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Série modèle 979 Détecteur de fuite muni d`un spectromètre de

1. Sch ma 2 17 Second cran menu 2 7 1 Installation unit s ouchez la case UNITS SET UP pour afficher l cran d installation d auto s quenceur tel qu il figure en Sch ma 2 18 UNITS SET UP NIT SET UP NEXT LEAK RATE PRESSURE USE USE NE VERSION atm cc sec Torr BACK E Sch ma 2 18 cran d installation unit s 2 7 1 1 S lection du taux de fuite et des unit s de pression des prises de test S lectionner le taux de fuite et les unit s de pression de prise de test qui va s afficher sur le graphique barres du taux de fuite ainsi que l cran d affichage tactile LEAK RATE UNITS Touchez la case bascule des unit s LEAK RATE taux de fuite unit s taux de fuite pour faire passer les unit s de taux de fuite en atm cc sec mbar l sec Torr l sec ou en Pa m sec PRESSURE UNITS Touchez la case bascule des unit s PRESSURE pression pour unit s de pression faire passer les unit s de pression des prise de test en Torr mbar ou Pa 2 31 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Cette page a t laiss e en blanc intentionnellement D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Section 3 Entretien La pr sente section aborde les menus VERSION et SERVICE auxquels on acc de via
2. ss 4 16 4 17 Pi ce du p le magn tique sise nnn ets Nn er stntstene 4 17 4 18 Enl vement du joint torique de la pi ce du p le magn tique 4 17 4 19 Enl vement de la deuxi me pi ce du p le magn tique 4 18 4 20 Plaque fente mise la terre d color e nnnnesssneeessnersserrrrrtrrrrtttnrssrernsrern nn nrnne resene 4 18 4 21 Pi ce de p le magn tique mise la terre d color e ssnnssesseneeeenerssrrrnserennrrsrnnresene 4 19 4 22 Lingettes nettoyantes VACUSOIN ft so tant Dandt tin ane 4 19 4 23 Inspection des joints 1OrIQUeS the ent nn nent eee eds 4 20 4 24 Remontage du tube spectrom trique rrtt ntn tset trnseenn nennt ne nnnee 4 21 A 1 Panneau de commande et de communication du SyYSt me sssssessseeeeeerreserrrrerrrere eere A 1 A 2 Sch ma du circuit de sortie isolation optique A 2 A 3 Sch ma du circuit d entr e avec isolation optique A 3 A 4 Diagramme de c blage 979 COM ssssessssesssrrrrersnttstttressttrnrntrntrtnnntnsttnrnseeenn ennnen nenene A 4 C 1a Objet du test vacu Sonde traceur utilis e pour rep rer la fuite C 6 C 1b Objet du test vacu et mis sous cloche sous atmosph re d h lium pour d terminer le taux de fuite global C 6 C 2 Objet du test sous pression Sonde d tecteur utilis e pour rep rer la fuite C 7 C 3 Objet du test tanch is l h lium ou un m lange d h lium et d autre gaz cloche s
3. REJECT REJET Indique une d faillance de l objet test au cours du cycle de test d auto s quen age Voir Section 2 6 3 Installation de l auto s quenceur la page 2 19 STABILIZATION WAIT ATTENTE STABILISATION Indique que le syst me attend que l lectronique se stabilise avant d achever la proc dure de mise en route STD LEAK PREP PREP FUITE STD Indique que la fuite interne talonn e optionnelle est pr vid e avant son introduction directement dans le syst me pour contr le de l talonnage SWITCHING FILAMENTS CHANGEMENT DE FILAMENTS Indique que le syst me est momentan ment en train de passer d un filament grill au filament disponible suivant SYSTEM PRESSURE WAIT ATTENTE PRESSION SYSTEM Indique que la pression du syst me tube du spectrom tre est trop lev e pour allumer le filament source d ions SYSTEME PR T Indique que le syst me est pr t aux fins de test Ce message ne s affichera que lors de la phase de d marrage initiale et il dispara tra apr s le premier cycle de test ZEROING REMISE A Z RO EN COURS Indique que le d tecteur de fuites est en train de proc der la remise z ro partir d un signal de fond La proc dure de remise z ro n est initi e automatiquement qu au cours des proc dures de d marrage et d talonnage ou manuellement lorsque l op rateur appuie sur le bouton Z RO sur le panneau de contr le
4. Broche Nom de la sortie Momentan e Descriptif ou niveau Alimentation S O 5 24 V c c fourni par le client pour toutes les sorties P101 REJ 1 Niveau Actif quand le taux de fuite est sup rieur au point de r glage n 1 REJ 2 Niveau Actif quand le taux de fuite est sup rieur au point de r glage n 2 REJ 3 Niveau Actif quand le taux de fuite est sup rieur au point de r glage n 3 REJ 4 Niveau Actif quand le taux de fuite est sup rieur au point de r glage n 4 START OUT SORTIE D MARRAGE Niveau Actif lev lorsque 979 est en mode industriel VENT OUT SORTIE VENT Niveau Actif lev lorsque 979 est en mode vent TEST OUT SORTIE TEST Niveau Actif lev lorsque 979 est en mode test BUSY OUT SORTIE OCCUP Niveau Actif lev lorsque 979 est en mode occup WAKE UP OUT SORTIE R VEIL Niveau Actif lev lorsque 979 est en mode r veil NOT READY OUT SORTIE NON PR T Niveau Actif lev lorsque 979 est en mode non pr t SPARE OUT SORTIE RECHANGE Niveau Sortie suppl mentaire S rie 979 Client E S 2 2 Automate VV v programmable E S 3 lt ES4 YA lt lt E S 12 Y o gt E S 13 Sch ma A 2 Sch ma du circuit de sortie isolation optique 5 24V c c A 2 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium A2 Entr es is
5. D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Contacter Vacuum Technologies Aux tats Unis vous pouvez contacter le Service client le de Vacuum Technologies au 1 800 8VARIAN Utilisateurs Internet Q Adressez un e mail au Service client le et d assistance technique l adresse suivante vpl customer support varianinc com Q Visitez notre site Internet www varianinc com vacuum Q Commande en ligne www evarian com Pour consulter la liste de nos bureaux de vente et de service veuillez vous reporter la quatri me de couverture du pr sent manuel xxiii D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Cette page a t laiss e intentionnellement en blanc D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Section 1 Pr sentation du mod le s rie 979 1 1 Le mod le 979 Le mod le 979 est un d tecteur de fuites spectrom tre de masse h lium gamme tendue Il est constitu d une pompe vide turbomol culaire pouss e d un tube de spectrom tre d une bo te soupapes de l lectronique de d tecteur de fuites de la plate forme de Vacuum Technologies ainsi que d une interface op rateur dans un bo tier la fois esth tique et robuste Le mod le 979 existe en version unit autonome destin e tre fix e sur un quipement fixe ou station d essai d tanch it
6. pompe m canique unique ou double joint sec ou joint d tanch it huile mont e sur un chariot Des dessins graphiques pour chaque configuration figurent dans la Section 1 1 1 Configurations du Mod le s rie 979 Le mod le 979 fait appel l architecture de l lectronique de d tecteur de fuites de la plate forme de Vacuum Technologies pour g rer le montage du spectrom tre contr ler les pompes m caniques et vide pouss contr ler la bo te soupapes et fournir des indications de niveau de fuite et l tat du syst me l interface op rateur 1 1 1 Configurations du Mod le s rie 979 Cette section contient des dessins graphiques des diverses configurations du d tecteur de fuites de la s rie 979 Sch ma 1 1 est un dessin graphique comportant les dimensions physiques du d tecteur de fuites de la s rie 979 version autonome destin e tre mont e sur un quipement fixe 36 12 57 52 26215 pe 7 2 26 10 32 503 94 19 84 82 20 85mm Sch ma 1 1 Unit 079 destin e tre mont e sur un quipement fixe 1 1 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 1 2 Sch ma 1 2 est un dessin graphique comportant les dimensions physiques d une unique station d essais d tanch it pompage m canique et joint tanche huile d un d tecteur de fuites de la s rie 979 sur un chariot
7. tanch it huile sont exp di es avec leur propre charge d huile initiale l avant des pompes de pr vidage et des pompes primaires se trouve une jauge visuelle de niveau d huile Lorsque la pompe est l arr t le niveau d huile devrait se trouver mi hauteur de la jauge visuelle Apr s avoir fait fonctionner la pompe durant au moins 10 minutes contr lez le niveau d huile Pour de plus amples informations consultez le Manuel de l utilisateur de la pompe m canique qui accompagne avec la pompe D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 1 5 Installation Le d tecteur de fuites de la s rie 979 est livr compl tement assembl conform ment la commande Placez le 979 proximit de sa source d alimentation lectrique Assurez vous qu il se trouve au moins dix centim tres de sa propre VENT et qu il y a suffisamment d espace pour que l op rateur ait suffisament de place pour effectuer les op rations d essai en toute s curit ce stade les sp cifications suppl mentaires en mati re de VENT correspondant votre application sp cifique tels qu indiqu es la Section 1 3 3 Mesures d entretien suppl mentaires recommand es doivent galement tre rappel es NOTE Reportez vous la Section 1 5 4 Installations de syst me fixe pour des instructions en mati re d installation de syst mes fixes qui n cessitent une certaine configuration par le cl
8. FILAMENT WAIT ATTENTE FILAMENT Indique que le syst me allume le filament C clignotant affich en exposant Indique que le d tecteur de fuites a besoin d tre talonn GAIN TOO HIGH GAIN TROP ELEVE Indique que la valeur de gain requise pour talonner le d tecteur de fuites lors de la proc dure d talonnage est sup rieure la valeur maximale autoris e C est g n ralement la cons quence d une sensibilit du syst me fix e un niveau trop bas GAIN TOO LOW GAIN TROP FAIBLE Indique que la valeur de gain requise pour talonner le d tecteur de fuites lors de la proc dure d talonnage est inf rieure la valeur minimale autoris e C est g n ralement la cons quence d une sensibilit du syst me fix e un niveau trop lev D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Tableau 2 3 tats de situation du 979 Continued Affichage Descriptif NO FOCUS PEAK PAS DE PIC FOCAL Indique une d faillance de r glage talonnage due au fait que le syst me n a pas d tect un pic focal au cours de la proc dure d auto r glage NO ION PEAK PAS DE PIC D ION Indique une d faillance de r glage talonnage due au fait que le syst me n a pas d tect un pic d ion au cours de la proc dure d auto r glage OFFSET WAIT ATTENTE CART Indique que le syst me d finit la valeur OFFSET D PLACEMENT
9. NOTICE This document contains references to Varian Please note that Varian Inc is now part of Agilent Technologies For more information go to www agilent com chem Re Agilent Technologies S rie mod le 979 OPERATIONS MANUAL D tecteur de fuite muni d un spectrom tre de masse l h lium Manuel n 699909979 R vision L Mars 2005 S rie mod le 979 D tecteur de fuite muni d un spectrom tre de masse l h lium X Contra Flow ConvecTorr et TriScroll sont des marques ou des marques d pos es de Vacuum Technologies Alconox est une marque d pos e d Alconox Inc Apiezon est une marque d pos e de M amp l Materials Ltd Loctite et PST sont des marques d pos es de Loctite Corporation Scotch Brite est une marque d pos e de 3M Copyright 2005 Vacuum Technologies D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Garantie Les produits fabriqu s par le Vendeur sont garantis contre tous d fauts pi ces et main d oeuvre durant douze 12 mois compter de la date laquelle ils ont t exp di s au Client et la responsabilit du Vendeur en vertu de la garantie en vigueur est limit e au choix du Vendeur la r paration au remplacement ou au remboursement d une part quitable du prix du produit Les l ments consommables dans le cadre d une utilisation normale ne sont pas couverts par la pr sente garantie Tout remplacement
10. D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Affichage du taux de fuite Affichage de la pression Contr le du volume sonore Marche arr t d tecteur VENT Essai pause Z ro Lecture fuite standard Ftalonner Le grand graphique barres affiche le taux de fuite dans l une des deux formes ci apr s Q une mantisse sur la barre et un exposant num rique Q une simple barre sous la forme de l affichage d un graphique barres logarithmique L tiquette du graphique barres change en fonction du mode de fonctionnement choisi Deux barres graphiques plus petites indiquent les pressions dans le tube de spectrom tre et la prise d essai Les petits graphiques barres changent de couleur pour indiquer des conditions plus ou moins favorables Une paire de boutons permet de modifier le volume de l indicateur sonore de niveau de fuite Le bouton MARCHE ARR T D TECTEUR permet de placer le 979 en mode D TECTEUR activ ou arr t La DEL s allume lorsque le mode D TECTEUR est activ Le bouton VENT fait passer le 979 en mode ventil L indicateur DEL s allume lorsque le 979 est en mode ventil Lorsque l appareil est en mode VENT VENT ou HOLD PAUSE et que vous pressez le bouton TEST HOLD ESSAI PAUSE le 979 passe automatiquement par la phase de pr vidage puis par diverses tapes de test en fonction des pressions de prise d
11. Outre les trois connecteurs au sommet de l unit rep r s par sur le Sch ma 4 2 et le c ble de mise la terre le tube spectrom tre est fix par une fiche raccordement rapide KF 25 ISO NW 25 et un crou oreilles qui se trouve sous le tube ne figure pas sur cette pr sentation 4 Enlever les trois connecteurs au sommet du tube spectrom tre Sch ma 4 3 Les c bles du connecteur sont tiquet s TC source d ions et pr amplificateur Si les c bles ne sont pas tiquet s il est pr f rable de le faire d s maintenant pour toute utilisation ult rieure Sch ma 4 3 Enl vement des connecteurs 4 8 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 5 D branchez le c b le de mise la terre de l aimant du tube spectrom tre en enlevant la vis l aide d un tournevis fente Sch ma 4 3 6 Enlevez l crou oreilles qui se trouve sous l tag re en dessous du tube spectrom tre Sch ma 4 4 7 Enlevez la fiche raccordement rapide KF 25 ISO NW 25 pour d brancher le tube spectrom tre du syst me vide 979 Sch ma 4 5 Sch ma 4 5 Fiche raccordement rapide KF 25 4 9 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 4 10 8 Soulevez le tube spectrom tre et enlevez le du plateau avant de le d poser sur une surface propre non magn tique AVERTISSEMENT Si l aimant du tube spect
12. TC de pression du syst me par rapport l atmosph re n est n cessaire que si le tube de la jauge TC du syst me est remplac ou si l talonnage semble tre arr t 1 Lors du remplacement du TC syst me d branchez la ou les pompes de l arri re du 979 avant de mettre le d tecteur de fuite sous tension Mettez le 979 sous tension en appuyant sur ON et acc dez au menu de l cran tactile talonnage de la jauge Placez la clef d entretien T009 dans l interrupteur clef et mettez l interrupteur clef en position de SERVICE Touchez la case SYSTEM TC ATM Q La mention CAL OK sur la droite de la case SYSTEM TC ATM confirme que l talonnage a r ussi Q Un message d erreur FAILED s affiche en cas d chec de l talonnage Cet chec peut provenir de la pr sence d une jauge thermocouple d fectueuse ou contamin e ou bien du fait que la pression r elle tait ou proche de l atmosph re Mettez le d tecteur de fuite hors tension Branchez les pompes m caniques dans les r ceptables appropri s et remettez de nouveau sous tension D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 3 1 5 2 Proc dure d talonnage de la jauge de pression de la prise de test Cette proc dure permet de proc der l talonnage de la jauge thermocouple de pression de la prise de test Les proc dures d talonnage du vide et atmosph riques doivent tre effectu es dans l ord
13. Tension d ions D finir le param tre 3 6 type 3 6 Tension du filtre anti parasite 3 7 Tension du r flecteur 3 6 Type 3 6 Tension en ions Tension du r flecteur 3 6 Tension focale fix e 3 7 Tension focale variable 3 7 Type 3 7 Test de fuite C 1 Tests de rep rage des fuites C 1 Transfert de fuite contre courant 2 30 Tube spectrom tre Remise en tat 4 6 Turbo pompe Disjoncteur 1 17 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Types de fuite C 1 U Ultrasons C 3 Unit s de taux de fuite 2 31 Utilisation pour tanch isation C 7 V Valeur d placement pr amplificateur 3 4 Fourchette normale 3 4 Variable de d lai de pr vidage 2 20 Variable de d lai de test 2 20 Variable points de r glage audio 2 18 Variable points de r glage de rejet 2 18 V rification de la sensibilit via le panneau de commande avant optionnel 4 5 Canada Coordination centrale par le biais de Varian Inc 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 Etats Unis T l 781 861 7200 Fax 781 860 5437 Num ro d appel gratuit 800 882 7426 Chine Varian Technologies Beijing Room 1201 Jinyu Mansion No 129A Xuanwumen Xidajie Xicheng District Beijing 1000031 Chine T l 86 10 6608 1031 Fax 86 10 6608 1541 France et Benelux Varian s a 7 avenue des tropiques Z A de Courtaboeuf B P 12 Les Ulis cedex Orsay 91941 France T l 33 1 69 86 38 13
