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TPH 330 / TPU 330 - Pascal Technologies, Inc

1. 40 188 1077 10 10 8 107 10 107 IO 107 102 107 10 p mbar Fig 7 Saugverm gen f r Stickstoff Na TPH 050 bis TPH 5000 TPU 050 bis TPU 2200 Volume flow rate for nitrogen N TPH 050 TPH 5000 TPU 050 TPU 2200 Debit volume pour azote Nz TPH 050 TPH 5000 TPU 050 a TPU 2200 H 4 Installation 4 1 Hinweis zur Installation Die Turbopumpe wird mit lf llung geliefert Blindflansche an Hoch und Vor vakuumanschlu erst unmittelbar vor der Montage entfernen Pumpe ist mit N geflutet Arbeiten die Turbopumpen in einem Magnetfeld bei Feldst rken ber 6 mT sind geeignete Abschirmma nahmen vorzusehen Abschirmgeh use auf Anfrage 4 2 Hochvakuumanschlu Die Turbopumpen werden mit Hochvakuumflansch oben oder auf Kundenwunsch mit Hochvakuum Flansch unten geliefert Die Ausf h rung mit Hochvakuumflansch oben kann vom Kunden ohne weiteres auf seitliche Ausf hrung umgebaut wer den Umbau der Flanschstellung unter 4 2 2 Bei verankerter Turbopumpe d r fen keine Kr fte aus dem Rohrleitungs system auf die Pumpe einwirken Beim Anschlu der Pumpe an den Rezipienten ist zu beachten da der UHV Flansch bis max 100 kg senk recht belastbar ist gilt nicht f r seit liche Ausf hrung Das Gewicht eines frei angeflanschten Rezipienten darf kei
2. Fig 27 24 6 5 2 Betriebsmittel absaugen Fig 28 Dochtdurchf hrung 12 aus dem Lagerschild ziehen Das Pumpen l wird mit einer Injektionsspritze 56 Best Nr PM 006 296 U wird im Bei pack der Pumpe mitgeliefert aus dem Lagerschild abgesaugt 6 5 3 Schauglas abnehmen Fig 29 30 Gewindering 17 herausschrauben und Schauglas 16 abnehmen auf Druckfeder 13 achten Docht 10 aus Schauglas 16 ziehen 6 5 4 Docht einf deln Docht 10 von der Innenbohrung des Schauglases her in die Dochtboh rung wie Fig 33 zeigt einf deln Docht soweit durchziehen da die Dochtf hrung 12 mit dem abgesetzten Schauglasrand b ndig ist Fig 34 Docht in die Schauglasnut einle gen und bei Pfeil abschneiden Ein Teil des Schlauches 55 zum Einf deln bleibt an Docht 10 Fig 35 zeigt den richtig eingeleg ten Docht Fig 28 6 5 2 Drawing off the operating agent Fig 28 Remove the wick guide 12 from the end plate The oil from the pump is drawn off from the end plate by means of a syringe 56 Code no PM 006 296 U supplied along with the pump 6 5 3 Remove the sight glass Fig 29 30 Screw out the ring nut 17 and remove the sight glass 16 paying attention to the compression spring 13 Pull the wick 10 from the sight glass 16 6 5 4 Threading the wick Thread the wick 10 from the inner bore of the sight glass into the wick bore as shown in fig 33 Pull the wick through until the wick guide 12 is flush with
3. Lacc l ration pleine vitesse de la pompe turbo se fait automatiquement Le temps d acc l ration jusqu au point de commutation de la vitesse est fonc tion du volume de l enceinte Avec la bride vide lev ferm e fausse bride les pompes TPH TPU 330 atteignent la vitesse nominale apr s 3 minutes et les TPH TPU 510 apr s 6 minutes Le temps de prechauffage de la TPH TPU 330 quip e d une com mande TCP 120 121 est d environ 4 5 minutes 5 1 1 Reset Les fonctions de s curit de la commande lectronique TCP sont men es sur un relais r manent Ce relais reste ferm en cas de fonction nement r gulaire et s ouvre en cas de malfonctionnement ventuellement aussi caus par des vibrations pendant le transport Pour fermer le relais remanent ali menter la commande lectronique en courant et mettre sous tension Pous ser la touche Reset pendant au moins 5 secondes 5 2 Etuvage de la pompe turbo La pression finale est fonction de la propret de la pompe et de l appa reillage Pour atteindre la pression finale en un temps aussi court que possible il est recommand d etuver la pompe turbo et l appareillage Si l en ceinte est directement brid e sur la pompe il faut veiller ce que la tem p rature de la bride vide pouss e lors de l tuvage de la pompe et de l appa reillage ne d passe pas 160 C Si l on tuve l enceinte plus de 200 C il faut viter le rayonnemen
4. circulation propre Les pompes peuvent tre transport es avec leur charge d huile La position de montage des pompes va de la verticale l horizontale condi tion que l axe du rotor reste horizontal Serienm ig sind die Pumpen wasser In standard version all pumps are gek hlt Sie k nnen durch Anbau von Ventila toren mit wenigen Handgriffen auf Luftk hlung umgestellt werden water cooled They can be converted to air cooling with just a few manipulations by fitting fans Gegen zu hohe Umgebungstemperatu The pumps are thermally protected ren sind die Pumpen thermisch gesch tzt Bei unzul ssigen Temperaturen der Lager des Antriebes oder des Pum pengeh uses wird die Antriebsleistung bis auf O zur ckgeregelt 2 Vorvakuumpumpen Fig 5 Folgende Pfeiffer Drehschieberva kuumpumpen k nnen als Vorvakuum pumpen eingesetzt werden mit Antriebselektronik TCP 300 TCP 310 und Relais K7 oder Antriebselektronik TCP 300 TCP 310 mit Pumpstandsteuerger t TCS 302 R Vorvakuumpumpen bis DUO 030 A bis 30 m h Fig 5a DUO 016B against excessive ambient tempera tures If the temperatures of the bearing drive or pump housing are unpermis sibly high the power input to the pump is reduced to 0 2 Backing pumps Fig 5 The following Pfeiffer rotary vane vacuum pumps can be employed as backing pumps with TCP 300 TCP 310 electronic drive
5. 14 5 Betrieb 5 1 Einschalten K hlwasser einschalten und Durchflu amp kontrollieren Beim Einsatz eines K hlaggregates TZK 350 werden TZK und Turbopumpe gleichzeitig eingeschaltet Bei Luftk hlung l uft der Ventilator mit dem Einschalten der Turbopumpe an Vorvakuumpumpe Turbopumpe und Heizung der Turbopumpe gem der Betriebsanweisung der verwendeten Antriebselektronik einschalten Der Hochlauf der Turbopumpe erfolgt automatisch Die Hochlaufzeit bis zum Drehzahlschaltpunkt ist abh ngig von der Rezipientengr e Bei blindgeflanschtem Hochvakuum flansch erreicht die Pumpe TPH TPU 330 nach 3 Minuten und die TPH TPU 510 nach 6 Minuten ihre Nenn drehzahl bei Einsatz mit TCP 300 310 Die Hochlaufzeit der TPH TPU 330 mit TCP 120 121 betr gt ca 4 5 min 5 1 1 Reset Die Sicherheitsfunktionen der Antriebselektronik TCP sind auf ein Haftrelais gef hrt Dieses Relais ist im Normalbetrieb geschlossen und wird bei St rung evtl auch beim Transport durch Ersch tterungen ge ffnet Zum Schlie en des Haftrelais Antriebselektronik mit Netzspannung versorgen und einschalten Taster Reset mindestens 5 Sekunden lang dr cken 5 2 Heizen der Turbopumpe Der Enddruck richtet sich nach der Sauberkeit der Pumpe und der Appa ratur Um den Enddruck in m glichst kurzer Zeit zu erreichen ist es zweck m ig Turbopumpe und Apparatur zu heizen Ist der Rezipient direkt ange flanscht mu darau
6. Ca ep Pd 30 Espace pour l huile 31 Piece de pression 2 20 11 14 Fig 15 2 O Ring 11 O Ring 16 Schauglas 3 O Ring 12 Dochtf hrung 18 Verschlu schraube 8 Kugellager 13 Druckfeder 29 Spritzscheibe 9 Schwingring 14 Druckfeder 30 Olraum 10 Docht 15 Einstellmutter 31 Druckst ck 17 6 2 Reinigung Fig 15 Bei leichter Verschmutzung z B durch Betriebsmittelniederschl ge kann die Pumpe in unzerlegtem Zustand gereinigt werden Handeit es sich jedoch um schwerl sliche Medien oder liegt eine extreme Verschmutzung vor mu die Pumpe vollkommen de montiert werden Hierzu sollte der Balzers Service herangezogen werden 6 2 1 Reinigung in unzerlegtem Zustand Pumpe abschalten und auf Atmosph rendruck fluten Pumpe aus der Anlage demontieren Verschlu schrauben 18 herausschrau ben Betriebsmittel absaugen und Ver schlu schrauben 18 wieder einschrau ben Vorvakuumanschlu mit Blindflansch verschlie en Pumpe mit Reinigungsmittel f llen Als Reinigungsmittel d rfen nur Frigen 113 oder Freon TF verwendet werden Pumpe kurze Zeit stehen lassen Rotor von Hand im Hochvakuuman schlu drehen Pumpe entleeren Reinigungsmittel ber Vorvakuumanschlu ablaufen las sen Reinigungsmittel im Kugelge h use ber HV Stutzen ausgie en Das sich in den beiden Schmiermittelr u men sammelnde Reinigungsmittel wird wie das Betriebsmittel beim Betriebsmittelwechsel mit einer Injek tionssprit
7. b sur les pompes avec bride lat rale monter la sortie de c ble vers le haut Monter le ventilateur Brancher le ventilateur selon sch ma lectrique dans le capot ou comme indiqu sur la fig 12 pour tension 110 V ou 220V Poser le capot 15 et le glisser dans la queue d aronde le fixer l aide des vis 16 Fermer les raccords du syst me de refroidissement par eau avec les bou chon filet s 20 Fig 11 1 Turbopumpe 9 Blindflansch 10 Schraube 11 Grundplatte 13 Schwingungsd mpfer 14 Ventilator 15 Kappe 16 Schraube 17 O Ring 18 Kabelband 19 Mutter 20 Schraubstopfen 21 Zugentlastung 30 Schwalbenschwanzf hrung Zul Umgebungstemperatur bei Luftk hlung O 35 C 1 Turbo pump 9 Blank flange 10 Screw 11 Base plate 13 Vibration isolator 14 Fan 15 Cap 16 Screw 17 O ring 18 Cable tap 19 Nut 20 Screw plug 21 Traction relief 30 Dovetail guide Admissible ambient temperature with air cooling 0 35 C 1 Pompe turbo 9 Bride pleine 10 Vis 11 Plaque de base 13 Amortisseur de vibrations 14 Ventilateur 15 Capot 16 Vis 17 Joint torique 18 Ruban de c ble 19 Ecrou 20 Bouchon vis 21 D charge de traction 30 Queue d aronde Temp rature ambiante admissible pour refroidissement air 0 35 C Bei 110 V Net
8. l autre est plac e dans la car casse de pompe Si la temp rature admissible est d pass e l une des deux r sistances le syst me d entrai nement lectronique r duit la puis sance du moteur jusqu O La pompe turbo standard est refroidie par eau et peut tre en un tournemain adapt e au refroidisse ment par air 4 4 1 Refroidissement par eau Fig 10 La r sistance la corrosion en g n ral est ramener une couche tr s mince d oxyde qui maintient sur la surface un tat passif Pour cela il faut qu il y ait un contenu minimal en oxyg ne Dans des syst mes de refroidisse ment ferm s il faut prendre en consi d ration que sans des mesures sp ciales le contenu en oxyg ne s abaisse au dessous de la quantit minimale Ici il faut prendre soin de la possibilit au cours du refroidissement de retour d absorption des quantit s suffisantes d oxyg ne En tous cas l eau de refroidisse ment doit tre filtr e pour liminer du circuit de refroidissement de la crasse et de la mati re organique en suspen sion Sinon des s dimentations locales pourraient se former favorisant la cor rosion localis e Um Korrosionssch den zu vermei den sind folgende Anforderungen an das K hlwasser einzuhalten Wasser filtriert mechanisch rein optisch klar ohne Tr bung ohne Bodensatz chemisch neutral Min Sauerstoffgehalt 4 mg kg Max Chloridgehalt 100 mg kg Max Karbonat H rt
9. mit Injektionsspritze einf llen Fill 10 cm TL 011 into both oil bres avec une seringue Injektionsspritze PM 006 296 U chambers by means of a syringe Indroduire dans chaque chambre 10 Verschlu schraube 18 wieder ein Syringe PM 006 296 U cm TL 011 avec une seringue schrauben dabei ist zu beachten da Screw in locking screw 19 and take Seringue PM 006 296 U der O Ring 3 richtig in der Nut liegt care that the O ring 3 is correctly seat Revisser la vis de fermeture 18 en veil und die Druckfeder 13 in der Bohrung ed in the groove and the compression lant ce que le joint torique 3 soht der Verschlu schraube zentriert wird spring 13 is centered in the borehole bien plac dans la gorge et le ressort TL 011 unter 7 Betriebsmittel of the locking screw de pression 13 bien centr dans le TL 011 oil see 7 operating media pergage de la vis Huile TL 011 selon 7 fluides d exploitation 2 O ring 3 O ring 31 9 8 Ball bearing 9 Antivibration ring 10 Wick 11 O ring 12 Wick guide 13 Compression spring 14 Compression spring 15 Setting nut 16 Sight glass 18 Plug screw 16 29 Splash disc 30 Space for oil 31 Pressure piece 3 2 Joint torique 18 8 3 Joint torique 13 8 Palier billes 29 8 Anneau antivibration 10 10 M che 11 Joint torique 12 12 Guide m che 13 Ressort de pression 14 Ressort de pression 15 Ecrou de r glage 16 Hublot 18 Vis de fermeture 29 Disque pulv risateur
