Benutzerhandbuch MP67D - Physik Instrumente (PI)
Contents
1. nnneenn 43 10 3 3 Motorleistung und Lebensdauer 2 ccecceceeeeeeeeeecaeeeeeeeeeeeenaees 44 10 3 4 Beeinflussung der statischen Haltekraft durch Stillstandszeiten 45 10 4 Abmessungen nennen 46 10 5 Pinbelegung er 47 Altger t entsorgen 49 EG Konformit tserkl rung 51 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 1 Uber dieses Dokument 1 Uber dieses Dokument In diesem Kapitel Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ccoococcccconocccccononcccnnnancncnnnancnncnnnncncnnnns 1 Symbole und KennZeichnungen cccccccceecceceeeeeeeaeeeeaeeceeeeesaeeesaaeseeneeseeeeseaeeeeeeeeaes 1 Begriffserkl runga u el 2 Abbildungen ee a haben 3 Mitgeltende Dokumente ae aes 3 Handb cher herunterladen cccceeesecceeeeseeeeeeeeeeeeeeeseneeeeeseceeeeneneeeeeseeeeeeenenaeeeenenaes 3 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enthalt die erforderlichen Informationen fir die bestimmungsgemaBe Verwendung des M 686 Grunds tzliches Wissen zu geregelten Systemen zu Konzepten der Bewegungssteuerung und zu geeigneten SicherheitsmaBnahmen wird vorausgesetzt Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit 1 2 Symbole und Kennzeichnungen In diesem Benutzerhandbuch werden folgende Symbole und Kennzeichnungen verwendet Gef hrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen leichte Verletzunge2. Klicken Sie auf Documents Die vorhandenen Handb cher werden angezeigt Klicken Sie auf das gew nschte Handbuch und speichern Sie es auf der Festplatte Ihres PC oder auf einem Datentr ger Kennwortgesch tzte Handb cher herunterladen 1 F hren Sie die Schritte 1 bis 5 f r das Herunterladen frei zug nglicher Handb cher aus Legen Sie die CD des Produkts in das PC Laufwerk ein Wechseln Sie auf der CD in das Verzeichnis Manuals ffnen Sie im Verzeichnis Manuals die Release News Datei mit dem Namensbestandteil Releasenews Entnehmen Sie dem Abschnitt User login for software download in den Release News den Benutzernamen user name und das Kennwort password Geben Sie auf der Website im Bereich User login am linken Seitenrand den Benutzernamen und das Kennwort in die entsprechenden Felder ein Klicken Sie auf Login Die vorhandenen Handb cher werden angezeigt Klicken Sie auf das gew nschte Handbuch und speichern Sie es auf der Festplatte Ihres PC oder auf einem Datentr ger Version 1 3 0 MP67D M 686 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 2 Sicherheit 2 Sicherheit In diesem Kapitel Bestimmungsgem e Verwendung ccoccccccnonocccnnononcncnnnononnnn nono cnn nnnnn cnn nn n nn rra rra 5 Allgemeine Sicherheitshinweise ooooooonnnnninncnnnccnnnccnnnccnnonnccnnrnnn nn n nan cn nn ncnr nn rc nnnr nan 5 Organisatorische Ma nahmen c oococcccnnccconocanoncccnonnnnnnnnnnnn cnn cc narran rra 7
3. Relative Luftfeuchte H chste relative Luftfeuchte 80 f r Temperaturen bis 31 C Linear abnehmend bis 50 relativer Luftfeuchte bei 40 C esems PT ae IT M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 41 10 Technische Daten P I 10 3 Motorleistung 10 3 1 Motorleistung und Betriebsspannung 42 Die folgende Tabelle zeigt den Zusammenhang zwischen Betriebsspannung und Motorleistung des M 686 Die Betriebsspannung wird vom Controller C 867 ausgegeben und h ngt vom vorgegebenen Stellwert ab Das Vorzeichen des Stellwerts bestimmt die Bewegungsrichtung Motorleistung Betriebsspannung Entsprechender Stellwert am C 867 oe ve O Vorgabe im geregelten Betrieb durch den Regelalgorithmus im ungeregelten Betrieb durch den Befehl sMO INFORMATION Der Stellwert und damit die ausgegebene Betriebsspannung wird vom Controller C 867 mit dem Parameter Maximum Motor Output ID 0x9 begrenzt Wenn Sie die Betriebsparameter des M 686 aus der Verstellerdatenbank P Stages2 dat laden wird dieser Parameter auf einen passenden Wert gesetzt Sie k nnen den Stellwert des C 867 wie folgt berpr fen gt Fragen Sie mit dem Befehl smo den aktuellen Stellwert ab gt Zeichnen Sie mit dem Datenrekorder den Stellwert w hrend der Bewegung auf als motor output Weitere Informationen siehe das Benutzerhandbuch des zum Betrieb des M 686 verwendeten Controllers S 12 Version 1 3 0 MP67D M 686 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW
4. 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung Der M 686 ist ein Laborgerat im Sinne der DIN EN 61010 1 Er ist f r die Verwendung in Innenr umen und in einer Umgebung vorgesehen die frei von Schmutz Ol und Schmiermitteln ist Entsprechend seiner Bauform ist der M 686 fur die Positionierung Justierung und Verschiebung von Lasten in zwei Achsen bei verschiedenen Geschwindigkeiten im Intervallbetrieb vorgesehen Der M 686 ist nicht vorgesehen f r Anwendungen in Bereichen in denen ein Ausfall erhebliche Risiken fur Mensch oder Umwelt zur Folge hatte Der M 686 ist nur f r die horizontale Montage vorgesehen Die bestimmungsgem e Verwendung des M 686 ist nur in komplett montiertem und angeschlossenem Zustand m glich Der M 686 verwendet als Antrieb PlLine Ultraschall Piezolinearmotoren und muss mit einem geeigneten Controller S 12 betrieben werden Der Controller ist nicht im Lieferumfang des M 686 enthalten 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise Der M 686 ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut Bei unsachgem er Verwendung des M 686 k nnen Benutzer gef hrdet werden und oder Sch den am M 686 entstehen gt Benutzen Sie den M 686 nur bestimmungsgem und in technisch einwandfreiem Zustand Lesen Sie das Benutzerhandbuch Beseitigen Sie St rungen die die Sicherheit beeintr chtigen k nnen umgehend M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 5 2 Sicherheit P I Der Betreibe
5. PC Betriebssystem sofern vorhanden Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 37 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten In diesem Kapitel 10 Technische Daten Spezifikationen ed 39 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen 4440ss444444nnnnnnnennnnnnn nennen 41 Motorleistung a Rai RER RR TERN 42 Abmessungen ka a at aida 46 A Raben bean nee 47 10 1 Spezifikationen 10 1 1 Datentabelle M 686 D64 Einheit Toleranz Aktive Achsen XY Bewegung und Positionieren Stellweg 25 mm x 25 mm Integrierter Sensor Linearencoder Sensoraufl sung 0 1 um Rechnerische Aufl sung 0 1 um typ Kleinste Schrittweite 0 3 um typ Bidirektionale Wiederholgenauigkeit 0 3 um Neigen Gieren 50 urad typ Geschwindigkeit 100 mm s max Mechanische Eigenschaften Belastbarkeit 50 N max Druck Zugkraft 7 N max Haltekraft 6 N max Antriebseigenschaften Motortyp PlLine U 164 Dual Motor Referenzschalter Optisch Endschalter Hall Effekt M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 39 10 Technische Daten Anschl sse und Umgebung Betriebstemperaturbereich Material Abmessungen Masse Kabell nge Stecker Empfohlene Controller Treiber Bei max Geschwindigkeit 10 N Sonderausf hrungen auf Anfrage 10 1 2 Endschalter Spezifikationen Magnetischer Hall Effekt Sensor Versorgungsspannun
