Descriptif des bancs de caractérisation électrique
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1. 52 C 3 2 Excitation de luminescence Fluorures dop es TR B t C 86 53 CA RAA A A cL 54 C 4 1 Optique et Micro Ondes B t E sous sol 54 A CARACTERISATION ELECTRIQUE Caract risation Electrique A 1 Tests param triques mesure de courant de tension du temps A 1 1 Caract risation standard Mesure de I V et t e Responsable scientifique Utilisateur s habituel s Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Celles du HP4155 e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation G Sarrabayrouse Tout chercheur Acquisition des courbes courant tension et courant ou tension en fonction du temps lors d une polarisation tension ou courant constant dans des gammes de courant et de tension courantes courant de quelques nA 100mA et tension jusqu 100V temp rature ambiante totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes taille max 6 Manuel et Automatis logiciel Metrics ICV de quelques minutes plusieurs heures quotidien Air comprim Vide pour les stations sous pointes 2 testeurs sous pointe SET TC550 1 testeur param trique HP4155 Courant Max 100mA R solution2. e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s Objectifs Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation F Olivi F Olivi D termination des signatures des centres profonds profils des d fauts I V en temp rature Non Discrets et Plaquettes taille max Automatis DLTS 25mn variable Azote Banc de mesures BIORAD 8000 Trap concentration sensitivity 10 7 ND NA lt NT lt 10 5 ND NA Energy accuracy 1 Energy resolution 10meV Emission rate range 5 10 4s 1 lt en lt 1 5 104s 1 Signal 1MHz 100mV Ranges 1 3000pF Sensitivity 0 01fF Offset compensation 0 3000pF Compensation Reproductibility lt 100fF Pulse width 500ns to 1000s Pulse reolution 500ns Pulse period 16us to 4000s DC Voltage 20V to 20V resolution 1mV DC Current 10mA to 10mA resolution 10pA Manuel d emploi tr s mal r dig achat carte tension 100Volts de BIORAD 26 Caract risation Electrique A 5 3 Mesure par Effet Hall e Responsable scientifique Utilisateur s habituels Objectifs Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesur
3. B 2 Bancs de mesures de param tres S e Responsable scientifique Utilisateur s habituels e Objectifs e Localisation e Autonomie des utilisateurs Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation T Parra D Dubuc L Bary Gamme fr quentielle couverte entre 9 kHz et 67 GHz Possibilit de mesures en temp rature sous pointes min 60 C max 200 C E35 totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes Semi automatis 30 40 min quotidien Air comprim Vide pour les stations sous pointes air ass ch pour les mesures en temp rature stations sous pointes S ss Microtec PM8 et ou PA200 analyseurs de r seau Anritsu 37397C et ou Wiltron 360B Evolution vers des mesures 110 GHz 39 Caract risation Hyperfr quence B 3 Bancde fiabilit de commutateurs MEMS hyper enti rement automatis e Responsable scientifique e Utilisateur s habituels e Objectifs e Localisation e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souha
4. Descriptif des bancs de caract risation lectrique hyperfr quence et optique A l 4 1 1 4 1 2 4 1 3 4 1 4 4 1 5 A2 A 2 1 A 2 2 A 2 3 4 2 4 3 1 4 3 2 4 3 3 4 3 4 4 3 5 4 3 6 AA 4 4 1 4 4 2 4 4 3 4 4 4 4 4 5 A 5 4 5 1 4 5 2 4 5 3 mise jour mai 2004 CARACTERISATION ELECTRIQUE sense TESTS PARAMETRIQUES MESURE DE COURANT DE TENSION DU TEMPS Caract risation standard Mesure de I V et ft ses 5 Caract risation bas niveau Mesure de I V et t ss 6 Caract risation des composants de puissance Mesure de I et V sss 7 Traceurs de caract ristiques I V eene trennen nnne 8 Test aux d charges lectrostatiques ESD caract risation par TLP 9 MESURE D IMPEDANGE ed diri diia 10 Mesure de capacit s inter electrodes de transistor MOSS 10 Mesure RLC dans la gamme 20Hz lt f lt 1MHz iii 11 Mesure RLC dans la gamme 75kHz lt f 30MHz in 12 Mesure C V avec Sonde au Mercure iii 13 OBSERVATION DE MICRO NANO SYSTEMES eseeeeeeee ee e ee e enn eren ener nnne eene 14 Microscope force atomique AFM t te topographie ss 14 Profilometre et vibrom tre par interf rom trie essere 15 Observation par binoculaire ss ree ee ra ene e e e d den 16 Caract risation par d flexion optique de la r ponse dynamique de microstructures M COMIQUES i NE ARR
5. Air comprim Vide pour les stations sous pointes air ass ch pour les mesures en temp rature station sous pointes S ss Microtec PM8 tuner Maury MT986A analyseur de r seau Agilent HP8510 analyseur de spectre Rhode amp Schwarz FSEK source programmable HP6625A Th se S Long Th se J G Tartarin 37 Caracterisation Hyperfrequence B 1 4 Banc de mesures de bruit non lin aire haute fr quence HF e Responsable scientifique Utilisateur s habituels e Objectifs e Localisation e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation L Escotte Llopis L Escotte doctorants Mesure du facteur de bruit de dispositifs actifs en r gime de compression application dispositifs non lin aires tels que les m langeurs E56 acc s limit longue formation n cessaire Discrets et Plaquettes Manuel 10 min variable Air comprim Vide pour les stations sous pointes station sous pointes S ss Microtec PM8 source programmable HP6625A analyseur de reseau Rhode amp Schwartz ZVRE analyseur de spectre HP 70000 synth tiseur Anritsu MG3694A en cours d valuation stage de DEA en cours 38 Caracterisation Hyperfrequence