10. ou par le syst me de refroidissement TZK 350 en cas d utilisation du TZK 350 sans filtre d impuret s Arriv e et sortie d eau peuvent tre branch es dans n importe quel sens sur les raccords 3 Le filtre d impuret s 55 se met dans l arriv e d eau et le contr leur d eau de refroidissement TCW 56 la sortie d eau Accessoires pour raccord eau de refroidissement au parag 8 7 bar 10 4 4 2 Luftk hlung Fig 11 Die Turbopumpe kann auf Luftk hlung The turbo pump can be converted to umgestellt werden In der TCP 300 310 sind elektrische Anschlu m glichkeiten f r die Ventila toren vorgesehen Bei voller Antriebsleistung und voller Gaslast darf die maximale Umge bungstemperatur 35 C nicht ber schreiten 4 4 2 1 Montage der Luftk hlung Fig 11 Schrauben 10 aus dem seitlichen Flansch herausschrauben Deckel 9 wenn m glich nicht abnehmen Hat sich der Deckel 9 gel st ist bei der Montage auf eine saubere Dichtfl che und auf die richtige Lage des O Ringes 17 Fig 11 zu achten Von vormontiertem Luftk hlungsge h use Kappe 15 und L fter 14 demon tieren Zum Abnehmen der Kappe 15 Schrauben 16 l sen Grundplatte und Kappe so gegeneinander verschieben da die Kappe aus dem Schwalben schwanz 30 der Grundplatte gleitet Kappe abheben Grundplatte 11 mit Schrauben 10 Schrauben M5 x 16 im Beipack mon tieren a bei Pumpen mit HV Flansch oben oder unten Kabelausgang
11. 392 EWG till g II B Vi attesterer konformitet med EU direktiv vedr rende elektromagnetisk kompatibilitet 89 336 EWG og med EU lavsp ndingsdirektiv 73 23 EWG De anvendte direktiver harmoniserede standarder og de anvendte nationale standarder ag specifikationer er angivet nedenfor gt SE Tillverkarens f rklaring enligt f ljande EG direkti Maskindirektiv 89 392 EEC Elektromagnetisk tolerans 89 336 EEC L gsp nning 73 23 EEC H rmed f rklarar vi att den nedan n mnda produkten r avsedd f r inmontering i en maskin och att denna maskin inte far tas i drift f rr n det har konstaterats att slutprodukten st mmer verens med EG s direktiv 89 392 EEC annex II B Vi bekr ftar konformitet med EG s direktiv om elektromagnetisk tolerans 89 336 EEC och EG s f gsp nningsdirektiv 73 23 EEC De riktlinjer anpassade standarder nationella standarder och specifikationer som har blivit accepterade anges h r nedan gt EI Valmistajan vakuutus seuraavien EU direktiivien mukaisesti konedirektiivi 89 392 ETY s hk magneettinen siedett vyys 89 336 ETY pienj nnite 73 23 ETY Vakuutamme t ten ett allamainittu tuote on tarkoitettu asennettavaksi koneeseen ja sen k ytt notto on kielletty kunnes on todettu ett lopullinen tuote vastaa EU direktiivin 89 392 EtY vaatimuksia Vahvistamme vaatimustenmukaisuuden EU direktiivin s hk magneettinen siedett vyys 89 336 ETY ja EU pienj nnitedirektiivin 73 23 ETY kanssa Sov
12. 51 und 52 abgenommen sind Wird nur ein Lagerschild abge nommen kann das Lager im noch montierten Lagerschild durch das Auf ziehen des gegen berliegenden Lagers besch digt werden Werkzeuge f r Lagerwechsel Fig 18 1 Lageraufzieher PM 003 742 2 Zweiarm Abzieher mit 3 Zwischenst ck PM 013 242 4 Aufziehdorn PM 013 232 5 Spieleinstellsch ssel PM 003 743 U 7 Schl ssel f r Gewindering PM 003 770 U 6 4 1 Lagerschilde demontieren Fig 19 21 Steckverbindung X8 zum TCP trennen Schrauben 53 herausschrauben Lagerschild 51 und 52 abziehen 6 4 2 Kugellager und Spritzscheibe Fig 22 Lager und Spritzscheibe gemeinsam abziehen 6 4 Replacing the bearings Fig 18 to 36 The description of bearing replace ment is a guide for the right perfor mance Special tools are required for replace ment of the bearings Fig 18 The bearing replacement should be carried out by developed persons in suitable dustfree rooms Balzers service courses maintenance bearing replacement a sol are offered for our customers in regulary terms For bearing exchange there is a spare parts package at your disposal includ ing all necessary parts see 7 spare parts To provide a better overview over the arrangement of the individual compo nents in the turbo pump their items in Fig 19 to 35 are identical to those in the sectional drawing Fig 36 Bearing change on both sides of the pump is the same The illustrations ma
13. 8 Schraube 9 Blindflansch 10 Schraube 17 O Ring A HV Flansch oben B HV Flansch seitlich 1 High vacuum flange 2 Fore vacuum line 3 Cooling water connection 4 Base plate 5 Screw 6 Flange connection 7 Fore vacuum connection 8 Screw 9 Blank flange 10 Screw 17 O ring A Flange standard version B Flange lateral version 1 Bride de vide pouss 2 Conduite de vide primaire 3 Raccord eau de refroidissement 4 Plaque de base 5 Vis 6 Connexion entr e d air 7 Raccord de vide primaire 8 Vis 9 Bride pleine 10 Vis 17 Joint torique A Bride en haut B Bride lat rale Fig 9 7 Vorvakuumanschlu Turbopumpe 52 Sauganschlu Vorvakuumpumpe 53 Vorvakuumleitung 54 Hochvakuum Sicherheitsventil 7 Fore vacuum connection turbo pump 52 Intake connection backing pump 53 Fore vacuum line 54 High vacuum safety valve 7 Raccord de vide primaire pompe turbo 52 Raccord d aspiration pompe primaire 53 Canalisation de vide primaire 54 Vanne de s curit vide pouss 4 4 K hlung Zum Abf hren der Reibungsw rme und der beim Heizen auftretenden W rme m ssen die Turbopumpen gek hlt werden Die Turbopumpe ist durch zwei PTC Widerst nde in Motorwicklung und Pumpengeh use thermisch gesch tzt Wird an einem der Wider st nde die zul ssige Temperatur ber schritten reduziert die Antriebselek tronik die anliegende Antriebsleistung bis auf O Die Pumpe ist serienm ig wasser gek hlt und kann mit we
14. End plate 52 End plate 53 Screw 54 Plug 6 5 5 Montage du hublot Fig 36 Le montage du hublot se fait en sens inverse du d montage faire attention au ressort 13 En fixant le hublot 16 avec la bague filet e 17 bien maintenir le hublot en place et viter qu il tourne avec la bague filet e Serrer l anneau filet 17 doucement apr s vacuation de la pompe Si l an neau est serr trop la pompe tant sous vide il ne peut plus tre d serr si la pompe se trouve sous pression atmosph rique La m che doit tre mont e si pos sible de telle fa on que le per age pour la m che soit en position verti cale vers le bas fig 15 introduire l huile l aide d une seringue injection comme indiqu sous 6 1 L gende de la fig 19 36 2 Joint torique 3 Joint torique 8 Palier billes 9 Anneau antivibration 10 M che 12 Guide m che 13 Ressort de pression 16 Hublot 17 Anneau filet 18 Vis de fermeture 27 Pi ce de pression 28 Disque cardan 29 Disque pulverisateur 51 Plaque de palier 52 Plaque de palier 53 Vis 54 Fiche X8 27 7 Betriebsmittel Das Spezial Schmiermittel TL 011 ist f r Lager mit hoher Drehzahl aus gelegt In einem zus tzlichen Vakuum Verfahren wird das Schmiermittel entgast und getrocknet Bestell Nummern TLO11 TLO11 0 251 0 25 PM 006 034 AT 0 51 0 51 PM 006 032 AT 11 1 PM 006 033 AT 8 Zubeh r 8 Accessories TPH 330 TPU 330 Heizmanschette Splitters
15. a max period of 30 minutes turbo est remise l air automatique ment jusqu 30 minutes max apr s 30 Minuten nach dem Abschalten oder after switching off by means of K2 or d arr t par K2 ou coupure de courant bei Netzausfall automatisch geflutet automatically in the event of a mains Einstellung der Ger te TCF 102 und failure Setting of the TCF 102 and Pour le r glage des appareils TCF 102 TCV 102 nach Betriebsanweisung TCV 102 units per operating instruc et TEN 102 voir les instructions de PM 800 123 BD tion PM 800 123 BE service PM 800 123 BF 5 4 Stillsetzen der Turbopumpe 5 4 Shutting down the turbo pump 5 4 Mise hors service des pompes Zum Stillsetzen der Turbopumpe For extended shutdowns of the turbo ber l ngere Zeit ist folgendes zu turbo pump the following must be Pour la mise hors service des pom beachten observed pes turbo pendant un temps assez Bei der Turbopumpe ist ein An oil change must be carried out Jong il faut tenir compte de ce qui lwechsel nach 6 1 durchzuf hren on the turbo pump as described in 6 1 SUE Die Gebrauchsf higkeit des von Pfeif The useability of the TL 011 oil used En ce qui concerne la pompe fer verwendeten ls TL 011 betr gt by Pfeiffer is 2 years if the pump is turbo il faut faire un changement ohne Betrieb 2 Jahre not operated d huile selon 6 1 L aptitude de l huile Hochvakuumflansch der Turbopumpe Close the high vacuum flange of the on utilis par Pfeiffer
16. billes A doit toujours tre mont c t du plus grand diam tre X de la bague de palier int rieure vers le rotor comme le montre la fl che fig 23 Le palier billes B doit toujours tre mont c t du plus grand dia m tre int rieur de la bague de palier ext rieure vers le rotor Ne pas coincer le palier billes 8 en l indroduisant sur l arbre Pousser le palier avec pr caution sur l arbre l aide de la broche de mon tage 1 PM 003 742 en frappant l g rement la broche Ne pas coincer le dis que pulv risateur 29 en l introduisant sur l arbre Pousser le disque pulv ri sateur l aide de la broche de mon tage 4 PM 013 232 sur l arbre en frappant l g rement et avec pr caution la broche 6 4 4 Remplacer l anneau antivibration Fig 24 25 L anneau antivibration doit tre remplac chaque changement de palier On le sort facilement de la rai nure avec une pincette courb 6 4 5 Montage Le montage de la pompe se fait en sens inverse apr s change des paliers et des anneaux antivibration Pour avoir une meilleure vue d em semble la fig 36 montre l emplace ment des pi ces de la pompe lorsque celles ci sont mont es 6 5 Changement de m che et d huile Fig 26 35 6 5 1 D visser la vis de fermeture Pour ne pas endommager la vis utiliser un tournevis bout large faire attention au ressort 13 23 Fig 24 Fig 26 Rotor Fig 25
17. e ee Gesch ftsf hrer JA Dondorf Managing Director Administrerende Direkter G rant d affairs Verkst llande Direkl r Gerente Directeur Aurv8dvev Lipfevaos DTP Herst 1 9606 Form Nr 10117 9606
18. the shoulder of the sight glass Fig 34 Place the wick into the groove in the sight glass and cut off at the point indicated by the arrow A part of the hose 55 remains on the wick 10 for threading in Fig 35 shows the wick in the cor rect position Fig 29 6 5 2 Aspirer l fluide Fig 28 Sortir le guide meche 12 du flas que On aspire l huile dans la plaque de palier l aide d une seringue injection no de commande PM 006 296 U livr e avec la pompe 6 5 3 Enlever le hublot 16 Fig 29 30 Sortir la baque filet e 17 avec la clef et enlever le hublot 16 faire atten tion au ressort de pression 13 Sortir la m che 10 du hublot 16 6 5 4 Enfiler la m che Introduire la m che 10 en partant du per age int rieur du hublot dans le percage pour la m che comme le montre la fig 33 Tirer la m che jus qu ce que le guide m che 12 s appli que au bord du hublot fig 34 Placer la m che dans la rainure du hublot et couper l endroit de la fl che Une partie du tuyau 55 reste la m che 10 pour enfiler Fig 35 montre une m che conve nablement plac e 25 Fig 30 Fig 32 Fig 31 Fig 35 26 6 5 5 Montage des Schauglases Fig 36 Die Montage des Schauglases erfolgt im umgekehrten Sinn als die Demontage auf Feder 13 achten Beim Anziehen des Schauglases 16 mit dem Gewindering 17 ist das Schauglas gegen Verdrehen festzuhalten Gewin dering 1
19. to the mains supply as shown in the circuit diagram in the cap or as shown in Fig 12 for 110 V or 220 V mains voltage Put on the cap 15 and push it into the dovetail guide then fasten it by means of screws 16 Close the water cooling system con nections by means of screws plugs 20 11 4 4 2 Refroidissement par air Fig 11 On peut transformer la pompe turbo pour avoir un refroidissement par air Dans le TCP 300 310 sont pr vues des possibilit s de branchement lectrique pour les ventilateurs A pleine puissance et pleine charge de gaz la temp rature ambiante ne doit pas d passer 35 C max 4 4 2 1 Montage du refroidissement par air Fig 11 D visser les vis 10 de la bride lat rale Si possible ne pas enlever le couvercle 9 Si le couvercle 9 s est d tach il aut veiller en le remontant ce que la surface d tanch it soit propre et que e joint torique 17 soit bien en place Fig 11 Sur le bo tier du refroidissement par air d j mont d monter le capot 15 et le ventilateur 14 Pour enlever le capot 15 d visser les vis 16 D placer un par rapport l autre la plaque de base et le capot de fa on que le capot glisse hors de la queue d aronde 30 de a plaque de base enlever le capot Monter la plaque de base 11 l aide des vis 10 vis M5 x 16 jointes la fourniture a sur les pompes avec bride dirig e vers le haut ou vers le bas monter la sortie de c ble vers le bas
