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Benutzerhandbuch MP142D - Physik Instrumente (PI)

1. gt Wenn m glich f hren Sie eine grafische Simulation der vorgesehenen Aktorbewegungen mit montierter Last oder geeignete Berechnungen durch um m gliche Kollisionen innerhalb der Anwendung zu erkennen gt Wenn n tig treffen Sie geeignete konstruktive oder steuerungstechnische Ma nahmen um Kollisionen im Betrieb des Linearaktors zu vermeiden Beispiel Kollisionen der Last mit der Grundfl che beim Einfahren des L ufers k nnen durch folgende Ma nahmen vermieden werden Abstandhalter Unterlegscheiben oder H lsen zwischen Laufer und Last Verringerte Dicke der Grundfl che Begrenzung des Stellwegs in der PC Software gt Vermeiden oder kennzeichnen Sie Gefahrenbereiche die durch den Einbau des Linearaktors und durch die Anwendung entstehen gem den gesetzlichen Vorschriften z B Quetschgefahr bei schweren bewegten Lasten schnellen Aktorbewegungen und oder hohen Antriebsmomenten 20 Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation 5 2 N 111 befestigen INFORMATION F r optimale Wiederholgenauigkeit m ssen alle Komponenten fest miteinander verbunden sein Werkzeug und Zubeh r Vier Zylinderkopfschrauben M3 ISO 4762 mit geeigneter L nge Geeigneter Schraubendreher oder Sechskantschl ssel Voraussetzungen v Sie haben eine geeignete Einbauumgebung bereitgestellt S 15 v Der Linearaktor ist nicht mit dem Controller verbunden
2. 10 Technische Daten Uberspannungskategorie gem EN 60664 1 2007 VDE 0110 1 Schutzklasse gem EN 61140 VDE 0140 1 Verschmutzungsgrad gem EN 60664 1 2007 VDE 0110 1 Schutzart gem IEC 60529 10 2 Bemessungsdaten Der N 111 ist f r folgende Betriebsgr en ausgelegt Betriebsart Maximale Betriebs Maximale Betriebs Maximale Leistungs spannung frequenz oder aufnahme geschwindigkeit unbelastet Analog 250 V 250 V 1 65 W betrieb Vollschritt 600 um s 2 6 W betrieb Nanoschritt 400 um s betrieb fur dynamischen Dauerbetrieb nicht empfohlen bei Vollamplitude und max Frequenz von 250 Hz N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 39 10 Technische Daten Pp I 10 3 Mechanische Belastbarkeit Maximalwerte f r Drehmoment und Kr fte Negative Werte in der Tabelle entsprechen einer Umkehr der Wirkrichtung gem der nachfolgenden Abbildung Parameter Zul ssige Werte Passive Kraft Haltekraft Linearaktor stromlos Fn 70 N bis 70 N Aktive Kraft Hubkraft Fp 50 N bis 50 N Querkraft F 5 N bis 5 N Drehmoment Motin Richtung der L uferachse 0 2 Nm bis 0 2 Nm Drehmoment M durch Querkraft radial nicht dargestellt 0 15 Nm bis 0 15 Nm Die folgende Abbildung zeigt beispielhaft die Richtungen einwirkender Kr fte und Momente Je nach Lage des Aufbaus m ssen Einfl sse der Schwerkraft einberechnet werden Er Fp Abbildu
3. Die Aufl sung entnehmen Sie der Tabelle im Abschnitt Spezifikationen S 37 Optische Linearencoder messen die Ist Position direkt Direktmetrologie Fehler im Antriebsstrang wie z B Nichtlinearit t Umkehrspiel oder elastische Deformation k nnen die Positionsmessung nicht beeinflussen 3 6 2 Referenzschalter Der Linearaktor ist mit einem richtungserkennenden Referenzschalter ausgestattet der ungef hr in der Mitte des Stellwegs angebracht ist Dieser Sensor sendet ein TTL Signal das anzeigt ob sich der Linearaktor auf der positiven oder negativen Seite des Referenzschalters befindet Die Befehle die das Referenzsignal verwenden sind im Benutzerhandbuch des Controllers und oder in den entsprechenden Softwarehandb chern beschrieben 12 Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 4 Auspacken 4 Auspacken 1 Packen Sie den N 111 vorsichtig aus 2 Vergleichen Sie die erhaltene Lieferung mit dem Inhalt laut Vertrag und mit der Packliste 3 berpr fen Sie den Inhalt auf Anzeichen von Sch den Bei Anzeichen von Besch digungen oder fehlenden Teilen wenden Sie sich sofort an PI 4 Bewahren Sie das komplette Verpackungsmaterial auf f r den Fall dass das Produkt zur ckgeschickt werden muss N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 13 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation 5 Installation In diesem Kapitel Geeignete Einbauumgebung
4. ltigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision Die jeweils aktuelle Revision ist auf unserer Website zum Herunterladen S 3 verf gbar PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE Inhalt 1 Uber dieses Dokument 1 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs n nnnsnnnenennennnnnesnnnnesnneesennne 1 1 2 Symbole und kennzechnungen onen 1 1 3 ABB ICE Bis et sn E en rennen 2 1 4 Mitgeltende Dokumente 2 1 5 Handb cher herunterladen nennen nnnnnnennnnnnennnnnnennenn 3 2 Sicherheit 5 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung ssssennnosenrnresrrrrreosrnrnrnsrnrrrensnnrerrsenrrrenne 5 2 2 Allgemeine Gucherhetehnwese 5 2 3 Organisatorische Ma nahmen nenn 6 3 Produktbeschreibung 7 3 1 Merkmale und Amwendungsberech nn nnnnnnnnnennennnnne nenn 7 3 2 POC TEC ICA oeira E e EAE e Er A E E 8 3 3 FO CUI CIN IE ee ccs cage a ee ee et 9 3 3 1 Me 9 3 3 2 Detailbezeichnungen nennen nennen nennen nn 10 3 3 3 ProduktbeschriftUng un an 11 3 4 LAS TORU ale VE 12 3 5 Geeignete Controller cccccccccccecccssseeeceeeeeeseeeseeeeceeeeesseeeeeeeeeeessseeaeeeeeeeeeseaas 12 3 6 Nur N 111 2A1 Technische Ausstattung fur geregelten Betrieb 12 3 6 1 Linearencoder Sensor en nnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnnnnennnn 12 3 6 2 Krk ME 12 4 Auspacken 13 5 Installation BB 5 1 Geeignete Einbauumgebung bereitstellen cccccccseeeceeeeeeseeceeeeeeeseceeeeeanees 15 5 2 IN ALT TOUS S10 Sse scraper asec eae s
