENZIONE Onde evitare problemi di degassamento non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata NOTA La pompa non pu essere danneggiata rimanendo semplice mente esposta all atmosfera Si consiglia comunque di mante nerla chiusa fino al momento dell installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere INSTALLAZIONE PERICOLO La pompa a causa del suo pes
70. ebnahme stets im Modus Soft Start in gangzusetzen e Die Lagerdauer f r eine Turbomolekularpumpe betr gt 10 Monate ab dem Speditionsdatum US ACHTUNG Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gr nden die genannte Frist berschreiten sollte ist die Pumpe an das Werk zur ckzusenden F r Informationen wenden Sie sich bitte an den rtlichen Varian Vertreter VOR DER INSTALLATION Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung gelie fert Eventuelle Transportsch den m ssen der zust ndigen rtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden Beim Auspacken vorsichtig vorgehen damit die Pumpe nicht f llt oder St Ren ausgesetzt wird Das Verpackungsmaterial muR korrekt entsorgt werden Es ist vollst ndig recyclebar und entspricht der EG Richtlinie 85 399 f r Umweltschutz GEBRAUCHSANLEITUNG ES ACHTUNG Um Entgasungsprobleme zu vermeiden d rfen die Komponen ten die mit dem Vakuum in Ber hrung kommen nicht mit blo Ren H nden angefafst werden Immer Handschuhe oder einen anderen geeigneten Schutz tragen ANMERKUNG Die Pumpe kann wenn sie ganz einfach der Atmosph re aus gesetzt ist keine Sch den erleiden Sie sollte jedoch bis zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben um Staubver schmutzungen zu vermeiden INSTALLATION A Aufgrund ihres Gewichtes d rfen die Pumpen dieser Baureihe nur mit spezifisch geeigneten Ger ten angehoben und trans portiert werden I ACHTU
71. ec o somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema N o instalar e ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosf ricos chuva gelo neve poeiras gases agressivos em ambientes com possibilidade de explos o ou com elevado risco de inc ndio Durante o funcionamento necess rio que sejam respeitadas as seguintes condi es ambientais press o m xima 2 bar al m da press o atmosf rica temperatura de 5 C a 35 C humidade relativa 0 95 nao condensante Existindo campos magn ticos a bomba deve ser protegida com blindagens adequadas Ver o ap ndice Technical Information para maiores detalhes 87 900 838 01 D Para evitar les es as pessoas nunca colocar por qualquer motivo os dedos ou objectos no bocal de entrada da turbobomba Aconselha se o uso da rede de protecc o opcional Se utilizado um amortecedor de vibrac es ou um respirador met lico flexivel no bocal de entrada fixar sempre a turbobomba a base As bombas turbomoleculares da s rie Turbo V6000 devem ser utilizadas somente com um dos controladores Varian especificos s rie 969 9491 969 9591 e devem ser ligadas a uma bomba primaria ver esquema em Technical Information A turbobomba pode ser instalada em posic o vertical com uma inclina o maxima de 10 em relac o ao eixo vertical A bomba pode apoiar nos seus p s ou ficar suspensa atrav s da flange de entrada Fixar a turbobomba em posic o est
72. een Loppuk ytt j kehotetaan sen vuoksi ottamaan ker ys ja h vitt misprosessia varten yhteytt laitteen toimittajaan olipa se sitten laitteen valmistaja tai j lleenmyyj tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot EN 87 900 838 01 D Ol TO p ropa AN Tou
73. ell kezelni IS FIGYELEM Ne t vol tsa el az ntapad s v d kupakot a turb szivatty nak a rendszerhez val csatlakoztat sa el tt Ne telep tse valamint ne haszn lja a szivatty t atmoszf rikus k zegeknek kitett k rnyezetben es h j g porban agressz v g zokban illetve robban vagy t zvesz lyes k rnyezetben zemeltet s k zben a k vetkez k rnyezeti felt teleket kell biztos tani maxim lis nyom s 2 bar a l gk ri nyom s felett h m rs klet 5 C t l 35 C ig relativ p ratartalom 0 95 nem kondenz l M gneses mez k jelenl t ben a szivatty t v deni kell ferrom gneses pajzs seg ts g vel R szletes inform ci rt l sd M szaki inform ci 87 900 838 01 D A VIGYAZAT A s r l s elker l s re sose tegye be az ujjait vagy valamely t rgyat a turb szivatty bemeneti portj ba A v d erny haszn lata er sen aj nlott v laszthat tartoz k Ha rezg scsillap t t vagy rugalmas f m cs rug kat haszn lnak a bemeneti porton ellen rizze hogy a szivatty r gz tve van e az alaphoz A Turbo V 6000 sorozat szivatty kat csak valamelyik speci lis vez rl vel szabad haszn lni 969 9491 969 9591 sorozat s az els dleges szivatty hoz kell csatlakoztatni l sd M szaki inform ci A turb szivatty t f gg legesen kell fel ll tani legfeljebb 10 lejt ssel A szivatty llhat a tart llv ny n
74. emperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 C In caso di guasto possibile usufruire del servizio di riparazio ne Varian o del Varian advanced exchange service che per mette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di quella guasta NOTA Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o advanced exchange service indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda Sicurezza e Salu te allegata al presente manuale di istruzioni Copia della stes sa deve essere inserita nell imballo della pompa prima della spedizione Qualora una pompa dovesse essere rottamata procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche SMALTIMENTO Significato del logo WEEE presente sulle etichette Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata WEEE Questo simbolo valido solo per i paesi della Comunit Eu ropea indica che il prodotto sul quale applicato NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata Si invita pertanto l utente finale a contattare il fornitore del di spositivo sia esso la casa madre o un rivenditore per avviare il processo di raccolta e smaltimento dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita Ya 87 900 838 01 D GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise
75. en the screws to avoid breakage of the sump NOTE Do not mix oil use only Varian T A oil ACCESSORIES DESCRIPTION PART NUMBER Inlet screen 969 9308 969 9843 Vent valve with fixed delay time 969 9901 969 9902 P1261 337 For a complete overview of Varian s extensive product lines please refer to the Varian catalog Varian T A oil 100 cm Varian T A oil 1000 cm Forepump SD 1400 with 3 ph uni versal motor Vent device with adjustable delay 969 9831 time 87 900 838 01 D a VARIAN SK Reguest for Return NI 9001 AN 1 A Return Authorization Number RAF WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out signed and returned to Varian Customer Service 2 Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations IATA DOT UN 3 The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian a Drain any oils or other liquids b Purge or flush all gasses c Wipe off any excess residues in or on the equipment d Package the equipment to prevent shipping damage for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit 4 Make sure the shipping documents clearly show the RAF and then return the package to the Varian location nearest you North and South America Europe and Middle East Asia and ROW Varian Vacuum Technologies Varian SpA Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Ave Via Flli Va
76. endes til det lokale salgskontoret En kopi av dette arket ma vedlegges pumpen som sendes tilbake Dersom en pumpe skal kasseres ma dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser ELIMINERING Betydelsen av symbolet pa logo WEEE pa etikettene Symbolet nedenunder som finnes er anvendt i henhold til EC direktiv kalt WEEE Dette symbolet som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap viser at produktet som det sitter pa IKKE ma behandles som vanlig hus industriavfall men ma legges i kilde sortering Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen a henvende seg til leverandgren av anordningen som kan v re et firma eller en forhandler som s rger for oppsamling og eliminering etter a ha kontrollert avtal og betingelser i kjgpe kontrakten 87 900 838 01 D KAYTTOOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tassa kaytt ohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea m r kineettist energiaa joka aiheutuu korkeasta py rimisnopeudesta yhdistettyna pumppujen roottorien massaan J rjestelm n vikatilassa esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa pyorimisenergia saattaa vapautua AN BETTE Tassa kayttoohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja kayttajien vahingoittumisen valttamiseksi 28 87 900 838 01 D YLEISI TIETOJA Tama laite on tarkoitettu ammattimaiseen k ytt
77. ens of klemtype het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten worden FLENS KLEMTYPE si ISO 500 Dubbele klem met 12 M16 schroefdraad Enkelvoudige klem mej 12 M16 schroefdraad Als de pomp op haar eigen pootjes staat moeten deze op het steunvlak worden bevestigd met behulp van de M12 schroefdraadgaten in de steunpootjes Deze gaten bevinden zich op een cirkel met diameter van 550 mm 21 6 duim De pomp wordt geleverd met de smeerolie in een aparte verpakking Dus v r gebruik moet hiermee de oliepan gevuld worden Voor gedetailleerde informatie over de te volgen procedure wordt verwezen naar de bijlage Technical Information Zie Technical Information voor installatie van accessoires die als optional verkrijgbaar zijn GEBRUIK Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld Lees aandachtig deze handleiding v r ingebruikname door US ATTENTIE Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar boven de atmsoferische druk bedragen 18 GEBRUIKSAANWIJZINGEN IS ATTENTIE Om schade aan de pomp te voorkomen mag het smeeroliepeil tijdens de werking van de pomp nooit onder het MIN peil zakken US ATTENTIE Vermijd stoten of bruuske verplaatsingen wanneer de turbopomp in werking is De lagers kunne