6. e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation 13 Caract risation Electrique A 3 Observation de micro nano syst mes A 3 1 Microscope force atomique AFM t te topographie e Responsable scientifique Sarrabayrouse Utilisateur s habituels Dilhan Objectifs e Autonomie des utilisateurs aucune e Utilisation Composants Plaquettes taille max Fonctionnement Automatis Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation 14 Caract risation Electrique A 3 2 Profilometre et vibrom tre par interf rom trie e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Resolution maximale e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation C Bergaud E Scheid C Bergaud E Scheid Caract risation m canique de microsyst mes en r gime statique profilom trie ou dynamique vibrom trie Discrets et Plaquettes taille max 4 pouces Automatique Quelques minutes suivant la r solution R glages initiaux assez longs
7. habituels e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Duree de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation G Sarrabayrouse P M nini Mesure d imp dance totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes taille max 8 Manuel variable variable Air comprim Vide pour les stations sous pointes HP4284 et 3 testeurs sous pointes TC550 2x station Cascade Celles du HP4285 de 75kHz 30MHz aucune 12 Caract risation Electrique A 2 4 Mesure C V avec Sonde au Mercure e Responsable scientifique Utilisateur s habituels Tout chercheur e Objectifs Acquisition de courbes capacit tension entre deux lectrodes face avant et face arri re en fonction d une gamme de fr quence du Hz au MHz par application d une goutte de mercure sur l oxyde d une plaque de silicium e Autonomie des utilisateurs totale apr s une formation par le personnel de 2i e Utilisation Composants Plaquettes taille max 4 Fonctionnement Manuel Dur e de la mesure variable Fr quence d utilisation variable Fluides utilis s Vide Appareils HP4284 et sonde mercure e Performances Celles du HP4284 e Bibliographie Notice d utilisation simplifi
8. 10fA Tension Max 100V R solution 2uV aucune Prise en compte des 3 probers et du cryostat et ou tuve Caract risation Electrique A 1 2 Caract risation bas niveau Mesure de I V et t e Responsable scientifique Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Duree de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Celles du Keithley 4200 Celles du Agilent 4156C e Bibliographie G Sarrabayrouse Tout chercheur Acquisition des courbes courant tension lors d une polarisation tension ou courant constant dans des faibles gammes de courant de quelques fA a quelques mA et tension jusqu a 100V temp rature comprise entre 5 C et 300 C totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes taille max 8 Manuel et Automatis logiciel Metrics ICV de quelques minutes plusieurs heures Quotidien proche de 100 Air comprim Vide pour les stations sous pointes 1 station sous pointe Cascade Summit 12k 1 testeur param trique Keithley 4200 SCS 1 testeur param trique Agilent 4156C Courant Max 100mA R solution 0 1fA Tension Max 100V R solution 14V Courant Max 1A Resolution 1fA Tension Max 200V R solution 24V Manuel d utilisation de la station Cascade r dig par P M nini Caract risation
9. Electrique A 1 3 Caract risation des composants de puissance Mesure de I et V e Responsable scientifique Utilisateur s habituels Objectifs Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Celles du Agilent 4142 Thermostream e Bibliographie H Tranduc Tout chercheur Acquisition des courbes courant tension lors d une polarisation tension ou courant constant dans des les gammes suivantes de quelques nA 10A et tension jusqu 1000V temp rature comprise entre 0 C et 220 C sur wafer et de 75 C 220 C sur composant discret totale apres une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes taille max 8 Manuel et Automatise logiciel Metrics ICV de quelques minutes plusieurs heures Quotidien Air comprim Vide pour les stations sous pointes Mesure sur wafer 1 station sous pointe semi automatique Karl Suss PA200 1 testeur param trique Agilent 4142B Mesure sur composant discret 1 testeur p param trique Agilent 4142B Thermostream TP04200A Gamme en courant continu 1 pA gt 1A Gamme en courant pulse 1A gt 10A Gamme en tension 2uV gt 1000 V Puissance 20 W 759C 225 C aucune Caract risation Electrique A 1 4 Traceurs de caract ristiques I V e Respons
10. Faraday multim tres HP 34401A banc a FFT Takeda Riken TR9405A amplificateur faible bruit EG amp G 5184 banc b FFT HP 89410A amplificateurs transimp dance EG amp G5182 Mesures permettant d observer des niveaux de bruit d amplitude d l ordre de 10 A Hz banc a 5 10 min pour un dip le 45 60 min pour un quadrip le banc b 5 min pour un dip le 15 20 min pour un quadrip le Th ses R Plana L Bary mesure en temp rature d velopper sur la banc b 35 Caracterisation Hyperfrequence B 1 2 Banc de mesures de bruit de phase e Responsable scientifique Utilisateur s habituel s e Objectifs e Localisation e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie Ameliorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation Llopis Llopis doctorants Mesure du bruit de phase d oscillateurs et d amplificateurs de 1 Hz 100 kHz Mesure active ou passive jusqu 18 GHz et par conversion de fr quence jusqu 40 GHz E56 acces limit longue formation n cessaire Discrets et Plaquettes Automatis 10 15 min quotidien Air comprim Vide pour les stations sous pointes Station sous pointes Microtec Model 22 Analyseur de spectre Anritsu MS2665C FFT Adva