5. und nur zeitweise positioniert Schrittbetrieb F r N 111 2A1 gilt zus tzlich INFORMATION Die Wiederholbarkeit des Positionierens ist nur gew hrleistet wenn der Referenzschalter immer von derselben Seite angefahren wird Diese Anforderung erf llen empfohlene Controller von PI durch die automatische Richtungserkennung f r Referenzfahrten zum Referenzschalter 6 2 N 111 betreiben Voraussetzungen v v v Sie haben das Benutzerhandbuch des Controllers gelesen und verstanden Sie haben das Benutzerhandbuch der PC Software gelesen und verstanden Sie haben den Linearaktor ordnungsgem befestigt S 15 und den Schutzleiter angeschlossen S 22 Der Controller und die ben tigte PC Software wurden installiert Alle Anschl sse am Controller wurden eingerichtet siehe Benutzerhandbuch des Controllers N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 29 6 Inbetriebnahme und Betrieb KA I N 111 betreiben gt Folgen Sie f r die Inbetriebnahme und den Betrieb des N 111 den Anweisungen im Handbuch des verwendeten Controllers 6 3 N 111 entladen Der N 111 muss in folgenden F llen entladen werden Wenn der N 111 nicht benutzt wird der Controller aber zur Gew hrleistung der Temperaturstabilit t eingeschaltet bleibt Vor dem Abziehen des Anschlusssteckers z B vor Reinigung und Transport des N 111 sowie bei Umbauten in der Anwendung N 111 entladen 1 Wenn Sie im geregelten Betrieb arbeiten Schal
6. Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung 3 3 3 Produktbeschriftung Abbildung 4 Lage und Aussehen der Produktbeschriftungen Position Besch riftung Beschreibung a Warnzeichen Achtung Restspannung Schutzleitersymbol kennzeichnet den Schutzleiteranschluss des N 111 S 22 3 N 111 2A1 Produktbezeichnung Beispiel die Stellen nach dem Punkt kennzeichnen das Modell 3 113055789 Seriennummer Beispiel individuell f r jeden N 111 Bedeutung der Stellen Z hlung von links 1 interne Information 2 und 3 Herstellungsjahr 4 bis 9 fortlaufende Nummer EO Warnzeichen Handbuch beachten Ces of Origin poranne Germany 3B WWW DI WWW PLWS 0 Herstelleradresse Website N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 11 3 Produktbeschreibung P I 3 4 Lieferumfang Der N 111 wird mit folgenden Komponenten ausgeliefert Bestell Komponente nummer N 111 2x1 Linearaktor gem Bestellung 000036450 Schraubenset M4 f r Schutzleiteranschluss MP142D Benutzerhandbuch in gedruckter Form dieses Dokument Verpackungsmaterial 3 5 Geeignete Controller Controller Beschreibung E 712 1AM Digitaler Motion Controller 1 Kanal f r NEXLINE Nanopositionier Linearantriebe mit inkrementellem Encoder 3 6 Nur N 111 2A1 Technische Ausstattung f r geregelten Betrieb 3 6 1 Linearencoder Sensor Der Linearaktor ist mit einem optischen Linearencoder ausgestattet
7. N 111 befestigen 4x Abbildung 9 Lage der Montagebohrungen schematisch 1 Positionieren Sie die Montagebohrungen in der Montageplatte des Linearaktors siehe Abbildung uber den entsprechenden Bohrungen in der Grundflache 2 Drehen Sie die Zylinderkopfschrauben an allen Montagebohrungen vollst ndig ein 3 berpr fen Sie den festen Sitz des Linearaktors auf der Grundfl che N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 21 5 Installation Pp I 5 3 N 111 an Schutzleiter anschlie en INFORMATION gt Beachten Sie die jeweils geltenden Normen f r die Schutzleiterbefestigung INFORMATION gt Die Bohrung f r den Schutzleiteranschluss ist auf dem Produkt gekennzeichnet S 11 Werkzeug und Zubeh r Geeigneter Schutzleiter Leiterquerschnitt 0 75 mm Isolierung gr n gelb Schraubensatz M4 im Lieferumfang des Linearaktors enthalten Kreuzschlitz Schraubendreher PH 2 N 111 an Schutzleiter anschlie en Abbildung 10 Lage des Schutzleiteranschlusses 22 Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Abbildung 11 Schutzleitermontage schematisch Schraube M4 Zahnscheibe Unterlegscheibe Kabelschuh Linearaktorgeh use mit Schutzleiteranschluss Gewindebohrung M4 und Schutzleiter Symbol 6 Schutzleiter D A OO N A 1 Wenn n tig befestigen Sie einen geeigneten Kabelschuh am Schutzleiter 2 Entnehmen Sie die Schrau
8. haben den Linearaktor ordnungsgem befestigt S 15 und den Schutzleiter angeschlossen S 22 Sie haben einen geeigneten Controller S 12 installiert Sie haben das Benutzerhandbuch des Controllers gelesen und verstanden N 111 am Controller anschlie en 1 Verbinden Sie den Anschlussstecker des Linearaktors mit der entsprechenden Buchse des Controllers siehe Benutzerhandbuch des Controllers 2 Sichern Sie die Steckverbindung mit den integrierten Schrauben gegen unbeabsichtigtes Abziehen 3 Beseitigen oder kennzeichnen Sie entstandene Gefahrenbereiche gem den geltenden Vorschriften und Empfehlungen 26 Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 6 Inbetriebnahme und Betrieb 6 Inbetriebnahme und Betrieb In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Beieb en 27 Kabelen sense te ee bee en see een eher 29 NETT ED BO en ee ee 30 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb Stromschlaggefahr bei fehlendem Schutzleiter Bei fehlendem oder nicht ordnungsgem angeschlossenem Schutzleiter k nnen im Falle eines Fehlers oder Defekts gef hrliche Ber hrungsspannungen am N 111 entstehen Wenn Ber hrungsspannungen vorhanden sind kann das Ber hren des N 111 zu leichten Verletzungen durch Stromschlag f hren gt Schlie en Sie den N 111 vor Inbetriebnahme an einen Schutzleiter an S 22 gt Entfernen Sie den Schutzleiter nicht w hren