14. cloche sous verre utilis e pour d terminer le taux de fuite global C 7 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Il est parfois n cessaire de v rifier l absence de toute fuite sur un objet enti rement tanche Pour ce faire de l h lium peut tre plac l int rieur de l objet avant de proc der tanch isation soit 100 ou m lang d autres gaz utilis s pour le remplissage L objet est alors plac dans une chambre vide reli e au d tecteur de fuite L chappement d h lium depuis l objet vers la chambre vide est rep r par le tube du spectrom tre La sensibilit d pend de la pression partielle de l h lium dans l objet Si la pr sence d h lium dans l objet fini est ind sirable les unit s d j tanches pourront d abord tre plac es dans un conteneur qui est ensuite mis sous pression l h lium pour une dur e donn e une pression connue L h lium p n tre l objet par toutes fuites qui pourront tre rep r es ult rieurement comme indiqu dans le pr c dent paragraphe Il est parfois possible que des fuites grossi res ne soient pas d tect es tant donn que tout l h lium qui p n tre par une grosse fuite peut tre perdu pr alablement au test De m me il est possible que des conclusions erron es d coulent du fait que l h lium ne p n tre pas l objet mais s insinue par des fissures de surface et reste suffi
15. deux roues Sch ma 1 2 Configuration en version unique pompe m canique et joint tanche huile sur un chariot deux roues D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Sch ma 1 3 est un dessin graphique comportant les dimensions physiques d une unique station d essais d tanch it pompage m canique et joint sec d un d tecteur de fuites de la s rie 979 sur un chariot deux roues Sch ma 1 3 Configuration en version unique pompe m canique joint sec sur un chariot deux roues 1 3 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 1 4 Sch ma 1 4 est un dessin graphique comportant les dimensions physiques d une unique station d essais d tanch it pompage m canique et joint sec d un d tecteur de fuites de la s rie 979 sur un chariot quatre roues Sch ma 1 4 Configuration en version unique pompe m canique joint sec sur un chariot quatre roues D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Sch ma 1 5 est un dessin graphique comportant les dimensions physiques d une double station d essais d tanch it pompage m canique et joint tanche huile d un d tecteur de fuites de la s rie 979 sur un chariot quatre roues Sch ma 1 5 Configuration en version double pompe m canique et joint tanche
16. distance A 1 A 5 distance universelle A 5 Alimentation non isol e A 5 RS 232 non isol A 5 Connecteur de s rie Commande distance non isol e RS 232 A 5 Connecteur E S 1 15 A 1 Emplacement A 1 Sch ma du circuit de sortie isolation optique A 2 Sortie isolation optique A 2 Connecteurs de l interface du panneau arri re A 1 Connexion la pompe de refoulement primaire 1 15 Contr le du volume sonore 1 13 Conversions d finition du C 2 Courant d mission 3 6 Type 3 6 D ballage du 979 1 7 D bit vide C 5 D bit d finition du C 2 D finition de la thermov locim trie C 2 D sactiver l arr t de fourchette 2 23 D sactiver l auto s quenceur 2 20 D tecteur Bouton marche arr t 1 13 Installation 2 6 Tranches de sensibilit de mode 2 6 D tecteur de fuite par spectrom tre de masse l h lium C 8 D tecteur de fuites tat 2 9 2 10 Situation 2 10 D tection de fuite l aide d un spectrom tre de masse l h lium C 4 Diagramme syst me vide 979 3 8 3 10 Disjoncteurs 1 16 1 17 Pompe de pr vidage 1 17 Pompe primaire 1 17 Soupape de pr vidage 1 17 Turbo pompe 1 17 E E S discr te Sch ma de circuit d entr e A 3 Sch ma du circuit de sortie A 2 cran contr le soupape manuelle 3 8 cran d accueil 2 7 2 9 Affichage d indication de situation 2 9 Affichage du rejet d indicateur de situation 2 9 Affichage tat du d tecteur de fuites 2 9 Affichage indicateur syst me pr
17. du syst me 2 24 Sensibilit lev e 2 25 Sensibilit standard 2 25 Sonde pour rep rer une fuite C 7 Sonde traceur permettant de rep rer la fuite C 6 Sortie analogique 2 26 Lin aire 2 26 2 28 LOG par d cade 1 V 2 26 2 27 Logarithmique 2 27 non isol e A 4 Tableaux de conversion 2 26 2 27 2 28 Sortie analogique lin aire 2 26 2 28 Sortie LOG 1V Dec d cade 2 26 Sortie logarithmique 2 27 Soupape de pr vidage Disjoncteur 1 17 Source d ions 4 14 Courant d mission 3 6 Fil 1 actif 3 7 Fil 2 actif 3 7 Focale fix e 3 7 Remplacement 4 18 4 22 S lection auto filament 3 7 S lection du filament 3 7 Tension du filtre anti parasite 3 7 Tension focale variable 3 7 Sp cifications en mati re de rangement 1 12 Suppression de la Source d ions 4 14 Suppression des P les magn tiques 4 17 Suppression du Bouton TC 4 12 Pr amplificateur 4 16 Syst me pr t cran d accueil cran tactile 3 11 Syst mes herm tiques C 1 Syst mes vide C 1 Tableau de conversion Tension de sortie lin aire 2 27 Tension de sortie logarithmique 2 27 Tableau de notation d cimale C 2 Tableau des tats de fonctionnement du 979 2 11 Tableau des tats de situation du 979 2 12 Taux de fuite C 5 C 6 S lection d une tension de sortie analogique 2 26 Sortie analogique lin aire 2 26 Sortie LOG par d cade 1 V 2 26 Taux de fuite num rique 2 9 Affichage du taux de fuite sur l cran d accueil 2 9 Affichage graphique barres 2 9
18. pour la version s che avec pompes m caniques humides TriScroliTM Humidit Humidit relative maximale HR 80 lorsque la temp rature est inf rieure ou gale 31 C 88 F diminuant de mani re lin aire jusqu une HR de 50 40 C 104 F Ne pas exposer au givre la ros e la condensation la pluie les radiations solaires etc Pression de l air 75 kPa 563 Torr 106 kPa 795 Torr Conditions de stockage ambiantes Humidit relative 0 95 absence de condensation Temp rature 20 C 4 F 60 C 140 C Besoins en alimentation lectrique 100 V c a 20 A 50 Hz 115 V c a 20 A 60 Hz ou 230 V c a 20 A 50 60 Hz Courant de mise en route pour la version Humide jusqu un pic de 85 A durant 10 secondes une temp rature inf rieure 20 C 68 F Note 1 La tension d entr e ne peut tre modifi e par le client Note 2 ne pas utiliser de rallonge Directive EMC 89 392 EEC EN61326 1997 Dimensions Voir les dessins cot s Sch ma 1 1 la page 1 1 Sch ma 1 6 la page 1 6 Poids 50 Ib 23 kg net unit autonome de syst me fixe 180 Ib 82 kg net 979 version humide 1 pompe avec pompe tanch it huile DS 302 sur chariot deux roues 243 lb 111 kg net 979 version humide 2 pompes avec pompe tanch it huile DS 302 et SD 451 sur chariot quatre roues 1
19. principe de s paration magn tique C 9 Principes de la spectrom trie de masse C 4 Principes de spectrom trie de masse C 4 Protocole de communication 2 28 B 1 Protocole de communication en s rie 2 28 B 1 Radioisotope C 3 R talonnage de la fuite interne talonn e 4 5 R glage du tube spec 3 5 Rejet d indicateur de situation 2 9 2 10 Remise z ro 3 3 Remise z ro manuelle 3 3 Remise en tat Tube spectrom tre 4 6 Remise en tat du tube spectrom tre 4 6 Remontage du spectrom tre 4 21 Remplacement de la source d ions 4 18 4 22 Rep rer la fuite par sondage C 7 RS 232 de s rie non isol e A 4 Sch ma de circuit isolation optique E S D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium discr te Entr e A 3 Sch ma du circuit Entr e E S discr te A 3 Sortie E S discr te A 2 Sch ma du circuit isolation optique Sortie A 2 Second cran de s lection par menu 2 30 Entretien 3 2 Version 3 1 Second cran menu 2 31 3 1 3 2 S lection auto filament 3 7 S lection d talonnage externe 2 17 S lection d talonnage interne 2 17 S lection de la taille de la pompe primaire 2 22 S lection des unit s de pression 2 31 S lection du filament 3 7 Fil 1 actif 3 7 Fil 2 actif 3 7 S lection auto filament 3 7 S lection mode pr vidage uniquement 2 21 S lection unit s de taux de fuite 2 31 S lectionner mode courant divergent 2 21 S lectionnez des options 2 8 Sensibilit
20. rieur droit de l cran Info Syst me Touchez cette case pour retourner l cran d accueil du 979 Tableau 2 4 Situation de l cran d information du syst me CONDITION DISPLAY DESCRIPTION AUDIO SET POINT AUDIO SET POINT ACTIVE Le point de r glage audio est actif AUDIO SET POINT INACTIVE Le point de r glage audio n est pas actif AUTO SEQUENCER AUTO SEQUENCER ON L auto s quenceur cycle de test automatis est activ AUTO SEQUENCER OFF L auto s quenceur cycle de test automatis n est pas activ CALIBRATED LEAK INT CAL LEAK Le syst me est r gl en vue de l talonnage par rapport une fuite interne standard EXT CAL LEAK Le syst me est r gl en vue d talonnage par rapport une fuite externe standard D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Tableau 2 4 Situation de l cran d information du syst me Continued CONDITION DISPLAY DESCRIPTION GROSS LEAK GROSS LEAK INSTALLED Fuite brute install e standard sur les configurations double pompe GROSS LEAK NOT INSTALLED Fuite brute non install e ION SOURCE FILAMENT FIL 1 OFF Le filament 1 est s lectionn et non allum FIL 1 ON Le filament 1 est s lectionn et allum FIL 2 OFF Le filament 2 est s lectionn et non allum FIL 2 ON Le filament 2 est s lectionn et allum LEAK RATE RANGE
21. sec sur un chariot deux roues ii 1 3 1 4 Configuration en version unique pompe m canique joint sec sur un chariot quatre roues 1 4 1 5 Configuration en version double pompe m canique et joint tanche huile sur un chariot quatre roues sessssssesssrrreeerrrresrrrrssrrrssrrrnn 1 5 1 6 Configuration en version double pompe m canique joint sec sur un chariot quatre roues rererere nnet 1 6 1 7 Installation de syst me fixe 970 nt ras Mn ee ann nnee neet 1 11 1 8 Affichage et commandes du panneau avant 1 12 1 9 Panneau de commande et de communication du syst me sssssssssrrrreerreresrrrrrsrrr reee 1 15 1 10 Commande de puissance et disjoncteurs ss essssseereereeeretrtresttrrstetr rtrt rnn test trn neren nent 1 16 1 11 Option de dispositif de commande distance universel 1 18 2 1 979 Pa eau avant ele nada es nat den den art tds E e rec ie 2 2 2 2 979 cran d accueil cran tactile eee 2 7 2 3 cran d accueil de l cran tactile du 979 2 9 2 4 Taux de fuite affich sur l cran d accueil 0 6E 09 atM cc sec ssssnnessssseneereerererreseee 2 9 2 5 Affichage par graphique barres 0 6 x 10 09 atm cc sec sssssssssesneseernnnnesssrrrrreeeeeee 2 9 2 6 cran d information syst me affichage habituel 2 14 2 7 cran d s lection premier Menu 2122082 henennl nieenttinia 2 16 2 8 cran d installat
22. tiques 1 Enlevez les 4 vis fente pour d gager la pi ce du p le magn tique Sch ma 4 17 Sch ma 4 17 Pi ce du p le magn tique 2 Prenez le corps du tube spectrom trique et renversez le pour enlever la pi ce du p le magn tique 3 Enlevez le joint torique de la pi ce du p le magn tique et placez le joint torique et la pi ce du p le magn tique sur une surface propre Sch ma 4 18 Sch ma 4 18 Enl vement du joint torique de la pi ce du p le magn tique D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 4 Renouvelez les tapes 1 2 et 3 Section 4 3 5 Enlevez les p les magn tiques la page 4 17 pour enlever la seconde pi ce du p le magn tique Sch ma 4 19 de l autre c t du corps du tube spectrom trique Sch ma 4 19 Enl vement de la deuxi me pi ce du p le magn tique 4 3 6 Examen et nettoyage des pi ces du spectrom tre 1 l aide du Scotch Brite du kit de nettoyage du tube spectrom tre nettoyez toutes les zones d color es l int rieur de la cavit du tube 2 l aide du Scotch Brite nettoyez toutes les zones d color es de la plaque fente mise la terre Sch ma 4 20 Sch ma 4 20 Plaque fente mise la terre d color e AVERTISSEMENT La plaque fente mise la terre tant tr s mince veillez ne pas la courber ou la d former pendant le nettoyage 4 18 D tecteur de fuites
23. tre de masse l h lium 3 1 1 Remise z ro manuelle et talonnage Touchez la case MANUAL ZEROING remise z ro et CALIBRATE talonnage pour afficher l cran de remise z ro et d talonnage Cal Sch ma 3 4 qui permet de contr ler la fonction O du dispositif de remise z ro automatique AUTO ZERO du d tecteur de fuite lt et d afficher et de r gler le gain du tube du spectrom tre MANUAL ZEROING AND CAL MANUAL MANUAL ZEROING amp VALVE CALIBRATE CONTROL AUTO ZERO lt 0 ACTIVE GAIN X X MANUAL OFFSET XX SPEC TUBE SS TUNING SYSTEM INIT BACK SET UP UP ESC DONE Sch ma 3 4 cran de remise z ro manuelle et d talonnage 3 1 1 1 AUTO ZERO lt 0 Touchez la case bascule 0 de AUTO ZERO lt pour faire passer la fonction O de Auto Zero lt du mode Actif au mode Inactif et vice versa L cran de la case cran tactile indique le param trage en cours ACTIVE Quand la fonction O0 de lt AUTO ZERO est activ e elle ram ne automatiquement le point de r f rence z ro sur z ro lorsque le niveau d arri re plan de l h lium chute en de du point de r f rence pr alablement r gl sur z ro Cette fonction permet d avoir l assurance que le d tecteur de fuites continue l talonnage une fois que le signal d arri re plan pr alablement remis z ro s efface naturellement
24. 1 5 A 230 volt CA Q 3 0 A 100 volt CA 115 volt CA Q 1 5 A 230 volt CA D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 1 9 Option de commande distance universelle Le dispositif de commande distance universel repr sent au Sch ma 1 11 conf re l op rateur un contr le limit du D tecteur de Fuites de la s rie 979 une distance maximum de 25 pieds de l unit Le dispositif de commande distance universel est connect par le port tiquet dispositif de commande distance Vacuum Technologies sur le panneau arri re voir Sch ma 1 9 la page 1 15 En ce qui concerne les instructions d utilisation reportez vous au manuel de l utilisateur du dispositif de commande distance fourni avec le dispositif lui m me Sch ma 1 11 Option de dispositif de commande distance universel D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 1 10 Sp cifications Les sp cifications pour le D ctecteur de Fuites de la s rie 979 figurent Tableau 1 1 Tableau 1 1 Sp cifications Sp cifications relatives la s rie 979 Versions du spectrom tre de masse h lium 979 Sensibilit du syst me Sensibilit normale Sensibilit lev e Type pompe vide pouss refroidissement air sans entretien Pompe turbomol culaire de Vacuum Technologies Pompe de Humide Humide pr
25. 2 9 Bo tiers herm tiques C 1 Bo tiers sous vide C 1 Bouton essai pause 1 13 Bouton talonner 1 13 Bouton VENT 1 13 Bouton lecture fuite standard 1 13 Bouton TC 4 12 Bouton z ro 1 13 Boutons poussoirs du panneau avant Activer 3 10 D sactiver 3 10 Calcul du taux de fuite C 6 cc sec r gulier c atm cc sec C 2 Commande de puissance et disjoncteurs 1 16 Alimentation lectrique de la pompe de pr vidage 1 17 Alimentation lectrique de la pompe primaire 1 17 Alimentation lectrique de la soupape de pr vidage 1 17 Disjoncteurs 1 17 Interrupteur marche arr t 1 17 Commande de sortie 2 26 Commande soupape manuelle 3 8 Commandes d actions de d tection de fuite B 10 Configuration pompe m canique double 2 21 Test brut uniquement 2 24 Configuration d arr t de fourchette 2 23 Configuration fourchette manuelle 2 23 Configurations du Mod le s rie 979 1 1 Pompe m canique double joint sec sur un chariot quatre roues 1 5 Pompe m canique unique joint sec sur un chariot deux roues 1 3 Pompe m canique unique joint sec sur un chariot quatre roues 1 6 pompe m canique unique joint sec sur D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium un chariot quatre roues 1 4 Pompe m canique unique joint tanche huile sur un chariot deux roues 1 2 Version autonome destin e tre mont e sur un quipement fixe 1 1 Connecteur de commande
26. 21 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Cette page a t laiss e en blanc intentionnellement D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Section 2 Utiliser le d tecteur de fuites 979 2 1 Mise en service initiale et arr t 2 1 1 Mise en service Branchez le cordon d alimentation du d tecteur de fuites dans le logement appropri et placez l interrupteur d alimentation du panneau arri re en position Lorsque l indication SYSTEM READY SYSTEME PR T s affiche sur l cran d accueil le d tecteur de fuites est pr t fonctionner Si le 979 est mis en service apr s une longue p riode d arr t plusieurs heures 30 minutes peuvent tre n cessaires pour stabiliser l appareil et permettre des lectures quantitatives fiables de taux de fuite 2 1 2 talonnage Le 979 est capable de mettre en uvre une proc dure d talonnage automatis e en utilisant soit une fuite interne talonn e install e en usine soit une fuite externe talonn e plac e dans la prise de test Pour une installation ad quate de l auto talonnage du 979 reportez vous la Section 2 6 1 Installation fuite talonn e la page 2 16 Apr s la mise en service du 979 une proc dure d talonnage de routine doit tre mise en uvre En cas d utilisation de la fuite interne talonn e l talonnage s effectue en pressant le bouton TEST situ
