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M660 Drehtisch - Physik Instrumente (PI)

1. Geeigneter Schraubendreher M 660 an Schutzleiter anschlie en 1 Wenn n tig befestigen Sie einen geeigneten Kabelschuh am Schutzleiter 2 Befestigen Sie den Kabelschuh des Schutzleiters mit der Schraube M4 am Schutzleiteranschluss des M 660 wie in der Profilansicht dargestellt 3 Ziehen Sie die Schraube M4 mit einem Drehmoment von 1 2 Nm bis 1 5 Nm fest 4 Stellen Sie sicher dass der bergangswiderstand an allen f r die Schutzleitermontage relevanten Verbindungsstellen lt 0 1 Q bei 25 A ist 20 Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation 5 3 M 660 auf Unterlage befestigen HINWEIS Verspannen des Grundk rpers Ungeeignete Montage kann den Grundk rper verspannen Ein Verspannen des Grundk rpers erh ht den Verschlei und verringert die Genauigkeit gt Befestigen Sie den M 660 auf ebener Grundfl che Die empfohlene Ebenheit der Grundfl che betr gt 10 um gt Bei Anwendungen mit gro en Temperaturschwankungen Befestigen Sie den M 660 nur auf Grundfl chen die m glichst dieselben W rmeausdehnungseigenschaften wie der M 660 besitzen z B Grundfl chen aus Aluminium INFORMATION Die positive Bewegungsrichtung entspricht der Drehung im Uhrzeigersinn Rechtsdrehung Abbildung 5 M 660 Senkbohrungen im Grundk rper wei e Pfeile 4 x M6 schwarze Pfeile 4 x M4 M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 21 5 Installation P I Voraussetzung
2. Verspannter Montieren Sie den M 660 auf ebener Verringerte Grundk rper Grundfl che Die Span Genauigkeit Ebenheit der Grundfl che betr gt 10 um Bei Anwendungen mit gro en Temperaturschwankungen Montieren Sie den M 660 nur auf Grundfl chen die m glichst dieselben W rmeausdehnungs eigenschaften wie der M 660 besitzen z B Grundfl chen aus Aluminium M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 37 8 St rungsbehebung P I St rung Mogliche Ursachen Behebung Keine oder Zu hohe Last gt Verringern Sie die Last siehe eingeschrankte Datentabelle S 41 Bewegung gt Stellen Sie sicher dass die installierte Last bei vertikaler Montage des Drehtischs geringer ist als das maximale Drehmoment des Antriebs S 41 Wenn die St rung Ihres Systems nicht in der Tabelle angef hrt ist oder wenn sie nicht wie beschrieben behoben werden kann kontaktieren Sie unseren Kundendienst S 39 38 Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 9 Kundendienst 9 Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre PI Vertretung oder schreiben Sie uns eine E Mail info pi ws Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an Produktcodes und Seriennummern von allen Produkten im System Firmwareversion des Controllers sofern vorhanden Version des Treibers oder der Software sofern vorhanden PC Betriebssystem sofern vorhanden Di
3. v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 v Sie haben eine geeignete Unterlage bereitgestellt f r die erforderliche Lage und Tiefe der Bohrungen zur Aufnahme der Schrauben siehe Abmessungen S 49 Vier Bohrungen M6 oder M4 sind vorhanden Die Ebenheit der Oberfl che ist lt 10 um Bei Anwendungen mit gro en Temperaturschwankungen Die Unterlage besitzt m glichst dieselben W rmeausdehnungseigenschaften wie der M 660 z B Unterlage aus Aluminium v Sie haben den Platzbedarf f r eine knickfreie und vorschriftsm ige Kabelf hrung ber cksichtigt v Der M 660 ist nicht mit dem Controller verbunden Werkzeug und Zubeh r Montagezubeh r aus dem Lieferumfang S 12 4 Schrauben M6x12 Sechskant Winkelschraubendreher Alternativ nicht im Lieferumfang 4 Schrauben M4 von geeigneter Lange Geeigneter Schraubendreher M 660 auf Unterlage befestigen 1 Richten Sie den M 660 so auf der Unterlage aus dass die ausgew hlten Bohrungen im M 660 siehe Pfeile in der Abbildung die entsprechenden Bohrungen in der Unterlage berdecken 2 F hren Sie vier geeignete Schrauben in die ausgew hlten Senkbohrungen im Grundk rper des M 660 ein 3 Drehen Sie die Schrauben vollst ndig ein 4 berpr fen Sie den spielfreien Sitz des M 660 auf der Unterlage 22 Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation 5
4. 4 Last am M 660 befestigen HINWEIS Unzulassig hohe Krafte und Momente Unzulassig hohe Krafte und Momente die an der bewegten Plattform angreifen k nnen den M 660 besch digen gt Beachten Sie hinsichtlich Masse und Befestigungsart der Last die maximal zulassigen Krafte gemaB den Spezifikationen S 41 gt Vermeiden Sie Kippmomente gt 0 5 Nm an der bewegten Plattform HINWEIS Zu lange Schrauben Zu tief eingebrachte Schrauben k nnen den M 660 besch digen gt Beachten Sie die Tiefe der Montagebohrungen in der bewegten Plattform S 49 gt Verwenden Sie nur Schrauben mit der richtigen Lange f r die entsprechenden Montagebohrungen Abbildung 6 M 660 Bohrungen M3 f r die Befestigung einer Last siehe Pfeile M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 23 5 Installation P I Voraussetzung v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 Sie haben den M 660 ordnungsgem auf einer Unterlage befestigt S 21 Der M 660 ist nicht mit dem Controller verbunden Sie haben die Last so vorbereitet dass sie an den Montagebohrungen auf der bewegten Plattform befestigt werden kann Der Abstand zwischen dem Schwerpunkt der Last und dem Zentrum der bewegten Plattform ist in alle Richtungen m glichst gering Fur das Befestigen der Last auf der bewegten Plattform sind mindestens drei Punkte vorgesehen Werkzeug und Zubeh r Mindestens drei Schrauben M
5. Stecker MDR Stecker 14 polig 14 polig Empfohlene Controller C 867 PlLine C 867 PlLine Treiber Motion Motion Controller Controller Die Spezifikationen f r Vakuumversionen S 9 k nnen abweichen Sonderausf hrungen auf Anfrage 10 1 2 Referenzschalter Spezifikationen Versorgungsspannung 5 V Masse Versorgung ber den Motorstecker Signalausgang TTL Pegel 10 1 3 Bemessungsdaten Drehtische M 660 sind f r folgende Betriebsgr en ausgelegt Maximale Betriebsfrequenz Maximale Betriebsspannung Leistungsaufnahme A A A 200 Vpp bzw 71 Vims 152 bis 165 kHz 30 W 42 Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten 10 1 4 Spezifikationen fur vakuumtaugliche Versionen F r den M 660 45V und M 660 55V werden folgende vakuumtaugliche Komponenten verwendet A A Mechanische Teile Aluminium blank Aluminium eloxiert schwarz matt Stahl Keramik PIC181 Al203 PEEK PTFE Kabel FEP Flachbandkabel FFC von Axon Kabel GmbH Schrumpfschl uche PVDF Kynar Isolierung KU THE 150 Schmiermittel Molykote HP 300 Dichtmittel Scotch Weld Klebstoffe Epoxidharzbasierter Klebstoff Stecker D Sub 15 m Ausheiztemperatur 80 C 176 F Ausheizdauer 3 Stunden M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 43 10 Technische Daten P I 10 2 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Folgende Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen sind f r
