Nanotechnologie appliquée Mode d`emploi du microscope
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1. Filters permet d appliquer diff rents filtres matriciels l image moyenne moyenne gaussienne d riv e m dian etc Pour chacun des filtres un peut choisir la taille du noyau 3x3 ou 7x7 Filters Wlatrix Filters Type Smooth Sharp C Gaussian i Median C Edge meand3 Filter Cancel hepia Label4 Le filtre le plus utilis est le filtre m dian 3x3 Il permet en effet de corriger les pixels dont le corr logramme renvoie une hauteur arbitraire L int r t de ce filtre par rapport la correction Deglitch est que tous les pixels d fectueux sont trait s en une seule fois Un exemple est montr ci dessous Avant traitement hepia Apr s traitement 3 3 Analyse d images 3 3 1 Analyse de coupe Line gt est un outil standard pour extraire une coupe horizontale verticale ou oblique avec les boutons correspondants et pour l analyser l aide de curseur Vous pouvez sauvegarder automatiquement la coupe dans un format xls Excel en cliquant sur le bouton Save Le fichier est stock dans le m me r pertoire que l image avec un nom qui renseigne sur le no de la ligne horizontale verticale ou oblique Le 3 3 2 Analyse de r gion Area gt permet de calculer les rugosit s Ra rugosit moyenne Rq rugosit rms et Rp v rugosit peak to valley sur l image enti re ou sur des parties s lectionn es de l image On obtient ce2. Le bouton Setup est utilis pour la calibration cf 81 4 3 Focalisation n 3 Focus Ce controle permet de deplacer verticalement l objectif motoris Clop S lectionnez d abord Fast sur le menu d roulant En cliquant sur une des 10 cases du contr le cf ci contre on peut monter les 5 cases au dessus de la ligne rouge ou descendre les cases au dessous de la ligne rouge l objectif rapide D placez l objectif pour vous focaliser sur votre chantillon NB mesure que vous vous approchez du plan focal de plus en plus de lumi re atteint la CCD qui peut donc saturer Dans ce cas r duisez l intensit de l illuminateur monter l objectif mont e lente Lorsque vous tes proche de la focalisation s lectionnez Very slow gt dans le menu d roulant et n utilisez que les cases mont e lente et descente lente pour vous focaliser pr cis ment Lorsque vous tes focalis vous devez voir des franges d interf rence appara tre sur l image DESLAPE EMS descendre l objectif rapide Page 11 hepia 4 S lection du mode et tage d inclinaison Le cadre IOM setup gt permet de choisir le mode THM lt Translation Height Mode mode en balayage verticale en lumi re blanche PSM Phase shift Mode mode en d calage de phase en lumi re monochromatique Choisissez l une des deux options puis continuer au 8 1 2 pur le mode TMM ou au 8 1 3 po
3. dans frame Pour des questions de m moire il est pr f rable de ne pas d passer 800 images Si le nombre d image est sup rieur v rifiez d abord que votre chantillon n est pas tilt Sinon c est dire si la corrugation Az de l chantillon est vraiment telle que Az 20nm gt 800 alors augmentez le spacing dans la case jaune entrez une nouvelle valeur Enter Vous pouvez en suite lancer l acquisition en cliquant sur lt Start dans le cadre 5 Acquisition Le bouton vert vous indique que les param tres li s l acquisition sont corrects 6 ACQUISHION Start H frame ESG 1 3 Acquisition en mode PSM Le mode PSM n cessite une illumination monochromatique Pour cela on fait passer la lumi re blanche travers un filtre interf rentiel o 620nm Ce filtre est ins r dans un support sur lequel une extr mit est fix la fibre alors que l autre extr mit est ins r e dans le microscope cf photo 0 2 Comme le filtre ne laisse passer qu une tr s faible proportion de la lumi re vous devrez passablement augmenter l intensit de l illuminateur A l aide des vis microm trique du translateur d chantillon commencez par vous positionner l endroit que vous voulez imager puis r glez la focalisation Page 14 hepia Si l chantillon est suffisamment parall le l axe du l objectif sinon corriger avec le tilt stage vous devez voir sur l image des franges
