S-334 Piezokippspiegel - Physik Instrumente (PI)
Contents
1. 02 220002222000 nennen 22 Transportsicherung entfernen cccccsccccsssececceeseecceeeecceeeeeceeseeeseuseeecsageeessaneeesseaes 25 S 334 an Controller anschlie en 22000022222000eennnnnnnnnnnnnnnnnennnnnnnnennnnnnneeenn 26 5 1 Allgemeine Hinweise zur Installation A Gef hrliche Spannung und Restladung auf Piezoaktoren Der S 334 wird von Piezoaktoren angetrieben Durch Temperaturschwankungen und Druckbelastungen k nnen Ladungen in Piezoaktoren entstehen Nach dem Trennen von der Elektronik k nnen Piezoaktoren f r einige Stunden aufgeladen bleiben Das Ber hren oder Kurzschlie en der Kontakte im Anschlussstecker des S 334 kann zu leichten Verletzungen f hren Die Piezoaktoren k nnen durch eine abrupte Kontraktion zerst rt werden gt ffnen Sie den S 334 nicht gt Entladen Sie vor der Installation die Piezoaktoren des Kippspiegels Schlie en Sie den Kippspiegel an den ausgeschalteten Controller von PI an der mit einem internen Entladewiderstand ausgestattet ist gt Ziehen Sie den Anschlussstecker nicht w hrend des Betriebs von der Elektronik ab Bei Kippspiegeln mit D Sub Stecker Das Ber hren der Kontakte im Anschlussstecker kann zu einem elektrischen Schlag max 100 V DC und zu leichten Verletzungen f hren gt Ber hren Sie nicht die Kontakte im Anschlussstecker gt Sichern Sie den Anschlussstecker des Kippspiegels mit Schrauben gegen das Abziehen vo2. 43 10 2 ADMESSUNGE Tee een nee 44 103 PiNBelegingseensse ee een nein 45 10 3 1 S 334 2SD1 Piezo und Sensoranschluss D Sub 25 m 45 10 3 2 S 334 2SL1 Piezo und Sensoranschlusse LEMO 46 Altgerat entsorgen 47 EG Konformit tserkl rung 49 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 1 ber dieses Dokument 1 Uber dieses Dokument In diesem Kapitel Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs 2440 4442000n0nnnnnnnnnn nennen 1 Symbole und Kennzeichnungen 0c sccccccceceeeeeeeececeeeceaeeseecceeeeessueeeeeeeeeeesseaageeeeeeees 1 PAO a 3 To Uses ER NENEREDE SAN A 2 Mitgeltende DOKUMEINE ccccccccsseseceeceeeeeceecceeeseceeecaeueeeeeesaaeeeesseaaeeeeessuaeeeeessaaass 3 Handb cher herunterladen ccccccccsseecececseeeeceeeceeeeceeeceeaeeceeessaaeeeeesssaeeeesseeageeeeeeaas 3 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enth lt die erforderlichen Informationen f r die bestimmungsgem e Verwendung des S 334 Grunds tzliches Wissen zu geregelten Systemen zu Antriebstechnologien und zu geeigneten Sicherheitsma nahmen wird vorausgesetzt Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit 1 2 Symbole und Kennzeichnungen In diesem Benutzerhandbuch werden folgende Symbole und Kennzeichnungen verwendet IN Gef hrliche Situation Bei Nichtbeachtung dr
3. 1 Verbinden Sie den Anschlussstecker des S 334 25D1 mit der entsprechenden Buchse des Controllers siehe Benutzerhandbuch des Controllers 2 Sichern Sie die Steckverbindung mit den integrierten Schrauben gegen unbeabsichtigtes Abziehen S 334 2SL1 an Module E 50x anschlie en 1 Verbinden Sie die Piezoanschl sse des S 334 2SL1 wie folgt mit dem Piezoverstarkermodul E 503 00S PZT1 mit PZT f r Kanal 1 CH1 PZT2 mit PZT f r Kanal 2 CH2 PZT 100V mit PZT f r Kanal 3 CH3 2 Verbinden Sie die Sensoranschl sse des S 334 2SL1 wie folgt mit dem Servocontrollermodul E 509 S3 AXIS 1 mit SENSOR f r Kanal 1 SERVO 1 AXIS 2 mit SENSOR f r Kanal 2 SERVO 2 26 Version 1 0 1 PZ255D S 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 6 Inbetriebnahme und Betrieb 6 Inbetriebnahme und Betrieb In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb nsnennnnnennenne een 27 5 93H DEWEIDENI zeiten ee ee ee ee a nee ee enee 30 NS IV a 31 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb Stromschlaggefahr bei fehlendem Schutzleiter Bei fehlendem oder nicht ordnungsgem angeschlossenem Schutzleiter k nnen im Falle eines Fehlers oder Defekts gef hrliche Ber hrungsspannungen am S 334 entstehen Wenn Ber hrungsspannungen vorhanden sind kann das Ber hren des S 334 zu leichten Verletzungen durch Stromschlag f hren gt Stellen Sie vor Inbetriebn
4. 1 Uber dieses Dokument 1 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs cccseeccecceeseeeeeeeeeeeseeeeeeeaees 1 1 2 Symbole und Kennzeichnungen ccccccseeseeeecceeeeeeceeceeeeceeeeseeeeeeeessaaeeeeeeesaeeeees 1 1 3 ADDIU Torcia E en ee ee 2 1 4 Mitgeltende DOKUMENE ccccccccssseeceecceeeeceeceeeueeeeessaaeeeeseuaaseeessseaeeeesssaaaes 3 1 5 Handb cher herunterladen ccccceccceceescceceeseceeceeeceeceeeeeeeeeeecesseeeeessaeeeessageees 3 2 Sicherheit 5 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung cccccseeecceeceeeseceeeeaeeeeeeeeeseaeeeeeseeaeeeeeesaaees 5 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise cccccccssseseeeeesaeeeeeeeeseeeeeeesseaeeeeeessaeeeeeeeas 5 2 3 Organisatorische Ma nahmen ccccccsssssceeecseseeceeeeaeeeeceeeeaeeeeeeeseeaeeeeeesseeeees 6 3 Produktbeschreibung 7 3 1 POC MEDC SIG FI zes seen ee re ee E 7 3 2 POG AIM SICH uu0 een cone anne ae E ee re 8 3 3 Produktbe SChriftUnnd cccccccssseseececeeeeeceeceaeeeecececeeeeeeessseaeceeseseaeeeeessaeseeeeesaas 10 3 4 LST UIA ANG nee meer ern 13 3 5 Optionales Zubeh r cccccecccccssseceeecaeeeeceeccaeueeceeesueuseeeesseeeeeeessaaseeeesssaaeeeess 13 3 6 Geeignete Elektronik 24400004000000eRnnnnnnn en nnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnen nn 14 3 7 PS CUCTUING eiorinn ser meer 15 3 8 612S PE A E EEE E E A Eee 16 4 Auspacken 17 5 Installation 19 5 1 Allgemeine Hinweise zur Installa