6. der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut Bei unsachgem er Verwendung des M 660 k nnen Benutzer gef hrdet werden und oder Sch den am M 660 entstehen gt Benutzen Sie den M 660 nur bestimmungsgem und in technisch einwandfreiem Zustand Lesen Sie das Benutzerhandbuch Beseitigen Sie St rungen die die Sicherheit beeintr chtigen k nnen umgehend Der Betreiber ist f r den korrekten Einbau und Betrieb des M 660 verantwortlich M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 5 2 Sicherheit P I Piezomotoren werden von Piezoaktoren angetrieben Piezoaktoren k nnen nach dem Trennen von der Elektronik f r einige Stunden elektrisch geladen bleiben Auch Temperaturschwankungen k nnen Ladungen in Piezoaktoren erzeugen Das Ber hren geladener Teile des M 660 kann zu leichten Verletzungen durch Stromschlag f hren gt ffnen Sie den M 660 nicht gt Ber hren Sie nicht die Kontakte im Anschlussstecker des M 660 Bei fehlendem oder nicht ordnungsgem angeschlossenem Schutzleiter k nnen im Falle eines Fehlers oder Defekts gef hrliche Ber hrungsspannungen am M 660 entstehen Wenn Ber hrungsspannungen vorhanden sind kann das Ber hren des M 660 zu leichten Verletzungen durch Stromschlag f hren gt Schlie en Sie den M 660 vor Inbetriebnahme an einen Schutzleiter an S 19 gt Entfernen Sie den Schutzleiter nicht w hrend des Betriebs gt Wenn der Schutzleiter vor bergehend entfernt werden
7. muss z B bei Umbauten schlie en Sie den M 660 vor erneuter Inbetriebnahme wieder an den Schutzleiter an Mechanische Kr fte k nnen den M 660 besch digen oder dejustieren gt Vermeiden Sie St e die auf den M 660 einwirken gt Lassen Sie den M 660 nicht fallen gt berschreiten Sie nicht die maximal zul ssigen Belastungen gem den Spezifikationen S 41 6 Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 2 Sicherheit 2 3 Organisatorische Ma nahmen Benutzerhandbuch gt Halten Sie dieses Benutzerhandbuch st ndig am M 660 verf gbar Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit F gen Sie alle vom Hersteller bereitgestellten Informationen z B Erg nzungen und Technical Notes zum Benutzerhandbuch hinzu Wenn Sie den M 660 an Andere weitergeben f gen Sie dieses Handbuch und alle sonstigen vom Hersteller bereitgestellten Informationen bei F hren Sie Arbeiten grunds tzlich anhand des vollst ndigen Benutzerhandbuchs durch Fehlende Informationen aufgrund eines unvollst ndigen Benutzerhandbuchs k nnen zu leichten Verletzungen und zu Sachsch den f hren Installieren und bedienen Sie den M 660 nur nachdem Sie dieses Benutzerhandbuch gelesen und verstanden haben Personalqualifikation Nur autorisiertes und entsprechend qualifiziertes Personal darf den M 660 installieren in Betrieb nehmen bedienen wart
8. vorhandenen Handb cher werden angezeigt Klicken Sie auf das gew nschte Handbuch und speichern Sie es auf der Festplatte Ihres PC oder auf einem Datentr ger Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 2 Sicherheit 2 Sicherheit In diesem Kapitel Bestimmungsgem e Verwendung cocococcccnnnocccinnnoncncnnnononnnn nono cnn nro n cnn nn n nc r anna 5 Allgemeine Sicherheitshinweise AAA 5 Organisatorische Ma nahmen c oococcccnonccononanonoccnnnnnnnonnnnnn cnn cc narran rn nn 7 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung Der M 660 ist ein Laborger t im Sinne der DIN EN 61010 1 Er ist f r die Verwendung in Innenr umen und in einer Umgebung vorgesehen die frei von Schmutz l und Schmiermitteln ist Entsprechend seiner Bauform ist der M 660 f r die Positionierung Justierung und Drehung von Lasten in einer Rotationsachse bei verschiedenen Geschwindigkeiten im Intervallbetrieb vorgesehen Der M 660 ist nicht vorgesehen f r Anwendungen in Bereichen in denen ein Ausfall erhebliche Risiken f r Mensch oder Umwelt zur Folge h tte Die bestimmungsgem e Verwendung des M 660 ist nur in komplett montiertem und angeschlossenem Zustand m glich Der M 660 verwendet als Antrieb PlLine Ultraschall Piezomotoren und muss mit einem geeigneten Controller S 12 betrieben werden Der Controller ist nicht im Lieferumfang des M 660 enthalten 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise Der M 660 ist nach dem Stand
9. 101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 6 Inbetriebnahme und Betrieb 6 2 M 660 mit Controller C 867 in Betrieb nehmen HINWEIS P A Falsche Parametereinstellungen i Bei Verwendung der im Lieferumfang des Controllers C 867 enthaltenen Software k nnen die Betriebsparameter des M 660 aus einer Verstellerdatenbank geladen werden Die Verstellerdatenbank P Stages2 dat enth lt die Standard Parameterwerte Ihres Drehtischs f r die Ausf hrung erster Testbewegungen bei der Inbetriebnahme Je nach Anwendung kann die Verwendung der Standard Parameterwerte z B f r P Term l Term D Term Beschleunigung und Geschwindigkeit jedoch zu Sch den am Drehtisch f hren insbesondere bei hohen Lasten gt Wenn m glich F hren Sie die erste Inbetriebnahme ohne Last durch gt Installieren Sie stets die aktuellste Version der Verstellerdatenbank PIStages2 dat auf Ihrem PC Bei Inbetriebnahme mit Last gt Stellen Sie vor der Inbetriebnahme sicher dass der M 660 ordnungsgem installiert ist S 17 gt Passen Sie f r die optimale Performance der bewegten Achse die Betriebsparameter des C 867 an z B P Term I Term D Term Beschleunigung Geschwindigkeit siehe C 867 Benutzerhandbuch gt Speichern Sie die neuen Parameterwerte f r die sp tere Verwendung in einer Verstellerdatenbank auf dem PC oder im permanenten Speicher des Controllers siehe C 867 Benutzerhandbuch und PIMikroMove Handbuch Vor
10. 3 von geeigneter L nge S 49 Geeignetes Werkzeug zur Befestigung der Schrauben Last befestigen 1 Richten Sie die Last so auf dem M 660 aus dass sich die Montagebohrungen in Last und bewegter Plattform berdecken 2 Befestigen Sie die Last mit mindestens drei Schrauben 3 berpr fen Sie den spielfreien Sitz der Last auf der bewegten Plattform des M 660 5 5 Vakuumversion an Controller anschlie en Bei der Vakuumversion des M 660 ist die Installation einer Vakuumdurchf hrung S 12 erforderlich Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 Der Controller ist ausgeschaltet Sie haben den M 660 an den Schutzleiter angeschlossen S 19 Sie haben die Technical Note C815T0003 f r die Vakuumdurchf hrung C 815 VF gelesen und verstanden 24 Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation Werkzeug und Zubehor Vakuumdurchf hrung C 815 VF S 12 D Sub 15 PlLine Verlangerungskabel K030B0420 S 12 MDR14 auf D Sub 15 1 5 m luftseitig Geeignetes Werkzeug zur Installation der Vakuumdurchf hrung Vakuumdurchf hrung installieren 1 Entnehmen Sie der Technical Note C815T0003 die Abmessungen der Vakuumdurchf hrung siehe shell size 2 Versehen Sie die Vakuumkammer mit einem passenden Durchbruch Bauen Sie die Vakuumdurchf hrung so ein dass sich die Buchse D Sub 15 w in der Vakuumkammer befi