20. unit and K7 relay installed or electronic drive TCP 300 TCP 310 with pumping unit control TCS 302 Backing pumps up to model DUO 030 A up to 30 m h Fig 5b DUO 030A Les pompes fabriqu es en s rie sont refroidies par eau Elles peuvent tre transform es pour refroidissement par air en montant des ventilateurs ce qui se fait facilement Les pompes sont thermiquement pro t g es contre des temp ratures ambiantes trop lev es La puissance d entra nement est r gl e vers le bas en cas de temp ratures de l entra nement ou de la carcasse inad missiblement lev es 2 Pompes vide primaire Fig 5 On peut utiliser comme pompes vide primaire les pompes rotatives palettes Pfeiffer suivantes avec entrainement lectronique TCP 300 TCP 310 et relais K7 ou entrai nement lectronique TCP 300 TCP 310 avec appareil de commande de groupe de pompage TCS 302 pompes vide primaire jusqu DUO 030 A jusqu 30 m h 3 Technische Daten 3 Technical data 3 Caracteristiques TPH 330 TPU 330 TPH 510 TPU 510 Ansaugflansch Intake flange Bride d aspiration DN 100 ISO K DN100 CF F DN1601SO K DN 150 CF F Vorvakuumflansch Fore vacuum flange Bride vide primaire DN 25 KF DN 40 KF Saugverm gen f r Volume flow rate for Debit volume pour Stickstoff Nz Nitrogen Na Azote N2 Vs 300 500 Helium He Helium He Helium He Vs 370 570 Wasserstoff H
21. 1 et 52 6 4 2 D monter le palier billes et le disque pulv risateur Fig 22 Enlever ensembles te palier billes et le disque pulv risateur 21 Fig 22 Fig 21 22 6 4 3 Kugellager einbauen Fig 23 Wichtig Das Kugellager A mu immer mit dem gr eren Au en durchmesser X des Innenringes wie Pfeil in Fig 23 zeigt zum Rotor einge baut werden Das Kugellager B mu immer mit dem gr eren Innendurchmesser des Au enringes wie Pfeil zeigt zum Rotor eingebaut werden Kugellager 8 beim Aufsetzen auf die Welle nicht verkanten Mit Aufziehdorn 1 PM 003 742 Kugel lager durch leichte Schl ge vorsichtig auf die Welle schieben Spritzscheibe 29 beim Aufsetzen auf die Welle nicht verkanten Mit Aufziehdorn 4 PM 013 232 Spritzscheibe durch leichte Schl ge auf den Aufziehdorn vorsichtig auf die Welle schieben 6 4 4 Schwingring austauschen Fig 24 25 Der Schwingring ist bei jedem Lagerwechsel durch einen neuen zu ersetzen Er l t sich mit einer abge winkelten Pinzette leicht aus der Nut nehmen 6 4 5 Montage Die Montage der Pumpe erfolgt nach dem Austausch der Lager und Schwingringe im umgekehrten Sinn Zur besseren bersicht zeigt Fig 36 die Lage der Pumpenteile in montier tem Zustand 6 5 Docht und lwechsel Fig 26 35 6 5 1 Verschlu schraube abschrauben Um die Verschlu schraube nicht zu besch digen ist ein Schraubendre her mit m glichst breiter K
22. 14 308 R BN 845 013 T PM 003 871 T PM 443 022 T PM 414 095 X BP 213 203 T BP 217 130 Xx BP 217 508 T BN 845 039 T BP 414 309 R BN 845 013 T PM COO 131 PM COO 130 PM COO 132 PM 474 019 T P 4161 300 2R PM ZOO 100A PM 200 102A PM Z01 021 PM Z01 080 PM Z01 017 PM 201 010 PM 201 016 PM 200 120 N 2358 170 JS 28 9 Ersatzteile 9 Spare parts 9 Pieces de rechange Ersatzteilliste Spare parts list Pieces de rechange TPH TPU 330 510 Pos Benennung Title Designation D St ck Nr Item Quant No Pos pieces No de cat Dichtungssatz Set of seals Jeu de joints TPH TPU 330 1 PM 003 738 T Dichtungssatz Set of seals Jeu de joints TPH TPU 510 1 PM 003 861 T 1 O Ring O ring Joint torique TPH TPU 510 132 x3 2 P4071 397 PP 1 O Ring O ring Joint torique TPH TPU 330 115x2 5 2 P 4071 322 PP 2 O Ring O ring Joint torique 88x3 4 P4071 151 PP 3 O Ring O ring Joint torique E 38x3 2 P4070 621 PV 4 O Ring O ring Joint torique TPH TPU 330 24x25 4 P4070 420 PP 4 O Ring O ring Joint torique TPH TPU 510 32x3 4 P 4070 542 PP 5 USIT Ring USIT ring Joint en USIT j 12 7 18 x 1 5 4 P3529 142 8 Kugellager Ball bearing Palier billes VX7 7CE 0 7 19x6 2 P 4004 314 DX 9 Schwingring Antivibration ring Anneau antivibration 2 PM 003 203 11 O Ring O ring Joint torique u 20x1 2 P4070 344 PP 12 Dochtf hrung kompl Wick guide compl Guide meche c
23. 7 nach Evakuierung der Pumpe leicht nachziehen Wird der Gewindering bei evakuierter Pumpe zu fest angezogen kann er bei Atmos ph rendruck nicht mehr abgeschraubt werden Der Docht sollte m glichst so ein gebaut werden da die Dochtbohrung senkrecht nach unten steht Fig 15 Betriebsmittel nach 6 1 mit Injektions spritze einf llen Legende zu Fig 19 36 2 O Ring 3 O Ring 8 Kugellager 9 Schwingring 10 Docht 12 Dochtf hrung 13 Druckfeder 16 Schauglas 17 Gewindring 18 Verschlu schraube 27 Druckst ck 28 Kardanscheibe 29 Spritzscheibe 51 Lagerschild 52 Lagerschild 53 Schraube 54 Stecker X8 6 5 5 Assemble the sight glass Fig 36 The sight glass is assembled in the reverse order when compared to the disassembly care for spring 13 The sight glass 16 should be held tightly to avoid its turning when it is being locked with the ring nut 17 Tighten threaded ring 17 slightly after evacua tion of the pump If the threaded ring is tightened too much it cannot be loo sened any more at atmospheric pres sure If possible the wick should be fitted in such a way that the wick bore points downwards in a vertical direction Fig 15 Filt with oil using the syringe in accor dance to 6 1 Legend Fig 19 36 2 O ring 3 O ring 8 Ball bearing 8 Antivibration ring 10 Wick 12 Wick guide 13 Compression spring 16 Sight glass 17 Ring nut 18 Drain plug 27 Pressure piece 28 Cardan disc 29 Splash disc 51
24. N 4 wei white blanc 5 blau blue bleu TCP 300 310 H 6 gr n green vert H 7 rot red rouge L a a 8 gr n gelb green yellow vert jaune 9 braun brown brun Fig 17 Antrieb TPH TPU 330 510 Drive TPH TPU 330 510 Entrainement TPH TPU 330 510 20 6 4 Lagerwechsel Fig 18 bis Fig 36 Die Beschreibung des Lagerwech sels ist ein Wegweiser f r die richtige Durchf hrung F r den Lagerwechsel steht unser Spe zialwerkzeug zur Verf gung Fig 18 Der Lagerwechsel sollte von geschul tem Personal in geeigneten staub freien R umen durchgef hrt werden Balzers Service Schulungen Wartung von Pumpen Lagerwechsel etc wer den f r unsere Kunden in regelm i gem Turnus angeboten Bitte wenden Sie sich diesbez glich an unsere Ver tretungen oder Tochtergesellschaften Ein Ersatzteilpaket welches alle ben tigten Teile zum Lagerwechsel beinhal tet steht Ihnen zur Verf gung siehe 7 Ersatzteile Zur beseren bersicht der Einzelteil anordnung in der Turbopumpe ist die Positionierung in den Abbildungen Fig 19 bis Fig 35 mit der Positionierung in der Schnittzeichung Fig 36 identisch Der Lagerwechsel ist auf beiden Seiten der Pumpe gleich Abgebildet ist zum gr ten Teil nur die Antriebsseite der Pumpe Grunds tzlich ist bei jedem Lager wechsel auch ein lwechsel nach 6 1 durchzuf hren Lager immer auf beiden Seiten der Pumpe auswechseln Lager nur dann aufziehen wenn beide Lagerschilde
25. Nous confirmons la conformit du produit avec la directive CE 89 336 CEE concernant la compatibilit lectromagn tique et la directive CE 73 23 CEE concernant la basse tension Les directives appliqu es normes harmonis es et les normes et sp cifications nationales appliqu es figurent ci dessous gt Nr Dichiarazione del costruttore ai sensi delle seguenti direttive UE Macchinari 89 392 CEE Compatibilit elettromagnetica 89 336 CEE Bassa tensione 73 23 CEE Si dichiara che il prodotto qui menzionato destinato al montaggio in una macchina e che la sua messa in funzione vietata sin quando non stato accertato che il prodotto finale non rispetta le disposizioni della direttiva UE 89 392 CEE Appendice II B Attestiamo la conformit con la direttiva UE sulla compatibilit elettromagnetica 89 336 CEE e la direttiva UE sulla bassa tensione 73 23 CEE Sono riportate in basso le direttive aplicate le narme standardizzate nonch le norme e le specifiche nazionali utilizatte DES Declaracion del fabricante al tenor de las siguientes Directivas de la UE Maquinarias 89 392 MCE Compatibilidad Electromagn tica 89 336 MCE Baja Tensi n 73 23 MCE Por la presente declaramos que el producto mencionado mas abajo esta previsto para ser incorporado en una maquina y que la puesta en servicio de la misma queda prohibida en tanto que no se haya verificado que el producto final concuerda con las disposiciones resultantes de la Direc
26. PFEIFFER VACUUM Betriebsanleitung Operating Instructions Mode d emploi TPH 330 TPU 330 TPH 510 TPU 510 Turbomolekularpumpe Turbomolecular Pump Pompe turbomol culaire PM 800 171 BN D 9702 N 3722 no 6 4 6 4 1 6 4 2 6 4 3 Allgemeines Vorvakuumpumpen Technische Daten Enddruck Saugverm gen Installation Hinweis zur Installation Hochvakuumanschlu Einsetzen des Splitterschutzes Umbau des Hochvakuumflan sches Vorvakuumanschlu K hlung Wasserk hlung Luftk hlung Montage der Luftk hlung Flutanschlu Betrieb Einschalten Reset Heizen der Turbopumpe Abschalten Stillsetzen der Turbopumpe Instandhaltung lwechsel Reinigung Reinigung im unzerlegten Zustand Pr fen des Antriebs in der Tur bopumpe Pr fen des Turbomotors ohne Antriebselektronik TCP 300 310 Lagerwechsel Lagerschilde demontieren Kugellager und Spritzscheibe demontieren Kugellager einbauen Schwingring austauschen Montage Docht und Betriebsmittel wechsel Verschlu schraube abschrau ben Betriebsmittel absaugen Schauglas abnehmen Docht einf deln Montage des Schauglases Betriebsmittel Zubeh r Ersatzteile General Backing pumps Technical data Ultimate pressure Volume flow rate Installation Note concerning installation High vacuum connection Fitting the splinter shield Conversion of the high vacuum flange Fore vacuum connection Cooling Water cooling Air cooling Assembly
27. a Hydrogen H2 Hydrog ne Hz Vs 330 500 Empfohlene Vorpumpe Recommanded backing Pompe primaire pump recommand e GEA 12 12 zugeh rige accompanying qui appartient TCP 127 Antriebselektronik electronic drive unit commande electronique TCP 300 TCP 300 TCP 310 TCP 310 TCP 380 TCP 380 Kompressions Compression ratio Taux de compres verh ltnis f r N for Na sion pour No 1 10 8 108 He He He 3 104 1 5 104 Ha Ha H2 1 7 10 1 103 Enddruck theor 2 Ultimate pressure theor 2 Pression finale theor mbar 10 on Betriebsenddruck Ultimate operating Pression finale mbar lt 1 100 ei IOI D pressure de fonctionnement mbar lt 1 10 1 109 amp mbar ZO JOE lt 1 108 Drehzahl Speed Vitesse rpm 60 000 60 000 Hochlaufzeit Start up time Temps de d marrage mit TCP 300 310 with TCP 300 310 avec TCP 300 310 min 3 6 Hochlaufzeit Start up time Temps de d marrage mit TCP 120 121 with TCP 120 121 avec TCP 120 121 min 4 5 zut ssiges Permissible magnetic Champ magn lique Magnetfeld 7 field admissible mT 6 6 lf llung Oil filling Remplissage d huile cm 2x10 2x10 K hlwasserbedarf Cooling water Consommation eau requirement de refroidissement Vh 15 15 K hlwassertemperatur Cooling water temperatur Temp rature eau de refroidissement C 5 25 5 25 zul Umgebungstemperatur Permissible ambient Temp rature ambiente bei Luftk hlung temperature for admissible pour air cooling refroidissement par air C 0 35 0 35 Leistungsaufna
28. an be subjected to vertical loads of 100 kg max does not apply for S models The weight of a freely flanged receiver must under no circumstances exert torque on the flange onesided weight of the receiv er All UHV components must be fitted with the utmost cleanliness Unclean components increase the pumping down time as a result of the desorp tion rate With horizontal rotor arrangement the pump ca be flanged to the vacuum chamber in any desired position Maximum deviation to the horizontal 5 If the turbo pump is connected to the vacuum chamber via a metal bellows the pump must be anchored 4 Installation 4 1 Remarque concernant l installation La pompe turbo est livr e avec sa charge d huile N enlever les brides pleines des c tes vide pouss et vide primaire que juste avant le montage La pompe est rem plie de N Si les pompes turbo fonctionnement dans un champ magn tique avec des intensit s de champ sup rieures 6 mT il faut pr voir des mesures de blindage appropri es syst mes de blindage sur demande 4 2 Connexion vide pous e Les pompes Turbo sont fournis avec la bride de vide pouss en haut ou la demande du client avec la bride de vide pouss en bas L ex cution avec la bride de vide pouss en haut peut tre modifi e par le client sans difficult dans l ex cution bride de vide pouss laterale Modification de la position de la bride voir section 4 2 2 Si la pompe