5. EU Recht d rfen Elektroger te in den Mitgliedsstaaten der EU nicht ber den kommunalen Restm ll entsorgt werden Entsorgen Sie das Altger t unter Beachtung der internationalen nationalen und regionalen Richtlinien Um der Produktverantwortung als Hersteller gerecht zu werden bernimmt die Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines PI Altger tes sofern es nach dem 13 August 2005 in Verkehr gebracht wurde Falls Sie ein solches Altgerat von PI besitzen k nnen Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 D 76228 Karlsruhe S 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 47 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 12 EG Konformitatserklarung 12 EG Konformitatserklarung Fur den S 334 wurde eine EG Konformit tserkl rung gem den folgenden europ ischen Richtlinien ausgestellt 2006 95 EG Niederspannungsrichtlinie 2004 108 EG EMV Richtlinie 2011 65 EU RoHS Richtlinie Die zum Nachweis der Konformitat zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet Sicherheit Niederspannungsrichtlinie EN 61010 1 2010 EMV EN 61326 1 2013 RoHS EN 50581 2012 S 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 49
6. Sie es auf der Festplatte Ihres PC oder auf einem Datentr ger Kennwortgesch tzte Handb cher herunterladen 1 2 3 Legen Sie die CD des Produkts in das PC Laufwerk ein Wechseln Sie auf der CD in das Verzeichnis Manuals Offnen Sie im Verzeichnis Manuals die Release News Datei mit dem Namensbestandteil Releasenews Entnehmen Sie dem Abschnitt User login for software download in den Release News den Benutzernamen user name und das Kennwort password ffnen Sie das FTP Download Verzeichnis ftp pi ftp ws Windows Betriebssysteme ffnen Sie das FTP Download Verzeichnis im Windows Explorer Melden Sie sich mit dem Benutzernamen und dem Kennwort aus den Release News an Wechseln Sie im Verzeichnis des entsprechenden Produkts in das Unterverzeichnis Manuals Kopieren Sie das gew nschte Handbuch auf die Festplatte Ihres PC oder auf einen Datentr ger Version 1 0 1 PZ255D 5 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 2 Sicherheit 2 Sicherheit In diesem Kapitel Bestimmungsgem e Verwendung ccccccseeeeceeeceeeeeceeecaeeeeeeeesseeseeeeesseaeeeesessenseeeeeaas 5 Allgemeine Sicherheitshinweise cccccccsssessccceeeeceeeeseeeceeeeeeseaeeseeeeeeeeesseeeeeeeeeeeeseaas 5 Organisatorische Ma nahmen cccccccccseeseeeeeeeeeeaaeeeeecceeeeeseeeeeeeeeeseseaeeaeeeeeeeeessaas 6 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung Der S 334 ist ein Laborger t im Sinne der DI
7. den Controllerkan len die vertauscht auf dem Kalibrieretikett des Piezoservocontrollers angegeben ist S 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 37 8 Storungsbehebung P I St rung M gliche Ursachen Behebung Betriebstemperatur au erhalb des gt Kontaktieren Sie unseren zul ssigen Bereichs S 41 Kundendienst S 39 Wenn die St rung Ihres Systems nicht in der Tabelle angef hrt ist oder wenn sie nicht wie beschrieben behoben werden kann kontaktieren Sie unseren Kundendienst S 39 38 Version 1 0 1 PZ255D S 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 9 Kundendienst 9 Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre Pl Vertretung oder schreiben Sie uns eine E Mail mailto info pi ws Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an Produktcodes und Seriennummern von allen Produkten im System Firmwareversion des Controllers sofern vorhanden Version des Treibers oder der Software sofern vorhanden PC Betriebssystem sofern vorhanden Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit 5 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 39 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 Technische Daten In diesem Kapitel OG ZUMA OME Messire in ee ee one nee 41 ABMESSUNGEN esse einen E E EN 44 FTW UN nenne see Essen ee en re ee ee ee er ee 45 10 1 Spezifikatione
8. die mit dem Schutzleitersymbol amp gekennzeichneten Bohrungen M3 im Grundk rper des S 334 an Maximale Einschraubtiefe 4 mm Maximales Drehmoment 1 1 Nm 24 Version 1 0 1 PZ255D S 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation 5 3 Transportsicherung entfernen Der S 334 wird mit einer Transportsicherung geliefert Abbildung 12 Transportsicherung des S 334 die Pfeile markieren die empfohlenen Klebstellen Werkzeug und Zubeh r geeignetes Werkzeug zum Entfernen der Transportsicherung Zum Entfernen der Klebestellen wenn n tig Isopropanol und Wattest bchen Voraussetzung v Sie haben den S 334 befestigt S 22 Transportsicherung entfernen 1 Entfernen Sie vorsichtig die Transportsicherung 2 Wenn n tig Entfernen Sie die Klebestreifen f r die Transportsicherung und Reste des Klebers mit einem in Isopropanol getr nkten Wattest bchen 3 Bewahren Sie die Transportsicherung f r den Fall auf dass das Produkt sp ter transportiert werden muss 5 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 25 5 Installation Pp I 5 4 S 334 an Controller anschlie en Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 19 Sie haben einen geeigneten Controller S 14 installiert Sie haben das Benutzerhandbuch des Controllers gelesen und verstanden Der Controller ist ausgeschaltet S 334 2SD1 am Controller E 616 anschlie en