11. courant courant de quelques nA 200mA et tension jusqu 7V temp rature ambiante acces limit formation n cessaire Discrets mission par la surface Manuel et Automatis commande du monochromateur via Visual Basic quelques minutes par composant plusieurs heures quotidien purge azote dans le monochromateur HR1000 1 alimentation PRO8000 avec module LDC8002 1 amperemetre TTI 1 d tection synchrone HTDS 128A 1 photodiode Si 1 alimentation tension optique et opto m canique 2 FO 1 multimode 1 monomode 1 source de lumi re blanche fibr e 1 cam ra SONY moniteur 1 monochromateur HR1000 syst me acquisition 1 LASER Ar Ti Ab 03 Courant Max 200mA R solution 10A Tension Max 7V Rapports de stage de J POLESEL MARIS N RIVIERE R gulation en temp rature du support de VCSEL Contr le en temp rature du support via le programme VB et alim PRO8000 45 Caracterisation Optique C 1 2 Caract risation de diodes laser mettant par la tranche Mesure de I P V spectre diagramme de rayonnement B t C 88 e Responsables scientifiques Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Celles de l ANDO e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentat
12. d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation C Bergaud L Nicu C Bergaud 6427 M Guirardel 6351 D Saya L Nicu Caract risation physique tude de topographie forces de friction rugosit de surface de divers chantillons conducteurs ou non conducteurs 1cm2 fen tre de balayage 100umx100um max Mode contact et non contact Caract risation en milieu sec ou liquide Mesure d interactions sp cifiques entre mol cules biologiques L utilisation du microscope optique invers coupl e celle du microscope force atomique permet d obtenir simultan ment une caract risation optique de l chantillon en fluorescence et une caract risation physique de surface avec une tr s grande r solution Discrets et Plaquettes taille max 2 cm de diam tre Automatique De quelques minutes 1h suivant la r solution Quotidien Air comprim Topometrix Explorer R solution maximale de l ordre de 0 1nm en z et de 1nm en x et y pour le microscope force atomique R solution maximale de l ordre du micron pour le microscope optique invers champ clair contraste de phase et fluorescence http www thermomicro com spmguide contents htm Adaptation de l AFM pour des mesures sur des chantillons biologiques pour des applications de type biopuces 18 Caract risation
13. plusieurs dizaines de minutes Quotidien aucun profilom tre Fogale Zoom Surf 3D 1 nm z et 1 um dans le plan xy avec une bande passante de 2 MHz en r gime dynamique Mode d emploi fourni et aide en ligne tr s sommaire Automatisation du r glage du tilt par microcontr leurs 15 Caracterisation Electrique A 3 3 Observation par binoculaire e Responsable scientifique Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie H Tranduc Tous Observation de puces de grandes tailles et acquisition d image totale apres une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes Manuel Observation immediate Acquisition 5 minutes Quotidienne aucun Binoculaire LEICA MZ12 Appareil photo numerique POLAROID PC Grossissement max x205 Champ visuel 1 1mm Grossissement min x5 Champ visuel 41 7mm aucune 16 Caract risation Electrique A 3 4 Caract risation par d flexion optique de la r ponse dynamique de microstructures m caniques e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s Objectifs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances
14. DK480 1 d tection synchrone EG amp G 5209 d tecteurs InGaAs AsGa 1 PC de commande Celles du HR1000 r solution 0 008nm Rapport de stage tudiant BTS 2003 Exp rimentation qui sera transf r e en salle RTP B t C 174b sur le monochromateur DK480 pilot en Labwindows CVI 48 Caracterisation Optique C 2 3 Caract risation des guides fluorures dop s TR B t C 86 e Responsables scientifiques Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Celles du couplage e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation E Daran E Daran B Viallet Caracterisation du guidage dans les chantillons fluorures dop s TR dur e de vie pertes la propagation luminescence en mode guid caract risation de r seaux acces limit formation n cessaire Discrets mission par la tranche Manuel et Automatis commande moteur Lyot monochromateur et syst me acquisition via Visual Basic quelques minutes par composant quelques campagnes par an raison de 2 jours par semaine aucun Laser Argon 7W Laser Ti Saphir objectifs pour injection monochromateur HR1000 detecteurs InGaAs Ge Si PM AsGa 1 PC de commande Injection de la lumi re du
15. Electrique A 3 6 Table X Y Z 0 pour l tude de dispositifs de micro d pots de nano stamping et de profilom trie en micro cavit s profondes Responsables scientifiques J B Pourciel C Bergaud C Vieu Utilisateur s habituel s e Objectifs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation J B Pourciel P Belaubre Mise en place d un micro positionneur X Y Z 8 pilot par micro ordinateur destin une utilisation pour plusieurs themes d velopp s dans le groupe Nano Adressage Le dispositif est compl t par des actionneurs pi zo lectriques pour des d placements nanom triques et de diff rents modules d acquisition rapide et de commande Etude des propri t s de mouillage lors de d p ts de picolitres de liquide Etude physique de dispositifs de chargement et de d p t par utilisation d un champ lectrique pour le chargement et le d p t Dispositif de placement alignement automatique par rapport la surface d un dispositif de nano impression Profilom trie et trac de surface l int rieur de cavit s micro usin es pr sentant un haut facteur de forme m thode par mesure de force Leviers pi zo lectriques plumes pour le d p t composants en PDMS Autom