29. are free from any liability for reason of those troubles or damages The pump can be supplied via the cooling water system maximum over pressure 7 bar or via the TZK 350 cooling unit If the TZK 350 is used without dirt trap The cooling water supply and return system can be connected as desired to the connections 3 The dirt trap 55 must be installed in the supply system and the TCW cool ing water monitor 56 in the return system Cooling water connection accessories cf section 8 Pour viter d t riorations par cor rosion les exigences suivantes pour l eau de refroidissement sont respec ter L eau filtr e m chaniquement pure optiquement claire sans louche sans d p t chimiquement neutre Contenue en oxyg ne minimal 4 mg kg Contenue en chlorures maximal 100 mg kg Duret de l eau partielle au carbonate 10 dH Consommation maximale en permanganate de potassium 10 mg kg Valeur pH 7 9 Acide carbonique agressif et ammoniaque ne doivent pas tre d ce lable Surpression l entr e jusqu Si les valeurs indiqu es sont d pass es en haut respectivement en bas et si cette cause des d range ments ou des d t riorations apparais sent dans des installations fournis par nos soins nous sommes libres de toute responsabilit pour ces d rangements ou d t riorations La pompe peut tre aliment e par le r seau d eau de refroidissement sur pression maximale 7 bar
30. ber elektromagnetische Vertr glichkeit 89 336 EW6 und der EU Niederspannungsrichtlinie 73 23 EWG Die angewandten Richtlinien harmonisierten Normen nationalen Normen und Spezifikationen sind unten aufgef hrt ro GB DE gt Manufacturer s declaration pursuant to the following EU directives Machinery Directive 89 392 EEC Electromagnetic Compatibility Directive 89 336 EEC Low Voltage Directive 73 23 EEC We hereby certify that the product specified below is intended for installation in a machine which is forbidden to be put into aperatian until such time as it has been determined that the end product is in accordance with the provision of EU Directive 89 392 EEC Annex II B We certify conformity with EU Electromagnetic Compatibility Directive 89 336 EEC and EU Low Voltage Directive 73 23 EEC The guidelines harmonized standards national standards and specifications which have been applied are listed below gt BE AR D claration du constructeur conform ment aux directives CE suivantes directive machine CE 89 392 CEE directive CE 89 336 CEE concernant la compatibilit lectromagn tique directive CE 73 23 CEE concernant la basse tension Nous d clarans par la pr sente que le produit mentionn ci dessous est pr vu pour le montage sur une machine et que sa mise en service est interdite tant qu il n a pas t d termin que le produit final r pond bien aux dispositions de la directive CE 89 392 CEE appendice II B
31. bride d obtura tion une pompe primaire et la mettre sous vide jusqu 10 mbar env de fa on aspirer l agent nettoyant restant Ne pas enclencher la pompe turbo Remettre la pompe l air et d bran cher la pompe primaire Indroduire TL 011 dans la pompe comme indiqu en 6 1 mais pas plus que 8 cm Retirer la guide m che 31 La m che doit tre sans ancune trace de Frigen injecter env 1 cm TL 011 avec une seringue dans le palier billes et env 1 cm sur la m che Remettre la guide m che et fermer la pompe comme d crit en 6 1 Ensuite la pompe peut tre mise en service le chauffage enclench Le temps de pompage du premier cycle d vacuation sera plus long cause des restes de l agent nettoyant 18 6 3 Pr fen des Antriebs in der Turbopumpe 6 3 Checking the drive in the turbo pump 6 3 V rification du moteur de la pompe turbo Test des Antriebs Test of driving Test d l entraine bei 20 C by 20 C ment sans 20 C G F Hallsondenpfad Hall probe path Trajet d courant des 100Q RS2000 sondes de Hall L H Hallsondenausgang 1 Hall probe output 1 Sortie 1 des sondes ca 40Q 20Q 550Q de Hall J K Hallsondenausgang 2 Halt probe output 2 Sortie 2 des sondes ca 40 Q 200 55 Q de Hall F M Temperatursensoren Temperature sensores Sondes de temp rature 100 9 R3009 E A F 7 b Motorspulen Motor coils Bobines de moteur 0 7Q E D N P Dr fur FPH TPU 330 510 Hr for TPH TPU 330 510 Re p
32. chutz Dichtring f r TPH Klammerflansch TPU Klammerschraube TPH CU Dichtung FPU Anschwei flansch TPU Schraubensatz TPU TPH 510 TPU 510 Heizmanschette Splitterschutz Dichtring f r TPH Klammerflansch TPU Klammerschraube TPH CU Dichtung TPU Anschwei flansch TPU Schraubensatz TPU Bauteile zum K hlen K hlwasserw chter TCW 002 Anschlu garnitur f r TCW 002 Schmutzf nger R 3 8 K hlaggregat TZK 350 Luftk hlung Bauteile zum Fluten Flutventil TVF 012 Stromausfallfluter TSF 010 Trockenvorlage TTV 001 PVC Schlauch 7 Operating media Order codes TPH 330 TPU 330 Heating jacket Splinter guard Seal ring for TPH Clamping flange TPU Clamping screw TPH Copper asbestos gasket TPU Welding flange TPU Set of screws TPU TPH 510 TPU 510 Heating jacket Splinter guard Seal ring for TPH Clamping flange TPU Clamping screw TPH Copper asbestos gasket TPU Welding flange TPU Set of screws TPU Cooling components Coolant monitor TCW 002 Connecting set for TCW 002 Dirt filter R 3 8 Cooling unit TZK 350 Air cooling Components for venting Flooding valve TVF 012 Emergency air inlet valve TSF 010 Dry trap TTV 001 PVC hose The special TL 011 lubricant has been developed for high speed bearings The lubricant is degased and dried by a special vacuum treatment PM 006 034 AT PM 006 032 AT PM 006 033 AT 7 Fluides d exploitation L huile sp ciale TL 011 est con ue p
33. d by shaking dur ing transportation too To close the locking relay supply electronic drive unit with power and switch on Push button Reset for at least 5 seconds 5 2 Heating the turbo pump The ultimate pressure is a function of the cleanliness of the pump and apparatus In order to attain the ultim ate pressure as rapidly as possible it is practical to heat the turbo pump and apparatus If the vacuum chamber is directly flanged on it must be ensured that thre temperature of the high vacuum flange does not exceed 160 C when the apparatus and the pump are heated If the vacuum chamber is heated to a temperature above 200 C the heat must be prevented from radiating from the vacuum chamber to the pump rotor for instance by instailing a radia tion screen The heating time for the pump and vacuum chamber depends on the ultimate pressure desired Due to the heating up time of the rotor it should be at least 4 hours 5 Fonctionnement 5 1 Mise en marche Enclencher l eau de refroidissement et v rifier que le d bit est bon Lorsqu on utilise un syst me de refroi dissement TZK 350 TZK et pompe turbo s enclenchent ensembles Avec le syst me de refroidissement par air le ventilateur se met en marche lorsqu on enclenche la pompe turbo Enclencher la pompe primaire la pompe turbo et enclencher le chauf fage de la turbopompe comme d crit par les instructions d emploi de la commande electronique utilis e
34. e 10 dH Max Kaliumpermanganat verbrauch 10 mg kg pH Wert 7 9 Aggressive Kohlens ure und Ammoniak d rfen nicht nachweisbar sein _ Vorlauf berdruck bis 7 bar Werden die aufgef hrten Werte ber bzw unterschritten und treten deshalb St rungen oder Sch den an den von uns gelieferten Anlagen auf sind wir von jeglicher Haftung auf grund solcher St rungen oder Sch den befreit Die Pumpe kann durch das K hlwas sernetz Maximal berdruck 7 bar oder ber das K hlaggregat TZK 350 ver sorgt werden Beim Einsatz des TZK 350 kein Schmutzf nger Vor und R cklauf des K hlwassers k nnen an den Anschl ssen 3 beliebig angeschlossen werden Der Schmutzf nger 55 ist in den Vor lauf und der K hlwasserw chter TCW 56 in den R cklauf einzusetzen Zubeh r f r K hlwasseranschlu unter 8 To avoid corrosion damages the following requirements for the cooling or heating water must be met Water filtered mechanically clean optically clear without turbidity without deposits chemically neutral Minimum oxygen content 4 mg kg Maximum chloride content 100 mg kg Maximum carbonic hardness 10 dH Maximum consumption of potassium permanganate 10 mg kg pH value 7 9 Aggressive carbon dioxide and ammonia must not be detectable Inlet overpressure up to 7 bar If the actual values are exceeded above respectively below the values indicated above and if trouble or damages occur we
35. e unit Branchement commande lectronique Flutanschlu 6 Flooding connection Raccordement entr e d air Me anschlu Connection for measuring instrument Connexion pour instrument de mesure 3 1 Enddruck Unter dem Enddruck von Turbo molekularpumpen wird nach DIN 28 428 der Druck verstanden der in einem Me dom 48 Stunden nach dem Ausheizen erreicht wird Der End druck f r die Pfeiffer Turbo liegt je nach verwendetem Vorpumpensystem bei folgenden Werten 3 1 Ultimate pressure According to DIN 28 428 the ultimate pressure of turbomolecular pumps is the pressure which is attained in a measuring dome 48 hours after baking out Depending on the type of backing pump system used the ultimate pressure of the Pfeiffer turbo is as follows Fore Pump Combination 3 1 Pression finale Par pression finale des pompes turbo moleculaires on entend la pres sion selon DIN 28 428 que l on obtient dans un d me de mesure 48 heures apres etuvage La pression finale pour les Turbo Pfeiffer est situe selon le syst amp me de pompage primaire utilise dans les valeurs suivantes Enddruck Ultimate pressure Pression finale Vorpumpensystem Combinaison des pompes primaires Dichtung f r Ansaugflansch Seal for Intake Socket Joint pour bride d aspiration 1 101 mbar zweistufige Dreh schiebervakuum pumpe und Turbo Molekularpumpe Two stage rotary vane vacuum pump and tur bo molecular p
36. eltamamme suuntaviitat harmonisoidut standardit kansalliset standardit ja rakennem r ykset on luteltu alempana gt PT Declara o do fabricante de acordo com as seguintes Directivas CE M quinas na redac o 89 392 CEE Compatibilidade electromagn tica na redac o 89 336 CEE Baixa tens o na redac o 73 23 CEE Com a presente dectaramos que o produto abaixo indicado se destina montagem numa maquina e que proibida a coloca o em servi o da mesma antes de se ter declarado que o produto final est em conformidade com o disposto na Directiva CE na redac o 89 392 CEE Ap ndice II B Certificamos haver conformidade com o disposto na Directiva CE sobre compatibilidade etectromagn tica na redac o 89 336 CEE e o disposto na Directiva CE sobre baixa tens o na redac o 73 23 CEE Abaixo d se indica o das directivas aplicadas das normas harmonizadas e das normas e especifica es aplicades no respectivo pais gt GR ANAwon KOHTOOEEL OO kand ro v npa tiav eig eginek mg EEA repi unet 89 392 E OK nepi nAckpopayvritieiig oup en mrag 89 336 EOK pepi ur aang 73 23 E OK Me thy napoloa hAwon Be anuvoune GTI To KATWT EU avapep nevo rpo v npoopiietai via inv npocapyoyh GE pla WAAN UTSIK KO On D vaptn Aetroupyiag Ing anayopeverar pexpic ATAU Braniaiwei OT TO GOUNG OUYKEOTALA AVTANDKPIVETAL GTOUG IOXUOVTEG KAVOVIOHOUS TNS o nviac thc EE 89 392 E 0 K nap proua HR O1 egap
37. ement les instruc tions de service et s y conformer en tous points Tous nos appareils r pondent aux prescriptions l gales du 24 juin 1968 3 relatives aux appareillages techni ques et leurs instructions de service sont redig es en concordance avec la norme DIN 8418 L utilisateur proc de t il iui m me des travaux de r paration ou d en tretien sur des appareils qui auraient t en contact avec des mati res toxi ques il est alors tenu de respecter les prescriptions aff rentes Au renvoi de tous appareils r pa rer ou r viser pri re de tenir compte des points suivants Les appareils ayant servi la manipu lation de fluides radioactifs doivent tre pr alablement d contamin s prescriptions relatives la protection contre les missions radioactives Tous les appareils qui nous sont retourn es fin de r paration ou de r vision sont imp rativement pour voir d un avis bien visible attestant qu ils sont libres de toutes substan ces toxiques Le m me avis est pr ciser sur le bon de livraison et les papiers d accompagnement Utiliser le verification attacher A l exception des appareils ayant servi la manipulation de fluides radioactifs l utilisateur peut nous lais ser le soin de d contaminer les appa reils retourn s Dans ce cas la com mande est r diger en cons quence en pr cisant la nature des fluides manipules Cette indication fait elle d faut les fra