9. gt Achten Sie auf die Zuordnung der Achsen zu den Controllerkan len die auf dem Kalibrieretikett des Piezoservocontrollers angegeben ist gt ndern Sie f r ein von PI kalibriertes System nicht die dynamischen Regelparameter des Controllers z B P Term und I Term Nur bei Austausch von Systemkomponenten gt Wenn der Controller oder der S 334 ausgetauscht werden m ssen f hren Sie eine Neukalibrierung der Achsenauslenkung durch siehe Controller Handbuch oder wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 39 gt Wenn der Controller ausgetauscht werden muss stellen Sie die dynamischen Regelparameter ein siehe Controller Handbuch INFORMATION Schall und Schwingungen z B Trittschall St e k nnen sich auf den Kippspiegel bertragen und seine Leistungsmerkmale hinsichtlich der Positionsstabilit t beeintr chtigen gt Vermeiden Sie die bertragung von Schall und Schwingungen w hrend des Betriebs des Kippspiegels INFORMATION Bei einem S 334 Kippspiegel mit D Sub Stecker k nnen Brummschleifen auftreten wenn der Kippspiegel ber seinen Schutzleiteranschluss und zus tzlich ber den Schirm des Anschlusskabels f r die Elektronik geerdet ist gt Wenden Sie sich bei Auftreten einer Brummschleife an unseren Kundendienst S 39 5 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 29 6 Inbetriebnahme und Betrieb Pp I INFORMATION Optional kann der S 334 2SL1 mit Hilfe des digitalen E 517 i3 Schnittstellen Mod
10. N EN 61010 1 Er ist f r die Verwendung in Innenr umen und in einer Umgebung vorgesehen die frei von Schmutz l und Schmiermitteln ist Entsprechend seiner Bauform ist der S 334 f r die exakte Positionierung und Justierung eines Spiegels in zwei orthogonalen Achsen mit einem gemeinsamen Drehpunkt Parallelkinematik vorgesehen Der S 334 kann in beliebiger Orientierung montiert werden Der S 334 ist mit Dehnmessstreifen DMS ausgestattet Die bestimmungsgem e Verwendung des S 334 ist nur in Verbindung mit geeigneter Elektronik S 14 m glich die von Pl angeboten wird Die Elektronik ist nicht im Lieferumfang des S 334 enthalten Die Elektronik muss die ben tigten Betriebsspannungen bereitstellen Au erdem muss sie in der Lage sein die Signale der Dehnmessstreifen auszulesen und weiterzuverarbeiten damit die Servoregelung einwandfrei funktioniert 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise Der S 334 ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut Bei unsachgem er Verwendung des S 334 k nnen Benutzer gef hrdet werden und oder Sch den am S 334 entstehen gt Benutzen Sie den S 334 nur bestimmungsgem und in technisch einwandfreiem Zustand Lesen Sie das Benutzerhandbuch Beseitigen Sie St rungen die die Sicherheit beeintr chtigen k nnen umgehend 5 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 5 2 Sicherheit PI Der Betreiber ist fur den korrekten Einbau und Betrieb des
11. PI PZ255D 5 334 Piezokippspiegel Benutzerhandbuch Version 1 0 1 Datum 19 09 2014 Dieses Dokument beschreibt die folgenden Produkte 334 2SD1 Hochdynamisches Piezokippsystem 50 mrad DMS D Sub Stecker inkl Spiegel 334 2SL1 Hochdynamisches Piezokippsystem 50 mrad DMS LEMO Stecker inkl Spiegel Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 76228 Karlsruhe Germany Telefon 49 721 4846 0 Fax 49 721 4846 1019 E Mail info pi de PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE PI Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG ist Inhaberin der nachfolgend aufgef hrten Marken PI PIC PICMA PlLine PIFOC PiezoWalk NEXACT NEXLINE NanoCube NanoAutomation Picoactuator Plnano 2014 Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Karlsruhe Deutschland Die Texte Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich geschutzt Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG beh lt insoweit s mtliche Rechte vor Die Verwendung dieser Texte Bilder und Zeichnungen ist nur auszugsweise und nur unter Angabe der Quelle erlaubt Originalbetriebsanleitung Erstdruck 19 09 2014 Dokumentnummer PZ255D KSch Version 1 0 1 nderungen vorbehalten Dieses Handbuch verliert seine G ltigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision Die jeweils aktuelle Revision ist auf unserer Website zum Herunterladen S 3 verf gbar PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE Inhalt
12. S 334 verantwortlich 2 3 Organisatorische MaBnahmen Benutzerhandbuch gt Halten Sie dieses Benutzerhandbuch st ndig am S 334 verf gbar Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit F gen Sie alle vom Hersteller bereitgestellten Informationen z B Erg nzungen und Technical Notes zum Benutzerhandbuch hinzu Wenn Sie den S 334 an Andere weitergeben f gen Sie dieses Handbuch und alle sonstigen vom Hersteller bereitgestellten Informationen bei F hren Sie Arbeiten grunds tzlich anhand des vollst ndigen Benutzerhandbuchs durch Fehlende Informationen aufgrund eines unvollst ndigen Benutzerhandbuchs k nnen zu leichten Verletzungen und zu Sachsch den f hren Installieren und bedienen Sie den S 334 nur nachdem Sie dieses Benutzerhandbuch gelesen und verstanden haben Personalqualifikation Nur autorisiertes und entsprechend qualifiziertes Personal darf den S 334 installieren in Betrieb nehmen bedienen warten und reinigen 6 Version 1 0 1 PZ255D S 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung In diesem Kapitel NAO SID SY SIG I Eesti tree are ee de ea gen se ee nee ser ee 7 POUKA ICN r ee ee nee ee ee ceaseee neces 8 FROCK HOG SC NG ssa ecnnecewetnsct i saaateesteessiecbece2ecenexnneete cectnes sasasneteaeiseeseensoeehetpsccaeae 10 VETO AIM ANG E E tadnondedeinatialehotswaniise Ab E E E