27. 3 3 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Lorsque la fonction 0 de AUTO ZERO lt est en train de r ajuster le point de r f rence z ro le voyant indicateur UNDER SOUS situ l extr mit gauche du graphique barres s allume Ce voyant indique que le taux d h lium mesur est actuellement inf rieur la valeur minimale affichable Ce voyant peut clignoter bri vement pendant que le syst me r cup re suite une indication de fuite et que le taux de fuite affich approche de z ro Si la fonction O0 de AUTO ZERO lt 0 fonctionne le voyant UNDER peut clignoter bri vement tandis que le syst me r initialise le point z ro pour lui attribuer une valeur inf rieure Le 979 n affiche pas de taux de fuite tant que le voyant UNDER est allum Si cette lumi re reste allum e plus de quelques secondes r talonnez le syst me pour r gler les param tres d exploitation en leur attribuant la valeur z ro Ce cas de figure peut se produire si le 979 n a pas t enti rement chauff avant la mise en uvre d un talonnage ant rieur INACTIVE INACTIF Quand la fonction 0 de lt AUTO ZERO est activ e le d tecteur de fuite ne ram ne pas automatiquement le point de r f rence z ro sur z ro lorsque le niveau d arri re plan de l h lium chute en de du point de r f rence pr alablement r gl sur z ro Lorsque ce cas de figure se produit le voyant UNDER reste allum i
28. 5 2 Remplacement du scellement par pointage de la pompe Triscoll 4 24 4 6 Liste de pi ces d tach es du 979 iii 4 24 4 7 Liste d l ments d accessoires 979 iii 4 26 vii D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Annexe A Connecteurs de l interface du panneau arri re ssseseseeesseeerererssrrrrnsrrrnrtrrernesserrnsere A 1 A 1 isolation optique universelles A 1 A 2 Entr es isolation pique rite ee RTL teste een A 3 A 3 Interface de s rie et analogique non isol es A 4 A 4 Connecteur de commande distance A 5 Annexe B Protocole de communication sise B 1 B 1 Protocole RS 232 tece ere e e ae eaaa a a KE EEEE ERE EEE EEEE ts B 1 B 2 Communication avec le RSS en RAR ES RAR Ne mc nt ie B 2 B 2 1 Instructions de configuration HyperTerminal Windows B 2 B 2 2 Impression partir de HyperTerminal sssssssessssnnrssesrrrreenrertrrerssrrrnserrrnrrsrnrrssrrrrset B 4 Annexe C Introduction la d tection de fuite ss C 1 C 1 Test de fuite pourquoi est ce n cessaire 7 C 1 C 2 Cat gories de d tection des fuites C 1 CS Terminologie ais ad na tn an esters ne del ed anaE ian a Eae ERE EREA einem e alta C 2 C 4 Divers modes de tests de fuites nnnsoonnneeenee eee ener esett restrrrrtrrtnretnnttstnttnseennneennn rese nnnnt eee C 3 C 5
29. Fax 33 1 69 28 23 08 Allemagne et Autriche Varian Deutschland GmbH Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Allemagne T l 49 6151 703 353 Fax 49 6151 703 302 Inde Varian India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 Inde T l 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italie Varian Inc Via F lli Varian 54 10040 Leini Torino Italie T l 39 011 997 9 111 Fax 39 011 997 9 350 12 04 Bureaux de ventes et de services Japon Varian Inc Sumitomo Shibaura Building 8th Floor 4 16 36 Shibaura Minato ku Tokyo 108 Japon T l 81 3 5232 1253 Fax 81 3 5232 1263 Cor e Varian Technologies Korea Ltd Shinsa 2nd Building 2F 966 5 Daechi dong Kangnam gu Seoul Cor e 135 280 T l 82 2 3452 2452 Fax 82 2 3452 2451 Mexique Varian S A Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C P 03100 Mexico D F T l 52 5 523 9465 Fax 52 5 523 9472 Russie Coordination centrale par le biais de Varian Inc via F lli Varian 54 10040 Leini Torino Italie T l 39 011 997 9 252 Fax 39 011 997 9 316 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd 18F 13 No 79 Hsin Tai Wu Road Sec 1 Hsi Chih Taipei Hsien Taiwan R publique de Chine T l 886 2 2698 9555 Fax 886 2 2698 9678 Royaume Uni et Irlande Varian Ltd 28 Manor Road Walton On Thames Surre
30. La proc dure de r glage compl te implique le contr le ind pendant de la tension de la chambre de la source d ions ainsi que de la tension du point focal variable et l optimisation de chaque valeur pour un signal maximal de l h lium Une fois la proc dure de r glage achev e le gain du syst me est ajust afin de placer le d tecteur de fuites en talonnage Au cours de l talonnage rapide le d tecteur de fuites compare le signal de fuites la valeur de fuite talonn e et si l ajustement de gain requis pour placer le syst me en talonnage est dans la fourchette de valeurs autoris es toute l op ration de r glage est omise La proc dure d talonnage peut tre ex cut e sans ter l objet ou le mat riau du test de la prise d essai sur les configurations pompe m canique unique ainsi qu avec les configurations pompe m canique double r gl es en mode PR VIDAGE EXCLUSIVEMENT NOTE Un capuchon de prise de test doit tre en place isolant la prise de test lors de la mise en uvre de la proc dure d talonnage sur les configurations double pompe m canique en mode SPLIT FLOW courant divergent D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 6 2 Points de r glage rejet et audio Toucher la bo te REJECT amp AUDIO SET POINTS pour afficher l cran des points de r glage rejet et audio Sch ma 2 9 partir de cet cran d finissez les param t
31. OFF situ s droite de chaque champ de point de r glage Le contr le AUDIO SET POINT est utilis pour activer le signal sonore lorsque la valeur de taux de fuite mesur e exc de la valeur de seuil sp cifications r ussite chec d finie par l op rateur Lorsque le contr le de point de r glage audio est sur ON la fr quence audio augmente en proportion de la mesure dans laquelle la fuite mesur e s accro t au del du point de r glage Le contr le de volume audio est situ sur le panneau avant voir Sch ma 1 8 la page 1 12 et il est pr sent dans la Section 2 2 Interface utilisateur la page 2 2 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 6 3 Installation de l auto s quenceur Toucher la bo te AUTO SEQUENCER SET UP pour afficher l cran d installation de l auto s quenceur tel qu il figure au Sch ma 2 10 L auto s quenceur permet d installer le 979 de sorte qu il fonctionne automatiquement par le biais d un test de cycle complet START ROUGHI TEST VENT r ussissant la partie du test ou chouant celle ci conform ment aux sp cifications de test introduites par l utilisateur Les contr les d installation d auto s quenceur incluent le d lai de pr vidage de l objet du test le temps de test ainsi que la mise en marche arr t de l auto s quenceur Une condition pr alable de r ussite ou d chec est d finie sur la base du point de r glage de re
32. Q Se connecter de la mani re suivante v rifier que le port COM est bien correct Q Cliquez sur Configuration et v rifiez que les param tres du port sont bien corrects 11 V rifiez que l onglet Param tres est configur comme suit Q le terminal rep re la case d option s lectionn e Q La case d option Ctrl H est s lectionn e Q Auto d tection s lectionn partir de la liste d roulante d mulation m Codification ANSI saisie dans l Identification du terminal Telnet Q 500 param tr dans le champ ligne de m moire tampon de l arri re plan 12 Cliquez sur Configuration ASCII La bo te de dialogue de configuration ASCII s affiche 13 V rifiez que les param tres sont bien d finis de la mani re suivante Q D lai de ligne 0 millisecondes Q D lai de caract re 0 millisecondes Q R ception ASCII bouclez automatiquement les lignes qui d passent la largeur du terminal Le curseur commence clignoter 14 Saisissez quelques commandes simples Q LEAK Q ALL Q SETUP B 3 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium B 2 2 Impression partir de HyperTerminal B 4 Le mode le plus facile d impression des informations saisies dans HyperTerminal est de s lectionner l option Imprimer dans le menu Fichier Cependant cette m thode n imprime que les informations actuellement affich es l cran Les informations affich es l cran peuv
33. Sch ma 2 3 979 REJECT 2 4 SYSTEM READY LEAK RATE X XXE XX atm cc sec T P PRESSURE X XE XX Torr SYS INFO MENUS Sch ma 2 3 cran d accueil de l cran tactile du 979 2 4 1 Taux de fuite num rique La taux de fuite num rique Sch ma 2 4 affich sur l cran d accueil de l cran tactile est directement corr l l affichage du taux de fuite par graphique barres Sch ma 2 5 Les unit s de mesure peuvent tre choisies partir de l cran Installation d unit s voir Section 2 7 1 Installation unit s la page 2 31 LEAK RATE 0 6E 09 atm cc sec Sch ma 2 4 Taux de fuite affich sur l cran d accueil 0 6E 09 atm cc sec Sch ma 2 5 Affichage par graphique barres 0 6 x 101 atm cc sec 2 9 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 4 2 Pression de prise de test La valeur de la pression de prise de test affich e sur l cran d accueil de l cran tactile repr sente la pression de la prise de test telle que mesur e par un dispositif thermocouple mont sur la bo te soupapes situ e juste au dessous de la prise de test Le transducteur de pression et l lectronique associ e fournissent des mesures fiables et r p tables prot geant le d tecteur de fuites des dommages imputables aux conditions de pression excessives La jauge de pression de prise de test n est pas destin e fournir
34. avant ZEROING WAIT ATTENTE REMISE A Z RO Indique que le syst me d finit les valeurs z ro initiales au cours de la proc dure de mise en route D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 5 cran d information syst me 979 L cran d Information Syst me repr sent dans le Sch ma 2 6 pr sente le d tail de l installation et des conditions d utilisation s lectionn es pour le d tecteur de fuites La colonne de gauche contient l tat du filament l tat du point de r glage de rejet l tat du turbo la configuration de fuite brute l installation de la pompe auxiliaire de pr vidage l tat de l auto s quenceur et l tat du point de r glage audio La colonne de droite contient le r glage de fuite talonn e les r glages de fourchette de taux de fuite ainsi que la configuration en mati re de sensibilit Le Tableau 2 4 d crit en d tail les informations syst me affich es 979 SYSTEM INFO LEAK RATE X XXE XX atm cc sec FIL 2 ON INT CAL LEAK T P PRESSURE X XE XX Torr REJECTS 1 2 3 4 AUTO RANGING Po GROSS LEAK INSTALLED RANGE STOP 7 REJECT 2 4 ROUGH PUMP ROUGH ONLY HIGH SENS SYSTEM READY I AUTO SEQUENCER OFF SYS INFO MENUS BACK Sch ma 2 6 cran d information syst me affichage habituel Une bo te de l cran tactile portant la mention BACK est situ e dans l angle inf
35. commande r pondent par les premi res commandes fautives suivies par un espace puis lt CR gt lt LF gt Toutes les commandes et les demandes d information suivant le terme d fectueux sont ignor es Tous les param tres sont rejet s Tableau B 1 la page B 5 Tableau B 2 la page B 8 Tableau B 3 la page B 10 et Tableau B 4 la page B 10 pr sentent les commandes de contr le et de demande de renseignement disponibles B 1 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium B 2 Communication avec le RS 232 Le protocole RS232 est destin aux fins de diagnostic et de demandes de configuration initiales Le branchement RS232 se trouve sur le connecteur arri re 37 broches de type sub D se reporter au Tableau A 3 la page A 4 et Sch ma A 4 la page A 4 Le port RS232 979 n est pas un port d clench par interruption Il est configur comme un terminal de donn es ETTD et donc le protocole RS232 979 ne peut pas tre envoy sous forme de cha nes NOTE Lorsque vous effectuez des programmations avec des programme d instrumentation virtuelle tels que LabView TestPoint ou Visual Basic essayez l une des deux m thodes suivantes Q La commande pr vue doit tre transmise un caract re la fois avec un d lai minimal de r ponse de 50 millisecondes entre chaque caract re la commande tant termin e par un retour de chariot CR Q La commande pr vue doit tre
36. contient ni produits toxiques ni CFC chlorofluorocarbones Pour simplifier les fonctions de maintenance de cette section sont regroup es par fr quence recommand e comme indiqu dans la Tableau 4 1 en fonction de l utilisation quotidienne suppos e Tableau 4 1 Maintenance programm e Descriptif Quotidienne 12 mois Reportez vous V rification de l talonnage Section 4 1 Maintenance quotidienne la page 4 5 R talonnez la fuite interne Section 4 2 R talonnage de la fuite interne talonn e la page 4 5 Remise en tat du tube Section 4 3 Remise en tat du tube spectrom trique spectrom tre la page 4 6 Ces fonctions peuvent tre mises en oeuvre intervalles r guliers en respectant les instructions Il convient d talonner le 979 au moins une fois par jour pour en v rifier la sensibilit D autres fonctions pourront toutefois tre mises en oeuvre plus ou moins souvent en fonction de la fr quence d utilisation 4 3 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Les fonctions de maintenance susceptibles de devoir tre mises en uvre en fonction de la demande comme par exemple le changement d une source d ions apr s une d faillance de filament sont num r es dans Tableau 4 2 Tableau 4 2 Maintenance en fonction des besoins Fonction Nettoyage du tube spectrom trique Sympt me le plus courant Pert
37. cran tactile 2 11 Installation 1 11 Syst me fixe 1 11 Installation affichage graphique barres 2 27 Installation de fourchette de taux de fuite 2 22 2 23 Installation de fuite talonn e 2 16 Installation du point de transfert Fuite contre courant 2 30 Fuite brute 2 30 Installation initialisation syst me 3 10 Activer les boutons poussoirs du panneau avant 3 10 Installation pompe de pr vidage 2 21 Installations de syst me fixe 1 11 Instructions de d ballage 1 7 Interface utilisateur panneau avant 2 2 Interfaces non isol es A 4 Analogiques A 4 S rie RS 232 A 4 Interrupteur clef 1 14 2 6 Entretien 2 6 Fonctionnement 2 6 Installation 2 6 Le mod le 979 propos de 1 1 Liqueur magn tique C 3 Localisation de la fuite l aide de la sonde du traceur C 6 Maintenance 4 1 en fonction des besoins 4 3 programm e 4 3 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Quotidienne 4 5 Maintenance de la pompe m canique 4 24 Pompe tanch it l huile 4 24 Pompe TriScroll 4 24 Maintenance du tube spectrom tre 4 18 Maintenance du tube spectrom trique 4 21 Maintenance programm e 4 3 Maintenance quotidienne 4 5 Menus Bo tes de l cran tactile 2 11 cran tactile 2 7 Menus de l cran tactile S lectionnez des options 2 8 M thodes de d tection des fuites C 6 Mise en service 2 1 Mise en service initiale et arr t 2 1 Mode de fonctionnement normal 2 24 Mode test af
38. d posent sur des surfaces vide Ne nettoyez pas les pi ces en aluminium l Alconox L Alconox n est pas compatible avec l aluminium et son utilisation sera cause de dommages Il n est en principe pas n cessaire d utiliser de graisse vide Toutefois si son utilisation est un imp ratif vitez les graisses de type silicone et appliquez la parcimonieusement La graisse Apiezon L est recommand e Pi ce Vacuum Technologies n 695400004 XiX D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Entretien des joints toriques XX Lorsque vous enlevez v rifiez ou remplacez des joints toriques gardez l esprit ce qui suit NOTE NOTE Vacuum Technologies recommande le remplacement de l ensemble des joints toriques au cours des entretiens de routine ou de toute proc dure d entretien n cessitant l enl vement des joints toriques Otez soigneusement les joints toriques avec vos doigts N utilisez pas d outils en m tal pour cette t che Vous viterez ainsi de rayer toutes surfaces d tanch it Q Nettoyez tous les joints toriques avec un tissu non pelucheux avant installation pour viter la pr sence d un corps tranger susceptible de compromettre l int grit du joint Q N utilisez pas de graisse ni aucune autre substance sur les joints toriques entrant en contact avec le tube du spectrom tre Q N utilisez pas d alcool de m thanol ni aucun autre solvant
39. d t rioration trop rapide du vide avec l usure Exemples tubes image t l vision l ments de d tection de soufflet d tanch it extr mit s de canettes ouverture par panneau entier etc Ces l ments sont test s de mani re r duire les fuites l int rieur et obtenir un vide de meilleure qualit ou une capacit de suppression du gaz plus lev e quel que soit le vide donn pression absolue C 1 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium C 3 Terminologie C 2 La terminologie suivante s applique sur l ensemble de ce manuel d bit cc sec r gulier atm cc sec Thermov locim trie Conversions Notation num rique syst me exponentiel Un centim tre cube de gaz par seconde une pression diff rentielle d une atmosph re standard 760 torr 0 C Un centim tre cube de gaz par seconde pression atmosph rique et temp rature ambiantes utilis de mani re intercheangeable en cc sec r gulier parce que la diff rence est insignifiante pour les tests de fuite Dans le domaine des syst mes vide ce terme d signe le taux d augmentation de la pression absolue par unit de temps la pompe vide tant isol e du syst me et correspondant la somme des fuites int rieures et d gazages internes r els La thermov locim trie s exprime g n ralement en torrs ou en microns millitors de l heure Le d bit doit s exprimer e