11. 660 45V keine Richtungserkennung M 660 55 und M 660 55V richtungserkennender Referenzschalter Die Befehle die das Referenzsignal verwenden sind im Benutzerhandbuch des Controllers und oder in den entsprechenden Softwarehandb chern beschrieben Nach einer Referenzfahrt des M 660 befindet sich die 0 Markierung der bewegten Plattform ber dem Referenzschalter M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 13 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 4 Auspacken 4 Auspacken INFORMATION Beim Umgang mit der Vakuumversion des Drehtischs muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden Bei PI werden alle Teile vor dem Zusammenbau gereinigt W hrend der Montage und w hrend des Messens wird mit puderfreien Handschuhen gearbeitet Danach wird der Drehtisch noch einmal per Wischreinigung ges ubert und doppelt in vakuumtaugliche Folie eingeschwei t gt Ber hren Sie den Drehtisch nur mit puderfreien Handschuhen gt Wenn notwendig s ubern Sie den Drehtisch per Wischreinigung nach dem Auspacken 1 Packen Sie den M 660 vorsichtig aus 2 Vergleichen Sie die erhaltene Lieferung mit dem Inhalt laut Vertrag und mit der Packliste 3 berpr fen Sie den Inhalt auf Anzeichen von Sch den Bei Anzeichen von Besch digungen oder fehlenden Teilen wenden Sie sich sofort an Pl 4 Bewahren Sie das komplette Verpackungsmaterial auf f r den Fall dass das Produkt zur ckgeschickt werden muss M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 15 PIEZ
12. 937B1 EP1210759B1 EP1267425B1 EP1581992B1 EP1656705B1 EP1747594B1 EP1812975B1 EP1861740B1 EP1915787B2 EP1938397B1 EP2095441B1 EP2130236B1 EP2153476B1 EP2164120B1 EP2258004B1 EP2608286A2 USA US2010 0013353A1 US5872418A US6765335B2 US6806620B1 US6806620B1 US7218031B2 US7598656B2 US7737605B2 US7795782B2 US7834518B2 US7973451B2 US8253304B2 US8344592B2 US8482185B2 Japan JP2011514131 JP2011522506 JP3804973B2 JP4377956 JP4435695 JP4477069 JP4598128 JP4617359 JP4620115 JP4648391 JP4860862 JP4914895 JP2013539346 China ZL200380108542 0 ZL200580015994 3 ZL200580029560 9 ZL200580036995 6 ZL200680007223 4 ZL200680030007 1 ZL200680042853 5 Internationale Patentanmeldungen WO2009059939A2 WO2010121594A1 WO2012048691A2 WO2012113394A1 WO2012155903A1 WO2013034146A3 WO2013117189A2 2014 Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Karlsruhe Deutschland Die Texte Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich gesch tzt Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG beh lt insoweit s mtliche Rechte vor Die Verwendung dieser Texte Bilder und Zeichnungen ist nur auszugsweise und nur unter Angabe der Quelle erlaubt Originalbetriebsanleitung Erstdruck 12 02 2014 Dokumentnummer MP101D CBo Version 1 4 0 nderungen vorbehalten Dieses Handbuch verliert seine G ltigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision Die jeweils aktuelle Revision ist auf unserer Website zum Herunterladen S 3 ver
13. MP101D M 660 Drehtisch Benutzerhandbuch Version 1 4 0 Datum 12 02 2014 Dieses Dokument beschreibt die folgenden Produkte M 660 45 PlLine Pr zisionsdrehtisch 108 mm 360 4 urad Aufl sung M 660 45V PlLine Pr zisionsdrehtisch 108 mm 360 4 urad Aufl sung vakuumkompatibel bis 10 hPa M 660 55 PlLine Drehtisch 108 mm 360 34 urad Aufl sung M 660 55V PlLine Drehtisch 108 mm 360 34 prad Aufl sung vakuumkompatibel bis 10 hPa Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 76228 Karlsruhe Germany _ Telefon 49 721 4846 0 Telefax 49 721 4846 1019 E Mail info pi ws PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS PI Physik Instrumente PI GmbH 8 Co KG ist Inhaberin der nachfolgend aufgef hrten Marken PIO PICO PICMA PlLine PIFOC PiezoWalk NEXACT NEXLINE NanoCube NanoAutomation Picoactuator PInano Im technologischen Umfeld der Ultraschall Piezomotoren PlLine halt PI folgende Patente oder Patentanmeldungen Deutschland DE102004024656A1 DE102004044184B4 DE102004059429B4 DE102005010073A1 DE102005039357B4 DE102005039358A1 DE102006041017B4 DE102008012992A1 DE102008023478A1 DE102008058484A1 DE102010022812A1 DE102010047280A1 DE102010055848 DE102011075985A1 DE102011082200A1 DE102011087542B3 DE102011087542B3 DE102011087801B4 DE102011108175 DE102012201863B3 DE19522072C1 DE19938954A1 Europa EP0789
14. O NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation 5 Installation In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Installation oooooonnnninnnnnnicnnnnacoconnnoncccnnarcccnn narran rn 17 M 660 an Schutzleiter anschlie en cee eeeeaeeeeeeeseeeeetaeeesaeeeeneeee 19 M 660 auf Unterlage befestigen rra 21 Last am M 660 befestigen u444u4s4Haannnnnnnannnnnnnannnnnnnannnnnnnnnnnnnnnannnnnnnannnnnnnannnn 23 Vakuumversion an Controller anschlefen 24 Verl ngerungskabel anschlie en AAA 26 5 1 Allgemeine Hinweise zur Installation A Gef hrliche Spannung und Restladung auf Piezoaktoren Piezomotoren werden von Piezoaktoren angetrieben Piezoaktoren k nnen nach dem Trennen von der Elektronik f r einige Stunden elektrisch geladen bleiben Auch Temperaturschwankungen k nnen Ladungen in Piezoaktoren erzeugen Das Ber hren oder Kurzschlie en der Kontakte im Anschlussstecker des M 660 kann zu leichten Verletzungen durch Stromschlag f hren gt Ber hren Sie nicht die Kontakte im Anschlussstecker des M 660 HINWEIS A N Schmiermittel Schmutz Kondenswasser Schmutz l Schmiermittel und Kondenswasser machen den Motor Antrieb funktionsunf hig gt Halten Sie die Piezomotoren des M 660 frei von Schmiermitteln gt Halten Sie den M 660 frei von Schmutz und Kondenswasser M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 17 5 Installation P I HINWEIS Erwarmung des M 660 w hrend des Betriebs Die wahrend