13. Sie sich an unseren Kundendienst S 39 20 Version 1 0 1 PZ255D S 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation HINWEIS Verspannen des S 334 durch Montage auf unebenen Fl chen Die Montage des S 334 auf unebener Grundfl che kann den S 334 verspannen Ein Verspannen verringert die Genauigkeit gt Befestigen Sie den S 334 auf ebener Grundfl che Die empfohlene Ebenheit der Grundfl che betr gt lt 30 um gt Bei Anwendungen mit gro en Temperaturschwankungen Befestigen Sie den S 334 nur auf Grundfl chen die dieselben oder hnliche W rmeausdehnungseigenschaften wie der S 334 besitzen HINWEIS F Sch den durch ungeeignete Kabel Ungeeignete Kabel k nnen Sch den am Kippspiegel und an der Elektronik verursachen gt Verwenden Sie f r den Anschluss des S 334 an die Elektronik nur Kabel von PI 5 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 21 5 Installation Pp I 5 2 S 334 befestigen und an Schutzleiter anschlie en Der S 334 kann wie folgt befestigt werden Befestigen auf Unterlage mit zwei Schrauben Klemmen in Klemmhalter Abbildung 10 Bohrungen M3 des S 334 2Sx1 f r Befestigen auf einer Unterlage und oder Schutzleiteranschluss Abbildung 11 Klemmbreite f r Befestigen des S 334 2Sx1 durch Klemmen HINWEIS Sch den durch falsches Befestigen Falsches Befestigen kann den S 334 besch digen gt Halten Sie beim Befestigen des S 334 du
14. T E 13 Optionales Zubeh r cccseeeccccceesesceeeceeeeeeeecsaeseceeecsauaeceeeesaaeeeeessaaaeeeeessaaeeeeessaaaass 13 Geeignete Elektronik ccccccccccssesecceccaeeeceeeceeeeececeeseaeeeeesseaeeeesseeeaseeeessaageeeeessaaees 14 ATS SUS HUNG nennen ee A AEEA EE EEEa 15 8 210 ne ee eee eee eee ee ene eee ee ee E ee ee eee ee eee 16 3 1 Modell bersicht Zwei Standardversionen des S 334 Kippspiegels sind erh ltlich Modell Beschreibung S 334 25D1 Hochdynamisches Piezokippsystem 50 mrad DMS D Sub Stecker inkl Spiegel S 334 2SL1 Hochdynamisches Piezokippsystem 50 mrad DMS LEMO Stecker inkl Spiegel gt Entnehmen Sie weitere technische Daten den Spezifikationen S 41 5 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 7 3 Produktbeschreibung P I 3 2 Produktansicht Abbildung 1 Schematische Produktansicht des S 334 ohne Transportsicherung Geh use Material Aluminium Spiegel auf bewegter Plattform Abdeckblech Grundk rper Material Titan Anschlusskabel f r Piezoaktoren und Sensoren GG KR NS Abbildung 2 Schematische Darstellung der Achsen in Bezug zum Kabelabgang 1 Achse 1 entspricht Kippachse X am Controller E 616 2 Achse 2 entspricht Kippachse Y am Controller E 616 3 Kabelabgang 8 Version 1 0 1 PZ255D S 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung Abbildung 3 Maximale Auslenkung in positiver Bewegungsrichtung u
15. ahme den Kontakt des S 334 zum Schutzleiter her S 22 gt Entfernen Sie den Schutzleiter nicht w hrend des Betriebs gt Stellen Sie sicher dass der bergangswiderstand an allen f r die Schutzleitermontage relevanten Verbindungsstellen lt 0 1 Q bei 25 A ist gt Wenn der Schutzleiter vor bergehend entfernt werden muss z B bei Umbauten schlie en Sie den S 334 vor erneuter Inbetriebnahme wieder an den Schutzleiter an 5 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 27 6 Inbetriebnahme und Betrieb Pp I HINWEIS Zerst rung des Piezoaktors durch elektrische berschl ge Der Einsatz des S 334 in Umgebungen die die elektrische Leitf higkeit erh hen kann zur Zerst rung des Piezoaktors durch elektrische berschl ge f hren Elektrische berschl ge k nnen durch Feuchtigkeit hohe Luftfeuchtigkeit Fl ssigkeiten und leitende Materialien z B Metallstaub hervorgerufen werden Dar ber hinaus k nnen in bestimmten Luftdruckbereichen aufgrund der erh hten Leitf higkeit der Luft elektrische berschl ge auftreten gt Vermeiden Sie den Betrieb des S 334 in Umgebungen die die elektrische Leitf higkeit erh hen k nnen gt Betreiben Sie den S 334 nur innerhalb der zul ssigen Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen S 43 HINWEIS Verringerte Lebensdauer des Piezoaktors durch dauerhaft hohe Spannung Das dauerhafte Anlegen einer hohen statischen Spannung an Piezoaktoren f hrt zu einer erh
16. chgangsbohrungen f r Schrauben M3 sind vorhanden Die Bohrungen zur Aufnahme der Schrauben m ssen ausreichend leitf hig sein um die ordnungsgem e Funktion des Schutzleiters sicherzustellen Der bergangswiderstand an allen f r die Schutzleitermontage relevanten Verbindungsstellen ist lt 0 1 Q bei 25 A Die Ebenheit der Oberfl che ist lt 30 um 5 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 23 5 Installation PI Wenn der S 334 durch Klemmen befestigt wird Geeigneter Klemmhalter f r optische Komponenten zul ssige Klemmbreite des S 334 siehe Abbildung oben Geeigneter Schutzleiter Kabelquerschnitt gt 0 75 mm Zwei elektrisch leitf hige Schrauben M3 von geeigneter L nge S 44 Geeignetes Werkzeug S 334 auf Unterlage befestigen und an Schutzleiter anschlie en 1 4 Richten Sie den S 334 so auf der Unterlage aus dass sich die Bohrungen M3 in S 334 und Unterlage berdecken F hren Sie die zwei Schrauben durch die Bohrungen in der Unterlage von unten in den Grundk rper des S 334 ein Ziehen Sie die zwei Schrauben fest Maximale Einschraubtiefe 4 mm Maximales Drehmoment 1 1 Nm berpr fen Sie den spielfreien Sitz des S 334 334 mit Klemmhalter befestigen und an Schutzleiter anschlie en gt Befestigen Sie den S 334 im Klemmhalter Zul ssige Klemmbreite siehe Abbildung oben Maximale Klemmkraft 30 N Schlie en Sie den Schutzleiter ber zwei Schrauben an
17. cht werden Andernfalls kann der S 334 besch digt werden gt Entfernen Sie nicht den Spiegel des S 334 gt Wenn Sie einen anderen Spiegel ben tigen wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 39 5 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 33 7 Wartung I I 7 2 S 334 reinigen HINWEIS Sch den durch falsches Reinigen Der Spiegel des S 334 kann durch Krafteinwirkung beim Reinigen besch digt werden gt Reinigen Sie den Spiegel nur wenn tats chlich erforderlich gt Vermeiden Sie beim Reinigen jede Krafteinwirkung auf den Spiegel gt Verwenden Sie keine Druckluft Voraussetzungen v Sie haben die Piezoaktoren des S 334 entladen S 31 v Sie haben den S 334 vom Controller getrennt Werkzeug und Zubeh r Blasebalg Optikpinsel 334 reinigen gt Reinigen Sie die Oberfl chen und den Spiegel des S 334 ohne Krafteinwirkung mit einem Blasebalg und oder Optikpinsel Verwenden Sie keine Druckluft zum Reinigen F hren Sie keine Ultraschallreinigung durch 7 3 S 334 f r den Transport verpacken Zubeh r Leicht zu entfernendes doppelseitiges Klebeband Geeignete Folie Transportsicherung S 17 34 Version 1 0 1 PZ255D S 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 7 Wartung S 334 f r Transport verpacken Abbildung 13 Transportsicherung des S 334 die Pfeile markieren die empfohlenen Klebstellen 1 Fixieren Sie die Transportsicherung mit Doppelk
