超精密切削加工性に優れた電気めっき加工技術の検討（Ⅱ）
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1. 1 DL CI 2 pH 3 60 0 7m 1 vo1 74 p1278 2008 2 2009 p241 2009 3 8 p159 2010 42. 262 mr 61 80 mm 15 20MPa 1 2MPa o0000 OOOOOOOO OOOOOOOOO DL _ 1 9 2A dm
3. Ni P 1 IL 0 5M 5A 4 1 6 0 38molL 6 0 13molL 0 5mol L 1 0molL 0 5mol L pH 2 30 0 03 10Adm2 60C 1L 20mmX60mm 10um 2cm 3 3 1mm 3 7 3L 2 5L 7 74cmW
4. I DL pH 1
5. 700 650 600 550 HV 500 450 400 0 100 200 300 400 500 600 700 u m 4 60 30 um 1 5 SEM 1 0 7mm 60 2mm Ean 4
6. 0 6A 60 12 0 973g pH 2 1200 0 5m 50gm 15RV 8 0X10 5m ZAF 50g 3 3 1
7. 2 2 1 Ni P NiP Ni P 3
8. 3 Ni P pKa 2 8 pKa 3 DL 2 DL 1 1 gt
9. Ui Ds M Xe XL 25 1D 3 11 1 0 179A 3 12 Ci 4 95g L Dj 2 11g SNiigea 7 88g S 7 06g E NLA 89 69 6cm 10A dm 0 6A 0 421A 12 pH 2
10. 2 9 1 Ni P 1 3Ni HPHO 3HH 9e NiP 3HO 2 Ni 2e Ni 3 2F 2e H Oo Ni Ni 2e 5 HO 1 20 9H 2e 6 u m min mm2 MPa Na 8 18 O O46 8O0 12 304 A O41 69 15 340 A O39 262 20 286 A O38 61 117 296 x 202 x 1048 HPHO HO HPO 2H 2e 7 pH 12 pH 2 1
11. vo1 53 p132 1987 5 vol 55 p161 1989 6 A Pramanik et al Mater Process Technol vol 208 p400 2008 7 Rezaur Rahman et al Int 7 Adr Manuf Technol vol 27 p911 2006 8 Jose L Carbajal et al Electrochem Soc vol 135 p2952 1988 9 vol 40 p481 1989 10 vol 43 p353 1992 11 vo1 43 p195 1992 12 Robert L Zeller LL et al Electrochem So0c vol 139 p3464 1992 13 Thomas M Harris et al Electrochem Soc vol 140 p3464 1992 14 No 40 p55 2012 15 16 vol 60 p661 2009
12. 10zm S 58 2XU K T 1 S WPa U K T um 1 1 20 um 2 2 1L 1 20mX30mm 12 1L 2 pH 5M 2 3 pH 0 03 2 1 5cm ICP
13. 2 12 Siu Cx x NPDN 12 Si g wa ENia She Swaan 9 SE RNC RO S 0 6 XM Xt 2F 10 0 6 M t F 2 2 Cx Da 8 g ua
14. 9 0A dm 7 0A dm 16 6A dmz 23A dm 4 MM 2 lt 2 3 2 Ni P 100gm 300gm 9 7 7 1m
15. 1 60 3 60 12 pH Pt 2 3 12 MD CO g amp L wt 10 20 30 40 50 60 70 h 3 60 12 1 17 60 12 1 03 60 1 10 60 1 03 pH 4
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