6. Verbinden Sie M 686 Versteller und Controller ber die Adapterboxen und die Verl ngerungskabel wie im untenstehenden Anschlussschema abgebildet Achten Sie auf die Zuordnung die durch die Beschriftung von Buchsen Steckern und Kabeln vorgegeben ist M 663 AB Adapterbox PlLine Kabel 1bis5m Versteller a Controller PlLine Kabel 1 bis 5m Adapterbox Abbildung 8 Anschluss von Verlangerungskabeln an die Standardversion des Kreuztischs M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 25 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 6 Inbetriebnahme und Betrieb 6 Inbetriebnahme und Betrieb In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb uuennennnennnnnnenennn 27 M 686 mit Controller C 867 in Betrieb nehmen usnsersnsnnsnnnnnnnnnannennnnnnnnnen 31 M 686 Eintr ge in der Verstellerdatenbank von PI 2220r2424s0nnennnnnnennnennennnnen 32 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb a Stromschlaggefahr bei fehlendem Schutzleiter Bei fehlendem oder nicht ordnungsgem angeschlossenem Schutzleiter k nnen im Falle eines Fehlers oder Defekts gef hrliche Ber hrungsspannungen am M 686 entstehen Wenn Ber hrungsspannungen vorhanden sind kann das Ber hren des M 686 zu leichten Verletzungen durch Stromschlag f hren gt gt gt Schlie en Sie den M 686 vor Inbetriebnahme an einen Schutzleiter an S 19 Entfernen Sie den Schutzleiter nich
7. Der M 686 ist nicht mit dem Controller verbunden Sie haben die Last so vorbereitet dass sie an den Montagebohrungen auf der oberen Plattform befestigt werden kann Der Abstand zwischen dem Schwerpunkt der Last und dem Zentrum der bewegten Plattform ist in alle Richtungen m glichst gering Fur das Befestigen der Last auf der bewegten Plattform sind mindestens drei Punkte vorgesehen Werkzeug und Zubeh r Mindestens drei Schrauben M6 von geeigneter L nge S 46 Geeignetes Werkzeug zur Befestigung der Schrauben 24 Version 1 3 0 MP67D M 686 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation Last befestigen 1 Richten Sie die Last so auf dem M 686 aus dass sich die Montagebohrungen in Last und oberer Plattform Uberdecken 2 Befestigen Sie die Last mit mindestens drei Schrauben 3 berpr fen Sie den spielfreien Sitz der Last auf der oberen Plattform des M 686 5 5 Verlangerungskabel anschlieBen Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 Der Controller ist ausgeschaltet Sie haben den M 686 an den Schutzleiter angeschlossen S 19 Werkzeug und Zubeh r Zwei Adapterboxen M 663 AB MDR14 auf D Sub 15 f r PlLine Versteller mit langem Kabel Zwei Verl ngerungskabel f r PlLine MDR14 auf D Sub 15 1 bis 5m Nicht im Lieferumfang siehe Optionales Zubeh r S 12 Verl ngerungskabel anschlie en gt
8. Frequenzen zwischen 100 und 500 kHz h here Ger uschpegel erzeugen INFORMATION Die Wiederholgenauigkeit des Positionierens ist nur gew hrleistet wenn der Referenzschalter immer von derselben Seite angefahren wird Diese Anforderung erf llen Controller von PI durch die automatische Richtungserkennung f r Referenzfahrten zum Referenzschalter INFORMATION F r maximale Krafterzeugung ist bei der Inbetriebnahme des M 686 und nach langeren Stillstandszeiten eine Einlaufprozedur erforderlich siehe auch Beeinflussung der statischen Haltekraft durch Stillstandszeiten S 45 Nach dem Einlaufen erreicht der M 686 seine maximale dynamische Kraft gt Kommandieren Sie zum Einlaufen einige Bewegungszyklen bei niedriger Geschwindigkeit Uber den gesamten Stellweg hinweg Weitere Informationen zu den Einsatzbedingungen siehe Abschnitt Motorleistung S 42 Abbildung 9 M 686 D64 Bewegungsrichtungen der X Achse und Y Achse 30 Version 1 3 0 MP67D M 686 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 6 Inbetriebnahme und Betrieb 6 2 M 686 mit Controller C 867 in Betrieb nehmen HINWEIS A Falsche Parametereinstellungen j Bei Verwendung der im Lieferumfang des Controllers C 867 enthaltenen Software k nnen die Betriebsparameter des M 686 aus einer Verstellerdatenbank geladen werden Die Verstellerdatenbank PIStages2 dat enth lt die Standard Parameterwerte Ihres Kreuztischs f r die Ausf hrung erster Testbewegungen be
9. Kurzschlie en der Kontakte im Anschlussstecker des M 686 kann zu leichten Verletzungen durch Stromschlag f hren gt Ber hren Sie nicht die Kontakte im Anschlussstecker des M 686 HINWEIS Schmiermittel Schmutz Kondenswasser Schmutz l Schmiermittel und Kondenswasser machen den Motor Antrieb funktionsunf hig gt Halten Sie die Piezomotoren des M 686 frei von Schmiermitteln gt Halten Sie den M 686 frei von Schmutz und Kondenswasser M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 17 5 Installation P I HINWEIS Erwarmung des M 686 w hrend des Betriebs Die wahrend des Betriebs des M 686 abgegebene Warme kann Ihre Anwendung beeintrachtigen gt Installieren Sie den M 686 so dass die Anwendung nicht durch die abgegebene Warme beeintrachtigt wird HINWEIS Ungeeignete Kabel Ungeeignete Kabel k nnen Sch den am Controller verursachen und die Leistung des M 686 beeinflussen gt Verwenden Sie f r den Anschluss des M 686 an den Controller nur Originalteile von Pl gt Wenn Sie l ngere Kabel ben tigen verwenden Sie Adapterboxen des Typs M 663 AB und Verlangerungskabel von PI S 12 INFORMATION F r die optimale Wiederholgenauigkeit des Positionierens m ssen alle Komponenten spielfrei befestigt sein gt Stellen Sie die spielfreie Befestigung von Kreuztisch und Last sicher gt Wenn m glich f hren Sie eine Simulation der Kreuztischbewegungen mit montierter Last oder geeignete Be