15. Verl ngerungskabels an die Standardversion des M 660 26 Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation C 815 VF Vakuumdurchf hrung M 663 AB Adapterbox PlLine Kabel PlLine Kabel Versteller y Controller Luft Vakuum Abbildung 9 Anschluss eines Verl ngerungskabels an die Vakuumversion des M 660 M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 27 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 6 Inbetriebnahme und Betrieb 6 Inbetriebnahme und Betrieb In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb 29 M 660 mit Controller C 867 in Betrieb nehmen 33 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb N Stromschlaggefahr bei fehlendem Schutzleiter Bei fehlendem oder nicht ordnungsgem angeschlossenem Schutzleiter k nnen im Falle eines Fehlers oder Defekts gef hrliche Ber hrungsspannungen am M 660 entstehen Wenn Ber hrungsspannungen vorhanden sind kann das Ber hren des M 660 zu leichten Verletzungen durch Stromschlag f hren gt Schlie en Sie den M 660 vor Inbetriebnahme an einen Schutzleiter an S 19 gt Entfernen Sie den Schutzleiter nicht w hrend des Betriebs gt Wenn der Schutzleiter vor bergehend entfernt werden muss z B bei Umbauten schlie en Sie den M 660 vor erneuter Inbetriebnahme wieder an den Schutzleiter an HINWEIS Sch den bei Anschluss eines falschen Controllers Das Anschlie en eines Drehtisch
16. Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enth lt die erforderlichen Informationen f r die bestimmungsgem e Verwendung des M 660 Grunds tzliches Wissen zu geregelten Systemen zu Konzepten der Bewegungssteuerung und zu geeigneten Sicherheitsma nahmen wird vorausgesetzt Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit 1 2 Symbole und Kennzeichnungen In diesem Benutzerhandbuch werden folgende Symbole und Kennzeichnungen verwendet Gef hrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen leichte Verletzungen gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden HINWEIS D Gef hrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen Sachsch den gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 oz 1 ber dieses Dokument P I INFORMATION Informationen zur leichteren Handhabung Tricks Tipps etc Symbol Bedeutung Kennzeichnung 1 Handlung mit mehreren Schritten deren Reihenfolge 2 eingehalten werden muss gt Handlung mit einem Schritt oder mehreren Schritten deren Reihenfolge nicht relevant ist Aufz hlung S 5 Querverweis auf Seite 5 RS 232 Bedienelement Beschriftung auf dem Produkt Beispiel Buchse der RS 232 Schnittstelle Auf dem Produkt angebrachtes Warnzeichen das auf ausf hrliche Informationen in diesem Handbuch verweist 1 3 Begriffserkl rung Belastbarkeit Maximale Belas
17. an le f r PlLine Systeme C 867 0E OEM Treiber Controller f r PlLine Ultraschall Piezomotoren 1 Kanal gt Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst S 39 12 Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 3 Produktbeschreibung 3 6 Optionales Zubeh r Bestell Beschreibung nummer M 663 AB Adapterbox MDR auf D Sub 15 pol f r PlLine Versteller mit langem Kabel Technical Note M663T0015 f r Adapterbox Verl ngerungskabel zur Verwendung mit Adapterbox M 663 AB Verl ngerungskabel f r PlLine MDR auf D Sub 15 pol 1 m Verl ngerungskabel f r PlLine MDR auf D Sub 15 pol 3m Verl ngerungskabel f r PlLine MDR auf D Sub 15 pol 5 m L ngere Kabel auf Anfrage erh ltlich gt Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst S 39 3 7 Technische Ausstattung 3 7 1 Rotationsencoder Der M 660 ist mit einem optischen Rotationsencoder ausgestattet Die Aufl sung entnehmen Sie der Tabelle im Abschnitt Spezifikationen S 41 Optische Rotationsencoder messen die Ist Position direkt Direktmetrologie Fehler im Antriebsstrang wie z B Nichtlinearit t Umkehrspiel oder elastische Deformation k nnen die Positionsmessung nicht beeinflussen 3 7 2 Referenzschalter Die Drehtische M 660 verf gen ber einen optischen Referenzschalter siehe Referenzschalter Spezifikationen S 42 Verwendeter Referenzschaltertyp M 660 45 und M
18. aussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb gelesen und verstanden S 29 v Sie haben das Benutzerhandbuch des Piezomotorcontrollers treibers C 867 gelesen und verstanden Bei Inbetriebnahme mit Last Der M 660 ist ordnungsgem installiert S 17 Der Piezomotorcontroller treiber C 867 und die ben tigte Software sind installiert Alle Anschl sse am C 867 sind eingerichtet siehe C 867 Benutzerhandbuch M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 33 6 Inbetriebnahme und Betrieb P I M 660 mit Controller C 867 in Betrieb nehmen gt Nehmen Sie die Achse in Betrieb siehe C 867 Benutzerhandbuch Die Inbetriebnahme umfasst folgende Schritte Auswahl des Verstellertyps Referenzwertbestimmung der Achse Kommandieren von ersten Bewegungen im geregelten Betrieb zum Test und zum Einlaufen der Mechanik Im C 867 Benutzerhandbuch wird die Inbetriebnahme anhand des Programms PIMikroMove beschrieben 34 Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 7 Wartung 7 Wartung In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Wartung nenn nnnnnnnnnnnn 35 Wartungsfahrt durchf hren 2 2u u 22 0se2e een AENA 35 M 660 reinigen au ee 36 7 1 Allgemeine Hinweise zur Wartung HINWEIS A Sch den durch falsche Wartung i i Eine falsche Wartung kann zum Ausfall des M 660 f hren gt L sen Sie Schrauben nur entsprechend den Anleitungen in
19. den M 660 zu beachten Einsatzbereich Nur zur Verwendung in Innenr umen Maximale H he 2000 m Luftdruck 1100 hPa bis 0 1 hPa entspricht etwa 825 Torr bis 0 075 Torr Relative Luftfeuchte H chste relative Luftfeuchte 80 f r Temperaturen bis 31 C Linear abnehmend bis 50 relativer Luftfeuchte bei 40 C berspannungskategorie Me 44 Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten 10 3 Motorleistung 10 3 1 Motorleistung und Betriebsspannung Die folgende Tabelle zeigt den Zusammenhang zwischen Betriebsspannung und Motorleistung des M 660 Die Betriebsspannung wird vom Controller C 867 ausgegeben und h ngt vom vorgegebenen Stellwert ab Das Vorzeichen des Stellwerts bestimmt die Bewegungsrichtung Motorleistung Betriebsspannung Entsprechender Stellwert am C 867 EES EE ER Vorgabe im geregelten Betrieb durch den Regelalgorithmus im ungeregelten Betrieb durch den Befehl smo INFORMATION Der Stellwert und damit die ausgegebene Betriebsspannung wird vom Controller C 867 mit dem Parameter Maximum Motor Output ID 0x9 begrenzt Wenn Sie die Betriebsparameter des M 660 aus der Verstellerdatenbank PIStages2 dat laden wird dieser Parameter auf einen passenden Wert gesetzt Sie k nnen den Stellwert des C 867 wie folgt berpr fen gt Fragen Sie mit dem Befehl smo den aktuellen Stellwert ab gt Zeichnen Sie mit dem Datenrekorder den Stellwert w hrend der B