78. eregnet til professionel anvendelse Brugeren bedes l se denne h ndbog samt enhver yderligere vejledning Varian har leveret inden udstyret tages i brug Varian er ikke ansvarlig hvis vejledningen ikke er n je fulgt eller hvis den kun er delvist fulgt og heller ikke hvis udstyret anvendes forkert af ukvalificeret personale hvis der foretages uautoriserede indgreb p det eller hvis udstyret benyttes p en m de der st r i kontrast til det p g ldende lands s rlige normer Turbo V6000 serien omfatter turbomolekul re pumper til h jvakuum der er i stand til at pumpe alle typer gas og gasforeninger Denne serie er ikke egnet til at pumpe v sker eller faste partikler Pumpeeffekten opn s ved hj lp af en turbine der roterer ved h j hastighed max 14000 omdr min drevet af en h jeffektiv trefaset elektrisk motor Turbo V6000 pumperne er fuldst ndig fri for forurenende stoffer og finder derfor god anvendelse n r der kr ves et rent vakuum I det f lgende gives alle n dvendige oplysninger for operat rens sikkerhed under brug af udstyret For detaljerede oplysninger henvises til den vedlagte Technical Information I denne h ndbog findes f lgende regler N ADVARSEL Advarslerne henkalder operatorens opm rksomhed p et indgreb eller en saerlig handling der kan for rsage alvorlig fare for kv stelser hvis den ikke udf res korrekt IS VIGTIGT Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode der skal overhol
79. ers tta pumpen med en renoverad pump OBSERVERA Innan pumpen l mnas in till tillverkaren f r reparation eller utbyte mot en renoverad enhet m ste h lso och s kerhetsbladet som medf ljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala terf rs ljaren Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen Skrotning av pumpen skall ske enligt g llande lagstiftning BORTSKAFFNING Betydelse av logotypen WEEE pa etiketterna Symbolen som visas nedan har tillampats i enlighet med CD direktivet som har betecknats som WEEE Den har symbolen galler endast i de lander som tillhor den Europeiska Unionen indikerar att produkten pa vilken symbo len har applicerats INTE far skaffas bort tillsammans med vanliga hushalls eller industriavfall men att daremot ett differ entierat uppsamlingssystem maste upprattas Vi rekommenderar darfor att slutanvandaren tar kontakt med leverant ren av anordningen oberoende om det handlar om moderf retaget eller aterf rsaljaren f r att kunna starta upp samlings och bortskaffningsprocessen detta efter lamplig kontroll av kontraktsenliga tidsgranser och f rs ljningsvillkor 87 900 838 01 D BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylaer Pumper Turbomolekyleer pumpene som er beskrevet i den fglgende Bruksanvisningen har et hoyt kinetisk energiniv som skyldes den h ye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor
80. es ap AS VARIAN
81. f a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation The result is increased electrical power consump tion by the motor most of which is dissipated in the rotor Since the rotor is not in contact with the stator the above power can leave the rotor mainly by radia tion and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool This effect is strongly dependant from the inten sity time function and distribution of the magnetic field In general therefore an increase in pump current can be expected If this increase is lower than 50 of the current value drawn by the motor in high vacuum opera tion no particular problem should be expected However if the effect is grater than the case should be carefully reviewed by Varian s specialist As a matter of fact in case of high magnetic fields also important forces might be generated and ap plied to the rotor 59 TECHNICAL INFORMATION PREVENTIVE MAINTENANCE The oil must be changed every six months or whenever the oil becomes opaque or dark brown Change the oil according to the following proce dure 1 Unscrew the screws attaching the oil sump to the pump 2 Lower the sump empty old oil charge 3 Clean the sump thoroughly do not use alcohol and fill it with a new charge of oil 4 Reattach the sump immediately to avoid par ticulate contamination making sure the O ring is cleaned and properly seated Do not over tight
82. f the turbopump The use of the protective screen is strongly advised optional extra If a vibration damper or flexible metallic bellows are used on the inlet port make sure that the pump is fixed to the base The Turbo V 6000 series pumps must only be used with one of the special Varian controllers series 969 9491 969 9591 and must be connected to a primary pump see Technical Information The turbopump must be installed vertically with a maximum slope of 10 The pump can either rest on its support pedestal or it can be suspended from the high vacuum flange Fix the turbopump in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter flange capable of withstanding a torque of 20000 Nm around its axis The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of clamps or claws The following table shows the necessary number of clamps or claws and the relevant fixing torque FLANGE FIXING DEVICE M16 clamps M16 claws When the pump rest on its legs attach them to the bench using the M12 threaded holes in the legs where the rubber feet are installed These holes are located on a 550 mm 21 6 inches diameter For installation of optional Information ISO 500 accessories see Technical USE All the instructions for the correct use of the turbopump are contained in the control unit manual Read the manual carefully before using the pump ES CAUTION Us
83. fur Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfugen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren Uber eine grof e Menge kinetischer Energie Im Falle eines Systemdefekts z B durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch k nnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden ZN GEFAHR Um Sch den am Ger t zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise 4 87 900 838 01 D ALLGEMEINES Dieser Apparat ist f r Fachbetriebe bestimmt Vor Gebrauch sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitge lieferten Zusatzdokumentationen genau lesen Bei Nichtbeach tung auch teilweise der enthaltenen Hinweise unsachgema Rem Gebrauch durch ungeschultes Personal nicht autorisier ten Eingriffen und MiRachtung der einheimischen hier zur Gel tung kommenden Bestimmungen bernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung Bei den Pumpen der Serie Turbo V6000 handelt es sich um Turbomolekularpumpen f r Hoch und Ultrahochvakuuman wendungen zur F rderung von jeder Art von Gasen oder gas haltigen Gemischen nicht jedoch zur F rderung von Fl ssig stoffen oder Festpartikeln Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsdrehturbine max 14000 U Min erreicht die von einem Hochleist
84. grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas kan det handa att rotationsenergin frig rs ZN VARNING For att undvika skador p utrustningen och forhindra att skador orsakas pa operatorer maste installationsinstruktionerna som beskrivs i den har bruksanvisningen foljas noga 22 87 900 838 01 D ALLM N INFORMATION Utrustningen ar avsedd f r yrkesm ssig anvandning Anv ndaren b r l sa denna bruksanvisning samt vrig dokumentation fr n Varian f re anv ndning av utrustningen Varian tar inget ansvar f r skador helt eller delvis till f ljd av sidos ttande av instruktionerna ol mplig anv ndning av person utan tillr cklig kunskap obeh rigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot g llande lokala f reskrifter Pumparna i Turbo V6000 serien r turbomolekylara pumpar f r h ga och mycket h ga vakuumtill mpningar De kan anv ndas f r pumpning av alla typer av gas eller gasf reningar De l mpar sig inte f r pumpning av v tskor eller fasta partiklar Pumpningen astadkoms med hj lp av en h gvarvig turbin max 14000 varv minut som drivs av en trefas h geffektsmotor Inga tillsats mnen anv nds i Turbo V6000 seriens pumpar som darf r passar f r tillampningar som kr ver ett rent vakuum De f ljande avsnitten inneh ller all information som beh vs f r att garantera operat rens s kerhet under anv ndningen Detaljerade uppgifter finns i bilagan Technical inf
85. heck boxes for any materials that equipment was exposed to check all categories that apply Toxic 1 Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive List all toxic or hazardous materials Include product name chemical name and chemical symbol or formula Print Name O O ey td Customer Authorized Signature Print TIE iii ern lara Date sarren des NOTE If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product Do not write below this line Notification RAY Customer ID4 Equipment dy Reguest for Return VARIAN gt lt quest O ENA FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS I Does not start I Noise 1 Vertical Power Rotational Speed Does not spin freely I Vibrations Horizontal Current Inlet Pressure LI Does not reach full speed Leak I Upside down Temp 1 Foreline Pressure LI Mechanical Contact I O
86. humidit relative de 0 95 non condensante e A la premi re utilisation les pompes turbomol culaires doivent toujours tre mises en marche en mode soft Start e Le temps de stockage d une pompe turbomol culaire est de 10 mois a compter de la date d exp dition US ATTENTION En cas de d passement du temps de stockage la pompe doit tre retourn e en usine Pour tout renseignement contacter le repr sentant Varian de zone PR PARATION POUR L INSTALLATION La pompe est fournie dans un emballage de protection sp cial si l on constate des marques de dommages pouvant s tre produits pendant le transport contacter aussit t le bureau de vente local Pendant l op ration d ouverture de l emballage veiller tout particulierement ne pas laisser tomber la pompe et ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration MODE D EMPLOI Ne pas disperser l emballage dans la nature Le mat riel est enti rement recyclable et il est conforme la directive CEE 85 399 en mati re de protection de l environnement US ATTENTION En vue d viter tous probl mes de d gazage ne pas toucher les mains nues les l ments devant tre expos s au vide Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropri e NOTE La pompe ne peut tre endommag e en restant simplement expos e l atmosph re Il est de toute facon conseill de la garder enferm e jusqu au moment de l installation afin d viter