10. WWW PI WS 4 Auspacken 4 Auspacken M 686 Kreuztisch Packen Sie den M 686 vorsichtig aus Vergleichen Sie die erhaltene Lieferung mit dem Inhalt laut Vertrag und mit der Packliste Uberpr fen Sie den Inhalt auf Anzeichen von Sch den Bei Anzeichen von Beschadigungen oder fehlenden Teilen wenden Sie sich sofort an PI Bewahren Sie das komplette Verpackungsmaterial auf f r den Fall dass das Produkt zur ckgeschickt werden muss MP67D Version 1 3 0 15 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation 5 Installation In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Installation 4440444Hnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nn 17 M 686 an Schutzleiter anschlie en 0rs44us4 non seat eeeeaeeeeeeeseeeeetaeeesaeeeeneeees 19 M 686 auf Unterlage befestigen 2444444444Hnnennnnennennnennennnennennnnnnnnnn nn 21 Last am M 686 befestigen u4suu4s4naannnnnnnannnnnnnannnnnnnannnnnnnnnnnnnnnannnnnnnannnnnnnannen 23 Verl ngerungskabel anschlie en 44444444nnnBennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 25 5 1 Allgemeine Hinweise zur Installation A Gefahrliche Spannung und Restladung auf Piezoaktoren Piezomotoren werden von Piezoaktoren angetrieben Piezoaktoren k nnen nach dem Trennen von der Elektronik f r einige Stunden elektrisch geladen bleiben Auch Temperaturschwankungen k nnen Ladungen in Piezoaktoren erzeugen Das Ber hren oder
11. an den Controller Grundk rper Schutzleiteranschluss Untere Plattform X Achse Obere Plattform Y Achse OQ A O Na M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 9 3 Produktbeschreibung P I 3 2 Produktbeschriftung 10 Abbildung 2 M 686 Position der Produktbeschriftung exemplarische Ansicht pen ene Beschreibung a ee kennzeichnet den Schutzleiteranschluss des M 686 er Positive Bewegungsrichtung der Y Achse Positive Bewegungsrichtung der X Achse B M 686 D64 Produktbezeichnung 113055789 Seriennummer Beispiel individuell f r jeden M 686 Bedeutung der Stellen Z hlung von links 1 interne Information 2 und 3 Herstellungsjahr 4 bis 9 fortlaufende Nummer ZX Warnzeichen Handbuch beachten Handbuch beachten Version 1 3 0 MP67D M 686 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 3 Produktbeschreibung Position Beschriftung Beschreibung poan a of Origin A Germany Bo www Pl WWW PLWS o Herstelleradresse Website Website epre o IR EE gt JAS 3 3 Lieferumfang Artikelnummer Beschreibung sd La a 686 D64 Kreuztisch mit En EEE Piezomotorantrieben 25 mm x 25 mm 7 N 0 1 um Linearencoder 000036450 Schraubensatz M4 Schutzerde bestehend aus 1 Flachkopfschraube mit Kreuzschlitz M4x8 ISO 7045 2 Sicherungsscheiben 2 Unterlegscheiben 000017714 Schraubensatz 6 Zylinderschrauben M6x8 DIN 7984 1 Sechskant Winkelschraubendreher MP121EK Ku
12. 3 0 31 6 Inbetriebnahme und Betrieb P I M 686 mit Controller C 867 in Betrieb nehmen gt Nehmen Sie eine Achse des M 686 in Betrieb siehe C 867 Benutzerhandbuch und wiederholen Sie den Ablauf f r die zweite Achse Die Inbetriebnahme umfasst folgende Schritte Auswahl des Verstellertyps S 32 Referenzwertbestimmung der Achse Kommandieren von ersten Bewegungen im geregelten Betrieb zum Test und zum Einlaufen der Mechanik Im C 867 Benutzerhandbuch wird die Inbetriebnahme anhand des Programms PIMikroMove beschrieben 6 3 M 686 Eintr ge in der Verstellerdatenbank von PI Bei der Inbetriebnahme muss der M 686 aus einer Verstellerdatenbank in der PC Software ausgew hlt werden Dabei werden die passenden Betriebsparameter in den Controller geladen Eine detaillierte Beschreibung finden Sie im Benutzerhandbuch des Controllers oder im Handbuch der verwendeten PC Software Die Auswahl des M 686 in der Verstellerdatenbank h ngt vom verwendeten Controllermodell ab siehe die folgende Tabelle Verwendetes Zu w hlender Eintrag in Controllermodell Verstellerdatenbank M 686 D64_X60 C 867 262 M 686 D64_262 32 Version 1 3 0 MP67D M 686 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 7 Wartung 7 Wartung In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Wartung ooooccccnnnococinnnoccccnononccnnn noc cn naar cnn rr 33 Wartungsfahrt durchtUlTON c cciiciccionicir lie 33 M 686 reinigen au ee ee 34 7 1 Allg
13. 605B2 US7795782B2 US7834518B2 US7973451B2 US8253304B2 US8344592B2 US8482185B2 Japan JP2011514131 JP2011522506 JP3804973B2 JP4377956 JP4435695 JP4477069 JP4598128 JP4617359 JP4620115 JP4648391 JP4860862 JP4914895 JP2013539346 China ZL200380108542 0 ZL200580015994 3 ZL200580029560 9 ZL200580036995 6 ZL200680007223 4 ZL200680030007 1 ZL200680042853 5 Internationale Patentanmeldungen WO2009059939A2 WO2010121594A1 WO2012048691A2 WO2012113394A1 WO2012155903A1 WO2013034146A3 WO2013117189A2 2014 Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Karlsruhe Deutschland Die Texte Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich gesch tzt Physik Instrumente PI GmbH amp Co KG beh lt insoweit samtliche Rechte vor Die Verwendung dieser Texte Bilder und Zeichnungen ist nur auszugsweise und nur unter Angabe der Quelle erlaubt Originalbetriebsanleitung Erstdruck 14 02 2014 Dokumentnummer MP67D CBo Version 1 3 0 Anderungen vorbehalten Dieses Handbuch verliert seine G ltigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision Die jeweils aktuelle Revision ist auf unserer Website zum Herunterladen S 3 verf gbar PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS Inhalt 1 Uber dieses Dokument 1 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs cccoooccccconoccccnanoncncnanancnnnnnancncnnno 1 1 2 Symbole und KennZeichnungen ccccccceeeeeceeeeeeeeeeeeaeeeeaeeseeeeesaaeeseaeeeeneeseaees 1 1 3 Begriffs
14. M4 Schutzerde S 11 f r die Montage eines Schutzleiters Geeigneter Schraubendreher M 686 an Schutzleiter anschlie en 1 Wenn n tig befestigen Sie einen geeigneten Kabelschuh am Schutzleiter 2 Befestigen Sie den Kabelschuh des Schutzleiters mit der Schraube M4 am Schutzleiteranschluss des M 686 wie in der Profilansicht dargestellt 3 Ziehen Sie die Schraube M4 mit einem Drehmoment von 1 2 Nm bis 1 5 Nm fest 4 Stellen Sie sicher dass der bergangswiderstand an allen f r die Schutzleitermontage relevanten Verbindungsstellen lt 0 1 Q bei 25 A ist 20 Version 1 3 0 MP67D M 686 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation 5 3 M 686 auf Unterlage befestigen HINWEIS Hervorstehende Schraubenk pfe Hervorstehende Schraubenk pfe k nnen den M 686 besch digen gt Stellen Sie sicher dass die Schraubenk pfe in den Montagebohrungen vollst ndig abgesenkt sind und die Bewegung nicht beeintr chtigen HINWEIS Verspannen des Grundk rpers Ungeeignete Montage kann den Grundk rper verspannen Ein Verspannen des Grundk rpers erh ht den Verschlei und verringert die Genauigkeit gt Befestigen Sie den M 686 auf ebener Grundfl che Die empfohlene Ebenheit der Grundfl che betr gt 5 um gt Bei Anwendungen mit gro en Temperaturschwankungen Befestigen Sie den M 686 nur auf Grundflachen die m glichst dieselben Warmeausdehnungseigenschaften wie der M 686 besitzen z B Grundf
