Turbomolekular-Drag-Pumpe TMH 521 P TMU 521 P
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1. 13 Verbindurig s ur itt cocotte retten a 13 Anschluss der RS 485 13 ies 14 BEI ETE 15 Vor dem Einschalten senes 15 Emnschalten 15 Ausschalten und Fluten 15 Gasartabh ngiger 16 Stillsetzen f r l ngere Zeit 16 Betrieb mit DCU 001 DCU 300 oder HPU ODI u Betrieb ber Fernbedienung Fluten Freigabe 17 Motor Turbopumpe nnns 17 airo 17 NEIEN Dino 17 CIE Drehzahlstellbetrieb ber Eingang PWM Schaltausg nge sss PFEIFFER VACUUM Seite 5 berwachung des Betriebszustandes 19 5 1 Betriebsanzeige ber 19 5 2 Temperatur berwachung der Turbopumpe 19 6 Was tun bei St rungen 20 7 Wartung Austausch 21 7 1 Schmiermittelspeicher ersetzen 21 7 2 Austausch der Antriebselektronik TC 600 22 SEG 23 9 Technische Daten 24 94 Mafsbilder erect 25 10 Ersatzteile 28 p BET E 29 Erkl rung zur Kontaminierung 30 Herstellererkl rung letzte Seite Hinweis Aktuel2. Fluten Freigabe Option Automatisches Fluten Flutfrequenz Abschalten Netzausfall des Pumpstands lt 415 Hz Flutventil ffnet Flutventil ffnet und schlie t bei Erreichen von ca 15 der Enddrehzahl entspricht 50 der Enddrehzahl f r 3600 s 1 h Werkeinstellung 1 Bei Netzwiederkehr wird der Flutvorgang abgebrochen Fluten aus Es wird nicht geflutet Andere Flutmodi Andere Flutmodi k nnen ber DCU oder HPU gew hlt werden Motor Turbopumpe Bei eingeschaltetem Pumpstand und erfolgreich abgeschlos senem Selbsttest Dauer ca 15 Sekunden wird die Turbopumpe in Betrieb gesetzt W hrend des Betriebes kann die Turbopumpe bei weiterhin eingeschaltetem Pumpstand abgeschaltet und wieder einge schaltet werden Die Turbopumpe wird dabei nicht geflutet Pumpstand Angeschlossenen Pumpstandkomponenten werden angesteuert z B Vorpumpe Flutventil Luftk hlung und bei gleichzeitig bet tigtem Eingang Motor Turbopumpe wird die Turbopumpe nach erfolgreich abgeschlossenem Selbsttest Dauer ca 15 Sekunden in Betrieb gesetzt Heizung Reset Heizung Option Nach Erreichen des Drehzahlschaltpunktes wird die Heizung ein und nach Unterschreitung wieder abgeschaltet Reset Der Eingang Heizung ist mit einer Doppelfunktion belegt siehe unter Kap 3 10 Punkt 5 Reset Standby Die Turbopumpe kann mit der Einrichtung Standby wahl weise mit 66 der Nenndrehzahl Standby
3. Pin Nr Eingang offen low Eingang geschlossen high an 24 V Pin 1 1 24 V 2 Fluten gesperrt siehe Kap 3 5 Fluten freigegeben siehe Kap 3 5 3 Motor Turbopumpe aus Motor Turbopumpe ein Turbopumpe wird angetrieben es flie t ein Strom durch die Motorspulen 4 Pumpstand aus Pumpstand ein Turbopumpe wird angetrieben Vorpumpe wird ber Relaisbox angesteuert 5 Heizung aus Heizung ein Nach Erreichen des Drehzahlschaltpunktes wird die Heizung eingeschaltet und nach Unterschreitung wieder abgeschaltet Optional Sperrgasventil aus Optional Sperrgasventil ein 5 Reset Durch Anlegen eines Pulses T 2s mit einer Amplitude von 24V kann eine Fehlerquittierung vorgenommem werden 6 Standby aus Standby ein Pumpe wird auf 66 der Nenndrehzahl beschleunigt 7 Drehzahlstellbetrieb aus Drehzahl kann durch Anlegen eines PWM Signals an diesem Pin oder ber die Schnittstelle RS 485 ge ndert werden siehe unter 4 7 Drehzahlstellbetrieb 8 Ausgang low Ausgang high Drehzahlschaltpunkt nicht erreicht Drehzahlschaltpunkt erreicht Ausgang kann mit 24 V 50 mA belastet werden 9 Ausgang low Ausgang high Sammelfehlermeldung st rungsfreier Betrieb Ausgang kann mit 24 V 50 mA belastet werden 10 Masse Ground 11 Kontakt Kontakt zwischen Pin 11 und Pin 12 geschlossen Ausgang 1 Schaltpunkt erreicht wenn Turbopumpe ber Schaltpunkt 12 Kontakt Ausgang 1 Schaltpunkt ereicht 13 Kontak
4. 100 K hlwassertemperatur C 5 25 5 25 Zul Umgebungstemperatu bei Luftk hlung C 0 35 0 35 Leistungsaufnahme der Geh useheizung W 100 100 Gewicht kg 14 5 150 13 5 ISO K 15 0 14 5 kg 15 0 ISO F 142 ISO F Zul ssiges Magnetfeld mT 50 50 Betriebsspannung VDC 72 5 72 5 Dauer max Stromaufnahme A 32 42 32 42 Dauerd max Leistung W 230 300 230 300 Schutzart IP30 IP30 Transport und Lagertemperatur C 25 C bis 55 C 25 C bis 55 C Relative Luftfeuchte 5 85 nicht betauend 5 85 nicht betauend 1 Abstand von der Pumpe Im 2 Gemessen mit 20 He Konzentration 10 s Messzeit 3 Gemessen mit Drehschiebervakuumpumpe 0 5 m3 h gr ere Durchs tze mit reduzierter Dreh zahl 4 Die Drehzahl der Pumpe kann unter die Nenndrehzahl abfallen 5 Kennlinie Gasarten siehe unter Kapitel 4 4 24 PFEIFFER VACUUM 6 Enddruck ist nach DIN 28 428 der Druck der in einem Messdom 48 Stunden nach dem Ausheizen erreicht wird 7 siehe Typenschild 8 Bei maximalem Gasdurchsatz 9 Mit der Abdeckung f r die TC 600 wird die Schutzart IP 54 erreicht 9 1 Ma bilder TMH 521 P TMU 521 P DN 100 ISO K DN 160 ISO K DN 100 CF F DN 160 CF F 148 5 Bu DN 100 CF F DN 100 ISO K DN 160 CF F DN 160 ISO K 139 184 166 242 224 PFEIFFERE VACUUM 2
5. 100 ISO F mit Unterlegscheibe Bei einem Flanschmaterial mit einer Festigkeit gt 270 N mm und einem Sackloch muss die 6kt Schraube 1 5 d einge schraubt werden Die 6kt Schrauben sind in drei Schritten ber Kreuz anzuziehen Anzugsdrehmoment DN 100 ISO F 5 Nm 12 Nm 22 2 Nm DN 160 ISO F 10 Nm 20 Nm 38 3 Nm PFEIFFERE VACUUM 7 Variante 2 Stiftschraube und Sackloch Anschluss Benennung Bestell Nr nennweite DN 100 ISO F Zentrierring beschichtet PM 016 210 AU Zentrierring beschichtet PM 016 211 AU mit Splitterschutz Zentrierring beschichtet PM 016 212 AU mit Schutzgitter Stiftschraube N 3169 428 2C 8 St ck verwenden Mutter mit N 3433 047 8P Unterlegscheiben N 3502 422 4P je 8 St ck verwenden DN 160 ISO F Zentrierring beschichtet PM 016 216 AU Zentrierring beschichtet PM 016 217 AU mit Splitterschutz Zentrierring beschichtet PM 016 218 AU mit Schutzgitter Stiftschraube N 3169 485 2C 8 St ck verwenden Mutter 8 St ck verwenden N 3433 051 8P Stiftschraube und Sackloch A SO F Flansch B Stiftschraube mit einer Mutter 2 C Zentrierring beschichtet 3 D Splitterschutz E Schutzgitter D oder or E P A B 1 DN 100 ISO F mit Unterlegscheibe Bei einem Flanschmaterial mit einer Festigkeit von 170 270 N mm und einem Einschraubflansch muss die Stiftschraube 2 5 d eingeschraubt werden Die Muttern sind in drei Schr
6. 37 EEC Electro magnetic Compatibility 89 336 EEC and EU Low Voltage 73 23 EEC Produkt Product TMH 521 P TMU 521 P Angewendete Richtlinien harmonisierte Normen und angewendete nationale Normen Guidelines harmonised standards national standards in which have been applied EN 12100 1 EN 12100 2 EN 294 EN 1012 2 EN 61010 Unterschrift Signature Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Str 43 es dili 35614 Asslar Germany W Dondorf Gesch ftsf hrer Managing Director 1 2003 Vacuum is nothing but everything to us jJ X GQ 28 Ch Ha 521 Ho PFEIFFER Turbopumps Rotary vane pumps Roots pumps Dry compressing pumps Leak detectors Valves Components and feedthroughs Vacuum measurement Gas analysis System engineering Service VACUUM gt Pfeiffer Vacuum Technology AG Headquarters Germany Tel 49 0 64 41 8 02 0 Fax 49 0 64 41 8 02 2 02 info pfeiffer vacuum de www pfeiffer vacuum net
