高効率結晶光学素子冷却装置運転マニュアル
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1. H L lt gt H LNs LNs LNs GM T1 T2 LNz SV2 0 18MPa LNs PS2 50 BL2. 4 GNs 1 V10 V11 V13 V12 P V1 V2 V3 V4 V5 V6 Olx x V7 VS V9 V10 V11 V12 V13 V14 V16 0 05 P 0 04 Xx Memo 10 17 250K V5 V12 5 V14 GN gt V10 V11 V12 V13 V15 V2 V3 V1 V21V83IV4 V5 V6IV7 V8 V9I V10 V11 V12 V13 V14 V16 0 05 Xx 0 04 13 7 Break
3. LNz LNs V4 V6 LN2 V4 V4 LN LN2 8 4 Hi Y Ft 1 ED 1 Ww SV2 i li PD 1 1 ea s LL fl ln 1 1 hae Sa mm 4 jj le 5 aa 12 V3 D 0 un agor ea 0 EE mW EE ty on I D ENDME OW 7 0 15MP 5 ni ux TP en ts km se L 0 2MPe 4 3 I RE 2D OR rs 3 EFT IE A e234 014231 3 3 D Waane gt A wae wn TI CT TZ i 91ss H0in 8
4. 1 0 Data Enter Qc 7T o out 0 p 2 2 Pump Pump Mb Ref 3 LNs Ns V12 P V2 V5 LN gt LN N 0 Ns 0 Point LN2 V5
5. 2014 8 5 350 0833 2 8 52 1 2 3 RB RC Ro0 24 1 1 1 1 1 2 1 ON 200V 2 OFF
6. ON MAIN 3 Main LNz FLOW RATE LN2 Kg min 1 V12 N P VJP X P MPa LN 0 L V1 V2 V3 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 V13 V14 V16 X x 0 05 0 04 2 LN
7. V6 TD GD mnt Gg et DD ETmE E ot mM EE 3 0 BE a gt i 1 6 7 Pt 1 p 2 2 Pump i DSPL Eout 0 p 2 2 Pump Tree 4 00 Data Entery iv DSPL Fout 54 00 ree Oo 5 Memo 2 3 LN 13kg min
8. WARNING LN2 8 105 _ 0 22 LN _ _ _ NE 65K Ti1 T2 T3 14
9. Warning Break OFTF 7 1 BREAK ON BREAK 200V _ LN2 8 85K T1 T2 T8 a 2 LNz2 2L min Re BREAK 7 2 WARNING
10. i V1 V2 V3 ii SCP V7 20 iv V7 V7 E 2 3 GN i V7 SCP V2 V3 ii V12 P P1 P2 50 V7 Ns 2L min 1 i V7 V12 P1 P2 50 V1 V2 V8 V12 P1 P2 50 V gt VJP LN
11. LNs 6 CVJP LNs 95KC178C PC 5 1 2 Present MX1 data 1 2 4 5 6 fi 9 10 11 1 1 1 1X 1 2 2 2 2X 2 TO Sit 3276 7000 1925920 5 1120 283396 28 4298 3276 7000 1941760 1g48639 27 7697 282021 283231 5 Logging 3 2 1 2 Tl1 T2 T83 T4 T6 lt 80K
12. lt 95K VJP V3 1 5 V3 V7 2 1 LNz LN2 V6 LNs 99 80 LN2 V4 V6 lt gt V4 LNs LN2 LN 3 V3 4 LNz LNs LN 6
13. V4 2 V4 V9 LNs NN LN 30 2 H 9 3 GN2 V12 GN 4 V1 V2 V38 GNs V12 3 V13 0 05Mpa
14. Tmv L 0 mame Gar TD D 0 EME E or 7 MI 7 0 15MP nT 0 2 WP tt no i A FF 8 LET oni Ii ret NN alNool mm lA3 122 99155 0 RENE A LE _ MM anas ir T 7 mr 8 TT TT A 39135 H010 5 T1 T2 T3 T4 T5 T6 V7 GNs V7 Image non pr 4 LN LNs LNs
15. Vl V2 V3 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 V13 V14 V16 OT1TO1TA A TOIX X O Xx 10 05 x 10 04 x 3 70 90 V3 LNs 4 lt 7L min MX100 5 3kg min OK 5 9 F rl 2 3 ws gs rr 12 1 TD 0 Hanz mot 2 a E mi 5D 0 EnmE EN 7 2 0 15MP sw Hi jr Mr El NS ms EW ST Pp 0 2MP 0 000216 00210 O021 lt Ne IM tei 5CMIE SE EF 20 f 0 EE TT EAE Nonl mm A3 _122 99155 23 1 E
16. P1 40 V5 LN LNs 12 V5 LN V5 Ns V3 V10 Memo V5 VJP QGN VJP 3 LN 120K 100K N P1 50 Memo TPG300 OFF
17. TEx LNs kg min P1 P2 LNs FLOW RATE 10 11 6 6 1 OFF 1 LNz LNs L H LN 6 2 LN LN 1 OFF PLC 2 LNz
18. 2 2 Q V5 V6 2 P1 P2 gt 3 3 V2 V3 V9 V4 V7 LNs 3 V7 LNs 0 OK PS1 PS2 lt 100 LNs lt 0 1MPa LN2 W16 GN2 V1 V2 V3 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 V13 V14 V16 OTxX X O X 0 05 X 0 04 3 Ref f
19. 70 V1 V2 V3 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 V13 V14 V16 OT Tx Xx x x x 0 05 Xx 0 04 X 2 3 3 2 Yr V2 V3 LN V3 P1 P2 LN Qc 0 V16 V16 0 LN2
20. g UNIN ms tr J 03 HERE Frisior tlt A ET EEN OU a 1 99155 HO10 PAN 1 3 5 f T 1 Li 1 V1 V2 9 V3 V9 LN V10 V11 0 05MPa V12 N V13 V11 0 06MPs gt lL V18 GNs V16 1L min GNz Vl V2 V3 V4 V5 V6 V7 V8 V9 V10 V11 V12 V13 V14 V16 Xx X X X X 0 05 N 0 04 Xx 10 i LN2 TC1 TC6 i ON
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