38. en Zustand Fig 13 6 Flutanschlu Turbopumpe 60 Flutsteuergerat TCF 102 oder Ventil steuerger t TCV 102 61 Flutventil TVF 012 62 PVC Schlauch 8 x 14 63 Trockenvorlage TTV 001 4 5 Venting connection Fig 13 Manually or electrically operated valves can be used to vent the turbo pump The TCF 102 vent control unit or the TCV 102 valve control unit are used for delayed safety venting of the turbo pump and vacuum chamber If a TSF 010 vent valve is employed the turbo pump is vented immediately after a mains failure or after the pump is switched off Flange the vent valve 61 to the venting connection 6 Screw the air drier 63 to a holder pro vided in advance existing at he pum ing unit frame Connect the hose 62 between 61 and 63 Connect the TCF 102 vent control unit or TCV 102 valve control unit 60 in accordance with the circuit diagram and the operating instructions PM 800 123 BE When using the TPH TPU 330 with TCP 120 121 and vent valve TSF 012 delayed speed controlied venting is possible The vent valve closes immediately after the TCP 120 121 is energized and opens at approximately 400 Hz during rundown The vent valve remains open all the time the machine is at standstill 6 Venting connection turbo pump 60 Vent control unit TCF 102 or Valve control unit TCV 102 61 Vent valve TVF 012 62 PVC hose 8x14 63 Air drier TTV 001 6 Raccord de remise l air pompe turbo 60 Appareil de co
39. est ancr e aucune force partir de la tubulure doit tre exerc e sur la pompe Pour le raccordement de la pompe sur l enceinte il faut savoir que la bride UHV peut tre charg e par une charge verticale de 100 kg env max ceci n st pas valable pour l ex cution S Le poids d une enceinte raccord e sans support ne doit pas exercer le moment de torsion sur la bride poids de l enceinte d un seul c te Toutes les pi ces en contact avec lul travide doivent tre mont es en obser vant une propret extr me Des pi ces encrass es prolongent le temps de pompage par le taux de d sorption lev La pompe peut tre brid e au r cipient dans une position quelconque mais l axe du rotor doit rester horizontale Une diff rence maximale de 5 vers la horizontal Pour une connexion de la pompe Turbo avec un r cipient du moyen d un raccord souple elle doit tre ancr e 4 2 1 Einsetzen des Splitterschutzes Zum Schutz der Turbopumpe gegen Fremdk rper Splitterschutz Siebw l bung nach unten einsetzen Zubeh r Abschnitt 8 Der Splitterschutz verrin gert das Saugverm gen um ca 15 4 2 2 Umbau der Turbopumpe auf seit lichen Hochvakuum Flansch Fig 8 Bodenplatte 4 demontieren Schrauben 8 herausschrauben und Vorvakuumkanal 2 abnehmen auf O Ring 17 achten K hlfl chen Vorvakuumkanal und Auf nahmest nder d rfen nicht oxidiert sein Alle K hlfl chen vor Umbau leicht einfetten Vo
40. est de 2 ans A nctionnement verschlie en und Pumpe ber Vor turbo pump and evacuate the pump vakuumflansch evakuieren via the roughing vacuum flange Fermer la bride de vide pouss de la Turbopumpe mit trockener Luft oder Vent the turbo pump with dry air or N POMpe turbo et faire le vide dans la mit Stickstoff N fluten nitrogen pompe par la bride de vide primaire Vorvakuumanschlu verschlie en Close the roughing vacuum connec Remplir la pompe turbo d air sec ou Turbopumpe wie Fig 14 zeigt auf tion d azote N Im HV Flansch stellen Place the turbo pump refer to Fig 14 Fermer la bride de vide primaire In R umen mit feuchter oder aggressi In rooms with moist or aggressive Placer la pompe turbo selon Fig 14 ver Atmosph re ist die Turbopumpe atmosphere the turbo pump must be Dans des locaux humides ou dans l at zusammen mit einem Beutel Trocken welded into a plastic bag together mosph re agressive il faut enfermer la mittel z B Silikagel in einen Plastik with a bag of desiccant e g silica ge POMPE turbo dans un plastique soude en y joignant un sachet de produit beutel einzuschwei en b Ge deshydratant par ex silicagel Fig 14 X8 Elektrischer Anschlu Y Standfl che X8 Electrical connection Y Base X8 Branchement lectrique Y Surface de base 16 6 Instandhaltung 6 Maintenance 6 Entretien 6 1 Betriebsmittelwechse
41. f geachtet werden da die Temperatur des Hochvakuum flansches beim Heizen der Apparatur und der Pumpe 160 C nicht ber schreitet Wird der Rezipient h her als 200 C geheizt mu die W rmestrah lung vom Rezipienten auf den Pum penrotor z B mit einem Strahlungs schild verhindert werden Die Heiz dauer f r Pumpe und Rezipient richtet sich nach dem gew nschten Enddruck Sie sollte wegen der Aufheizzeit des Rotors mindestens 4 Stunden betra gen 5 Operation 5 1 Switching on the pump Switch on the cooling water and check its flow If a TZK 350 cooling unit is used the TZK and the turbo pump are switched on together If air cooling is used the fan starts when the turbo pump is switched on Switch on the backing pump turbo pump and energize the heater of the turbo pump in accordance with the operating instructions for the type of electronic drive unit being used The turbo pump runs up automati cally The run up time up to the speed switchpoint is a function of the size of the vacuum chamber The TPH TPU 330 pump attains its rated speed after 3 minutes and the TPH TPU 510 pump after 6 minutes with blank flanged high vacuum flange The run up time of the TPH TPU 330 with TCP 120 121 is approxi mately 4 5 minutes 5 1 1 Reset The safety performances of the electronic drive unit TCP are led to a locking relay This relay is closed in normal operation and opens in case of failure may be cause
42. hme Power input of Puissance absorb e der Heizung healer par le chauffage Watt 180 250 Gewicht Weight Poids kg 19 ER 28 30 I bis 90 der Nenndrehzahl Erl uterungen unter 3 1 3 Bei st rkeren Magnetfeldern Abschirmung auf Anfrage I to 90 of the rated speed 2 Comments under 3 1 3 Screening for stronges magnetic fields on request I a 90 de la vitesse nominale 2 Comments sous 3 1 3 Pour des champs plus fort cran antimagn tic demande ba _ be 165 l aD DN 100 CF 360 e ZON 100 150 K FT T fi f 8 D DN 25 KE H 280 ba m 390 Le 180 DN 150 CF 9 bed 195 110 En ber 225 20 TPH 330 TPU 330 120 e ea TPH610 TPU 510 6 GC 10 KF er LI d o ei 2 H D DN 10 KF O DNAOKF E 250 Fig 6 Hochvakuumanschlu High Vacuum Connection Raccordement vide lev Vorvakkumanschlu Fore Vacuum Flange Bride vide primaire E K hlwasseranschlu Coolant Connection EA Raccordement eau de refroidissement Luftk hlung Air cooling Refroidissement par air Anschiu Antriebselektronik Connection for electronic driv
43. ie M glichkeit die Ger te durch uns dekontaminieren zu lassen ausgenommen radioaktiv kontami nierte Der Reparaturauftrag ist dann entsprechend zu erweitern und die Proze gase mit denen das Ger t in Ber hrung war sind anzugeben Feh len sie so werden sie von uns kosten pflichtig ermittelt Besondere Trans portvorschriften sind zu beachten Wir werden eine Dekontamination durchf hren und Ihnen berechnen wenn Sie den Vermerk Frei von Schadstoffen am Ger t oder in den Begleitpapieren nicht angebracht haben Schadstoffe sind Stoffe und Zube reitungen gem EG Richtlinie vom 18 09 1979 Artikel 2 Technische nderungen behalten wir uns vor Operating instructions for TPH 330 510 TPU 330 510 turbomolecular pumps Important Information Please check immediately after unpacking whether the scope of deliv ery conforms to the information given on the delivery note Please read the operating instruc tions before you operate the unit and adhere to them in all respects All units comply with the law con cerning technical implements dated 24 June 1968 Section 3 The operat ing instructions were prepared in accordance with DIN 8418 If you perform repair or mainten ance work on units which have come into contact with substances which are detrimental to health please observe the relevant codes if you return units to us for repair or maintenance work please follow the instructions below
44. ime of the first evacuation will be some time longer 6 2 Nettoyage Fig 15 Dans le cas d une pollution l g re par exemple des pr cipitations d fluide la pompe peut tre nettoy e sans tre d mont e Mais s il s agit de produits difficilement solubles ou d une forte pollution il faut d monter enti rement la pompe Pour cela il faut s adresser au service apr s vente Balzers 6 2 1 Nettoyage sans d montage Arr ter la pompe et la remettre la pression atmosp rique Sortir la pompe de l installation Devisser les vis 18 de fermeture aspi rer l huile et revisser les vis 18 Fermer le raccord de vide primaire avec une bride pleine Remplir la pompe de l agent nettoyant Comme agent nettoyant n utiliser que du Frigen 113 ou du Fr on TF L y laisser un moment Faire tourner le rotor en indroduisant la main dans la bride de vide pouss Vider la pompe en faisant couler l agent nettoyant par la bride de vide primaire Evacuer l agent nettoyant restant dans la carcasse par la bride de vide pouss Evacuer l agent nettoyant qui s accumule dans les deux r ser voirs d huile avec une seringue de la m me fa on comme l huile l occa sion d un change d huile Pour netto yer la pompe fond il faut proc der au moins 3 rin ages l agent netto yant Laisser la pompe ouverte encore 30 min env pour que l agent nettoyant s vapore Raccorder la pompe avec bride de vide pouss ferm e par une
45. in allen Geh usestellungen einsetzbar Fig 2 TPU 330 luftgek hlt air cooled refroidissement par air Fig 4 TPU 510 luftgek hlt air cooled refroidissement par air 1 General The turbo pump connecting cable electronic drive unit form one operati onal unit The Pfeiffer Turbo TPH and FPU models are identical in terms of design and performance data They only differ with regard to the flanges The TPH pumps are equipped with ISO K flanges and the TPU pumps with CF F flanges The TPU models are supplied with heating jacket as a standard feature The pump rotor is supported in bea rings on both ends Every ball bearing has its own oil cir culation lubrication system The pumps can be transported with their oil filling The turbo pumps can be installed in any housing position with horizontal rotor shaft 1 G n ral La pompe turbo mol culaire le c ble de liaison et l lectronique d entraine ment constituent d sormais une seule unit pr te fonctionner La construction des pompes turbo TPH et TPU est absolument semblable ainsi que leurs caract ristiques de puis sance Elles ne se distinguent que par leurs brides Les pompes TPH sont quip es de brides ISO K les pompes TPU avec bride CF F Les types TPU sont livr s de fa on standard avec une chemise chauffante L arbre de la pompe est log des deux c t s Chaque palier billes a sa lubrification
46. inly show the drive side of the pump Every time the bearings and wicks are changed an oilchange should also be carried out according to 6 1 Always change the bearings on both sides of the pump The bearings should only be fitted when both bearing plates 51 and 52 have been removed If only one bear ing plate is removed the bearing in the still mounted end plate can be damaged by the fitting of the bearing opposite Tools for bearing replacement Fig 18 1 mounting mandril for bearing PM 003 742 2 two armed extractor with 3 transition piece PM 013 242 4 lifting mandril PM 013 232 5 key for clearance adjustment PM 003 743 U 7 key for the ring nut PM 003 770 U 6 4 1 Remove end plates Fig 19 21 Disconnect the plug connection X8 to the TCP get out the screws 53 and remove the end plates 51 and 52 6 4 2 Ball bearing and splash ring removing Fig 22 Remove ball bearing and splash ring together 6 4 Changement de palier Fig 18 a fig 36 Tr s d taill e la description des op rations de changement des paliers est imp rativement respecter N utiliser pour cela que notre outillage sp cial voir fig 18 Le remplacement des paliers de doit tre entrepris que par le personnel sp cialement form dans des locaux appropri s st riles et exempts de poussi res Balzers offre sa client le des cours sp ciaux de formation entretien des pompes changement des paliers etc intervalles