7. A 91 0 Ring 1 38x3 P 4070 621 PV 92 Schmiermittelspeicher 1 PM 063 265 T Ersatzteile C40 777 1 8d 28 PFEIFFER VACUUM 11 Zubeh r Benennung Gr e Nummer Bemerkung Bestellmenge zugeh rige Betriebsanleitung Bauteile zum K hlen Schmutzf nger R 3 8 P 4161 300 2R Wasserr ckk hler TZK 400 230 V 50 Hz PM Z01 245 PM 0369 BN Luftk hlung 24 V DC PM 201 251 PM 0543 BN Wasserk hlung PM 016 040 BT PT 0152 BN Bauteile zum Fluten Flutventil TVF 005 stromlos geschlossen 24V DC PM Z01 135 PM 0507 BN Trockenvorlage TTV 001 PM Z00 121 PM 0022 BN mit Zeolith gef llt Flutflansch DN 10 ISO KF PM 033 737 T Bauteile zum Heizen Geh useheizung Wasserk hlung erforderlich 230 V Schukostecker PM 051 096 T PM 0542 BN 208 V UL Stecker PM 051 097 T PM 0542 BN 115 V UL Stecker PM 051 098 T PM 0542 BN Weiteres Zubeh r Verbindungskabel TC 600 TPS DCU 3m PM 051 103 T andere L ngen auf Anfrage Verbindungskabel TC 600 TPS DCU geschirmt 3m PM 051 843 T andere L ngen auf Anfrage Netzteil TPS 300 Wand oder Normschienenmontage PM 041 814 T PM 0521 BN TPS 300 19 Einschubger t PM 041 820 T PM 0521 BN DCU 300 19 Einschubger t mit Anzeige und Bedienger t DCU PM C01 696 PM 0477 BN Anzeige und Bedienger t DCU 001 PM 041 816 T PM 0477 BN Anzeige und Bedienger t HPU 001 PM 051 510 T PT 0101 BN Netzkabel Schukostecker 230 V P 4564 309 ZA UL Stecker 208 V P 4564 309 ZF UL St
8. gt 100 C A Ho chvakuumflansch installieren Im Falle eines pl tzlichen Blockierens des Rotors k nnen Drehmomente bis 6690 Nm auftreten die von der Anlage und dem Hochvakuumflansch aufgenommen werden m ssen Zur Befestigung der Turbopumpen am Hochvakuum flansch sind ausschlie lich die im Folgenden aufgef hrten Bauteile zu verwenden Anderenfalls kann es zum Drehen oder Abrei en der Turbopumpe kommen Die Bauteile f r die Installation der Turbopumpen sind Spezialausf hrungen von Pfeiffer Vacuum Die Mindestfestigkeit von 170 N mm des Flanschmaterials istzu beachten Die Installation ist wie folgt durchzuf hren WARNUNG Um ein Verdrehen der Pumpe im Falle eines pl tzlichen Blockierens des Rotors sicher zu vermeiden ist die Befestigung einer Pumpe mit ISO K Flansch an einem Rezipienten mit ISO F Flansch oder umgekehrt keinesfalls zul ssig Beide Flansche m ssen vom gleichen Typ sein Die Installation mit unterschiedlichen Flanschtypen erfolgt auf eigene Gefahr F r s mtliche Sch den die aus einer solchen Befe stigung entstehen bernimmt Pfeiffer Vacuum keine Haftung ISO K Flansch mit ISO K Flansch F r die Installation stehen folgende Bauteile zur Verf gung Anschluss Benennung Bestell Nr nennweite DN 100 ISO K Zentrierring beschichtet PM 016 210 AU DN 100 ISO K Zentrierring beschichtet PM 016 211 AU mit Splittersc
9. oder HPU 001 ist der Remotestecker 8d am TC 600 zu entfernen und nach den Betriebsanleitungen f r DCU oder HPU zu verfahren Die maximal zul ssige Rotortemperatur der Pumpe ist 90 C Wird der Rezipient geheizt oder werden Teile im Rezipienten bei hoher Temperatur betrieben so darf die in die Pumpe eingestrahlte W rmeleistung den unter den technischen Daten angegebenen Wert nicht berschrei ten Gegebenenfalls sind geeignete Abschirmbleche in den Rezipienten vor die Turbopumpe einzubauen konstruktive Hinweise auf Anfrage Die Temperatur des Hochvakuumflansches darf 120 C nicht berschreiten Blindflansche von Hoch und Vorvakuumseite erst unmittelbar vor dem Anschlie en entfernen DerSchmiermittelspeicher ist bei den Turbopumpen TMH 521 P TMU 521 P bereits fertig montiert und gef llt Bei Magnetfeldern 5 0 mT muss eine geeignete Abschir mung verwendet werden auf Anfrage Wird die Pumpe ausgeheizt m ssen Heizmanschette und Pumpenk rper gegen Ber hrung gesch tzt werden Die Bodenbefestigung der Turbopumpe ist nur nach R cksprache mit dem Hersteller zul ssig Zum Betrieb der Pumpen ist Luft oder Wasserk hlung erforderlich Der Inbetriebnehmer ist daf r verantwortlich dass die Installation entsprechend der gesetz lichen Bestimmungen und der einschl gigen Normen erfolgt HINWEIS 6 PFEIFFER VACUUM 3 2 Pumpe montieren Hochvakuumseite ans
10. und Mutter C Kupfer Dichtung Die Bauteile f r die CF F Verbindungen sind unter den folgen den Nummern zu bestellen Bei waagerechter Montage der Turbopumpe Vorvakuumflansch der Turbopumpe muss nach unten weisen Abweichung max 15 Andernfalls kann die Turbopumpe verunreinigt werden und die Schmiermittelpumpe nicht sicher funktionieren Anschluss Benennung Bestell Nr nennweite DN 100 CF F Gkt Schraube M8 mit PF 505 003 T DN 160 CF F Unterlegscheibe und Mutter 25 St ck Stiftschraube M8 mit Unterlegscheibe und Mutter 22 St ck PF 507 003 T DN 100 CF F Kupfer Dichtung 10 St ck PF 501 410 T oder Kupfer Dichtung versilbert PF 501 510 T 10 St ck Splitterschutz2 PM 016 315 Schutzgitter PM 016 336 DN 160 CF F Kupfer Dichtung 10 St ck PF 501 416 T oder Kupfer Dichtung versilbert PF 501 516 T 10 St ck Splitterschutz2 PM 016 318 Schutzgitter PM 016 339 Einbaulage mit lgedichteter Vorpumpe 11 Rezipient 1 Lieferst ckzahl 2 Splitterschutz und Schutzgitter mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch einsetzen Pumpe direkt anflanschen Die Turbopumpe kann von senkrecht 0 bis zu einem Winkel von maximal 90 an den Rezipienten angeflanscht werden Der Vorvakuumflansch muss immer nach unten ACHTUNG Weisen Zul ssige Einbaulagen der Turbop
11. 0 TC 750 ee 14 1 mm TE 24 VDC max 200 mA Versorgungsspg DCU 8 Tu We RS485 5 pm RS 485 DO RI GND Masseanschlu DCU EE RS 485 DORI SC 8 m n c 1 Lc m 24 VDC max 50 mA 4 u Flutfreigbe C Motor TMP 1 i Pumpstand ma eu Heizung Reset _ REMOTE em Standby ER PWM ein Tastverh ltnis 25 75 1 m Schaltausgang 1 24 VDC max 50 mA SE Wuar Schaltausgang 2 24 VDC max 50 mA GND ale 12 Kontaktausgang 1 Schaltpunkt erreicht 13 Kontaktausgang 2 Sammelfehler Analogausgang 0 10 VDC 0 100 fend R 10 ky DEE Cem E HEAT TMS C N Netzeingang Heizung 115 208 230 5 i PE nn an 4 En N Heizung E HEIZUNG WE Ween AAJN EE Eb 1 een 3 Flutventil VENT He zi X TVF 005 Lam Ze E L 1 m Relaisbox Netzeingang Vorpumpe 3 C 115 208 230 VAC N 3 PE FV PUMP PE er N 2 Kr 7 Anschlu Vorpumpe Vorpumpe max 16A Netzeingang Netzteil 90 132 185 265 VAC TPS XXX DCU XXX 14 PFEIFFER VACUUM I 4 Betrieb 4 1 Vor dem Einschalten Die Kapitel 4 1 bis 4 3 bez
12. 21 P Anschlussnennweite Eingang DN 100 ISO K DN 160 ISO K DN 100 CF F DN 160 CF F DN 100 ISO F DN 160 ISO F Ausgang DN 25 ISO KF G 1 4 DN 25 ISO KF G 1 4 Flutanschluss G 1 8 G 1 8 Nenndrehzahl Hz 1 min 833 50 000 833 50 000 Standby Drehzahl Hz 1 min 550 33 000 550 33 000 Hochlaufzeit min 5 5 5 5 Max Schalldruckpegel dB A 50 50 Enddruck Vorpumpe mbar 5 5 Integrale Leckrate He mbar s 2 108 2 108 Max zul ssige Rotortemperatur C 90 90 Zul ssige eingestrahlte W rmeleistung W 14 14 Saugverm gen f r tickstoff No l s 290 510 290 510 Helium He l s 400 520 400 520 Wasserstoff Hy 1 5 380 450 380 450 Argon l s 260 500 260 500 Kompressionsverh ltnis f r gt 1012 gt 1012 5 107 5 107 H2 6 5 105 6 5 105 Ar gt 1012 gt 1012 Max Vorvakuumdruck 13 0 13 0 12 5 12 5 Ho mbar 90 90 Ar mbar 11 0 110 Max Gasdurchsatz bei Wasserk hlung mbar l s 40 40 He mbar l s 80 8 0 H gt mbar l s 95 95 Ar mbar l s 2 0 2 0 Max Gasdurchsatz bei 0 1 mbar mbar l s 12 0 12 0 He mbar l s 12 0 12 0 H gt mbar l s 80 8 0 Ar mbar l s 12 0 12 0 Eckpunkte LeistungskennlinieS A W Hz 185 833 185 833 B W Hz 260 485 260 485 C W Hz 160 833 160 833 D W Hz 260 435 260 435 Enddruck mit Drehschieberpumpe mbar 1 107 5 1010 mit Membranpumpe mbar 1 107 1 108 Schmiermittel TL011 TL011 Max K hlwasserbedarf bei Wassertemperatur 15 oc Vh 100