4. des images l image de la valeur de la phase on appelle cette image le phase map Le phase map est une information en hauteur hauteur h 4r mais convolu e avec la phase p riodiquement la hauteur est translat e lorsque la phase atteint 2r La deuxi me tape consiste donc faire un d ballage de phase i e reconstruire l information 3D partir du phase map en cherchant les fronti res de saut de phase Comme illustration voici une image en mode phase shift d une surface d aluminium lectropoli 350x 250um Les raies de polissages les moins profondes sont de 3 nm Page 6 hepia 0 2 Pr sentation du NanoProfile Le microscope interf rom trique NanoProfile se compose des l ments suivants Le microscope lui m me CCD b w camera video tube ilumination filter Mirau objective sample piezo translator tilt stage xy translation stage ntr e ci dessous nn Le boitier lectronique dont la connectique est mo Page 7 hepia yee moteur pour 1 objectif aa jauge position PJ b L illuminateur en lumi re blanche avec sa fibre optique Pour le mode PSM on aura aussi besoin du filtre interf rentiel et de son support Le PC avec les 3 logiciels utilis s pour le fonctionnement du microscope e Le logiciel d acquisition NP AS NPRC_016 exe e Le logiciel de a reconstruction N
5. d interf rence de visibilit maximum couvrant l ensemble de l image Typiquement vous aurez entre 3 et 5 franges d interf rence r 5 T E s 2 S trop tilt Tilt correct visibilit visibilit des franges focalisation pas correct correctes correcte Le cadre PSM vous indique le mode de fonctionnement de votre piezo inci en Phase Shift Mode PSM boucle feem e ainsi que la longueur d onde du filtre ici 620nm Sen au Display Phase map Dans la case Images avg on peut Images avg 5 choisir le nombre d image qui sera moyenn e avant d tre stock e Une Avg phase shit SDDSE valeur de 5 est souvent optimum incuded Z 99 64 Phase calibration Le bouton Start dans le cadre 5 Acquisition gt permet de lancer l acquisition Le microscope var effectu 5 d placement de 2 8 pour acqu rir les images I1 12 13 et I4 d crites dans l acquisition Le phase map sera ensuite calcul par l algorithme de Hariharan puis affich la place de l image CCD NB le bouton c t de Display gt vous permet de basculer entre l affichage de la phase map et l image de la CCD Le logiciel calcule galement le d calage de phase moyen moyenne sur tous les pixels et l affiche dans Avg phase shift gt La valeur doit tre proche de 90 Lorsque Ad est tr s diff rent de 90 ce qui est le cas par exemple pour les pixels de tr s faible r flectivit ce pixel est exclu du ca
6. le cas pour la majorit des pixels il vaut probablement mieux proc der une nouvelle acquisition Pour lancer la reconstruction cliquez sur le bouton OPD reconstruction Une barre de d filement affiche la progression du calcul qui doit s effectuer sur chaque pixel Data Sample name 2010 09 07 FO view um 355x266 Mode THH Objective Mirau1Ox Acquisition 2010 09 07 z pacind MAE frames 594 Translator 100 PIHSG Command4 Comment Labell 7 THH reconstruction OPD reconstructor algorithm C105 Comment Center of mass 1st order fattening symetric on max 100pts CH105 Page 19 hepia Lorsque le calcul est termin un fichier n3d est g n r contenant la nanotopographie ce fichier peut alors tre utilis par le logiciel d analyse et de traitements des images Page 20 hepia 3 Logiciel d anayise et de traitement d image NP IP 3 1O0uvrir afficher et sauvegarder des images Apr s avoir lanc le logiciel NP IP ouvrez votre image dans le menu File Open Les fichiers ont l extension n3d Ouvrir Regarder dans BMF files E 2011_2_4 n3d Mes documents r cents Type Fichier N3D m Date de modification 04 02 2011 16 22 E Taille 5 24 Mo Bureau Mes documents 9 Foste de travail amp Mom du fichier MERETE Favoris r seau Fichiers de type Files n d n3d Annuler Ouvrir en lectur