47. is d analyse visant d terminer ces fluides seront factur s en sus En tous les cas les prescrip tions de transport et d emballage sont respecter Il est automatiquement proc d la d contamination d appareils retourn s si ceux ci ne sont pas pourvus de l avis libre de toutes substances toxiques ou si cette m me mention ne figure pas sur les documents accompagnant l envoi Les frais de d contamination sont toujours la charge de l expedi teur Les substances toxiques sont celles num r es par l article 2 de la pres cription de la CE en date du 18 sep tembre 1979 Modifications techniques reser v es Fig 1 TPU 330 wassergek hlt water cooled refroidissement par eau Fig 3 TPU 510 wassergek hlt water cooled refroidissement par eau 1 Allgemeines Turbopumpe Verbindungskabel Antriebselektronik sind eine betriebs fertige Einheit Die Ausf hrungen der Turbopumpen TPH und TPU sind im Aufbau und den Leistungsdaten gleich Sie unterschei den sich nur in den Flanschen Die Pumpen TPH sind mit ISO K Flanschen und die Pumpen TPU mit CF F Flan schen versehen Die TPU Ausf hrung wird serienm ig mit Heizmanschette geliefert Der Pumpenrotor ist an beiden Enden gelagert Jedes Kugellager hat eine eigene Olumlaufschmierung _ Die Pumpen k nnen mit Olf llung transportiert werden Die Turbopumpen sind bei horizontaler Rotorachse
48. l 6 1 Changing the operating agent 6 1 Changement d agent moteur Fig 15 Fig 15 Fig 15 Die beiden Kammern sind mit je Prior to initial operating each oil Les deux chambres de graissage 10 cm TL 011 gef llt Diese F llung chamber is filled with 10 cc of TL 011 sont remplies chacune de 10 cm bleibt in der Pumpe und ist nach oil in the factory This oil filling TL 011 qui restent dans la pompe lors ca 5000 Betriebsstunden oder bei remains in the pump during shipping de l exp dition et doivent tre renou unterbrochenem Betrieb j hrlich zu and must be changed after approx vel es au bout de 5000 heures de erneuern 5000 operating hours or annually if it fonctionnement env ou en cas de Pumpe abschalten und auf Atmosph is not operated continuously fonctionnement discontinu tous les rendruck fluten Stop pump and vent to atmospheric ans Verschlu schraube 18 herausschrau pressure Arr ter la pompe et la remettre la ben auf die Druckfeder 13 hinter der Unscrew locking screw 18 pay atten pression atmospherique Verschlu schraube achten tion to the compression spring 13 D visser la vis de fermeture 18 faire Betriebsmittel aus beiden Kammern behind the locking screw attention au ressort de pression 13 se mit Injektionsspritze absaugen Suck out oil 31 from both chambers trouvant derri re la vis de fermeture In beide Kammern je 10 cm TL 011 by means of a syringe Aspirer l huile hors des deux cham
49. linge zu ver wenden auf Feder 13 achten 6 4 3 Fit the ball bearing Fig 23 Important The ball bearing A must always be fitted with the side of the larger outer diameter X ofthe inner ring facing the rotor as illustrat ed by an arrow Fig 23 The ball bearing B must always be fitted with the side of the larger inner diameter of the outer ring facing the rotor as illustrated by an arrow Do not tilt the ball bearing when you place it on the shaft Push the bearing onto the shaft care fully using the drawing mandrel 1 PM 003 742 by slightly knocking on the mandrel Do not tilt the splash ring 29 when putting it on the shaft Push the splash ring with the drawing mandrel 4 PM 013 232 carefully on the shaft by slightly knocking on the mandrel 6 4 4 Change the antivibration ring Fig 24 25 Whenever the bearings are changed the antivibration ring should be replaced by a new one It can be easily removed from the groove with curved tweezers 6 4 5 Assembly The pump assembly is carried out in the reverse order after the bearings and the antivibration ring have been changed To make this clearer Fig 36 illustrates the position of the assembled pump components 6 5 Wick and oil change Fig 26 35 6 5 1 Remove the drain plug A screwdriver with a bit as broad as possible should be used to avoid damaging the drain plug care for spring 13 6 4 3 Monter le palier a billes Fig 23 Important Le palier a
50. mmande de remise l air TCF 102 ou appareil de commande de vanne TCV 102 61 Vanne de remise l air TVF 012 62 Tuyau TCV 8 x 14 63 Tube s cheur TTV 001 4 5 Raccord de remise l air Fig 13 Pour la remise l air de la pompe turbo on peut utiliser des vannes commande manuelle ou lectrique Pour la remise l air retard e de la pompe turbo et de l enceinte on peut utiliser l appareil de commande de remise l air TCF 102 ou l appareil de commande de vanne TCV 102 Si on utilise une vanne d entr e d air TSF 010 la pompe turbo en cas de coupure de courant ou d arr t est imm diatement remise l air Brider la vanne d entr e d air 61 sur le raccord d entr e d air 6 Visser le tube s cheur 63 sur un dis positif de fixation pr par d avance il y a un sur le b ti du groupe de pompage Etablir une liaison par tuyau 62 entre 61 et 63 Monter l appareil de commande de remise l air TCF 102 ou l appareil de commande de vanne TCF 102 60 selon sch ma de c blage et instruc tions de service PM 800 123 BF Lorsque la TPH TPU 330 est utili s e avec la commande TCP 120 121 et une vanne TSF 012 il est possible de proc des une remise air temporis e en fonction de la vitesse La vanne se ferme sit t la com mande TCP 120 121 mise en marche et s ouvre environ 400 Hz pour l amp coul ment Durant toute la dur e de l immo bilisation la vanne de remise air demeure ouverte
51. mp ist watercooled in standard version and can be changed over to air cooling quite simply 4 4 1 Water cooling Fig 10 Only a thin film of oxides is gene rally the basis for the corrosion resis tance of the metals It maintains on the surface a passive state For that pur pose however it is necessary that a minimum amount of oxygen is avail able In closed cooling systems it must be taken in consideration that without special measures the oxigen content drops below the minimum quantity In this case care should be taken that when recooling the water sufficient opportunity for absorption of oxigen is given In any case the cooling water must be filtered to keep away from the cool ing circuit dirt and organic suspended matter Otherwise deposits could be formed which could be the reason for local corrosion 3 Turbo pump connection 55 Dirt trap 56 TCW cooling water monitor 57 TZK 350 cooling unit 58 Cooling water system connection 59 Free drainage 3 Raccord de pompe turbo 55 Filtre d impuretes 56 Contr leur d eau de refroidissement TCW 57 Syst me de refroidissement TZK 350 58 Raccordement r seau d eau de refroidissement 59 Ecoulement libre 4 4 Refroidissement Pours liminer la chaleur de fric tion et la chaleur produite lors de l amp tu vage il faut refroidir les pompes turbo La pompe turbo est prot g e par deux r sistances PTC Une r sistance PTC se trouve dans le bobinage du moteur
52. n Drehmoment auf den Flansch aus ben einseitiges Gewicht des Rezi pienten Alle UHV Teile m ssen bei gr ter Sauberkeit montiert werden Unsau bere Bauelemente verlangern die Aus pumpzeit durch die hohe Desorptions rate Die Pumpe kann bei horizontaler Rotorlage in beliebiger Stellung an den Rezipienten angeflanscht werden Maximale Abweichung zur Horizontalen 5 Bei einer Verbindung Turbopumpe Rezipient ber einen Federungsk rper e mu die Pumpe verankert werden 4 Installation 4 1 Note concerning installation The turbo pump is delivered with the oil filled in Remove the blank flanges at the high and roughing vacuum connections immediately before you install the pump The pump has been vented with No If the turbo pumps are operated in a magnetic field with field intensities exceeding 6 mT suitable screening measures must be provided screening housing upon request 4 2 High vacuum connection The turbo pumps are supplied with their high vacuum flanges on top or if requested by the customer on bot tom The version with high vacuum flange on top can be converted by the customer to lateral arrangement high vacuum flange on side without any problem The conversion of the flange position is described under 4 2 2 Forces from the piping system may not act on turbo pumps which have been anchored in place In connecting the pump to the recipient it must be remembered that the UHV flange c
53. nach unten montieren b bei Pumpen mit HV Flansch seitlich Kabelausgang nach oben montieren L fter montieren L fter nach Schaltbild in der Kappe bzw wie in Fig 12 dargestellt f r 110V oder 220 V Netzspannung anschlie en Kappe 15 aufsetzen und in Schwal benschwanzf hrung einschieben mit Schrauben 16 befestigen Mit Schraubstopfen 20 die Anschl sse der Wasserk hlung verschlie en 4 4 2 Air cooling Fig 11 air cooling The TCP 300 310 contains an electri cal connection for the fans At full drive power and full gas load the maximum ambient temperature should not exceed 35 C 4 4 2 1 Air cooler assembly Fig 11 Unscrew screws 10 from the lateral flange If possible do not remove lid 9 If lid 9 has come loose attention must be paid during assembly that the seal ing surface is clean and the O ring 17 Fig 11 is seated correctly Disassemble cap 15 and fan 14 from the pre assembled air cooler housing To remove cap 15 loosen screws 16 Shift the baseplate and cap against each other in such a manner that the cap slides out of the dovetail 30 of the baseplate then lift off cap Assemble baseplate 11 using screws 10 M5 x 16 screws separately packed a When the HV flange of the pump is fitted on top or bottom install the outgoing cable downwards b When the HV flange of the pump is fitted laterally install the outgoing cable upwards Assemble the fan Connect the fan
54. nigen Hand griffen auf Luftk hlung umgestellt werden 4 4 1 Wasserk hlung Fig 10 Die Korrosionsbest ndigkeit der Metalle ist im allgemeinen auf eine sehr d nne Oxidschicht zur ckzuf h ren die an der Oberfl che einen passi ven Zustand aufrecht erh lt Daf r mu aber ein Mindestgehalt an Sauer stoff vorhanden sein In geschlossenen K hisystemen mu damit gerechnet werden da ohne besondere Ma nahmen der Sauerstoffgehalt unter die Mindest menge absinkt Hier sollte bei der R ckk hlung des Wassers f r die M glichkeit gen gender Sauerstoff aufnahme gesorgt werden in allen F llen ist das K hlwasser zu filtrieren um Schmutz und orga nische Schwebstoffe vom K hikreis lauf fernzuhalten Es k nnte sonst zu lokalen Ablagerungen kommen welche die Bildung von Lochfra beg nstigen 55 58 eda 959 r 56 57 Fig 10 3 Anschlu Turbopumpe 55 Schmutzf nger 56 K hlwasserw chter TCW 57 K hlaggregat TZK 350 58 Anschlu K hlwassernetz 59 freier Abflu 4 4 Cooling The turbo pumps must be cooled to dissipate the frictional heat and the heat produced during heating The turbo pump is thermally pro tected by two PTC resistors One PTC resistor is arranged in the motor wind ing and the other in the pump hous ing If the permissible temperature is exceeded at either of the two resistors the electronic drive unit reduces the drive output of the motor to zero The pu
55. nter le palier billes Remplacer l anneau antivibra tion Montage Changement de m che et d huile Devisser la vis de fermeture Aspirer l huile Enlever le hublot Enfiler la m che Montage du hublot Fluides d exploitation Accessoires Pi ces de rechange Betriebsanweisung f r Turbo Molekularpumpen TPH 330 510 TPU 330 510 Wichtige Hinweise Pr fen Sie sofort nach dem Aus packen ob die Sendung mit den Angaben auf dem Lieferschein ber einstimmt Lesen Sie die Betriebsanweisung bevor Sie das Ger t in Betrieb nehmen Befolgen Sie die Anweisungen in allen Punkten Alle Ger te entsprechen dem Gesetz ber technische Arbeitsmittel vom 24 Juni 1968 8 3 Die Betriebs anweisung ist nach DIN 8418 erstellt Wenn Sie selbst Reparatur oder Wartungsarbeiten an den Ger ten vornehmen die mit gesundheitssch d lichen Stoffen in Ber hrung gekom men sind dann beachten Sie die ent sprechenden Vorschriften Bei Ger ten die Sie an uns zu Reparatur oder Wartungsarbeiten ein schicken beachten Sie folgendes radioaktiv kontaminierte Ger te sind vor der Einsendung entsprechend den Strahlenschutzvorschriften zu dekon taminieren Zur Reparatur oder Wartung einge hende Ger te m ssen mit deutlich sichtbarem Vermerk Frei von Schad stoffen versehen sein Derselbe Ver merk ist auch auf dem Lieferschein und Anschreiben anzubringen Verwenden Sie bitte beigef gte Best tigung Sie haben d