13. 5 TMH 521 P DN 100 ISO F 122 7 160 eo i i z i i 1 i E E 208 Bi 1 NN Si Se Or a IL b S L PFEFFER Vacuum o DN 25 ISO KF G 1 4 26 PFEIFFERE VACUUM TMH 521 P DN 160 ISO F _ 122 7 WR 160 _ 8 1 O b F i S Q xo Z 67 DN 160 IS N l 1 1 1 1 1 al 7 2208 T 337 h SC D N J AH Lei e PFEFFER Vacuum DN 25 ISO KF G 1 4 PFEIFFER E VACUUM 2 10 Ersatzteile Pos Benennung St ck Gr e Nummer Bemerkung Bestellmenge Ersatzteile TMH 521 P TMU 521 P 6 Verschlussstopfen 4 P 4098 582 FA 8 Antriebselektronik TC 600 1 PM C01 720 siehe Kap 7 2 8d Remotestecker 1 PM 051 793 X 17 USIT Ring 1 P 3529 133
14. 600 TPS DCU 8b Schraube 8c Schraube mit Zahnscheibe S1 8d Remotestecker 105 Netzteil 105 3 9 Netzteil installieren Zur Spannungsversorgung d rfen nur Pfeiffer Vacuum Netzteile Zubeh r verwendet werden Verwendung anderer Netzteile nur in Absprache mit dem Hersteller und Abgleich mit der g ltigen Spezifikation Spezifikation der Netzteile auf Anfrage ACHTUNG Einzelheiten zum Netzteil TPS 300 siehe Betriebsanleitung PM 0521 BN Der Zugang zum Netzanschluss muss immer frei zug ngig sein ACHTUNG A PFEIFFERE vacuum 11 3 10 Fernbedienung anschlie en Pinbelegung Remote Stecker Fernbedienungsm glichkeiten f r verschiedene Funktionen sind ber den Anschluss mit der Bezeichnung REMOTE am TC 600 ber 15 poligen D Sub Stecker m glich Es ist abgeschirmtes Kabel zu verwenden Die Abschirmung Da ist auf der Steckerseite der TC 600 mit dem TC Geh use zu 15 verbinden Die Eing nge 2 6 werden aktiviert wenn man sie mit 24 V an Pin 1 aktiv high verbindet siehe Kap 3 12 An schlussplan 9 e 1 Q Pinbelegung und Funktion des Remote Steckers Siehe nachfolgende Tabelle Beim Anlegen der Versorgungsspannung wird die Turbopumpe in Betrieb gesetzt Auslieferzustand Pin 1 Pin 2 Pin 3 und Pin 4 im Gegenstecker gebr ckt ACHTUNG Pinbelegung und Funktion des Remote Steckers
15. 8 Hochvakuumflansch Vorvakuumflansch Flutschraube Antriebselektronik TC 600 d Remotestecker K hlung Luftk hlung oder Wasserk hlung erforderlich Zubeh r Eingebaute Schutzma nahme bei bertemperaturen Antriebselektronik TC 600 regelt Rotordrehzahl zur ck Lager Hochvakuumseite verschlei freies Permanentmagnet Lager lumlaufgeschmiertes Kugellager mit Keramikkugeln Vorvakuumseite 4 PFEIFFER VACUUM Umgebungsbedingungen Die Turbopumpe ist unter Einhaltung folgender Umgebungs bedingungen zu installieren Aufstellungsort wettergesch tzt Innenr ume Temperatur 5 C bis 440 Rel Luftfeuchte max 80 bei T lt 31 C bis max 50 bei T lt 40 C Luftdruck 77 kPa 106 kPa Aufstellungsh he max 2000 m Verschmutzungsgrad 2 berspannungskategorie I Anschlussspannung 72 VDC 5 Bestimmungsgem e Verwendung Die Turbomolekularpumpe TMH 521 P TMU 521 P d rfen nur zur Vakuumerzeugung eingesetzt werden Mit den Turbopumpen d rfen nur solche Medien gepumpt werden gegen die sie chemisch best ndig sind Bei ande ren Medien m ssen die Pumpen f r diese Prozesse durch den Anwender qualifiziert werden Bei Anfall von Prozessstaub sind prozessabh ngige Wartungsintervalle festzulegen und es ist Sperrgas zu verwenden Wird die Pumpe mit mehr als 50 der zul ssigen Gaslast betrieben ist zur Gew hrleistung der Rotork hlung Sperr gas zu verw enden Die Turbo
16. Betriebsanleitung e Operating Instructions Turbomolekular Drag Pumpe mit Antriebselektronik TC 600 TMH 521 P TMU 521 P PM 0496 BD L 0512 PFEIFFER E VACUUM Inhalt 1 1 1 2 2 1 2 2 2 3 3 1 3 2 3 3 3 4 3 5 3 6 3 1 3 8 3 9 3 10 3 11 3 12 4 1 4 2 4 3 4 4 4 5 4 6 4 7 2 Wichtig f r Ihre Sicherheit 3 Zu Ihrer Orientierung Piktogramm Definition Kennenlernen der Pumpen TMH 521 P TMU 521 P Hauptmerkmale essere Bestimmungsgem e Verwendung Nicht bestimmungsgem e Verwendung Unterschiede zwischen den Pumpentypen 5 Lieferumfang seen 5 Installation 6 Hinweise vor der 6 Pumpe montieren Hochvakuumseite lt 6 Vorvakuumseite anschlie en K hlung anschlie en Flutventil anschlie en a Geh useheizung anschlie en Sperrgasventil Antriebselektronik TC 600 11 Netzteil mstallteren sns 11 Fernbedienung lt 12 Serielle Schnittstelle RS 485 anschlie en
17. Verbrennungsgefahr Leitungen und Kabel von hei en Oberfl chen gt 70 C fernhalten Turbopumpe mit TC 600 nur mit zugeh rigem Netzteil Zubeh r betreiben Ger t hat Schutzart IP 30 Beim Einbau in Umgebungen die andere Schutzarten verlangen sind entsprechende Ma nahmen zu ergreifen Bei Einsatz einer Wasserk hlung muss eine Abdeckung f r die TC 600 zum Erreichen der Schutzart IP 54 durch eine Elektrofachkraft installiert werden siehe Kap 11 Zubeh r ber den Netzanschluss muss immer eine sichere Verbin dung zum Schutzleiter PE gew hrleistet sein Schutzklas se Werden Turbopumpe und TC 600 getrennt voneinander betrieben nur nach Absprache mit dem Hersteller zul ssig muss die Turbopumpe mit dem Schutzleiter PE verbunden werden Turbopumpe und TC 600 d rfen nur bei v lligem Stillstand der Turbopumpe und stromloser TC 600 voneinander getrennt werden Bei Erdschluss der Betriebsspannung rote LED blinkt muss dieser beseitigt werden da sonst die Gefahr eines elektrischen Schlages besteht Die Geh useschrauben nicht l sen nachziehen entfernen oder ersetzen da sonst die Gew hrleistung f r die Sicher heit der Turbopumpe erlischt nderungen vorbehalten 1 1 Zu Ihrer Orientierung Anweisung im Text Arbeitsanweisung Hier m ssen Sie etwas tun Verwendete Symbole Die folgenden Symbole werden auf den folgenden Abbildungen einheitlich verwendet Q Hoc
18. Versand der kontami nierten Vakuumger te und komponenten erfolgt gem den gesetzlichen Bestimmungen Firma Institut Stra e PLZ Ort Telefon Fax Telex Name in Druckbuchstaben Position Datum Firmenstempel Rechtsverbindliche Unterschrift 30 PFEIFFER 2 VACUUM UN VACUUM PFEIFFER W Herstellererklarung Manufacturer s Declaration im Sinne folgender EU Richtlinien pursuant to the following EU directives Maschinen Machinery 98 37 EWG Anhang Annex ll B Elektromagnetische Vertr glichkeit Electromagnetic Compatibility 89 336 EWG Niederspannung Low Voltage 73 23 EWG Hiermit erkl ren wir dass das unten aufgef hrte Produkt zum Einbau in eine Maschine bestimmt ist und dass deren Inbetriebnahme so lange untersagt ist bis festgestellt wurde dass das Endprodukt den Bestimmungen der EU Richtlinie 98 37 EWG entspricht Das unten aufgef hrte Produkt entspricht den Anforderungen der EU Richtlinien Maschinen 93 37EWG Elektromagnetische Vertr glichkeit 89 336 EWG und Niederspannung 73 23 EWG We hereby certify that the product specified below is intended for installation in a machine which is forbidden to be put into operation until such time as it has been determined that the end product is in accordance with the provision of EU Directive 98 37 EEC The product specified below is in correspondence to the EU directives Machinery 98