87. ible connection 87 900 838 01 D Connection A HIGH VACUUM FLANGE To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure REMOVE OUTER RING URBO PUMP Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure gt gt A u X PROTECTIVE V EDGE Connection B FORE VACUUM PUMP A flange ISO 100 is available to connect the Tur bopump to the forevacuum pump A hose or vac uum approved pipe can be used If a rigid pipe is used any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bel lows NOTE The Turbo pump is characterised by its high com pression ratio also for oil vapours When using a mechanical oil sealed pump it is advisable to in stall a suitable trap between the turbopump and the fore vacuum pump in order to prevent oil back streaming TECHNICAL INFORMATION Connection C ELECTRICAL The turbopump is connected to the controller through two connectors a 7 pin connector and a 14 pin connector The power is supplied via the 7 pin connector where pins B G and E are the 3 phase supply to the motor pin D for ground connection between pump and controller and pins A and F are not con nected see the following figure All the other signals are connected via the 14 pin connector where pins B K and are connected to the photo
88. icelle solide L effetto pompante ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocit 14000 giri min max mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento Le pompe Turbo V6000 sono totalmente prive di agenti contaminanti e sono quindi adatte per applicazioni che richiedono un vuoto pulito Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni ne cessarie a garantire la sicurezza dell operatore durante l utilizzo dell apparecchiatura Informazioni dettagliate sono fornite nel l appendice Technical information Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni ZN PERICOLO messaggi di pericolo attirano l attenzione dell operatore su una procedura o una pratica specifica che se non eseguita in modo corretto potrebbe provocare gravi lesioni personali US ATTENZIONE messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che se non osservate potrebbero causare danni all apparec chiatura NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo IMMAGAZZINAMENTO Per garantire il massimo livello di funzionalit ed affidabilit delle pompe Turbomolecolari Varian devono essere osservate le seguenti prescrizioni e durante il trasporto lo spostamento e immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti con dizioni ambientali e temperatura da 20 C a 70 C e umidit relativa da 0 a 95 non condensante e il cliente deve sempre avviare l
89. icial de la bomba est por debajo de 50 C En caso de aver a se podr utilizar el servicio de reparaci n Varian o el Varian advanced exchange service que permite obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada NOTA Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparaci n o advanced exchange service es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina de ventas local la ficha de Seguridad y Salud adjunta al presente manual de instrucciones Una copia de la misma se deber introducir en el embalaje de la bomba antes de enviarla En caso de que la bomba se tenga que desguazar hacerlo respetando las normas nacionales espec ficas ELIMINACI N Significado del logotipo WEEE presente en las etiquetas El s mbolo que se indica a continuaci n es aplicado en obser vancia de la directiva CE denominada WEEE Este s mbolo v lido s lo para los pa ses miembros de la Comunidad Europea indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean stos dom sticos o industriales y que por el contrario deber ser sometido a un procedimiento de recogida diferenciada Por lo tanto se invita al usuario final a ponerse en contacto con el proveedor del dispositivo tanto si ste es la casa fabricante o un distribuidor para poder proveer a la recogida y eliminaci n del producto despu s de haber efectuado una verificaci n de los t rminos y con
90. is szivatty kat mindig l gyan kell ind tani amikor a felhaszn l tveszi s el sz r zemelteti Egy turbonukle ris szivattyu rakt rozhat si ideje 10 h nap a sz ll t s datumat l 5 FIGYELEM Ha valamilyen okb l a rakt rozhat si id t tull pik a szivatty t vissza kell vinni a gy rba K rem inform ci rt forduljon a helyi Varian v kuumkereskedelmi s szolg ltat si k pviselethez EL K SZ T S TELEP T SRE A szivattyut k l nleges v d csomagol sban sz ll tj k Ha ez s r l s jeleit mutatja ami sz ll t s k zben felmer lhet forduljon a helyi szolg ltat si irod hoz A szivatty kicsomagol sakor Ugyeljen arra hogy ne ejtse le s ker lje annak b rmilyen hirtelen t s t vagy r zk d s t Ne rtalmatlan tsa a csomagol anyagokat nem megengedett m don Az anyag teljesen jrafeldolgozhat s megfelel az EEC 85 399 es direktivanak HASZNALATI UTASITAS US FIGYELEM G zkivon si probl m k elker l s re ne haszn ljon puszta kezeket v kuumnak kitett komponensek kezel s re Mindig haszn ljon keszty t vagy m s alkalmas v delmet MEGJEGYZ S A k rnyezetnek val norm l kitetts g nem tudja k ros tani a szivatty t M gis aj nlatos z rva tartani a rendszerbe val telepit sig igy megakadalyozva a por ltali szennyez d s b rmely form j t TELEP T S MENI S lya miatt a szivatty t alkalmas mozgat s kezel eszk z kkel k
91. isk 2 bara nad pritiskom atmosfere Temperatura od 5 C od 35 C Relativna vla nost 0 95 brez kondenza V prisotnosti magnetnih polje mora rpalka biti za itena s feromagnetnim itom Za dodatne informacije glejte prilogo Tehni ne informacije 87 900 838 01 D OPOZORILO Da se izognete po kodbam ne potiskajte prstov ali drugi predmetov vhodni priklju ek turbo rpalke Uporaba za ite je mo no priporo ena opcijski dodatek e uporabljate bla ilec vibracij ali flekisibilno kovinsko podlogo se prepri ajte da je rpalka pritrjena na osnovo rpalke serije Turbo V 6000 lahko uporabljate samo s posebnimi Varian upravljalci serije 969 9491 969 9591 ki morajo biti priklju eni na primarno rpalko glej Tehni ne informacije Turbo rpalko morate namestiti navpi no z najve 10 odmikom rpalka je lahko na podpornem nosilcu ali pa jo lahko odstranite iz vakuumske prirobnice Turbo rpalko namestite v stabilem polo aj tako da pove ete vhodno prirobnico turbo rpalke na pritrjeno tevno prirobnico ki lahko prenese navor 20000 Nm okoli svoje osi Turbo rpaklo z dovodno ISO prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko le i e s pomo jo primerne Varian strojne opreme Spodnja tabela prikazuje tevilo potrebnih vijakov in pripadajo i navor PRIROBNICA NAPRAVA ZA NAVOR PRITRJEVANJE ISO 500 M16 pritrjevalci M16 pritrjevalci Ko je rpalka na svojih nogah jih pri
92. itioned unit the Health and Safety sheet attached to this instruction manual must be filled in and sent to the local sales office A copy of the sheet must be inserted in the pump package before shipping If a pump is to be scrapped it must be disposed of in accordance with the specific national standards DISPOSAL Meaning of the WEEE logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE Waste Electrical and Electronic Equipment Directive This symbol valid only in countries of the European Community indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system The end user is therefore invited to contact the supplier of the device whether the Parent Company or a retailer to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale AW N N 87 900 838 01 D DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP The Turbo V6000 pump is available in two models which differ only in the high vacuum flange Model 969 9081 with ISO 500 high vacuum flange Model 969 9082 with 20 internal diameter Wheeler high vacuum flange N Model 969 9082 The Turbo V6000 pump consists of a medium fre quency motor driving a turbine fitted with 12 bladed stages The turbine rotates in an anticlockwise direc tion when viewed from the high va
93. jcem kter se po pat i n m prov en term n a smluvn ch podm nek postar o kompletn likvidaci uveden ho v robku Y EN 87 900 838 01 D N VOD K POU ITIU Bezpe nostn n vod pre Turbomolekul rne v vevy Turbomolekul rne v vevy ak s n sledovne popisovan obsahuj velke mno stvo kinetickej energie v aka vysokej ot avej r chlosti v kombin cii s konkretn m objemom ich rotorov V pr pade syst movej poruchy napr pri kontaktu rotora statora alebo pri zr caniu rotora sa mo e uvolni rota n energia AN VAROVANIE Pokyny k in tal cii uveden vtomto n vode musia by pr sne dodr ovan za elom prevencie zranenia obsluhy 43 87 900 838 01 D V EOBECN INFORM CIE Toto zariadenie je ur en pre profesion lnych pracovn kov Sk r ne za nete zariadenie pou va pre tajte si n vod na pou itie a v etky al ie pokyny spolo nosti Varian Spolo nos Varian nenesie iadnu zodpovednos za ak ko vek udalosti zapr inen postupom ktor nie je vs lade dokonca ani v iasto nom s lade stymito pokynmi zapr inen nespr vnym pou van m zariadenia nepou en mi osobami neopr vnenou pravou zariadenia alebo ak mko vek postupom ktor je v rozpore so pecifick mi tandardmi danej krajiny V veva s rie Turbo V 6000 je turbomolekulov v veva ur en vysok a ultravysok v kuum a m e erpa ak ko vek plyn alebo zmes ply
94. klju ite na mizo s pomo jo M12 lukenj v nogah kjer je name ena guma Luknje se nahajajo v 550 mm 21 6 palcev razmaku Za namestitev opcijski dodatkov glej Tehni ne informacije UPORABA Vsa navodila za pravilno uporabo turbo rpalke se nahajajo v navodilih za kontrolno enoto Pred uporabo rpalke natan no preberite navodila IS POZOR Za prezra evanje rpalke uporabite zrak ali inertni plin brez prahu ali delcev Pritisk na oddu niku mora biti manj i od 2 bara nad pritiskom atmosfere IS POZOR Da bi se izognili po kodbam rpalke se ne smejo nivoji olja za mazanje zni ati pod MIN nivo tekom delovanja rpalke NAVODILA ZA UPORABO IS POZOR Izogibajte se udarcem oscilacijam ali nenadnim premikom rpalke tekom delovanja Nosilci se lahko po kodujejo AN OPOZORILO Pri amp rpanju strupenih vnetljivih ali radioaktivnih plinov sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina Crpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov VZDR EVANJE rpalke serije Turbo V 6000 ne potrebujejo vzdr evanja Kakr no koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje Olje za podmazanje je treba zamenjati vsakih est mesecev ali zmerom ko olje postane prozorno ali temno rjavo Postopek je podrobneje opisan v prilogi 3 Tehni ne informacije AN OPOZORILO Pred za etkom dela na sistemu ga izklju ite iz napetosti pre istite rpalko tako da odprete primerno odprtino po
