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Einkanal-Messgerät

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1. 38 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga Offsetkorrektur des Messgerates INFICON Wert n gt 0 01 mbar 0 01 Torr 0 02 Torr 0 05 Torr 0 10 mbar 0 25 mbar 0 50 mbar 0 10 Torr 0 25 Torr 0 50 Torr 1 mbar 2 mbar 5 mbar 1 Torr 2 Torr 5 Torr 10 mbar 20 mbar 50 mbar 10 Torr 20 Torr 50 Torr 100 mbar 200 mbar 500 mbar 100 Torr 200 Torr 500 Torr 1000 mbar 1100 mbar 1000 Torr 2 bar 5 bar 10 bar 50 bar Eine Umrechnungstabelle findet sich im Anhang gt B 81 Anzeige des Offsetwertes und Neuabgleich auf den ak tuellen Messwert im Bereich 5 110 des einge stellten Full Scale Wertes Verf gbar f r folgende Messr hren O Pirani PSG O Pirani Kapazitiv PCG O Kaltkatode PEG O Kaltkatode Pirani MPG O Heissioni BAG O Heissioni Pirani BPG HPG M Kapazitiv CDG O Heissioni Pirani Kapazitiv BCG Bei eingeschalteter Offsetkorrektur wird der gespeicherte Offsetwert vom aktuellen Messwert subtrahiert Dies er m glicht die Relativmessung bez glich eines Referenz druckes Die Offsetkorrektur wirkt auf M die Messwertanzeige O die Schwellwertanzeige der Schaltfunktionen O den Analogausgang am Anschluss CONTROL gt B 24 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 39 INFICON Wert OFS coc gt Offsetkorrektur aus Ort geschaltet Q GC 3 gt Offsetkorrektur ein Vly z B geschaltet F gt Kurz dr cken Offsetkorrektur einschalten gt Tast
2. Test Mode 32 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga Parameter wahlen lt D 3 C Q O D 5 Os Ln ma Cag a ae Mm nor L LI yo Au ma ns m he ofo yc l u ER ER Qui EICH calca E Fy INFICON gt Der Name des Parameters fe oo mee COS Degas scheint auf solange die Taste gedr ckt ist minde stens aber 2 s Anschliessend wird der aktu elle Parameterwert ange zeigt Einzelne Parameter sind nicht bei allen Messr hren ver f gbar und werden dementsprechend nicht immer ange zeigt 35 35 38 39 41 42 42 44 44 4 4 45 46 am J am f U Coy u au LI cf I a a au mi of _ IQ au Un ee a me Au iv lv v v v iv vv iv l I v v vy y yvy vy l lv viv iv v v v vr vY Y Y v v v vY Y Y vv v Y Y Y v v v v v v vY v vv v v I v vv v v vV v v vr vY vY vY tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 33 Parameter andern Standard Parameter laden In Test Mode wechseln INFICON OD gt Taste lt 1 s dr cken Wert wird um 1 Schritt ver gr ssert verkleinert Taste gt 1 s dr cken Wert wird kontinuierlich ver
3. Produkt Artikelnummer Normen Unterschriften Hiermit best tigen wir INFICON f r das nachfolgende Produkt die Konformit t zur Niederspannungsrichtlinie 2006 95 EG und zur EMV Richtlinie 2004 108 EG Einkanal Messger t VGC401 398 010 Harmonisierte und internationale nationale Normen sowie Spezifikationen e EN 61010 1 2001 Elektrische Mess und Steuereinrichtung e EN 61000 3 2 2006 EMV Oberschwingungsstr me e EN 61000 3 3 1995 A1 2001 A2 2005 EMV Begrenzung von Spannungs nderungen Spannungs schwankungen und Flicker e EN 61000 6 2 2005 EMV St rfestigkeit e EN 61000 6 3 2007 EMV St raussendung INFICON AG Balzers 28 November 2008 28 November 2008 Jr Neth Dr Urs W lchli Markus Truniger Managing Director Product Manager 92 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga INFICON Notizen tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 93 d INFICON LI 9496 Balzers Liechtenstein Tel 423 388 3111 Fax 423 388 3700 Original German tinbO1d1 f 2011 07 reachus inficon com AIT A A www inficon com
4. 9 Q gr ssert verkleinert nderungen an den Parametern sind sofort wirksam und werden automatisch gespeichert Ausnahmen sind bei den entsprechenden Parametern vermerkt OD gt Tasten gt 5 s dr cken S mtliche vom Anwender gesetzten ver nderten Para meter auf die Standardwerte Werkseinstellungen zur ck setzen gt B 82 IN Das Laden der Standard Parameter kann nicht r ckg ngig gemacht werden Tasten gt 5 s dr cken 34 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 4 5 1 Parameter Degas Unterer oberer Schwellwert INFICON Ablagerungen auf dem Elektrodensystem von Heissioni Messr hren k nnen Instabilit ten des Messwertes zur Folge haben Degas erm glicht eine Reinigung IC BAG10X und BPG402 Messr hren Die Degas Funktion ist nur auf dem jeweils aktiven Fila ment wirksam Verf gbar f r folgende Messr hren O Pirani PSG O Pirani Kapazitiv PCG O Kaltkatode PEG O Kaltkatode Pirani MPG M Heissioni BAG M Heissioni Pirani BPG O Heissioni Pirani HPG O Kapazitiv CDG M Heissioni Pirani Kapazitiv BCG gt Normalbetrieb OFF Q im gt Degas Erhitzung Vly Of des Elektronenauf fangergitters durch Elektronenbeschuss auf 700 C und damit Reinigung des Elektrodensystems Degasdauer 3 Min auch vor zeitig deaktivierbar Das VGC401 hat eine Schaltfunktion mit zwei einstell baren Schwellwerten Der Zustand der Schaltfunktion wird auf der Frontplatte angezeigt gt
5. Standard messr hren abh ngig Das eingegebene Zahlenformat ist nicht relevant Es wird intern immer in ein Floating Point Format gewandelt 1 Empfangen lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Senden lt ENQ gt Empfangen x xxxxESxx x xxxxEsxx lt CR gt lt LF gt L Oberer Schwellwert aktuelle Masseinheit L Unterer Schwellwert aktuelle Masseinheit 64 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga Schaltfunktionsstatus Senden Empfangen Senden Empfangen d INFICON SPS lt CR gt lt LF gt lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt x lt CR gt lt LF gt L Schaltfunktion x 0 gt aus 1 gt ein tinb01d1 f 2011 07 VGC401 ga 65 Messbereich F S der kapazitiven Messr hre INFICON IS Bei linearen Messr hren ist deren Messbe reichs Endwert Full Scale zu definieren bei logarithmischen Messr hren wird er automa tisch erkannt Senden FSR x lt CR gt lt LF gt L Messbereich x 0 gt 0 01 mbar 1 gt 0 01 Torr 2 gt 0 02 Torr 3 gt 0 05 Torr 4 gt 0 10 mbar 5 gt 0 10 Torr 6 gt 0 25 mbar 7 gt 0 25 Torr 8 gt 0 50 mbar 9 gt 0 50 Torr 10 gt 1 mbar 11 gt 1 Torr 12 gt 2 mbar 13 gt 2 Torr 14 gt 5 mbar 15 gt 5 Torr 16 gt 10 mbar 17 gt 10 Torr 18 gt 20 mbar 19 gt 20 Torr 20 gt 50 mbar 21 gt 50 Torr 22 gt 100 mbar 23 gt 100 Torr
6. gt B44 30 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga Messr hrenidentifi kation anzeigen In Parameter Mode wechseln In Test Mode wechseln Mey INFICON gt Tasten gt 0 5 s dr cken Die Messr hrenidentifikation wird ausgelesen und w h rend 5 s angezeigt Pirani Messr hre PSG400 PSG400 S PSG100 S PSG101 S PSG500 PSG500 S PSG502 S PSG510 S PSG512 S PSG550 PSG552 PSG554 Pirani Kapazitiv Messr hre PCG400 PCG400 S PCG550 PCG552 PCG554 Kaltkatoden Messr hre PEG100 Kaltkatoden Pirani Messr hre MPG400 MPG401 Heissioni Messr hre BAG100 S BAG101 S Heissioni Pirani Messr hre BPG400 Heissioni Pirani Messr hre BPG402 Heissioni Pirani Messr hre HPG400 Heissioni Pirani Kapazitiv Mess r hre BCG450 Lineare Messr hre kapazitiv analog CDG025 CDG045 CDG045 H CDG100 Lineare Messr hre kapazitiv digital CDG025D CDG045D CDG100D CDG160D Keine Messr hre angeschlossen no Sensor Messr hre angeschlossen aber nicht identifizierbar no Identifier fe QO gt B 32 Q RR AM gt 847 D un Ea aa Mn Ea Eu Ba Re me jan Nm maj Cg as an Hg Mu jan Mae maj aa aa i BEE Lu m m L O L Ld dd noSEn nord Tasten gt 5 s dr cken tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga d INFICON 4 5 Parameter Mode Der Parameter Mode ist die Betriebsart zur Anzeige und Anderung Eingabe von Parameterwerten Mess Mode
7. 24 gt 200 mbar 25 gt 200 Torr 26 gt 500 mbar 27 gt 500 Torr 28 gt 1000 mbar 29 gt 1100 mbar 30 1000 Torr 31 gt 2 bar 32 gt 5 bar 33 gt 10 bar 34 gt 50 bar Empfangen lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Senden lt ENQ gt Empfangen x lt CR gt lt LF gt L Messbereich F S 66 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga d INFICON Offsetkorrektur Senden OFS x x xxxEsx lt CR gt lt LF gt L Offset aktuelle Masseinheit Standard 0 000E0 L Mode x 0 gt Aus Standard es muss kein Offsetwert angegeben werden 1 gt Ein ohne Offsetwertan gabe gilt der vorg ngige Wert 2 gt Auto Offset Messung es muss kein Offsetwert angegeben werden 3 gt Nullpunktabgleich CDGxxxD es muss kein Offsetwert angegeben werden Das eingegebene Zahlenformat ist nicht relevant Es wird intern immer in ein Floating Point Format gewandelt Empfangen lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Senden lt ENQ gt Empfangen x sx xxxxEsxx lt CR gt lt LF gt L Offset aktuelle Masseinheit L Mode Masseinheit Senden UNI x lt CR gt lt LF gt L x 0 gt mbar bar Standard 1 gt Torr 2 gt Pascal 3 gt Micron Empfangen lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Senden lt ENQ gt Empfangen x lt CR gt lt LF gt L Masseinheit tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 67 Korrekturfaktor Stellenzahl am Display Messwertfilte