19. amination ausf llen n jedem Fall eine Kopie der Erkl rung zur Kontaminie rung sorgf ltig und wahrheitsgem ausf llen Vollst ndig ausgef llte Kopie dem Ger t beif gen zus tz liches Exemplar direkt an den zust ndigen Pfeiffer Vacuum Service schicken Bei allen Fragen oder Unklarheiten bez glich Kontaminierung wenden Sie sich bitte an die n chste Pfeiffer Vacuum Vertre tung Kontaminierte Ger te vor der Einsendung oder vor einer eventuellen Entsorgung dekontaminie ren Mikrobiologisch explosiv oder radioaktiv kontaminierte Pumpen nicht versenden WARNUNG Kontaminierte Ger te versenden M ssen kontaminierte Ger te zur Wartung Reparatur eingesandt werden bitte folgende Versandvorschriften einhalten Pumpe neutralisieren durch Sp len mit Stickstoff oder trockener Luft Alle ffnungen luftdicht verschlie en Pumpe oder Ger t in geeignete Schutzfolie einschwei en Ger te nur in geeigneten stabilen Transportcontainern und unter Einhaltung der g ltigen Transportbedingungen einschicken Reparaturauftr ge werden nur entsprechend unseren allgemeinen Lieferbedingungen durchgef hrt HINWEIS Ist eine Reparatur notwendig senden Sie bitte die Pumpe mit einer kurzen Schadensbeschreibung an Ihre n chste Pfeiffer Vacuum Servicestelle PFEIFFERE VACUUM 23 9 Technische Daten Gr e Einheit TMH 521 P TMU 5
20. bgeschlossenem Selbsttest der TC 600 Dauer ca 15 Sekunden wird die Turbopumpe und die Vorpumpe falls angeschlossen in Betrieb gesetzt R ckseite TPS 300 S1 Schalter EIN AUS X1 Netzanschluss X2 Anschluss TC 600 S1 x1 F1 Sicherung F2 Sicherung F1 F2 X2 43 Ausschalten und Fluten Um eine Verunreinigung der Turbopumpe nach dem Ausschalten zu vermeiden muss die Pumpe vor dem Stillstand geflutet werden Vorvakuum schlie en Turbopumpe und Vorpumpe mit Schalter S1 am Netzteil gemeinsam ausschalten Fluten Es gibt drei M glichkeiten die Turbopumpe zu fluten Fluten von Hand mit Hilfe der Flutschraube Lieferzustand Fluten mit Flutventil TVF 005 Zubeh r Der Flutmodus des Flutventils ist w hlbar ber Remote siehe Kap 4 7 oder DCU HPU siehe zugeh rige Betriebsanleitungen Fluten in zwei Schritten wenn ein Rezipient m glichst schnell geflutet werden soll Erster Schritt Fluten mit Druckanstiegsgeschwindig keit von 15 mbar s f r 20 Sekunden Zweiter Schritt Fluten mit einem beliebig gro en Flutventil Der Ventilquerschnitt f r die Flutrate von 15 mbar s muss auf die Rezipientgr e abgestimmt werden Bei kleinen Rezipienten kann das Pfeiffer Vacuum Flutventil TVF 005 f r das Fluten der ersten Stufe benutzt werden Wasserzufuhr absperren PFEIFFERE VACUUM 15 4 4 Gasartabh ngiger Betrieb Werden die Pumpen mit Gaslast betrieben ist Wasserk hlung erforderli
21. ch ACHTUNG A Bei gro er Gaslast und hoher Drehzahl wird der Rotor durch Reibung stark aufgeheizt Zur Vermeidung von berhitzung ist in der TC 600 eine Leistungs Drehzahl Kennlinie implemen tiert wodurch die Pumpe bei jeder Drehzahl mit der maximal zul ssigen Gaslast ohne die Gefahr einer Sch digung betrie ben werden kann Die Maximalleistung ist gasartabh ngig Um das Leistungsverm gen der Pumpe bei jeder Gasart voll auszusch pfen stehen zwei Kennlinien zur Verf gung Gas Mode 0 f r Gase mit Molek lmasse gt 40 wie z B Argon Gas Mode 1 f r alle leichteren Gase Werkeinstellung Gas Mode 0 Zutreffenden Gas Mode am TC 600 ber das DCU HPU einstellen siehe zugeh rige Betriebsanleitungen s a Das Pumpen von Gasen mit Molek lmasse 240 mit falschem Gas Mode kann zur Zerst rung der Pumpe f hren Beim Pumpen von Edelgasen schwerer als Argon kann es zur Zerst rung der Pumpe kommen Vor dem Einsatz solcher Gase bitte den Hersteller kontaktieren Eckpunkte der Leistungskennlinie siehe unter Kap 9 Techni sche Daten Beim Hochlauf der Pumpe wird immer mit Maximalleistung gefahren um die Hochlaufzeit zu minimieren Bei Erreichen der Solldrehzahl wird automatisch auf die gew hlte Leistungskennlinie umgeschaltet Bei bersch asreibung erreicht wird Um Drehzahlschwankungen zu vermeiden ist es empfehlens wert im Drehzahl
22. chlie en Gr te Sauberkeit beim Montieren aller Hochvakuum Teile Unsaubere Bauteile verl n gern die Auspumpzeit Alle Flanschbauteile m ssen bei Installation fett staubfrei und trocken sein HINWEIS Verwenden von Pfeiffer Vacuum Splitterschutz oder Schutzgitter Die Installation eines Zentrierrings mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch sch tzt die Turbopumpe vor Fremdk rpern aus dem Rezipienten reduziert aber das Saugverm gen der Pumpe wie folgt Reduziertes Saugverm gen in 96 H2 He Na Splitterschutz DN 100 9 13 22 DN 160 5 7 16 Schutzgitter DN 100 2 3 6 DN 160 1 2 4 Die Hochvakuumseite kann entweder direkt oder ber einen Federungsk rper oder Pfeiffer Vacuum D mpfungsk rper siehe Kap 11 Zubeh r an den Rezipienten angeflanscht werden Anschluss ber Federungsk rper oder Pfeiffer Vacuum D mpfungsk rper Zubeh r Die Hochvakuumseite kann entweder direkt oder ber einen Federungs oder D mpfungsk rper siehe Kap 11 Zubeh r an den Rezipienten angeflanscht werden Bei Einsatz eines Pfeiffer Vacuum D mpfungsk rpers m ssen zur Aufnahme der Rotorenergie im Falle eines pl tzlichen Blockierens geeignete Sicherungsma nahmen ergriffen werden da der D mpfungsk rper die auftretenden Kr fte nicht auffangen kann Bitte nehmen Sie R cksprache mit dem Hersteller Die maximal zul ssige Temperatur am ACHTUNG D mpfungsk rper betr
23. e der Turbopumpe und der TC 600 zu schlie en Folgende Betriebszust nde werden angezeigt LED Ursache k gr n rot leuchtet Netzteil in Ordnung Funktion Pumpstand ein ausgef hrt blitzt kurz Netzteil in Ordnung 1 12 s aktiv Pumpstand aus blinkt Netzausfall 1 2 s aktiv leuchtet Sammelfehler z B Anlaufzeitfehler bertem peratur Turbomolekularpumpe oder TC 600 Schaltausgang 2 aktiv low blinkt Warnung 1 2 s aktiv z B Erdschluss der Versorgungsspannung Netzausfall Eine differenzierte Fehler und Wartungsanzei ge ist nur bei Betrieb mit DCU oder HPU m glich HINWEIS 5 2 Temperatur berwachung der Turbopumpe Bei unzul ssiger Motortemperatur oder unzul ssig hoher Geh usetemperatur wird der Motorstrom reduziert Dies kann zum Unterschreiten des eingestellten Drehzahlschaltpunktes und damit zum Abschalten der Turbo molekularpumpe f hren LED an der TC 600 leuchtet rot Sammelfehler PFEIFFERE VACUUM 19 6 Was tun bei St rungen Problem M gliche Ursachen Behebung Pumpe l uft nicht an Keine der eingebauten LEDs an der TC 600 leuchtet e Stromversorgung unterbrochen falsche Betriebsspannung angelegt Pin 1 3 und 1 4 am Remote Stecker nicht verbunden Keine Betriebsspannung angelegt TC 600 defekt Spannungsabfall im Kabel Sicherung im Netzteil berpr fen Stec
24. ecker 115V P 4564 309 ZE Relaisbox Vorvakuumpumpe 5A PM 041 937 AT PT 0030 BN 20A PM 041 938 T PT 0030 BN PWM Adapterbox PM 051 028 U PM 0563 BN Pegelumsetzer RS 232 485 PM 051 054 T PM 0549 BN Profibus DP Gateway TIC 250 PM 051 257 T PM 0599 BN Abdeckung TC 600 IP 54 PM 051 327 T PT 0024 BN D mpfungsk rper TMH DN 100 ISO K PM 006 459 X TMH DN 160 ISO K PM 006 492 X TMU DN 100 CF F PM 006 488 X TMU DN 160 CF F PM 006 493 X Sperrgasventil DN 10 ISO KF PM Z01 142 PM 0229 BN Schlauchnippel f r Sperrgasventil DN 16 ISO KF 10 PF 144 020 Vorvakuum Sicherheitsventil TVV 001 115 V PM Z01 206 PM 0263 BN 230 V PM 201 205 Bei Zubeh r Ersatzteilbestellung bitte unbedingt vollst ndige Teile Nummer angeben Bei Ersatzteilbestellungen bitte zus tzlich Ger tetyp und Ger tenummer angeben siehe Typenschild Nutzen Sie diese Listen als Bestellvorlage Kopie PFEIFFERE VACUUM 29 Erkl rung zur Kontaminierung von Vakuumger ten und komponenten Die Reparatur und oder die Wartung von Vakuumger ten und Wenn die Reparatur Wartung im Herstellerwerk und nicht am komponenten wird nur durchgef hrt wenn eine korrekt und Ort ihres Einsatzes erfolgen soll wird die Sendung bei nicht vollst ndig ausgef llte Erkl rung vorliegt Ist das nicht der vorliegender Erkl rung gegebenenfalls zur ckgewiesen Fall kommt es zu Verz gerungen der Arbeiten Diese Erkl rung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgef llt und unter