18. d fur den S 334 zu beachten Einsatzbereich Nur zur Verwendung in Innenraumen Maximale Hohe 2000 m Luftdruck 1100 hPa bis 0 1 hPa entspricht etwa 825 Torr bis 0 075 Torr Relative Luftfeuchte H chste relative Luftfeuchte 80 f r Temperaturen bis 31 C Linear abnehmend bis 50 relativer Luftfeuchte bei 40 C berspannungskategorie Me Schutzklasse S 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 43 10 Technische Daten Pp I 10 2 Abmessungen Abmessungen in mm Abbildung 15 Die Abmessungen f r S 334 2SD1 und S 334 2SL1 sind identisch L Kabell nge Abbildung 16 S 334 2SL1 Position und Abmessungen der Kabelsplitterbox 44 Version 1 0 1 PZ255D S 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 3 Pinbelegung 10 3 1 S 334 2SD1 Piezo und Sensoranschluss D Sub 25 m CCS feneemnamm GND C CE EHE CE CE Pu PZT GND Masse Piezospannung 240 PZT GND Masse Piezospannung PZT GND Masse Piezospannung S 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 45 10 Technische Daten Pp I 10 3 2 S 334 2SL1 Piezo und Sensoranschl sse LEMO A e Abbildung 18 Sensoranschluss LEMO Stecker FFA 0S 304 CLAC32Y Kontaktseite CE E DMS Ref DMS Referenz Referenz DMS GND Masse DMS Signal Abbildung 19 Piezoanschluss 46 Version 1 0 1 PZ255D S 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 11 Altgerat entsorgen 11 Altgerat entsorgen Nach geltendem
19. eblichen Verringerung der Lebensdauer der Piezokeramik des Aktors gt Wenn der S 334 nicht benutzt wird die Elektronik aber zur Gew hrleistung der Temperaturstabilit t eingeschaltet bleibt entladen Sie den S 334 S 31 HINWEIS Unzul ssige mechanische Belastung durch ungeeignete Ansteuerung Der S 334 ist f r folgende Ansteuerung ausgelegt Maximaler Bereich der Piezospannung 0 bis 100 V Minimale Anstiegszeit der Piezospannung 10 ms Maximale Frequenz bei sinusf rmigem Steuersignal 50 Hz Maximale Frequenz bei 10 ms Anstiegszeit der Piezospannung 30 Hz Eine ungeeignete Ansteuerung des S 334 resultiert in einer unzul ssig hohen mechanischen Belastung und kann zu Sch den am S 334 f hren gt Stellen Sie das Steuersignal so ein dass die Piezospannung die Grenzwerte einh lt gt Verwenden Sie den S 334 nur im geregelten Betrieb 28 Version 1 0 1 PZ255D S 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 6 Inbetriebnahme und Betrieb HINWEIS Schaden bei Inbetriebnahme mit Transportsicherung x Wenn die Transportsicherung vor der Inbetriebnahme nicht entfernt wurde kann der Spiegel mit der Transportsicherung kollidieren Kollisionen k nnen zu Sch den am Spiegel f hren gt Entfernen Sie die Transportsicherung bevor Sie den S 334 in Betrieb nehmen S 25 INFORMATION Systeme aus S 334 und Controller werden werkseitig kalibriert um optimale Leistung zu erzielen
20. emperaturstabilit t eingeschaltet bleibt Vor dem Abziehen des Anschlusssteckers z B vor Reinigung und Transport des S 334 sowie bei Umbauten in der Anwendung Der S 334 wird ber den internen Entladewiderstand des Controllers von PI entladen Am Controller angeschlossenen S 334 entladen 1 Schalten Sie den Controller aus 2 Warten Sie vor dem Abziehen des Anschlusssteckers mindestens 10 Sekunden S 334 entladen der nicht am Controller angeschlossen ist gt Schlie en Sie den S 334 an den ausgeschalteten Controller von Pl an 5 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 31 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 7 Wartung 7 Wartung In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Wartung uusssunnssnnennnnnnennnnennnnnnn nennen nennnnnnnnnnnn nennen nennen 33 ISA IOS N ea nern ee ee een 34 S 334 f r den Transport VErpacke n cccccccccsssscceeceeeeceeeceeeseceeeseeaeeeeeesaeeseeeeeseaees 34 7 1 Allgemeine Hinweise zur Wartung HINWEIS Dejustage durch L sen von Schrauben Der S 334 ist wartungsfrei und erreicht seine Positioniergenauigkeit durch die optimierte Abstimmung von mechanischen Komponenten und Piezoaktoren Gel ste Schrauben f hren zum Verlust der Positioniergenauigkeit gt L sen Sie Schrauben nur entsprechend den Anleitungen in diesem Handbuch gt ffnen Sie den S 334 nicht HINWEIS Sch den bei Entfernen des Spiegels Der Spiegel des S 334 darf nur durch PI ausgetaus
21. er anzuschlie en ist eo Konformit tszeichen CE Altger teentsorgung S 47 S 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 11 3 Produktbeschreibung P I 334 2SD1 Beschriftung des Steckers D Sub25 m 1 ooo EEE ee a oz Abbildung 7 Stecker D Sub 25 m am Anschlusskabel des S 334 2SD1 A 334 2SL1 Beschriftung der Anschlusskabel gt Warnzeichen Restspannung Hinweis auf Stromschlaggefahr S 5 Abbildung 8 Die Kabel des S 334 2SL1 Sensoranschluss fur Achse 2 beschriftet mit AXIS 2 Sensoranschluss fur Achse 1 beschriftet mit AXIS 1 Piezoanschluss fur 100 V Festspannung beschriftet mit PZT 100V Piezoanschluss fur Achse 2 beschriftet mit PZT2 Piezoanschluss fur Achse 1 beschriftet mit PZT1 O N ONS 12 Version 1 0 1 PZ255D S 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung 3 4 Lieferumfang S 334 Piezokippspiegel gem Bestellung PZ255D Benutzerhandbuch in gedruckter Form dieses Dokument S334T0001 Technical Note mit Handhabungshinweisen in gedruckter Form S334E0002 Transportsicherung 3 5 Optionales Zubeh r Bestell Beschreibung nummer E 517 13 Schnittstellen Displaymodul 24 Bit D A TCP IP USB RS 232 IEEE488 3 Kan le gt Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst S 39 5 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 13 3 Produktbeschreibung P I 3 6 Geeignete Elektronik Kippsp
