1. ER 1 2 3 4 SS 2 il 13 56MHz Ne F 1 OO x Ar 02 Ne 02 2. loxex ME oxsx oxsx EE x O x 3 gt x loxex O x a 3. x 4. A 13 56MHz Ne F Ar O2 Ne O2 1m 2400 mm 1200 mm 120nm lt 800nm 45 HLiBe B C N O F Na Mg ALSiP S CIK Ca Ti VCrMn Fe Co NiCu Zn Sr Y Zr Nb Mo Rh Pd Ag Cd In Sn Sb Ta W Ir PtAu Pb Bi 1 5. x O x 2400 mm ss 1200 mm 120nm a 45 H Li Be B C N O F Na Mg Al Si P S CLK Ca Ti x V CrMn Fe Co Ni Cu Zn Sr Y Zr Nb Mo Rh Pd Ag Cd In Sn Sb Ta W Ir Pt Au Pb Bi 2ms ox x ALL O x a PC PC 6. 00ppm 2ms PC PC Rta 5 i 3 9