8. Test beendet und Fehler fest C gestellt Anschliessend An zeige einer 4 stelligen Check summe Hexformat Die Lampe blinkt EEPROM Test Test des Parameterspeichers Testverlauf Der Test lauft 1x automatisch ab OOo mA A gt Test l uft sehr kurz rum PA oo gt Test beendet und keine Fehler 1535 festgestellt gt Test beendet und Fehler fest gestellt Die Lampe blinkt D q tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 51 INFICON Display Test Test der Anzeige Testverlauf Der Test l uft 1x automa tisch ab gt Zuerst leuchten alle Anzeigenelemente gleichzeitig gt danach erfolgt die Ansteuerung jedes An zeigenelementes ein zeln 2 F gt Test unterbrechen und Ga mit jedem Dr cken um ein Anzeigenelement weiterschalten A D Wandler Test 0 Test des Kanals 0 des Analog Digitalwandlers mit einer Referenzspannung am Signaleingang des Messr hren anschlusses SENSOR gt B 23 I Das Messwertfilter wirkt auf die angelegte Spannung Ist der Signaleingang offen zeigt das VGC401 einen Standardwert an der sich wegen der hohen Empfindlichkeit des offenen Messkreises leicht verandern kann Testverlauf i gt Positiver Anteil des Mess z B A De signals in Volt 52 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga A D Wandler Test 1 A D Wandler Test 2 d INFICON Test des Kanals 1 des Analog Digitalwandlers mit einer Referenzspannung am Signaleingang d
9. 1 Verwendete Symbole Darstellung von Restgefahren Weitere Symbole GEFAHR Angaben zur Verh tung von Personensch den jegli cher Art Angaben zur Verh tung umfangreicher Sach und Umweltsch den Angaben zur Handhabung oder Verwendung Nichtbe achten kann zu St rungen oder geringf gigen Sach sch den f hren Vly Lampe Anzeige leuchtet F Lampe Anzeige blinkt Q Lampe Anzeige ist dunkel i para a Taste dr cken z B Taste para os IS KA Keine Taste dr cken tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 1 2 Personal qualifikation 1 3 Grundlegende Sicherheits vermerke INFICON i Fachpersonal Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten d rfen nur durch Personen ausgef hrt werden welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und ber die n tigen Erfahrungen verf gen oder durch den Betreiber entsprechend geschult worden sind Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschl gigen Vorschriften und Einhaltung der Schutzmassnahmen zul ssig Beachten Sie zudem die in diesem Dokument angegebenen Sicherheitsvermerke GEFAHR GEFAHR Netzspannung Der Kontakt mit netzspannungsf hrenden Komponenten im Ger t kann beim Einf hren von Gegenst nden oder beim Eindringen von Fl ssigkeiten lebensgef hrlich sein Keine Gegenst nde in die L ftungs ffnungen einf hren Ger t vor N sse sch tzen O Q tinbO1d
10. 2000 m NN II IP30 PSG PSG400 PSG400 S PSG100 S PSG101 S PSG500 PSG500 S PSG502 S PSG510 S PSG512 S PSG550 PSG552 PSG554 PCG PCG400 PCG400 S PCG550 PCG552 PCG554 PEG PEG100 MPG MPG400 MPG401 BAG BAG100 S BAG101 S BPG BPG400 BPG402 HPG HPG400 CDG CDG025 CDG025D CDG045 CDG045 H CDG045D CDG100 CDG100D CDG160D BCG BCG450 tinb01d1 f 2011 07 VGC401 ga Messr hrenanschluss Bedienung Messwerte Anzahl Anschluss SENSOR Frontplatte Fernsteuerung Messbereiche Messfehler Verst rkungsfehler Offsetfehler Messrate analog digital Anzeigerate Filterzeitkonstante langsam slow normal nor schnell fast Masseinheit Zeroadjust Korrekturfaktor A D Wandlung INFICON 2 parallel geschaltet Niemals zwei Messr hren gleichzeitig anschliessen Ger tedose D Sub 15 polig Ger tedose RJ45 FCC68 Steckerbelegungen B 23 mit 3 Bedientasten ber RS232C Schnittstelle messr hrenabh ngig gt 11 21 lt 0 02 FSr lt 0 05 FSr 100 s 50 s BPG HPG BCG CDGxxxD 10 s BAG 10 s 750 ms fg 0 2 Hz 150 ms fg 1 Hz 20 ms fg 8 Hz mbar Pa Torr Micron f r lineare Messr hren f r logarithmische Messr hren 0 10 10 00 Aufl sung gt 0 001 FSr Die Messwerte von BPG HPG BCG BAG und CDGxxD werden digital bertragen CDG025D CDG045D CDG100D CDG160D tinbO1d1 f 2011 07 VGC401
11. B 27 und ist als potentialfreier Kontakt am Anschluss CONTROL ver f gbar gt B 24 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 35 Schalt funktion Druck p Anzeige d INFICON Wert unterer Schwellwert Setpoint low definiert den Druck bei dem die Schaltfunktion bei fallendem Druck eingeschaltet wird gt messr hrenabh ngig gt Tabelle Wechselt der Messr hrentyp passt das VGC401 den Schwellwert n tigenfalls auto matisch an 36 tinbo1d1 f 2011 07 VGC401 ga fe an ia CTCL Tu J IC P Ea a u fen mie nie d INFICON cm i 505 EM 835 il 2x103 5x102 2x103 1 5x103 1x10 1x102 5x109 1x108 1x108 1x108 1x108 1x108 1x108 1x103 1x101 1x107 FSr 1000 FSr FSr 1000 FSr 1x108 1 5x10 alle Werte in mbar Cor 1 9 2x10 mbar bei aktivierter PrE gt B 46 Die minimale Hysterese zwischen oberem und unterem Schwellwert betr gt minimal 10 des unteren Schwellwertes bzw 1 des eingestell ten Messbereichsendwertes Der obere Schwellwert wird notfalls automatisch mit mini maler Hysterese nachgef hrt Dies verhindert einen instabilen Zustand J c C CI z B Wert oberer Schwellwert Setpoint high definiert den Druck bei dem die Schaltfunktion bei steigendem Druck ausgeschaltet wird gt messr hrenabh ngig gt Tabelle Wechselt der
12. Belastung gt B25 Geratestecker D Sub 9 polig Steckerbelegung B 25 1 0 4 10V 660 Q messr hrenabh ngig gt 1 21 Ger testecker D Sub 9 polig Steckerbelegung B 25 RS232C ACK NAK ASCII mit 3 Charakter Mnemonics Datenverkehr bidirektional 8 Datenbit kein Paritatsbit 1 Stoppbit Nur TXD und RXD benutzt 9600 19200 38400 Ger tedose D Sub 9 polig Steckerbelegung EB 26 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga INFICON Abmessungen mm 106 2 285 91 2 B 204 5 25 103 6 03 5 Ed 67 3 aL o1 A Verwendung Fur Rackeinbau Schalttafeleinbau oder als Tischger t Gewicht 0 85 kg tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 13 3 Installation 3 1 Personal 3 2 Einbau Aufstellen 3 2 1 Rackeinbau INFICON Das Ger t darf nur durch geschultes Fach personal installiert werden Das Ger t ist sowohl in einen 19 Rackschrank oder in eine Schalttafel eingebaut wie auch als Tischger t ver wendbar GEFAHR GEFAHR Besch digtes Produkt O Die Inbetriebnahme eines besch digten Pro dukts kann lebensgef hrlich sein Bei sichtbaren Besch digungen das Produkt gegen unabsichtlichen Betrieb sichern Das Ger t ist f r den Einbau in einen 19 Rackeinschub adapter nach DIN 41 494 vorgesehen Dazu sind im Lieferumfang vier Hal
13. Messr hren Ist die Masseinheit Micron gew hlt erfolgt oberhalb von 99000 Micron eine automatische Umschaltung auf Torr Unterhalb von 90 Torr erfolgt eine automatische Um schaltung zur ck in die Masseinheit Micron tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 41 Korrekturfaktor Messwertfilter INFICON Der Korrekturfaktor erlaubt das Normieren des Mess wertes auf andere Gasarten als N2 gt jeweilige Anlei tung Literatur B 86 Verf gbar f r folgende Messr hren wirksam ab M Pirani PSG M Pirani Kapazitiv PCG lt 10 mbar M Kaltkatode PEG M Kaltkatode Pirani MPG lt 1x10 mbar M Heissioni BAG M Heissioni Pirani BPG lt 1x10 mbar M Heissioni Pirani HPG O Kapazitiv CDG M Heissioni Pirani Kapazitiv BCG lt 1 mbar Wert Lore COR Hala keine Korrektur Q 28 WAAT ICI Messwert um Faktor sdy z B a 0 10 10 00 korri giert Das Messwertfilter erlaubt eine bessere Auswertung unruhiger oder gest rter Messsignale Das Messwertfilter wirkt auf M die Messwertanzeige O den Analogausgang O digital bertragenen Messwerte der Heissioni Mess r hren BPG HPG BCG und BAG 42 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga INFICON Wert DIL Fi ou gt schnell FASE schne Das VGC401 reagiert schnell auf Messwertschwankungen und spricht dadurch entspre chend empfindlicher auf Mess wertst rungen an Druck p Zeitt gt Einste nor Einstellung mit gutem Verh lt
14. Messr hrentyp passt das VGC401 den Schwellwert n tigenfalls auto matisch an tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 37 Messbereich der kapazitiven Messr hre INFICON o BS 5 mm 2 ooo fa oo Seo m 525 in 50 5 EA 50 5 El PSG 10 unterer Schwellwert 5x102 PE g 10 unterer Schwellwert 1 5x10 10 unterer Schwellwert 1x10 S 2 ae AA a a 10 unterer Schwellwert 1x103 10 unterer Schwellwert 1x103 10 unterer Schwellwert 1x103 10 unterer Schwellwert 1x103 unterer Schwellwert ER EI EN EN mu jan an ma an me mi ny 10 unterer Schwellwert 1x107 1 Messbereich FSr FSr mal mie m ma mi EICH 1 Messbereich FSr FSr B66 10 unterer Schwellwert 1 5x103 alle Werte in mbar Cor 1 Eg Die minimale Hysterese zwischen oberem und unterem Schwellwert betr gt minimal 10 des unteren Schwellwertes bzw 1 des eingestell ten Messbereichsendwertes Dies verhindert einen instabilen Zustand Bei linearen Messr hren ist deren Messbereichs Endwert Full Scale range zu definieren bei logarithmischen Messr hren wird er automatisch erkannt Verf gbar f r folgende Messr hren O Pirani PSG O Pirani Kapazitiv PCG O Kaltkatode PEG O Kaltkatode Pirani MPG O Heissioni BAG O Heissioni Pirani BPG HPG M Kapazitiv CDG O Heissioni Pirani Kapazitiv BCG