40. dans le cycle du test de fuite satisfaisant en 4 seondes Une fonction d auto s quen age transmet des signaux d acceptation de rejet et autorise la programmation d un cycle de test complet START ROUGH TEST VENT MISE EN MARCHE PR VIDAGE ESSAI VENT Prise d essai NW25 A 11 4 pouces 28 mm prise compression ID est disponible titre d accessoire Capacit E S distance Interface DB 37S avec entr es et sorties isol es optiquement 5 24 VDC interface s rie RS 232 non isol e et sortie analogique non isol e 0 10 V Interface de contr le distance DB 9S non isol e Accessoires optionnels 1 20 Commande distance universelle pi ce n L9558301 avec 25 cordon 25 pieds fuite externe talonn e et test d alimentation lectrique D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Tableau 1 1 Sp cifications Sp cifications relatives la s rie 979 Continued Versions du spectrom tre de masse h lium 979 Conditions ambiantes de fonctionnement recommand es Installation Utilisation l int rieur uniquement Altitude jusqu 2 000 m 6 400 pieds Installation surtension cat gorie Il niveau de pollution Il conform ment la norme UL3101 1 Temp rature 12 C 54 F 40 C 104 F pour la version humide pompes m caniques tanch it humide huile 5 C 41 F 40 C 104 F
41. des mesures de pression absolues pr cises Utilisez un transducteur de pression externe lorsque la proc dure de test n cessite une surveillance pr cise de la pression de l objet du test Les unit s de mesure peuvent tre choisies par l utilisateur partir de l cran Installation d unit s voir Section 2 7 1 Installation unit s la page 2 31 2 4 3 tat du d tecteur de fuites L tat du d tecteur de fuites non repr sent au Sch ma 2 4 la page 2 9 est repr sent juste au dessous de la lecture de la pression de la prise de test et indique l tat de fonctionnement du 979 L tat de fonctionnement normal est pr sent en d tail dans le Tableau 2 2 2 4 4 Situation du d tecteur de fuites La situation du d tecteur de fuites non repr sent e dans le Sch ma 2 4 la page 2 9 est affich e au dessous de l tat du d tecteur de fuites et indique la situation courante du d tecteur de fuites Dans des conditions normales d utilisation cette ligne est vide La situation du d tecteur de fuites 979 est d crite en d tail dans le Tableau 2 3 la page 2 12 2 4 5 Rejet d indicateur de situation 2 10 Un indicateur d tat de REJECT REJET appara t au dessous de la situation du d tecteur de fuites au centre gauche de l cran d accueil lorsque l un ou l autre des quatre points de r glage ind pendants sont autoris s et ont t activ s voir Section 2 6 2 Points de r glage rejet et aud
42. essai susceptibles d tre atteintes ainsi que des taux de fuite La DEL verte plac e au dessus du bouton s allume lorsque le 979 est en phase d essai Lorsque l appareil est en mode ESSAI et que vous pressez le bouton ESSAI PAUSE le 979 passe automatiquement en mode PAUSE La DEL jaune plac e au dessus du bouton s allume lorsque le 979 est en mode PAUSE Le bouton Z RO ne fonctionne qu en mode essai La fonction Z RO remet z ro le taux de fuite dans le mode essai soupape s lectionn La DEL s allume lorsque la fonction remise z ro est activ e Le bouton READ STANDARD LEAK LECTURE FUITE STANDARD ne fonctionne qu en mode essai Cette fonction est utilis e pour contr ler l talonnage en exposant au syst me la fuite interne talonn e optionnelle ou la fuite externe talonn e Le bouton TALONNER met en route la fonction talonnage avec soit la fuite interne talonn e optionnelle D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Interrupteur clef Inf rieur Sup rieur soit une fuite externe talonn e dans la prise d essai comme requis par les param tres affich s sur l cran Installation fuite talonn e voir Section 2 6 1 Installation fuite talonn e la page 2 16 La DEL s allume pour indiquer que l talonnage est en cours Cet interrupteur clef trois positions SET UP RUN SERVICE INSTALLATION UTILISATION ENTRETIEN per
43. et de la pompe primaire 2 22 2 6 4 3 Fonction VENT LOCK Verrouillage vent sssssessseeessnernreerenersrrrressrrrnnee 2 22 2 6 5 Installation de la fourchette de taux de fuite eeneneneeeeeeeeeeeeeeeeeeereirrrnssssrrrrerrne 2 22 2 6 5 1 Arr t de fourchette et installation et commande manuelles de fourchette 2 23 2 6 5 2 S lectionnez le mode Test Affin ou le mode Test Brut Uniquement 2 24 2 6 5 3 Sensibilit du syst me eu se RP MARS R rt Rd ne neet 2 24 2 6 6 Installation de commande de sortie esseseeeeeeeeeeiienrreteeeriettteeeertrrinnnnnnssrrrnnnnnnnent 2 26 2 6 6 1 S lection d une tension de sortie analogique de taux de fuite 0000 000 2 26 2 6 6 2 Installation affichage graphique barres sssssssseessseresssrrrrerrrreresrrrrssrrrnree 2 27 2 6 6 3 Installation du protocole de communication s rie s seeessseeeserrnrrssserseee 2 28 2 6 7 Installation de la pression de transfert 2 29 2 6 8 Cases NEXT suivante et BACK Retour sssssessssreneeeenessserrssrerrnsrernnrrrrnresserrnnene 2 30 2 7 cran de s lection du Second MENU 2 30 2 M nstallation unites seina aa D E a 2 31 2 7 1 1 S lection du taux de fuite et des unit s de pression des prises de test 2 31 vi D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Section S ENTI RE es de tte cn de ee Ro ae 3 1 S VOS OM See Re Sd See ANR nd dt LR nr t 3 1 3
44. fuite 2 6 4 3 Fonction VENT LOCK Verrouillage vent Le fait de placer la fonction VENT LOCK en position ON d sactive le bouton VENT Ce dispositif garantit qu un utilisateur ne ventilera pas un syst me de mani re non intentionnelle L tat de la fonction demeure inchang apr s une interruption de l alimentation lectrique du syst me La fonction VENT LOCK n est pas active lorsque le mode AUTO SEQUENCER est activ Q Touchez la bo te VENT LOCK pour faire passer l tat en mode ON ou OFF Q Touchez DONE pour revenir l cran du menu pr c dent 2 6 5 Installation de la fourchette de taux de fuite Toucher la bo te LEAK RATE RANGING SET UP pour afficher l cran d installation de la fourchette de taux de fuite Sch ma 2 12 partir de cet cran installez et activez les fonctions RANGE STOP et MANUAL RANGE et s lectionnez USE FINE TEST ou GROSS TEST ONLY LEAK RATE RANGING SET UP CAL ROUGH LEAK PUMP NEXT RANGE MANUAL USE OK SET UP SET UP STOE SOF FINE 10 XX 10 XX TEST REJECT amp LEAK RATE TRANSFER AUDIO SET RANGING POINTS OFF OFF VENT LOCK OFF POINTS SET UP SET UP AUTO OUTPUT z SEQUENCER CONTROL BACK SET UP SET UP NXT gt ESC DONE up Sch ma 2 12 Ecran d installation de fourchette de taux de fuite D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom t
45. fuite brute avant le test de fuite affin Tableau 2 5 et Tableau 2 6 comportent des matrices de sensibilit pour l ex cution de tests affin s et bruts en utilisant des configurations standard et sensibilit lev e Syst me sensibilit lev e Syst me sensibilit standard Le syst me 979 sensibilit lev e peut atteindre une sensibilit de 10710 atm cc sec 5E 11 MDL Cette sensibilit peut tre atteinte une pression de transfert de 100 mTorr La pr sence de fond d h lium ambiant lev peut emp cher un test 1071 atm cc sec des pressions relativement lev es La capacit maximale de fuite d tectable en mode CONTRA FLOW pour les configurations pompe de pr vidage primaire unique est 9 9 x 10 atmc sec lecture en chelle pleine avec une fourchette de 107 Le syst me 979 sensibilit standard peut atteindre une sensibilit de 107 atm cc sec 5E 10 MDL Cette sensibilit peut tre atteinte une pression de transfert de 100 mTorr La pr sence de fond d h lium ambiant lev peut emp cher un test 971 atm cc sec des pressions relativement lev es La capacit maximale de fuite d tectable en mode CONTRA FLOW pour les configurations pompe de pr vidage primaire unique est de 9 9 x 1074 atm cc sec lecture en chelle pleine avec une fourchette de 107 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Tableau 2 5 D tecteu
46. la pression de test tol rable L impossibilit d atteindre la pression de test tol rable dans le d lai de pr vidage pr s lectionn constitue l indication d une fuite brute dans votre objet de test ou votre mat riau de test ou du fait que le d lai autoris tait insuffisant La variable de TEST TIME d termine la p riode durant laquelle le d tecteur de fuite demeure en phase de test avant qu il ne compare le taux de fuite mesur au point de r glage de rejet s lectionn Un d lai suffisant doit tre autoris pour la lecture du taux de fuite aux fins de stabilisation avant que le syst me ne prenne une d cision de r ussite chec Il s agit d une fonction de la configuration partielle et de la sp cification du taux de fuite En mode AUTO SEQUENCER le 979 demeure en test pour toute la dur e du d lai de test pr s lectionn e La bo te ON OFF situ e droite de la bo te TEST TIME conf re la capacit d activer et de d sactiver la fonctionnalit d auto s quenceur D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 6 4 Installation pompe de pr vidage Touchez la bo te ROUGH PUMP SET UP Installation pompe de pr vidage pour afficher l cran d installation de pompe de pr vidage Sch ma 2 11 qui conf re l utilisateur final la capacit de s lectionner la fonction de la pompe de pr vidage d di e sur un syst me double pompe La version double pomp
47. mode contre courant actuellement stock e EMISSIONCURRENT Indique le courant d mission EXPONENT Un nombre deux caract res moins suivi d un chiffre indiquant l exposant en mode manuel en cours L exposant s inscrit dans la fourchette la moins sensible comme indiqu par RANGE et les trois fourchettes inf rieures exposants plus n gatifs Voir galement INIT EXPONENT B 5 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Tableau B 1 Param tres d exploitation internes Continued Demande d information R ponse EXTLEAK Indique la valeur actuellement stock e de la fuite standard externe FILAMENTBIAS Indique la tension de polarisation du filament FIXEDFOCUS Indique la tension focale fix e GAIN Un nombre trois caract res comportant un facteur de gain deux chiffres avec un point de d cimale apr s le premier chiffre Cette demande d information sert tablir un rapport sur la valeur du gain GL XFER Indique la pression de transition de la fuite brute actuellement stock e INTEXT Indique quelle fuite INTERNE ou EXTERNE a t s lectionn e pour utilisation en cours d talonnage IONCHAMBER Indique la tension de la chambre d ionisation LEAK Un nombre six chiffres comportant une mantisse taux de fuite deux chiffres avec un point de d cimale apr s le premier chiffre suivi par E puis un seul chiffre
48. ou toute r paration de pi ces dans le cadre de la garantie sera limit e aux dysfonctionnements de l quipement qui du seul avis du vendeur sont imputables ou d coulent de d fauts pi ces ou main d uvre d origine Toutes obligations du Vendeur en vertu de la pr sente garantie cesseront en cas d abus d accident de modification ou d utilisation impropre ou n gligente de l quipement Les pi ces sous garantie r par es ou remplac es sont garanties uniquement pour la p riode restante non expir e de la p riode de garantie originale applicable aux pi ces r par es ou remplac es Apr s expiration de la p riode de garantie applicable le Client sera factur aux prix alors en vigueur pour les pi ces la main d uvre et le transport Pour viter les risques il faut user d un soin raisonnable Le Vendeur rejette express ment toute responsabilit en cas de dommage ou de pr judice caus par ses Produits autrement que conform ment aux proc dures d exploitation ad quates Sauf comme stipul dans les pr sentes le Vendeur ne formule aucune garantie expresse ou implicite de fait ou de droit l gale ou autre et sauf comme pr vu dans les pr sentes le Vendeur n encourra aucune responsabilit de quelque nature ce soit en vertu d une quelconque garantie expresse ou implicite de fait ou de droit l gale ou autre Aucune d claration quel qu en soit l auteur y compris des repr sentants du Vendeur non
49. pour nettoyer les joints toriques Ce faisant vous d graderiez le joint et r duiriez sa capacit pr server le vide Q Le cas ch ant appliquez une petite quantit de graisse Apiezon L et essuyez les joints toriques avec un tissu non pelucheux jusqu ce qu ils soient parfaitement secs et lustr s En raison de l efficacit du solvant VacuSolv et de ses propri t s anti r sidus le pack de nettoyage de composants et du tube spectrom trique de Vacuum Technologies num ro de pi ce 670029096 utilis conform ment aux instructions accompagnant le pack est recommand pour le nettoyage des composants du tube spectrom trique Le kit peut galement tre utilis pour parfaire le nettoyage d autre pi ces du syst me vide du d tecteur de fuites telles que des soupapes et divers mat riels Aucun rin age ni aucun s chage haute temp rature n est n cessaire apr s un nettoyage avec VacuSolv Bien qu un certain nombre de pr cautions doivent tres respect es VacuSolv est compatible avec la plupart des mat riaux et ne contient ni produits toxiques ni CFC chlorofluorocarbones D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Tube du spectrom tre A RIESEVENT Le tube du spectrom tre fonctionne avec un vide tr s pouss produit par la pompe vide pouss L entretien du tube du spectrom tre exige la ventilation de ce vide dans l atmosph re A RIESEVENT N utilis
50. revenir au menu pr c dent D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 3 1 5 Proc dures d talonnage de la jauge Touchez la case GAUGE CAL talonner la jauge pour afficher l cran d talonnage de la jauge Sch ma 3 9 qui offre la possibilit d effectuer un talonnage soit sur le thermocouple bouton TC de pression du syst me ou sur la jauge du thermocouple de la prise de test NOTE L talonnage de la jauge thermocouple TO de la prise de test est pr param tr en usine et n cessite d utiliser un TC de r f rence et un ordinateur GAUGE CALIBRATION MANUAL MANUAL ZEROING amp VALVE SYSTEM TC ZERO CALIBRATE CONTROL SYSTEM TC ATM MANUAL SPEC TUBE os TEST PORT TC ZERO TUNING TEST PORT TC ATM SYSTEM SYSTEM PIS X XXE X INIT BACK TEST PORT PIS X XXE X SET UP DONE Sch ma 3 9 cran d talonnage de la jauge 3 1 5 1 Proc dure d talonnage de la jauge de pression du syst me Cette proc dure permet de proc der l talonnage de la jauge thermocouple de pression du syst me Les proc dures d talonnage du vide et atmosph riques doivent tre effectu es dans l ordre indiqu g 3 1 5 1 1 talonnage basse pression vide 1 V rifier que le d tecteur de fuite se trouve en SYSTEM READY sur l cran d accueil Sch ma 3 10 et qu un cache de prise de
51. septi me ligne indique le statut du filament actif comme tant Un ou Deux suivi par Lit ou Out STDLEAK Un nombre sept caract es comportant une mantisse de taux de fuite standard avec talonnage deux chiffres et un point de d cimale apr s le premier chiffre suivi par E puis par un exposant deux chiffres par exemple 1 3E 07 Cette demande d information sert indiquer le dernier taux de fuite de norme d talonnage saisi l aide de INIT STDLEAK SUPPRESSOR Indique la tension du filtre anti parasite TEST Indique la dur e test de s quen age de test actuellement archiv e TURBO Trois lignes Chacun commence par un lt cr gt lt lf gt La premi re ligne comporte les mots turbo suivi soit par Ok soit par Not Ok Pas ok La seconde ligne comporte les mots turbo suivi soit par Panne soit par Pas de panne La troisi me ligne comporte les mots vitesse turbo suivis par Off ou par Slow VALVESTATE Indique le mode de soupape actuellement s lectionn vent pause pr vidage etc VARIABLEFOCUS Indique la tension focale variable VER Une ligne qui indique une date du type LAO02 00 suivie par une somme de contr le hexad cimale six chiffres WHYNOCAL Indique les diagnostics de panne d talonnage B 7 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Les commandes num r es dans Tableau B 2 sont