20. des Betriebs des M 660 abgegebene Warme kann Ihre Anwendung beeintrachtigen gt Installieren Sie den M 660 so dass die Anwendung nicht durch die abgegebene Warme beeintrachtigt wird HINWEIS Ungeeignete Kabel Ungeeignete Kabel k nnen Sch den am Controller verursachen und die Leistung des M 660 beeinflussen gt Verwenden Sie f r den Anschluss des M 660 an den Controller nur Originalteile von Pl gt Wenn Sie langere Kabel ben tigen verwenden Sie die Adapterbox M 663 AB und ein Verlangerungskabel von PI S 26 HINWEIS Ungewollte Positionsanderungen bei vertikaler Montage Wenn die Last bei vertikaler Montage des Drehtischs das maximale Drehmoment des Antriebs Uberschreitet treten ungewollte Positionsanderungen der bewegten Plattform auf Ungewollte Positionsanderungen der bewegten Plattform k nnen den Antrieb die Last oder die Umgebung besch digen gt Stellen Sie sicher dass die installierte Last bei vertikaler Montage des Drehtischs geringer ist als das maximale Drehmoment des Antriebs S 41 INFORMATION F r die optimale Wiederholgenauigkeit des Positionierens m ssen alle Komponenten spielfrei befestigt sein gt Stellen Sie die spielfreie Befestigung von Drehtisch und Last sicher 18 Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation gt Wenn m glich f hren Sie eine Simulation der Drehtischbewegungen mit montierter Last oder gee
21. diesem Handbuch gt Halten Sie die Piezomotoren des M 660 frei von Schmiermitteln 7 2 Wartungsfahrt durchf hren In Abh ngigkeit von den Einsatzbedingungen und der Einsatzdauer des M 660 sind die folgenden WartungsmaBnahmen erforderlich Wartungsfahrt Die Wartungsfahrt dient zum Verteilen des vorhandenen Schmiermittels auf den Lagern des M 660 und muss mindestens eine volle Umdrehung umfassen gt F hren Sie nach 500 Einsatzstunden oder sp testens nach 1 Jahr eine Wartungsfahrt durch damit sich das vorhandene Schmiermittel gleichm ig auf den Lagern verteilt gt Falls Sie den M 660 im industriellen Dauereinsatz ber einen kleinen Verfahrbereich bewegen lt 20 f hren Sie nach jeweils 5000 Bewegungszyklen eine Wartungsfahrt durch M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 35 7 Wartung P I Nachschmieren Unter Laborbedingungen ist ein Nachschmieren der Lager des M 660 nur in Ausnahmef llen n tig Im industriellen Dauereinsatz m ssen die Intervalle f r das Nachschmieren individuell festgelegt werden gt Schmieren Sie die Lager des M 660 nur nach R cksprache mit unserem Kundendienst S 39 nach gt Gehen Sie beim Nachschmieren der Lager entsprechend der Wartungsanleitung vor die Sie von unserem Kundendienst erhalten gt Stellen Sie sicher dass die Piezomotoren des M 660 nicht mit Schmiermitteln in Kontakt geraten 7 3 M 660 reinigen Voraussetzungen v Sie haben den Drehtisch vom Controller getren
22. digen gt gt Stellen Sie sicher dass im Bewegungsbereich des Drehtischs keine Kollisionen zwischen Drehtisch zu bewegender Last und Umgebung m glich sind Platzieren Sie keine Gegenst nde in Bereichen in denen sie von bewegten Teilen erfasst werden k nnen Halten Sie bei einer Fehlfunktion des Controllers die Bewegung sofort an Wenn m glich passen Sie die Stellwegsgrenzen in der zur Bewegungskommandierung verwendeten Software an Ihr mechanisches System an 30 Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 6 Inbetriebnahme und Betrieb HINWEIS Unkontrollierte Schwingungen Ihre Anwendung kann durch unkontrollierte Schwingung des M 660 besch digt werden Wenn w hrend des Betriebs des M 660 Ger usche auftreten gt Schalten Sie unverz glich die Servoregelung der betreffenden Achsen aus gt Pr fen Sie die Einstellungen der Regelparameter HINWEIS berhitzung bei Dauerbetrieb H chste dynamische Kraft und Haltekraft werden bei maximaler Motorleistung erreicht allerdings kann der M 660 damit im Dauerbetrieb berhitzen gt Beachten Sie die empfohlene Motorleistung in Abh ngigkeit von der Einschaltdauer und Umgebungstemperatur S 47 HINWEIS Sch den oder erheblicher Verschlei durch hohe Beschleunigungen Hohe Beschleunigungen k nnen Sch den oder erheblichen Verschlei an der Mechanik verursachen gt Halten Sie bei einer Fehlfunktion de
23. e aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 39 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten 10 Technische Daten In diesem Kapitel Spezifikationen iii ii i 41 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen oocconoccccnonociconnnocincnonannnnnanannnnnnnano 44 Motorleistung ur ee 45 ABMESSUNGEN coc eN 49 A ee 50 10 1 Spezifikationen 10 1 1 Datentabelle M 660 45 M 660 55 Einheit Toleranz Aktive Achsen 6 6 Bewegung und Positionieren Rotationsbereich Unbegrenzt Unbegrenzt 2 Integrierter Sensor Inkrementeller Inkrementeller Encoder Encoder Rechnerische Aufl sung 4 0 00023 34 0 00195 urad typ Kleinste Schrittweite 12 34 urad typ Bidirektionale 24 68 urad Wiederholgenauigkeit Geschwindigkeit 720 720 Is max Mechanische Eigenschaften Belastbarkeit Axialkraft 20 20 N max Selbsthemmung 0 3 0 3 Nm max Drehmoment in gegen 0 3 0 3 Nm max Uhrzeigerrichtung 82 Antriebseigenschaften Motortyp U 164 PlLine U 164 PlLine Ultraschall Ultraschall Piezomotor Piezomotor Referenzschalter Optisch Optisch Anschl sse und Umgebung Betriebstemperaturbereich 20 bis 50 20 bis 50 C Material Aluminium Aluminium eloxiert eloxiert M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 41 10 Technische Daten PI M 660 45 M 660 55 Einheit Toleranz Masse 470 470 g 5 Kabellange 1 5 1 5 m 10 mm Stecker MDR
24. en und reinigen M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 7 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 3 Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung In diesem Kapitel deele CL 9 IN ele ATTEN 10 Produktbeschritund isis ae ence ies seeedt tveeendenasseunnneennetbeaehiits 10 LISTS PUTT ANG ti cscs sexta vetoes A A E A 12 Geeignete G ntr ller u essen 12 Optionales Zubeh r u een 13 Technische Ausstattung viii en 13 3 1 Modell bersicht Der M 660 ist in folgenden Ausf hrungen erh ltlich Modell Beschreibung M 660 45 PlLine Pr zisionsdrehtisch 108 mm 360 4 urad Aufl sung M 660 45V PlLine Pr zisionsdrehtisch 108 mm 360 4 urad Aufl sung vakuumkompatibel bis 10 hPa M 660 55 PlLine Drehtisch 108 mm 360 34 urad Aufl sung M 660 55V PlLine Drehtisch 108 mm 360 34 urad Aufl sung vakuumkompatibel bis 10 hPa M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 9 3 Produktbeschreibung 3 2 Produktansicht 1560 45 PI ares 7 KS affer Abbildung 1 M 660 Produktansicht 1 Bewegte Plattform 2 Grundk rper 3 Kabel f r den Anschluss an den Controller Der Pfeil in der Abbildung zeigt die positive Bewegungsrichtung 3 3 Produktbeschriftung Abbildung 2 M 660 Position der Produktbeschriftung exemplarische Ansicht PI 10 Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 3 Produktbeschreibung poten m or Beschreibung Herstel