15. Quittie ren und oder Austauschen der Messr hre an nehmen Sie bitte mit Ihrer n chstgelegenen INFICON Servicestelle Kontakt auf 8 Instandsetzung Defekte Produkte sind zur Instandsetzung an Ihre n chstgelegene INFICON Servicestelle zu senden INFICON bernimmt keine Verantwortung und Gew hr leistung falls der Betreiber oder Drittpersonen Instand setzungsarbeiten selber ausf hren 9 Zubeh r Bestellnummer Adapterplatte f r Einbau in Rackeinsch be der H he 3 398 499 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 79 10 Produkt lagern INFICON Vorsicht Elektronikkomponente Q Unsachgem sse Lagerung statische Ladun gen Feuchtigkeit usw kann zu Defekten an den elektronischen Komponenten f hren Produkt in Beutel oder Beh lter aufbewahren Zul ssige Technische Daten einhalten gt B 9 11 Produkt entsorgen Unterteilen der Bauteile Nicht elektronische Bauteile Elektronische Bauteile WARNUNG Umweltgef hrdende Stoffe Produkte oder Teile davon mechanische und Elektrokomponenten Betriebsmittel usw k nnen Umweltsch den verursachen Umweltgef hrdende Stoffe gem ss den rt lichen Vorschriften entsorgen Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile ent sorgungstechnisch in folgende Kategorien zu untertei len Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu trennen und der Wiederverwertung zuzuf hren Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu trennen
16. Verhalten der System berwachung Watchdog Control bei einem Fehler Einstellun O E E gt Das System quittiert eine iO O Fehlermeldung des Watchdog nach 2 s selbst m gt Eine Fehlermeldung des ort 3 Watchdog ist durch den Be nutzer zu quittieren tinb01d1 f 2011 07 VGC401 ga 49 Torr Sperre Eingabesperre 4 6 2 Testprogramme RAM Test INFICON Unterdr ckung der Masseinheit als Parameterwert bei der Einstellung gt B 41 Einstellung ooo gt Die Masseinheit REMA ist ver GEB f gbar gt Die Masseinheit ist nicht SAS verf gbar Die Eingabesperre betrifft den Parameter Modus Wenn die Sperre aktiviert ist kann der Benutzer die Parameter nur noch ansehen aber nicht mehr ndern fi B D gt Parameter k nnen angesehen or und geandert werden im gt Parameter k nnen nur ange on sehen werden Test des Arbeitsspeichers Testverlauf m 1 Der Test l uft 1x automatisch ab 0 60 0 run gt Test l uft sehr kurz cum P OCE gt Test beendet und keine Fehler JJ festgestellt AP A gt Test beendet und Fehler fest gestellt Die Lampe blinkt 50 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga INFICON EPROM Test Test des Programmspeichers Testverlauf Der Test lauft 1x automatisch ab Li gt gt Test l uft PA ogo gt Test beendet und keine Fehler T festgestellt Anschliessend An zeige einer 4 stelligen Check summe Hexformat E gt
17. einf hren und mit vier M3 oder gleichwertigen Schrauben befestigen tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 19 3 2 3 Tischgerat INFICON Das VGC401 kann auch als Tischger t eingesetzt wer den Dazu sind im Lieferumfang zwei selbstklebende Gummif sse sowie eine aufsteckbare Gummileiste ent halten Die im Lieferumfang enthaltenen Gummif sse r ckseitig auf den Geh useboden kleben und die Gummileiste von unten auf die Front platte schieben Ger t so aufstellen dass die maximal zul ssige Umgebungstemperatur des Ger tes z B in folge Sonneneinstrahlung nicht berschritten wird gt 9 20 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 3 3 Netzanschluss INFICON GEFAHR GEFAHR Netzspannung Nicht fachgerecht geerdete Produkte k nnen im St rungsfall lebensgef hrlich sein Nur 3 polige Netzkabel 3x1 5 mm mit fach gerechtem Anschluss der Schutzerdung ver wenden Den Netzstecker nur in eine Steck dose mit Schutzkontakt einstecken Die Schutzwirkung darf nicht durch eine Ver l ngerungsleitung ohne Schutzleiter auf gehoben werden Im Lieferumfang ist ein 2 5 m langes Netzkabel enthal ten Ist der Netzstecker nicht mit Ihrem System kompati bel ein eigenes passendes Netzkabel mit Schutzleiter verwenden Steckdose muss mit 10A abgesichert sein Trennvorrichtung gem EN 61010 1 Wird das Gerat in einen Schaltschrank eingebaut emp fehlen wir die Netz
18. ga Messr hrenspeisung Schaltfunktion Schaltfunktionsrelais Fehlersignal Error Spannung Strom Leistung Absicherung Anzahl Reaktionszeit Einstellbereich Hysterese Kontaktart Belastung max Lebensdauer mechanisch elektrisch Kontaktstellungen Anschluss CONTROL Anzahl Reaktionszeit d INFICON 24 VDC 5 750 mA 18W 900 mA mit PTC Element selbstr ckstellend nach Aus schalten des VGC401 oder Ausziehen des Messr hren steckers 1 lt 10 ms wenn Schwellwert nahe beim Messwert bei gr sserer Differenz Filterzeit konstante ber cksichtigen messr hrenabh ngig gt 1 21 21 FSr f r lineare Messr hren 210 vom Messwert f r logarithmische Messr hren potentialfreier Umschalt kontakt 60 VDC 1 A ohmsch 30 VAC 2 A ohmsch 10 Schaltzyklen 10 Schaltzyklen bei maximaler Belastung gt B25 Ger testecker D Sub 9 polig Steckerbelegung B 25 lt 20 ms tinb01d1 f 2011 07 VGC401 ga 11 Fehlersignalrelais Analogausgang Schnittstelle Kontaktart Belastung max Lebensdauer mechanisch elektrisch Kontaktstellungen Anschluss CONTROL Anzahl Spannungsbereich Innenwiderstand Beziehung Messsignal Druck Anschluss CONTROL Standard Protokoll RS232C Baudrate Anschluss RS232 INFICON potentialfreier Arbeitskontakt 60 VDC 1 A ohmsch 30 VAC 2 A ohmsch 10 Schaltzyklen 10 Schaltzyklen bei maximaler
19. komprimierte zip Datei entpacken EG C401 302 519 n exe Falls Sie das VGC401 nicht mit der seriellen Schnittstelle COM1 verbunden haben Batchdatei bat zum ndern ffnen VGC401 302 519 n exe a Flash1 66 ovl Bezeichnung der Schnittstelle aktualisieren Update 302 519 n bat Editor ioj xi Datei Bearbeiten Suchen FLASH166 P 302519n BIN COM1 wenn nicht mit COM1 verbunden Bezeichnung der Schnittstelle aktualisieren und wieder speichern Batchdatei bat starten VGC401 302 519 n exe a Flash1 66 ovl gt Die neue Firmware wird an das VGC401 ber tragen 84 tinbo1d1 f 2011 07 VGC401 ga INFICON Beendet UPDATE 302 519 ramming Time VGC401 mit War der Programmtransfer erfolgreich VGC401 aus aktualisierter Firmware schalten um den Update Mode zu verlassen starten Warten Sie bis zum Wiedereinschalten minde stens 10 Sekunden damit das VGC401 sich neu initialisieren kann vV Das VGC401 ist wieder zum Messen bereit ber pr fen Sie sicherheitshalber ob die aktuellen Para meter mit den urspr nglich eingestellten Parame tern gt B 82 noch identisch sind tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 85 D Literatur m 1 Ed 2 c 3 EA 4 c 5 EA 6 Eu 7 8 TNFICON www inficon com Gebrauchsanleitung Pirani Standard Gauge PSG400 PSG400 S tina04d1 INFICON AG
20. lt CR gt lt LF gt L x 0 gt Test stoppen Anzeige entspricht Betriebsart Standard 1 gt Test starten alle LEDs ein Empfangen lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Senden lt ENQ gt Empfangen x lt CR gt lt LF gt L Display Teststatus ADC Test Senden TAD lt CR gt lt LF gt Empfangen lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Senden lt ENQ gt Empfangen x x xxxx X XXXX X XXXX lt CR gt lt LF gt L ADC Kanal 2 Messr hren identifikation 0 0000 5 0000 V L ADC Kanal 1 Messsignal negativer Anteil 0 0000 5 0000 V L ADC Kanal 0 Messsignal positiver Anteil 0 0000 11 0000 V tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 73 I O Test Senden Empfangen Senden Empfangen Bedientasten Test Senden Empfangen Senden Empfangen RS232 Test Senden Empfangen Senden INFICON TIO x lt CR gt lt LF gt Love 0 gt Test stoppen Standard 1 gt Relais Schaltfunktion aus Relais Fehler aus 2 gt Relais Schaltfunktion ein Relais Fehler aus 3 gt Relais Schaltfunktion aus Relais Fehler ein 4 gt Relais Schaltfunktion ein Relais Fehler ein lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt x lt CR gt lt LF gt L O Teststatus TKB lt CR gt lt LF gt lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt Xxx lt CR gt lt LF gt L Taste 3 gt x 0 gt Nicht gedr ckt 1 gt Gedr ckt Taste 2 Ta
21. nis zwischen Ansprechge schwindigkeit und Empfindlich keit von Anzeige und Schalt funktion gegen ber Messwert nderungen Druck p Zeitt gt og gt langsam slow JL Das VGC401 reagiert nicht auf kleine Messwertschwankun gen und spricht dadurch lang samer auf Messwert nderun gen an Druck p Zeitt gt tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 43 Messr hre ein ausschalten Anzeigegenauigkeit INFICON Ein und ausschalten des Hochvakuum Messkreises gt auch B 30 Verf gbar f r folgende Messr hren O Pirani PSG O Pirani Kapazitiv PCG M Kaltkatode PEG oO Kaltkatode Pirani MPG M Heissioni BAG O Heissioni Pirani BPG HPG O Kapazitiv CDG O Heissioni Pirani Kapazitiv BCG Wert A Ful oye HV Hochvakuum Mess Vly on kreis eingeschaltet A GG Hochvakuum Mess or kreis ausgeschaltet Genauigkeit des angezeigten Messwertes Wert p gt Messwertanzeige e mit einer Nach E kommastelle 19 e oder zwei An n zeigestellen gt Messwertanzeige e mit zwei Nach E kommastellen 187 e oder drei An zeigestellen Die Anzeige ist bei PSG und PCG Messr hren im Druckbereich p lt 1 0E 4 mbar und aktivierter PrE gt B 46 um eine Nachkommastelle reduziert 44 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga INFICON Baudrate Ubertragungsrate der RS232C Schnittstelle Wert HR nn gt 9600 Baud z B EKK 19200 Baud 38400 Baud Emission e
22. tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga INFICON 4 6 Test Mode Der Test Mode ist die Betriebsart zur Anzeige und An derung Eingabe von speziellen Parameterwerten und zum Testen des VGC401 Mess Mode Parameter Mode beliebige Taste tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 47 INFICON me des Parameters Parameter wahlen 2 A gt Der jos 2 ZB Firmwareversion scheint auf gt B 49 49 50 50 LIE a W a e u CFO me Ka Be Der Name des Parameters wird an gezeigt solange die Taste gedriickt ist mindestens aber 2 s Die Firmwareversion wird dauernd angezeigt 7650 51 51 52 52 53 53 54 54 u Pe a a a aa Im FM je CPL ij Dam Dam Dam on FER R A ln Der Name des Testprogrammes wird angezeigt bis es gestartet wird Cw gt Wert ndert in vorgegebenen Schritten Parameter ndern a 9 gt Testprogramm starten Test starten A tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 48 In Mess Mode wechseln 4 6 1 Parameter Firmwareversion Watchdog Fehlerverhalten d INFICON Tasten gt 5 s dr cken oder Ger t aus und nach 10 s wie der einschalten Anzeige der Firmwareversion Programmversion Version Yale gt Die beiden Teile der Firmware 1 CI Ci versionsnummer werden alter nierend angezeigt Das letzte Zeichen kennzeichnet den Anderungsindex A Z Diese In formation ist n tzlich wenn Sie mit INFICON Kontakt aufnehmen
23. und der Wiederverwertung zuzuf hren 80 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga INFICON Umrechnungs tabellen Masse kg Ib slug oz Druck N m Pa N m Pa 1 bar 100x10 mbar 100 Torr 133 322 at 101 325x10 Druckeinheiten der Vakuumtechnik mbar mbar 1 Pascal 10x10 Torr 1 333 mmWs 9 81x10 psi 68 948 L nge mm inch Temperatur Kelvin Celsius Fahrenheit kg 1 0 454 14 594 28 349x10 bar 10x10 1 10 1 333x10 1 013 Pascal 100 1 133 322 9 81 6 895x10 mm 10 25 4 304 8 2 205 32 174 62 5x10 mbar 10x10 10 1 333 1 013x10 Torr 750 062x10 7 5x10 7 7 356x10 51 715 m 10 1 25 4x10 0 305 Kelvin 1 K 273 15 9 5xK 459 67 slug 68 522x10 31 081x10 1 1 943x10 Torr 7 5x10 750 062 750 062x10 1 760 mmWs 10 2 0 102 13 595 703 inch 39 37x10 39 37 4 12 Celsius C 273 15 1 9 5x C 17 778 oz 35 274 16 514 785 1 at 9 869x10 0 987 0 987x10 1 316x10 psi 14 504x10 0 145x10 19 337x10 1 422x10 i ft 3 281x10 3 281 8 333x107 1 Fahrenheit F 459 67 x5 9 5 9x F 17 778 1 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 81 INFICON B Standard Folgende Werte werden beim Laden der Standard Parameter default Parameter gt B 34 aktiviert Stand
24. 1 07 VGC401 ga E Stichwortverzeichnis A D Wandler Test 52 Anschl sse CONTROL 24 Netz 21 RS232 26 SENSOR 22 Anzeige 27 Genauigkeit 44 Baudrate 45 Betriebsarten Mess Mode 29 Parameter Mode 32 Programmtransfer Mode 83 Test Mode 47 bersicht 28 CONTROL Anschluss 24 Default Parameter 82 laden 34 Degas 35 Display Anzeige Display Test 52 EEPROM Test 51 Einbau Installation Eingabesperre 50 Einheiten Masseinheiten Emission ein ausschalten 45 Entsorgung 80 EPROM Test 51 Fehlermeldungen 77 Filament wahlen 45 Firmware Update 83 Version 2 49 Full Scale Messbereich Gerat ausschalten 28 einschalten 28 entsorgen 80 lagern 80 reinigen 76 Gew hrleistung 8 O Test 54 Identifikation der Messr hre 31 Inhaltsverzeichnis 4 Installation 14 Instandsetzung 79 Interface Kommunikation Schnittstelle Kalibrierfaktor Korrekturfaktor Kommunikation Beispiel 75 d INFICON Mnemonics 59 RS232C Schnhittstelle 55 Kontaktstellungen 25 Korrekturfaktor 42 Lagerung 80 Lieferumfang 3 Literaturverzeichnis 86 Masseinheit 41 Messbereich 38 Messger t Ger t Mess Mode Messr hre ein ausschalten30 Messr hrenidentifikation 31 Statusmeldungen 30 Messr hre ein ausschalten 30 44 Messr hren 9 Identifikation 31 Messwertfilter 42 Mnemonics Kommunikation Mode Betriebsarten Netzanschluss 21 Offset 39 40 Parameter Mode Anzeigegenauigkeit 44 Baudrate 45 Degas 35 Emission ein
25. 1 f 2011 07 VGC401 ga Trennvorrichtung 1 4 Verantwortung und Gewahrleistung INFICON Die Trennvorrichtung muss vom Benutzer klar erkennbar und leicht erreichbar sein Um das Messger t vom Netz zu trennen m ssen Sie das Netzkabel ausstecken Trennvorrichtung gem EN 61010 1 Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter INFICON bernimmt keine Verantwortung und Gew hr leistung falls der Betreiber oder Drittpersonen e dieses Dokument missachten e das Produkt nicht bestimmungsgem ss einsetzen e am Produkt Eingriffe jeglicher Art Umbauten nde rungen usw vornehmen e das Produkt mit Zubeh r betreiben welches in den zugeh rigen Produktdokumentationen nicht aufge f hrt ist tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga d INFICON 2 Technische Daten Netzanschluss Umgebung Anschliessbare Messr hren Spannung Frequenz Leistungsaufnahme berspannungs kategorie Schutzklasse Anschluss Temperatur Lagerung Betrieb Relative Feuchte Verwendung Verschmutzungsgrad Schutzart Anzahl Verwendbare Typen Pirani Pirani Kapazitiv Kaltkatode Kaltkatode Pirani Heissioni Heissioni Pirani Kapazitiv TripleGauge Heissioni Pirani Kapazitiv 90 250 VAC 50 60 Hz lt 30 VA Il 1 Ger testecker IEC 320 C14 Europa Apparatestecker 20 60 C 5 50 C lt 80 bis 31 C abnehmend auf 50 bei 40 C in Innenraumen H he max
26. Balzers Liechtenstein www inficon com Gebrauchsanleitung Pirani Capacitance Diaphragm Gauge PCG400 PCG400 S tina28d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein www inficon com Gebrauchsanleitung Pirani Capacitance Diaphragm Gauge PCG550 PCG552 PCG554 tina56d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein www inficon com Gebrauchsanleitung High Pressure Pirani Gauge HPG400 tina31d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein www inficon com Gebrauchsanleitung TripleGauge BCG450 tina40d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein www inficon com Gebrauchsanleitung Inverted Magnetron Pirani Gauge MPG400 MPG401 tina48d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 87 INFICON 17 www inficon com Gebrauchsanleitung Bayard Alpert Pirani Gauge BPG402 tina46d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein EA 18 www inficon com Gebrauchsanleitung Capacitance Diaphragm Gauge CDG025D tina49d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein EA 19 www inficon com Gebrauchsanleitung Capacitance Diaphragm Gauge CDG045D tina51d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein 20 www inficon com Gebrauchsanleitung Capacitance Diaphragm Gauge CDG100D tina52d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein 21 www inficon com Gebrauchsanleitung Capacitance Diaphragm Gauge CDG160D CDG200D tina53d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein tinbO1d1 f 201
27. Druckmessung Senden Empfangen Senden Empfangen INFICON PRI lt CR gt lt LF gt lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt X SX XXXXESXx lt CR gt lt LF gt L Messwert aktuelle Masseinheit L Status x 0 gt Messdaten okay 1 gt Messbereichsunterschreitung Underrange 2 gt Messbereichs berschreitung Overrange 3 gt Messstellenfehler Sensor error 4 gt Sensor off BAG PEG 5 gt Keine Messr hre 6 gt Identifikationsfehler 7 gt Fehler BAG BPG HPG BCG 7 Die 3 und 4 Nachkommastelle sind ausser bei einer CDG Messr hre immer 0 60 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga Kontinuierliche Mess Senden wertausgabe RS232 Empfangen Empfangen d INFICON COM x lt CR gt lt LF gt L Mode x 0 gt 100 ms 1 gt 1s Standard 2 gt 1 Min lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Auf lt ACK gt folgt unmittelbar die kontinuierli che Messwertausgabe im gew nschten Zeitintervall X SX XXXXESXx y lt CR gt lt LF gt L 1 Messwert mit Masseinheit L Status x 0 gt Messdaten okay 1 gt Messbereichsunterschreitung Underrange 2 gt Messbereichs berschreitung Overrange 3 gt Messstellenfehler Sensor error 4 gt Sensor off BAG PEG 5 gt Keine Messr hre 6 gt Identifikationsfehler 7 gt Fehler BAG BPG HPG BCG ILS Die3 und 4 Nachkommastelle sind ausser bei
28. Fehler oder Ger t 8 i kein Fehler J ausgeschaltet Speisung f r Relais mit h herer Schaltleistung Abgesichert bei 300 mA mit PTC Element selbstr ckstellend nach 6 24 VDC 200 mA Ausschalten des VGC401 oder 7 Geh use GND Ausziehen der CONTROL Steck dose Entspricht den Anforderun gen einer geerdeten Schutzklein spannung SELV Eg Abweichung am Analogausgang Stift 1 von der Anzeige am Ger t max 50 mV tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 25 INFICON 3 6 Schnittstellen Die RS232C Schnittstelle erm glicht die Bedienung des anschluss RS232 VGC401 Uber einen Computer oder ein Terminal Ausserdem dient sie bei Bedarf dem Firmware Update gt B 83 I gt Schliessen Sie die serielle Schnittstelle mit einem abgeschirmten Verbindungskabel EMV Vertr glichkeit an den Anschluss RS232 auf der Ger ter ckseite an GEFAHR Schutzkleinspannung Q Spannungen ber 30 VAC oder 60 VDC gelten nach EN 61010 als ber hrungsgef hrlich Nur Schutzkleinspannung SELV anlegen z B PC VGC401 Abschirmung o t t o Abschirmung RXD o gt 2 TXD TXD o o 3 RXD GND 5 GND Minimalkonfiguration TA Abschirmung m x Die 9 polige WEIS D Sub Ger te Lg dose ist wie folgt 1 belegt Buchse Signal 2 TXD 1 nicht belegt 3 RXD 4 nicht belegt 5 GND 7 nicht belegt 6 DSR Geh use Abschirmung 8 CTS 9 GND 26 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga INFICON 4 Bedie