95. kuja Pakkausta ei tule j tt ymp rist n Pakkausmateriaali on t ysin kierr tett v ja se vastaa EEC 85 399 direktiivi ymp rist n suojelusta HUOMAUTUS Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna On kuitenkin suositeltavaa pit se suljettuna kunnes se kytket n j rjestelm n jotta v ltett isiin sen mahdollinen saastuminen p lylt ASENNUS AN VAARA Ajatellen pumpun painoa t t tulee k sitell ainoastaan siihen tarkoitetulla nosto ja siirtolaitteiston avulla US Huomio Poista tarra ja irrota suojakorkki vasta silloin kun yhdist t turbopumpun j rjestelm n Pumppua ei tule asentaa eik k ytt ymp rist ss miss se joutuu kosketuksiin sateen j n tai lumen p lyn tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa r j hdys tai tulipalovaara K yt n aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ymp rist koskevia ehtoja maksimipaine 2 bar paitsi atmosf rinen paine l mp tila 5 C 35 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v 87 900 838 01 D Ala koskaan aseta sormiasi tai muita esineit turbopumpun sy tt aukon sis n sill ne saattavat ruhjoutua pahasti Suosittelemme pikkuisen suojaverkon k ytt valinnainen mik li sy tt aukossa k ytet n t rin nvaimenninta tai taipuisia metallipalkeita Kiinnit turbopumppu aina jalustaan kiinni Mik li magneettikenttij on l sn
96. l man ikke r re med de bare h nder de dele der vil bliver udsat for vakuum Brug altid handsker eller anden passende beskyttelse BEM RK Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at v re udsat for den atmosf riske luft For at undg forurening fra st v anbefales det dog at pumpen holdes tilpakket indtil den monteres i anl gget MONTERING AN ADVARSEL P grund af pumpens veegt skal den h ndteres ved hjeelp af egnet udstyr til heevning og flytning ES VIGTIGT Etiketten og beskyttelsesdeekslet fjernes f rst i det jeblik turbopumpen tilsluttes anl gget Pumpen m ikke installeres og eller bruges i omgivelser der uds tter den for forvitring regn frost sne st v tsende luftarter og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller stor brandfare F lgende betingelser skal overholdes under driften maksimaltryk 2 bar over atmosf risk tryk temperatur fra 5 C til 35 C relativ fugtighed 0 95 ikke kondenserende 87 900 838 01 D A ADVARSEL For at undg personskader m fingre eller andre genstande aldrig inds ttes i turbopumpens indl bsdysen Det anbefales at anvende beskyttelsesnettet optional S fremt der anvendes en befugter eller en bl seb lg af metal p indl bsdysen skal turbopumpen altid fastg res til basen Hvis der findes magnetfelter m pumpen afskeermes Se bilag Technical Information for yderligere detaljer Turbomolekul rpumpern
97. l sistema para evitar su posible contaminaci n por polvo INSTALACI N A PELIGRO La bomba a causa de su peso ha de manejarse mediante herramientas de levantamiento y desplazamiento espec ficas US ATENCI N Eliminar el adhesivo y quitar el tap n de protecci n s lo en el momento en que se conecte la turbobomba al sistema No instalar ni o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosf ricos lluvia hielo y nieve polvo y gases agresivos en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes presi n m xima 2 bares por encima de la presi n atmosf rica temperatura de 5 C a 35 C humedad relativa 0 95 no condensadora 87 900 838 01 D iPELIGRO Para evitar lesiones a la persona no introducir nunca por ningun motivo los dedos u objetos en la boca de entrada de la turbobomba Se aconseja usar la red de protecci n opcional Si se usa un amortiguador de vibraciones o un fuelle met lico flexible en la boca de entrada fijar siempre la turbobomba a la base Cuando haya campos electromagn ticos la bomba ha de protegerse aplicando pantallas oportunas Para mas detalles v ase el anexo Technical Information Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo V6000 han de utilizarse sdlo con uno de los controladores Varian especificos serie 969 9491 969 9591 y han de conectars
98. l un des contr leurs sp ciaux Varian s rie 969 9491 969 9591 et elles doivent tre connect es a une pompe primaire voir sch ma dans Technical Information La turbopompe doit tre install e en position verticale avec une inclinaison maximale de 10 par rapport a axe vertical La pompe peut rester en appui sur ses pieds ou tre suspendue a l aide de la bride d entr e Fixer la turbopompe dans une posi tion stable en reliant la bride d entr e de la turbopompe a une contre bride fixe pouvant supporter un couple de 20000 Nm autour de son axe La turbopompe a bride d entr e ISO doit tre fix e a la chambre a vide a l aide de colliers doubles ou simples Le tableau suivant d crit le nombre de colliers n ces saires ainsi que le couple de serrage prescrit BRIDE TYPE DE COLLIER EE ISO 500 Collier double file 12 tage M16 Collier simple file 12 tage M16 Au cas o la pompe soit plac e en appui sur ses pieds ces derniers doivent tre ancr s au plan d appui l aide des trous filet s M12 plac s en correspondance des pieds d appui Ces trous sont plac s sur un cercle d un diam tre de 550 mm 21 6 pouces La pompe est livr e avec l huile de lubrification dans un r cipient s par et avant toute utilisation il faut remplir le carter d huile Pour plus de d tails sur cette proc dure se re porter l appendice Technical Information Pour l installation des accessoires en option voir Technical Informatio
99. le y przestrzega nast puj ce warunki otoczenia maksymalne ci nienie 2 bary ponad ci nieniem atmosferycznym temperatura od 5 C do 35 C wzgl dna wilgo 0 95 bez opar 87 900 838 01 D NIEBEZPIECZE STWO Aby unika uszkodze na osobach nigdy nie wolno wprowadza z jakiegokolwiek powodu palc w lub przedmiot w do otworu wej ciowego turbopompy Zaleca si stosowanie siatki zabezpieczaj cej opcjonalne Je eli zostanie zastosowany d awik wibracji lub metalowy gi tki mieszek na otworze wej ciowym nale y zawsze zamocowa turbopomp do podstawy W obecno ci p l elektromagnetycznych pompa musi by odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie W celu szczeg owego zapoznania si z tematem patrz dodatek Informacje Techniczne Pompy turbomolekularne serii Turbo V6000 musz by stosowane tylko i wy cznie z jednym z odpowiednich sterownik w kontroler w Varian serii 969 9491 969 9591 i musz by pod czone do g wnej pompy patrz schemat w dodatku Informacje Techniczne Turbopompa musi by zainstalowana w pozycji pionowej z maksymalnym nachyleniem w stosunku do osi pionowej 10 Pompa mo e by oparta na w asnych podporach lub zawieszona poprzez ko nierz wej ciowy Zamocowa turbopomp w stabilnej pozycji cz c ko nierz wej ciowy turbopompy do ko nierza sta ego wytrzyma ego na obci enie 20000 Nm wok w asnej osi Turbopompa z
100. lekul rnej v vevy je 10 mesiacov odo d a dodania 95 bez ES UPOZORNENIE Ak zak hoko vek d vodu vypr as skladovatelnosti zariadenia vr te v vevu do z vodu v ktorom bola vyroben Inform cie z skate u miestneho zast penia spolo nosti Varian pre predaj a servis PR PRAVA NA IN TAL CIU Zariadenie je dodan v peci lnom ochrannom obale Ak je balenie po koden o sa m e sta napr klad po as prepravy obr tte sa na miestne zast penie spolo nosti Varian Po as vyba ovania syst mu dbajte na to aby zariadenie nespadlo nebolo vystaven n razu alebo prudk mu otrasu alebo vibr ci m Obalov materi l zlikvidujte predp san m sp sobom Materi l je 100 recyklovate n a spi a po iadavky smernice EEC 85 399 44 N VOD K POU ITIU ES UPOZORNENIE Ak chcete pred s probl mom s odply ovan m nechytajte komponenty ktor bud vystaven v kuu hol mi rukami V dy pou vajte rukavice alebo in vhodn ochranu POZN MKA Be n vystavenie okolit m podmienkam nem e v vevu po kodi Napriek tomu je vhodn aby zariadenie zostalo zabalen a do prachom in tal cie kv li prevencii kontamin cie IN TAL CIA N VAROVANIE Kv li jej hmotnosti s v vevou manipulujte s pomocou vhodn ch pom cok a n strojov IS UPOZORNENIE Neodstra ujte lepiacu p sku a ochrann kryt sk r ne pripoj te turbov vevu k syst mu V vev
101. li razloga prese ete ivljenjsko dobo je treba rpalko vrniti v tovarno Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Varian Vacuum PRIPRAVA ZA MONTA O rpalka je dobavljen v posebni za itni embala i e je embala a po kodovana kontaktirajte lokalno prodajno pisarno Pri odpiranju sistema pazite da vam ne pade iz rok oz ga ne stresajte Embala o zavrzite v skladu s pravili Material je mo no v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85 399 NAVODILA ZA UPORABO IS POZOR Komponent ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z golimi rokami saj boste tako prepre ili probleme pu anja Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno za ito OPOMBA Normalna izpostavljenost na okolje ne more po kodovati rpalke Kljub temu je priporo ljivo da je enota zaprta dokler je ne namestite v sistem S tem boste prepre ili onesna enje s prahom MONTA A AN OPOZORILO Zaradi te e je treba za rokovanje s rpalko uporabiti primerne naprave za premikanje IS POZOR Lepljiv in za itni pokrov ne odstranjujte dokler ne pove ete turbo rpalko na sistem Napravo name ajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne name ajte v okolju ki je izpostavljeno na atmosferske agente de sneg led prah agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost po ara Tekom delovanja je treba spo otvati naslednje pogoje Maksimalen prit
102. llbeh rsutrustning beskrivs i Technical Information ANVANDNING Anvisningar f r riktig anvandning av turbopumpen finns i styrenhetens bruksanvisning Las bruksanvisningen noga innan du startar pumpen IS VIKTIGT Anvand luft eller adelgas fri fran damm och partiklar for avluftning av pumpen Trycket vid inloppet far vara h gst 2 bar ver atmosfariskt tryck 24 BRUKSANVISNING IS VIKTIGT For att forebygga skador pa pumpen far oljenivan aldrig sjunka under MIN market under pumpens drift US VIKTIGT Undvik st tar eller pl tsliga r relser av pumpen under drift annat fall kan lagren skadas VARNING Da pumpen anv nds f r pumpning av giftiga l ttant ndliga eller radioaktiva typ b r man f lja de sarskilda anvisningarna f r varje enskild gas Anv nd ej pumpen i n rheten av explosiva gaser UNDERH LL Pumparna i Turbo V6000 serien r underh llsfria Allt servicearbete maste utf ras av auktoriserad personal Sm rjoljan ska bytas ut var 6 e m nad eller sa snart den blir matt eller m rk Se s rskilda anvisningar i Technical Information VARNING Innan n got arbete utf rs p turbopumpen m ste pumpens str mf rs rjning brytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen 6ppnas V nta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur r lagre an 50 C Om pumpen havererar kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice som kan