9. PI MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor Benutzerhandbuch Version 1 0 0 Datum 15 06 2015 Dieses Dokument beschreibt die folgenden Produkte N 111 201 NEXLINE OEM Piezoschreitaktor 10 mm 50 N N 111 2A1 NEXLINE OEM Piezoschreitaktor 10 mm 50 N Linearencoder 5 nm Aufl sung Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 76228 Karlsruhe Germany Telefon 49 721 4846 0 Fax 49 721 4846 1019 E Mail info pi de PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE PI Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG ist Inhaberin der nachfolgend aufgef hrten Marken PI PIC PICMA PlLine PIFOC PIMag PiezoWalk NEXACT NEXLINE NanoCube NanoAutomation Picoactuator Plnano Die in diesem Dokument beschriebenen Produkte fallen zumindest teilweise unter den Schutz der folgenden Patente Deutsches Patent Nr 10148267B4 US Patent Nr 6 800 984B2 Europaisches Patent Nr 1267478B1 2015 Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Karlsruhe Deutschland Die Texte Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich gesch tzt Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG beh lt insoweit s mtliche Rechte vor Die Verwendung dieser Texte Bilder und Zeichnungen ist nur auszugsweise und nur unter Angabe der Quelle erlaubt Originalbetriebsanleitung Erstdruck 15 06 2015 Dokumentnummer MP142D MMa Version 1 0 0 nderungen vorbehalten Dieses Handbuch verliert seine G
10. Verwendung des N 111 Grunds tzliches Wissen zu geregelten Systemen zu Konzepten der Bewegungssteuerung und zu geeigneten Sicherheitsma nahmen wird vorausgesetzt Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit 1 2 Symbole und Kennzeichnungen In diesem Benutzerhandbuch werden folgende Symbole und Kennzeichnungen verwendet A Gefahrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen leichte Verletzungen gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden HINWEIS Gef hrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen Sachsch den gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 1 1 ber dieses Dokument KA I INFORMATION Informationen zur leichteren Handhabung Tricks Tipps etc Symbol Bedeutung Kennzeichnung 1 Handlung mit mehreren Schritten deren Reihenfolge o eingehalten werden muss gt Handlung mit einem Schritt oder mehreren Schritten deren Reihenfolge nicht relevant ist Aufz hlung 5 5 Querverweis auf Seite 5 RS 232 Bedienelement Beschriftung auf dem Produkt Beispiel Buchse der RS 232 Schnittstelle Auf dem Produkt angebrachte Warnzeichen die auf ausf hrliche Informationen in diesem Handbuch verweisen 1 3 Abbildungen Zugunsten eines besseren Verst ndnisses k nnen Farbgebung Gr enverh ltnisse und Detaillierungsgrad in Illustrationen von den tats chlichen Gegebenheiten abwei
11. b 25 ee eee eee a EEE BE BE ER E BEE VE Versorgungsspannung Schergruppe 2 250 V bis 250 V CC a STEI STEI Ell nz Er Weeer BE nz E Iesel SS RRE 44 Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten Das Zeichen zeigt an dass der entsprechende Anschluss nicht belegt ist 10 5 2 N 111 2A1 13 Ne O NN 14 25 Abbildung 19 Stecker D Sub 25 Pin aer emer i WE C Versorgungsspannung Schergruppe 1 250 V bis 250 V Schergruppe 1 250 V bis 250 V Eingang EEE ngsspannung Encoder u Z Sie a 5V Ref Versorgungsspannung Referenzschalter e prh Versorgungsspannung Schergruppe 2 250 V bis 250 V aaa Encoder Song GND Ref Masse Referenzschalter CH Versorgungsspannung Klemmgruppe 250 V bis 250 V N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 45 10 Technische Daten Pp I Ell nz Er eege BE SE Eeer ke se Eeer ees a E keep TI amp TI Das Zeichen zeigt an dass der entsprechende Anschluss nicht belegt ist 46 Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 11 Altgerat entsorgen 11 Altgerat entsorgen Nach geltendem EU Recht d rfen Elektroger te in den Mitgliedsstaaten der EU nicht ber den kommunalen Restm ll entsorgt werden Entsorgen Sie das Altger t unter Beachtung der internationalen nationalen und regionalen Richtlinien Um der Prod
12. be die Zahnscheiben und Unterlegscheiben der Verpackung des Schraubensatzes 3 Wie in der vorstehenden Abbildung dargestellt Befestigen Sie jeweils eine Unterlegscheibe und eine Zahnscheibe oberhalb und unterhalb des Schutzleiters bzw dessen Kabelschuhs mit der Schraube am Schutzleiteranschluss des Linearaktors Lage des Schutzleiteranschlusses am Linearaktor siehe Abbildung oben A Ziehen Sie die Schraube mit einem Drehmoment von 1 2 Nm bis 1 5 Nm fest 5 Stellen Sie sicher dass der Schutzleiter des Linearaktors innerhalb Ihrer Anwendung jederzeit ordnungsgem mit dem bestehenden Schutzleitungssystem verbunden ist N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 23 5 Installation Pp I 5 4 Last am N 111 befestigen HINWEIS Unzul ssig hohe Last am Linearaktor Unzul ssige hohe Lasten beeintr chtigen die Bewegung des L ufers und k nnen den Linearaktor besch digen oder zerst ren gt Beachten Sie hinsichtlich Masse und Befestigungsart der Last die maximal zul ssigen aktiven und passiven Kr fte und die resultierenden Drehmomente die laut Spezifikation S 37 auf den L ufer wirken d rfen INFORMATION F r optimale Wiederholgenauigkeit m ssen alle Komponenten fest miteinander verbunden sein Voraussetzungen v Sie haben den Linearaktor gem den entsprechenden Anweisungen ordnungsgem befestigt S 21 v Der Linearaktor ist nicht mit dem Controller verbunden Werkzeug und Zubeh r B