25. ei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen Wechselintervall mit Pfeiffer Vacuum Service abkl ren Den Schmiermittelspeicher und die Antriebselektronik TC 600 k nnen Sie selbst austauschen F r alle anderen Wartungs oder Instandsetzungsarbeiten wenden Sie sich bitte an Ihre zust ndige Pfeiffer Vacuum Servicestelle Keine mechanische Belastung auf die Antriebs ACHTUNG elektronik TC 600 aus ben AN WARNUNG Der Schmiermittelspeicher kann giftige Substanzen aus den gepumpten Medien enthal Q ten Schmiermittelspeicher nach den geltenden Vorschriften entsorgen 7 1 Schmiermittelspeicher ersetzen Sicherheitsdatenblatt auf Anfrage Schmiermittelspeicher mindestens alle 3 Jahre austauschen Bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen Wechselintervall mit Pfeiffer Vacuum Service abkl ren Verunreinigungen an Turbopumpe und Verschlussdeckel mit einem sauberen fusselfreien Tuch entfernen Neuen Schmiermittelspeicher 92 bis zum 0 Ring 93 in die Turbopumpe ausschalten auf Atmosph rendruck fluten und Turbopumpe einschieben gegebenenfalls abk hlen lassen ACHTUNG De Schmiermittelspeicher ist mit f Turbopumpe wenn erforderlich aus der Anlage ausbauen Schmiermittel TL 011 fertig bef llt kein Verschlussdeckel 90 an der Unterseite der Turbopumpe mit N zus tzliches Schmiermittel einf llen dem Montage Werkzeug E Bestell Nr PV M40 569 heraus schraube
26. ein oder mit der Nenndrehzahl Standby aus betrieben werden PFEIFFERE VACUUM 17 Drehzahlstellbetrieb ber Eingang PWM Anlegen eines pulsweitenmodulierten PWM Signals mit einer Grundfrequenz von 100 Hz 20 mit einer Amplitude von max 24 V und einem Tastverh ltnis von 25 75 erm glicht die Einstellung der Drehzahl im Bereich von 20 100 der Nenndrehzahl U 20 f_nd 100 ng La 2596 La 78 PWM T pwm 10ms 142096 fpwm 100Hz 152090 Liegt kein Signal an l uft die Pumpe bis zur Enddrehzahl hoch Als Option wird eine PWM Adapterbox f r den Drehzahlstellbe trieb der Turbopumpe angeboten siehe Kap 11 Zubeh r 18 PFEIFFER VACUUM Schaltausg nge Die Schaltausg nge 1 und 2 k nnen mit maximal 24 V 50 mA pro Ausgang belastet werden Folgende Funktionen sind den Schaltausg ngen zugeordnet Schaltausgang 1 Aktiv high nach Erreichen des Drehzahlschaltpunktes Der Schaltpunkt f r die Turbopumpe ist auf 80 der Nenndrehzahl eingestellt Er kann z B f r eine Meldung Pumpe betriebsbereit benutzt werden Schaltausgang 2 Aktiv low bei Fehler Sammelfehlermeldung Der Anschluss eines Relais erfolgt zwischen Pin 10 Masse und dem jeweiligen Schaltausgang Pin 8 oder Pin 9 siehe Kap 3 12 Anschlussplan 5 berwachung des Betriebszustandes 5 1 Betriebsanzeige ber LED ber zwei in der Frontplatte der TC 600 eingebaute LEDs ist es m glich auf bestimmte Betriebszust nd
27. hter oder aggressiver Atmosph re Pumpe zusammen mit einem Beutel Trockenmittel z B Silicagel in einen Kunststoffbeutel luftdicht einschwei en Wurde die Pumpe f r einen Zeitraum von 3 Jahren stillgesetzt muss ein Lagerwechsel by vorgenommen werden Pfeiffer Vacuum HINWEIS Service verst ndigen 4 6 Betrieb mit DCU 001 DCU 300 oder HPU 001 Bei Betrieb mit DCU 001 DCU 300 oder HPU 001 ist nach den folgenden Betriebsanleitungen zu verfahren PM 0477 BN DCU Beschreibung PM 0547 BN Pumpenbetrieb mit DCU PT 0101 BN Anzeige und Bedienger t HPU 001 Bei Betrieb mit DCU und HPU ist der HOMES Remotestecker 8d an der TC 600 siehe Kap by 2 1 zu entfernen 4 7 Betrieb ber Fernbedienung Fernbedienungsm glichkeiten sind ber den Anschluss mit der Bezeichnung REMOTE am TC 600 ber 15 poligen D Sub Stecker m glich Pinbelegung und Funktion des Remotesteckers siehe unter Kapitel 3 10 Fernbedienung anschlie en Die Eing nge 2 6 werden aktiviert wenn man sie mit 24 V an Pin 1 aktiv high verbindet siehe Kap 3 12 Anschlussplan Im Auslieferzustand der TC 600 befindet sich zum zwischen Pin 1 Pin 2 Pin 3 und Pin 4 im Gegenstecker eine Br cke Nach Anlegen der Betriebsspannung und erfolgreich abgeschlossenem Selbsttest der TC 600 wird die Turbopumpe und eine evtl angeschlossene Vorpumpe in Betrieb gesetzt
28. hutz Zentrierring beschichtet PM 016 212 AU mit Schutzgitter Klammerschrauben PF 300 110 T 16 verwenden DN 160 ISO K Zentrierring beschichtet PM 016 216 AU DN 160 ISO K Zentrierring beschichtet PM 016 217 AU mit Splitterschutz Zentrierring beschichtet PM 016 218 AU mit Schutzgitter Klammerschrauben PF 300 110 T 14 St ck verwenden Klammerschraube A IS0 K Flansch B Klammerschraube C Zentrierring beschichtet D Splitterschutz E Schutzgitter Die Klammern in drei Schritten ber Kreuz anzuziehen Anzugsdrehmoment 5 Nm 15 Nm 25 2 Nm ISO F Flansch mit ISO F Flansch F r die Installation stehen drei Varianten zur Verf gung Variante 1 6kt Schraube und Sackloch Anschluss Benennung Bestell Nr nennweite DN 100 ISO F Zentrierring beschichtet PM 016 210 AU Zentrierring beschichtet PM 016 211 AU mit Splitterschutz Zentrierring beschichtet PM 016 212 AU mit Schutzgitter Gkt Schrauben mit N 3024 428 1C Unterlegscheiben N 3502 422 4P je 8 St ck verwenden DN 160 ISO F Zentrierring beschichtet PM 016 216 AU Zentrierring beschichtet PM 016 217 AU mit Splitterschutz Zentrierring beschichtet PM 016 218 AU mit Schutzgitter Gkt Schrauben N 3024 479 1C 8 St ck verwenden 6kt Schraube und Sackloch ISO F Flansch 6kt Schraube Zentrierring beschichtet Splitterschutz Schutzgitter rq gt D oder or E e A B 1 DN
29. hvakuumflansch Vorvakuumflansch Fiutanschluss Luftk hlung Elektroanschluss Sperrgasanschluss Verwendete Abk rzungen DCU Anzeige und Bedienger t HPU Anzeige und Bedienger t TC Antriebselektronik Turbopumpe TPS Netzteil Positionsnummern Gleiche Pumpen und Zubeh rteile haben in allen Abbil dungen die gleichen Positionsnummern 1 2 Piktogramm Definition Warnung WARNUNG Verbrennungsgefahr beim Ber hren heif er d Teile WARNUNG Warnung Gefahr von Personensch den P Mr Achtung ACHTUNG Gefahr von Sch den an der Pumpe oder an Q der Anlage Warnung WARNUNG e Verletzungsgefahr durch rotierende Teile m Hinweis HINWEIS Hinweis Wichtige Information ber das Produkt die Handhabung des Produktes oder den jeweiligen Teil der Dokumentation auf den besonders aufmerksam gemacht werden soll PFEIFFERE VACUUM 3 2 Kennenlernen der Pumpen TMH 521 P TMU 521 P 2 1 Hauptmerkmale Die Turbopumpen TMH 521 P TMU 521 P mit TC 600 bilden eine Einheit Die Spannungsversorgung erfolgt ber das Netzteil siehe Kap 11 Zubeh r Im Auslieferungszustand sind die Pumpen f r Remote Betrieb ausgelegt Bei Betrieb mit by DCU 001 DCU 300 oder HPU 001 ist der HINWEIS Remotestecker 8d an der TC 600 zu entfernen Die Turbomolekular Drag Pumpe TMH 521 P TMU 521 P 1 2 4 8