52. sur le panneau avant pour placer le syst me en mode test puis Appuyez sur le bouton CALIBRATE TALONNER sur le panneau avant pour proc der un talonnage automatis du syst me L talonnage peut tre v rifi en pressant le bouton READ STANDARD LEAK LECTURE DE FUITE STANDARD sur le panneau avant en mode TEST Appuyez nouveau sur le bouton READ STANDARD LEAK LECTURE DE FUITE STANDARD pour revenir au mode TEST Lorsqu une fuite externe est utilis e appuyez au pr alable sur le bouton VENT VENT pour ventiler le d tecteur de fuites puis installez une fuite calibr e dans la prise de test Appuyez le bouton TEST pour placer le d tecteur de fuites en mode Fine Test Test affin V rifiez la valeur correcte du taux de fuite pour la fuite externe en vous reportant l cran d installation de Fuite talonn e Section 2 6 1 Installation fuite talonn e la page 2 16 Une fois en mode Fine test Test Affin appuyez sur le bouton CALIBRATE TALONNER pour proc der un talonnage automatis Lorsque l talonnage est achev le d tecteur de fuites retourne au mode de fonctionnement en Fine test Test Affin pour permettre le contr le de l talonnage 2 1 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 1 3 Arr t Le 979 s arr te tr s simplement il suffit de placer l interrupteur d alimentation lectrique du panneau arri re dans cette O positio
53. t 2 9 Affichage pression de prise de test 2 9 Affichage taux de fuite num rique 2 9 tat du d tecteur de fuites 2 10 Pression de prise de test 2 10 Rejet d indicateur de situation 2 10 S lection MENUS 2 9 2 11 S lection SYS INFO 2 9 2 11 Situation du d tecteur de fuites 2 10 cran d accueil cran tactile 2 7 2 9 cran d ajustage manuel du tube spec 3 5 cran d talonnage de la jauge 3 11 cran d information syst me SYS INFO 2 14 cran d information syst me affichage habituel 2 14 cran d installation de commande de sortie 2 26 cran d installation de fuite talonn e 2 16 cran d installation de la pression de transfert 2 29 cran d installation de pompe de pr vidage 2 21 cran d installation unit s 2 31 cran de remise z ro et Cal 3 3 cran de s lection du menu entretien Commande de soupape manuelle 3 8 cran de remise z ro manuelle et talonnage Cal 3 3 talonnage de la jauge 3 11 Installation initialisation syst me 3 10 R glage manuel du tube spec 3 5 cran de s lection premier menu 2 16 Installation de commande de sortie 2 26 Installation de fourchette de taux de fuite 2 22 Installation de fuite talonn e 2 16 Installation de l auto s quenceur 2 19 Installation points de transfert 2 29 Installation pompe de pr vidage 2 21 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Retour 2 30 Suivant 2 30 cran installation initialisation
54. un courant d lectrons au collecteur qui neutralise le courant fourni par la collecte d ions d h lium Le courant de retour est pr sent sur le graphique barres du taux de fuite tant donn que ce courant est directement proportionnel au nombre d ions d h lium frappant le collecteur par unit temporelle le graphique barres du taux de fuite du panneau r fl chit directement la concentration d h lium dans le syst me vide tout moment Toute p n tration d h lium du syst me entra ne une hausse de la concentration d h lium dans le tube spectrom tre ce qui se refl te par une hausse sur le graphique barres du taux de fuite Outre l lectrom tre l lectronique fournit galement des tensions adapt es pour faire fonctionner le tube et les commandes du spectrom tre ainsi que les instruments du syst me vide Il est g n ralement inflig aux objets de test un pompage par pr vidage ou si sous pression la chambre dans laquelle ils doivent tre soumis aux tests est soumise un pompage par par pr vidage l aide d une pompe vide m canique avant d tre connect s au tube spectrom tre Ceci permet d viter de surcharger le syst me de pompage par le vide Le champ magn tique d vie les ions d h lium 90 d autres ions a VETS plus ou moins 90 pr amplificateur ions plus l gers les plus lourds les ions d h lium le collecteur plus l gers traversent par les fentes et sont collect
55. vidage primaire tanch it S che TriScrollTM tanch it S che TriScrollTM huile huile Type pompe de pr vidage SD 451 TS 620 SD 451 TS 620 D bit la pression atmosph rique 410 342 500 420 410 342 500 420 min 60 50 Hz Type pompe primaire DS 302 DS 302 TS 620 TS 320 DS 302 DS 302 TS 620 TS 320 D bit la pression atmosph rique 285 237 285 237 500 420 250 210 285 237 285 237 520 420 250 210 min 60 50 Hz Fuite d tectable minimale 5 x 10710 5x10 atm cc sec Unit s de fuite atm cc sec mbar l sec torr l sec Pa m sec D lai de r action moins de 0 5 seconde conform ment la norme A V S 2 1 D rive d amplification Moins de 5 de la pleine mesure de la gamme plus sensible conform ment la norme A V S 2 1 Niveau de bruit Moins de 5 de la pleine mesure de cr te cr te conform ment la norme AVS 2 1 talonnage R glages et talonnages pleinement automatis s l aide d une fuite interne ou externe talonn e La fonctionnalit d talonnage rapide permet la version standard de proc der l talonnage en moins de 20 secondes et la version haute sensibilit de r aliser l talonnage en moins d une minute D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Tableau 1 1 Sp cifications Contr le z ro Sp cifications
56. vide La source d ions est ordinairement remplac e au cours de la proc dure de maintenance ordinaire Une source d ions propre et neuve assure une sensibilit et des performances optimales du syst me Se reporter Section 4 4 Remplacement de la source d ions en dehors de la maintenance annuelle la page 4 22 lorsque vous remplacez la source d ions en dehors de la maintenance annuelle 1 Enlevez les 4 vis cruciformes qui maintiennent la pi ce de canalisation de la source d ions renouvelez les tapes 1 2 et 3 Section 4 3 2 Suppression du bouton TC la page 4 12 pour d gager une source d ions 2 Enlevez la source d ions du corps du tube du spectrom tre Sch ma 4 12 Sch ma 4 12 Enlever la source d ions NOTE La pr sence de d p ts sombres comparables du carbone autour du filament de la source d ions et ou d une d coloration type arc en ciel sur les parois int rieures de la cavit de la source d ions indique que le tube spectrom trique a fonctionn une pression trop lev e Ce cas de figure peut se produire en cas de fuite de pression du syst me ou bien lors d un transfert en mode test une pression excessive D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 3 Examiner la source d ions Sch ma 4 13 et sa cavit Sch ma 4 14 pour rep rer toute trace de d coloration ou de d p ts Une fois l examen termin enlevez le tout correctem
57. 1 1 Remise z ro manuelle et talonnage 3 3 3 1 1 1 AUTO ZERO D same Attends nets 3 3 31 2 EE e a e e A e e 3 4 3 1 1 3 Offset valeur d placement ss 3 4 3 1 2 R glage manuel du tube Sp c han naur nie nn nt etat ne tbe nte Pre 3 5 3 1 2 1 Modification des param tres d ajustage manuel s ssssssseseserrsserrrrrrrrrrerern 3 5 3 1 2 2 R TIOCIBUT entame nent ER Ana Re tn tentera tetes 3 6 3 1 23 Courant d MISSIOM EE Se Re ns A A ne mL A 3 6 3 12 4 Tension ions en ne RSR NEA al Redon RA lea 3 6 3 1 2 5 Tension focale variable sue ent ancre nee 3 7 3 1 2 6 Tension du filtre anti parasite seeeeeeeeeeeeeeeneeeeerrritttteeetrrnnnnrnneeesrrnnnsnssreena 3 7 3 1 2 7 Tension focale fix e nnneinmeond Se Se pen end TE et tete 7 3 7 3 1 2 8 S lection du filament 2 Pois dora ter tant antenne amas de Mu reenn eneen 3 7 3 1 3 Commande de soupape manuelle nenen nennen 3 8 3 1 4 Installation initialisation syst me 3 10 3 1 5 Proc dures d talonnage de la jauge 3 11 3 1 5 1 Proc dure d talonnage de la jauge de pression du syst me ss seseeees 3 11 3 1 5 1 1 talonnage basse pression vide 3 11 3 1 5 1 2 talonnage atmosph rique s eesesieeeesieereesresrresresrrerersreeresrrerrrs 3 12 3 1 5 2 Proc dure d talonnage de la jauge de pression de la prise de test 3 13 3 1 5 2 1 talonnage basse p
58. 4 10 en appuyant sur la tige supportdu bouton TC et en soulevant la canalisation pour l ter du bouton TC Sch ma 4 10 Suppression du bouton TC D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 3 Si la canalisation et le bouton TC s enl vent en m me temps placer une main sous le bouton TC pour l attraper et appuyez sur la tige support pour enlever la canalisation du bouton TC Veillez ne pas endommager le fil de d tection AVERTISSEMENT Le fil de d tection sur la partie inf rieure du bouton TC pr sente une paisseur d environ 3 mm Veillez ne pas endommager le fil 4 Enlever le bouton TC avec pr caution et d posez le en pla ant le fil de d tection face vers le haut comme indiqu sur le Sch ma 4 11 cheville de contact c t vers le bas sur une surface propre Sch ma 4 11 Fils du bouton TC vue avec canalisation 5 Enlever le joint torique avec pr caution 4 13 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 4 3 3 Enlever la source d ions ATTENTION AVERTISSEMENT NOTE Stocker la source d lons dans un emballage parfaitement tanche dans un lieu frais et sec Lavez vous les mains soigneusement apr s avoir manipul la source d ions en particulier avant de fumer ou de manger Utilisez des gants en butyle ou en polycarbonate non poudr s pour viter que le s bum ne se d pose sur des surfaces
59. 8 GROSS V8 BRUTE LEAK VALVE SOUPAPE ANTI FUITE CAL LEAK TALONNAGE FUITE amp TEST PORT PRISE GROSS LEAK OPTION OPTION FUITE BRUTE c V1 VENT V1 VENT TEST PORT PRISE DE TEST YSTEM SYST ME TC TC 9 V6 TESTPORT p J V7 3 WAY V7 TRIPHAS VA MIDSTAGE V4 TAGE INTERM DIAIRE Q v2 V5 FORELINE TURBO V5 REFOULEMENT PRIMAIRE PUMP POMPE lo FORE AVANT KT PUMP POMPE Sch ma 3 7 Diagramme syst me vide 3 1 4 Installation initialisation syst me Touchez la case SYSTEM INIT SET UP INSTALLATION INIT SYST ME pour afficher l cran d installation d initialisation syst me Sch ma 3 8 qui permet d activer ou de d sactiver les boutons poussoirs du panneau avant et affiche l tat actuel des boutons MANUAL MANUAL ZEROING amp VALVE CALIBRATE CONTROL MANUAL SPEC TUBE Ro TUNING SYSTEM INIT BACK SET UP SYSTEM INITIALIZE SET UP CTRL PNL ENABLED DONE Sch ma 3 8 cran installation initialisation syst me La case basculante CTRL PNL ENABLED permet d activer ou de d sactiver les boutons poussoirs du panneau avant Touchez la case CTRL PNL ENABLED pour activer les boutons poussoirs du panneau avant Touchez la case une seconde fois pour activer les boutons poussoirs Touchez DONE TERMINE pour quitter l cran actuel et
60. 979 Pi ces d tach e S shoes nsc animent Dites 4 24 4 5 Liste d l ments d accessoires 979 ss 4 26 A 1 Sommaire table des sorties isolation optique sssseesesseeesentrsserrrrrerrnerrssrrrnsrrrnsrere n A 2 A 2 Sommaire table des entr es isolation optique sssseesssseesenresssrrrrrertnerrsttrrsserrnsrrrn n A 3 A 3 Sommaire table des E S non isol es n ssssseeeeseernsesrrrrrrnnrrrettessrtrrnettrnnrrstrrrsserresrrr nnet A 4 A 4 Sommaire table de s rie et alimentation sans isolation A 5 B 1 Param tres d exploitation internes sessseessssrenesettetssttrnsttrrssrttnttttnttnsstnnneennn nennen nenne B 5 B 2 Param tres d exploitation non volatiles sssssseesssneessntrrsrtrrssrtrnrerrrtressrrrnnennnnennnn nenene B 8 B 3 Param tres d exploitation du spectom tre ssessssssresssrressrrrnstrrrntrsttrrnserrnnrnrten trennet B 10 B 4 Actions de d tection de fuites eenaa eiA ARAE AEAEE a Aaaa B 10 C 1 Notation d cimale 28h nn Re Rand con bonne an nn es C 2 Xi D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Cette page a t laiss e en blanc intentionnellement Declaration of Conformity Konformit tserkl rung D claration de Conformit Declaraci n de Conformidad Verklaring de Overeenstemming Dichiarazione di Conformit We Wir Nous Nosotros Wij Noi Varian Vacuum Technologies 121 Hartwel
61. AUTO RANGING Le syst me est install pour une fourchette automatique sur toute l chelle du taux de fuite MANUAL RANGING Le syst me est install pour un contr le manuel de fourchette RANGE STOP RANGE STOP EXP Le syst me est install de mani re ce que la fourchette de taux de fuite la plus sensible affich e soit de 10 TEXPI REJECT SET POINT REJECT 1 2 3 4 ACTIVE La fonction rejet de r glage affich est active cette ligne est vide lorsque tous les points de r glage sont d sactiv s ou inactifs ROUGH PUMP Configuration double pompe seulement ROUGH PUMP ROUGH ONLY Une pompe de pr vidage d di e est reli e la prise de test uniquement lors du cycle de pr vidage ROUGH PUMP SPLIT FLOW Une pompe de pr vidage d di e est connect e la prise de test lors des cycles de pr vidage et de test renfor ant la capacit de pompage lors du test SYSTEM SENSITIVITY HIGH SENS Le d tecteur de fuites est configur pour des tests haute sensibilit Cette ligne est vide lorsque le d tecteur de fuites est configur pour des tests de sensibilit standard D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 6 cran de s lection premier menu Touchez la bo te MENUS sur l cran d accueil pour afficher l cran de menu principal Sch ma 2 7 L cran de menu principal affiche les crans disponibles pour la
62. D montage de l ensemble du spectrom tre ATTENTION D branchez l alimentation lectrique du 979 avant de mettre en uvre une quelconque proc dure d entretien n cessitant la AN d connexion physique d une quelconque partie du syst me Le tube du spectrom tre fonctionne avec un vide tr s pouss produit par la pompe vide pouss e L entretien du tube spectrom tre exige la ventilation de ce vide dans l atmosph re Effectuez cette proc dure tous les douze mois ou plus t t si n cessaire Pour acc der au tube spectrom tre enlevez les 2 vis cruciformes du panneau avant et en abaissant le panneau avant NOTE Des tubes spectrom tres sont disponibles aupr s de Vacuum Technologies sur une base d change Contactez le centre d assistance technique de Vacuum Technologies en composant le 1 800 8 VARIAN pour obtenir de plus amples d tails 1 Enlevez les 2 vis cruciforme O du panneau avant du mod le 979 Sch ma 4 1 Sch ma 4 1 Panneau avant 4 7 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 Faire descendre le haut du panneau avant pour acc der l ensemble du tube spectrom tre Veillez ne pas infliger de tension sur le c blage pour circuit imprim de l cran du panneau avant 3 Le tube spectrom tre se trouve l avant au centre du 979 juste en arri re du panneau avant Sch ma 4 2 je Sch ma 4 2 Vue avant de l ensemble du tube spectrom tre
63. D tection de fuite par un spectrom tre de masse l h lium ssssseesssseresssrrrrererresssrerrsree C 4 C 5 1 Principes de la spectrom trie de masse snensesssseeessenrrserrrstetrrtrrtnnersstrrnsertrn reenn C 4 C 5 2 Application comme d tecteur de fuite osnneeeeeneeeeeneessrnersttrrssetrrnnrtrrrnssrrrrnerreneet C 4 C 5 3 La nature du d bit dans un vide sssssesssseesssnrrsserrrertnetssttrtsttrrssttrnrnrrtnnnssrern neer eneet C 5 C 5 4 Quelques faits propos des taux de fuite n nnensnneeeeeneeeseernseerr rr ernnnrtsrrrnn nerne reenn C 5 C 6 M thodes de d tection des fuites C 6 C 6 1 Objet du test vacu Sch ma C 1a et Sch ma C 1b ssssssseessssseeneereeerssrrrrsserersee C 6 C 6 2 Objet du test sous pression Sch ma C 2 4 C 7 C 6 3 Objet du test d j tanche Sch ma C 3 ssssssessssessssnrrsssrrssrrrrrrernnnrssrernnsrrrnnnenn C 7 C 7 D tecteur de fuite muni d un spectrom tre de masse l h lium descriptif simplifi C 8 Late EP E E AE EN E AE EE LItE l 1 viii D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Liste des sch mas Sch ma Description Page 1 1 Unit 079 destin e tre mont e sur un quipement fixe 1 1 1 2 Configuration en version unique pompe m canique et joint tanche huile sur un chariot deux roues 1 2 1 3 Configuration en version unique pompe m canique joint
64. ION Un nombre de volts trois chiffres compris dans une fourchette de 200 350 qui d finit la tension en ions de la source d ions PUT OFFSET Un nombre deux chiffres compris dans une fourchette de 00 99 qui d finit le pourcentage d une valeur d placement PUT RANGE Un nombre deux caract res indiquant l exposant de la fourchette de fuite d tectable la moins sensible Les valeurs acceptables sont comprises entre 0 et 6 Les valeurs non acceptables ne sont pas archiv es PUT REPELLER Un nombre de volts trois chiffres dans une fourchette de 300 600 qui d finit la tension du r flecteur de la source d ions Les commandes num r es en Tableau B 4 sont utilis es pour d clencher certaines actions de d tection de fuites Tableau B 4 Actions de d tection de fuites Commande Action AUTO D clenche le mode auto La r ussite de l action est signal e par la r ponse ok habituelle CALIBRATE Ajuste le gain de sorte que le signal d h lium actuel fait que la mesure du taux TALONNER de fuite actuel est identique la derni re saisie l aide de INIT STDLEAK La r ussite de l action est signal e par la r ponse ok habituelle DECREMENT Soustrait 1 de l exposant du taux de fuite manuel ce qui le rend plus n gatif La D CR MENTER r ussite de l action est signal e par la r ponse ok habituelle Ne fait rien en mode auto Ne fait rien une fois la fourchette la pl