13. bereitstellen 0 nnnnnnnn ne nnnnnnne nenn 15 N DCTS SUG EHI NEE 21 N 111 an Schutzleiter anschlie en nennen 22 Last am N 111 befestigen usa ee ee ee 24 N 111 an Controller anschleien 26 5 1 Geeignete Einbauumgebung bereitstellen Einbauempfehlung Der N 111 ist f r das Einschrauben in eine ebene Grundfl che einen Grundk rper oder ein Geh use im Folgenden verallgemeinert Grundfl che genannt vorgesehen Alternativen f r Montagebohrungen siehe auch die nachfolgenden Abbildungen Gewindebohrungen in der Grundfl che Durchgangsbohrungen in der Grundfl che Die nachfolgenden Anleitungen zur Vorbereitung und Durchf hrung der Befestigung beziehen sich auf die Verwendung von Gewindebohrungen N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 15 5 Installation KA I gt Wenn Sie andere Konstruktionen verwenden verfahren Sie entsprechend o 1 KN d ir My SO N SS s nl IN Abbildung 5 Empfohlene Befestigung auf der Grundfl che Schnittzeichnung zur besseren Darstellung nur eine Schraube eingeschraubt Grundfl che Montageplatte des Linearaktors Senkung Durchgangsbohrung f r M3 in der Montageplatte des Linearaktors Gewindebohrung M3 in der Grundfl che Befestigungsschraube Zylinderkopf M3 ISO 4762 9 aA AO DD A 16 Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE Abbildung 6 Beispiel fur Alternative zur empfohlenen Be
14. chen Auch fotografische Abbildungen k nnen abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar 1 4 Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erw hnten Ger te und Programme von PI sind in separaten Handb chern beschrieben E 712 Digitaler Piezocontroller PZ195E User Manual PIMikroMove SM148E Software Manual 2 Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 1 ber dieses Dokument 1 5 Handb cher herunterladen INFORMATION Wenn ein Handbuch fehlt oder Probleme beim Herunterladen auftreten gt Wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 35 INFORMATION F r einige Produkte z B Hexapodsysteme und Elektroniken die mit einer CD ausgeliefert werden ist der Zugang zu den Handb chern durch ein Kennwort gesch tzt Das Kennwort ist auf der CD enthalten Verf gbarkeit der Handb cher Kennwortgesch tzte Handb cher FTP Downloadverzeichnis Frei zug ngliche Handb cher PI Website gt Folgen Sie zum Herunterladen der entsprechenden Anleitung Frei zug ngliche Handb cher herunterladen 1 ffnen Sie die Website http www pi portal ws 2 Klicken Sie auf Downloads 3 Klicken Sie auf die entsprechende Produktkategorie 4 Gehen Sie zum entsprechenden Produktcode Die vorhandenen Handb cher werden angezeigt 5 Klicken Sie auf das gew nschte Handbuch und speichern Sie es auf der Festplatte Ihres PC oder auf einem Datentr ger Kennwortgesch
15. d des Betriebs gt Wenn der Schutzleiter vor bergehend entfernt werden muss z B bei Umbauten schlie en Sie den N 111 vor erneuter Inbetriebnahme wieder an den Schutzleiter an N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 27 6 Inbetriebnahme und Betrieb KA I A Gef hrliche Spannung und Restladung auf Piezoaktoren Der N 111 wird von Piezoaktoren angetrieben Durch Temperaturschwankungen und Druckbelastungen k nnen Ladungen in Piezoaktoren entstehen Nach dem Trennen von der Elektronik k nnen Piezoaktoren f r einige Stunden aufgeladen bleiben Das Ber hren oder Kurzschlie en der Kontakte im Anschlussstecker des N 111 kann zu leichten Verletzungen f hren Die Piezoaktoren k nnen durch eine abrupte Kontraktion zerst rt werden gt ffnen Sie den N 111 nicht gt Ber hren Sie nicht die Kontakte im Anschlussstecker des Linearaktors gt Sichern Sie den Anschlussstecker des Linearaktors mit Schrauben gegen das Abziehen vom Controller Wenn Sie den Anschlussstecker des Linearaktors abziehen m chten gt Ziehen Sie den Stecker nicht w hrend des Betriebs vom Controller ab gt Entladen Sie den Linearaktor vor dem Abziehen des Anschlusssteckers S 30 gt Wenn m glich Schalten Sie vor dem Abziehen des Anschlusssteckers den Controller aus und warten Sie mindestens 10 Sekunden HINWEIS h Erw rmung des N 111 w hrend des Betriebs Die w hrend des Betriebs des N 111 abgegebene W rme kann Ihre An
16. e ee ee ee ee 21 5 3 N 111 an Schutzleiter anschlie en ooaannnnnnnno00nnnnnnnonsnnnnnnnnnnnnnnnnnnnensennnneneeenene 22 5 4 Last am N 111 befestigen nennen 24 5 5 N 111 an Controller anschleien 26 10 11 12 Inbetriebnahme und Betrieb 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb 6 2 N 111 betreiben E 6 3 NIT CGC OMT E Wartung 7 1 Allgemeine Hinweise zur Wartung 7 2 INIT TEINIGER WE Storungsbehebung Kundendienst Technische Daten 10 1 Spezifikationen ci scccececed cectiacacavsgerecevesecdcesedsseqendcicecencacaedexecadeeaves 10 1 1 Bis GG ass 10 1 2 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen 10 2 Bemessungsd len ern 10 3 Mechanische Bel eibarket nennen 104 ADMESSUNGEN E 10 4 1 NUT een euer 10 4 2 NEE AT ee ea E dE laten Le REAN 10 5 1 NEIL ZO EE 10 5 2 NETT ee nee nd Altger t entsorgen EG Konformit tserkl rung PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 1 ber dieses Dokument 1 Uber dieses Dokument In diesem Kapitel Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs nn nnnnnnennnnenn 1 Symbole und kennzechnungen 1 ele le en PER RENNER NENEREBESRENE EHER NER REN WENEEEBINRIE RES HENEEL ETOREEHIEREEE ENEERHENE ERS REHFEIRE RER 2 Mitgeltende Dokumente 2 Handb cher herunterladen nn nnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnn 3 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enth lt die erforderlichen Informationen f r die bestimmungsgem e