30. iehen sich nur auf den Betrieb der Pumpe im Auslieferungszustand ohne Bedieneinheit DCU Im Fernbedienungsstecker Remote sind die Br cken Fluten freigegeben Motor TMP ein und Pumpstand ein eingebaut Einschalten mit Bedien und Anzeigeeinheit DCU siehe unter Kapitel 4 6 Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit hoher Geschwindigkeit Bei offenem Hochvakuum flansch Verletzungsgefahr und Gefahr der Zerst rung der Pumpe durch hineinfallende Gegenst nde Pumpe daher niemals mit offenem Hochvakuumflansch in Betrieb nehmen WARNUNG Ze Vorsicht beim Pumpen gef hrlicher Gase WARNUN Alle Sicherheitsempfehlungen des A Gasherstellers beachten Mit Sperrgasventil Sperrgaszufuhr ffnen Bei Wasserk hlung K hlwasserzufluss ffnen und Durch fluss kontrollieren Verbindungskabel 8a siehe Kap 11 Zubeh r in die TC 600 einstecken und mit dem Netzteil TPS 300 an X2 verbinden siehe Kap 3 8 Hinweis Folgende Voreinstellungen sind fest programmiert Anlaufzeit 8 min Drehzahlschaltpunkt 80 automatisches Fluten 50 Diese Einstellungen k nnen nur ber die serielle Schnittstelle RS 485 DCU HPU oder PC ge ndert werden siehe zugeh ri ge Betriebsanleitung 4 2 Einschalten Turbopumpe mit Schalter S1 am Netzteil einschalten Bei Luftk hlung wird auch der K hlventilator durch die Antriebselektronik TC 600 eingeschaltet Nach erfolgreich a
31. insatz einer Geh useheizung muss die HINWEIS Turbopumpe wassergek hlt werden WARNUNG Beim Ausheizen von Turbopumpe oder Rezipient entstehen hohe Temperaturen Verbrennungsgefahr beim Ber hren hei er Teile auch noch nach dem Abschalten der Geh useheizung Heizmanschette Pumpengeh use und Rezipient m glichst bei der Installation thermisch isolieren Heizmanschette Pumpengeh use und Rezipient beim Ausheizen nicht ber hren Einzelheiten zur Geh useheizung und deren Installation siehe Betriebsanleitung PM 0542 BN 3 7 Sperrgasventil anschlie en Zum Schutz der Turbopumpe insbesondere bei korrosiven und staubbehafteten Prozessen ist es erforderlich diese mit Sperrgas zu betreiben Der Anschluss erfolgt ber ein Sperrgasventil siehe Kap 11 Zubeh r o 42b 42 8d 0 3 VENT 42a ACHTUNG Maximaler Druck am Flutventil 1 5 bar absolut A Weitere Einzelheiten zum Flutventil TVF 005 siehe Betriebsan leitung PM 0507 BN 10 PFEIFFER E VACUUM Sperrgasventil anschlie en 9 Verschlussschraube Sperrgasanschluss 15 Dichtung 66 Sperrgasventil 66a Dichtung 92 Details zur Installation des Sperrgasventils und das Einstellen der Sperrgasmenge sind der Betriebsanleitung PM 0229 BN zu entnehmen 3 8 Antriebselektronik TC 600 anschlie en Turbopumpe und Antriebselekt
32. itten ber Kreuz anzuziehen Anzugsdrehmoment DN 100 ISO F 5 Nm 12 Nm 22 2 Nm DN 160 ISO F 10 Nm 20 Nm 38 3 Nm 8 PFEIFFER VACUUM Variante 3 Stiftschraube und Durchsteckbohrung Bauteile wie unter Variante 2 Anzahl der Muttern 16 St ck Stiftschraube und Durchsteckbohrung ISO F Flansch Stiftschraube mit 2 Muttern Zentrierring beschichtet Splitterschutz Schutzgitter m gt einem Flanschmaterial mit einer Festigkeit von gt 170 N mm und Stiftschraube mit Durchsteckbohrung sind die Muttern in drei Schritten ber Kreuz anzuziehen Anzugsdrehmoment DN 100 ISO F 5 Nm 12 Nm 22 2 Nm DN 160 ISO F 10 Nm 20 Nm 38 3 Nm CF F Flansch M gliche Verbindungen f r die Installation CF F mit CF F Flansch Stiftschraube und Sackloch Es sind 16 DN 100 CF F oder 20 DN 160 CF F Stiftschrauben 8 mit Unterlegscheiben und Muttern zu verwenden die mit einem Anzugsdrehmoment von 22 2 Nm umlaufend anzuziehen sind Stiftschraube und Sackloch A CF F Flansch B Stiftschraube mit Unterlegscheibe und Mutter C Kupfer Dichtung zd NS Gkt Schraube und Durchsteckbohrung Es sind 16 DN 100 CF F oder 20 DN 160 CF F 6kt Schrauben 8 mit Unterlegscheiben und Muttern zu verwenden die mit einem Anzugsdrehmoment von 22 2 Nm umlaufend anzuziehen sind 6kt Schraube und Durchsteckbohrung A CF F Flansch B 6kt Schraube mit Unterlegscheibe
33. keit aufrecht zu erhalten Pumpe vor Ort durch den Pfeiffer Vacuum Service reparie ren lassen Pumpe zur Reparatur ins Stammwerk einsenden Pumpe ersetzen Genauere Informationen erhalten Sie von Ihrer Pfeiffer Vacuum Vetretung Bitte beachten Sie dass bei Ersatzlieferung durch den Pfeiffer Vacuum Service immer die Standard Betriebsparameter voreingestellt sind Sollten bei Ihrer Anwendung ver nderte Parameter verwendet werden so sind diese neu einzustellen ACHTUNG Turbopumpe und Antriebselektronik TC 600 bilden eine Einheit und sind immer komplett zur Reparatur einzusenden Vor dem Einsenden des Ger tes ist sicherzustellen dass der Fehler nicht vom Netzteil ausgeht Netzteil berpr fen HINWEIS Vor dem Einsenden Alle Zubeh rteile entfernen Wenn das Ger t frei von Schadstoffen ist deutlich sichtbar Vermerk anbringen Frei von Schadstoffen auf den eingesandten Ger ten und zus tzlich auf dem Lieferschein und Anschreiben Schadstoffe sind Stoffe und Zubereitungen entsprechend der Gefahrstoff Verordnung in der derzeit g ltigen Fassung Fehlt der Vermerk f hrt Pfeiffer Vacuum kostenpflichtig eine Dekontamination durch Dies gilt auch wenn der Betreiber keine M glichkeit zur ordnungsgem en Dekontamination hat Mikrobiologisch explosiv oder radioaktiv kontaminierte Ger te werden grunds tzlich nicht angenommen Erkl rung zur Kont
34. kkontakt am Netzteil berpr fen Zuleitung des Netzteils pr fen Spannung am Netzteil 72 V DC am Anschluss X2 kontrollieren Richtige Betriebsspannung anlegen Pin 1 3 und 1 4 am Remote Stecker verbinden Steckkontakte am Netzteil berpr fen TC 600 austauschen siehe Kap 7 2 Geeignetes Kabel verwenden Pumpe erreicht nicht die Nenndrehzahl innerhalb der einge stellten Anlaufzeit Pumpe schaltet w hrend des Betriebs ab Pumpe erreicht nicht den Enddruck Vorvakuumdruck zu hoch Leck oder hohe Gaslast Rotor schwerg ngig durch defektes Lager Thermische berlastung durch zu wenig Wasserdurchfluss zu geringe Luftzufuhr zu hohen Vorvakuumdruck zu hohe Umgebungstemperatur Pumpe verschmutzt Undichtigkeit am Rezipient Leitungen oder Pumpe Anlaufzeit in der TC zu kurz eingestellt Funktion der Vorpumpe berpr fen Dichtungen berpr fen Leck suchen und beseitigen Prozessgaszufuhr senken Lager pr fen Ger usche Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen Anlaufzeit mit DCU oder PC l nger einstellen freien Durchfluss herstellen ausreichende Luftzufuhr gew hrleisten Vorvakuumdruck senken Umgebungstemperatur senken Pumpe ausheizen Bei st rkerer Verschmutzung zur Reinigung Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen Lecksuche ausgehend vom Rezipienten Undichtigkeit beseitigen Ungew hnliche Betriebsger usche Lagerschaden Besch digung des Rotors Splitterschutz sitzt
35. le Betriebsanleitungen sind auch unter www pfeiffer vacuum net verf gbar 1 Wichtig f r Ihre Sicherheit Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung Informieren Sie sich ber Gefahren die von der Pumpe ausgehen Gefahren die von Ihrer Anlage ausgehen Gefahren die von gepumpten Medien ausgehen Verhindern Sie dass ein K rperteil dem Vakuum ausgesetzt wird Beachten Sie die Sicherheits und Unfallverh tungs vorschriften Pr fen Sie regelm ig die Einhaltung aller Schutzma nahmen Turbopumpe nicht mit offenem HV Flansch betreiben Turbopumpe mit TC 600 nicht eigenm chtig umbauen oder ver ndern vi Beim Einsenden der Turbopumpe Versandhinweise beachten vi Die Befestigung der Turbopumpe muss It Installationsvor schriften erfolgen W hrend des Betriebs Stecker zwischen TC 600 und Zubeh rteilen nicht l sen Vor dem ffnen der Turbopumpe TC 600 elektrisch von der Versorgungsspannung trennen vi Bei Arbeiten an der Turbopumpe HV Flansch erst nach Stillstand des Rotors ffnen Bei Verwendung von Sperrgas Druck in der Schlauchver bindung durch berdruckventil auf 2 bar begrenzen vi Bei Verwendung einer Heizung k nnen im Bereich des Hochvakuumflansches Temperaturen bis 120 C auftreten Vorsicht Verbrennungsgefahr m Bereich des Unterteils der Turbopumpe k nnen w hrend des Betriebs Temperaturen bis 65 C auftreten Vorsicht