16. Mesure de temps de commutation sur charge r sistive La maquette est r aliser au coup par coup par l utilisateur Discrets Manuel Quand la maquette existe de quelques minutes 1 heure Aucun Oscillo Tektronix 500 MHz 4 voies Alim Fontaine 500V 4A Alim HP 60V 9A Alim HP 120V 4A Temps de commutation partir de 10 ns aucune Traitement des donn es pour extraire les temps de commutation 31 CARACTERISATION HYPERFREQUENCE 33 Caracterisation Hyperfrequence B 1 Mesure de bruit B 1 1 Bancs de mesures de bruit basse fr quence BF e Responsable scientifique Utilisateur s habituels e Objectifs Localisation e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Temps de mesure e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation R Plana R Plana L Bary doctorants Mesure du bruit basse fr quence de 1 Hz 100 kHz deux bancs a et b bas s sur des m thodes diff rentes E56 acces limit longue formation n cessaire Discrets et Plaquettes banc a automatis banc b manuel de quelques minutes plusieurs heures quotidien Air comprim Vide pour les stations sous pointes commun station sous pointes Cascade Microtec 9600 cages de
17. Performances e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation H Tranduc Tous Caract ristiques de sortie Id Vd caract ristiques de transfert Id Vg Id Vg sous le seuil caract ristiques I V en direct de la diode drain canal Extraction des param tres Kp facteur de pente Vt tension de seuil Ron r sistance l tat passant Rs rie R sistance s rie de drain courants de fuite 10 courant extrapol Vdiode 0 et facteur d id alit de la diode totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes taille max 8 pouces Manuel ou Automatis 5 minutes pour 1 composant Variable Air comprim Vide HP4142B Karl Suss PA200 Gamme en courant 1 pA gt 1A Gamme en tension 0 1 mV gt 200 V Puissance 20 W En pulse 1uA gt 10A et 0 2 mV gt 10V aucune Mettre jour les proc dures d extraction des param tres 30 Caract risation Electrique A 6 3 Mesure de temps de commutation de transistor MOS e Responsable scientifique Utilisateur s habituels e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Duree de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation H Tranduc Tous
18. Ti Saphir via un objectif optique dans le guide p 21m 49 Caracterisation Optique C 2 4 Optique non lin aire B t A S28 e Responsables scientifiques Utilisateur s habituels e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Celles Laser e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation C De Matos M Pugnet C De Matos M Pugnet Exploration de puissances cr tes lev es des longueurs d onde ajustables pour l optique non lin aire Application possible ondes de choc dans les semiconducteurs acc s limit formation n cessaire Discrets Manuel quelques minutes par composant quelques campagnes par an aucun Laser YAG puls g n rateur optique param trique Boxcar photodiodes rapides Si Ge optom canique Impulsions 10Hz 15ps A ajustable de 75nm 2um puissance 50m 1 06um 25m dans le vert 50 Caracterisation Optique C 2 5 R seaux de diffraction B t A S12 e Responsables scientifiques Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Duree de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performance
19. able scientifique Utilisateur s habituel s e Objectifs Autonomie des utilisateurs Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Traceur 3704 Traceur 371 Thermostream e Bibliographie H Tranduc Tous Caracteristiques I V bipolaire ou unipolaire en continu en pulse dans le domaine 1mA 500A et 3kW totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets Manuel et Automatis logiciel Metrics ICV Quelques minutes sans temp rature 1 2h avec temp Hebdomadaire Air comprim 3 Traceurs de courbes Tektronix 370A 371 et model 57 Thermostream TP04200A Mini 1uA Maxi 20A 2kV Puissance 220W dur e de l impulsion 300us ou 80us toutes les 10ms 500A 3kW ou 3kV 30W 75 C 225 C aucune Caract risation Electrique A 1 5 Test aux d charges lectrostatiques ESD caract risation par TLP e Responsable scientifique Utilisateur s habituels Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie N Nolhier N Nolhier D Tremouilles P Besse M Bafleur Caract risation des circuits ou composants en tenue aux ESD par application d un stimulus
20. asst tac e ne o Teteres itt 17 Microscope force atomique et microscope optique 18 Table X Y Z 0 pour l tude de dispositifs de micro depots de nano stamping et de profilom trie en micro cavit s profondes ss 19 LOCALISATION MESURE DE POINTS CHAUDS sise 20 Mesure de photo mission easi e eer Eie Te lect e e te a e eu a eed 20 R ponse thermique transitoire par thermom trie Infrarouge sss 21 Thermographie Infrarouge ss 22 Thermographie Infrarouge rapide sise 23 ARM Fete thermigue sr anna ennemie Res detre Me Gr eiat 24 CARACTERISATION DE SUBSTRATS inii enne nenne nnne nnns 25 Mesure de dur e de vie des porteurs ss 25 DLTS Deep Level Transient Spectroscopy ss 26 Mesure par Effet Hallo e e mer e RE EE REED PEPERIT 27 4 5 4 t te Spreading Resistance ses 28 CARACTERISATION DE COMPOSANTS DISCRETS MICROSYSTEMES see 29 4 6 1 Caract risation de micromirroirs eee 29 4 6 2 Mesure de param tres de transistors MOSS iii 30 4 6 3 Mesure de temps de commutation de transistor MOS sss 3l B CARACTERISATION HYPERFREQUENCE rssnsosssosssssnnssnssnssonsnnsnnssnssnnsnnsnnsnnnsnssnnsnnnnnn 33 B 1 MESURE DE BRUM 1 8 22 228 A oeste tee re ere ET E IM 35 B 1 1 Bancs de mesures de bruit basse fr quence BF 35 B 1 2 Banc de mesures de bruit de phase sn 36 B 1 3 Banc de mesur