65. K SET UP SET UP OUTPUT CONTROL SET UP IV DEC LINEAR LOG BARGRAPH OUTPUT DISPLAY SERIAL PORT 9600 1 STOP NO BAUD BIT PRTY DONE Sch ma 2 13 cran installation de commande de sortie 2 6 6 1 S lection d une tension de sortie analogique de taux de fuite 2 26 Touchez la case cocher Sortie situ e dans l angle sup rieur gauche de l cran d installation de commande de sortie pour modifier la tension de sortie au niveau de la prise E S l arri re du d tecteur de fuites entre 1V DEC LOG OUTPUT et LINEAR ANALOG OUTPUT 1V DEC LOG OUTPUT LINEAR ANALOG OUTPUT Le tableau de conversion de la tension de sortie figure sur le Sch ma 2 14 Le tableau de conversion de la tension de sortie figure sur le Sch ma 2 15 la page 2 28 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 6 6 2 Installation affichage graphique barres Touchez la case bascule Affichage Graphique Barres pour choisir entre le mode d affichage du graphique barres LOG BARGRAPH DISPLAY et le mode LINEAR BARGRAPH DISPLAY LOG BARGRAPH En mode LOG BARGRAPH DISPLAY l affichage du graphique DISPLAY barres 50 segments repr sente la totalit de la fourchette du taux de fuite comprise entre 10 atm cc sec et 10 atm cc sec Dans ce mode l affichage num rique situ dans l angle sup rieur droit du graphique barres n est pas
66. NIST Pour prendre un rendez vous pour un r talonnage contactez notre service client le au 1 800 8VARIAN depuis les Etats Unis 4 5 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 4 3 Remise en tat du tube spectrom tre La remise en tat du tube spectrom tre consiste en l enl vement le nettoyage et la r installation du tube spectrom tre 979 Voici quatre sous ensemble du tube spectrom tre Le Tableau 4 3 fournit une liste des outils et des pi ces requises pendant la remise en tat Les instructions relatives au d montage sont indiqu es dans l ordre ci dessous Q Bouton thermocouple TC Q Source d ions Q Pr amplificateur Q Montage magn tique Tableau 4 3 Outils et pi ces n cessaires pour la remise en tat du tube spectrom tre Outils Tournevis Tournevis fente et cruciforme Gants Butyl ou polycarbonate sans poudre Pi ces Num ro de pi ce Descriptif 82850302 Source d ions R1266301 Bouton TC 670029096 Kit de nettoyage du tube spectrom tre Vacuum Technologies Joints toriques Parker 2 025 V747 75 noir livr avec source d ions bouton TC et pr amplificateur AVERTISSEMENT Utilisez des gants en butyle ou en polycarbonate non poudr s pour viter que des huiles corporelles ne se d posent sur des surfaces vide 4 6 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 4 3 1
67. andes d information pour le p riph rique de contr le afin de d terminer la valeur courante ou la valeur d un param tre de d tecteur de fuite Les mots commen ant par PUT sont des commandes permettant au p riph rique de d finir l tat ou la valeur actuelle d un param tre de d tecteur de fuite volatile Les mots commen ant par INIT sont des commandes permettant au p riph rique de contr le de d finir les param tres de d tection de fuite non volatile D autres commandes n exigent pas de param tres et ne commencent par aucun caract re sp cial Les demandes d information qui r ussissent donnent lieu une r ponse sous forme de donn es suivies par un espace puis ok lt CR gt lt LF gt comme indiqu dans les tableaux de la pr sente annexe Les demandes d information sans succ s donnent lieu une r ponse sous la forme de la demande fautive suivies par un espace puis lt CR gt lt LF gt avance ligne lt LF gt Les demandes d information param tres et commandes peuvent tre encha n s Chaque mot ou param tre num rique est suivi par un ou plusieurs espaces La cha ne se termine par un lt CR gt ce qui entra ne le d clenchement de l ex cution Les cha nes de commandes r ussies r pondent par les donn es sp cifi es pour les demandes d information de saisie dans l ordre dans lequel les demandes d information ont t mises suivies par ok lt CR gt lt LF gt Les cha nes de
68. ateur il est susceptible d interf rer avec les communications radio de mani re pr judiciable celles ci Lorsque cet quipement est utilis dans un environnement commercial son utilisation est soumise aux deux conditions suivantes Q cet quipement ne doit pas pouvoir causer d interf rence dommageable et Q cet quipement doit tre prot g contre toute interf rence re ue y compris celles RF et ESD susceptibles d entra ner un fonctionnement non souhait Il est possible qu il soit n cessaire de r initialiser cet quipement apr s un v nement RF et ou ESD en mettant en uvre le cycle Interrupteur d Alimentation Electrique Disjoncteurs sur le panneau arri re de l unit Lorsqu il est utilis dans une zone r sidentielle cet quipement est galement susceptible d tre l origine d interf rences dommageables avec les communications radio auquel cas il incombera l utilisateur de rem dier ces interf rences ses frais Equipement vide et nettoyage La propret est essentielle s agissant de l entretien du d tecteur de fuite ou d un quelconque quipement vide Il existe des techniques plus importantes pour l entretien d un d tecteur de fuites que pour le travail sous vide en g n ral ARTESEVENT NOTE Ne pas utiliser d huile ou de graisse de silicone Utilisez des gants en butyle ou en polycarbonate non poudr s pour viter que des huiles corporelles ne se
69. au fonctionnement Pour r tablir le fonctionnement normal proc der un d montage complet et un nettoyage de l ensemble du syst me vide qui inclut la bo te soupapes et le tube spectrom tre Dans le cadre d une production lourde des remises en tat plus fr quentes pourront s av rer n cessaires Inversement une utilisation moins lourde pourra prolonger les p riodes entre chaque remise en tat Dans la plupart des cas ce travail est en principe pris en charge par le personnel de maintenance de l utilisateur Il peut toutefois tre effectu par Vacuum Technologies selon les termes d un contrat de maintenance La pr sente section maintenance ne traite pas de la remise en tat de l ensemble du syst me vide Elle traite effectivement de la maintenance ventuellement n cessaire quotidiennement ou en fonction des besoins ou si l objet n exige pas d intervention sur une base annuelle pr ventive Si votre d tecteur de fuites 979 exige une intervention qui n est pas abord e dans cette section contactez le service client le de Vacuum Technologies au 1 800 8VARIAN Rappels importants Outre les conseils de s curit figurant au d but du manuel lisez attentivement les notes avertissements et pr cautions respecter lors des proc dures de maintenance ATTENTION D branchez l alimentation lectrique du 979 avant de mettre en uvre une quelconque proc dure d entretien n cessitant la d connexion physiq
70. aux de fuite susceptibles d tre atteints Le voyant DEL de l indicateur de TEST plac au dessus du bouton TEST s allume lorsque le 979 est en phase de test Si le bouton TEST PAUSE est press alors que le 979 est en phase de test l unit passe en phase PAUSE et le voyant LED de l indicateur PAUSE situ au dessous de PAUSE s allume Lorsque l appareil est en mode PAUSE la soupape de la prise de test V6 est ferm e isolant la prise de test et tous objets ou mat riels de test du syst me de vide du d tecteur de fuites La jauge de pression de la prise de test est situ e du c t de la prise de test de V6 et par cons quent une augmentation de la pression de test pourra tre observ e lorsque l appareil se trouvera dans ce mode Lorsque l appareil est en position TEST ou PAUSE si l op rateur appuie sur le bouton TEST PAUSE la machine alternera entre les deux tats Appuyez sur le bouton VENT pour isoler la prise de test du syst me de vide du d tecteur de fuite et ventiler la prise de test dans l atmosph re Le voyant DEL de l indicateur de VENT plac au dessus du bouton VENT s allume lorsque le 979 est en phase vent 2 3 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Cm 2 4 Le bouton REMISE Z RO n est actif que lorsque le d tecteur de fuite est en phase de test Appuyez sur le bouton REMISE Z RO pour que le 979 lise le signal de fond de niveau de fu
71. che sous atmosph re d h lium pour d terminer le taux de fuite global C 6 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium C 6 2 Objet du test sous pression Sch ma C 2 Fuite D tecteur Sch ma C 2 Objet du test sous pression Sonde d tecteur utilis e pour rep rer la fuite Une sonde d chantillonnage est raccord e au d tecteur de fuite L objet devant faire l objet du test est rempli d h lium la pression de test voulue et la sonde est d plac e sur sa surface Une partie de l h lium qui s chappe de la fuite est captur e par le biais de la sonde et p n tre le d tecteur de fuite ce qui permet de rep rer la fuite La sensibilit de ce type de test se limite environ 1077 cc sec r gulier tant donn que l essentiel de l h lium qui s chappe se diffuse dans l atmosph re environnante La sensibilit est galement limit e en fonction de la technique de l op rateur et des variations de concentration de l h lium ambiant dans l espace environnant le lieu du test Une autre solution pour proc der au sondage consiste enfermer l objet et sonder le bo tier qui le renferme afin de rep rer tout changement dans la teneur en h lium C 6 3 Objet du test d j tanche Sch ma C 3 Unit tanche contenant un d tecteur de fuite l h lium Sch ma C 3 Objet du test tanch is l h lium ou un m lange d h lium et d autre gaz
72. commandes accessibles via les cran de menus de services affectent significativement les performances du 979 et seul un personnel technique d ment qualifi doit tre autoris y acc der AVERTISSEMENT Nombre de valeurs des param tres incluses dans les menus de service sont calcul es lorsque le 979 proc de des actions telles que l talonnage CALIBRATE ou la remise z ro ZERO Le fait de modifier ces valeurs peut rendre les r sultats des tests non fiables Touchez la case SERVICE MENUS pour afficher l cran du menu de service voulu Sch ma 3 3 Cet cran affiche les fonctions qui peuvent tre mises en oeuvre dans le cadre d une proc dure de d tection des pannes ou de maintenance Pour revenir au second cran menu touchez la case retour BACK partir de l cran menu de service Les valeurs et options se modifient de la m me mani re que les crans du premier menu Pour les consulter se reporter Section 2 3 2 Modifier les variables de l cran tactile la page 2 7 et Section 2 3 3 S lectionner les options des crans tactiles la page 2 8 UNITS MANUAL MANUAL SET UP NEXT ZEROING amp VALVE L CALIBRATE CONTROL MANUAL GAUGE NL VERSION SPEC TUBE CE TUNING SYSTEM BACK INIT BACK SET UP Sch ma 3 3 Second cran menu D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom
73. conformes ou en contravention avec les dispositions de la pr sente garantie ne liera le Vendeur moins qu elle n ait t faite par crit et approuv e par un repr sentant du Vendeur Remplacement et ajustement de la garantie Toutes les demandes en vertu de la garantie doivent tre faites promptement apr s les v nements l origine de celles ci et doivent tre re ues au cours de la p riode de garantie applicable par le Vendeur ou son repr sentant autoris Telles demandes devront comporter le num ro de s rie du Produit la date d exp dition ainsi qu une description compl te des circonstances l origine de la demande Avant qu un quelconque Produit ne soit restitu aux fins de r paration et ou d ajustement une autorisation crite du vendeur ou de son repr sentant autoris aux fins de restitution et d instruction quant la mani re et l endroit o ces Produits doivent tre retourn s doit tre obtenue Tout Produit retourn au Vendeur aux fins d examen le sera par les moyens de transport indiqu s par le Vendeur comme acceptables Le Vendeur se r serve le droit de rejeter toute demande en garantie qui n aurait pas fait l objet d une d claration rapide ou toute demande en garantie relative un article ayant t modifi ou retourn par un moyen de transport inacceptable Lorsqu une quelconque Produit est retourn aux fins d examen et de v rification ou pour une autre cause quelle qu ell
74. cran de r glage du tube spec manuel Sch ma 3 5 Cet cran sert r gler manuellement les param tres de la source d ions dans le tube du spectrom tre pour un signal d h lium optimal MANUAL SPECTUBE TUNING MANUAL MANUAL UP ZEROING amp VALVE CALIBRATE CONTROL REPELLER V XXX X n ok EMISSION I X XXX AC SPEC TOBE GAUGE ION V XXX X TUNING VAR FOCUS XXX X SYSTEM SUPRESSOR XXX X INIT BACK FIXED FOCUS XXX X SET UP ESC DONE Sch ma 3 5 cran d ajustage manuel du tube spec 3 1 2 1 Modification des param tres d ajustage manuel Pour modifier le param tre d ajustage manuel 1 Touchez la case pour obtenir le param tre d sir Lorsque vous touchez la case contenant la variable voulue un indicateur en surbrillance s affiche droite des nombres 2 Touchez la fl che UP haut ou DN bas pour modifier la valeur du param tre en surbrillance NOTE Ne pas toucher la case ESC Echap avant de toucher la case OK Le param tre s lectionn revient ainsi sa valeur ant rieurement stock e 3 Touchez la case OK pour valider les changements et introduire la nouvelle valeur de param tre dans la m moire du d tecteur de fuites 4 Touchez DONE TERMIN pour quitter l cran et revenir l cran du menu pr c dent 3 5 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spect
75. d un ajustage manuel 3 1 2 4 Tension d ions 3 6 Touchez la case ION VOLTAGE TENSION D IONS pour afficher la valeur actuelle de la tension d ions de la source d ions dans le tube du spectrom tre Cette valeur peut galement tre ajust e manuellement Le param tre de tension d ions sert ajuster le d tecteur de fuite ce qui optimise la puissance du d tecteur de fuite pour un signal d h lium de pointe Le param tre de tension d ions est ajust avant que le d tecteur de fuite ne soit talonn pour l h lium Les valeurs de tension d ions type s inscrivent entre 230 et 270 V c c La valeur de la tension d ions est ajust e automatiquement et d finie au cours de la proc dure de calibrage de routine D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 3 1 2 5 Tension focale variable La case d ajustement de la tension VAR FOCUS TENSION FOCALE affiche la valeur actuelle de la tension focale variable de la source d ions dans le tube du spectrom tre et permet d effectuer un ajustement de ce param tre Le param tre de tension focale variable sert ajuster le d tecteur de fuite en optimisant sa puissance pour un signal d h lium de pointe Le param tre de tension focale variable est ajust avant que le d tecteur de fuite ne soit talonn pour l h lium La fourchette de valeurs type de tension focale variable s inscrit entre 180 V c c et 200 V c c 3 1 2 6 Tension du fil
76. d tecteur de fuites Lors du test d un syst me qui contenait des gaz dangereux l chappement du d tecteur de fuites doit tre branch sur l chappement du bo tier nettoy ou toxique Toute exposition des gaz dangereux est susceptible de causer un dommage corporel grave ou d entra ner un d c s L tanch it de l quipement est garantie dans des conditions normales d utilisation la sortie d usine de l quipement Il est de la responsabilit de l utilisateur de pr server le degr d tanch it en particulier lors du pompage de produits dangereux Le bon fonctionnement et l utilisation en toute s curit de cet quipement peuvent tre garantis uniquement si celui ci est utilis dans des conditions normales d utilisation Toujours m nager un espace d au moins dix centim tres adjacents aux ventilations l avant l arri re et au bas de l enceinte de l quipement D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Alimentation lectrique et charge statique ATTENTION L isolation lectrique doit comprendre le circuit de d rivation appropri au moins 20 A ainsi qu un dispositif long retardement et une prise la terre fiable Ne pas utiliser de rallonge D branchez l alimentation lectrique du 979 avant de mettre en uvre une quelconque proc dure d entretien n cessitant la d connexion physique d une quelconque partie du syst me Utilisez u
77. d ions en dehors de la maintenance annuelle 4 22 La source d ions pr sente deux filaments Cette pi ce se met automatiquement en marche lorsque le filament 1 est grill ou bien manuellement en touchant la case du s lecteur de filament qui se trouve sur l cran MANUAL SPECTUBE TUNING Ajustage manuel du tube spectrom trique Sch ma 3 5 la page 3 5 Il peut s av rer n cessaire de proc der un talonnage pour obtenir une sensibilit maximale apr s avoir remplac les filaments Il est conseill de remplacer la source d ions d s que possible une fois que le filament de rechange est mis en service Ce remplacement prend environ 3 minutes ATTENTION Stocker la source d ions dans un emballage parfaitement tanche dans un lieu frais et sec Lavez vous soigneusement les mains apr s avoir manipul la source d ions en particulier avant de fumer ou de manger AVERTISSEMENT Utilisez des gants en butyle ou en polycarbonate non poudr s pour viter que le s bum ne se d pose sur des surfaces vide Outils tournevis cruciforme Pi ces Source d ions 1 teignez l interrupteur d alimentation secteur qui se trouve l arri re du d tecteur de fuite 979 Enlevez les 2 tournevis cruciformes sur le panneau avant du d tecteur de fuite et abaissez le haut du panneau avant Sch ma 4 1 la page 4 7 Veillez ne pas infliger de tension sur le c blage du circuit imprim Enlevez le connecteur de la source d ions du tub