103. m Pumpengeh use unter 50 C abgesunken ist Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der Varian Ad vanced Exchange Service in Anspruch genommen werden der Ihnen als Austausch f r die besch digte Pumpe eine general ber holte Pumpe der gleichen Bauart zur Verf gung stellen wird ANMERKUNG Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa Varian mu das Formular Sicherheit und Gesundheit das diesem Hand buch beiliegt ausgef llt an die Fa Varian geschickt werden Eine Kopie dieses Formulars mu den Frachtpapieren beige legt werden Eine eventuelle Verschrottung mu unter Einhaltung der einschl gigen landes blichen Vorschriften erfolgen ENTSORGUNG Bedeutung des WEEE Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol ist in bereinstimmung mit der EU Richtlinie WEEE Waste Electrical and Electronic Equipment angebracht Dieses Symbol nur in den EU L ndern g ltig zeigt an dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmull entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugef hrt werden muss Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Ger ts d h die Muttergesellschaft oder den Wiederverk ufer kontak tieren um den Entsorgungsprozess zu starten nachdem er die Verkaufsbedingungen gepr ft hat 87 900 838 01 D MODE D EMPLOI Normes de s curit pour Pompe Turbomol culaires Les pompes Turbomol culaires d crites dans le Manuel d Instructions suivant
104. n UTILISATION Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la turbopompe sont contenues dans la notice de l unit de contr le Il est conseill de lire attentivement cette notice avant d utiliser la pompe US ATTENTION Pour le refoulement de l air de la pompe utiliser de l air ou du gaz inerte exempt de poussi re ou de particules La pression d entr e travers la porte pr vue cet effet doit tre inf rieure 2 bar au del de la pression atmosph rique MODE D EMPLOI IS ATTENTION Pour viter tout dommage la pompe pendant son fonction nement le niveau de l huile de lubrification ne doit jamais des cendre en dessous du niveau MIN ES ATTENTION viter tous chocs ou d placements brusques de la turbopompe lors qu elle est en marche Cela pourrait endommager les coussinets EXT Lorsque la pompe est utilis e pour le pompage de gaz toxi ques inflammables ou radioactifs suivre les proc dures typi ques de chaque gaz Ne pas utiliser la pompe en pr sence de gaz explosifs ENTRETIEN Les pompes de la s rie Turbo V6000 n exigent aucun autre entretien Toute op ration doit tre effectu e par un personnel agr Lhuile de lubrification doit tre chang e tous les six mois ou lorsgu elle devient opague ou de couleur fonc e Consulter Technical Information pour la proc dure a suivre A EXT Avant de proc der a toute op ration sur la turbopompe d
105. n v v vy d vejte pozor aby nespadla a chra te ji p ed v emi nenad l mi n razy ot esy nebo vibracemi Balic materi l nelikvidujte nedovolen m zp sobem Tento materi l Ize 100 recyklovat a spl uje po adavky sm rnice EEC 85 399 P RU KA K POU IT US VAROV N Aby se zamezilo probl m m s odply ov n m nepou vejte hol ruce p i manipulaci s komponenty kter budou vystaveny vakuu V dy pou vejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu POZN MKA V norm ln m prost ed se tato v v va nem e po kodit Presto doporu ujeme abyste ji nechali zakrytou dokud nebude nainstalov na do syst mu a t m se ochr nila p ed jak mkoli zne i t n m a prachem INSTALACE A VYSTRAHA Kv li sv hmotnosti je t eba p i manipulaci s vyv vou pou vat odpov daj c n stroje a n ad IS VAROV N P ed p ipojen m turbomolekularni vyv vy do syst mu nesund vejte adhezn a ochrann v ko V v vu neinstalujte v prost ed kter je vystaveno atmosf rick m vliv m d sn h led prachu agresivn m plyn m ve v bu n m prost ed nebo v prost ed s vysok m nebezpe m po ru Za provozu je t eba dodr ovat n sleduj c podm nky dan prost ed m maxim ln tlak 2 bary nad atmosf rick m tlakem teplota od 5 C do 35 C relativn vlhkost 0 95 bez sr en V p tomnosti magnetick ch pol se v v
106. n hier namelijk schade door oplopen GEVAAR Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare giftige of radioactieve gassen moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen ONDERHOUD De pompen van de serie Turbo V6000 zijn onderhoudsvrij Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd De smeerolie moet elke zes maanden ververst worden of wanneer hij ondoorzichtig of donker van kleur wordt Zie Technical Information voor de betreffende procedure A GEVAAR Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren de stekker verwijderen de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 C is gezakt In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Varian of de Varian advanced exchange service in te schakelen zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp OPMERKING Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen moet de bij deze handleiding gevoegde kaart Veiligheid en Gezondheid volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd Een kopie van deze kaart moet v r versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd Mocht de pomp gesloopt worden ga dan overeenkomstig de
107. ncuentran en el manual de la unidad de control Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla US ATENCI N Para enviar aire a la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo ni part culas La presi n de entrada a trav s de la puerta espec fica deber ser inferior a 2 bar por encima de la presi n atmosf rica INSTRUCCIONES DE USO ES ATENCI N Para evitar da os a la bomba el nivel del aceite de lubricaci n no ha de descender nunca por debajo del nivel MIN durante el funcionamiento de la misma US ATENCI N Evitar golpes o desplazamientos bruscos de la turbobomba cuando est en marcha Los rodamientos podr an da arse A MGH Cuando la bomba se utiliza para bombear gases t xicos inflamables o radioactivos seguir los procedimientos apropiados t picos de cualquier gas No usar la bomba cuando haya gases explosivos MANTENIMIENTO Las bombas de la serie Turbo V6000 no necesitan ning n mantenimiento Cualquier intervenci n deber ser realizada por personal autorizado El aceite de lubricaci n ha de cambiarse cada seis meses o cuando se vuelve opaco o de color oscuro V ase Technical Information para el procedimiento correspondiente N FEE Antes de realizar cualquier intervenci n en la turbobomba desempalmar el conector de alimentaci n enviar aire a la bomba abriendo la v lvula espec fica y esperar hasta que el rotor se pare completamente y a que la temperatura superf
108. nov Nie je vhodn na vy erp vanie tekut n alebo pevn ch ast Vy erp vanie zabezpe uje ve mi r chla turb na max 14 000 ot ok min tu poh an vysokov konn m 3 f zov m elektrick m motorom V vevy Turbo V 6000 neobsahuje iadne kontamina n inidl a preto sa hod pre aplik cie vy aduj ce ist v kuum Nasleduj ce asti obsahuj v etky potrebn inform cie ktor zaru uj bezpe nos pracovn ka vpriebehu pr ce so zariaden m Podrobn inform cie sa nach dzaj v dodatku Technick inform cie N vod na pou itie obsahuje tieto tandardn ozna enia AN VAROVANIE Varovania maj s stredi pozornos pracovn ka na ur it postup alebo innos nespr vne vykonanie ktor ch m e sp sobi v ne zranenie IS UPOZORNENIE Upozornenia ozna uj postupy nedodr anie ktor ch m e sp sobi po kodenie zariadenia POZN MKA Pozn mky upozor uj na d le it inform cie z textu UCHOV VANIE Ak chcete aby turbomolekul rne v vevy zna ky Varian pod vali maxim lny a spo ahliv v kon dodr iavajte nasleduj ce pokyny neprekra ujte nasledujuce pecifik cie prostredia po as prevozu pren ania a uchov vania v vev rozsah tepl t 20 C a 70 C rozsah relat vnej vlhkosti O az kondenz cie e z kazn k mus pri prvom spusten turbo v vevy v dy pou i re im soft tartu skladovate nos turbomo
109. o deve essere maneggiata tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento US ATTENZIONE Staccare adesivo e togliere il tappo di protezione solo al mo mento del collegamento della turbopompa al sistema Non installare e o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici pioggia gelo neve polveri gas aggressivi in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio Durante il funzionamento necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali pressione massima 2 bar oltre la pressione atmosferica temperatura da 5 C a 35 C umidit relativa 0 95 non condensante 87 900 838 01 D ZN PERICOLO Per evitare lesioni alla persona non inserire mai per alcun motivo le dita oppure oggetti nella bocca d ingresso della turbopompa Si consiglia uso della retina di protezione opzionale Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazio ni oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca d ingresso fissare sempre la turbopompa alla base In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi Vedere l appendice Techni cal Information per ulteriori dettagli Le pompe turbomolecolari della serie Turbo V6000 devono essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian serie 969 9491 969 9591 e devono essere collegate ad una pompa primaria vedere schema in Technical Information La turbop
110. o contenute nel manuale dell unit di controllo Leggere attentamente tale manuale prima dell utilizzo IS ATTENZIONE Per la mandata all aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle La pressione di ingresso attra verso l apposita porta deve essere inferiore a 2 bar oltre la pressione atmosferica ISTRUZIONI PER L USO IS ATTENZIONE Per evitare danni alla pompa il livello dell olio di lubrificazione non deve mai scendere al di sotto del livello MIN durante il funzionamento della pompa stessa ES ATTENZIONE Evitare urti o bruschi spostamenti della turbopompa quando in funzione cuscinetti potrebbero danneggiarsi A PERICOLO Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos sici infiammabili o radioattivi seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi MANUTENZIONE Le pompe della serie Turbo V6000 non richiedono alcuna ma nutenzione Qualsiasi intervento deve essere eseguito da per sonale autorizzato L olio di lubrificazione deve essere cambiato ogni sei mesi o quando diventa opaco o di colore scuro Vedere Technical Information per la relativa procedura ZN PERICOLO Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa scol legare il connettore di alimentazione mandare all aria la pompa aprendo l apposita valvola attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la t