22. iegel Controller S 334 2SD1 E 616 SSO Mehrkanalservocontroller f r Piezo Kippspiegel Plattformen mit DMS fur Kippachsen mit differentiellem Antrieb E 616 5S0G Mehrkanalservocontroller f r 205 mm x 105 mm u Piezo Kippspiegel Plattformen mit DMS x 54 1 mm f r Kippachsen mit differentiellem Antrieb Tischger t S 334 2SL1 E 509 53 Sensor E 503 00S E 501 00 9 5 Optional Servocontroller Piezoverst rkermodul Chassis f r E 517 13 modul 30 bis 130 V modulares Schnittstellen DMS Sensoren 2 Kanale Piezocontroller Displaymodul 3 Kan le Sonderausf hrung system 24 Bit D A modifiziert f r die 1 bis 3 Kan le TCP IP USB Kippspiegelsysteme RS 232 IEEE488 S 330 S 340 S 334 3 Kan le mit einer Festspannung von 100 V zwei variable Spannungen gt Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst S 39 14 Version 1 0 1 PZ255D S 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung 3 Ansteuerung Hk LLM U Piezo Uin o 100 V En GND Abbildung 9 Differenzieller Antrieb des Piezokippspiegels Funktionsprinzip am Beispiel der Verkippung einer einzelnen Achse 1 Piezoaktor 1 der Achse 2 Piezoaktor 2 der Achse 3 Bewegte Plattform mit Spiegel Der S 334 ist ein Piezokippspiegel mit differenziellem Piezoantrieb Kippbewegungen in zwei Achsen werden durch die paarweise Verschaltung von insgesamt vier Piezoaktoren realisiert Beide Aktorpaare
23. lebeband auf dem S 334 wie in der Abbildung oben gezeigt Abbildung 14 S 334 in Originalverpackung mit Trockenmittel 2 Verpacken Sie den S 334 m glichst wie in der Abbildung oben gezeigt S 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 35 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 8 Storungsbehebung 8 Storungsbehebung St rung M gliche Ursachen Behebung Keine oder Kabel nicht korrekt Pr fen Sie die Kabelanschl sse unkontrollierte angeschlossen S 26 Bewegung Controller defekt Kontaktieren Sie unseren Kabel defekt Kundendienst S 39 Piezokeramik defekt nach elektrischem berschlag S 334 besch digt durch Kontaktieren Sie unseren ungeregelten Betrieb Kundendienst S 39 Verringerte Verspannter Grundk rper Montieren Sie den S 334 nur auf Genauigkeit Grundflachen mit folgenden Eigenschaften Ebenheit von mindestens 30 um Die Warmeausdehnungseigen schaften ahneln denjenigen des S 334 z B Grundflachen aus Titan Unzulassiges Klemmen des S 334 gt Halten Sie die zul ssige Klemmbreite und Klemmkraft ein S 22 S 334 oder Controller wurde Nach dem Austausch von S 334 oder ausgetauscht Controller ist eine Neukalibrierung der Achsenauslenkung erforderlich gt F hren Sie eine Neukalibrierung der Achsenauslenkung durch siehe Controller Handbuch oder wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 39 Nur bei S 334 2SL1 Achten Sie auf die Zuordnung der Achsen wurden beim Anschlie en Achsen zu
24. m Achse 1 Am angeschlossenen Kanal 1 des Verst rkers betr gt die ausgegebene Spannung Upiez 100 V Die dargestellte Auslenkung ist zum besseren Verst ndnis stark bertrieben Abbildung 4 Maximale Auslenkung in positiver Bewegungsrichtung um Achse 2 Am angeschlossenen Kanal 2 des Verst rkers betr gt die ausgegebene Spannung Upiez 100 V Die dargestellte Auslenkung ist zum besseren Verst ndnis stark bertrieben 5 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 9 3 Produktbeschreibung P I 3 3 Produktbeschriftung S 334 25x1 JO 114010244 Country of origin Germany a WwW e WN Fe Abbildung 5 Position der Produktbeschriftung Erlauterung der Beschriftung siehe Tabelle Abbildung 6 Produktbeschriftung auf der Unterseite des S 334 10 Version 1 0 1 PZ255D S 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung Der S 334 ist wie folgt beschriftet Beschriftung Beschreibung 1 S 334 25x1 Produktbezeichnung Beispiel die Stellen nach dem Punkt kennzeichnen das Modell O 2 114010244 Seriennummer Beispiel individuell f r jeden S 334 Bedeutung der Stellen Z hlung von links 1 interne Information 2 und 3 Herstellungsjahr 4 bis 9 fortlaufende Nummer Country of Origin Herkunftsland Germany 4 Warnzeichen Handbuch beachten 5 WWW PIWS Herstelleradresse Website Schutzleitersymbol kennzeichnet die Lage der Bohrungen Uber die der S 334 an den Schutzleit
25. m Controller 5 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 19 5 Installation Pp I HINWEIS Zerst rung des Piezoaktors durch elektrische berschl ge Der Einsatz des S 334 in Umgebungen die die elektrische Leitf higkeit erh hen kann zur Zerst rung des Piezoaktors durch elektrische berschl ge f hren Elektrische berschl ge k nnen durch Feuchtigkeit hohe Luftfeuchtigkeit Fl ssigkeiten und leitende Materialien z B Metallstaub hervorgerufen werden Dar ber hinaus k nnen in bestimmten Luftdruckbereichen aufgrund der erh hten Leitf higkeit der Luft elektrische berschl ge auftreten gt Vermeiden Sie den Betrieb des S 334 in Umgebungen die die elektrische Leitf higkeit erh hen k nnen gt Betreiben Sie den S 334 nur innerhalb der zul ssigen Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen S 43 HINWEIS Zerst rung des Piezoaktors durch Kurzschlie en ohne Entladewiderstand Wenn ein geladener Piezoaktor ohne Entladewiderstand kurzgeschlossen wird kann dies zu einem Kontraktionsschock und damit zur Zerst rung der Piezokeramik f hren gt Entladen Sie den S 334 nur entsprechend den Anweisungen in S 334 entladen S 31 HINWEIS Sch den bei Entfernen des Spiegels Der Spiegel des S 334 darf nur durch PI ausgetauscht werden Andernfalls kann der S 334 besch digt werden gt Entfernen Sie nicht den Spiegel des S 334 gt Wenn Sie einen anderen Spiegel ben tigen wenden