7. 5 CDetfe t0 06 CDptfe TO 09 Captfe TO_ 10 o linto file Eat Annuler Ouvrir en lecture seule CE Hom du fichier Favoris r seau Fichiers de tupe Apr s avoir double cliqu sur le r pertoire ouvrez les donn es en cliquant sur le fichier info txt gt puis sur le bouton Ouvrir Page 17 hepia Ouvrir Regarder dans 2m0 08 07 23 da Mes documents r cents Poste de travail t Nom du fichier linfo tst Favoris r seau Fichiers de type linfo file tst Annuler Ouvrir en lecture seule Vous voyez les images d interf rogrammes d filer dans la fen tre image Lorsque l enregistrement est termin vous pouvez visualiser les corr logrammes en d pla ant la souris sur l image Le corr logramme correspondant au pixel de l emplacement de la souris s affiche dans le cadre THM correlogram THM correlogram Gamme d intert it disponible La position du pixel est indiqu e ici 207 253 et vous pouvez aussi sauvegarder bouton Save le corr logram pour un traitement sous Excel Page 18 hepia Pour qu un corr logramme puisse aboutir une valeur correct de la hauteur il faut que e l intensit produise des oscillations bien marqu es e l intensit ne sature pas ni vers le haut ni vers le bas e la diff rence d intensit entre Imax et Imin soit au moins la moiti de la gamme d intensit disponible Si tel n est pas
8. B RC iaai utilis en mode THM permettant de reconstruire l information 3d partir des corr logramme en lumi re blanche e Le logiciel d analyse et de traitement d images NP IP Page 8 hepia 1 Logiciel d Acqauisition NP AS 1 1 Configuration du microscope Enclenchez le bo tier lectronique bouton vert sir la face avant qui s allume Lancer le logiciel d acquisition NP AS version actuelle NP AS17 Allumez l illuminateur Placez d licatement votre chantillon sur le support piezo lectrique NB l chantillon ne doit pas peser plus de 100g L interface du logiciel d acquisition est montr e ci dessous w NanoProfile Acquisition Software Fichier Setup 1 Sample Sample name 2011127 Change directory Comment Filename 2011 1_27 05 Current directory C ANP DAT Closed loop Select upper position 0 um Select lower position 0 um Spacing 198367 nm frame 1 I 2 calibration frame C Phase Shift Mode PSM Closed loop 620 nm Display Phase map Images avg4 l 5 Avg phase shift 90 096 incuded 99 64 Phase calibration Zpos EEE O DAC FETE l 2 Objective Mirau 50x 85 4 um x 8595 um Setup 5 3 Focus 4 IOM Setup Slow a NanoProfile acquisition 5 Acquisition Save single image C ASIMS Start Stop frame 6 Name sim_ 0 Save Pa
9. Nanotechnologie appliqu e Mode d emploi du microscope interf rom trique NanoProfile V2 1 24 avril 2013 Prof Marc Jobin ep ame o D U ep O D O D ep D o D U D O Dg O O Q D U 5 Q ep me D D ep 7 hepia Microscope interf rom trique NanoProfile Mode d emploi v2 0 Table des mati res O MIroduUCHOM ea EA 0 1 La microscopie interf rom trique ssssessesssseesesresreseresresresrsrsren 0 2 Pr sentation du NanoProfile 1 Logiciel d Acquisition NP AS ssssusnsnunnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 1 1 Configuration du microscope ssessssssssessssssrssersssrssrrssrrssresrrssrrssresn 1 2 Acquisition en mode THMnn ii rnrrsneessnnnss 1 3 Acquisition en mode PSM is LA C 110 65 1610 1 PR EEAO 2 Logiciel de reconstruction NP RC nn nnnnssremnnnnnnnne 3 Logiciel d anaylise et de traitement d image NP IP 3 1O0uvrir afficher et sauvegarder des images 3 2 T alt MeNEdIMAUS LG SN EEEE EE PEAR DOON PR E AE E 3 2 3 Filtres matricielS a a me nc D OS CA EAE E E E 3 3 1 Analyse de COUpe essssssessesesssrrssrrrsrressreseressrressressrreseressreeseressress 3 3 2 Analyse de r gion iii Page 2 hepia 0O Introduction 0 1 La microscopie interf rom trique Le microscope interf rom trique IOM permet d obtenir la topographie 3D d une surface avec une r
10. ce ici en lumi re blanche On peut donc obtenir une topographie sur un d nivel de plusieurs centaines de microns avec une r solution de l ordre du nanom tre Comme illustration du mode balayage vertical ceci est l image 3D d une surface structur e par photolithographie 350x 250um La diff rence de hauteur entre le silicium topographie inf rieure et l oxyde de silicium topographie sup rieure est de 1 5 um 0 1 2 Le mode phase shift Le mode phase shift utilise une lumi re quasi monochromatique filtre interf rentiel les franges d interf rence ont donc un contraste lev et constant sur toute l image Quatre images sont enregistr es en faisant varier la hauteur de l objectif l aide du translateur pi zo lectrique Les d placements sont de 8 de telle fa on ce que les diff rences de chemin optiques soient de 1 4 et donc que les images soient d phas es de 1 2 Acquisition des images d phas es Image phase map Image 3D apr s le d ballage de phase Le contraste des 4 images L L I et I peut s crire comme I 1 1 2 11 cos o T 1 cos p 6 Page 5 hepia o le d phasage o est respectivement de 0 x 2 n et 37 2 On a donc 1 1 1 0c0s p 1 1 1 sm l l Lp coso 1 1 1 Sm0 d ou on tire 21 Si 11 Ho _ sp M tang olx y arctan gt I I 2I coso l On obtient donc facilement par cette simple op ration sur les intensit