56. of the air cooling Venting connection Operation Switching on the pump Reset Heating the turbo pump Switching off Shutting down the turbo pump Maintenance Changing the oil Cleaning Cleaning in fully assembled condition Checking the drive unit in the turbo pump Checking the turbo motor without the electronic drive TCP 300 310 Replacing the bearings Remove end plates Bail bearing and splash ring removing Fit the ball bearing Change the antivibration ring Assembly Wick and oil change Remove the drain plug Drawing off the oil Remove the sight glass Threading the wick Assemble the sight glass Operating media Accessories Spare parts G neral Pompes vide primaire Caract ristiques techniques Pression finale D bit volume Installation Remarque concernant l instal lation Connexion vide pouss Mise en place du pare clats Transformation de la bride vide pouss Raccord de vide primaire Refroidissement Refroidissement par eau Refroidissement par air Montage du refroidissement par air Raccord de remise l air Fonctionnement Mise en marche Reset Etuvage de la pompe turbo Arr t Mise hors service des pompes turbo Entretien Changement d huile Nettoyage Nettoyage sans d montage Verification du moteur Verification du moteur turbo sans commande lectronique Changement de palier D monter les plaques de palier Enlever le palier billes et le disque pulv risateur Mo
57. ompl 2 PM 003 612 U 21 Heizung Heating Chauffage TPH TPU 330 220V 1 PM 441 022 AT 21 Heizung Heating Chauffage TPH TPU 510 220V 1 PM 443 022 T 21 Heizung Heating Chauffage TPH 330 110V 1 PM 003 869 T 21 Heizung Heating Chauffage TPH 510 110V 1 PM 003 871 T 26 O Ring O ring Joint torique 24 8x1 5 1 P 4070 417 PP 27 Druckst ck Pressure piece Pi ce de pression 2 PM 023 288 28 Kardanscheibe Cardan disc Disque cardan 1 PM 003 650 29 Spritzscheibe Splash disc Disque pulv risateur 2 1 5 30 Ersatzteilpakst Lagerwechsel Spare parts package bearing replacement TPH TPU 330 1 PM 108010 T 1 PM 128 010 T Paquet de pi ces de rechange Changement de palier TPH TPU 510 29 1 Pos 29 Wellendurchmesser Diameter of the shaft Diametre de l arbre A6 95 7 A 6 88 6 95 BAG6 8 6 88 Spritzscheibe Splash disc Disque pulverisateur rot PM 013 746 X red rouge PM 013 870 schwarz PM 013 816 X black noir EA 30 Ersatzteilliste Spare parts list Pi ces de rechange TPH TPU 330 510 Luftk hlung Air cooling Refroidissement par ai
58. our TPH TPU 330 510 1 47 kO 6 3 1 Pr fen des Turbomotors ohne Antriebselektronik TCP 300 310 Mit Me und Pr fadapter und externem Netzger t Hallsonden mit Konstantstrom 40 mA an Stecker G und F speisen Pol an G Rotor von Hand drehen Hallspannung gem Fig 16 mit Oszilloskop oder Drehspul instrument messen 6 3 1 Checking the turbo motor without the electronic drive TCP 300 310 With measuring and testing adap tor and external power supply Power Hall probe with constant voltage 40 mA at plug G and F Turn the rotor manually Measure Hall voltage as per fig 16 by oscilloscope or moving coil instrument 6 3 1 Verification du moteur turbo sans commande lectronique TCP 300 310 Avec adaptateur mesure et de con tr le et unit d alimentation externe Alimenter les sondes de Hall aux fiches G et F avec potentiel constant 40 mA Tourner le rotor la main Mesurer la tension de Hall conf fig 16 l aide d un oscilloscope ou instrument de bobine 19 Ca 200 mVss Fig 16 a y TPHITPU 330 Afe TPHITPU 510 i R ats b Di H2 i i Ei 3 7 ole H 3 See B d 12345 67 3 d d d d d ca SES EIE EAE EEE EL L VPN FL HM JS kK GRE T D UC BA 8 i 1 grau grey gris rq 1 t IK I 1 u 2 gelb yellow jaune j Pe 88 by a7 EE EZK NO 2 Saga 28 KE 3 schwarz black noir Nah
59. our des paliers a grande vitesse L huile est d gaz e et s ch e l aide d un proc d vide sp cial Num ros de commande Huile TL 011 0 25 PM 006 034 AT 0 5 PM 006 032 AT il PM 006 033 AT TPH 330 TPU 330 Chemise chauffante Pare clat Joint anneau pour TPH Bride a griffes TPU Boulon a griffes TPH Joint en cuivre amiante TPU Bride souder TPU Jeu de vis TPU TPH 510 TPU 510 Chemise chauffante Pare clat Joint anneau pour TPH Bride griffes TPU Boulon griffes TPH Joint en cuivre amiante TPU Bride souder TPU Jeu de vis TPU El ments pour le refroidissement Contr leur d eau de refroidissement TCW 002 Jeu de pi ces de raccordement pout TCW 002 Purgeur R 3 8 Systeme de refroidissement TZK 350 Refroidissement air El ments pour la remise l air Vanne de remise l air TVF 012 Vanne de remise l air en cas de panne de courant TSF 010 Tube s cheur TTV 001 Tuyau en PVC 8 Accessoires 110V 220V 240V DN 100 150 K DN 100 ISO K 4 Stck M10 DN 100 CF 10 St DN 100 CF DN 100 CF 110V 220V 240V DN 160 SO K DN 160 ISO K 4 Stck M10 DN 150 CF DN 150 CF DN 150 CF 110V 50 60Hz 220V 50 60Hz 240V 50 60Hz 220V 240V 50 60Hz 110V 60Hz 110V 220V 50 60Hz 6v DC 110V 60 Hz 220 V 50 60 Hz 240V 50 60Hz 8x14 1m PM 003 869 T PM 441 022 T PM 441 026 x BP 213 199 T BP 217 129 T BP 217 508 T BN 845 038 T BP 4
60. r Pos Benennung Title D signation St ck Nr Item Quant No Pos pi ces No de cat 11 Grundplatte Base plate Plaque de base B 2 PM 006 420 13 Puffer Buffer Espace 6 P3695 702 QE 14 L fter Fan Ventilateur 110V 2 PM 006 209 R 15 Kappe Cap Couvercle 2 PM 006 421 21 B gel Bow Etrior 3 PM 006 422 31 Sollten Sie eine Pumpe zur Repa ratur oder Wartung an uns oder an eine unserer Vertretungen einsenden m chten wir Sie bitten diese Best ti gung auszuf llen und sie der einge sandten Pumpe beizulegen Should you find it necessary to return a pump to us or one of our agents for repair or maintenance please complete the confirmatory cer tificate and enclose it with the pump Best tigung Certificate Attestation Unsere Bestell Auftr Nr Our order No Notre N de commande d ordre Datum Date Date Pumpentyp Pump type Mod le de pompe Serien Nr Serial No N de serie _ Die oben genannte Pumpe ist frei von toxischen und radioaktiven Stoffen Die oben genannte Pumpe ist mit folgenden toxischen Stoffen behaftet Si vous nous envoyez directement ou une de nos agences une pompe pour r paration ou entretien nous vous prions de bien vouloir remplir l attestation ci dessous et de la joindre la pompe The above mentioned pump is free of toxic and radioactive mate rials The above mentioned pump is contaminated with the follo
61. r guliers Consultez ce sujet nos repr sentants dans votre dis trict ou notre filiale Pour le remplacement des paliers il existe un kit comprenant toutes les pi ces de rechange n cessaires voir section 7 Pi ces de rechange Pour avoir une meilleure vue d en semble de la disposition des diff ren tes pi ces dans la pompe turbo le positionnement dans les fig 19 35 est identique au positionnenment du dessin vu en coupe fig 36 Le changement du palier est le m me des deux c t s de la pompe Les figu res repr sentent le plus souvent seule ment le c te entra nement de la pompe chaque changement de palier effec tuer toujours par principe un change ment d huile selon 6 1 Remplacer toujours les paliers des deux c t s de la pompe Ne monter le palier que lorsque les deux plaques de palier 51 et 52 sont enlev es Si une seule plaque de palier est enlev e le palier situ dans la pla que de palier fix e peut tre endom mag par le montage du palier que lui fait face Outils pour changement de palier Fig 18 1 Mandrin de montage pour palier PM 003 742 2 Extracteur deux bras avec 3 Pi ce interm diaire PM 013 242 4 Broche de montage PM 013 232 5 Clef pour adjustage du jeu PM 003 743 U 7 Clef pour bague filet e PM 003 770 U 6 4 1 D monter les plaques de palier Fig 19 21 S parer le raccord fiche X8 vers le TCP sortir les vis 53 et sortir les plaques de paliers 5
62. re vacuum channel 2 of flange A to flange B or vice versa When assembling care must be taken that both O rings 17 are correctly seated in the groove Screw blank flange 9 to flange A or B 4 3 Fore vacuum connection Fig 9 Connection 7 at turbo pump 330 DN 25 KF at turbo pump 510 DN 40 KF Connection 52 at backing pump UNO and DUO 016 B DN 25 KF and on UNO and DUO 030 A DN 40 KF All connections of the fore vacuum line 53 can be made using small flange components In the case of rigid pipe connections a metal beilows must be installed to reduce the transmission of the backing pump vibrations Components section 8 Further components are listed in the Balzers catalog Vacuum Compo nents In order to prevent the vacuum cham ber from being vented via the backing pump we recommend that the high vacuum safety valve 54 be installed A high vacuum safety valve 10 is incorporated in the Pfeiffer backing pumps 4 2 1 Mise en place du pare clat A splinter shield should be fitted sieve Pour prot ger une pompe Turbo contre des corps trangers il faut placer un pare clat dans la bride d aspiration Accessoires voir section 8 Le pare clats diminue le d bit volume de 15 env 4 2 2 Transformation de la bride de vide pouss lat ral Fig 8 D monter la plaque de base 4 Devisser les vis 8 et enlever le canal de vide primaire 2 faire attention au joint torique 17 Les plaque refroidissantes d
63. rvakuumkanal 2 von Flansch A an Flansch B oder umgekehrt montieren Bei der Montage ist zu beachten da beide O Ringe 17 richtig in der Nut liegen Btindflansch 9 an Flansch A bzw B anschrauben 4 3 Vorvakuumanschlu Fig 9 Anschlu 7 an TPH TPU 330 DN 25 KF und an TPH TPU 510 DN 40 KF Anschlu 52 an Vorvakuumpumpe UNO und DUO 016 BDN 25 KF und an UNO und DUO 030 A DN 40 KF Alle Verbindungen der Vorvakuumlei tung 53 k nnen mit Kleinflansch Bauelementen hergestellt werden Bei starren Rohrverbindungen ist ein Federungsk rper einzubauen um die bertragung der Vibration der Vor vakuumpumpe zu d mpfen Bauelemente in Abschnitt 8 Weitere Bauteile sind im Balzers Kata log Komponenten f r die Vakuumtech nik aufgef hrt Um die Bel ftung des Rezipienten ber die Vorvakuumpumpe zu verhin dern empfiehlt sich der Einbau eines Hochvakuum Sicherheitsventils 54 In Pfeiffer Vorvakuumpumpen ist ein Hochvakuum Sicherheitsventil inte griert 4 2 1 Fitting the splinter shield vault downward to protect the pump from foreign matter Accessories para 8 The splinter shield reduces the volume flow rate by approx 15 4 2 2 Conversion of lateral high vacuum flange Fig 8 Disassemble base plate 4 Loosen screws 8 and remove fore vacuum channel 2 pay attention to o ring 17 The cooling surfaces rough vacuum duct and support must not be oxidized Lightly grease all cooling surfaces before assembly Mount fo
64. t thermique sur le rotor de la pompe partir de l enceinte l aide d un cran par ex La dur e d etuvage de la pompe et de l enceinte d pend du vide final d sir Elle devrait tre d au moins 4 heures en raison du temps que met le rotor chauffer 15 5 3 Abschalten 5 3 Switching off 5 3 Arr t Turbopumpe abschalten Switch off the turbo pump Couper la pompe turbo Hochvakuum Sicherheitsventil in Vor Close the high vacuum safety valve in Fermer la vanne de s curit vide vakuumleitung schlie en Bei Pfeiffer the roughing vacuum line When Pfeif pouss dans la canalisation de vide Vorvakuumpumpen schlie t das Hoch fer backing pumps are used the high primaire Sur les pompes primaires vakuum Sicherheitsventil beim vacuum safety valve closes automati Pfeiffer la vanne de s curit vide Abschalten der Vorvakuumpumpe cally when the backing pump is pouss se ferme automatiquement automatisch switched off l arr t de la pompe primaire Flutventil ffnen Open the vent valve Ouvrir la vanne de remise a l air Ist zum Fluten der Turbopumpe ein If a TCF 102 vent control unit or a Si on utilise pour la remise l air de la Flutsteuerger t TCF 102 oder ein Ven TCV 102 valve control unit is used for POMpe turbo un appareil de com tilsteuerger t TCV 102 eingesetzt venting the turbo pump the pump is mande de vanne TCV 102 la pompe wird die Turbopumpe bis max vented for