25. er 5 e Iesse na B4 Io Ausgang Encoderkanal A invertiert RS 422 ps Pe rasgan Encccaana B ns Be ENCB Ausgang Encoderkanal B invertiert RS 422 50 Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten Stecker D Sub 15 m Nur f r Vakuumversionen N AO DON f U sooo Ny 15 Abbildung 15 Vorderansicht des D Sub15 Steckers Signal Funktion Eingang Piezo 71 VAC RMS Eingang Piezo 71 VAC RMS Ausgang Encoderkanal A invertiert RS 422 Ausgang Encoderkanal B invertiert RS 422 11 Eingang Piezo 71 VAC RMS E 5 E M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 51 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 11 Altger t entsorgen 11 Altger t entsorgen Nach geltendem EU Recht d rfen Elektroger te in den Mitgliedsstaaten der EU nicht ber den kommunalen Restm ll entsorgt werden Entsorgen Sie das Altger t unter Beachtung der internationalen nationalen und regionalen Richtlinien Um der Produktverantwortung als Hersteller gerecht zu werden bernimmt die Physik Instrumente PI GmbH amp Co KG kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines Pl Altgerates sofern es nach dem 13 August 2005 in Verkehr gebracht wurde Falls Sie ein solches Altger t von PI besitzen k nnen Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden Physik Instrumente PI GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 D 76228 Karlsruhe M 660 D
26. ewegung auf als motor output Weitere Informationen siehe das Benutzerhandbuch des zum Betrieb des M 660 verwendeten Controllers S 12 M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 45 10 Technische Daten P I 10 3 2 Geschwindigkeit und Drehmoment Die folgende Abbildung kann verwendet werden um Geschwindigkeit und Drehmoment des M 660 bei unterschiedlicher Motorleistung abzusch tzen Motorleistung 10 80 50 v amp o 2 3 S lt o o o o 0 15 Drehmoment in Nm Abbildung 10 Zusammenhang zwischen Geschwindigkeit und Drehmoment des M 660 bei unterschiedlicher Motorleistung 46 Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI wS 10 Technische Daten 10 3 3 Motorleistung und Lebensdauer Motorleistung Einschaltdauer und Umgebungstemperatur beeinflussen die Lebensdauer des Drehtischs Um berhitzung und hohen Verschlei zu vermeiden sollten die Motorleistung und die Einschaltdauer die im nachfolgenden Diagramm angegebenen Grenzen nicht berschreiten Ein Lastzyklus entspricht einer Positionierfahrt und beinhaltet das Beschleunigen Fahren Abbremsen sowie den Stillstand Pause Die Spitzenleistung des Motors sollte nur sporadisch abgerufen werden und dient der Regelreserve INFORMATION Im Vakuum erfolgt keine W rmeabfuhr ber Konvektion gt Betreiben Sie die Vakuumversion des M 660 mit einer 20 geringeren Motorleistung als im Diagramm angegeben ode
27. f gbar PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS Inhalt 1 ber dieses Dokument 1 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs AAA 1 1 2 Symbole und kennzeichnungen nnne nena 1 1 3 Begriffserkl rung een 2 1 4 Abbildungen sense anne ann rare 3 1 5 Mitgeltende Dokumemte AAA 3 1 6 Handb cher bherunterladen AA 3 2 Sicherheit 5 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung nn 5 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise cccccceecceceeeeeseeeeeeeeeeeeeeeseaeeesaaeeeeaaeseeeeeeeas 5 2 3 Organisatorische Ma nahmen nn 7 3 Produktbeschreibung 9 3 1 Modell bersicht 2 2 een 9 3 2 tele TEE 10 3 3 Produktbeschrttumg inneasan ua cnn nnnn cnn anar aran 10 3 4 LUN E 12 3 5 Geeignete Controller c oooioconnnnninnnnnnnnccnnnccnnoconnnccnnnccnn criar nn 12 3 6 Optionales Zubeh r ccceecceeeteceeeee cece eeeeaeeeeaeeceeeeesaaeeeeaaeeseaeeseaeeesaeeseeeseneeeeaas 13 3 7 Technische Ausstattung 13 3 7 1 RotatiONSENCONET crio ea 13 3 7 2 ReferenzschalteT ooooooccconnccccononccccnnonccnnnnonecnnnnnnecnnnnnnecnnnnnnn cnn nana cnn nan 13 4 Auspacken 15 5 Installation 17 5 1 Allgemeine Hinweise zur Installation A 17 5 2 M 660 an Schutzleiter anschlie en nn 19 5 3 M 660 auf Unterlage befestigen nana cnn n nana nn 21 5 4 Last am M 660 befestigen ee 23 5 5 Vakuumversion an Controller anschliefen 24 5 6 Verl ngerungskabel anschlie en A 26 6 Inbetriebnahme und Betrieb 29 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbet
28. ignete Berechnungen durch um Kollisionen und ung nstige Schwerpunktkonstellationen zu erkennen gt Wenn n tig treffen Sie geeignete konstruktive Ma nahmen um Kollisionen und Instabilit ten im Gesamtsystem zu vermeiden gt Vermeiden oder kennzeichnen Sie Gefahrenbereiche die durch den Einbau des Drehtischs und durch die Anwendung entstehen gem den gesetzlichen Vorschriften F r weitere Informationen zu den Einsatzbedingungen beachten Sie die Angaben im Abschnitt Motorleistung S 45 5 2 M 660 an Schutzleiter anschlie en INFORMATION gt Beachten Sie die jeweils geltenden Normen f r die Schutzleiterbefestigung Am M 660 befindet sich neben dem Kabelabgang eine Bohrung M4 zur Schutzleiterbefestigung In der folgenden Abbildung ist diese Bohrung mit dem Schutzleitersymbol gekennzeichnet Abbildung 3 Gewindebohrung M4 zur Befestigung des Schutzleiters M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 19 5 Installation P I Abbildung 4 Montage des Schutzleiters Profilansicht Grundk rper des M 660 Unterlegscheibe Sicherungsscheibe Schraube Kabelschuh Schutzleiter Da A O Noa Voraussetzung v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 v Der M 660 ist nicht mit dem Controller verbunden Werkzeug und Zubeh r Geeigneter Schutzleiter Kabelquerschnitt 20 75 mm Mitgelieferter Schraubensatz M4 Schutzerde S 12 f r die Montage eines Schutzleiters