29. Form von Mnemonics und Parametern als ASCII Strings zum VGC401 bertragen Alle Mnemonics bestehen aus drei ASCII Charaktern Leerstellen Spaces werden ignoriert lt ETX gt CTRLC l scht den Eingabebuffer im VGC401 Die Eingabe wird durch lt CR gt oder lt LF gt oder lt CR gt lt LF gt abgeschlossen Ende Meldung Damit beginnt die Auswertung im VGC401 F r die Mnemonics und Parameter gelten die Tabellen ab B 59 Maximale Stellenzahl Datenformat und zul s siger Wertebereich sind dort ersichtlich HOST VGC401 Erkl rung Mnemonics und Parameter gt Empfangt Nachricht mit lt CR gt lt LF gt gt Ende Meldung lt lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Positive Best tigung einer empfangenen Nachricht Auf Anforderung mittels Mnemonics bertr gt das VGC401 die Messdaten oder Parameter in Form von ASCII Strings zum HOST Als Anforderung zum bertragen eines ASCII Strings muss lt ENQ gt gesendet werden Durch wiederholtes Senden von lt ENQ gt werden weitere Strings gem ss der letztgew hlten Mnemonic ausgelesen Bei lt ENQ gt ohne g ltige Aufforderung wird das ERROR Wort bertragen tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 57 Empfangssprotokoll Fehlerbehandlung Fehlererkennungs protokoll INFICON HOST VGC401 Erklarun Mnemonics und Parameter gt Empfangt Nachricht mit lt CR gt lt LF gt gt Ende
30. GC401 ga 23 INFICON Die 15 polige D Sub Ger tedose ist wie folgt belegt Buchse Signal 10 Identifikation 8 Speisung f r BPG HPG BCG und BAG 11 Speisung f r CDG 5 Speisungserde GND 2 Signaleingang Messsignal 12 Signalerde Messsignal 3 Status 1 Emi Status 7 Degas 4 HV_H 13 RXD 14 TXD 15 Abschirmung Gehause 6 9 nicht belegt 3 5 Anschluss CONTROL Uber diesen Anschluss l sst sich das Messsignal aus lesen der Zustand von Schaltfunktion und Fehler ber wachung potentialfrei auswerten sowie der Hochva kuum Messkreis ein und aussschalten nur bei Kaltka toden Messr hre PEG sowie Heissioni Messr hre BAG Schliessen Sie die peripheren Komponenten mit einem abgeschirmten Verbindungskabel EMV Vertr glichkeit an den Anschluss CONTROL auf der Ger ter ckseite an GEFAHR Schutzkleinspannung Spannungen ber 30 VAC oder 60 VDC gelten nach EN 61010 als ber hrungsgef hrlich Nur Schutzkleinspannung SELV anlegen 24 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga INFICON Steckerbelegung Kontaktstellungen CONTROL Fa Der 9 polige D Sub FAL Ger testecker ist wie le folgt belegt 5 Stift Signal 1 Analogausgang 0 10 VDC 7 Geh use GND 5 HV_H ein 24V aus OV Die Steuerung Uber dieses Signal ist der Tastenbedienung bergeordnet Schaltfunktion 4 A Druck h her als 3 an a Schwellwert oder 2 sh Gerat ausgeschaltet Fehlersignal Error 9 A ra
31. Gebrauchsanleitung W inkl EG Konformitatserklarung INKI ON Einkanal Messger t VGC401 ce tinbO01d1 f 2011 07 1 Produktidentifikation G ltigkeit INFICON Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typen schildes erforderlich Tragen Sie deshalb diese Angaben ein INFICON AG LI 9496 Balzers Mode ________ Dieses Dokument ist g ltig f r Produkte mit der Artikel nummer 398 010 Sie finden die Artikelnummer PN auf dem Typenschild Dieses Dokument basiert auf der Firmwareversion 302 519 E Falls das Ger t nicht wie beschrieben funktioniert pr fen Sie ob ihr Ger t mit dieser Firmwareversion ausgestattet ist gt B 49 Technische nderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten Alle Massangaben in mm tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga Bestimmungsgem sser Gebrauch Lieferumfang d INFICON Das VGC401 dient zusammen mit INFICON Trans mittern im folgenden Messr hren genannt zur Messung von Totaldr cken Die Produkte sind gem ss den ent sprechenden Gebrauchsanleitungen zu betreiben 1x 1x 1x 2x 4x 4x 1x 1x 1x Einkanal Messger t Netzkabel l nderspezifisch Gummileiste Gummif sse Halsschrauben Kunststoffh lsen CD ROM Anleitungen EG Konformit tserkl rung Installationsanleitung tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga INFICON Produktidentifikation 2 Giltigkeit 2 Bestimmungsgemasser Gebrauch 3 Lieferum
32. LI 9496 Balzers Liechtenstein www inficon com Gebrauchsanleitung Compact Pirani Gauge PSG500 S PSG502 S PSG510 S PSG512 S tina44d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein www inficon com Gebrauchsanleitung Pirani Standard Gauge PSG100 S PSG101 S tina17d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein www inficon com Gebrauchsanleitung Pirani Standard Gauge PSG550 PSG552 PSG554 tina60d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein www inficon com Gebrauchsanleitung Penning Gauge PEG100 tina14d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein www inficon com Gebrauchsanleitung Bayard Alpert Pirani Gauge BPG400 tina03d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein www inficon com Gebrauchsanleitung Bayard Alpert Gauge BAG100 S tina06d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein www inficon com Gebrauchsanleitung Bayard Alpert Gauge BAG101 S tina11d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein 86 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 9 Ed 10 Ea 11 12 13 EA 14 15 EA 16 d INFICON www inficon com Gebrauchsanleitung Capacitance Diaphragm Gauge CDG025 tinad1d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein www inficon com Gebrauchsanleitung Capacitance Diaphragm Gauge CDG045 CDG045 H tina07d1 INFICON AG LI 9496 Balzers Liechtenstein www inficon com Gebrauchsanleitung Capacitance Diaphragm Gauge CDG100 tina08d1 INFICON AG LI 9496
33. Meldung lt lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Positive Best tigung einer empfangenen Nachricht lt ENQ gt _ gt Aufforderung zur Daten bertragung lt Messwerte oder Parameter Sendet Daten mit lt lt CR gt lt LF gt Ende Meldung lt ENQ gt gt Aufforderung zur Daten bertragung lt Messwerte oder Parameter Sendet Daten mit lt lt CR gt lt LF gt Ende Meldung Eingegebene Strings werden im VGC401 gepr ft Bei einem Fehler erfolgt eine negative Best tigung lt NAK gt Im ERROR Wort wird das entsprechende Flag gesetzt Fehler k nnen nach dem Einlesen des ERROR Wortes decodiert werden HOST VGC401 Erkl run Mnemonics und Parameter gt Empfangt Nachricht mit lt CR gt lt LF gt gt Ende Meldung bertragungs oder Programmierfehler lt lt NAK gt lt CR gt lt LF gt Mnemonics und Parameter lt CR gt lt LF gt lt ACK gt lt CR gt lt LF gt gt gt lt kkkk Negative Best tigung einer empfangenen Nachricht Empf ngt Nachricht mit Ende Meldung Positive Best tigung einer empfangenen Nachricht 58 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 5 2 Mnemonics BAU Baud rate COM Continuous mode COR Correction factor DCD Display control digits DGS BAG BPG BCG degas ERR Error status EUM BPG402 BCG emission AL Filter time constant FSR CDG full scale ra
34. ard Benutzer OFF 5 P E fa 5x104 mbar SPH 1108 mbar E 1000 Torr O OFF mbar ar 1 00 E C nor HHGH oFF 2 Digits i oFF BEEG Auto 82 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga C Firmware Update User Parameter VGC401 f r Programmtransfer vorbereiten INFICON Ben tigt Ihr VGC401 eine aktuellere Firmware Version um z B neue Messr hren ebenfalls zu unterst tzen laden Sie diese von unserer Web seite www inficon com herunter oder nehmen Sie mit Ihrer n chstgelegenen INFICON Servicestelle Kontakt auf Die von Ihnen im Parameter und Test Mode ge nderten Einstellungen stehen auch in den meisten F llen auch nach dem Firmware Update zur Verf gung Wir emp fehlen aber die Parameter vor einem Update sicher heitshalber zu notieren gt amp 82 VGC401 ausschalten 2 VGC401 mit 9 poligem D Sub Verl ngerungskabel mit der seriellen Schnittstelle COM1 COM2 des PC verbinden Firmware des VGC401 kann nicht ber Mac geladen werden PC VGC401 Abschirmung Abschirmung RXDo f 2 TXD TXDo i 08 RXD GND o 5 GND Mit Stift lt 2 mm den Schalter hinter der R ck platte dr cken und VGC401 einschalten Nach dem Einschalten bleibt die Anzeige dunkel tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 83 d INFICON Programmtransfer In der nachfolgenden Beschreibung steht der Index n stellvertretend f r den effektiven Index Selbstextrahierende exe Datei oder
35. ausschalten 45 Filament wahlen 45 Korrekturfaktor 42 Masseinheit 41 Messbereich 38 Messr hre ein ausschalten44 Messwertfilter 42 Offset 39 40 Pirani Bereichserweiterung 46 Schwellwerte 35 Pirani Bereichserweiterung 46 Programm Firmware RAM Test 50 Reinigung 76 Reparatur 79 RS232 Anschluss Kommunikation Schnittstelle RS232C Test 54 Schaltfunktion 25 35 Schnittstelle Schnittstellenanschluss 26 Technische Daten 12 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 89 Schwellwerte 35 SENSOR Anschluss 22 Serielle Schnittstelle Kommunikation Schnittstelle Sicherheit 6 Standard Parameter 82 laden 34 Statusmeldungen 30 Steckerbelegung CONTROL 25 RS232 26 SENSOR 23 St rungsbehebung 77 Technische Daten 9 Test Mode A D Wandler Test 52 INFICON Display Test EEPROM Test Eingabesperre EPROM Test O Test RAM Test RS232C Test Torr Sperre Watchdog Testparameter Firmware Version Torr Sperre Umrechnungen Update Watchdog Werkseinstellungen Zubeh r 52 51 50 51 54 50 54 50 49 49 50 81 83 49 34 82 79 90 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga d INFICON ETL Zertifikat ETL LISTED The product VGC401 complies with the requirements of us the following Standards Mises UL 61010 1 Issued 2004 07 12 Ed 2 Rev 2005 07 22 3103457 CAN CSA C22 2 61010 1 Issued 2004 07 12 ANTERTE tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 91 INFICON EG Konformitatserklarung CE