78. des crans tactiles 2 8 De nombreux param tres sont d finis par le biais de cases cocher que vous touchez pour modifier les valeurs ou les modes Par exemple le mode Manuel peut tre plac sur ON MARCHE ou OFF ARR T en touchant la case cocher pour passer de l un l autre Dans tous les cas l information apparaissant dans la case est la valeur s lectionn e La plupart des valeurs d cran ne sont pas modifi es avant que vous n ayez appuy sur la touche OK mais certains changements tels que par exemple la s lection d unit s de l cran UNITS Set Up INSTALLATION UNIT S ou la s lection de l affichage lin aire ou logarithmique partir de l cran OUTPUT CONTROL Set Up INSTALLATION DE CONTR LE DE SORTIE sont imm diats D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 4 cran d accueil de l cran tactile du 979 L cran d accueil de l cran tactile du 979 comporte un r sum des r glages d tat et de configuration D Q Affichage num rique du taux de fuite Q tat du d tecteur de fuites a non repr sent Q Rejet d indicateur de situation m Q Bo te d cran tactile SYS INFO Q Pression de prise de test Indication de situation non repr sent Indicateur syst me pr t Bo te MENUS d cran tactile Deux boutons d cran tactile SYS INFO et MENUS permettent d acc der ou de modifier la configuration comme indiqu au
79. dule d alimentation lectrique comporte l interrupteur lectrique MARCHE ARR T disjoncteur principal L alimentation lectrique du 979 peut tre arr t e quel que soit l tat du syst me Lorsque l alimentation lectrique est interrompue toutes les soupapes internes sont ferm es et cela afin de pr server la propret du syst me vide Le connecteur d alimentation lectrique principale est compatible avec le cordon d alimentation fourni avec le d tecteur de fuites Le cordon d alimentation lectrique supporte 20 A et ne doit pas tre modifi pour brancher un r ceptacle avec une intensit inf rieure Le connecteur de sortie d alimentation lectrique 20 A de la pompe primaire accepte le connecteur correspondant de la pompe primaire de pr vidage dans une configuration avec pompe m canique unique ou le connecteur correspondant de la pompe d di e dans une configuration avec pompe m canique double Le connecteur de sortie d alimentation lectrique 20 A de la pompe de pr vidage accepte le connecteur correspondant de la pompe de pr vidage d di e dans une configuration avec pompe m canique double Cette connexion n est pas utilis e dans la configuration pompe m canique unique Le connecteur de sortie d alimentation lectrique de la soupape de pr vidage accepte le connecteur correspondant de la soupape de pr vidage dans la configuration pompe m canique double Q 3 0 A 100 volt CA 115 volt CA Q
80. e 2 3 2 Modifier les variables de l cran tactile Le fait de toucher la case contenant la variable modifier entra ne la mise en surbrillance du premier chiffre de la variable en question Pour modifier une variable de l cran tactile 1 Touchez la case du param tre que vous souhaitez modifier pour placer le chiffre en surbrillance 2 Touchez la fl che UP haut ou DN bas pour INTERNAL LEAK VALUE 2 7E 07 INTERNAL LEAK VALUE 1 7E 07 modifier la valeur du chiffre en surbrillance 2 7 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 3 Touchez la fl che NXT suivant pour s lectionner le chiffre modifier suivant et modifiez sa valeur en r p tant l tape 2 INTERNAL LEAK VALUE 1 7E 07 4 Touchez la base OK pour accepter les changements et introduire la nouvelle valeur des param tres dans la m moire du d tecteur de fuites Touchez DONE TERMINE pour quitter l cran et revenir l cran du menu pr c dent Pour modifier un quelconque chiffre touchez la case contenant le param tre que vous souhaitez modifier puis la fl che NXT SUIVANT pour acc der ce chiffre comme indiqu dans la deuxi me tape NOTE Si vous touchez la case ESC Echap avant de toucher OK ou BACK RETOUR a pour effet de r tablir la valeur pr c demment enregistr e du param tre s lectionn 2 3 3 S lectionner les options
81. e de sensibilit augmentation de l arri re plan tension des ions lev e gt 300 VDC n cessaires pour ajuster le d tecteur de fuite Reportez vous Section 4 3 Remise en tat du tube spectrom tre la page 4 6 Remplacement de la source d ions Panne de filament d s que possible apr s que le second filament soit utilis Section 4 4 Remplacement de la source d ions en dehors de la maintenance annuelle la page 4 22 R glage de l accord Utilisation d une fuite talonn e sur le terrain autre que celui qui a t test en usine ou si l talonnage n a pas r ussi Section 3 1 2 R glage manuel du tube spec la page 3 5 Remplacement du fluide de la pompe m canique Signal de fond de l h lium lev et persistent Contamination du fluide une couleur marron sale indique que le fluide est br l ou contamin une consistance blanche laiteuse indique la pr sence d une teneur en vapeur lev e dans le fluide Section 4 5 Pompe m canique la page 4 24 Remplacement de la fermeture par pointage de la pompe m canique 4 4 La pression de base de la pompe s est lev e un niveau inacceptable pour cette application donn e Section 4 5 Pompe m canique la page 4 24 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 4 1 Maintenance quotidienne 4 1 1 V rification de la sen
82. e de test se ferme et la soupape de FUITE BRUTE et les soupapes de PR VIDAGE sont ouvertes Lors de la r alisation de tests dans ce mode la majorit du gaz introduit dans la prise de test est vacu e par la pompe de pr vidage et un petit chantillon est introduit dans le syst me par le biais de la soupape pointeau de FUITE BRUTE La capacit de test de fuite brute n est fournie que dans des configurations double pompe HOLD PAUSE Indique que le d tecteur de fuites se trouve en mode PAUSE Lorsque l appareil est en mode PAUSE la soupape de prise de test et la soupape de pr vidage sont fern es isolant la prise de test et tous objets ou mat riaux de test du syst me vide du d tecteur de fuites ROUGHING PR VIDAGE Indique que le d tecteur de fuites est en train de proc der au PR VIDAGE de la prise d essai ainsi que de tous objets ou mat riaux de test fix s la prise de test STD LEAK FUITE STD Indique que la soupape standard de fuite interne talonn e optionnelle est ouverte et que le d tecteur de fuite lit la valeur de fuite Le d tecteur de fuites revient en mode HOLD PAUSE lors de la lecture du standard de fuite interne VENTIL Indique que la prise de test est ventil e dans l atmosph re La prise de test et tous objets fix s celle ci sont isol s du syst me vide interne du 979 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h
83. e du 979 peut tre configur e de sorte que la pompe de pr vidage d di e soit connect e la prise de test uniquement lors du cycle de pr vidage ou qu elle soit connect e la prise de test durant les cycles de pr vidage et de test ROUGH PUMP SET UP CAL ROUGH LEAK PUMP NEXT SET UP SET UP OMG ONE ROUGH PUMP SIZE 400 LPM REJECT amp LEAK RATE TRANSFER FORE PUMP SIZE 300 LPM AUDIO SET RANGING POINTS POINTS SET UP SET UP AUTO OUTPUT SEQUENCER CONTROL BACK SET UP SET UP DONE Sch ma 2 11 cran d installation de pompe de pr vidage 2 6 4 1 S lectionner le mode pr vidage uniquement ou le mode courant divergent La premi re case cocher de l cran d installation de la pompe de pr vidage est utilis e pour s lectionner la fonction de la pompe de pr vidage d di e ROUGH ONLY SPLIT FLOW et NOT INSTALLED Pr vidage uniquement courant divergent et non install e ROUGH ONLY En mode ROUGH ONLY la pompe de pr vidage d di e ne pompe sur le prise de test que lors de la phase de pr vidage du cycle de test Une fois que l objet du test atteint la pression de transfert de test tol rable la soupape de pr vidage se ferme et la pompe de pr vidage d di e est isol e de l objet du test SPLIT FLOW En mode SPLIT FLOW la pompe de pr vidage d di e continue pomper sur l objet du test apr s que la pression d
84. e du spectrom tre Ventilez l crou du tube spectrom trique en tournant l crou molet sur la turbopompe d un quart de tour dans le sens inverse des aiguilles d une montre Enlevez les quatre vis cruciformes qui fixent la canalisation de la source d ions Sch ma 4 9 la page 4 12 Enlevez la canalisation de la source d ions en appuyant sur la tige support et soulevez la canalisation pour l ter de la source d ions Enlevez la source d ions du corps du tube du spectrom tre avec pr caution Sch ma 4 12 la page 4 14 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium NOTE La pr sence de d p ts sombres comparables du carbone autour du filament de la source et ou d une d coloration de type arc en ciel sur les parois int rieures de la cavit de la source d ions indique que le tube spectrom trique a fonctionn une pression trop lev e Ceci peut se produire en cas de fuite de pression du syst me ou bien lors d un transfert en mode test une pression excessive 8 Examinez la source d ions Sch ma 4 13 la page 4 15 et sa cavit pour rep rer toute trace de d coloration ou de d p ts Si l une ou l autre est d color e ou pr sente des salissures contactez le service client le de Vacuum Technologies en composant le 1 800 8VARIAN Si le service client le conseille une remise en tat compl te du tube spectrom trique suivez la proc dure indiqu e dans S
85. e peut maintenant tre enlev de la palette 1 7 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 1 2 2 Enlever 979 de la Palette Pour enlever le 979 de la palette deux m thodes peuvent tre utilis es Ces deux m thodes n cessitent l intervention de deux personnes La seconde m thode implique d ter de la palette les attaches palette les pi ces bleues en forme d anneau pais mont es l avant de la palette ATTENTION Manipulez le d tecteur de fuites avec pr caution et de mani re ad quate en suivant les tapes d crites ci apr s Une manipulation inad quate est susceptible d tre cause de dommages corporels ou d endommager le d tecteur Le 979 est lourd et s il n est pas manipul avec soin lorsque vous l enlevez de la palette il est susceptible d tre cause de dommages corporels 1 re m thode 1 Avec l aide d un assistant faites rouler avec soin le d tecteur de fuites vers l avant de la palette 2 Levez la partie avant de l unit et faites la basculer doucement sur le sol 3 Levez la partie arri re de l unit et roulez la sur les galets avant jusqu ce que la palette soit compl tement d gag e 4 Posez doucement la partie arri re sur le sol 2de m thode 1 Utilisez la barre de maintien enlev e Etape 6 comme Section 1 2 1 Instructions de d ballage la page 1 7 levier soulevez avec soin l avant de la palette de cinq o
86. e soit le Client supportera tous dommages d coulant d un emballage ou d une manipulation impropre ou d un dommage en cours de transport nonobstant tout vice ou d faut de conformit du Produit Dans tous les cas l unique responsabilit incombant au Vendeur consiste d terminer la cause et la nature du d faut et la d cision du Vendeur cet gard sera d finitive S il appara t que le Produit du Vendeur a t retourn sans cause et qu il est toujours utilisable le Client recevra notification et le Produit sera retourn ses frais en outre des frais de test et d examen peuvent tre factur s au titre des Produits ainsi retourn s Articles non couverts par la garantie Entre autres exemples d articles qui ne sont pas normalement couverts par la garantie figurent les sources d ions les jauges TC les joints toriques les nettoyages et r visions du tube spectrom trique l huile des pompes m caniques les r visions du syst me vide ainsi que les abus vidents ou les erreurs du client Ces l ments sont consid r s comme faisant partie de l entretien normal pour ce type d quipement 3 1 00 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Cette page a t laiss e en blanc intentionnellement D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Table des mati res A E EE E Eaa xiii Informations risques et s curit ss xiv S
87. e transfert de test tol rable a t atteinte Le test de courant divergent apporte une capacit de pompage suppl mentaire sur l objet de test lors du cycle de test Utiliser ce mode pour des syst mes ayant une charge de gaz lev e potentielle ou des volumes nets sup rieurs quelques littres En mode SPLIT FLOW un capuchon de prise de test doit tre en place isolant la prise de test avant de mettre en uvre une proc dure d auto talonnage avec la fuite interne talonn e optionnelle NOT INSTALLED S lectionner toujours ce mode pour des syst mes de pompe m canique unique Pour modifier le fonctionnement de la pompe de pr vidage le syst me doit tre plac en mode VENT et l interrupteur clef du panneau avant en position SET UP ou SERVICE 2 21 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 6 4 2 Introduire les tailles de la pompe de pr vidage et de la pompe primaire Les deux bo tes de commande suivantes sont utilis es pour s lectionner les modes ROUGH PUMP SIZE et FORE PUMP SIZE sur des syst mes pompe m canique doubles Q Touchez la bo te ROUGH PUMP SIZE pour s lectionner soit la 400 LPM soit la 600 LPM Q Touchez la bo te FORE PUMP SIZE pour s lectionner soit la 300 LPM soit le 600 LPM Il est important de d finir ces valeurs correctement lorsque le 979 est configur pour un test de courant divergent Ceci autorise des lectures directes du taux de
88. ec spectrom tre de masse l h lium 1 8 2 Commande de puissance et disjoncteurs Le module de commande de la puissance d entr e et de disjoncteurs du 979 est situ dans la partie inf rieure droite du panneau arri re Sch ma 1 10 L tiquette plac e au dessus de ce panneau comporte des informations relatives aux branchements sur ce panneau P VARIAN Sre Vacuum Technologies 4 Lexlngton MA 02421 3133 U S A MASS SPECTROMETER LEAK DETECTOR MODEL 979 SERIAL TECHNICAL ASSISTANCE 1 800 882 7426 TURBO 3A O 100V 50Hz U 115V 60Hz o 20 AMPS 1 PHASE A This equipment may need to be reset after RFI and or ESD events by cycling the power switoh circuii breaker an the hack ponei of he unit This equipment has bean teated and found to comply with EN58011 1991 Group 1 Class B ISM emission roquirements EU and EN 50082 2 1995 EMC heavy industrial generic Immunity standard Sch ma 1 10 Commande de puissance et disjoncteurs D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Commutateur d alimentation lectrique disjoncteur Connecteur du filtre d alimentation lectrique Alimentation lectrique de la pompe primaire Alimentation lectrique de la pompe de pr vidage Alimentation lectrique de la soupape de pr vidage Disjoncteur de la soupape de pr vidage Turbo pompe Dis joncteur Le mo
89. ec spectrom tre de masse l h lium 4 5 Pompe m canique La plupart des pompes exigent une maintenance r guli re L huile devient contamin e au fil du temps et doit tre remplac e Dans un syst me fonctionnant avec des pompes s ches l usure des scellements par pointage doit faire l objet d une v rification Les pompes de pr vidage et primaires du syst me doit faire l objet d une proc dure de maintenance intervalles r guliers pour veiller la fiabilit de la d tection des fuites par le mod le 979 4 5 1 Remplacement du fluide de la pompe tanch it huile Se reporter au manuel de fonctionnement de la pompe m canique fourni avec le d tecteur de fuite du mod le 979 Se reporter la Section 4 7 Liste d l ments d accessoires 979 la page 4 26 pour obtenir la r f rence de la pi ce de rechange pour l huile 4 5 2 Remplacement du scellement par pointage de la pompe Triscoll Se reporter au manuel de remplacement du scellement par pointage TriScroll fourni avec l ensemble Voir Section 4 6 Liste de pi ces d tach es du 979 pour obtenir la r f rence de la pi ce de scellement par pointage voulue Lors du remplacement de scellement par pointage il convient galement de remplacer le filtre d chappement Se reporter la Section 4 6 Liste de pi ces d tach es du 979 pour obtenir la r f rence de la pi ce de rechange du filtre d chappement 4 6 Liste de pi ces d tach e