15. MP67D M 686 Kreuztisch Benutzerhandbuch Version 1 3 0 Datum 14 02 2014 Dieses Dokument beschreibt folgendes Produkt M 686 D64 Kreuztisch mit PlLine Piezomotorantrieben 25 mm x 25 mm 7N 0 1 um Linearencoder A A A Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 76228 Karlsruhe Germany a _ Telefon 49 721 4846 0 Telefax 49 721 4846 1019 E Mail info pi ws PI Physik Instrumente PI GmbH 8 Co KG ist Inhaberin der nachfolgend aufgef hrten Marken PIO PICO PICMA PlLine PIFOC PiezoWalk NEXACT NEXLINE NanoCube NanoAutomation Picoactuator PInano Im technologischen Umfeld der Ultraschall Piezomotoren PlLine h lt PI folgende Patente oder Patentanmeldungen Deutschland DE102004024656A1 DE102004044184B4 DE102004059429B4 DE102005010073A1 DE102005039357B4 DE102005039358A1 DE102006041017B4 DE102008012992A1 DE102008023478A1 DE102008058484A1 DE102010022812A1 DE102010047280A1 DE102010055848 DE102011075985A1 DE102011082200A1 DE102011087542B3 DE102011087542B3 DE102011087801B4 DE102011108175 DE102012201863B3 DE19522072C1 DE19938954A1 Europa EP0789937B1 EP1210759B1 EP1267425B1 EP1581992B1 EP1656705B1 EP1747594B1 EP1812975B1 EP1861740B1 EP1915787B2 EP1938397B1 EP2095441B1 EP2130236B1 EP2153476B1 EP2164120B1 EP2258004B1 EP2608286A2 USA US2010 0013353A1 US5872418A US6765335B2 US6806620B1 US6806620B1 US7218031B2 US7598656B2 US7737
16. PI WS 10 Technische Daten 10 3 2 Geschwindigkeit und dynamische Kraft Die folgende Abbildung kann verwendet werden um Geschwindigkeit und Kraft des M 686 bei unterschiedlicher Motorleistung abzusch tzen 100 Motorleistung 100 a 80 80 50 c 60 v x D 3 40 lt o V v o 20 0 0 1 2 3 4 5 6 7 Kraft in N Abbildung 10 Zusammenhang zwischen Geschwindigkeit und Zug Druckkraft des M 686 bei unterschiedlicher Motorleistung M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 43 10 Technische Daten pP I 10 3 3 Motorleistung und Lebensdauer Motorleistung Einschaltdauer und Umgebungstemperatur beeinflussen die Lebensdauer des Kreuztischs Um berhitzung und hohen Verschlei zu vermeiden sollten die Motorleistung und die Einschaltdauer die im nachfolgenden Diagramm angegebenen Grenzen nicht berschreiten Ein Lastzyklus entspricht einer Positionierfahrt und beinhaltet das Beschleunigen Fahren Abbremsen sowie den Stillstand Pause Die Spitzenleistung des Motors sollte nur sporadisch abgerufen werden und dient der Regelreserve Spitzenleistung des Motors bis zu 10 der Einschaltdauer im Lastzyklus Hohe Motorleistung bis zu 30 der Einschaltdauer im Lastzyklus z B Beschleunigen Abbremsen 3s D e k o o Oo 20 40 Umgebungstemperatur in C Abbildung 11 M 686 Empfohlene Einschaltdauer und Motorleistung in Abh ngigkeit von der Umgebungstemperatur 44 Vers
17. Wartungsanleitung vor die Sie von unserem Kundendienst erhalten gt Stellen Sie sicher dass die Piezomotoren des M 686 nicht mit Schmiermitteln in Kontakt geraten 7 3 M 686 reinigen Voraussetzungen v Sie haben den Kreuztisch vom Controller getrennt Kreuztisch reinigen gt Wenn notwendig reinigen Sie die Oberfl chen des Kreuztischs mit einem Tuch das leicht mit einem milden Reinigungs oder Desinfektionsmittel angefeuchtet wurde gt Verwenden Sie keine organischen L sungsmittel 34 Version 1 3 0 MP67D M 686 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 8 Storungsbehebung 8 Storungsbehebung St rung M giche Ursachen Behebuns Ger usche w hrend Unkontrollierte gt Schalten Sie die Servoregelung der des Betriebs Schwingung des betreffenden Achsen unverz glich M 686 aus Pr fen Sie die Einstellungen der Regelparameter Kreuztisch Einschwingfenster Verkleinern Sie das positioniert ungenau um die Zielposition Einschwingfenster settling window zu gro indem Sie am Controller die Parameterwerte f r die Grenzen des Einschwingfensters ndern Einzelheiten siehe das Benutzerhandbuch des Controllers S 3 Erreichen der Einschwingfenster Vergr ern Sie das Zielposition dauert um die Zielposition Einschwingfenster settling window zu lange zu klein indem Sie am Controller die Parameterwerte f r die Grenzen des Einschwingfensters ndern Einzelheiten siehe das Benutzerhandbuch des Con
18. dass im Bewegungsbereich des Kreuztischs keine Kollisionen zwischen Kreuztisch zu bewegender Last und Umgebung m glich sind gt Platzieren Sie keine Gegenst nde in Bereichen in denen sie von bewegten Teilen erfasst werden k nnen gt Halten Sie bei einer Fehlfunktion des Controllers die Bewegung sofort an gt Wenn m glich passen Sie die Stellwegsgrenzen in der zur Bewegungskommandierung verwendeten Software an Ihr mechanisches System an HINWEIS Unkontrollierte Schwingungen Ihre Anwendung kann durch unkontrollierte Schwingung des M 686 besch digt werden Wenn w hrend des Betriebs des M 686 Ger usche auftreten gt Schalten Sie unverz glich die Servoregelung der betreffenden Achsen aus gt Pr fen Sie die Einstellungen der Regelparameter 28 Version 1 3 0 MP67D M 686 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 6 Inbetriebnahme und Betrieb HINWEIS Aufprall der bewegten Plattformen auf dem mechanischen Anschlag Der Aufprall der bewegten Plattformen des M 686 am mechanischen Anschlag kann zu Sch den oder erheblichem Verschlei am M 686 f hren gt Vermeiden Sie Bewegungen im ungeregelten Betrieb gt Wenn mit dem Controller C 867 Bewegungen im ungeregelten Betrieb notwendig sind Setzen Sie den Stellwert mit dem Befehl SMO so dass sich die Achsen mit niedriger Geschwindigkeit bewegen Stoppen Sie die Achsen rechtzeitig Verwenden Sie dazu die Befehle 24 STP oder HLT oder set