65. tiva 89 392 MCE de la UE Ap ndice II B De nuestra parte certificamos la conformidad con la Directiva 89 336 MCE de la UE sobre Compatibilidad Electromagn tica y la Directiva 73 23 MCE de la UE sobre Baja Tension Las directivas aplicadas normas armonizadas y las normas y especificaciones nacionales aplicadas se mencionan abajo D NL Verklaring van de fabrikant in de zin van de volgende EU richtlijnen machinerichtlijn 89 392 EEG richtlijn over elektromagnetische compatibiliteit 89 336 EEG richtlijn over laagspanning 73 23 EEG Hiermee verklaren wij dat het hieronder genoemde produkt is bedoeld om te worden ingebouwd in een machine en dat de ingebruikneming hiervan zolang ver boden is totdat is vastgesteld dat het eindprodukt voldoet aan de bepalingen van EU richtlijn 89 392 EEG appendix II B Wij bevestigen de conformiteit met de EU richtlijn over elektromagnetische compatibiliteit 89 336 EEG en de EEG richtlijn over laagspanning 73 23 EEG De toegepaste richtlijnen geharmoniseerde normen en de toegepaste nationale normen en specificaties zijn hierna aangegeven DDR Producenterkl ring i henhold til folgende EU direktiver Maskiner 89 392 EWG Elektromagnetisk kompatibilitet 89 336 EWG Lavspaending 73 23 EWG Hermed erkl rer vi at det nedenst ende produkt er beregnet til indbygning i en maskine og at dennes idrifts ttelse er forbudt indtil det er fastsl et at slutpro duktet er i overensstemmelse med EU direktiv 89
66. u canal de vide primaire ainsi que le b ti de montage ne doivent pas tre oxyd es Graisser l gr ment toutes les surfaces de refroidissement avant montage Transf rer le canal de vide primaire 2 de la bride A la bride B ou inverse ment Lors du montage veiller ce que les deux joints toriques 17 soient bien plac s dans la gorge Visser la bride pleine 9 sur la bride A ou la bride B 4 3 Raccord de vide primaire Fig 9 Raccord 7 sur pompe turbo TPH TPU 330 DN 25 KF sur pompe turbo TPH TPU 510 DN 40 KF Raccord 52 sur pompe primaire UNO et DUO 016 B DN 25 KF sur UNO et DUO 030 A DN 40 KF Tous les raccordements de la canalisa tion de vide primaire 53 peuvent tre r alis s avec des l ments de cons truction a petite bride Si l on utilise des canalisations de rac cordement rigides il faut monter un raccord souple pour amortir la trans mission des vibrations de la pompe primaire El ments de construction au parag 8 Autres l ments de construction repris dans le catalogue Balzers Com posants pour la Technique du Vide Pour viter la remise l air de l en ceinte travers la pompe primaire il est recommand de monter une vanne de s curit vide pous e 54 Dans les pompes primaires Pfeiffer est int gr e une vanne de s curit vide pous e Fig 8 1 Hochvakuumflansch 2 Vorvakuumleitung 3 K hlwasseranschlu 4 Bodenplatte 5 Schraube 6 Fiutanschlu 7 Vorvakuumanschlu
67. ug screws 18 suck off the oil and screw in the plug screws 18 Close fore vacuum connection by means of a blank flange Fill pump with cleaning agent Only Frigen 113 or Freon TF shall be used for cleaning Leave the pump briefly Turn the rotor in the high vacuum connection by hand Drain the pump Let cleaning agent out on the fore vacuum connection Pour cleaning agent residues in the spheri cal housing out through the high vacuum outlet The cleaning agent remaining in the two oil reservoirs will be sucked off like the oil when changing the oil by a syringe For tho rough cleaning agent should be replaced at least three times Leave the pump for approx 30 min open to allow an evaporation of the residues of the cleaning agent in the pump Connect pump to the backing pump with high vacuum flange blank flanged and evacuate to about 10 mbar to allow for the whole residues of the cleaning agent to be pumped off Do not switch on the turbo pump Vent the pump and disconnect the backing pump Fill TL 011 into the pump as described in 6 1 but 8cm only Pull out wick guide 31 The wick must be absolutely free from Frigen Inject about 1 cm of TL 011 with a syringe into the ball bearing and about 1 cm on the wick Put wick guide in and close pump as described under 6 1 Subsequently the pump can be put into operation with heating switched on Because of the residues of the cleaning agent the pumping down t
68. ump Pompe vide rota tive palettes deux tages et pom pe turbo mol culaire Metall Metal Metallique zweistufige Dreh schiebervakuum pumpe und ldiffusionspumpe two stage rotary vane vacuum pump and oil diffusion pump Pompe vide rota tive palettes deux tages et pom pe diffusion huile Metal Metat Metallique 1 10 mbar zweistufige Dreb schiebervakuum pumpe two stage rotary vane vacuum pump Pompe vide rota tive palettes deux tages Metall Metal Metallique 1 10 mbar zweistufige Dreh schiebervakuum two stage rotary vane vacuum pump Pompe vide rota tive 4 palettes Viton pumpe Jede Turbo Molekularpumpe unterschreitet w hrend der Endab nahme die Enddruckwerte 2 und 3 wobei der Enddruck 3 ohne Ausheizen der Pumpen erreicht wird 3 2 Saugverm gen Each turbomolecular pump diffe renciates during final inspection the uitimate pressure values 2 and 3 ultimate pressure 3 being obtained without baking out the pumps 3 2 Volume flow rate deux tage Toutes les pompes turbo pendant les essais finales en usine d passent les valeurs de pression finale 2 et 3 la pression finale 3 tant obtenue sans tuvage des pompes 3 2 D bit volume
69. units with radioactive contamination shall be decontaminated in accordance with the radiation protection codes before they are returned Units returned for repair or mainten ance shall bear a clearly visible note Free from harmful substances This note shall also be provided on the delivery note and accompanying letter Please use the adhering statement We offer the possibility to have the units decontaminated by us except those with radioactive contamina tion In this case the repair order must be extended accordingly and the process gases with which the unit has come into contact must be stated If this information is missing it will be determined by us at extra cost Special transportation codes must be observed We will carry out the decontamination and invoice this work to you if you have not attached the note Free of harmful substances to the unit or in the accompanying papers Harmful substances are defined as materials and preparations in accor dance with the EEC Specification dat ed 18 September 1979 Article 2 We reserve the right to perform technical modifications without prior notice Instructions de service pour pompes turbo mol culaires TPH TPU 330 510 Directives importantes A la r ception de l envoi s assurer au d ballage que le contenu du des colis corresponde bien aux articles numer s sur le bon de livraison Avant que de mettre l appareil en service lire attentiv
70. uooBevies kavoviouol 01 EVAPHOVIOH VEC npoSiaypages po oi epopyoodelces eOvikes NpoSiaypages Kat TEXVIK NPO IGYPAP AVAP POVTA KATWT PW Produkt Product Produit Prodotto Producto Produkt Pradukt Produto Mipelov TPH 330 TPU 330 TPH 510 TPU 510 Angewendete Richtlinien harmonisierte Normen und angewendete nationale Normen in Sprachen und Spezifikationen Guidelines harmonised standards national standards in languages and specifications which have been applied Les directives appliqu es normes harmonis es et les normes nationales appliqu es en langues et sp cifications Direttive aplicate norme standardizzate e norme nazionali utitizzate in lingue e specifiche Directivas aplicadas normas armonizadas y normas nacionales aplicadas en idiomas y especificaciones Toegepaste richtlijnen geharmoniseerde normen en toegepaste nationale normen met betrekking tot talen en specificaties Anvendte direktiver harmoniserede standarder og de anvendte nationale standarder med sprog og specifikationer Directivas aplicadas normas harmonizadas e normas aplicadas na linguagem e nas especifica es do respectivo pais EpappooB vtes ravoviouoi EYAPHOVIOH VEG npodiaypapes KA EPAPHOCEICE eBvix e NPO MYPOPES ce YAGWOGEC kal Texvixes npo iaypap EN 292 1 EN 61010 EN 292 2 EN 1012 2 EN 294 Unterschriften Signatures Signature Firme Firmas Handtekeningen Underskrifter Underskrift Allekirjoitukset Assinaturas Ynoypages
71. wing toxic materials Aucune substance toxique ou radioactive n est pr sente dans la pompe mentionn e ci dessus Les substances toxiques suivantes sont pr sentes dans la pompe mentionn e ci dessus Wir w nschen eine Dekontamina tion der Pumpe durch ein daf r spezialisiertes Unternehmen und akzeptieren die dadurch entste henden Kosten Datum Date Date We require the pump to be decontaminated by a suitably qualified undertaking and agree to pay the necessary cost Nous souhaitons une decontami nation de la pompe par une entre prise sp cialis e et acceptons les frais aff rents cette op ration Firma Institut Unterschrift Company Institute Signature Entreprise Institut Signature Zutreffandes bitte ankreuzen Please enter x in applicable box or boxes Pri re de cocher les cases correspondantes SEEN SUV A PFEIFFER E VACUUM gt DE AT Pfeiffer Vacuum GmbH Le Herstellererkl rung im Sinne folgender EU Richtlinien Emmeliusstr 33 Maschinen 89 392 EWG D 35614 Asslar Elektromagnetische Vertr glichkeit 89 336 EWG Niederspannung 73 23 EWG Hiermit erkl ren wir da das unten aufgef hrte Produkt zum Einbau in eine Maschine bestimmt ist und da deren Inbetriebnahme so lange untersagt ist bis festgestellt wurde da das Endprodukt den Bestimmungen der EU Richtlinie 89 392 EWG Anhang II B entspricht Wir best tigen Konformit t mit der EU Richtlinie
72. ze abgesaugt Bei einer gr ndlichen Reinigung sollte das Rei nigungsmittel mindestens dreimal gewechselt werden Pumpe ca 30 min offen stehen las sen damit die Reinigungsmittelr ck st nde aus der Pumpe verdampfen Pumpe mit blindgeflanschtem Hochva kuumstutzen an die Vorpumpe anschlie en und bis ca 10 mbar eva kuieren damit Reinigungsmittelr ck st nde vollst ndig abgesaugt werden Turbopumpe nicht einschalten Pumpe bel ften und von Vorpumpe trennen Pumpe wie unter 6 1 beschrieben mit 8 cm TL 011 f llen Dochtf hrung 31 herausziehen Docht mu vollst ndig frei von Frigen sein Mit Injektionsspritze ca 1 cm TLO11 in das Kugellager und ca 1 cm auf den Docht spritzen Dochtf hrung einsetzen und Pumpe wie unter 6 1 beschrieben schlie en Anschlie end kann die Pumpe mit ein geschalteter Heizung in Betrieb genommen werden Beim ersten Eva kuierungsvorgang ist die Pumpzeit bedingt durch Reinigungsmittelreste l nger 6 2 Cleaning Fig 15 When the pump is only slightly contaminated e g by lubricant depo sits it can be cleaned in fully assembled condition If however media of low solubility have to be removed or if the pump is heavily con taminated the pump must be comple tely disassembled Balzers service engineers should be called in for this purpose 6 2 1 Cleaning in fully assembled condition Stop pump and vent to atmospheric pressure Remove pump from plant Unscrew pl
73. zspannung At mains voltage of 110V Pour tension du r seau de 110V A IZE A PELIN Bei 220 V Netzspannung At mains voltage of 220V Pour tension du r seau de 220V Fig 12 12 Notizen Notes Notes 4 5 Flutanschlu Fig 13 Zum Fluten der Turbopumpe k n nen hand oder elektrisch bet tigte Ventile eingesetzt werden Zum ver z gerten Sicherheitsfluten von Turbo pumpe und Rezipient werden das Flut steuerger t TCF 102 oder das Ventil steuerger t TCV 102 eingesetzt Beim Einsatz eines Flutventils TSF 010 wird die Turbopumpe direkt nach einem Stromausfall bzw Abschalten geflutet Flutventil 61 an Fiutanschlu 6 anflan schen Trockenvorlage 63 an eine vorher bereitgestellte Haltevorrichtung anschrauben am Pumpstandgestell vorhanden Schlauchverbindung 62 zwischen 61 und 63 herstellen Flutsteuerger t TCF 102 oder Ventil steuerger t TCV 102 60 nach Schalt plan und der Betriebsanweisung PM 800 123 BD anschlie en Bei Einsatz der TPH TPU 330 mit TCP 120 121 und Flutventil TSF 012 ist das verz gerte drehzahlabh ngige Fluten m glich Das Fiutventil schlie t sofort nach Einschalten der TCP 120 121 und ffnet bei ca 400 Hz beim Auslaufen Das Flutventil bleibt ber die gesamte Zeit des Stillstandes im offen

TPH 330 / TPU 330 - Pascal Technologies, Inc

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