36. chtungen ausgetauscht werden 1 Startbit 8 Datenbits Kein Parit tsbit 1 Stoppbit Kein Hardware Handshake tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 55 Definitionen Messwertformat Flusskontrolle INFICON Es werden folgende Abk rzungen und Symbole ver wendet Symbol Bedeutung HOST Computer oder Terminal Nicht zwingend vorgeschriebene Elemente ASCII American Standard Code for Information Interchange Dez Hex lt ETX gt END OF TEXT CTRL C 3 03 Reset der Schnittstelle lt CR gt CARRIAGE RETURN 13 OD Wagenr cklauf lt LF gt LINE FEED 10 OA Zeilenvorschub lt ENQ gt ENQUIRY 5 05 Aufforderung zur Daten bertragung lt ACK gt ACKNOWLEDGE 6 06 Positive R ckmeldung lt NAK gt NEGATIVE ACKNOWLEDGE 21 15 Negative R ckmeldung Senden Transfer vom HOST zum VGC401 Empfangen Transfer vom VGC401 zum HOST Die Druckmesswerte werden im folgenden Format dar gestellt SX XXXXESXX Exponent L Vorzeichen Exponent L Mantisse Vorzeichen Mantisse Der HOST muss nach jedem ASCIl String auf den Empfang der R ckmeldung lt ACK gt lt CR gt lt LF gt oder lt NAK gt lt CR gt lt LF gt warten Der Inputbuffer des HOST muss eine Kapazit t von mindestens 25 Bytes aufweisen tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 5 1 2 Kommunikations protokoll Sendeformat Sendeprotokoll Empfangsformat d INFICON Die Nachrichten werden in
37. d Kunststoffnippel erh ltlich gt B 79 Rackeinschubadapter im Rackschrank befestigen Die maximal zul ssige Umgebungstem peratur gt B 9 darf nicht berschritten werden und die Luftzirkulation muss ge w hrleistet sein Rackeinschubadapter H he 3 aan gt a d D a tinbOtd1 f 2011 07 VGC401 ga 17 d INFICON 2 Adapterplatte als obere Verl ngerung der Ger te frontplatte mit den im Lieferumfang der Adapter platte enthaltenen Schrauben befestigen A Adapterplatte H he 2 zu H he 3 VGC401 in den Rackeinschubadapter ein schieben FA und mit den im Lieferumfang des VGC401 ent haltenen Schrauben befestigen 18 tinbo1d1 f 2011 07 VGC401 ga INFICON GEFAHR Schutzart des Einbauger tes Das Ger t kann als Einbauger t die gefor derte Schutzart Schutz gegen Fremdk rper und Wasser von z B Schaltschranken nach EN 60204 1 aufheben Geforderte Schutzart durch geeignete Mass nahmen wieder herstellen F r den Einbau in eine Schalttafel ist folgender Schalt tafelausschnitt erforderlich Deere Die maximal zul s sige Umgebungs temperatur gt B 9 darf nicht ber schritten werden 78 69 und die Luftzirkula o tion muss gew hr M3 oder 3 5 leistet sein Zur Entlastung der Frontplatte des VGC401 empfehlen wir das Ger t abzust tzen VGC401 in den Ausschnitt
38. e Druckmessung Positive R ckmeldung Abfrage Ausgabe des Status und des Druckes Abfrage Ausgabe des Status und des Druckes tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 75 d INFICON 6 Instandhaltung Das Produkt ist wartungsfrei VGC401 reinigen F r die ussere Reinigung reicht im Normalfall ein leicht feuchtes Tuch Benutzen Sie keine aggressiven oder scheuernden Reinigungsmittel GEFAHR GEFAHR Netzspannung Der Kontakt mit netzspannungsf hrenden Komponenten im Ger t kann beim Eindringen von Fl ssigkeiten lebensgef hrlich sein Ger t vor dem Eindringen von Fl ssigkeiten sch tzen D 76 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga INFICON 7 Storungsbehebung Signalisierung von St rungen as und das Fehlerrelais ffnet gt B 25 Art der St rung M gliche Ursache und deren Behebung Quittierun 1 Ei i ivi B Lob Eingabesperre aktiviert gt B 50 M gliche Ursache und deren Behebung Quittierung oo Unterbruch oder St rung in der Ver IL bindung zur Messr hre Sensor Error gt Quittieren mit der Taste E Ist die Ursache nicht behoben er scheinen oder nord J M gliche Ursache und deren Behebung Quittierun Caa Fehlermeldungen bei BPG BAG und Er ls Bedeutung gt A 6 7 8 14 0 9 0 keine Kommunikation mit Messr hre 1 9 High Byte des Error Byte BPG400 HPG 1 6 Error Status BAG M gliche Ursache und deren Behebung Quittieru
39. e gt 2 s dr cken Neuabgleich des Offsetwer tes aktueller Messwert wird als Offsetwert bernommen BIETE gt Kurz dr cken Offsetkorrektur ausschalten Nullpunktabgleich Verf gbar f r folgende Messr hren der Messr hre O Pirani PSG O Pirani Kapazitiv PCG O Kaltkatode PEG O Kaltkatode Pirani MPG O Heissioni BAG O Heissioni Pirani BPG HPG M Kapazitiv CDG O Heissioni Pirani Kapazitiv BCG E Zuerst die Messr hre abgleichen und anschlies send das Messger t A Schalten Sie die Offsetkorrektur aus bevor Sie den Nullpunkt an der Messr hre neu einstellen 40 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga Masseinheit INFICON Wert OC gt Nullpunktabgleich Vly par ppn eingeschaltet Leuchtet nach gt 2 s und solange Taste gedr ckt wird 9 A gt Taste gt 2 s dr cken Nullpunktabgleich der Messr hre nur CDGxxxD Nach dem Nullpunktabgleich erscheint in der Anzeige eine Null Aufgrund der Messgenauig keit der CDG Messr hren Rauschen Drift etc erscheint eine Null mit plus minus einigen Digits Masseinheit der Messwerte Schwellwerte usw Eine Umrechnungstabelle findet sich im Anhang gt B 81 Wert gt mbar bar E E gt Torr nur verf gbar COCCI wenn Torrsperre nicht Torr aktiviert ist gt E 50 aO gt Pascal PASE mn gt Micron mTorr C co Eine Anderung der Masseinheit wirkt auch auf die Ein stellung der BPG HPG und BCG
40. einer CDG Messr hre immer 0 HV EMI ein Senden ausschalten Empfangen Senden Empfangen HVC x lt CR gt lt LF gt L Mode x 0 gt aus Standard 1 gt ein lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt x lt CR gt lt LF gt L Mode tinb01d1 f 2011 07 VGC401 ga 61 INFICON MR lt CR gt lt LF gt lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt XXX XXX y lt CR gt lt LF gt L Ger tezustand ERS y gt BAG Sende String 17 Charakter gt EI BAG XX XX XX XX XX XX XX XX lt CR gt lt LF gt 2 Sende String Byte 0 7 in Hexformat gt BPG HPG BCG CDGxxxD 2 F r BPG HPG BCG CDGxxxD Datenausgabe BAG Senden BPG HPG BCG Empfangen CDGxxxD Senden Empfangen Nur f r BAG Messr hren Senden identifikation Empfangen Senden Empfangen TID lt CR gt lt LF gt lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt x lt CR gt lt LF gt L Identifikation x PSG Pirani noSEn noid Keine Messr hre Keine Identifikation PCG Pirani Kapazitiv PEG Kaltkatode MPG Kaltkatode Pirani CDG Kapazitive Messr hre BAG Heissioni BPG Heissioni Pirani BPG402 Heissioni Pirani HPG Heissioni Pirani BCG Heissioni Pirani Kapazitiv 62 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga Fehlerzustand Reset Senden Empfangen Senden Empfangen INFICON ERR lt CR gt lt LF gt lt ACK gt lt CR gt lt LF g
41. en Anschluss CONTROL auf der Ger ter ckseite gef hrt gt B 24 Mit einem Ohmmeter deren Funktion berpr fen Testverlauf Der Test l uft 1x automatisch ab ILL Ci u Du m gt beide Relais ausgeschaltet ar F F 3 PPE H gt Schaltfunktions Relais toe gt Schaltfunktions Relais 6 0 0 0 gt Fehler Relais 5858 gt Fehler Relais minimin Test der RS232C Schnittstelle Das VGC401 wiederholt jedes vom kommunizierenden Rechner gesendete Zei chen Der Datentransfer vom zum VGC401 ist nur auf dem Rechner sichtbar gt Abschnitt 5 Testverlauf Der Test l uft automatisch 54 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga d INFICON 5 Kommunikation Serielle Schnittstelle 5 1 RS232C Schnittstelle Anschlussschema Anschlusskabel 5 1 1 Daten bertragung Datenformat Die serielle Schnittstelle erm glicht eine Kommunikation des VGC401 mit einem Computer Zu Testzwecken l sst sich auch ein Terminal anschliessen Beim Einschalten beginnt das Ger t kontinuierlich im Abstand von 1 s den Messwert zu bertragen Wird das erste Zeichen zum Ger t geschickt stoppt die auto matische Messwert bertragung kann aber mit dem Befehl COM nach Bearbeitung eventueller Parameter nderungen wieder gestartet werden gt B 61 Steckerbelegung der 9 poligen D Sub Ger tedose und RS232 Anschlusskabel B 26 Der Austausch der Information erfolgt bidirektional d h Daten und Steuerbefehle k nnen in beide Ri
42. es Messr hren anschlusses SENSOR gt B 23 Das Messwertfilter wirkt auf die angelegte Spannung Ist der Signaleingang offen zeigt das VGC401 einen Standardwert an der sich wegen der hohen Empfindlichkeit des offenen Messkreises leicht ver ndern kann Testverlauf lalalul gt Negativer Anteil des Mess I signals in Volt Test des Kanals 2 des Analog Digitalwandlers mit einer Referenzspannung am Identifikationseingang des Mess r hrenanschlusses SENSOR gt B 23 IS Das Messwertfilter wirkt auf die angelegte Spannung Ist der Signaleingang offen zeigt das VGC401 einen Standardwert an der sich wegen der hohen Empfindlichkeit des offenen Messkreises leicht ver ndern kann Testverlauf mili gt Spannung der Messr hren 1 z B ASR identifikation mlalalaNm gt Keine Messr hre angeschlos JULLI sen tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 53 I O Test RS232C Test INFICON Test der beiden Relais im Ger t Das Testprogramm testet deren Schaltfunktion Vorsicht Relais schalten druckunabh ngig Der Start des Testprogrammes kann zu un beabsichtigten Ergebnissen an angeschlos senen Steuerungen f hren Verhindern Sie die Ausl sung von falschen Steuerbefehlen oder Meldungen Stecken Sie die angeschlossenen Mess und Steuerkabel aus Die Relais schalten zyklisch ein und aus Die Schaltvor g nge werden optisch angezeigt und sind deutlich h r bar Die Kontakte sind auf d