17. efestigungsschraube M3 mit geeigneter L nge Tiefe der Gewindebohrung 5 mm weitere Abmessungen siehe S 42 m Wenn notwendig Federring e oder Unterlegscheibe n M3 Gabelschlussel SW 7 Geeigneter Schraubendreher Sechskant oder Gabelschl ssel fur die Befestigungsschraube 24 Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Last am N 111 befestigen Abbildung 12 Relevante Bestandteile des L ufers f r die Lastmontage 1 Schlitsselflache des L ufers 2 Gewindebohrung M3 zur Befestigung der Last Symmetrisch zur Gewindebohrung und im Abstand von 7 mm von der gezeigten Schl sselfl che befindet sich am L ufer eine weitere parallele Schl sselfl che in der obigen Ansicht verdeckt 1 Fixieren Sie den L ufer Setzen Sie den Gabelschl ssel an den Schl sselfl chen des L ufers an 2 Befestigen Sie die Last an der Gewindebohrung im L ufer des Linearaktors mit der Befestigungsschraube und wenn n tig aufgesteckten Abstandshaltern Sicherungsscheiben oder Federringen Drehen Sie die Schraube soweit ein bis Sie einen Widerstand sp ren und ziehen Sie die Schraube mit einem Moment von maximal 1 1 Nm fest 3 berpr fen Sie den festen Sitz der Last N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 25 5 Installation KA I 5 5 N 111 an Controller anschlie en 1 5 m 0 05 m 0 m Abbildung 13 Kabelschema Voraussetzungen v Sie
18. einer Achse bei verschiedenen Geschwindigkeiten vorgesehen Der N 111 ist ein Laborger t im Sinne der DIN EN 61010 1 Er ist f r die Verwendung in Innenr umen und in einer Umgebung vorgesehen die frei von Schmutz l und Schmiermitteln ist Die bestimmungsgem e Verwendung des N 111 ist nur im eingebauten Zustand und in Verbindung mit einem geeigneten Controller m glich S 12 Der Controller ist nicht im Lieferumfang des N 111 enthalten 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise Der N 111 istnach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut Bei unsachgem er Verwendung des N 111 k nnen Benutzer gef hrdet werden und oder Sch den am N 111 entstehen gt Benutzen Sie den N 111 nur bestimmungsgem und in technisch einwandfreiem Zustand Lesen Sie das Benutzerhandbuch Beseitigen Sie St rungen die die Sicherheit beeintr chtigen k nnen umgehend Der Betreiber ist f r den korrekten Einbau und Betrieb des N 111 verantwortlich N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 5 2 Sicherheit PI 2 3 Organisatorische Ma nahmen Benutzerhandbuch gt Halten Sie dieses Benutzerhandbuch st ndig am N 111 verf gbar Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit F gen Sie alle vom Hersteller bereitgestellten Informationen z B Erg nzungen und Technical Notes zum Benutzerhandbuch hinzu Wenn Sie den N 111 an And
19. ere weitergeben f gen Sie dieses Handbuch und alle sonstigen vom Hersteller bereitgestellten Informationen bei F hren Sie Arbeiten grunds tzlich anhand des vollst ndigen Benutzerhandbuchs durch Fehlende Informationen aufgrund eines unvollst ndigen Benutzerhandbuchs k nnen zu leichten Verletzungen und zu Sachsch den f hren Installieren und bedienen Sie den N 111 nur nachdem Sie dieses Benutzerhandbuch gelesen und verstanden haben Personalqualifikation Nur autorisiertes und entsprechend qualifiziertes Personal darf den N 111 installieren in Betrieb nehmen bedienen warten und reinigen 6 Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung In diesem Kapitel Merkmale Und Amwendungsberech nnnnnnnnnnnnnnnnnnnonrnnnresrnnnrensnnrrrnsrnrrrrssnnrrersrnrerenne 7 IO STIS CV SUG EE 8 POG ae Een EE 9 Be ATM Te EE 12 Geeignete Controller ccccccccccccssssecceccseeeececcceeueececeeseseeeecessauseeeeseeeseeeessaaeeeeessseages 12 Nur N 111 2A1 Technische Ausstattung f r geregelten Betrieb 12 3 1 Merkmale und Anwendungsbereich Stellweg 10 mm Hohe Stell und Haltekrafte 50 N 70 N Hohe Positionsaufl sung PiezoWalk Prinzip Selbsthemmend daher keine Haltestr me und keine Warmeentwicklung im Ruhezustand RS Nichtmagnetisches Funktionsprinzip Einsetzbar auch in Umgebunge
20. festigung mit Durchgangsbohrung in der Grundflache und Mutter Grundflache Montageplatte des Linearaktors Senkung Durchgangsbohrung fur M3 in der Montageplatte des Linearaktors Durchgangsbohrung f r M3 in der Grundfl che Befestigungsschraube Zylinderkopf M3 ISO 4762 Mutter M3 NO OG AR Go HS A N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 5 Installation 17 5 Installation KA I Geeignete Einbauumgebung bereitstellen 4 Abbildung 7 Linearaktor auf Grundfl che schematisch relevante Komponenten Grundfl che Ausschnitt Gewindebohrung M3 Geh use des Linearaktors Durchf hrung f r L ufer hier Bohrung 10 mm koaxial zur Bewegungsachse des L ufers N NH a L ufer des Linearaktors 18 Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Abbildung 8 Relevante L uferma e X Durchmesser des L ufers 8 mm Abstand L uferende Unterkante der Montageplatte bei voller Stellwegnutzung 3 mm bis 13 mm in Mittelstellung 8 mm Auslieferzustand Schaltpunkt f r Referenzschalter im N 111 2A1 Bewegungsachse des L ufers Die kompletten Abmessungen des Linearaktors und relevanter Einzelteile k nnen Sie den Abbildungen im Abschnitt Abmessungen S 42 entnehmen F r den bestimmungsgem en Gebrauch des Linearaktors ist eine geeignete Einbauumgebung erforderlich gt Stellen Sie sicher dass die folgenden Bedingun