19. duktbeschreibung 3 6 Technische Ausstattung 3 6 1 Linearencoder Der M 686 ist pro Achse mit einem optischen Linearencoder ausgestattet Die Aufl sung entnehmen Sie der Tabelle im Abschnitt Spezifikationen S 39 Optische Linearencoder messen die Ist Position direkt Direktmetrologie Fehler im Antriebsstrang wie z B Nichtlinearitat Umkehrspiel oder elastische Deformation k nnen die Positionsmessung nicht beeinflussen 3 6 2 Endschalter Der M 686 ist mit ber hrungslosen Hall Effekt Endschaltern ausgestattet Jeder Endschalter sendet sein Signal auf einer eigens zugewiesenen Leitung zum Controller Der Controller sorgt dann f r den Abbruch der Bewegung F hrt der Controller den Abbruch nicht rechtzeitig aus f hrt der Kreuztisch an den mechanischen Anschlag Weitere Informationen siehe Endschalter Spezifikationen S 40 3 6 3 Referenzschalter Der M 686 ist pro Achse mit einem richtungserkennenden Referenzschalter ausgestattet der ungef hr in der Mitte des Stellwegs angebracht ist Dieser Sensor sendet ein TTL Signal das anzeigt ob sich die Achse auf der positiven oder negativen Seite des Referenzschalters befindet Die Befehle die das Referenzsignal verwenden sind im Benutzerhandbuch des Controllers und oder in den entsprechenden Softwarehandb chern beschrieben Weitere Informationen siehe Referenzschalter Spezifikationen S 40 M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 13 PIEZO NANO POSITIONING
20. efestigen Sie den M 686 mit zwei Schrauben 4 Stellen Sie sicher dass die Schraubenk pfe vollst ndig abgesenkt sind 5 Verschieben Sie per Hand die untere Plattform X Achse des M 686 bis die beiden anderen Senkbohrungen im Grundk rper zug nglich sind 6 Befestigen Sie den M 686 mit zwei Schrauben 7 Stellen Sie sicher dass die Schraubenk pfe vollst ndig abgesenkt sind 8 berpr fen Sie den spielfreien Sitz des M 686 auf der Unterlage 5 4 Last am M 686 befestigen HINWEIS Unzul ssig hohe Last am Kreuztisch Eine unzul ssig hohe Last beeintr chtigt die Bewegung der bewegten Plattform und kann den Kreuztisch besch digen gt Beachten Sie hinsichtlich Masse und Befestigungsart der Last die maximal zul ssigen Kr fte die laut Spezifikation S 39 auf die bewegte Plattform wirken d rfen HINWEIS Zu lange Schrauben Zu tief eingebrachte Schrauben k nnen den M 686 besch digen gt Beachten Sie die Tiefe der Montagebohrungen in der oberen Plattform S 46 gt Verwenden Sie nur Schrauben mit der richtigen L nge f r die entsprechenden Montagebohrungen M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 23 5 Installation P I Abbildung 7 M 686 Eine von vier Montagebohrungen M6 in der oberen Plattform siehe Pfeil Voraussetzung v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 Sie haben den M 686 ordnungsgem auf einer Unterlage befestigt S 21
21. eit 2 3 Organisatorische MaBnahmen Benutzerhandbuch gt Halten Sie dieses Benutzerhandbuch st ndig am M 686 verf gbar Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit F gen Sie alle vom Hersteller bereitgestellten Informationen z B Erg nzungen und Technical Notes zum Benutzerhandbuch hinzu Wenn Sie den M 686 an Andere weitergeben f gen Sie dieses Handbuch und alle sonstigen vom Hersteller bereitgestellten Informationen bei F hren Sie Arbeiten grunds tzlich anhand des vollst ndigen Benutzerhandbuchs durch Fehlende Informationen aufgrund eines unvollst ndigen Benutzerhandbuchs k nnen zu leichten Verletzungen und zu Sachsch den f hren Installieren und bedienen Sie den M 686 nur nachdem Sie dieses Benutzerhandbuch gelesen und verstanden haben Personalqualifikation Nur autorisiertes und entsprechend qualifiziertes Personal darf den M 686 installieren in Betrieb nehmen bedienen warten und reinigen M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 7 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 3 Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung In diesem Kapitel Produktansicht meca cts 9 Produktbeschrifund cisccciocir ee ke 10 Lieferumfang eek 11 Geeignete Controler u a ana Rn ea 12 Optionales Zubeh r una aaa een aaa 12 Technische Ausstattung it ole 13 3 1 Produktansicht Abbildung 1 M 686 D64 Produktansicht Kabel f r den Anschluss
22. emeine Hinweise zur Wartung HINWEIS A Sch den durch falsche Wartung i i Eine falsche Wartung kann zum Ausfall des M 686 f hren gt L sen Sie Schrauben nur entsprechend den Anleitungen in diesem Handbuch gt Halten Sie die Piezomotoren des M 686 frei von Schmiermitteln 7 2 Wartungsfahrt durchf hren In Abh ngigkeit von den Einsatzbedingungen und der Einsatzdauer des M 686 sind die folgenden WartungsmaBnahmen erforderlich Wartungsfahrt Die Wartungsfahrt dient zum Verteilen des vorhandenen Schmiermittels auf den Fuhrungen des M 686 gt F hren Sie nach 500 Einsatzstunden oder sp testens nach 1 Jahr eine Wartungsfahrt ber den gesamten Stellweg durch damit sich das vorhandene Schmiermittel gleichm ig auf den F hrungen verteilt gt Falls Sie den M 686 im industriellen Dauereinsatz ber einen kleinen Verfahrbereich bewegen lt 20 des gesamten Stellwegs f hren Sie nach jeweils 5000 Bewegungszyklen eine Wartungsfahrt ber den gesamten Stellweg durch M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 33 7 Wartung P I Nachschmieren Unter Laborbedingungen ist ein Nachschmieren der F hrungen des M 686 nur in Ausnahmefallen n tig Im industriellen Dauereinsatz m ssen die Intervalle fur das Nachschmieren individuell festgelegt werden gt Schmieren Sie die F hrungen des M 686 nur nach R cksprache mit unserem Kundendienst S 37 nach gt Gehen Sie beim Nachschmieren der F hrungen entsprechend der
23. erkl rung een ee een 2 1 4 Abbildungen td 3 1 5 Mitgeltende Dokumente ococooncccccnnnococinononcccnononoconanorn cnn nnnn cnn nn n narran 3 1 6 Handb cher herunterladen oooocccccnnncccononacoconnnonccnnnnornnnn nono cnn nano cnn nn nnnnnnrnnnn cnn 3 2 Sicherheit 5 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung uuerssnesensnnnnnennnnnnennnnnnnennnnnnnnnnnnnnnennn nn 5 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise uuursunssessnnnenensnnnnnnnnnennnnnnnnnnnnn nennen nenn 5 2 3 Organisatorische Ma nahmen rs44sssnsnnnnnnnnnnnnnannennnnnnnnnnnnnennnnnnn nn 7 3 Produktbeschreibung 9 3 1 ESA 9 3 2 ProduktbeschriftunQ ooooccccnnnccccnnnocccnnnnonccnnnnnnn cnn nnnnn cnn nano nn ran cnn rara 10 3 3 LISTS MUM e a ri a 11 3 4 Geeignete Controller oooicconnnnninnnnnnnccnnnccnnaconnnccnnnnccnn crac 12 3 5 Optionales Zubeh r oocccciccconociconocaconoccnoncnononcna no cnn nc narran rra 12 3 6 Technische Ausstattung oooocccccccccononononcconcnnnannnononncnncnnnnnnnonnnn cnn cnn nnnnnn nn nn cnn canas 13 3 6 1 LINE arenCOdE F occccccnnnnconoconoconnnnnnnononcnnnnnnnnnnnn ne nncnn nan nnnn nn nn nn nn nnanannn nens 13 3 6 2 Endschalter ssania Satna acredite ER 13 3 6 3 ReferenzscChalter cooococccccccnnnccicococoncconcnnnnnnnononccnnnnnnnnnnn nn nc cn nn nn nn 13 4 Auspacken 15 5 Installation 17 5 1 Allgemeine Hinweise zur InstallatiON oooonninicinnnnnicnnnnnconnaccccnnnarccnnnarcccnnnccc 17 5 2 M 686 an Sch