29. lerlogo Warnzeichen Handbuch beachten M 660 45 Produktbezeichnung Beispiel die Stellen nach dem Punkt kennzeichnen das Modell 113064246 Seriennummer Beispiel individuell f r jeden M 660 Bedeutung der Stellen Zahlung von links 1 interne Information 2 und 3 Herstellungsjahr 4 bis 9 fortlaufende Nummer A WWW PI WS Herstelleradresse Website DataMatrix Code Beispiel enth lt die ee SSC of Origin Herkunftsland Germany Schutzleitersymbol kennzeichnet den Schutzleiteranschluss des M 660 M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 11 3 Produktbeschreibung P I 3 4 Lieferumfang Artikel Komponenten nummer M 660 1 Drehtisch gem Bestellung S 9 000036450 1 Schraubensatz M4 Schutzerde bestehend aus 1 Flachkopfschraube mit Kreuzschlitz M4x8 ISO 7045 2 Sicherungsscheiben 2 Unterlegscheiben 000029968 Schraubensatz zum Befestigen des M 660 bestehend aus 5 Zylinderschrauben M6x12 ISO 4762 1 Sechskant Winkelschraubendreher MP121EK Kurzanleitung f r PlLine Versteller Zus tzlicher Lieferumfang bei Vakuumversionen C 815 VF 1 Vakuumdurchf hrung D Sub 15 Technical Note C815T0003 f r Vakuumdurchf hrung K030B0420 Verl ngerungskabel f r PlLine MDR14 auf D Sub 15 15m 3 5 Geeignete Controller Bestellnummer Beschreibung C 867 160 Piezomotorcontroller Treiber vernetzbar 1 Kanal f r PlLine Systeme C 867 260 Piezomotorcontroller Treiber 2 K
30. n Sie die Handb cher in ihrer aktuellen Version F r einige Produkte z B Hexapodsysteme und Elektroniken die mit einer CD ausgeliefert werden ist der Zugang zu den Handb chern durch ein Kennwort gesch tzt Das Kennwort ist auf der CD enthalten M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 1 ber dieses Dokument P I Frei zug ngliche Handb cher herunterladen 1 2 3 ffnen Sie die Website http www pi portal ws Klicken Sie auf Downloads Klicken Sie auf die entsprechende Kategorie z B M Hexapods Micropositioning Klicken Sie auf den entsprechenden Produktcode z B M 660 Klicken Sie auf Documents Die vorhandenen Handb cher werden angezeigt Klicken Sie auf das gew nschte Handbuch und speichern Sie es auf der Festplatte Ihres PC oder auf einem Datentr ger Kennwortgesch tzte Handb cher herunterladen 1 F hren Sie die Schritte 1 bis 5 f r das Herunterladen frei zug nglicher Handb cher aus Legen Sie die CD des Produkts in das PC Laufwerk ein Wechseln Sie auf der CD in das Verzeichnis Manuals ffnen Sie im Verzeichnis Manuals die Release News Datei mit dem Namensbestandteil Releasenews Entnehmen Sie dem Abschnitt User login for software download in den Release News den Benutzernamen user name und das Kennwort password Geben Sie auf der Website im Bereich User login am linken Seitenrand den Benutzernamen und das Kennwort in die entsprechenden Felder ein Klicken Sie auf Login Die
31. ndet Vakuumversion an Controller anschlie en gt Verbinden Sie M 660 Versteller Vakuumdurchf hrung und Controller wie im untenstehenden Anschlussschema abgebildet Achten Sie auf die Zuordnung die durch die Beschriftung von Buchsen Steckern und Kabeln vorgegeben ist C 815 VF Vakuumdurchf hrung Versteller Controller Vakuum Luft Abbildung 7 Anschluss der Vakuumversion an den Controller M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 25 5 Installation P I 5 6 Verl ngerungskabel anschlie en Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 Der Controller ist ausgeschaltet Sie haben den M 660 an den Schutzleiter angeschlossen S 19 Bei Vakuumversionen Die Vakuumdurchf hrung C 815 VF ist installiert S 24 Werkzeug und Zubeh r Adapterbox M 663 AB MDR14 auf D Sub 15 f r PlLine Versteller mit langem Kabel erl ngerungskabel f r PlLine MDR14 auf D Sub 15 1 bis 5 m luftseitig Nicht im Lieferumfang siehe Optionales Zubeh r S 13 Verl ngerungskabel anschlie en gt Verbinden Sie M 660 Versteller und Controller ber die Adapterbox und das Verl ngerungskabel wie im jeweiligen Anschlussschema abgebildet Achten Sie auf die Zuordnung die durch die Beschriftung von Buchsen Steckern und Kabeln vorgegeben ist M 663 AB Adapterbox PlLine Kabel Versteller LSZ Controller Abbildung 8 Anschluss eines
32. nt Drehtisch reinigen gt Verwenden Sie keine organischen L sungsmittel Nur wenn der Drehtisch nicht im Vakuum eingesetzt wird gt Wenn notwendig reinigen Sie die Oberfl chen des Drehtischs mit einem Tuch das leicht mit einem milden Reinigungs oder Desinfektionsmittel angefeuchtet wurde Wenn der Drehtisch im Vakuum eingesetzt wird gt Ber hren Sie den Drehtisch nur mit puderfreien Handschuhen gt Wenn notwendig s ubern Sie den Drehtisch per Wischreinigung 36 Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 8 St rungsbehebung 8 Storungsbehebung mum M giche Ursachen Stee Ger usche w hrend Unkontrollierte Schalten Sie die Servoregelung der des Betriebs Schwingung des betreffenden Achsen unverz glich M 660 aus Pr fen Sie die Einstellungen der Regelparameter Drehtisch Einschwingfenster Verkleinern Sie das positioniert ungenau um die Zielposition Einschwingfenster settling window zu gro indem Sie am Controller die Parameterwerte f r die Grenzen des Einschwingfensters ndern Einzelheiten siehe das Benutzer handbuch des Controllers S 3 Erreichen der Einschwingfenster Vergr ern Sie das Zielposition dauert um die Zielposition Einschwingfenster settling window zu lange zu klein indem Sie am Controller die Parameterwerte f r die Grenzen des Einschwingfensters ndern Einzelheiten siehe das Benutzer handbuch des Controllers S 3 Erh hter Verschlei
33. r verringern Sie die Einschaltdauer Spitzenleistung des Motors bis zu 10 der Einschaltdauer im Lastzyklus Hohe Motorleistung bis zu 30 der Einschaltdauer im Lastzyklus z B Beschleunigen Abbremsen 3s o E 3 p o o 20 40 Umgebungstemperatur in C Abbildung 11 M 660 Empfohlene Einschaltdauer und Motorleistung in Abh ngigkeit von der Umgebungstemperatur M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 47 10 Technische Daten P I 10 3 4 Beeinflussung des Drehmoments durch Stillstandszeiten 100 90 80 70 60 50 40 30 20 10 Drehmoment in 0 4 8 12 16 20 24 Stillstandszeit in h Abbildung 12 Drehmoment des M 660 in Abh ngigkeit von der Stillstandszeit des Motors 48 Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 4 Abmessungen Abmessungen in mm 04 8 Cl re EW S 10 Technische Daten 116 110 116 gt Abbildung 13 M 660 45 und M 660 55 1 Position der 0 Markierung nach der Referenzwertbestimmung M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 49 10 Technische Daten P I 10 5 Pinbelegung Stecker MDR14 N10214 52B2VC 3M Nicht f r Vakuumversionen A1 A7 v o B1 B7 Abbildung 14 Vorderansicht des MDR14 Steckers CE EE CC av ra e ees ro e Jorangesenossen CEI Ausgang Referenza WS mem wer Ee