11. e seule Les donn es brutes sont alors affich es En mode THM cas utilis pour illustr le traitement d image dans ce manuel on aura donc une l g re inclinaison De plus l chelle de gris est choisie par d faut pour ne pas saturer Les deux barres de d filement droite de l image permettent de r gler le contraste et la luminosit de l image Ne pas h siter utiliser constamment ces contr les pour faire ressortir les aspects int ressant de l image Process Flattenin Lorsque l image et ouverte 5 boutons permettent ES d acc der aux commande de traitement et d analyse Degitch des images Traitements Process rs Flattening permet de soustraire un plan Deglitch permet de corriger des piixels dont le corr logram ne permettait pas de calculer correctermnet la hauteur Filter permet d appliquer des filtres matriciels l image Analyses Analysis Analysis Line rea Page 21 hepia Line permet d extraire une coupe topographique Region permet de calculer des rugosit s En cliquant sur l un de ces 5 boutons le cadre contenant les commandes correspondantes s affiches sous l image Par d faut c est le cadre Flattening gt qui est affich 3 2 Traitement d images 3 2 1 Flattening Dans le mode THM on incline l g rement l chantillon de fa on avoir des franges raisonnables Par cons quent le plan moyen de l chantillon ne signifie rien et i
12. ge 9 hepia Pour proc der une acquisition on suite les chiffres de 1 Sample 5 Acquisition 1 Sample 1 Sample Sample name 2011_1_ 27 Change director Comment Filename 2011_1_27_05 Current director CANF DATA Par d faut le nom de l chantillon est la date du jour suivit d un incr ment automatique 05 dans l exemple ci dessus Vous pouvez changer de nom en s lectionnant l ancien nom tapez le nouveau Enter Un incr ment sera automatiquement ajout chaque acquisition Un r pertoire C NP DATA sample name est cr dans lequel sera stock toutes les images d une acquisition Vous pouvez changer de r pertoire en cliquant sur le boutton Change directory Il est parfois utile de pouvoir ajouter un commentaire sur une acquisition traitement de l chantillon endroit observ etc Cliquer sur Comment et tapez votre commentaire Celui ci fera partie du fichier n3d topographie 3d 2 S lection de l objectif Objective Mirau 10 355 um x 266 um Setup Page 10 hepia Cliquez sur le menu d roulant pour s lectionner l objectif interf rom trique utilis Le champ de vision est indiqu sur la droite Nous disposons des objectifs interf rom triques suivants Objectif interf rom trique Champ de vision avec CCD 14 355 um x 266 um 172 um x 129 um 85 4 um x 64 um Tolanski 2 5 x 2100 um x 1575 um n cessite une bague d adaptation
13. l chantillon est trop inclin par rapport l objectif seul une bande troite est occup e par les franges Echantillon inclin Echantillon trop inclin correctement Il s agit maintenant de s lectionner la position z correspondant au point le plus bas de l chantillon et la position en z correspondant au point le plus lev Descendez le piezo les franges se 4 IOM Setup d placent sur limage Continuez descendre jusqu ce que les franges en tout cas celles qui sont bien Translation Height Mod THM visibles quittent compl tement Closed loop l image Appuyer ensuite sur Select lower position La position en z pe i EA Select upper position s lectionn e s affiche R p tez l op ration pour la position 94 24995 um sup rieure d placez le piezo vers le haut vous voyez les franges traverser T m f Select lower position l image jusqu a ce que les franges quittent l image Appuyer alors sur 70 24995 Select upper position A nouveau la position s affiche Spacing 21364 nm H frame 656 E z calibration frame Lors de l acquisition le piezo va se d placer de la position sup rieure la position inf rieure en effectuant des petits d placements La valeur de ce Page 13 hepia d placement est indiqu e dans la case jaune Spacing Une valeur typique est autour de 20nm Une image sera enregistr e chaque d placement Le nombre total d images est indiqu