24. g 5 V Masse Versorgung ber den Motorstecker Signalausgang TTL Pegel M 686 D64 20 bis 50 Aluminium schwarz eloxiert 170 mm x 170 mm x 32 mm 1 8 1 5 2x MDR 14 polig C 867 PlLine Motion Controller PI Einheit Toleranz C kg 15 m 10 mm Ordnungsgem Ber Betrieb des Motors low 0 V Signallogik High aktiv Beim berfahren des Endschalters ndert sich der Signalpegel Endschalter erreicht high 5 V 10 1 3 Referenzschalter Spezifikationen Versorgungsspannung 5 V Masse Versorgung ber den Motorstecker Signalausgang TTL Pegel Signal Logik Richtungserkennung m glich durch unterschiedliche Signalpegel links und rechts des Referenzschalters Signalpegel ndert sich von 0 auf 5 V beim berfahren des Referenzschalters Richtung 0 2 bis 0 4 mm bei Anfahrt aus positiver oder negativer 40 Version 1 3 0 MP67D M 686 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten 10 1 4 Bemessungsdaten Kreuztische M 686 sind f r folgende Betriebsgr en ausgelegt Maximale Betriebsfrequenz Maximale Betriebsspannung Leistungsaufnahme M 686 200 Vp bzw 71 Vims 152 bis 165 kHz 10 2 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Folgende Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen sind f r den M 686 zu beachten Einsatzbereich Nur zur Verwendung in Innenr umen Maximale H he 2000 m Luftdruck 1100 hPa bis 0 1 hPa entspricht etwa 825 Torr bis 0 075 Torr
25. i der Inbetriebnahme Je nach Anwendung kann die Verwendung der Standard Parameterwerte z B f r P Term l Term D Term Beschleunigung und Geschwindigkeit jedoch zu Sch den am Kreuztisch f hren insbesondere bei hohen Lasten gt Wenn m glich F hren Sie die erste Inbetriebnahme ohne Last durch gt Installieren Sie stets die aktuellste Version der Verstellerdatenbank PIStages2 dat auf Ihrem PC Bei Inbetrieonahme mit Last gt Stellen Sie vor der Inbetriebnahme sicher dass der M 686 ordnungsgem installiert ist S 17 gt Passen Sie f r die optimale Performance der bewegten Achse die Betriebsparameter des C 867 an z B P Term I Term D Term Beschleunigung Geschwindigkeit siehe C 867 Benutzerhandbuch gt Speichern Sie die neuen Parameterwerte f r die sp tere Verwendung in einer Verstellerdatenbank auf dem PC oder im permanenten Speicher des Controllers siehe C 867 Benutzerhandbuch und PIMikroMove Handbuch Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb gelesen und verstanden S 27 v Sie haben das Benutzerhandbuch des Piezomotorcontrollers treibers C 867 gelesen und verstanden Bei Inbetriebnahme mit Last Der M 686 ist ordnungsgem installiert S 17 Der Piezomotorcontroller treiber C 867 und die ben tigte Software sind installiert Alle Anschl sse am C 867 sind eingerichtet siehe C 867 Benutzerhandbuch M 686 Kreuztisch MP67D Version 1
26. ion 1 3 0 MP67D M 686 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten 10 3 4 Beeinflussung der statischen Haltekraft durch Stillstandszeiten 100 90 80 70 60 50 40 30 20 10 Statische Haltekraft in 0 4 8 12 16 20 24 Stillstandszeit in h Abbildung 12 Statische Haltekraft des M 686 in Abh ngigkeit von der Stillstandszeit des Motors M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 45 10 Technische Daten 10 4 Abmessungen Abmessungen in mm PI 00000000 Abbildung 13 Kreuztisch M 686 D64 46 Version 1 3 0 MP67D M 686 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten 10 5 Pinbelegung Stecker MDR14 N10214 52B2VC 3M A1 A7 v B1 B7 Abbildung 14 Vorderansicht des MDR14 Steckers Pm foa Teen i USM P2 Eingang Piezo 71 VAC RMS Eingang Piezo 71 VAC RMS Ausgang Encoderkanal A RS 422 Ausgang Encoderkanal A invertiert RS 422 Ausgang Encoderkanal B RS 422 Be ENCB Ausgang Encoderkanal B invertiert RS 422 M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 47 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 11 Altger t entsorgen 11 Altger t entsorgen Nach geltendem EU Recht d rfen Elektroger te in den Mitgliedsstaaten der EU nicht ber den kommunalen Restm ll entsorgt werden Entsorgen Sie das Altger t unter Beachtung der inte
27. lachen aus Aluminium Abbildung 5 M 686 D64 Bewegungsrichtungen der X Achse und Y Achse M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 21 5 Installation P I Abbildung 6 Eine von vier Senkbohrungen M6 im Grundk rper Voraussetzung v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 v Sie haben eine geeignete Unterlage bereitgestellt f r die erforderliche Lage und Tiefe der Bohrungen zur Aufnahme der Schrauben siehe Abmessungen S 46 Vier Bohrungen M6 sind vorhanden Die Ebenheit der Oberfl che ist lt 5 um Bei Anwendungen mit gro en Temperaturschwankungen Die Unterlage besitzt m glichst dieselben W rmeausdehnungseigenschaften wie der M 686 z B Unterlage aus Aluminium v Sie haben den Platzbedarf f r eine knickfreie und vorschriftsm ige Kabelf hrung ber cksichtigt v Der M 686 ist nicht mit dem Controller verbunden Werkzeug und Zubeh r Montagezubeh r aus dem Lieferumfang S 11 4 Schrauben M6x8 Sechskant Winkelschraubendreher 22 Version 1 3 0 MP67D M 686 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation M 686 auf Unterlage befestigen 1 Verschieben Sie per Hand die untere Plattform X Achse des M 686 bis zwei der vier Senkbohrungen im Grundk rper zug nglich sind siehe Abbildung 2 Richten Sie den M 686 so auf der Unterlage aus dass sich die entsprechenden Bohrungen in M 686 und Unterlage berdecken 3 B
28. n gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden HINWEIS n Gef hrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen Sachsch den gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 oz 1 Uber dieses Dokument P I INFORMATION Informationen zur leichteren Handhabung Tricks Tipps etc Symbol Bedeutung Kennzeichnung 1 Handlung mit mehreren Schritten deren Reihenfolge 2 eingehalten werden muss gt Handlung mit einem Schritt oder mehreren Schritten deren Reihenfolge nicht relevant ist Aufz hlung S 5 Querverweis auf Seite 5 RS 232 Bedienelement Beschriftung auf dem Produkt Beispiel Buchse der RS 232 Schnittstelle Auf dem Produkt angebrachtes Warnzeichen das auf ausf hrliche Informationen in diesem Handbuch verweist 1 3 Begriffserkl rung Belastbarkeit Maximale Belastbarkeit vertikal wenn der Kreuztisch horizontal montiert ist Der Angriffspunkt der Last liegt in der Mitte der Plattform Linearencoder Der Linearencoder ist ein inkrementeller Sensor zur Erfassung von Lage nderungen Die Signale des Sensors werden f r die R ckmeldung der Achsenposition verwendet Nach dem Einschalten des Controllers muss eine Referenzwertbestimmung durchgef hrt werden bevor absolute Zielpositionen kommandiert und erreicht werden k nnen 2 Version 1 3 0 MP67D M 686 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 1 ber dieses Dokument 1 4 Abbildungen Zugunste