21. atique quelques minutes r p titive Quotidien Aucun Precision de la table 0 5 um sur x y z et 0 005 d sur 6 Precision globale du positionnement avec actionneurs pi zo lectriques 5 nm Pr cision en profilom trie 25 nm utilisation en profilom trie Jean Bernard Pourcie Laurent Jalabert and Takahisa Masuzawa Profile and Surface Measurement tool for high aspect ratio microstructures International Journal of the Japan Society of Mechanical Engineers Series C Vol 46 N 3 9 2003 pp916 922 Exp rimentation en cours de d veloppement id 19 Caract risation Electrique A 4 Localisation Mesure de points chauds A 4 1 Mesure de photo mission e Responsable scientifique Utilisateur s habituels e Objectifs e Autonomie des utilisateurs Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie M Nolhier M Bafleur N Nolhier D Tremouilles Localiser sur une puce le lieu d une focalisation de courant d avalanche ou la distribution de courants de recombinaison La mesure est effectu e sur la face avant de la plaquette Une mesure sur puce en boitier avec fen tre optique peut tre envisag e totale apres une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes taille max 8 pouces Manuel De quelques secondes a 1h Hebdomadai
22. ctif microscope vitesse d acquisition 30 images par seconde pas de manip d di e mais organisation flexible la documentation technique des appareils est disponible pr s du site envisageable si l on pouvait trouver une cam ra IR capable de prendre 100 images par milliseconde sinon il faudrait envisager un r talonnage de la cam ra existante pas l ordre du jour car la manip doit rester fortement adaptative 22 Caract risation Electrique A 4 4 Thermographie Infrarouge rapide e Responsable scientifique Utilisateur s habituels e Objectifs e Autonomie des utilisateurs Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation E Scheid P Tounsi E Scheid tout chercheur Caract risation thermique de composants circuits ou microsyst me en r gime statique ou transitoire A voir Discrets et Plaquettes taille max quelques cm Manuel variable variable aucun Cam ra infrarouge CEDIP D tecteur HgCdTe 320 x 240 pixels Bande 3 6um 4 8um R solution spatiale de la thermographie IR 1pixel 10 um avec objectif G1 vitesse d acquisition max environ 20kHz en fen trage 2x64 pixels aucune 23 Caract risation Electrique A 4 5 AFM t te therm
23. e Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation E Bedel Pereira Tout chercheur dans les semiconducteurs type n et p la temp rature ambiante ou 77K en utilisant de l azote liquide Oui apr s une formation Plaquettes taille max 2x2 cm Automatis amp 15min A voir Azote liquide pour mesures 77K Accent HL5500PC Aimant de 0 32T Source de courant 1pA 19 9mA Compliance 20V 27 Caract risation Electrique A 5 4 t te Spreading Resistance Responsable scientifique Sarrabayrouse Utilisateur s habituel s Dilhan e Objectifs e Autonomie des utilisateurs aucune Utilisation Composants Plaquettes taille max Fonctionnement Automatis Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation 28 Caract risation Electrique A 6 Caract risation de composants discrets microsyst mes A 6 1 Caract risation de micromirroirs e Responsable scientifique Utilisateur s habituels Objectifs e Autonomie des utilisateurs Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d
24. e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation C Bergaud L Nicu C Bergaud 6427 M Guirardel 6351 D Saya Caract risation de la r ponse dynamique de microstructures leviers ponts membranes avec actionnement et ou d tection int gr e Possibilit d actionnement externe pour la caract risation de structures passives par l interm diaire d un actionneur pi zo lectrique propre au banc de mesures Ce type de mesures permet d acc der aux propri t s m caniques de mat riaux en couches minces module d Young contrainte fatigue vieillissement On peut galement d terminer la r ponse lectrique de couches actives pi zo lectrique ou pi zor sistive soumise des sollicitations m caniques Discrets et Plaquettes taille max 1cm Manuel De quelques minutes quelques heures Quotidien Air comprim Bande passante de mesure 1MHz utilisation d un d tecteur synchrone Perkin Elmer Possibilit d tude des modes de vibration transversaux flexion et ou de torsion utilisation d un photod tecteur 4 cadrans actifs Rapport LAAS n 00415 Th se de L Nicu 17 Caract risation Electrique A 3 5 Microscope force atomique et microscope optique invers e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence
25. es de bruit lin aire haute fr quence HF de 1GHz 40GHZ 37 B 1 4 Banc de mesures de bruit non lin aire haute fr quence HF 38 B 2 BANCS DE MESURES DE PARAMETRES S enne nete nennen neenon 39 B 3 BANC DE FIABILITE DE COMMUTATEURS MEMS HYPER ENTIEREMENT AUTOMATISE 40 B 4 BANCS DE MESURES DC EN IMPULSION EN CONTINU ET ANALYSE IMPEDANCE BASSE EREQUENGE N it Da TB Rs E aera ioe 41 CARACTERISATION OPTIQUE ursssosssnssassonsonsnnssonsnssnnsnnsnnssnnsnnssnsnssnnsnnsnnssnnnssnnsnnnnne 43 C 1 TESTS PARAMETRIQUES MESURE DE PUISSANCE DE TENSION SPECTRE ere 45 C 1 1 Caract risation VCSEL Mesure de I V P spectre diagramme de rayonnement B t 60 rie AA ERR Re ded te 45 C 1 2 Caract risation de diodes laser mettant par la tranche Mesure de I P V spectre diagramme de rayonnement B t C 88 iii 46 C2 CARACTERISATION MATERIAUX ET COMPOSANTS eee eee e e e een een ene 47 C 2 1 Mesure de gain des diodes laser B t C 86 47 C 2 2 R flectivit en lumi re blanche B t C 86 48 C 2 3 Caract risation des guides fluorures dop s TR B t C 86 49 C 2 4 Optique non lin aire B t A 28 sss enne 50 C 2 5 R seaux de diffraction B t A S12 eene 51 C3 SPECTROSCOPIE ua a E ind un Sb es nn I re a etat 52 C 3 1 Photoluminescence Bat
26. et extraction des param tres Les mesures sont effectu es fr quence fixe f 1MHz totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets Automatis labview 1h Rare aucun Boonton 7200 capacitance meter f 1MHz appareil de mesure surtout efficace si c lt 2nF M moire Cnam de P F Calmon 10 Caract risation Electrique A 2 2 Mesure RLC dans la gamme 20Hz f 1MHz e Responsable scientifique Utilisateur s habituels e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation G Sarrabayrouse Tout chercheur Acquisition des courbes C V capacit tension et G V w conductance tension fr quence et extraction des parametres totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes taille max 8 Manuel et Automatis 1h Quasi quotidienne Air comprim Vide pour les stations sous pointes HP4284 et 3 testeurs sous pointes TC550 2x station Cascade Celles du HP4284 de 20Hz 1MHz Pas de manuel exploitable uniquement un manuel utilisateur tr s ancien 11 Caract risation Electrique A 2 3 Mesure RLC dans la gamme 75kHz f 30MHz e Responsable scientifique Utilisateur s
27. ion Pour l automatisation S Bonnefont O Gauthier Lafaye S Bonnefont O Gauthier Lafaye D Mulin M Boutillier Caract risation des diodes laser P I V I spectre diagramme de rayonnement acc s limit formation n cessaire Discrets mission par la tranche Manuel et Automatis commande monochromateur et syst me acquisition via Visual Basic quelques minutes quelques heures par composant quotidien aucun 1 alimentation ILX optique et opto m canique cam ra SONY moniteur spectrographe ANDO photodiode Celles de l ILX Courant Max 200mA R solution 10pA Tension Max 7V R solution 0 05nm entr e fibr e FC PC de 0 6um 1 7um Rapports de stage R gulation en temp rature et humidit de la salle viter la rouille 46 Caracterisation Optique C 2 Caract risation mat riaux et composants C 2 1 Mesure de gain des diodes laser B t C 86 e Responsables scientifiques Utilisateur s habituels e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation S Bonnefont O Gauthier Lafaye D Mulin S Bonnefont O Gauthier Lafaye D Mulin B Messant Mesure du gain de diodes laser mettant par la tra
28. ique e Responsable scientifique Sarrabayrouse Utilisateur s habituel s Dilhan e Objectifs e Autonomie des utilisateurs aucune e Utilisation Composants Plaquettes taille max Fonctionnement Automatis Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation 24 Caract risation Electrique A 5 Caract risation de substrats A 5 1 Mesure de dur e de vie des porteurs e Responsable scientifique Utilisateur s habituels Objectifs e Autonomie des utilisateurs Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie G Sarrabayrouse G Sarrabayrouse Mesure et cartographie de dur e de vie des porteurs minoritaire sur plaquette lingot ou couche pitaxi e Plaquettes taille max 6 Automatis 10 1h rare Vide EPITEST WT85 Laser 904 nm 15 ns fall time 2 antennes micro ondes contact non contact r solution 0 5mm min rapidit 30 ms point Densit de fer gt 109 cm 3 Passivation liquide solide 1 us dur e de vie lt 10 ms Possibilit d extension SPV aucune 25 Caracterisation Electrique A 5 2 DLTS Deep Level Transient Spectroscopy
29. it es Pour l instrumentation Pour l automatisation D Dubuc D Dubuc doctorants Contr le d activation du commutateur cyclage Mesures param tres en S possibilit de mesurer en temp rature Mesures electro m canique et de fiabilit E35 acc s limit longue formation n cessaire Discrets et Plaquettes Automatis 30 40 min hebdomadaire Air comprim Vide pour les stations sous pointes air ass ch pour les mesures en temp rature stations sous pointes S ss Microtec PA200 analyseur de r seau Anritsu 37397C Hotte flux laminaire d ADS laminaire Contr leur en temp rature avec thermo chuck TP03200A de Temptronic S cheur d air par adsorption DAn2 sources programmables HP6625A oscilloscope num rique 54501 M moire l ve ing nieur J L Sala n 40 Caract risation Hyperfr quence B 4 Bancs de mesures DC en impulsion en continu et analyse imp dance basse fr quence e Responsable scientifique Utilisateur s habituels e Objectifs Localisation e Autonomie des utilisateurs Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation Llopis L Bary J G Tartarin doctorants caract risation de diodes transi