111. o local de vendas a ficha Seguranca e Sa de anexa ao presente manual de instrug es A copia da mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da expedic o Caso uma bomba deva ser destru da proceder a sua elimi nac o respeitando as normas nacionais especificas ELIMINAC O Significado do log tipo WEEE presente nos r tulos O s mbolo abaixo indicado aplicado de acordo com a directi va CE denominada WEEE Este s mbolo v lido apenas para os pa ses da Comunidade Europeia indica gue o produto no gual est aplicado N O deve ser eliminado juntamente com os residuos dom sticos ou industriais comuns mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada Portanto convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo seja este o fabricante ou um revendedor para encaminhar o processo de recolha e eliminac o ap s a opor tuna verificac o dos termos e condic es do contrato de venda 87 900 838 01 D GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren In geval van een defect van het systeem bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt kan de rotatie energie vrijkomen AN GEVAAR Om schade aan de apparatuur en
112. o przestrzega zalecenia dotycz ce instalacji opisane w niniejszej instrukcji obs ugi 37 87 900 838 01 D OG LNE INFORMACJE Ta aparatura jest przeznaczona do u ytku zawodowego U ytkownik musi przeczyta bardzo uwa nie niniejsz instrukcj ka d dodatkow informacj dostarczon przez firm Varian przed u ytkowaniem aparatury Firma Varian uchyla si od jakiejkolwiek odpowiedzialno ci w przypadku cz ciowego lub ca kowitego braku przestrzegania instrukcji w przypadku niew a ciwego u ytkowania przez nieprzeszkolony personel w przypadku nieupowa nionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich norm krajowych Pompy serii Turbo V6000 s pompami turbomolekularnymi dla zastosowania wysokich i ultra wysokich pr ni kt re s w stanie pompowa ka dy typ gazu lub mieszanki gazowej Nie nadaj si do pompowania p yn w lub sta ych cz stek Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotow turbin o wysokiej pr dko ci max 14000 obr min nap dzan przez elektryczny silnik tr jfazowy o wysokiej wydajno ci Pompy Turbo V6000 s ca kowicie bez czynnik w zanieczyszczaj cych i dlatego te s odpowiednie do zastosowa gdzie jest wymagana tzw czysta pr nia W nast pnych paragrafach zosta y przedstawione wszystkie potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpiecze stwa operatora podczas u ytkowania aparatury Szczeg owe informacje zosta y przedstawione w dodatku dot
113. ompa deve essere installata in posizione verticale con una inclinazione massima rispetto all asse verticale di 10 La pompa pu rimanere poggiata sui suoi piedi o essere so spesa tramite la flangia di ingresso Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 20000 Nm attorno al proprio asse La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti singoli La seguente tabella descrive il numero di morsetti ne cessari e con quale coppia di serraggio stringerli FLANGIA TIPO DI MORSETTO COPPIA DI SERRAGGIO ISO 500 Morsetto doppio 12 80 Nm con filettatura M16 Morsetto singolo 12 80 Nm con filettatura M16 Nel caso in cui la pompa poggi sui suoi piedi questi ultimi van no fissati al piano di appoggio utilizzando i fori filettati M12 posti in corrispondenza dei piedi di appoggio Questi fori sono posti su di un cerchio con diametro 550 mm 21 6 pollici La pompa viene inviata con l olio di lubrificazione in un conteni tore separato per cui prima dell uso occorre riempire la coppa dell olio Per informazioni dettagliate sulla procedura da seguire vedere appendice Technical Information Per l installazione degli accessori opzionali vedere Technical Information USO Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopom pa son
114. on the forevacuum region allows to measure the rotational speed of the pump and its value is displayed on the controller upon selection The oil is centrifugally pumped from the conical nose of the shaft into the pump and is ejected above the upper and lower bearings As it falls it lu bricates and cools the bearings finally draining back to the transparent oil sump where any particu lates are filtered by the small metering hole in the sump An oil level sensor is located into the oil sump to monitor the oil level and if it decreases below the minimum level the pump is stopped automatically Temperature sensors rotational speed photode tector and oil level sensor are wired to a 14 pins socket located on the bottom side of the pump The pump is balanced after assembly with a resid ual vibration amplitude less than 0 05 um The pump must be mounted vertically with a maximum allowable slope of 10 It can be sus pended by inlet flange or rest upon its support legs The connection of the forevacuum on the side of the pump is an ISO 100 flange uu NA yk VN Hz N ja i p N 87 900 838 01 D TECHNICAL SPECIFICATION Pumping speed Compression ratio Base pressure Inlet flange forepump Operating ambient temperature Na 6000 l s He 7000 l s Hz 6500 l s No gt 1 x 10 He 2 x 10 Ha 7 x 10 5 x 10 mbar 4 x 10 Torr ISO 500 20 I D Wheeler ISO 100 KF 10
115. ormasjon for detaljer Turbo V6000 serien turbo molekulaere pumper ma kun brukes med en av de spesielle Varian kontrollere serie 969 9491 969 9591 og ma koples til hovedpumpen se skjema i Teknisk informasjon Turbopumpen skal monteres i vertikal stilling med en helning p maks 10 i forhold til den vertikale aksen Pumpen kan plasseres pa fottene eller opphenges i inngangsflensen Fest turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en koplingsflens med et dreiemoment p 20000 Nm rundt aksen Turbopumpene med ISO innlopsflens skal festes til vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer F lgende tabell angir det n dvendige antall klemmer og det relevante strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene og typer klemmer FLENS TYPE KLEMME ANT ISO 500 Dobbel klemme 12 gjenge M16 Enkel klemme 12 gjenge M16 Dersom pumpen plasseres pa fettene ma de festes til stotteflaten ved bruk av M12 hullene ved fottene Disse hullene er plassert i en sirkel med en diameter pa 550 mm 21 6 tommer Pumpen leveres med smgreolje i en separat beholder Det er derfor nedvendig a fylle oljesumpen for bruk Se den spesifikke prosedyren i Teknisk informasjon For installasjon av tilleggsutstyr vises det til Teknisk informasjon BRUK Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i kontrollenhetens manual Les n ye gjennom denne manualen f r pumpen tas i bruk ES FORSIKTIG Bruk st v og p
116. ormation I bruksanvisningen anv nds f ljande standardrubriker VARNING Varningsmeddelandena informerar operat ren om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete m ste utf ras exakt enligt anvisningarna annat fall finns risk f r sv ra personskador IS VIKTIGT Detta varningsmeddelande visas framf r procedurer som m ste f ljas exakt f r att inte risk f r maskinskada skall uppst OBSERVERA Detta visar p viktig information i texten FORVARING Respektera f ljande anvisningar f r att garantera optimal pre standa och driftsakerhet for Varian turbomolekylara pumpar e Vid transport flytt och lagring av pumparna ska f ljande omgivningsf rh llanden respekteras e Temperaturomr de 20 C till 70 C e Relativ fuktighet O till 95 utan kondens e Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylara pumparna nar de mottas och s tts i drift for forsta gangen e De turbomolekylara pumparna kan lagras i 10 manader fran leveransdatumet US VIKTIGT Om lagringstiden av nagon anledning ar l ngre m ste pumpen skickas tillbaka till fabriken Var god och kontakta den lokala Varian terf rs ljaren f r ytterligare information FORBEREDELSER FOR INSTALLATIONEN Pumpen levereras i ett s rskilt skyddande emballage Kontakta det lokala f rs ljningskontoret om emballaget visar tecken p skador som kan ha uppstatt under transporten Se till att pumpen inte tappas eller uts tts f r st
117. pomoc otvor se z vity M12 kter jsou pod gumov mi no kami Tyto otvory se nach zej na kru nici o pr m ru 550 mm 21 6 palc Chcete li informace o dopl kov m p slu enstv viz Technick informace POU IT V echny pokyny ke spr vn mu pou v n turbov v vy jsou uvedeny v manu lu pro ovl dac jednotku P ed pou it m v v vy si pe liv prostudujte tento n vod IS VAROV N Pro odplyn n v v vy pou vejte vzduch nebo inertn plyn kter je zbaven prachu a sm tek Tlak p i odv tr vac m otvoru mus b t men ne 2 bary nad atmosf rick m tlakem IS VAROV N Aby nedo lo za chodu k po kozen v v vy nesm hladina mazac ho oleje nikdy klesnout pod MINim ln rove P RU KA K POU IT US VAROV N B hem chodu chra te v v vu p ed n razy vibracemi a prudk mi pohyby Mohly by se po kodit lo iska A V STRAHA Pokud pou v te v v vu pro erp n toxick ch ho lav ch nebo radioaktivn ch plyn dodr ujte pros m po adovan postupy pro likvidaci ka d ho plynu V v vu nepou vejte v p tomnosti v bu n ch plyn UDRZBA V v va ady Turbo V 6000 nevy aduje dnou dr bu Ve ker pr ce na tomto za zen mus prov d t opr vn n osoby Mazac olej se mus m nit jednou za est m s c nebo v dy kdy se olej zne ist nebo ztmavne P slu n postup je podrobn uveden v p loz
118. r maximalen Nei gung von 10 zur vertikalen Achse installiert werden Dabei kann die Pumpe auf ihren StandfiRen ruhend installiert oder ber den Flansch am Pumpeneingang in schwebender Position ange schlossen werden Installieren Sie die Turbopumpe in einer stabi len Position indem Sie den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch anschlieRen der ein Drehmoment von 20000 Nm um die eigene Achse aush lt Turbopumpen mit einem ISO Eingangsflansch m ssen mittels doppelten oder einfa chen Klemmschellen an die Vakuumkammer angeschlossen wer den In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl der Klemm schellen und der Anzugsmoment f r die jeweiligen Flanschgr en und Klemmenarten angegeben FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZUGS MOMENT ISO 500 Doppelklemme mit M 12 80 Nm 16 Gewinde Einzelschelle mit M 12 80 Nm 16 Gewinde Wenn die Pumpen auf ihren Standf en ruhend installiert werden sollen m ssen in diese ber die daf r vorgesehenen M12 Gewindebohrungen angeschlossen werden Diese Bohrungen sind auf einem Kreis mit einem Durchmesser von 550 mm 21 6 Zoll angebracht Die Pumpen werden mit in einem separaten Beh lter befindlichen Schmier l ausgeliefert das vor Inbetriebset zung der Pumpe in die Olwanne gegeben werden mu Weitere Angaben zur Installation finden Sie im Anhang Technical Informa tion Installation Sonderzubeh r siehe Technical Information ANWENDUNG S mtliche Hinweise f r den korrekten