43. fang 3 1 Sicherheit 6 1 1 Verwendete Symbole 6 1 2 Personalqualifikation 7 1 3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 7 1 4 Verantwortung und Gew hrleistung 8 2 Technische Daten 9 3 Installation 14 3 1 Personal 14 3 2 Einbau Aufstellen 14 3 2 1 Rackeinbau 14 3 2 2 Schalttafeleinbau 19 3 2 3 Tischgerat 20 3 3 Netzanschluss 21 3 4 Messr hrenanschluss SENSOR 22 3 5 Anschluss CONTROL 24 3 6 Schnittstellenanschluss RS232 26 4 Bedienung 27 4 1 Frontplatte 27 4 2 VGC401 ein und ausschalten 28 4 3 Betriebsarten 28 4 4 Mess Mode 29 4 5 Parameter Mode 32 4 5 1 Parameter 35 4 6 Test Mode 47 4 6 1 Parameter 49 4 6 2 Testprogramme 50 5 Kommunikation Serielle Schnittstelle 55 5 1 RS232C Schnittstelle 55 5 1 1 Daten bertragung 55 5 1 2 Kommunikationsprotokoll 57 5 2 Mnemonics 59 5 2 1 Mess Mode 60 5 2 2 Parameter Mode 64 5 2 3 Test Mode 71 5 2 4 Beispiel 75 4 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga d INFICON 6 Instandhaltung 76 7 St rungsbehebung 77 8 Instandsetzung 79 9 Zubeh r 79 10 Produkt lagern 80 11 Produkt entsorgen 80 Anhang 81 A Umrechnungstabellen 81 B Standard Parameter default 82 C Firmware Update 83 D Literatur 86 E Stichwortverzeichnis 89 ETL Zertifikat 91 EG Konformitatserklarung 92 F r Seitenverweise im Text wird das Symbol gt B XY verwendet f r Verweise auf weitere im Literaturver zeichnis aufgelistete Dokumente das Symbol gt U Z tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 5 INFICON 1
44. gen lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Senden lt ENQ gt Empfangen x lt CR gt lt LF gt Senden FUM x lt CR gt lt LF gt L x 0 gt Automatisch Standard 1 gt Filament 1 2 gt Filament 2 Empfangen lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Senden lt ENQ gt Empfangen x lt CR gt lt LF gt Senden SAV x lt CR gt lt LF gt L x 0 gt Speichern Standard Parameter default 1 gt Speichern Benutzer Parameter user Empfangen lt ACK gt lt CR gt lt LF gt tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 69 INFICON Pirani Bereichser Senden PRE x lt CR gt lt LF gt weiterung L x 0 gt aus default 1 gt ein Empfangen lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Senden lt ENQ gt Empfangen x lt CR gt lt LF gt gt Nur PSG und PCG Messr hren Messbereich bis 5x10 mbar 70 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 5 2 3 Test Mode Firmwareversion Watchdog Fehlerverhalten Torrsperre d INFICON f r Servicetechniker Senden PNR lt CR gt lt LF gt Empfangen lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Senden lt ENQ gt Empfangen xxx xxx x lt CR gt lt LF gt L x Anderungsindex Ursprungsversion L Firmwarenummer Senden WDTI x lt CR gt lt LF gt L x 0 gt Fehlerbest tigung manuell 1 gt Fehlerbest tigung automatisch Standard 7 Hat der Watchdog angesprochen wird der Fehler nach 2 s automatisch best tigt und gel sch
45. in Ein und ausschalten der Emission ausschalten Verf gbar f r folgende Messr hren O Pirani PSG O Pirani Kapazitiv PCG O Kaltkatode PEG O Kaltkatode Pirani MPG O Heissioni BAG M Heissioni Pirani nur BPG402 O Kapazitiv CDG M Heissioni Pirani Kapazitiv BCG Wert Emission wird von der Mess r hrenelektronik ein und aus geschaltet gt Emission manuell ein und ausschalten Filament Filament ausw hlen Verf gbar f r folgende Messr hren O Pirani PSG O Pirani Kapazitiv PCG O Kaltkatode PEG O Kaltkatode Pirani MPG O Heissioni BAG M Heissioni Pirani nur BPG402 O Kapazitiv CDG O Heissioni Pirani Kapazitiv BCG tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 45 INFICON Wert A L gt Die Messr hre w hlt alter ucoO nierend eines der beiden Fila mente E 1 gt Filament 1 aktiv IL 1 E I Ww gt Filament 2 aktiv 0 0 0 0 Pirani Anzeige und Schaltpunkteinstellbereich erweitern Bereichserweiterung Verf gbar f r folgende Messr hre n Messbereich M Pirani PSG 5x10 1000 mbar M Pirani Kapazitiv PCG 5x10 1500 mbar O Kaltkatode PEG O Kaltkatode Pirani MPG O Heissioni BAG O Heissioni Pirani BPG HPG O Kapazitiv CDG O Heissioni Pirani Kapazitiv BCG Wert gt Normalbetrieb D N nm gt Bereichserweiterung U Anzeige bis 5x10 mbar Schaltpunkteinstellbereich bis 2x10 mbar OD gt Pirani Bereichserweiterung ein ausschalten 46
46. n Fehlermeldungen bei BCG und GED 2ec402 n Bedeutung 15 15 XX xx Error Byte HEX tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 77 INFICON M gliche Ursache und deren Behebung Quittierung Nach dem Ausschalten wurde VGC401 zu schnell wieder eingeschaltet gt Quittieren mit der Taste N Watchdog hat angesprochen infolge starker elektrischer St rung oder Be triebssystem Fehler gt Quittieren mit der Taste N Ist die Einstellung des Watchdog auf Auka quittiert das VGC401 nach 2 s selbst gt B 49 gt Mm N M gliche Ursache und deren Behebung Quittierung Fehler des Arbeitspeichers RAM gt Quittieren mit der Taste E M gliche Ursache und deren Behebung Quittierung Fehler des Programmspeichers EPROM gt Quittieren mit der Taste M gliche Ursache und deren Behebung Quittierung Fehler des Parameterspeichers EEPROM gt Quittieren mit der Taste M gliche Ursache und deren Behebung Quittierung Fehler im Anzeigentreiber gt Quittieren mit der Taste 78 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga INFICON M gliche Ursache und deren Behebung Quittierung Fehler des A D Wandlers D Qu gt Quittieren mit der Taste E M gliche Ursache und deren Behebung Quittierun Fehler des Betriebssystems Task Fail D oO gt Quittieren mit der Taste E Hilfe bei St rungen amp Liegt die St rung auch nach mehrmaligem
47. nge FUM BPG402 filament HVC HV EMI on off MR BAG BPG HPG BCG CDGxxxD data output LOC Parameter setup lock OFS Offset correction Program number Pirani range extension Pressure measurement Reset Save parameters to EEPROM Setpoint Setpoint status A D converter test Display test EEPROM test EPROM test Sensor identification I O test Keyboard test Torr lock RAM test RS232 test UNI Pressure unit WDT Watchdog control BERBSSHMISNSEHARZ d INFICON bertragungsrate Kontinuierliche Messwertausgabe RS232 Kalibrierfaktor Stellenzahl am Display Degas ein ausschalten bei BAG BPG BCG Fehlerzustand Emission ein ausschalten bei BPG402 BCG Filterzeitkonstante Messbereich CDG Filament w hlen bei BPG402 HV EMI ein ausschalten Datenausgabe BAG BPG HPG BCG CDGxxxD Eingabesperre Offset Korrektur Firmwareversion Pirani Bereichserweiterung Druckmessung Reset Parameter im EEPROM abspeichern Schaltfunktion Schaltfunktionsstatus A D Wandler Testprogramm Display Testprogramm EEPROM Testprogramm EPROM Testprogramm Messr hrenidentifikation O Testprogramm Bedientasten Testprogramm Torrsperre de aktivieren RAM Testprogramm RS232 Testprogramm Masseinheit Watchdog Fehlerverhalten gt B 69 68 68 64 63 69 68 66 69 61 62 72 67 71 70 60 63 69 64 65 73 73 72 72 62 74 74 71 72 74 67 71 tinb01d1 f 2011 07 VGC401 ga 59 5 2 1 Mess Mode
48. nung 4 1 Frontplatte Messwert in Gleitkomma oder Exponentialdarstellung oder Statusmeldungen I C0000 000 Warnung Fehler blinkt y In s T INFICON vacar Masseinheit mBar pt Torr Pa Micron Schaltfunktions ia fot ae zustand IX lt gt N Oberer Schwellwert Unterer Schwellwert k S a 7 F para 6 Zu PARA DEG HV COR OFS Bedenken Offsetwert 0 Korrekturfaktor 1 Hochvakuum Messkreis eingeschaltet nur PEG MPG BAG BPG402 und BCG Degas aktiviert nur BPG BCG und BAG Parameter Mode aktiv tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 27 4 2 VGC401 ein und ausschalten VGC401 einschalten VGC401 ausschalten 4 3 Betriebsarten INFICON berpr fen Sie die korrekte Installation sowie die Ein haltung der Technischen Daten Der Netzschalter befindet sich auf der R ckplatte VGC401 mit dem Netz schalter oder bei Rack montage zentral ber den geschalteten Netzverteiler einschalten Nach dem Einschalten e f hrt das VGC401 einen Selbsttest durch e identifiziert es die angeschlossene Messr hre e aktiviert es die beim letztmaligen Ausschalten aktuellen Parameter e schaltet es in den Mess Mode e passt es n tigenfalls die Parameter an falls zuvor eine andere Messr hre angeschlossen war VGC401 mit dem Netzschalter oder zentral ber den geschalteten Ne