30. n de la longueur d onde d excitation D termination de la dur e de vie acces limit formation n cessaire Discrets Manuel et Automatis commande monochromateur et syst me acquisition via Visual Basic quelques minutes par composant 1 fois tous les 2 mois 2 fois par mois raison de 4 5 jours par campagne balayage d azote dans le monochromateur HR1000 Laser Argon 7W laser Ti Saphir laser Ar 1W monochromateur HR1000 cryostat 1 d tection synchrone 5209 d tecteurs PD Si InGaAs Ge PM GaAs 1 PC de commande Celle du HR1000 r solution 0 008nm Celle du cryostat temp rature minimale 15K aucune 53 Caracterisation Optique C 4 Bruit C 4 1 Optique et Micro Ondes Bat E sous sol e Responsables scientifiques Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation O Llopis O Llopis B Onillon Bruit des liaisons optiques analogiques caract risation de composants r alisation d oscillateurs contr l s par fibre optique Ces mesures sont r alis es sur des modules connectoris s ou sous pointe acces limit formation n cessaire Discrets Manuel Modules Laser T l com phot
31. nche 1 3um ou 1 5um en mode impulsionnel acc s limit formation n cessaire Discrets Manuel et Automatis commande monochromateur et syst me acquisition via Visual Basic quelques minutes par composant aucun Alimentation ILX monochromateur HR1000 1 d tection synchrone EG amp G 5209 ou Boxcar d tecteur PM AsGa Hamamatsu 1 PC de commande Celles du HR1000 r solution 0 008nm Rapports de stage Exp rimentation pouvant voluer vers la mesure de lumi re spontan e Stabilit de la temp rature et des vibrations influence sur les mesures 47 Caracterisation Optique C 2 2 R flectivit en lumi re blanche Bat C 86 e Responsables scientifiques Utilisateur s habituels Objectifs Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation V Bardinal V Bardinal R flectivit sur chantillons VCSEL et sur plaques de silicium acc s limit formation n cessaire Discrets Manuel et Automatis commande monochromateur et syst me acquisition via Visual Basic quelques minutes par composant 3 4 jours de mesures raison de 2 3 campagnes par an aucun Source de lumi re blanche Jobin Yvon monochromateur HR1000 bient t
32. ntest R9211B cage de Faraday synth tiseur Wiltron 69147 Bruit de phase de quadrip le plancher de l ordre de 180 dBc Hz d pend de la fr quence Bruit de phase d oscillateurs d pend de la technique utilis e active ou passive et de la fr quence These M R gis These G Cibiel rapport LAAS 02591 dition Hermes La mesure de bruit de phase en Hyperfr quence Llopis utilisation d une r f rence saphir mont e en fr quence remplacement du PC ancien et changement ou volution du logiciel de programmation 36 Caracterisation Hyperfrequence B 1 3 Banc de mesures de bruit lin aire haute fr quence HF de 1GHz 40GHz e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs Localisation e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation L Escotte L Escotte J G Tartarin doctorants Param tres du bruit et param tres S entre 1 et 40 GHz de transistors sous pointes ou discret Facteur de bruit d amplificateurs Mesure en temp rature sous pointes 60 C 200 C 26 40 GHz E56 acc s limit longue formation n cessaire Discrets et Plaquettes Automatis 30 40 min hebdomadaire
33. ntr le de l intensit et de la longueur d onde mises par les structures pitaxi es dans le b ti de MBE et contr le de l tat et de la r ponse du b ti MBE acces limit formation n cessaire Discrets Manuel et Automatis commande monochromateur et syst me acquisition via Visual Basic quelques minutes par composant Ajouter le temps n cessaire pour pomper le cryostat environ min au moins 2 jours par semaine pendant une campagne de croissances MBE balayage d azote dans le monochromateur HR1000 Laser Argon 7W laser Ar 1W monochromateur HR1000 cryostat 1 d tection synchrone 5209 d tecteurs PD InGaAs PM GaAs 1 PC de commande Celle du HR1000 R solution 0 008nm Celle du cryostat Temp rature minimale 15K aucune R gulation en temp rature et humidit de la salle viter la rouille 52 Caracterisation Optique C 3 2 Excitation de luminescence Fluorures dop es TR B t C 86 e Responsables scientifiques Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation E Daran E Daran B Viallet Caract risation spectrale des chantillons fluorures dop s Terres Rares en fonctio
34. odiode fibr e photodiodes wattmetre att nuateurs diode laser 830nm 16mW Celle des modules T l com 1 5um 10mW modulable a 3GHz A 1 5um 3mW modulable 15GHz Celle de la photodiode fibr e rapide caract ris e jusqu 30GHz Celle du wattm tre de 800nm 1 5um 54
35. proche du modele du corps humain HBM soit un courant de quelques amp res pour des dur es d impulsion de 100ns Une courbe I V statique est mesur e apr s chaque impulsion afin de d celer une ventuelle d gradation du composant totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes taille max 8 Manuel et Automatis labview 5 minutes par composant 5h par wafer quasi quotidienne Air comprim Vide pour la station sous pointes Station sous pointes KARL SUSS PA200 Oscilloscope Tektronix 1GHz TDS684C Alimentation Bertan 3kV Agilent 4142B longueur de l impulsion 100ns Courant max 7A Tension max 100V Mesures statiques Courant max 1A Tension max 200V M moire Cnam de Nicolas Mauran Conception et r alisation d un banc de caract risation sous pointes pour mesures impulsionnelles haute nergie Caract risation Electrique A 2 Mesure d imp dance A 2 1 Mesure de capacit s inter lectrodes de transistor MOS e Responsable scientifique Utilisateur s habituels e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation H Tranduc CIP Acquisition des capacit s inter lectrodes d un transistor MOS