21. ften Motortyp NEXLINE NEXLINE Betriebsspannung 250 bis 250 250 bis 250 V Anschlusse und Umgebung Betriebstemperaturbereich 40 bis 80 40 bis 80 C Material Aluminium Aluminium Edelstahl Titan Edelstahl Titan Masse 245 325 g Kabell nge 1 5 1 5 m 10 mm Stecker D Sub 25 D Sub 25 Empfohlene Controller E 712 1AM E 712 1AM Abh ngig von der Steuerelektronik Die Angaben beziehen sich auf den Betrieb mit E 712 Controller Abh ngig von der Steuerelektronik Die Angaben beziehen sich auf den Betrieb mit E 712 Controller Die Maximalgeschwindigkeit im Nanoschritt Betrieb ist auf gr tm gliche Konstanz ausgelegt so dass keine Geschwindigkeitsschwankungen beim Ausf hren der Schritte auftreten Die Angaben beziehen sich auf die Bewegung im Vollschritt Betrieb Sonderausf hrungen auf Anfrage 10 1 2 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Folgende Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen sind f r den N 111 zu beachten Einsatzbereich Nur zur Verwendung in Innenr umen Maximale H he 2000 m Luftdruck 1100 hPa bis 0 1 hPa Relative Luftfeuchte H chste relative Luftfeuchte 80 fur Temperaturen bis 31 C nichtkondensierend Linear abnehmend bis 50 relativer Luftfeuchte bei 40 C nichtkondensierend Betriebstemperatur 40 C bis 80 C Lagertemperatur 40 C bis 80 C Transporttemperatur 40 C bis 80 C 38 Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE
22. gen erf llt sind Werkstoff und Statik der Grundfl che und der Schraubverbindungen System Befestigungsschraube Bohrung sind so beschaffen dass die auftretenden statischen und dynamischen Kr fte sicher und dauerhaft beherrscht werden In die Grundfl che sind vier Gewindebohrungen M3 und eine Durchf hrung f r den L ufer eingebracht Die Abst nde der Bohrungen in der Grundfl che entsprechen den Abst nden der Montagebohrungen des Linearaktors Abmessungen siehe S 42 Die Tiefe der Bohrungen ist an die L nge der Schrauben so angepasst dass ein vollst ndiges Einschrauben des Linearaktors gew hrleistet ist N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 19 5 Installation Pp I Die Durchf hrung f r den L ufer ist hinsichtlich Lage und Gr e so beschaffen dass der L ufer die Grundfl che nach der Montage nicht ber hrt Lage und Abmessungen des L ufers siehe S 42 und Abbildung oben Die Umgebungsbedingungen berschreiten nicht die Bereiche die in der Spezifikation f r den N 111 genannt werden siehe Technische Daten S 37 gt Ber cksichtigen Sie bei der Planung der Anwendung und beim Einbau des Linearaktors den Platzbedarf f r eine knickfreie und vorschriftsm ige Kabelf hrung L nge des Anschlusskabels ca 1 5 m gt Wenn n tig sehen Sie Ma nahmen zur Begrenzung oder zum Ausgleich unerw nschter Kr fte und Momente vor Beispiel Schwerkraftausgleich bei vertikaler Montage
23. n mit Reinraum Anforderungen starken Magnetfeldern starker UV Strahlung Vakuum modifizierte Produkte bis 0 1 hPa auf Anfrage Der N 111 NEXLINE OEM Linearaktor ist ein kompakter Antrieb f r die Nanostelltechnik Der Vorschub wird durch koordinierte Scher und Klemmbewegungen von stark vorgespannten Piezoelementen erzeugt die an einen L ufer ankoppeln PiezoWalk Prinzip Damit kombinieren NEXLINE Antriebe relativ lange Stellwege mit der Nanometer Pr zision von Piezoaktoren Der N 111 2A1 ist mit einem Linearencoder zur direkten Positionserfassung des L ufers ausger stet Die Aufl sung betr gt hier 5 nm ber den gesamten Stellweg geregelter Betrieb Im hochdynamischen Analogbetrieb k nnen Positionsaufl sungen bis 25 pm erzielt werden ungeregelter Betrieb N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 7 3 Produktbeschreibung P I Der Linearaktor unterst tzt folgende Betriebsarten f r das Positionieren einer Last Vollschrittbetrieb Lange Stellwege Hohe Geschwindigkeit Gro e dynamische Kr fte Nanoschrittbetrieb Lange Stellwege Vibrationsarmut Gleichf rmigkeit der Bewegung Analogbetrieb Stellwege im um Bereich Hohe Dynamik Hohe Aufl sung gt Entnehmen Sie weitere Details zu den Betriebsarten dem Handbuch des verwendeten Controllers 3 2 Modell bersicht Zwei Standardversionen des N 111 NEXLINE OEM Linearaktors sind erh ltlich Sie unterscheiden sich bez glich des Vo
24. ng 14 Potenziell einwirkende Kr fte und Momente am L ufer schematisch F Aktive Kraft Richtung f r Vorw rtsbewegung des L ufers bzw F Haltekraft bei Stillstand des L ufers F Kraft verursacht durch Last Positionieren oder Halten E Querkraft Ma Drehmoment z B bei Lastmontage gestrichelt Wirkrichtung der verursachenden kraft 40 Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten Geschwindigkeiten und Schrittweiten bei Belastung des Antriebs Abbildung 15 Geschwindigkeit v in Abh ngigkeit von der aktiven Kraft F qualitativ F Aktive Kraft v Geschwindigkeit des L ufers Besondere Zust nde A Leerlauf B Stillstand C Durchrutschen Mit steigender Masse der Last und damit der aufzubringenden aktiven Kraft sinkt die erreichbare Schrittweite der Antriebselemente und damit auch die Maximalgeschwindigkeit des L ufers siehe Ausf hrungen zur Funktionsweise des NEXLINE Antriebs im Handbuch des Controllers Die Zusammenh nge sind qualitativ im obigen Diagramm dargestellt Im unbelasteten Zustand Punkt A werden maximale Schrittweite und Geschwindigkeit f r horizontale Montage von Linearaktor und Last erreicht wenn keine Zugkraft in Richtung der L uferachse wirkt Einwirkende Zugkr fte auf den L ufer z B Schwerkraft bei vertikaler oder in Bezug auf die Horizontale geneigter Montage des Systems k nnen die L uferbeweg