29. n eines besseren Verst ndnisses k nnen Farbgebung Gr Benverh ltnisse und Detaillierungsgrad in Illustrationen von den tats chlichen Gegebenheiten abweichen Auch fotografische Abbildungen k nnen abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar 1 5 Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erw hnten Ger te und Programme von PI sind in separaten Handb chern beschrieben C 867 160 PlLine Controller MS185E User Manual C 867 260 PlLine Controller MS189E User Manual C 867 262 PlLine6 Controller MS196E User Manual C 867 0E PlLine6 Controller MS195E User Manual PlLine6 Versteller MP121EK Kurzanleitung 1 6 Handb cher herunterladen INFORMATION Wenn ein Handbuch auf unserer Website fehlt oder Probleme beim Herunterladen auftreten gt Wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 37 Auf unserer Website finden Sie die Handb cher in ihrer aktuellen Version F r einige Produkte z B Hexapodsysteme und Elektroniken die mit einer CD ausgeliefert werden ist der Zugang zu den Handb chern durch ein Kennwort gesch tzt Das Kennwort ist auf der CD enthalten M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 3 1 Uber dieses Dokument P I Frei zug ngliche Handb cher herunterladen 1 2 3 Offnen Sie die Website http www pi portal ws Klicken Sie auf Downloads Klicken Sie auf die entsprechende Kategorie z B M Hexapods Micropositioning Klicken Sie auf den entsprechenden Produktcode z B M 686
30. r ist f r den korrekten Einbau und Betrieb des M 686 verantwortlich Piezomotoren werden von Piezoaktoren angetrieben Piezoaktoren k nnen nach dem Trennen von der Elektronik f r einige Stunden elektrisch geladen bleiben Auch Temperaturschwankungen k nnen Ladungen in Piezoaktoren erzeugen Das Ber hren geladener Teile des M 686 kann zu leichten Verletzungen durch Stromschlag f hren gt ffnen Sie den M 686 nicht gt Ber hren Sie nicht die Kontakte im Anschlussstecker des M 686 Bei fehlendem oder nicht ordnungsgem angeschlossenem Schutzleiter k nnen im Falle eines Fehlers oder Defekts gef hrliche Ber hrungsspannungen am M 686 entstehen Wenn Ber hrungsspannungen vorhanden sind kann das Ber hren des M 686 zu leichten Verletzungen durch Stromschlag f hren gt Schlie en Sie den M 686 vor Inbetriebnahme an einen Schutzleiter an S 19 gt Entfernen Sie den Schutzleiter nicht w hrend des Betriebs gt Wenn der Schutzleiter vor bergehend entfernt werden muss z B bei Umbauten schlieBen Sie den M 686 vor erneuter Inbetriebnahme wieder an den Schutzleiter an Mechanische Kr fte k nnen den M 686 besch digen oder dejustieren gt Vermeiden Sie St e die auf den M 686 einwirken gt Lassen Sie den M 686 nicht fallen gt berschreiten Sie nicht die maximal zul ssigen Belastungen gem den Spezifikationen S 39 6 Version 1 3 0 MP67D M 686 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 2 Sicherh
31. rechnungen durch um Kollisionen und ung nstige Schwerpunktkonstellationen zu erkennen gt Wenn n tig treffen Sie geeignete konstruktive Ma nahmen um Kollisionen und Instabilitaten im Gesamtsystem zu vermeiden gt Vermeiden oder kennzeichnen Sie Gefahrenbereiche die durch den Einbau des Kreuztischs und durch die Anwendung entstehen gem den gesetzlichen Vorschriften F r weitere Informationen zu den Einsatzbedingungen beachten Sie die Angaben im Abschnitt Motorleistung S 42 18 Version 1 3 0 MP67D M 686 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation 5 2 M 686 an Schutzleiter anschlie en INFORMATION gt Beachten Sie die jeweils geltenden Normen f r die Schutzleiterbefestigung Am M 686 befindet sich neben dem Kabelabgang eine Bohrung M4 zur Schutzleiterbefestigung In der folgenden Abbildung ist diese Bohrung mit einem Pfeil gekennzeichnet Abbildung 3 M 686 D64 Schutzleiteranschluss M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 19 5 Installation P I Abbildung 4 Montage des Schutzleiters Profilansicht Untere Plattform des M 686 Unterlegscheibe Sicherungsscheibe Schraube Kabelschuh Schuizleiter aAA DH Voraussetzung v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 v Der M 686 ist nicht mit dem Controller verbunden Werkzeug und Zubeh r Geeigneter Schutzleiter Kabelquerschnitt 20 75 mm Mitgelieferter Schraubensatz
32. rnationalen nationalen und regionalen Richtlinien Um der Produktverantwortung als Hersteller gerecht zu werden bernimmt die Physik Instrumente PI GmbH amp Co KG kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines PI Altger tes sofern es nach dem 13 August 2005 in Verkehr gebracht wurde Falls Sie ein solches Altger t von PI besitzen k nnen Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden Physik Instrumente PI GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 D 76228 Karlsruhe M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 49 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 12 EG Konformitatserklarung 12 EG Konformitatserklarung F r den M 686 wurde eine EG Konformit tserkl rung gem den folgenden europ ischen Richtlinien ausgestellt 2006 95 EG Niederspannungsrichtlinie 2004 108 EG EMV Richtlinie 2011 65 EU RoHS Richtlinie Die zum Nachweis der Konformit t zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet Elektromagnetische Emission EN 61000 6 3 2007 EN 55011 2009 Elektromagnetische St rfestigkeit EN 61000 6 1 2007 Sicherheit Niederspannungsrichtlinie EN 61010 1 2010 A ng M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 51