49. r Senden Empfangen Senden Empfangen Senden Empfangen Senden Empfangen INFICON COR x x xxx lt CR gt lt LF gt L 0 100 10 000 Standard 1 000 lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt x x xxx lt CR gt lt LF gt L Korrekturfaktor DCD x lt CR gt lt LF gt L x 2 gt 2 Stellen Standard 3 gt 3 Stellen lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt x lt CR gt lt LF gt L Stellenzahl Die Anzeige ist bei PSG und PCG Messr hren im Druckbereich p lt 1 0E 4 mbar und aktivierter PrE gt B 46 um eine Nachkommastelle reduziert Senden Empfangen Senden Empfangen AL x lt CR gt lt LF gt L x 0 gt fast schnell 1 gt medium mittel standard 2 gt slow langsam lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt x lt CR gt lt LF gt L Filterzeitkonstante 68 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga Ubertragungsrate Emission Filament Parameter im EEPROM abspeichern d INFICON Senden BAU x lt CR gt lt LF gt L x 0 gt 9600 Baud Standard 1 gt 19200 Baud 2 gt 38400 Baud Beim Umschalten wird die Antwort bereits mit der geanderten Ubertragungsrate Ubertragen Empfangen lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Senden lt ENQ gt Empfangen x lt CR gt lt LF gt L Ubertragungsrate Senden EUM x lt CR gt lt LF gt L x 0 gt Manuell 1 gt Automatisch Standard Empfan
50. spannung Uber einen geschalteten Netzverteiler zuzuf hren tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 21 Erdungsanschluss 3 4 Messrohren anschluss SENSOR d INFICON Auf der Ger ter ckseite befindet sich eine Schraube um das VGC401 bei Bedarf ber einen Schutzleiter z B mit der Schutzerdung des Pumpstandes verbinden zu k n nen Diese Schraube nie l sen interne Erdung Erdungsschraube F r den Anschluss einer Messr hre stehen zwei unter schiedliche Stecker zur Verf gung Vorsicht Einkanal Messger t Der gleichzeitige Anschluss zweier Messr h ren kann zu einem Defekt derselben f hren nur 1 gleichzeitig Achten dass niemals zwei Messr hren gleichzeitig angeschlossen sind Messr hre mit einem abgeschirmten 1 1 Kabel EMV Vertr glichkeit an einem der beiden Anschl sse SENSOR auf der Ger ter ckseite anschliessen Liste der verwendbaren Messr hren beachten gt 8 9 22 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga Steckerbelegungen SENSOR d INFICON GEFAHR GEFAHR Schutzkleinspannung Q Spannungen ber 30 VAC oder 60 VDC gel ten nach EN 61010 als ber hrungsgef hrlich Nur Schutzkleinspannung SELV anlegen Die 8 polige RJ45 ai Geratebuchse ist wie ce folgt belegt Buchse Signal 4 Identifikation 1 Speisung 24 VDC 2 Speisungserde GND 3 Signaleingang Messsignal 5 Signalerde Messsignal 6 Status 7 HVL 8 HV_H tinbO1d1 f 2011 07 V
51. sschrauben und Kunststoffnippel enthalten GEFAHR Schutzart des Einbauger tes Das Ger t kann als Einbauger t die gefor derte Schutzart Schutz gegen Fremdk rper und Wasser von z B Schaltschr nken nach EN 60204 1 aufheben Geforderte Schutzart durch geeignete Mass nahmen wieder herstellen 14 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga d INFICON F hrungsschiene Zur Entlastung der Frontplatte des VGC401 empfehlen wir den Rackeinschubadapter mit einer F hrungsschie ne zu versehen Gleitschienen Zum sicheren und einfachen Einbau schwerer Rackein schubadapter empfehlen wir das Rackgestell zus tzlich mit Gleitschienen zu versehen tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 15 d INFICON Einbauh he Rackeinbau H he 2 Rack o i einschubadapter Rackeinschubadapter im Rackschrank befestigen Die maximal zul ssige Umgebungstem peratur gt B 9 darf nicht berschritten werden und die Luftzirkulation muss ge wahrleistet sein Rackeinschubadapter lt H he 2 gt BO BE BE Oo E 80 on 16 tinbo1d1 f 2011 07 VGC401 ga INFICON 2 VGC401 in den Rackeinschubadapter ein schieben und mit den im Lieferumfang des VGC401 ent haltenen Schrauben befestigen H he 3 Rack Fur den Einbau in einen 19 Rackeinschubadapter der einschubadapter Hohe 3 ist eine Adapterplatte inkl zwei Halsschrauben un
52. ste 1 TRS lt CR gt lt LF gt lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt Startet den Test wiederholt je des eingegebene Zeichen Ab bruch des Tests mit lt CTRL gt C 74 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 5 2 4 Beispiel INFICON e Senden S und Empfangen E beziehen sich auf den Host TID lt CR gt lt LF gt lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt PSG lt CR gt lt LF gt SP1 lt CR gt lt LF gt lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt 1 0000E 09 9 0000E 07 lt CR gt lt LF gt SP1 6 80E 3 9 80E 3 lt CR gt lt LF gt lt ACK gt lt CR gt lt LF gt FOL2 lt CR gt lt LF gt lt NAK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt 0001 lt CR gt lt LF gt AL2 lt CR gt lt LF gt lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt 2 lt CR gt lt LF gt PRL lt CR gt lt LF gt lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt 0 8 3400E 03 lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt 1 8 0000E 04 lt CR gt lt LF gt Aufruf der Messr hrenidentifikation Positive R ckmeldung Abfrage Ausgabe des Messr hrentyps Aufruf der Parameter der Schaltfunktion Positive R ckmeldung Abfrage Ausgabe der Schwellwerte ndern der Schwellwerte der Schaltfunktion Positive R ckmeldung ndern des Messwerttilters Syntaxfehler Negative R ckmeldung Abfrage Ausgabe des ERROR Wortes Andern des Messwertfilters Positive R ckmeldung Abfrage Ausgabe der Filterzeitkonstant
53. t Empfangen lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Senden lt ENQ gt Empfangen x lt CR gt lt LF gt L Watchdog Fehlerverhalten Senden TLC x lt CR gt lt LF gt L x 0 gt aus Standard 1 gt ein Empfangen lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Senden lt ENQ gt Empfangen x lt CR gt lt LF gt L Torrsperre Status tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 71 Eingabesperre RAM Test EPROM Test EEPROM Test Senden Empfangen Senden Empfangen Senden Empfangen Senden Empfangen Senden Empfangen Senden Empfangen Senden Empfangen Senden INFICON LOC x lt CR gt lt LF gt L x 0 gt aus Standard 1 gt ein lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt x lt CR gt lt LF gt L Eingabesperre Status TRA lt CR gt lt LF gt lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt Startet den Test Dauer lt 1 s XXXX lt CR gt lt LF gt L ERROR Wort TEP lt CR gt lt LF gt lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt Startet den Test Dauer 10 s XXXX XXXX lt CR gt lt LF gt L Checksumme Hex L ERROR Wort TEE lt CR gt lt LF gt lt ACK gt lt CR gt lt LF gt lt ENQ gt Startet den Test Dauer lt 1 s Is Test nicht dauernd wiederholen EEPROM Lebensdauer Empfangen XXXX lt CR gt lt LF gt L ERROR Wort 72 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga d INFICON Display Test Senden TDI x
54. t lt ENQ gt XXXX lt CR gt lt LF gt Le 0000 gt Kein Fehler 1000 gt Ger tefehler siehe Anzeige auf Frontplatte 0100 gt NO HWR Hardware nicht installiert 0010 gt PAR Unerlaubter Parameter 0001 gt SYN Falsche Syntax Das ERROR Wort wird mit dem Auslesen ge l scht Es wird bei bleibendem Fehler sofort wieder gesetzt Senden RES x lt CR gt lt LF gt L x 1 gt Reset Empfangen lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Senden lt ENQ gt Empfangen xIx Ixlx lt CR gt lt LF gt L Auflistung der anstehenden Fehler meldungen xx 0 gt Kein Fehler 1 gt Watchdog hat angesprochen 2 gt Eine oder mehrere Tasks nicht ausgef hrt 5 gt EPROM Fehler 6 gt RAM Fehler 7 gt EEPROM Fehler 9 gt DISPLAY Fehler 10 gt A D Wandler Fehler 11 gt Messr hren Fehler z B Fadenbruch keine Speisung 12 gt Messr hrenidentifikations Fehler tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 63 5 2 2 Parameter Mode Degas Schwellwert einstellung zuordnung INFICON Senden DGS x lt CR gt lt LF gt L x 0 gt aus Standard 1 gt ein 3 Min Empfangen lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Senden lt ENQ gt Empfangen x lt CR gt lt LF gt L Degasstatus Senden SP1 x xxEsx x xxEsx lt CR gt lt LF gt aktuelle Masseinheit Standard mess r hrenabh ngig L Oberer Schwellwert L Unterer Schwellwert aktuelle Masseinheit
55. tzverteiler bei Rackmontage ausschal ten Warten Sie bis zum Wiedereinschalten minde stens 10 Sekunden damit das VGC401 sich neu initialisieren kann Das VGC401 arbeitet in folgenden Betriebsarten e Mess Mode Anzeige von Messwert oder Statusmeldung gt B 29 e Parameter Mode Anzeige und Eingabe von Parametern gt B 32 e Test Mode interne Testprogramme gt B 47 e Programmtransfer Mode Aktualisieren der Ger te Firmware gt B 83 28 tinbO1d1 f 2011 07 VGC401 ga 4 4 Mess Mode d INFICON Der Mess Mode ist die Standard Betriebsart des VGC401 mit Anzeige eines Messwertes einer Status meldung oder der Messr hrenidentifikation Parameter Mode ORN Zn gt 10s Messwert EL 1 Ty A N ger en S tinb01d1 f 2011 07 VGC401 ga INFICON Messr hre ein Verf gbar f r folgende Messr hren ausschalten O Pirani PSG O Pirani Kapazitiv PCG M Kaltkatode PEG O Kaltkatode Pirani MPG M Heissioni BAG O Heissioni Pirani BPG HPG O Kapazitiv CDG O Heissioni Pirani Kapazitiv BCG gt Taste gt 1 s dr cken 9 Messr hre ausge Q schaltet Anstelle eines Messwertes wird an gezeigt gt Taste gt 1 s dr cken sl Messr hre einge E 9 schaltet Anstelle des Messwertes wird evtl eine Statusmeldung angezeigt Druck p Messbereich Der Hochvakuum Messkreis der genannten Messr hen l sst sich auch im Parameter Mode ein und ausschalten

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