36. n 2 24 V Ausgang lt 210 mA belastbar 3 nicht angeschlossen 4 nicht angeschlossen 1 8 5 RS 485 D DO RI 6 Ansicht von 7 RS 485 D DO RI Steckerseite 8 nicht angeschlossen TC 600 BINE Der Anschluss einer RS 232 z B PC ist ber einen Pegelumsetzer m glich siehe Kap 11 e Zubeh r Anschluss der RS 485 Anschluss an ein festes Bussystem Alle Ger te mit D Pin 5 RS 485 und D Pin 7 RS 485 am Bus anschlie en Der Bus muss an beiden Enden abgeschlossen sein Die Verbindungen sind nach Spezifikation der Schnittstelle RS 485 aufzubauen Alle am Bus angeschlossenen Ger te m ssen unterschied liche Schnittstellenadressen haben Parameter 797 Die Gruppenadresse der TC 600 lautet 960 WARNUNG An die serielle Schnittstelle RS 485 d rfen nur Sicherheitskleinspannungen angeschlossen N werden Alle eingeschalteten Remotefunktionen haben Priorit t vor den Schnittstellenfunktionen Detaillierte Angaben zur Bedienung ber Schnittstelle RS 485 und deren elektrische e Daten siehe separate Bedienungsanleitung PM HINWEIS 0488 BN Zum Anschluss der Antriebselektronik TC 600 an einen Profibus DP steht ein Profibus DP Gateway TIC 250 zur Verf gung Zubeh r Einzelheiten zum Einsatz des TIC 250 sind der zugeh rigen Betriebsanleitung PM 0599 BN zu entnehmen PFEIFFERE VACUUM 13 3 12 Anschlussplan TC 60
37. n auf O Ring 91 achten Verschlussdeckel 90 mit O Ring 91 einschrauben Mit dem Verschlussdeckel wird der Schmiermittelspeicher in die richtige axiale Position gebracht PFEIFFERE VACUUM 21 7 2 Austausch der Antriebselektronik TC 600 ACHTUNG Die Antriebselektronik TC 600 darf erst bei v lli gem Stillstand der Turbopumpe und stromloser Q TC 600 von der Turbopumpe getrennt werden Turbopumpe ausschalten auf Atmosph rendruck Tuten siehe Kap 4 3 und gegebenenfalls abk hlen lassen Turbopumpe wenn erforderlich aus der Anlage ausbauen Die Befestigungsschrauben 8c 2 St ck aus der Antriebs elektronik TC 600 herausschrauben und die TC 600 von der Pumpe abziehen Antriebselektronik TC 600 austauschen 8 Antriebselektronik TC 600 8c Befestigungsschraube 2 St ck 22 _ PFEIFFERE VACUUM Neue Antriebselektronik TC 600 Bestell Nummer siehe Kap 10 Ersatzteile an die Turbopumpe anschrauben und wieder anschlie en Bitte beachten Sie dass bei Ersatzlieferung der TC 600 immer die Standard Betriebsparameter voreingestellt sind Sollten bei Ihrer Anwen dung ver nderte Parameter verwendet werden so sind diese neu einzustellen ACHTUNG 8 Service Nehmen Sie bitte unseren Service in Anspruch Sollte wider Erwarten ein Schaden an Ihrer Pumpe auftreten haben Sie verschiedene M glichkeiten Ihre Anlagen Verf g bar
38. nicht fest falls vorhanden Zur Reparatur Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen Zur Reparatur Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen Sitz des Splitterschutzes berpr fen Rote LED am TC 600 leuchtet e Sammelfehler Reset ber Netz aus ein oder Remote Pin 5 Differenzierte Fehleranzeige mit DCU oder HPU m glich Rote LED am TC 600 blinkt e Warnung durch Netzausfall Erdschluss der Versorgungsspannung Falsche Einstellung Nenndrehzahl Parameter 777 Differenzierte Warnungsanzeige mit DCU oder HPU m glich Netzteilspannung berpr fen Netzanschluss des Netzteils berpr fen Netzteilspannung auf Erdschluss pr fen Bei Parameter 777 den Wert 833 Hz eingeben siehe Anleitung PM 0547 BN Pumpenbetrieb mit DCU Ist kein DCU HPU vorhanden Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen 1 Ist kein DCU oder HPU vorhanden zum berpr fen der Fehlerursache Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen 20 PFEIFFERE VACUUM 7 Wartung Austausch F r Sch den und Betriebsst rungen die Schmiermittelspeicher 92 mit Hilfe von zwei Schrauben aufgrund unsachgem ausgef hrter Wartung drehern heraushebeln b entstehen bernehmen wir keine Haftung f r HINWEIS Personen oder Materialsch den und der Haftungs und Gew hrleistungsanspruch erlischt Das Lager der Turbopumpe ist mindestens alle 3 Jahre zu wechseln Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen B
39. nt werden oder mit dem Hersteller nicht abgesprochen wurden Anschluss an Netzteile mit Erdung eines Pols der Gleichspannung Die Turbopumpen und Flanschverbindungen d rfen nicht zum Besteigen der Anlage benutzt werden Bei nicht bestimmungsgem em Einsatz erlischt jeglicher Haftungs und Gew hrleistungsanspruch 22 Unterschiede zwischen den Pumpentypen Merkmal TMH 521 P TMU 521 P HV Flansch IS0 K CF F HV Dichtung Elastomer Metall Erreichbarer 1 107 mbar 5 10710 mbar Enddruck ohne Ausheizen mit Ausheizen Abk rzung auf dem Typenschild der Turbopumpe Zusatz P Die Pumpen mit der Bezeichnung TMH TMU 521 P sind mit einem Sperrgas anschluss ausgestattet siehe Kap 3 7 2 3 Lieferumfang Im Lieferumfang der Turbopumpe ist enthalten Schutzdeckel f r den Hochvakuum und Vorvakuumflansch ACHTUNG Die4 Klammerschrauben am Hochvakuum flansch sind nicht ausreichend zur Befestigung der Turbopumpe an einem Rezipient siehe Kap 3 PFEIFFER VACUUM 5 3 Installation 3 1 Hinweise vor der Installation WARNUNG Keine eigenm chtigen Umbauten und Ver nderungen an der Turbopumpe vornehmen WARNUNG Im Falle eines pl tzlichen Blockierens des Rotors k nnen Drehmomente bis 6690 Nm auftreten die von der Anlage und dem Hochva kuumflansch aufgenommen werden m ssen Bei Betrieb der Turbopumpe mit DCU 001
40. pumpe muss an eine Vorvakuumpumpe nach Kap 3 3 angeschlossen sein Zum Betrieb der TC 600 d rfen nur Pfeiffer Vacuum Netzteile verwendet werden Verwendung anderer Netzteile nur in Absprache mit dem Hersteller und Abgleich mit der g ltigen Spezifikation Einsatz der Pumpen ohne Abdeckung f r das TC 600 nur bei Einhaltung der Umgebungsbedingungen nach Schutzart IP 30 Nicht bestimmungsgem e Verwendung Als nicht bestimmungsgem gilt u a Das Pumpen von korrosiven oder explosiven Gasen das Einsetzen der Pumpe in explosionsgef hrdeten Bereichen das Einsetzen der Pumpen in radioaktiven Bereichen das Pumpen von Gasen und D mpfen die die Materialien der Pumpe angreifen das Pumpen von korrosiven Gasen ohne Sperrgas das Pumpen von kondensierenden D mpfen der Betrieb mit unzul ssig hohen Gaslasten der Betrieb mit unzul ssig hohem Vorvakuumdruck der Betrieb mit falschen Gas Mode der Betrieb mit einer zu hohen eingestrahlten W rmeleistung siehe 9 Technische Daten das Fluten mit Flutraten gr er als im Kap 4 3 angegeben der Einsatz ohne Abdeckung f r das TC 600 in Umgebungen die eine Schutzart besser IP 30 verlangen das Einsetzen der Pumpen in Anlagen von denen sto arti ge Belastungen und Vibrationen oder periodische Kr fte auf die Turbopumpe einwirken das Verwenden von anderen Netz und Zubeh rteilen die nicht in dieser Anleitung genan