33. rzanleitung f r PlLine Versteller M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 11 3 Produktbeschreibung P I 3 4 Geeignete Controller Bestellnummer Beschreibung C 867 260 Piezomotorcontroller Treiber 2 Kan le f r PlLine Systeme C 867 262 Hochpr zisions Piezomotorcontroller Treiber 2 Kan le f r PlLine Systeme C 867 160 Piezomotorcontroller Treiber vernetzbar 1 Kanal f r PlLine Systeme C 867 0E OEM Treiber Controller f r PlLine Ultraschall Piezomotoren 1 Kanal Pro Achse wird ein Controller ben tigt gt Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst S 37 3 5 Optionales Zubehor Bestellnummer Beschreibung P 561 bis P 563 PlMars XYZ Positioniersysteme mit bis zu 300 um Stellweg P 541 2 und Mikroskopie XY Piezoscanner mit geringer Bauh he P 542 2 P 541 Z Mikroskopie Piezohub und kippsysteme mit geringer Bauh he M 663 AB Adapterbox MDR auf D Sub 15 pol f r PlLine Versteller mit langem Kabel Technical Note M663T0015 zur Adapterbox Verlangerungskabel zur Verwendung mit Adapterbox M 663 AB Verlangerungskabel f r PlLine MDR auf D Sub 15 pol 1 m Verl ngerungskabel f r PlLine MDR auf D Sub 15 pol 3m Verl ngerungskabel f r PlLine MDR auf D Sub 15 pol 5 m L ngere Kabel auf Anfrage erh ltlich gt Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst S 37 12 Version 1 3 0 MP67D M 686 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 3 Pro
34. t w hrend des Betriebs Wenn der Schutzleiter vor bergehend entfernt werden muss z B bei Umbauten schlie en Sie den M 686 vor erneuter Inbetriebnahme wieder an den Schutzleiter an HINWEIS O Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung Zu hohe oder falsch angeschlossene Betrieosspannung kann Sch den am M 686 verursachen gt gt M 686 Kreuztisch Verwenden Sie nur Controller Treiber und Originalzubeh r von Pl f r den Betrieb des M 686 berschreiten Sie nicht den Betriebsspannungsbereich S 41 f r den der M 686 spezifiziert ist Betreiben Sie den M 686 nur wenn die Betriebsspannung ordnungsgemaB angeschlossen ist siehe Pinbelegung S 47 MP67D Version 1 3 0 27 6 Inbetriebnahme und Betrieb P J HINWEIS Unbeabsichtigte Bewegungen Der M 686 kann beim AnschlieBen an den Controller unbeabsichtigte Bewegungen ausf hren Fehlerhafte Software und fehlerhafte Bedienung der Software k nnen ebenfalls unbeabsichtigte Bewegungen verursachen gt Platzieren Sie keine Gegenst nde in Bereichen in denen sie von bewegten Teilen erfasst werden k nnen gt Pr fen Sie vor dem Anschlie en des M 686 ob im Controller ein Makro als Startup Makro festgelegt ist und heben Sie die Auswahl des Startup Makros gegebenenfalls auf Sch den durch Kollisionen HINWEIS Kollisionen k nnen den Kreuztisch die zu bewegende Last und die Umgebung besch digen gt Stellen Sie sicher
35. trollers S 3 Erh hter Verschlei Verspannter Montieren Sie den M 686 auf ebener Verringerte Grundk rper Grundfl che Die empleniene Genauigkeit Ebenheit der Grundfl che betr gt 5 um Bei Anwendungen mit gro en Temperaturschwankungen Montieren Sie den M 686 nur auf Grundfl chen die m glichst dieselben W rmeausdehnungs eigenschaften wie der M 686 besitzen z B Grundfl chen aus Aluminium M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 35 8 St rungsbehebung P I St rung Mogliche Ursachen Behebung Beeintrachtigung der Achsen wurden gt Beachten Sie beim Anschlie en des Funktion nach einer beim Anschlie en Kreuztischs an den Controller die Zuordnung der Achsen Diese Zuordnung geht aus Aufklebern auf den Ger ten hervor Systemver nderung vertauscht Wenn die St rung Ihres Systems nicht in der Tabelle angef hrt ist oder wenn sie nicht wie beschrieben behoben werden kann kontaktieren Sie unseren Kundendienst S 37 Version 1 3 0 MP67D M 686 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 9 Kundendienst 9 Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre Pl Vertretung oder schreiben Sie uns eine E Mail info pi ws Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an Produktcodes und Seriennummern von allen Produkten im System Firmwareversion des Controllers sofern vorhanden Version des Treibers oder der Software sofern vorhanden
36. utzleiter anschlie en 2 22004240nnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nn 19 5 3 M 686 auf Unterlage befestigen u 22444444444nnnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnnnnnnnn ernennen 21 5 4 Last am M 686 befestigen u ee ee 23 5 5 Verl ngerungskabel anschlie en 4 4244444H nennen nnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 25 6 Inbetriebnahme und Betrieb 27 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb u en 27 6 2 M 686 mit Controller C 867 in Betrieb nehmen uneennennnnnnnnnnnnn 31 6 3 M 686 Eintrage in der Verstellerdatenbank von PI snnnnn 32 10 11 12 PI Wartung 33 7 1 Allgemeine Hinweise zur Wartung uerssseseessnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nn 33 7 2 MEL namen 33 7 3 ME686 reinigen een ER 34 St rungsbehebung 35 Kundendienst 37 Technische Daten 39 10 1 Spezifikati hen u tea 39 10 1 1 Datent belle n sen een 39 10 1 2 Endschalter Spezifikationen u4440rsnnnnnnennnnnnnnnennnnnnnnen 40 10 1 3 Referenzschalter Spezifikationen uerseerseennnneennnnennnennnnenn 40 10 1 4 Bemessungsdalena uunaeseseienne aa ae 41 10 2 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen u 224s0rsnnnsnnn nennen 41 10 3 Motorleistung een 42 10 3 1 Motorleistung und Betriebsspannung sser nennen 42 10 3 2 Geschwindigkeit und dynamische Kraft
37. zen Sie den Stellwert mit dem Befehl smo auf null gt Stellen Sie sicher dass das Ende des Stellwegs mit geringer Geschwindigkeit angefahren wird gt Nehmen Sie nderungen der Geschwindigkeit Beschleunigung Verz gerung und Last nur in kleinen Schritten vor gt Deaktivieren Sie die Endschalter nicht softwareseitig gt Pr fen Sie die Funktion der Endschalter nur bei niedrigen Geschwindigkeiten gt Halten Sie bei einer Fehlfunktion der Endschalter die Bewegung sofort an HINWEIS berhitzung bei Dauerbetrieb H chste dynamische Kraft und Haltekraft werden bei maximaler Motorleistung erreicht allerdings kann der M 686 damit im Dauerbetrieb berhitzen gt Beachten Sie die empfohlene Motorleistung in Abh ngigkeit von der Einschaltdauer und Umgebungstemperatur S 44 HINWEIS Sch den oder erheblicher Verschlei durch hohe Beschleunigungen Hohe Beschleunigungen k nnen Sch den oder erheblichen Verschlei an der Mechanik verursachen gt Halten Sie bei einer Fehlfunktion des Controllers die Bewegung sofort an gt Bestimmen Sie die Maximalgeschwindigkeit f r Ihre Anwendung gt Beachten Sie die Angaben im Abschnitt Motorleistung S 42 M 686 Kreuztisch MP67D Version 1 3 0 29 6 Inbetriebnahme und Betrieb pP I INFORMATION Obwohl der M 686 theoretisch ger uschlos arbeitet sind w hrend des Betriebs Ger uschpegel von bis zu 50 dB A m glich Der Ultraschallantrieb des M 686 kann auch bei
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