26. n 10 1 1 Datentabelle Aktive Achsen Bewegung und Positionieren Integrierter Sensor Kippwinkel geregelt Aufl sung ungeregelt Aufl sung geregelt Linearit t Wiederholgenauigkeit Mechanische Eigenschaften Resonanzfrequenz belastet mit Standardspiegel Belastbarkeit Abstand Drehpunkt Spiegeloberfl che Antriebseigenschaften Keramiktyp Elektrische Kapazit t pro Achse 5 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 41 10 Technische Daten Pp I S 334 2SL1 Toleranz S 334 2SD1 Betriebstemperaturbereich 0 bis 50 MateralGenause S BE Kabell nge 2 Sensor Spannungsanschluss LEMO Stecker D Sub Stecker 25 pol Empfohlene Controller Verst rker Version mit D Sub Stecker E 616 Controller f r Kipp spiegelsysteme Version mit LEMO Stecker Modulares Piezo controller System E 500 mit Verst rkermodul E 503 00S dreikanalig und E 509 Regler 10 1 2 Bemessungsdaten S 334 Kippspiegel sind f r folgende Betriebsgr en ausgelegt Maximale Maximale Maximale Betriebsspannung Betriebsfrequenz mit Leistungsaufnahme Standardspiegel A A bei einer Anstiegszeit der Piezospannung von 10 ms Maximale Betriebsfrequenz mit Standardspiegel f r sinusf rmiges Steuersignal 50 Hz 42 Version 1 0 1 PZ255D S 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 1 3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Folgende Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen sin
27. n ausgestattet F r jedes Aktorpaar muss daher zus tzlich zum Verst rkerkanal jeweils ein Regelkreis mit einem Sensorkanal zur Verf gung stehen 3 8 Spiegel Der S 334 ist mit einem werkseitig montierten Spiegel mit folgenden Eigenschaften ausgestattet Durchmesser 10 mm 2mm Dicke berfl chengenauigkeit 4 10 Oberfl chenqualit t 20 10 Parallelit t 30 Bogensekunden 16 Version 1 0 1 PZ255D S 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 4 Auspacken 4 Auspacken INFORMATION Der S 334 wird mit einer Transportsicherung geliefert gt Um Kratzer auf der Spiegeloberfl che w hrend des Befestigens zu vermeiden wird empfohlen die Transportsicherung erst nach dem Befestigen zu entfernen S 25 1 Packen Sie den S 334 vorsichtig aus 2 Vergleichen Sie die erhaltene Lieferung mit dem Inhalt laut Vertrag und mit der Packliste 3 berpr fen Sie den Inhalt auf Anzeichen von Sch den Bei Anzeichen von Besch digungen oder fehlenden Teilen wenden Sie sich sofort an PI 4 Bewahren Sie das komplette Verpackungsmaterial auf f r den Fall dass das Produkt zur ckgeschickt werden muss 5 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 17 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation 5 Installation In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Installation uus020440000404nnRRnnnnnnnnnnnnennennnnnennnn nennen 19 S 334 befestigen und an Schutzleiter anschlie en
28. ohen leichte Verletzungen gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden HINWEIS Gef hrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen Sachsch den gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden 5 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 1 1 Uber dieses Dokument INFORMATION PI Informationen zur leichteren Handhabung Tricks Tipps etc Symbol Kennzeichnung 1 2 gt SO RS 232 AA 1 3 Abbildungen Bedeutung Handlung mit mehreren Schritten deren Reihenfolge eingehalten werden muss Handlung mit einem Schritt oder mehreren Schritten deren Reihenfolge nicht relevant ist Aufz hlung Querverweis auf Seite 5 Bedienelement Beschriftung auf dem Produkt Beispiel Buchse der RS 232 Schnittstelle Auf dem Produkt angebrachte Warnzeichen die auf ausf hrliche Informationen in diesem Handbuch verweisen Zugunsten eines besseren Verst ndnisses k nnen Farbgebung Gr enverh ltnisse und Detaillierungsgrad in Illustrationen von den tats chlichen Gegebenheiten abweichen Auch fotografische Abbildungen k nnen abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar 2 Version 1 0 1 PZ255D 5 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 1 ber dieses Dokument 1 4 Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erw hnten Ger te und Programme von PI sind in separaten Handb chern beschrieben E 616 SS0 E 616 S0 Mehrkanalservocontroller f r PZ200D Piezo Kip
29. pspiegel Plattformen mit DMS Benutzerhandbuch E 616 5S0G E 616 50G PZ219D Mehrkanalservocontroller f r Piezo Kippspiegel Benutzerhandbuch Plattformen mit DMS Tischger t E 509 53 Sensor Servocontrollermodul PZ77E User Manual E500T0011 Technical Note for Analog Drivers E 503 00S Piezoverst rkermodul PZ62E User Manual E 501 00 9 5 Chassis f r modulares Piezocontrollersystem E 517 13 Schnittstellen Displaymodul PZ214E User Manual 1 5 Handb cher herunterladen INFORMATION Wenn ein Handbuch fehlt oder Probleme beim Herunterladen auftreten gt Wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 39 INFORMATION F r einige Produkte z B Hexapodsysteme und Elektroniken die mit einer CD ausgeliefert werden ist der Zugang zu den Handb chern durch ein Kennwort gesch tzt Das Kennwort ist auf der CD enthalten Verf gbarkeit der Handb cher Kennwortgesch tzte Handb cher FTP Downloadverzeichnis Frei zug ngliche Handb cher Pl Website gt Folgen Sie zum Herunterladen der entsprechenden Anleitung 5 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 3 1 Uber dieses Dokument gt I Frei zug ngliche Handb cher herunterladen 1 2 oi 4 Offnen Sie die Website http www pi portal ws Klicken Sie auf Downloads Klicken Sie auf die entsprechende Produktkategorie Gehen Sie zum entsprechenden Produktcode Die vorhandenen Handb cher werden angezeigt Klicken Sie auf das gew nschte Handbuch und speichern