36. re 80 CIP Air comprim Vide Station Karl Suss PA200 Cam ra C4880 10 HAMAMATSU Attention cette manipulation utilise la station de la manip 10 Les deux manipulations ne peuvent donc pas tre effectu e en parallele Observation qualitative 5 grossissements x2 x10 x20 x50 IR x100 IR aucune 20 Caract risation Electrique A 4 2 R ponse thermique transitoire par thermom trie Infrarouge e Responsable scientifique Utilisateur s habituels Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation J M Dorkel J M Dorkel P Tounsi Relev de la r ponse thermique transitoire ponctuelle et rapide d un composant soumis un stress de dissipation de puissance En principe adapt pour la mesure des chauffements lors des tests de tenue en nergie totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes taille max 6 pouces Manuel et Automatis variable suivant le nombre de points relever peu utilis l heure actuelle cause de la mauvaise qualit du signal d livr par le microscope IR Barnes RM23 Air comprim Vide m mes appareils que pour la thermographie IR table XY Karl S ss et mic
37. roscope IR Barnes RM23 r solution spatiale 25 um dur e de la r ponse thermique transitoire de 0 5 ms 100 ms environ Documentation technique du RM23 et rapports de stage de Fr d ric Coste et Brigitte Sirgant pour le pilotage de la table XY programme LABVIEW il serait n cessaire d am liorer les performances en bruit de l ensemble d tecteur pr amplificateur du microscope IR Barnes RM23 les programmes de conduite automatique sont faits mais pas enti rement test s 21 Caract risation Electrique A 4 3 Thermographie Infrarouge e Responsable scientifique Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation J M Dorkel J M Dorkel P Tounsi Caract risation thermique de composants et circuits int gr s de puissance totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes taille max quelques cm Manuel variable variable Bouteille d Argon Syst me de thermographie TVS 4100 alimentations de puissance oscilloscope Tektronix TDS 430 g n rateurs de fonction PC thermom tres thermocouple bain thermostat R solution spatiale de la thermographie IR 25 um avec obje
38. s Celles du puissance m tre Celles du montage 3D e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation Ph Arguel Ph Arguel Caract risation des r seaux de diffraction mesure du pas uniformit Mesure de l indice effectif des mat riaux et composants acces limit formation n cessaire Discrets Manuel quelques minutes par composant quelques campagnes par an aucun Laser Argon 363nm Laser He Ne optiques diodes laser du commerce diff rentes longueurs d onde moteur pas pas puissance m tre Advantest montage m canique 3D Surface de d tection 1cm P d tect e de 1nW 50mW de 400nm 1 1um Pr cision 10 degr Veiller conserver l environnement propre et stable thermiquement n cessaire aux caracterisations des r seaux ainsi que la possibilit d obscurit totale 51 Caracterisation Optique C 3 Spectroscopie C 3 1 Photoluminescence B t C 86 e Responsables scientifiques Utilisateur s habituels e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation E Bedel C Fontaine A Arnoult E Bedel C Fontaine A Arnoult P Gallo Co
39. stors bipolaires et effet de champ E56 amp E35 totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes Automatis 10 min DC de quelques secondes quelques heures pour impulsion journaliere Air comprim Vide pour les stations sous pointes air ass ch pour les mesures en temp rature station sous pointes Cascade Microtec Model 22 source programmable Agilent HP4142 Diva 225 analyseur d imp dance Agilent HP4192A pour les mesures en impulsion acquisition d un appareil entierement automatis valuation en cours de l Accent Diva 225 41 C CARACTERISATION OPTIQUE 43 Caracterisation Optique C 1 Tests param triques mesure de puissance de tension spectre C 1 1 Caract risation VCSEL Mesure de I V P spectre diagramme de rayonnement B t C 86 e Responsables scientifiques Utilisateur s habituel s e Objectifs Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Celles du LDC8002 e Bibliographie Am liorations souhait es Pour linstrumentation Pour l automatisation V Bardinal T Camps G Almuneau V Bardinal T Camps G Almuneau C Bringer stagiaires Acquisition des courbes tension et puissance d livr e par composant VCSEL en fonction du courant Gammes de
40. utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation H Camon H Camon C Ganibal Caract risation angulaire dynamique la r sonance et en basculement en fonction de la pression environnante oui Discrets Manuel jour par campagne de quelques jours Vide pompe source de tension jusqu 1700V g n rateur de fr quence pompe vide oscilloscopes ordinateur PC capteur PSD et lectronique associ e laser rouge 1mW s curit oculaire bouteille d azote prochainement Les micromiroirs peuvent tre valu s en r ponse statique et fr quentielle jusqu 800V et indicielle jusqu 1700V diff rentes pressions La commande est indiff remment appliqu e l une des lectrodes ou aux deux Les r sultats sont m moris s par un oscilloscope num rique et transf r s sur PC Aucune pour l instant possibilit d teindre l clairage n on sur la zone plut t que d imposer l obscurit tout le monde non envisag 29 Caract risation Electrique A 6 2 Mesure de param tres de transistors MOS e Responsable scientifique Utilisateur s habituels Objectifs Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e
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