25. nicht optimal eingestellt Gro e nderungen der Zielposition wird nicht stabil Belastung gehalten Unkontrollierte Schwingungen des N 111 Erh hter Verschlei Zu hohe Querkr fte am L ufer Verringerte Genauigkeit Keine oder eingeschr nkte Bewegung i Zu hohe Last Zu hohe Gegenkr fte in Bewegungsrichtung Schalten Sie die Servoregelung unverz glich aus Pr fen Sie die Einstellungen der Regelparameter Wenn n tig korrigieren Sie die Einstellungen der Regelparameter Vermeiden Sie Querkr fte am L ufer des N 111 Verringern Sie die Last siehe Mechanische Belastbarkeit S 40 i vertikaler Montage Sorgen Sie f r einen Schwerkraftausgleich damit die Maximallast S 40 nicht berschritten wird Wenn die St rung Ihres Systems nicht in der Tabelle angef hrt ist oder wenn sie nicht wie beschrieben behoben werden kann kontaktieren Sie unseren Kundendienst S 35 N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 33 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 9 Kundendienst 9 Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre Pl Vertretung oder schreiben Sie uns eine E Mail mailto info pi ws gt Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an Produktcodes und Seriennummern von allen Produkten im System Firmwareversion des Controllers sofern vorhanden Version des Treibers oder der Software sofern vorhanden PC Betriebs
26. rhandenseins eines integrierten Sensors und dadurch bedingt in der Bauh he Ne Abbildung 1 Bauh he hb 1 Aktor 2 Grundfl che Teil der Anwendung h Bauh he 8 Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung Modell Eigenschaften N 111 201 NEXLINE OEM Piezoschreitaktor Stellweg 10 mm max Stellkraft 50 N Bauh he h 42 5 mm N 111 2A1 NEXLINE OEM Piezoschreitaktor Stellweg 10 mm max Stellkraft 50 N mit Linearencoder 5 nm Aufl sung Bauh he h 62 mm gt Entnehmen Sie weitere technische Daten den Spezifikationen S 37 Pl fertigt auf Wunsch auch kundenspezifische Ausf hrungen Kundenspezifische Ausf hrungen k nnen in Bezug auf Ma e Eigenschaften oder sonstige technische Daten von den beschriebenen Standardprodukten abweichen gt Wenden Sie sich bei Bedarf direkt an den Kundendienst S 35 3 3 Produktansicht 3 3 1 berblick af ESCH A dl eil Gilet re a z a gt ee ee Abbildung 2 Linearaktoren N 111 2A1 links und N 111 201 rechts N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 9 3 Produktbeschreibung P I 3 3 2 Detailbezeichnungen Abbildung 3 Lage wichtiger Elemente Ansicht Geh use des Aktors von unten und oben schematisch Bauteile eingef rbt 1 Anschlusskabel 2 Schutzleiteranschluss 3 L ufer nichtdrehend 4 Aktorgehause 5 Montageplatte 10 Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE
27. system sofern vorhanden gt Wenn m glich Fertigen Sie Fotografien oder Videoaufnahmen Ihres Systems an die Sie unserem Kundendienst auf Anfrage senden k nnen Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 35 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten In diesem Kapitel 10 Technische Daten DIC ZHI KA NOME EEN 37 BSI S SUMO SC EE 39 Mechanische Belaeibarken nenne nenne nnnnn nennen nnnnn nenne nenne nenn 40 ADMES SUNOG iere Free 42 ETI SN SUING een een een en 44 10 1 Spezifikationen 10 1 1 Datentabelle N 111 201 N 111 2A1 Einheit Toleranz Aktive Achsen A A Bewegung und Positionieren Stellweg 10 10 mm Schrittweite Schrittbetrieb 10 nm bis 7 um 10 nm bis 7 um Stellweg im Analog Betrieb 2 2 um Integrierter Sensor Linearencoder Aufl sung ungeregelt 0 025 0 025 nm typ Aufl sung geregelt 5 nm Geschwindigkeit 10 Ansteuerung 1 0 1 0 mm s max Vollschrittbetrieb Geschwindigkeit 100 Ansteuerung 0 6 0 6 mm s max Vollschritt Betrieb Geschwindigkeit 100 Ansteuerung 0 4 0 4 mm s max Nanoschritt Betrieb Mechanische Eigenschaften Steifigkeit in Stellrichtung 16 16 N um 20 Hubkraft aktiv 50 50 N max Haltekraft passiv 70 70 N min N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 37 10 Technische Daten Pp I N 111 201 N 111 2A1 Einheit Toleranz Antriebseigenscha
28. ten Sie am Controller den Servomodus aus 2 Stellen Sie am Controller die Piezospannung auf 0 V ein 3 Wenn Sie den Anschlussstecker des N 111 vom Controller abziehen wollen Wenn m glich Schalten Sie den Controller aus Warten Sie vor dem Abziehen des Anschlusssteckers mindestens 10 Sekunden 30 Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 7 Wartung 7 Wartung In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Wartung nennen nennen 31 Vank EE 31 7 1 Allgemeine Hinweise zur Wartung HINWEIS Sch den durch falsche Wartung Der Linearaktor kann durch falsche Wartung dejustiert werden Dadurch k nnen sich die Spezifikationen ndern S 37 gt L sen Sie Schrauben nur entsprechend den Anleitungen in diesem Handbuch 7 2 N 111 reinigen Voraussetzungen v Sie haben die Piezoaktoren des N 111 entladen S 30 v Sie haben den N 111 vom Controller getrennt N 111 reinigen gt Reinigen Sie die Oberfl chen des N 111 mit einem Tuch das leicht mit einem milden Reinigungs oder Desinfektionsmittel z B Ethanol oder Isopropanol angefeuchtet wurde gt F hren Sie keine Ultraschallreinigung durch N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 31 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 8 Storungsbehebung 8 Storungsbehebung St rung M gliche Ursachen Behebung Zielposition wird zu langsam oder mit berschwingen angefahren Regelparameter sind