14. l convient donc de le soustraire des donn es Dans le cadre Plane fit le bouton Average permet de soustraire automatiquement le point moyen Le bouton Select XY gt permet de choisir successivement une ligne en X puis une ligne en Y sur lesquelles sont calcul es les pentes moyennes qui sont ensuite soustraites l image 3 2 2 Dedglitch Lorsque le calcul de la hauteur est effectu sur un pixel dont la r flectivit est trop faible le calcul de la hauteur est incorrect en raison du manque de contraste des oscillations de l intensit du correlogram correspondant La hauteur calcul e peut alors prendre n importe quelle valeur avec comme effet une point blanc ou noir sur l image On peut utiliser l outil deglitch pour cela L outil Deglitch gt permet d abord de s lectionner une partie de l image su laquelle il y a des points corriger Pour cela d placez la souris sur l image un carr rouge apparait puis cliquer sur le bouton droit pour s lectionner le carr Cette partie de l image s lectionn e appara t agrandie en bas deux fois c te c te respectivement avant et apr s le traitement Sur l image de gauche cliquez sur un point corriger Celui ci appara t alors en rouge ce qui iondiqwue que sa valeur originelle t remplac e par la moyenne des 6 pixels qui l entourent Sur l image de droite le pixel est affich avec le niveau de gris corrig 3 2 3 Filtres matriciels Page 22
15. lcul de included gt qui Page 15 hepia indique le pourcentage pixel correct Ce chiffre doit donc tre proche de 100 Si tel n est pas le cas se rapporter au 8 1 4 Calibration 1 4 Calibration La calibration ne fait partie de ce manuel destin aux tudiants Demander des informations suppl mentaires au responsable du laboratoire Page 16 hepia 2 Logiciel de reconstruction NP RC Le logiciel de reconstruction NP RC v 16 est utilis apr s une acquisition dans le mode THM pour reconstruire la nanotopographie 3D partir des images d interf rogrammes Apr s avoir lanc NPRC_016 demandez le menu File Open gt et s lectionnez le r pertoire qui contient les donn es traiter ici 2010 09 07 23 _NanoFeel Reconstruction v1 1 Data NanoProfile reconstruction Sample name FO view um Ouvrir P Mode T Regarder dans PDT Objective Menton A 2011_1_19 02 im 2010 _09_07_ 23 Cpdms_t1_06 ki G 2011_1_27 01 Erhat pdms t2_0 7 du Mes documents 2011_1_27 02 Echantillon 0 2 pdms t208 frames TEE C 20111 27 03 C Echantilloni 0 3 Cpdms_t5 0 9 E E C 2011_1_27 04 O Echantillon1_0 4 pdms _t2_10 C 2011_1_27 05 O Echantilloni 0 5 Copdms_t4_11 Comment Bureau Echantillon1 0 6 pdms _t4_12 Mes documents gs Foste de travail Nano pdms t00 1 pdms t0_0 2 pdms t103 pdms 1 04 pdms Hi 05 LCpdms_t4_ 13 LPS 0 7 pte t0 0
16. n translateur pi zo lectrique permettant des d placements verticaux extr mement pr cis de l objectif La source lumineuse d pend du mode de fonctionnement utilis Il s agit soit d une lumi re blanche lampe halog ne ou LED soit d une lumi re monochromatique filtre interf rentiel avec une bande passante typiquement de 5nm La cam ra CCD noir blanc collecte l interf rogramme 0 1 1 Le mode balayage vertical Le mode balayage vertical utilise une illumination en lumi re blanche En cons quence le contraste des franges d interf rence est rapidement amorti Pour lampe halog ne ayant une largeur du spectre d mission de typiquement 300nm entre 400nm et 700nm il y a typiquement 4 5 franges d interf rence avec un fort contraste L objectif interf rom trique est balay verticalement sur toute la diff rence de hauteur que l on souhaite imager sur l chantillon Pour chaque pixel x y l intensit I z appel corr logramme a la forme d une oscillation amortie Le pic de l enveloppe correspond la hauteur absolue de l chantillon l endroit du pixel x y position de l objectif de Mirau Corr logramme Intensit lumineuse pixel x y position z de l objectif de Mirau nm hauteur en nm d pixel x y Page 4 hepia L int r t du balayage vertical est qu on n a pas d ambigu t de phase C est un avantage de base de l interf rom trie basse coh ren