119. rian 54 Local Office Lexington MA 02421 10040 Leini TO ITALY Phone 1 781 8617200 Phone 39 011 9979111 Fax 1 781 8609252 Fax 39 011 9979330 CUSTOMER INFORMATION Company name netart daer dente den SA r age Sate deena ea nels oti ia Contact person Name anne esta Tel p OO X A EE A EVA EE a Ship Method Shipping Collect 8 or c m RD Europe only VAT reg Number USA only Taxable Non taxable Customer Ship To Customer Bill To PRODUCT IDENTIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box A Paid Exchange 1 Paid Repair I Warranty Exchange Warranty Repair LI Loaner Return Credit Shipping Error Evaluation Return Calibration Other eei HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem The equipment listed above check one LI HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials OR I HAS been exposed to any toxic or hazardous materials In case of this selection c
120. rnicu E s n zvom WEEE Tento symbol platn iba pre t ty Eur pskej nie znamen e v robok s t mto t tkom NESMIE by odstr nen spolu s be n m dom cim alebo priemyseln m odpadom ale sa mus odstr ni ako delen odpad Vyz vame preto kone n ho u vate a aby sa skontaktoval s dod vate om pr stroja i u je to v robca alebo predajca za elom jeho likvid cie pod a zmluvn ch podmienok predaja 87 900 838 01 D NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila za Turbomolekularne rpalke Turbomolekularne rpalke opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko koli ino kineti ne energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifi nimi masami rotorjev V primeru nepravilnega delovanje sistema na primer pri dotiku rotorja statorja ali po kodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija A OPOZORILO Da bi se izognili po kodbam opreme in prepre ili po kodbe osebja morate natan no slediti navodilom za name anje iz tega priro nika 46 87 900 838 01 D SPLO NE INFORMACIJE Oprema je namenjena za profesionalno uporabo Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije ki mu jih je posredoval Varian Varian ni odgovoren za dogodke ki bi nastali zaradi neupo tevanja teh navodil nepravilne uporabe in nepoobla enega poseganja v opremo ali kakr nega koli dejanja ki niso v skladu s standardi rpalka Turbo V 6000 je turbomolekularna
121. rvice nale y obowi zkowo wype ni i przekaza do miejscowego biura sprzeda y kart Bezpiecze stwo i Zdrowie za czon do niniejszej instrukcji Jeden egzemplarz kopia karty musi by w o ony do opakowania pompy przed jego wysy k Je eli pompa musi by poddana rozbi rce nale y przyst pi do jej eliminacji zgodnie z obowi zuj cymi krajowymi normami w meritum sprawy PRZETWORSTWO ODPADOW Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo WEEE Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia WEEE Unii Europejskiej Symbol ten prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej oznacza ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu PA EN 87 900 838 01 D P RU KA K POU IT Bezpe nostn n vod pro Turbomolekul rn v v vy Turbomolekul rn v v vy jak jsou popisov ny v n sleduj c m n vodu obsahuj velk mno stv kinetick energie d ky vysok ot iv rychlosti v kombinaci s konkr tn m objemem jejich rotor V p pad syst mov nefuk nosti nap kontak
122. specifieke nationale wetgeving te werk AFVALVERWERKING Betekenis van het logo WEEE op de etiketten Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeen stemming met de EG richtlijn WEEE Dit symbool alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap geeft aan dat het product waarop het is aangebracht NIET mag worden afgevoerd samen met mor maal huisvuil of industrieel afval maar gescheiden moet worden ingezameld De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met de leverancier van het apparaat zij het de fabrikant of een wederverkoper om het proces van gescheiden inzameling en verwerking in gang te zetten na de van toepassing zijnde ter men en voorwaarden van het verkoopcontract te hebben ge controleerd 87 900 838 01 D BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger for Molekylaere turbopumper De molekyl re turbopumper der er beskrevet i n rv rende brugsanvisning har en stor kinetisk energi der skyldes den heje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke v gt Hvis der er en fejl i systemet for eksempel p grund af en kontakt mellem rotor og stator eller fordi rotoren g r i stykker kan omdrejningsenergien spredes AN FOIE For at undg materielle skader samt at operat rerne kommer til skade er det strengt n dvendigt n je at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning 19 87 900 838 01 D GENEREL INFORMATION Dette materiel er b
123. t Do not dispose of the packing materials in an unauthorised manner The material is 100 recyclable and complies with EEC Directive 85 399 INSTRUCTIONS FOR USE US CAUTION In order to prevent outgassing problems do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum Always use gloves or other appropriate protection NOTE Normal exposure to the environment cannot damage the pump Nevertheless it is advisable to keep it closed until it is installed in the system thus preventing any form of pollution by dust INSTALLATION mne Cause its weight the pump must be handled by means of suitable moving and handling tools ES CAUTION Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump to the system Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents rain snow ice dust aggressive gases or in explosive environments or those with a high fire risk During operation the following environmental conditions must be respected maximum pressure 2 bar above atmospheric pressure temperature from 5 C to 35 C relative humidity 0 95 non condensing In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield See the appendix Technical Information for detailed information 87 900 838 01 D To avoid injury never put fingers or any objects whatsoever in the inlet port o
124. t transport veroorzaakt zou kunnen zijn meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of stoten te verduren krijgt Laat de verpakking niet ergens buiten achter Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85 399 17 GEBRUIKSAANWIJZINGEN US ATTENTIE Om ontgassingsproblemen te voorkomen mogen de componenten die met het vacu m in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming OPMERKING De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen INSTALLATIE GEVAAR De pomp moet in verband met haar gewicht met speciale hef en transportwerktuigen worden verplaatst US ATTENTIE Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden De pomp mag niet geinstalleerd en of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden regen vorst sneeuw stof agressieve gassen of in ruimten met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn max druk 2 bar
125. ter le fournisseur du dispositif maison m re ou revendeur pour mettre en ceuvre le processus de collecte et mise au rebut N VA 87 900 838 01 D INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energia cin tica debido a la alta velocidad de rotaci n en combinaci n a la masa especifica de sus rotores En el caso de un da o del sistema por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor la energia de rotaci n podria ser liberada A EEE Para evitar da os a los equipos y prevenir lesiones a los operadores es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalaci n descritas en el presente manual 10 87 900 838 01 D INFORMACI N GENERAL Este equipo es para uso profesional El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra informaci n suplementaria facilitada por Varian antes de usar el aparato Varian se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones al uso impropio por parte de personal no preparado a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales espec ficas Las bombas de la serie Turbo V6000 son bombas turbomoleculares para aplicaciones de alto y ultra alto vac o capaces de bombear cualquier tipo
126. tilfelle feil ved systemet for eksempel p grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd p rotoren kan roteringsenergien bli frigitt A ADVARSEL For unng skader p utsyret og forebygge operat rskader m installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen f lges n ye 25 87 900 838 01 D GENERELL INFORMASJON Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere Brukeren ber lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Varian for utstyret tas i bruk Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer pa grunn av manglende oppfglging av disse instruksjonene selv delvis feilaktig bruk av utrent personell ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som pa noen mate er i strid med nasjonale bestemmelser Turbo V6000 serien med pumper er turbo molekul re pumper for bruk i hoy eller ultrahgye vakuumanlegg og kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening De er ikke beregnet for a pumpe veesker eller faste partikler Pumpingen oppnas med en hgyhastighetsturbin maks 14000 opm koplet til en trefaset elektrisk motor Turbo V6000 pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for rene vakuum De f lgende avsnitt inneholder all informasjon som er n dvendig for a sikre brukeren n r utstyret er i bruk For mer detaljert bruk vises det til tillegget Teknisk informasjon Denne manualen bruker f lgende standardprotokoll ZN ADV