30. rch Klemmen die maximale Klemmbreite von 20 mm und die maximale Klemmkraft von 30 N ein gt Befestigen Sie den S 334 nur entsprechend den Anweisungen in diesem Handbuch 22 Version 1 0 1 PZ255D S 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation INFORMATION Der Kontakt des S 334 zum Schutzleiter wird wie folgt hergestellt Zwei Bohrungen M3 im Grundk rper des S 334 mit Schutzleitersymbol D gekennzeichnet Geeignete leitf hige Schrauben M3 Wenn der S 334 ber die beiden Bohrungen M3 auf einer Unterlage befestigt wird Die Unterlage ist ausreichend leitfahig und an den Schutzleiter angeschlossen Wenn der S 334 durch Klemmen befestigt wird Der Schutzleiter wird ber zwei Schrauben an beide Bohrungen M3 des S 334 angeschlossen INFORMATION gt Beachten Sie die jeweils geltenden Normen f r die Schutzleiterbefestigung Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 19 Der S 334 ist nicht mit dem Controller verbunden Sie haben den Platzbedarf f r eine knickfreie und vorschriftsm ige Kabelf hrung ber cksichtigt Werkzeug und Zubeh r F r die Abmessungen des Kippspiegels und die Lage und Tiefe der Bohrungen M3 siehe Abmessungen S 44 Wenn der S 334 auf einer Unterlage befestigt wird Sie haben eine geeignete Unterlage bereitgestellt Die Unterlage muss an einen Schutzleiter angeschlossen sein Zwei Dur
31. sind elektrisch jeweils so geschaltet dass bei einer nderung der Piezospannung Upiez an einem Aktor eines Paares eine erh hte Spannung anliegt w hrend am anderen Aktor die anliegende Spannung um den gleichen Betrag verringert wird Der Aktor mit der erh hten Spannung expandiert w hrend der andere Aktor mit der verringerten Spannung kontrahiert Dadurch entsteht die Kippbewegung Zur vereinfachten Darstellung des Funktionsprinzips wurde in der Abbildung oben nur eine Achse dargestellt Die bewegte Plattform ist dargestellt bei einer Verkippung um 0 5 334 Piezokippspiegel PZ255D Version 1 0 1 15 3 Produktbeschreibung P I Bei zunehmender Steuerspannung Un expandiert Piezoaktor 1 und kontrahiert Piezoaktor 2 Daraus resultiert eine Verkippung in positive Richtung Aufgrund der Art der Verschaltung bewegen sich die beiden Aktoren eines Paares immer in entgegengesetzte Richtungen Daher k nnen keine linearen Bewegungen in der Z Achse kommandiert werden Die Position der Z Achse kann sich jedoch ndern bei Temperaturschwankungen Aufgrund des symmetrischen Designs des Piezokippspiegels bewirken Temperaturschwankungen kein Verkippen der bewegten Plattform sondern eine gleichm ige L ngen nderung der Piezoaktoren in Richtung der Z Achse Die meisten Anwendungen sind gegen ber solchen Abweichungen wenig empfindlich so lange der Kippwinkel sich nicht ndert Die vier Piezoaktoren des S 334 sind mit jeweils einem Dehnmessstreife
32. tion cccccsssececsseseeeeeeseeesseseeeeseeseeeseeeeeeens 19 5 2 S 334 befestigen und an Schutzleiter anschlie en 2222000222nneennnn 22 5 3 Transportsicherung entfernen ccccseeeccccseseeecseeeeeeeeeeeeeeeeeeesseeeeseseeeeeessneeeeas 25 5 4 S 334 an Controller anschlie en 220000040040nneRnnnnnnnnennnennnnnnnnennnnnnnnn 26 6 Inbetriebnahme und Betrieb 27 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb uu nersueenennno 27 6 2 S 334 betreiben 220000222000snnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnennenn 30 6 3 S 334 entladen 2 0 cc cccccccecececcececccuccecececcececececueueuececeeuaenecseauauuenscscauausecseauaunenecas 31 10 11 12 Wartung 33 7 1 Allgemeine Hinweise zur Wartuind cccccesceceseeeeeeeeeeeeeeeeeeeeseeaeeeeseeeeeesaeseeeeas 33 7 2 S 334 reinigen cccccccsesseccccceessececcceesececcceuaeececseeuaseeecssaeaeecesssuugeeeessseaseeeeessaaaes 34 7 3 S 334 f r den Transport VErpacCken cccccccceccsesseeeeeeeeeeeceeeeeeeseeeeseeaeeeeeeesaaees 34 St rungsbehebung 37 Kundendienst 39 Technische Daten 41 19 PEA ONE Mean ee eee 41 10 1 1 D tentabele nenn cuties eamesbiccuneatdanveedsansenbeaeennakebeee 41 10 1 2 Bemessungsdaten ccccccccceseeeeeeceeeececeeaeeeeeeeeeuaaeeeeesseaeeeessaaaees 42 10 1 3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen 0
33. uls auch ber ein Programm wie z B PlMikroMove von einem PC aus betrieben werden INFORMATION Die Ausdehnung der Piezoaktoren ist abh ngig von der Umgebungstemperatur und kann in den angegebenen Temperaturbereichen um bis zu 10 schwanken S 43 6 2 S 334 betreiben Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb gelesen und verstanden S 27 Sie haben das Benutzerhandbuch des Controllers gelesen und verstanden Wenn Sie das E 517 13 Schnittstellenmodul verwenden Sie haben das Benutzerhandbuch des Schnittstellenmoduls und der PC Software gelesen und verstanden Sie haben den Kippspiegel ordnungsgem installiert S 19 Der Controller und die ben tigte PC Software wurden installiert Alle Anschl sse am Controller wurden eingerichtet siehe Benutzerhandbuch des Controllers Sie haben die Transportsicherung entfernt S 25 Sie haben sichergestellt dass am Controller der Servomodus f r alle Achsen des S 334 eingeschaltet ist S 334 betreiben gt Folgen Sie f r die Inbetriebnahme und den Betrieb des S 334 den Anweisungen im Handbuch des verwendeten Controllers 30 Version 1 0 1 PZ255D S 334 Piezokippspiegel PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 6 Inbetriebnahme und Betrieb 6 3 S 334 entladen Der S 334 muss in folgenden F llen entladen werden Vor der Installation Wenn der S 334 nicht benutzt wird der Controller aber zur Gew hrleistung der T
Download Pdf Manuals
Related Search