41. ronik TC 600 sind immer fest miteinander verbunden und bilden eine Einheit Das Verbindungskabel 8a ist in gew nschter L nge separat zu bestellen siehe Kap 11 Zubeh r HINWEIS Die Schraube mit Zahnscheibe 8c aus der TC 600 unter Anschluss X4 herausschrauben Stecker X4 am Verbindungskabel 8a in den Anschluss X4 am TC 600 einstecken und Schraube 8b einschrauben Mit Schraube und Zahnscheibe 8c den Stecker X4 an der TC 600 befestigen Stecker X2 am Verbindungskabel 8a mit dem Netzteil TPS 300 DCU 300 siehe Kap 11 Zubeh r am Anschluss X2 verbinden Mit Schraube und Zahnscheibe 8c 2 St ck im Lieferumfang des Kabels enthalten den Stecker X2 am Netzteil 105 befestigen 1 Nur bei Kabel PM 051 843 T siehe Kap 11 Zubeh r Nach Anlegen der Betriebsspannung f hrt die TC 600 einen Selbsttest zur berpr fung der Versorgungsspannung durch Die Versorgungsspannung f r die Turbomole kularpumpen TMH 521 P TMU 521 P betr gt 72 VDC 5 nach Norm EN 60 742 ACHTUNG Wird die Turbopumpe mit dem Anzeige und Bedienger t DCU 001 DCU 300 oder HPU 001 betrieben so ist der Remote stecker 8d zu entfernen Der Anschluss erfolgt nach den zugeh rigen Betriebsanleitungen TC 600 mit Netzteil TPS 300 DCU 300 verbinden X1 Netzanschluss X2 Anschluss Netzteil X4 Anschluss TC 600 S1 Schalter EIN AUS 8 Antriebselektronik TC 600 8a Verbindungskabel TC
42. schrieben werden 1 Art der Vakuumger te und komponenten 2 Grund f r die Einsendung Typenbezeichnung Artikelnummer Seriennummer Rechnungsnummer Lieferdatum 3 Zustand der Vakuumger te und komponenten 4 Einsatzbedingte Kontaminierung der Vakuumger te Waren die Vakuumger te und komponenten in und komponenten Betrieb ja nein toxisch ja nein 1 Welches Betriebsmittel wurde verwendet tzend ja nein mikrobiologisch ja nein3 Sind die Vakuumger te und komponenten frei von explosiv jac nein gesundheitsgef hrdenden Schadstoffen radioaktiv Ia nem 0 weiter siehe Absatz 5 sonstige Schadstoffe Ia nem nein I weiter siehe Absatz 4 Mikrobiologisch explosiv oder radioaktiv kontaminierte Vakuumger te und komponenten werden nur bei Nachweis einer vorschriftsm igen Reinigung entgegengenommen Art der Schadstoffe oder prozessbedingter gef hrlicher Reaktionsprodukte mit denen die Vakuumger te und komponenten in Kontakt kamen Handelsname Chemische Gefahrklasse Ma nahmen bei Erste Hilfe bei Unf llen Produktname Bezeichnung Freiwerden der Hersteller evtl auch Formel Schadstoffe 1 2 3 4 5 5 Rechtsverbindliche Erkl rung Hiermit versichere n ich wir dass die Angaben in diesem Vordruck korrekt und vollst ndig sind Der
43. stellbetrieb die Gleichgewichtsfrequenz oder eine etwas niedrigere Frequenz einzustellen Es kann Pumpentypen geben bei denen sich HINWEIS die beiden Gas Mode Einstellungen nicht e unterscheiden 16 PFEIFFER VACUUM Kennlinie Gasarten Leistung Hochlauf D C Gas mode 0 B A Gas mode 1 Frequenz fnom 4 5 Stillsetzen f r l ngere Zeit Werden teilweise aggressive oder gef hrliche Gase gepumpt besteht Verletzungsgefahr durch Kontakt mit Prozessgasen Vor dem Ausbauen der Turbopumpe aus einer Anlage zuerst Turbopumpe mit Neutralgas oder trockener Luft fluten sicherstellen dass sich keine Prozessgase mehr in der Anlage oder in den Zuleitungen befinden WARNUNG Wenn die Turbopumpe f r l nger als ein Jahr stillgesetzt werden soll Turbopumpe aus der Anlage ausbauen Schmiermittelspeicher wechseln siehe Kap 7 1 Die Gebrauchsf higkeit des Schmiermittels HINWEIS TL 011 betr gt ohne Betrieb Jahre Hochvakuumflansch verschlie en und ber Vorvakuumflansch evakuieren Turbopumpe ber Flutanschluss mit trockener Luft oder Stickstoff fluten Vorvakuum und Flutanschluss mit Blindflanschen verschlie en Pumpe senkrecht auf den Gummif en abstellen Die Lagerung der Pumpe muss in Innenr umen bei Tempe raturen von 25 C bis 55 C erfolgen n R umen mit feuc
44. t Kontakt2 zwischen Pin 13 und Pin 14 ge ffnet bei Sammelfehler Ausgang 2 Sammelfehlermeldung 14 Kontakt Ausgang 2 Sammelfehlermeldung 15 Analogausgang Drehzahlproportionale Ausgangsspannung 0 10 VDC 0 100 fend Belastung R gt 10 1 Option muss ber die Schnittestelle RS 485 eingestellt werden siehe Betriebsanleitung PM 0547 BN Pumpenbetrieb mit DCU 2 F r die Kontakte gelten folgende technische Daten Umax 50 VDC X Imax 12 PFEIFFERE VACUUM 3 11 Serielle Schnittstelle RS 485 anschlie en ber den Anschluss mit der Bezeichnung RS 485 an der TC 600 ist mit einem geschirmten 8 poligen Modular Verbindungskabel im Lieferumfang des DCU HPU enthalten der Anschluss eines externen Bedienteils DCU 001 DCU 300 oder HPU 001 oder eines externen Rechners m glich Serielle Schnittstelle RS 485 anschlie en PC Externer Rechner RS 485 oder DCU 300 mit Netzteil xs oder oder DCU 001 ohne Netzteil E RS 485 Die Schnittstelle ist galvanisch von der maximal auftretenden Versorgungsspannung der TC 600 sicher getrennt Verbindung Bezeichnung Wert Schnittstellenart RS 485 Baudrate 9600 baud Datenwortl nge 8 bit Parit t keine no parity Startbits 1 Stopbits 1 2 Die elektrischen Verbindungen sind intern optisch entkoppelt Pin Belegung RS 485 1 nicht angeschlosse
45. umpe 11 Rezipient Axiale Belastbarkeit des Hochvakuumflansches max 1000 N entspr 100 kg Keine einseitige Belastung am Hochvakuum flansch ACHTUNG Bei verankerter Turbopumpe d rfen keine Kr fte aus dem Rohrleitungssystem auf die Pumpe einwirken Alle Rohrleitungen vor der Turbopumpe abst tzen oder abh ngen ACHTUNG 3 3 Vorvakuumseite anschlie en Vorvakuumpumpe Vakuumdruck lt 5 mbar Empfehlung lfreie Membranpumpe oder Drehschiebervakuumpumpen aus dem Pfeiffer Vacuum Programm Einbaulage Turbopumpe beachten siehe Kap 3 2 Vorvakuumpumpe anschlie en Alle Verbindungen der Vorvakuumleitung Mit blichen Kleinflansch Bauteilen oder Schlauchverschraubungen Gasaussto der Vorpumpe sicher ableiten ACHTUNG Freien Querschnitt des Vorvakuumflansches nicht durch nachfolgende Bauteile einengen Die ausgesto enen Prozessgase und d mpfe WARNUNG _ m k nnen gesundheitssch digend und umweltverschmutzend sein Alle Sicherheitsempfehlungen des Gasher stellers beachten Bei starren Rohrverbindungen Federungsk rper zur D m pfung von Vibrationen in die Verbindungsleitung einbauen Der elektrische Anschluss der Vorvakuumpumpe erfolgt ber eine Relaisbox Die Steuerleitung an der Relaisbox in das TC 600 am Anschluss FV PUMP einstecken Einzelheiten zur Relaisbox Vor
46. vakuumpumpe und deren Installation siehe Betriebsanleitung PT 0030 BN PFEIFFER SE VACUUM 9 3 4 K hlung anschlie en Die Turbopumpen TMH 521 P TMU 521 P m ssen luft oder wassergek hlt werden Luftk hlung nur bei Umgebungstemperaturen lt 35 C einsetzen Einsatz und Installation Wasserk hlung siehe Betriebsanleitung PT 0152 BN Luftk hlung siehe Betriebsanleitung PM 0543 BN 3 5 Flutventil anschlie en Das Flutventil TVF 005 siehe Kap 11 Zubeh r dient zum automatischen Fluten bei Abschaltung und Stromausfall Montage des Flutventils Flutschraube aus dem Flutanschluss 4 siehe Kap 2 1 der Turbopumpe herausschrauben Flutventil 42 mit Dichtung USIT Ring an Sechskant SW 14 einschrauben Elektrischer Anschluss Steuerleitung 42a in den Anschluss VENT der TC 600 8 an der Turbopumpe einstecken Der Flutmodus des Flutventils ist ber DCU oder Schnittstelle RS 485 w hlbar Flutventil TVF 005 anschlie en 8 Antriebselektronik TC 600 8d Remotestecker 42 Flutventil TVF 005 42a Steuerleitung Flutventil TC 600 42b Stecker 3 6 Geh useheizung anschlie en Um den Enddruck schneller zu erreichen k nnen Turbopum pe und Rezipient ausgeheizt werden Die Heizdauer ist abh ngig vom Verschmutzungsgrad und dem gew nschten Enddruck Die Heizdauer sollte mindestens 4 Stunden betragen Beim E
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