127. tu rotoru anebo statoru nebo p i zhroucen rotoru m e doj t k uvoln n rota n energie ZN V STRAHA Pokyny k instalaci uveden v tomto n vodu mus b t p sn dodr ov ny za elem prevence zran n obsluhy 40 87 900 838 01 D V EOBECN INFORMACE Toto za zen je ur eno pro odborn ky U ivatel by si m l p ed pou it m za zen p e st tento n vod a v echny dal informace dodan firmou Varian Firma Varian neodpov d za jak koli nehody kter vzniknou n sledkem i ste n ho nedodr en t chto pokyn nespr vn m pou v n m neznal mi osobami neopr vn n m z sahem do za zen nebo jakoukoli innost kter je v rozporu s pokyny uveden mi v p slu n ch st tn ch norm ch Za zen ady Turbo V 6000 jsou turbomolekul rn v v vy pro aplikace s vysok m a velmi vysok m vakuem a mohou od erp vat jak koli druh plynu nebo sm si plyn Nejsou vhodn na erp n tekutin nebo pevn ch stic erp n zaji uje velmi rychl turb na max 14000 ot min poh n n vysoce v konn m trojf zov m elektromotorem V v vy Turbo V 6000 neobsahuj dn kontaminuj c l tky a proto se hod pro aplikace vy aduj c ist vakuum N sleduj c odstavce obsahuj informace pot ebn k zaji t n bezpe nosti obsluhy p i pou v n tohoto za zen Podrobn informace jsou uvedeny v p loze Technick informace Tento manu l
128. u nein talujte ani nepou vajte v prostred vystavenom vonkaj m vplyvom d sneh l ad prach koroz vne plyny ani vo v bu n ch prostrediach alebo tam kde existuje vysok riziko po iaru Po as innosti zariadenia je potrebn zabezpe i tieto vlastnosti prostredia maxim lny pretlak 2 bary nad rov ou atmosf rick ho tlaku teplota od 5 C do 35 C relativna vlhkos 0 95 bez kondenz cie V pr tomnosti magnetick ho po a mus by v veva chr nen feromagnetick m t tom Podrobn inform cie sa nach dzaj v dodatku Technick inform cie 87 900 838 01 D VAROVANIE Aby ste predi li zraneniu nikdy ned vajte ani prsty ani ak kolvek in predmety do vstupn ho otvoru v vevy Ve mi odpor ame pou va ochrann kryt doplnkov pr slu enstvo Ak na vstupnom otvore pou ije tlmi vibr ci alebo pru n kovov vlnovec uistite sa e je pevne pripojen z kladn doska v vevy V vevy s rie Turbo V 6000 musia by prev dzkovan len s jedn m z peci lnych kontroln ch modulov Varian s ria 969 9491 969 9591 a musia by pripojen na prim rny v vevu pozri Technick inform cie Turbov veva mus by in talovan do zvislej maxim lnou odch lkou 10 V veva m e st na svojom stojane alebo ju mo no zavesi za pr rubu vysok ho v kua Upevnite turbov vevu do stabilnej polohy pripojen m vstupnej pr
129. un mukana toimitetaan erillinen voitelu ljy sis lt v astia T yt ljypohja ennen laitteen k ytt nottoa T m toimenpide on kuvailtu yksityiskohtaisesti kappaleessa Technical Information Lis laitteiden asennuksen ohjeet ovat n ht viss Technical Information osassa K YTT Turbopumpun oikeaoppiseen l ytyv t valvojan k sikirjasta Lukekaa huolellisesti kyseinen k sikirja ennen k ytt nottoa k ytt n tarvittavat ohjeet IS Huomio P stett ess pumppuun ilmaa tulee k ytt jalokaasua joissa ei ole p ly tai hiukkasia Sis njohtavan paineen siihen sopivan aukon l pi t ytyy olla alle 2 bar ia paitsi atmosf rinen paine ilmaa tai 30 K YTT OHJEET ES Huomio Pumpun voitelu ljyn tason ei tule koskaan laskea MIN tason alapuolelle sen toiminnan aikana sill muussa tapauksessa ljyn puute voi aiheuttaa pumpun vahingoittumisen I Huomio V ltt k turbopumppuun kohdistuvia iskuja tai sen kkin ist liikuttamista sen ollessa k ynniss Laakerit voivat vahingoittua VAARA Jolloin pumppua k ytet n myrkyllisten tulenvaarallisten ja radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka kaasuun sopivaa menettelytapaa lk k yt pumppua r j hdysherkkien kaasujen l hell HUOLTO Sarjan Turbo V6000 pumput eiv t vaadi lainkaan huoltoa Mink tahansa toimenpiteen t ytyy suorittaa siihen valtuutettu henkil
130. ungsdrehstrommotor angetrieben wird Die V6000 Turbopumpen enthalten keinerlei umweltsch dliche Substanzen und eignen sich deshalb auch f r Anwendungs zwecke die ein sauberes Vakuum vorschreiben In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informati onen f r die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Ger ts aufgef hrt Detaillierte technische Informationen sind im Anhang Technical Information enthalten In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheits hinweise folgendermaften hervorgehoben A REGINE Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie ners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik die bei unkorrek ter Ausf hrung schwere Verletzungen hervorrufen k nnen US ACHTUNG Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf aufmerksam da bei Nichteinhaltung Sch den an der Anlage entstehen k nnen ANMERKUNG Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen die aus dem Text hervorgehoben werden LAGERUNG Um ein H chstma an Effizienz und Zuverl ssigkeit der Varian Turbomolekularpumpen zu gew hrleisten sind die folgenden Anweisungen zu beachten e W hrend des Transports der Handhabung und der Einla gerung der Pumpen d rfen die folgenden Grenzwerte nicht berschritten werden e Temperatur von 20 C bis 70 C e Relative Feuchtigkeit von O bis 95 nicht kondensierend e Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp fang bei Erstinbetri
131. vertemperature Other Temp 2 Purge flow I Cooling defective nn OPERATION TIME TURBOCONTROLLER ERROR MESSAGE ION PUMPS CONTROLLERS VALVES COMPONENTS LI Bad feedthrough Poor vacuum Main seal leak 7 Bellows leak Vacuum leak High voltage problem Solenoid failure I Damaged flange Error code on display 1 Other I Damaged sealing area Other Customer application Customer application LEAK DETECTORS INSTRUMENTS Cannot calibrate No zero high backround I Gauge tube not working Display problem I Vacuum system unstable Cannot reach test mode LI Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Other Customer application Customer application PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS I Pump doesn t start LI Noisy pump describe I Heater failure A Electrical problem I Doesn t reach vacuum L Over temperature LI Doesn t reach vacuum Cooling coil damage LI Pump seized Other I Vacuum leak Other Customer application Customer application FAILURE DESCRIPTION Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis NOTA Su richiesta questo documento disponibile anche in Tedesco Italiano e Francese REMARQUE Sur demande ce document est galement disponible en allemand italien et francais HINWEIS Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch Italienisch und Franz sisch erh ltlich
132. waniu w przypadku lad w uszkodze do kt rych mog oby doj podczas transportu nale y skontaktowa si z miejscowym biurem sprzeda y 38 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Podczas operacji rozpakowywania nale y zwr ci szczeg ln uwag aby nie spowodowa upadku pompy ani nie poddawa jej uderzeniom lub wibracjom Nie porzuca opakowania w rodowisku Materia ten nadaje si ca kowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektyw UE 855 399 dotycz cej ochrony rodowiska US UWAGA Aby unikn problem w odgazowywania nale y nie dotyka go ymi r koma cz ci przeznaczonych do pr ni Nale y zawsze stosowa odpowiednie r kawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie INFORMACJA Pompa nie mo e by uszkodzona poprzez wystawienie jej na dzia anie atmosfery Mimo to zaleca si aby pompa do momentu jej instalacji na systemie pozosta a zamkni ta w celu unikni cia zanieczyszczenia jej py em INSTALACJA AN NIEBEZPIECZENSTWO Pompa z powodu wtasnego ciezaru musi by przemieszczana poprzez odpowiedni sprzet do tego celu IS UWAGA Usun ta m klej c i zdj korek zabezpieczaj cy tylko w momencie po czenia pompy do systemu Nie instalowa i lub u ytkowa pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne deszcz mr z nieg py y gazy chemiczne w rodowiskach wybuchowych lub z wysokim zagro eniem po aru Podczas dzia ania obowi zkowo na
133. ycz cym informacji technicznych Informacje Techniczne W tej instrukcji zastosowano nast puj ce umowne znaczenia ZN NIEBEZPIECZENSTWO Komunikaty niebezpiecze stwa przyciagaja uwage operatora co do danej procedury lub danego postepowania ktorego nieprawid owe wykonanie mog oby spowodowa powa ne uszkodzenia cia a TS UWAGA Komunikaty zwi kszonej uwagi s wy wietlane przed procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania mo e doj do uszkodzenia aparatury INFORMACJA S to wa ne informacje wyci gni te z tekstu MAGAZYNOWANIE W celu zagwarantowania najwy szego poziomu funkcjonalnego i niezawodno ci pomp turbomolekularnych Varian musz by przestrzegane nast puj ce zalecenia e podczas transportu przesuni cia i magazynowania pomp nie mog by przekroczone nast puj ce warunki rodowiskowe e temperatura od 20 C do 70 C s wzgl dna wilgo od O do 95 bez opar e klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych musi je zawsze uruchomi w spos b Soft Start e czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10 miesiecy od daty wysytki TS UWAGA Je eli z jakiegokolwiek powodu czas magazynowania jest dtu szy nalezy odesta pompe do fabryki W celu jakiejkolwiek informacji prosimy skontaktowa sie z miejscowym przedstawicielem firmy Varian PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI Pompa jest dostarczana w specjanym ochronnym opako
134. yet szivatty zhat Nem alkalmasak folyad kok vagy szil rd r szecsk k szivatty z s ra A szivatty z si m veletet egy nagyteljes tm ny 3 f zis elektromos motorral hajtott nagysebess g turbina max 14000 fordulat perc biztos tja A Turbo V 6000 szivatty k szennyez anyagokt l mentes s ez rt alkalmasak tiszta v kuumot ig nyl alkalmaz sokra A k vetkez bekezd sek a berendez st haszn l kezel biztons g nak garant l s hoz sz ks ges sszes inform ci t tartalmazz k R szletes inform ci t tal l a M szaki inform ci f ggel kben Ez a k zik nyv a k vetkez szabv nyos protokollt haszn lja A MSZE A figyelmeztet zenetek felh vj k a kezel figyelm t egy konkr t elj r sra vagy gyakorlatra amit ha nem k vetnek megfelel en s lyos s r l shez vezethet US FIGYELEM A Figyelem zenetek olyan elj r sok el tt jelennek meg amelyeket ha nem k vetnek a berendez s k rosod s t okozhatj k MEGJEGYZ S A megjegyz sek a sz vegb l vett fontos inform ci t tartalmaznak T ROL S A Varian Turbomolecular szivatty k maxim lis teljes tm nyszintj nek garant l s ra a k vetkez tmutat sokat kell k vetni szivattyuk szallitasakor mozgatasakor s tarolasakor a k vetkez k rnyezeti param tereket nem szabad tull pni h m rs klettartom ny 20 C 70 C relativ p ratartalom 0 95 nem kondenz l e A turbomolekul r

advarsel! - Agilent Technologies

Contents

Download Pdf Manuals

Related Search

Related Contents