29. tzte Handb cher herunterladen 1 Legen Sie die CD des Produkts in das PC Laufwerk ein 2 Wechseln Sie auf der CD in das Verzeichnis Manuals 3 ffnen Sie im Verzeichnis Manuals die Release News Datei mit dem Namensbestandteil Releasenews 4 Entnehmen Sie dem Abschnitt User login for software download in den Release News den Benutzernamen user name und das Kennwort password N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 3 1 ber dieses Dokument KA I 5 ffnen Sie das FTP Download Verzeichnis ftp pi ftp ws Windows Betriebssysteme ffnen Sie das FTP Download Verzeichnis im Windows Explorer 6 Melden Sie sich mit dem Benutzernamen und dem Kennwort aus den Release News an 7 Wechseln Sie im Verzeichnis des entsprechenden Produkts in das Unterverzeichnis Manuals 8 Kopieren Sie das gew nschte Handbuch auf die Festplatte Ihres PC oder auf einen Datentr ger 4 Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 2 Sicherheit 2 Sicherheit In diesem Kapitel Bestimmungsgem e Verwendung n nsos1nnnrsssrrrreosrnrnrrsrnnrrersrnrrrrsrnrrrrsnnnrrersrnrrrenne 5 Allgemeine Gicherhetebmweise 5 Organisatorische Ma nahmen sanaaannnnnnnnnnennnnnnnnssnnnnnnrnnsnrnnnrrrrensnnnnrrrrrrssnnnrrrreessennnne 6 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung Entsprechend seiner Bauform ist der N 111 f r die Positionierung Justierung und Verschiebung von Lasten in
30. uktverantwortung als Hersteller gerecht zu werden bernimmt die Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines PI Altger tes sofern es nach dem 13 August 2005 in Verkehr gebracht wurde Falls Sie ein solches Altgerat von PI besitzen k nnen Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 D 76228 Karlsruhe N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 47 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 12 EG Konformitatserklarung 12 EG Konformitatserklarung Fur den N 111 wurde eine EG Konformit tserkl rung gem den folgenden europ ischen Richtlinien ausgestellt 2006 95 EG Niederspannungsrichtlinie 2004 108 EG EMV Richtlinie 2011 65 EU RoHS Richtlinie Die zum Nachweis der Konformitat zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet Sicherheit Niederspannungsrichtlinie EN 61010 1 2010 EMV EN 61326 1 2013 RoHS EN 50581 2012 N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 49
31. ung unterst tzen und die Geschwindigkeit weiter anwachsen lassen Bereich links von Punkt A Dagegen wird vom Linearaktor die maximale aktive Kraft aufgewandt um die maximal zul ssige Belastung Punkt B zu kompensieren In diesem Zustand sinkt die Geschwindigkeit auf 0 Im stromlosen Zustand des Linearaktors ist der L ufer geklemmt Haltekraft erzeugt durch die vorgespannten Piezobaugruppen Daher wird bei zul ssiger Belastung die Position einer angekoppelten Last gehalten Wird die Haltekraft durch unzul ssig hohe Belastung uberkompensiert verliert sich die Klemmwirkung der Piezobaugruppen am L ufer Durchrutschen Punkt CH Verglichen mit der Geschwindigkeit ergeben sich im Normalbetrieb f r die Schrittweiten analoge Verh ltnisse siehe Diagramm Bereich links von B N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 41 10 Technische Daten 10 4 Abmessungen 10 4 1 N 111 201 42 Abmessungen in mm PI Abbildung 16 Abmessungen N 111 201 L ufer in Mittelstellung Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 4 2 N 111 2A1 Abmessungen in mm 10 Technische Daten Abbildung 17 Abmessungen N 111 2A1 L ufer in Mittelstellung N 111 NEXLINE Linearaktor MP142D Version 1 0 0 43 10 Technische Daten KA I 10 5 Pinbelegung 10 5 1 N 111 201 ech QJ co Tononoooononot 86668688688 14 29 O Ca Abbildung 18 Stecker D Su
32. wendung beeintr chtigen gt Installieren Sie den N 111 so dass die Anwendung nicht durch die abgegebene W rme beeintr chtigt wird HINWEIS Unkontrollierte Schwingungen Ihre Anwendung und der N 111 k nnen durch unkontrollierte Schwingungen besch digt werden Unkontrollierte Schwingungen sind dadurch erkennbar dass der Linearaktor die Zielposition zu langsam bzw zu schnell anf hrt oder sie nicht stabil h lt Servozittern Falls w hrend des Betriebs des N 111 unkontrollierte Schwingungen auftreten gt Schalten Sie unverz glich die Servoregelung der betreffenden Achse aus gt Pr fen Sie die Einstellungen der Regelparameter 28 Version 1 0 0 MP142D N 111 NEXLINE Linearaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 6 Inbetriebnahme und Betrieb HINWEIS Erh hte Reibung durch Querkr fte am L ufer Querkr fte die auf den L ufer des N 111 einwirken erh hen die Reibung zwischen L ufer und internen Antriebskomponenten Erh hte Reibung beeintr chtigt die Bewegung des L ufers und erh ht den Verschlei der Antriebskomponenten gt Vermeiden Sie Querkr fte am Laufer des N 111 INFORMATION F r die Kommandierung des Linearaktors wird das Ausfahren des L ufers als positive Bewegungsrichtung vorausgesetzt INFORMATION Im idealen Anwendungsfall wird der Linearaktor quasi statisch betrieben Im quasi statischen Betrieb wird die Last berwiegend an einer bestimmten Position gehalten

Benutzerhandbuch MP142D - Physik Instrumente (PI)

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