34. rehtisch MP101D Version 1 4 0 53 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 12 EG Konformit tserkl rung 12 EG Konformit tserkl rung PI Konformitatserklarung gem DIN EN ISO IEC 17050 1 2005 Hersteller Physik Instrumente PI GmbH amp Co KG Herstelleradresse Auf der R merstra e 1 D 76228 Karlsruhe Der Hersteller erkl rt hiermit dass das Produkt Produktbezeichnung PILine Drehtisch Modellnummer M 660 Produktausf hrungen alle alle einschl gigen Bestimmungen der Maschinenrichtlinie 2006 42 EG erf llt Au erdem erf llt es alle Bestimmungen der EMV Richtlinie 2004 108 EG sowie der RoHS Richtlinie 2011 65 EG Die zum Nachweis der Konformit t zugrundegelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet Sicherheit von Maschinen EN 12100 2010 Elektrische Sicherheit EN 61010 1 2010 Elektromagnetische Emission EN 61000 6 3 2007 EN 55011 2009 Elektromagnetische St rfestigkeit EN 61000 6 1 2007 Bevollm chtigte r f r die Zusammenstellung der relevanten technischen Unterlagen Marc Thelen Adresse siehe Herstelleradresse 29 November 2012 Karlsruhe Norbert Ludwig Gesch ftsf hrer PIEZO NANO POSITIONING Physik Instrumente PI GmbH amp Co KG Auf der R merstra e 1 76228 Karlsruhe Germany Telefon 49 721 4846 0 Telefax 49 721 4846 1019 E Mail info pi ws www pi ws Sr ne et SNUS M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 55
35. riebnahme und Betrieb 29 6 2 M 660 mit Controller C 867 in Betrieb nehmen 33 10 11 12 PI Wartung 35 7 1 Allgemeine Hinweise zur Wartung 35 7 2 Wartungsfahrt durchf hren nenn nnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nn 35 7 3 MEGGO Teinigen nee een 36 St rungsbehebung 37 Kundendienst 39 Technische Daten 41 10 1 Spezifikati nen zu een te 41 10 1 1 Datent belle catkins eee heben 41 10 1 2 Heierenzschalier Gpeziflkattonen 42 10 1 3 BemMessungsdateN oooccccnnnccccononoconnnonccnnnnnnccr nn cnn 42 10 1 4 Spezifikationen f r vakuumtaugliche Verslonen 43 10 2 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen ns nennen 44 10 3 Motorleistung zu en een 45 10 3 1 Motorleistung und Betriebsspannung ssesessssrrssesrresesrrssrerrssreesss 45 10 3 2 Geschwindigkeit und Drebmoment nn 46 10 3 3 Motorleistung und Lebensdauer AA 47 10 3 4 Beeinflussung des Drehmoments durch Stillstandszeiten 48 10 4 Abmessungen neuen en 49 10 5 Pinbelegung er 50 Altger t entsorgen 53 EG Konformit tserkl rung 55 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 1 Uber dieses Dokument 1 Uber dieses Dokument In diesem Kapitel Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs AAA 1 Symbole und kennzechnungen nenn nsen nsen nnen nnna 1 BegritiSerklarung iii A een A a 2 ADD UNEN cuore iii 3 Mitgeltende Dokumente ae nae 3 Handb cher herunterladen ooococooniccinnnnnoconnnoncconnconcnnnnn nn 3 1 1
36. s Controllers die Bewegung sofort an gt Bestimmen Sie die Maximalgeschwindigkeit f r Ihre Anwendung gt Beachten Sie die Angaben im Abschnitt Motorleistung S 45 INFORMATION Obwohl der M 660 theoretisch ger uschlos arbeitet sind w hrend des Betriebs Ger uschpegel von bis zu 50 dB A m glich Der Ultraschallantrieb des M 660 kann auch bei Frequenzen zwischen 100 und 500 kHz h here Ger uschpegel erzeugen INFORMATION Die positive Bewegungsrichtung entspricht der Drehung im Uhrzeigersinn Rechtsdrehung M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 31 6 Inbetriebnahme und Betrieb P I INFORMATION Die Wiederholgenauigkeit des Positionierens ist nur gew hrleistet wenn der Referenzschalter immer von derselben Seite angefahren wird Diese Anforderung erf llen Controller von Pl durch die automatische Richtungserkennung f r Referenzfahrten zum Referenzschalter INFORMATION F r maximale Krafterzeugung ist bei der Inbetriebnahme des M 660 und nach l ngeren Stillstandszeiten eine Einlaufprozedur erforderlich siehe auch Beeinflussung des Drehmoments durch Stillstandszeiten S 48 Nach dem Einlaufen erreicht der M 660 seine maximale dynamische Kraft gt Kommandieren Sie zum Einlaufen einige Bewegungszyklen bei niedriger Geschwindigkeit Die Bewegungszyklen sollten m glichst volle Umdrehungen umfassen Weitere Informationen zu den Einsatzbedingungen siehe Abschnitt Motorleistung S 45 32 Version 1 4 0 MP
37. s an einen ungeeigneten Controller kann zu Sch den am Drehtisch oder Controller f hren gt Schlie en Sie einen Drehtisch mit PlLine Ultraschall Piezomotoren nur an einen PlLine Controller an S 12 M 660 Drehtisch MP101D Version 1 4 0 29 6 Inbetriebnahme und Betrieb P I HINWEIS Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung kann Sch den am M 660 verursachen gt gt gt Verwenden Sie nur Controller Treiber und Originalzubeh r von PI f r den Betrieb des M 660 berschreiten Sie nicht den Betriebsspannungsbereich S 42 f r den der M 660 spezifiziert ist Betreiben Sie den M 660 nur wenn die Betriebsspannung ordnungsgem angeschlossen ist siehe Pinbelegung S 50 HINWEIS Unbeabsichtigte Bewegungen Der M 660 kann beim Anschlie en an den Controller unbeabsichtigte Bewegungen ausf hren Fehlerhafte Software und fehlerhafte Bedienung der Software k nnen ebenfalls unbeabsichtigte Bewegungen verursachen gt gt Platzieren Sie keine Gegenst nde in Bereichen in denen sie von bewegten Teilen erfasst werden k nnen Pr fen Sie vor dem Anschlie en des M 660 ob im Controller ein Makro als Startup Makro festgelegt ist und heben Sie die Auswahl des Startup Makros gegebenenfalls auf Sch den durch Kollisionen HINWEIS Kollisionen k nnen den Drehtisch die zu bewegende Last und die Umgebung besch
38. tbarkeit vertikal wenn der Drehtisch horizontal montiert ist Der Angriffspunkt der Last liegt in der Mitte der Plattform Rotationsencoder Der Rotationsencoder ist ein inkrementeller Sensor zur Erfassung von Lage nderungen Die Signale des Sensors werden f r die R ckmeldung der Achsenposition verwendet Nach dem Einschalten des Controllers muss eine Referenzwertbestimmung durchgef hrt werden bevor absolute Zielpositionen kommandiert und erreicht werden k nnen 2 Version 1 4 0 MP101D M 660 Drehtisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 1 ber dieses Dokument 1 4 Abbildungen Zugunsten eines besseren Verst ndnisses k nnen Farbgebung Gr Benverh ltnisse und Detaillierungsgrad in Illustrationen von den tats chlichen Gegebenheiten abweichen Auch fotografische Abbildungen k nnen abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar 1 5 Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erw hnten Ger te und Programme von PI sind in separaten Handb chern beschrieben C 867 160 PlLine Controller MS185E User Manual C 867 260 PILine Controller MS189E User Manual C 867 0E PlLine Controller MS195E User Manual PIMikroMove SM148E Software Manual PlLine Versteller MP121EK Kurzanleitung 1 6 Handb cher herunterladen INFORMATION Wenn ein Handbuch auf unserer Website fehlt oder Probleme beim Herunterladen auftreten gt Wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 39 Auf unserer Website finde

M660 Drehtisch - Physik Instrumente (PI)

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