17. res Statistical values Mean height nm 6683 97 Ra nm 43 77 Rq Inm 65 3 Rp v nm 1790 36 included 79 Page 26
18. s valeurs en cliquant sur Compute dans le cadre Statistical values included indique le pourcentage de points qui ont t inclut dans le calculs des rugosit s Lorsque l image enti re a t s lectionn e aucune zone exclues comme ci contre on a 100 hepia Statistical values Mean height nm 6526 579 Ra nm 246_94 Rq nm 312 29 Rp nm 8261 11 included 100 Save tst La s lection peut se faire de deux mani res par des r gions choisies Select by area ou par l histogramme Select by height histogram gt e Select by area Les outils permettes de d inclure et d exclure les zones Les z ne inclues apparaissent en orange les zones exclues apparaissent en rouge RE LL e e Select by histogram Include Select by area E sclude All LL KJ Il est parfois utile d exclure tous les points qui ont une valeurs sup rieur un seuil Ou alors de ne prendre en compte que les points qui se trouvent sous un seuil Pour effectuer la s lection d placez la barre de s lection au dessus de l histogramme Exemple a on exclut tout les valeurs lev es la rugosit sera alors celle des sillons de l image ci dessus Page 25 hepia Statistical values Mean height nm 5931 425 Ra nm 57 12 Rq nm 85 05 Rp nm 6365 64 meluded 20 b On exclut les sillons ie on veut les rugosit s sur les parties sup rieu
19. solution verticale inf rieure au nm et des champs de vision jusqu imm x imm Par rapport aux profilom tres m caniques AFM o stylus gt les profilom tres optiques comme l IOM pr sentent l avantage d tre plus rapide et de n avoir absolument aucun contact avec l chantillon En revanche la r solution lat rale est limit e par la diffraction typiquement 0 5um Le c ur du microscope est un objectif interf rom trique i e un objectif de microscope optique qui int gre un interf rom tre Le sch ma d un objectif de Mirau est repr sent ci contre On voit bien la s paration du faisceau incident par le miroir semi transparent Le demi faisceau qui se r fl chit sur le miroir de r f rence parcourra toujours la m me ere distance c est le faisceau de r f rence L autre demi vue Reference l Mirror faisceau vient sur l chantillon la distance parcourue LA 17 Ha va donc d pendre de la hauteur de l chantillon au point consid r Specimen En chaque pixel de la cam ra CCD qui collecte la superposition des deux faisceaux r fl chis on aura une intensit 1 1 1 2JL1I coso x y o est la diff rence de phase entre les deux faisceaux qui elle d pend de la hauteur de l chantillon au pixel consid r Page 3 Cam ra CCD Lentille Source lumineuse Miroir diviseur Module PZT Objectif de Mirau chantillon hepia L objectif de Mirau est mont sur u
20. ur le mode PSM Mais avant cela apprenez utilisez l tage d inclinaison Le tilt stage permet d incliner le plan de l chantillon par rapport l axe de l objectif Deux vis cf dessin permettent de changer le plan d inclinaison dans les deux directions indiqu es Suivant le plan d inclinaison les franges d interf rence occupent une proportion plus ou moins grande de l image 1 2 Acquisition en mode THM A l aide des vis microm trique du translateur d chantillon commencez par vous positionner l endroit que vous voulez imager et r glez la focalisation Dans le cadre 4 IOM Setup le contr le droite constitue de 10 cases noires permettent de monter et de descendre le translateur pi zo lectrique exactement de la m me mani re que le moteur contr lant l objectif Utilisez le contr le du pi zo pour positionner les franges environ au milieu de l image Le piezo est contr l par un DAC 0 10V qui d place le piezo sur une plage de 10um La position du piezo ainsi que la tension du DAC est indiqu e en bas du cadre 4 IOM Setup zpos MES ri DAC KES Page 12 hepia En mode THM on utilise de la lumi re blanche Il n y a donc que 5 ou 6 franges d interf rence qui sont tr s clairement visibles Il faut d abord r gler le tilt stage gt de fa on ce que ces franges occupent environ de l image Si l chantillon est trop parall le les franges occupent toutes l image Si
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