90. ection 4 3 Remise en tat du tube spectrom tre la page 4 6 9 Une fois l examen termin enlevez la source d ions correctement avant de la renvoyer Vacuum Technologies pour un change 4 4 1 Remontage 1 Remplacer la source d ions voir Sch ma 4 24 la page 4 21 NOTE La plaque fente mise la terre pr sente un orifice qui doit tre align par rapport celui qui se trouve la base de la cavit de la source d ions du corps du tube spectrom trique Sch ma 4 24 la page 4 21 AVERTISSEMENT La source d ions doit tre align e de sorte que sa cheville de positionnement Sch ma 4 24 la page 4 21 se place au centre de cet orifice Il peut se produire un court circuit lors de la mise sous tension si la cheville de positionnement touche les c t s de l orifice d alignement 2 Remplacer la canalisation de la source d ions Aligner les rainures par rapport aux pieds de chaque c t de la tige support et l arri re du tube spectrom trique Resserrez les 4 vis cruciformes 3 Remplacer le connecteur de la source d ions Il est param tr pour se mettre en marche d une seule fa on 4 Fermez la ventilation de la turbopompe en tournant l crou molet d un quart de tour dans le sens des aiguilles d une montre 5 Fermez le cache avant en prenant soin de ne pas coincer les fils Remettez les vis cruciformes et resserrez les 4 23 D tecteur de fuites mod le s rie 979 av
91. elles valeurs dans la m moire puis touchez sur DONE pour revenir l cran pr c dent Si vous touchez la case ESC Echap avant de toucher OK ou DONE a pour effet de r tablir la valeur pr c demment enregistr e du param tre s lectionn 2 29 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium GROSS LEAK XFER transfert fuite brute CONTRA FLOW LEAK XFER Transfert de fuite contre courant Le point de r glage GROSS LEAK XFER d termine le point de transition de la pression de test laquelle le 979 passe en mode GROSS LEAK TEST test fuite brute partir du mode de pr vidage En mode GROSS LEAK TEST test fuite brute la majorit des gaz chantillonn s est vacu e par pompage via la pompe de pr vidage d di e tandis qu un petit chantillon de gaz est introduit dans le d tecteur de fuite via une soupape de r glage Le test de fuite brute est une fonction standard uniquement disponible sur les configurations des pompes m caniques doubles Le point de r glage CONTRA FLOW LEAK XFER transfert de fuite contre courant d termine le point de transition de la pression de test laquelle le 979 passe en mode testCONTRA FLOW LEAK fuite contre courant partir du mode de pr vidage ou de test de fuite brute En mode de test CONTRA FLOW LEAK l chantillon de gaz est pomp via le d tecteur de fuite et balay sur la pompe principale vide tr s pouss Le mode de te
92. en service LINEAR BARGRAPH En mode LINEAR BARGRAPH DISPLAY l affichage du graphique DISPLAY barres 50 segments repr sente la valeur de la mantisse du taux de fuite comprise entre 0 et 10 L affichage num rique situ dans l angle sup rieur droit du graphique barres indique la valeur en exposant du taux de fuite Ce mode offre une r solution exceptionnelle en une d cade V LOGILeakRate X 10111 LeakRate 10 1011 0 1 0 01 0 001 0 0001 E 059 E 06 E 07 E 085 E 049 E 10 E 11 Leak Rate atm ccisec 0 0 1 0 2 0 3 0 4 0 5 0 6 0 F0 8 0 9 0 10 0 Output Voltage Sch ma 2 14 Tension de sortie logarithmique du d tecteur de fuites 2 27 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Output Voltage Leak rate Mhntissa Leak Fate Mhntissa Output Voltage Oh Un Leak Rate Std cc Sec Li Les 0 1 2 3 4 5 7 8 9 10 Output Voltage Volts Standard and High Sensitivity versions Sch ma 2 15 Tension de sortie lin aire du d tecteur de fuites 2 6 6 3 Installation du protocole de communication s rie L cran d installation de la commande de sortie autorise galement la s lection des param tres de communication du RS 232 BAUD RATE STOP BITS et PARITY voir Annexe B Protocole de communication 2 28 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom t
93. ent galement tre mises en surbrillance copi es et coll es dans Microsoft Word ou Excel Pour saisir de grandes quantit s de donn es qui d passent les limites de l cran du terminal utilisez l option Saisie de texte dans le menu Transfert 1 S lectionnez Transf rer gt Texte saisie La bo te de dialogue Texte saisie s affiche Cliquez sur Naviguer La bo te de dialogue S lectionner saisie s affiche Naviguez jusqu un emplacement saisissez un nom de fichier et s lectionnez un type de fichier Q fichier texte txt bloc notes Q doc Word Q xis Excel Cliquez sur Enregistrer La bo te de dialogue Texte saisie s affiche de nouveau Cliquez sur D marrer pour charger des donn es S lectionnez Transf rer gt Texte saisie gt Arr t pour terminer la saisie de texte Ouvrez le fichier o les donn es sont archiv es et s lectionnez Fichier gt Imprimer D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Exemple Vous pouvez faire appel aux proc dures indiqu es ci dessus pour interroger le taux de fuite du 979 l aide de HyperTerminal et saisir le texte Pour ce faire 1 Saisissez la commande XYZZY Si le message est bien re u le 979 r pond correctement 2 Saisissez la commande 2LEAK 1 SECS CR ESC Cette commande permet d interroger le taux de fuite toutes les secondes L heure est param tr e en secondes 3 Appuyez sur Echap pour int
94. ent avant de le renvoyer Vacuum Technologies pour un change Sch ma 4 13 Source d ions 4 En observant la cavit de la source d ions Sch ma 4 14 vous verrez la plaque fente mise la terre Sch ma 4 14 Cavit de la source d ions 4 15 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 5 Enlevez la plaque fente mise la terre Sch ma 4 15 en pla ant un tournevis fente fin bien dans l encoche avant de le tourner et de soulever la pi ce avec Sch ma 4 15 Plaque fente mise la terre NOTE Un tournevis de serrage con u pour bien s ins rer dans l encoche d une vis conviendra parfaitement pour cette proc dure 4 3 4 Enl vement du pr amplificateur AVERTISSEMENT Le pr amplificateur est un outil sensible et statique Porter un dispositif de mise la terre pendant les manipulations du pr amplificateur 1 Enlevez les 4 vis cruciformes qui maintiennent la pi ce de canalisation du pr amplificateur renouvelez les tapes 2 3 et 3 Section 4 3 2 Suppression du bouton TC la page 4 12 pour d gager une source d ions 2 Enlevez le pr amplificateur du corps du tube spectrom trique Sch ma 4 16 et placez le sur une surface propre s re et non magn tique Sch ma 4 16 Enl vement du pr amplificateur 4 16 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 4 3 5 Enlevez les p les magn
95. ermettant la v rification de l talonnage du syst me Lorsque le syst me est en mode LECTURE DE FUITE STANDARD son indicateur DEL s allume Appuyez sur le bouton LECTURE DE FUITE STANDARD pour isoler la prise de test du syst me vacuer le collecteur de test talonn et exposez la fuite au tube du spectrom tre Comparez la valeur du taux de fuite affich la valeur de fuite talonn e La prise de test tant dans ce mode isol e de la pompe primaire et de la pompe de pr vidage une l g re augmentation de la pression au niveau de la prise de test pourra appara tre sur l affichage du graphique barres de la pression pour la prise de test D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Le bouton TALONNER est utilis pour proc der un talonnage automatis sur la base des param tres tels qu ils apparaissent sur l cran d Installation de fuite talonn e Section 2 6 1 Installation fuite talonn e la page 2 16 L TALONNAGE entra ne un pr vidage du 979 ainsi que l exposition de la fuite interne standard au syst me ou si le mode EXTERNAL LEAK FUITE EXTERNE est d fini au cours de la configuration v rifie que la prise de test est pr vid e et expos e au syst me La focalisation variable est contr l e puis la tension en ions est v rifi e pour d tecter le signal de pic Le syst me enregistre la lecture du taux de fuite puis la fuite est in
96. ernes pour s lectionner l utilisation d un standard de fuite talonn e interne ou externe aux fins d talonnage et pour s lectionner le mode d ETALONNAGE COMPLET ou RAPIDE ALIBRATED LEAK SET UP CAL ROUGH SERU LEAK PUMP NEXT SET UP SET UP INTERNAL LEAK VALUE XXE Xx USE ok EXTERNAL LEAK VALUE X XE XX EAK REJECT amp LEAK RATE TRANSFER AUDIO SET RANGING POINTS POINTS SET UP SET UP AUTO OUTPUT SEQUENCER CONTROL BACK DN SET UP SET UP UP ESC DONE Sch ma 2 8 cran d installation de fuite talonn e D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 6 1 1 S lectionner une fuite talonn e interne ou externe pour talonnage Touchez la bo te USE INT EXT LEAK pour passer d une s lection l autre lorsque le 979 proc de un talonnage automatis soit avec une fuite talonn e interne optionnelle soit avec une fuite talonn e externe plac e dans la prise de test 2 6 1 2 S lection du Mode d Etalonnage Complet ou Rapide ouchez la bo te USE FULL FAST CAL pour passer du mode FULL CALIBRATION talonnage complet au mode FAST CALIBRATION talonnage rapide ETALONNAGE COMPLET FAST CALIBRATION La proc dure d talonnage ordinaire comporte un processus de r glage minutieux ainsi qu un syst me d ajustement des gains talonnage
97. errompre l interrogation 4 S lectionnez Transf rer gt Texte saisie 5 Parcourir jusqu au dossier et fichier voulus l aide de la bo te de dialogue Texte saisie et cliquez sur D marrer 6 S lectionner Transf rer gt Texte saisie gt Arr t pour interrompre le chargement de donn es Tableau B 1 num re les demandes d information utilis es pour d terminer les param tres d exploitation internes Toutes les demandes d information en dehors de VER commencent par et se terminent par lt CR gt Tableau B 1 Param tres d exploitation internes Demande d information R ponse ALL Neuf lignes Chacun commence par un lt cr gt lt lf gt La premi re ligne indique la tension de polarisation du filament La deuxi me ligne indique la tension de la chambre d ionisation La troisi me ligne indique la tension de la focale variable La quatri me ligne indique la tension du r flecteur La cinqui me ligne indique la tension de la focale fix e La sixi me ligne indique la tension du filtre anti parasite La cinqui me ligne indique le courant d mission La huiti me ligne indique la valeur de la variable d placement La neuvi me ligne indique la valeur de gain AZ lt 0 Indique le statut de la fonction auto z ro lt 0 Activ ou d sactiv BACKGROUND Indique la valeur de l arri re plan h lium CALOK Indique le statut du dernier talonnage CL XFER Indique la pression de transition en
98. es 10 cc sec r gulier et en raison de la tendance du gaz de trace rester en suspens dans cet espace exige une ventilation efficace et r guli re de l espace o le test est pratiqu Le d tecteur utilis dans le cadre de cette m thode est sensible divers gaz provenant de sources externes telles que la fum e de cigarette ou les manations de solvants Cette m thode est utile uniquement pour tester les cavit s herm tiquement tanches Elle pr sente peu pr s la m me port e que la m thode l h lium mais implique la mise en place d une installation co teuse de quatre dix fois le co t d une installation l h lium en fonction du degr de protection requis par rapport aux rayonnements Elle implique en outre la pr sence d un responsable de la s curit en mati re de rayonnement Cette m thode est efficace pour les fuites de 10711 cc sec r gulier et sup rieures Utile pour tester les fermetures herm tiques les bo tiers sous vides syst mes sous vide il s agit de la m thode de test de d tection des fuites industrielles et de laboratoires la plus polyvalente C 3 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium C 5 D tection de fuite par un spectrom tre de masse l h lium L h lium est un excellent gaz pr sent l tat de trace parce qu il s agit du plus l ger des gaz inertes et qu en cons quence il p n tre facilement les pet
99. ester constante La r alisation de fuites standards aux fins de calibrage exige la mise en uvre de techniques sp ciales C 5 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium C 6 M thodes de d tection des fuites La plupart des m thodes de d tection des fuites d pendent de l utilisation d un gaz traceur qui traverse la fuite avant d tre d tect de l autre c t par exemple la d tection visuelle de bulles d air dans l eau Largement utilis parce qu il associe une sensibilit lev e une capacit de test de type production le d tecteur de fuite muni d un spectrom tre de masse utilise l h lium comme traceur Les trois m thodes de base ordinairement utilis es sont d crites ci dessous C 6 1 Objet du test vacu Sch ma C 1a et Sch ma C 1b L objet du test doit tre vacu par la pompe primaire du d tecteur de fuite puis transport dans le syst me vide du spectrom tre La surface de l objet du test subit ensuite des sondages avec de petits jets d h lium qui vont permettre de localiser des fuites individuelles ou entour es d h lium sous cloche pour un dernier contr le global des fuites Fuite D tecteur 3 TE CC 0o L Sch ma C 1a Objet du test vacu Sonde traceur utilis e pour rep rer la fuite Cloche HO Objet du test Fuite Fuite D tecteur 3c 0T Sch ma C 1b Objet du test vacu et mis sous clo
100. et alimentation sans isolation Broche Nom de l entr e RxD2 Spec signal Spec RS 232 Descriptif R ception de donn es de l unit distante universelle TxD2 Spec RS 232 Donn es transmises l unit distante universelle 24 RET Alimentation M T Commun pour alimentation et signaux 24 V Alimentation Alimentation 24 V c c pour l unit distante universelle A 5 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Cette page a t laiss e en blanc intentionnellement D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Annexe B Protocole de communication Cette annexe d finit les sp cifications techniques du protocole RS 232 utiliser avec le d tecteur de fuites 979 B 1 Protocole RS 232 Les ports RS 232 fonctionnent 9 600 bauds 8 bits sans parit et un bit d arr t Le d tecteur de fuite fait cho tous les caract res transmis au d tecteur de fuite Les commandes demandes de renseignement et cha nes de commandes et de demandes de renseignement doivent tre termin es par un retour chariot lt CR gt un espace fera cho au retour chariot La longueur maximale de saisie est de 80 caract res si aucun retour de chariot n a t re u avant le 80 me caract re l ex cution de la cha ne de commande d bute malgr tout Les mots commen ant par le caract re sont des dem
101. exposant de la fourchette la plus sensible INIT REJECT Une mantisse de taux de fuite deux chiffres avec un point de d cimale apr s le premier chiffre suivi par E puis par un exposant deux chiffres le nombre du taux de fuite d h lium en atm cc sec Les valeurs en dehors de la fourchette de travail du d tecteur de fuite ne sont pas archiv es INIT 1REJECT identique INIT REJECT INIT 2REJECT Identique INIT 1REJECT mais pour le point de r glage de Rejet 2 INIT 3REJECT Identique INIT 1REJECT mais pour le point de r glage de Rejet 3 INIT 4REJECT Identique INIT 1REJECT mais pour le point de r glage de Rejet 4 INIT AREJECT Identique INIT 1REJECT mais pour le point de r glage de Rejet audio INIT REPELLER Un nombre de volts trois chiffres dans une fourchette de 300 600 qui d finit la tension du r flecteur de la source d ions INIT ROUGH Pr c d par XXX d finit la dur e approximative d auto s quen age en secondes INIT STDLEAK Une mantisse de taux de fuite deux chiffres avec un point de d cimale apr s le premier chiffre suivi par E puis par un exposant deux chiffres le nombre du taux de fuite d h lium en atm cc sec de la fuite standard de l talonnage Les valeurs en dehors de la fourchette de travail du d tecteur de fuite ne sont pas archiv es INIT TCTPZERO Pr c d par un nombre XXX de mTorr repr sentant la pression de prise de
102. ez pas de graisse ni aucune autre substance sur les joints toriques entrant en contact avec le tube du spectrom tre A RISSMENT Si l aimant du tube spectrom trique entre en contact avec une quelconque surface magn tique l aimant peut perdre son gauss ce qui priverait le tube spectrom trique d une partie de sa sensibilit ATTENTION Stocker la source d ions dans un emballage parfaitement tanche en un lieu frais et sec Lavez vous les mains avec soin apr s avoir manipul la source d ions en particulier apr s avoir fum ou mang Option fuite brute Si l option fuite brute est install e prenez en consid ration les l ments suivants A RISSEVENT N apportez aucune modification la fuite brute Ne touchez pas l crou molet sur la fuite brute La fuite brute est calibr e en usine et en cas de modification la fuite brute doit tre retourn e l usine pour un nouvel talonnage Pour les retours contactez le Service client le de Vacuum Technologies au 1 800 8VARIAN Pompes ATTENTION Pour viter tout dommage utilisez des techniques de levage appropri es lorsque vous d placez des pompes Il est possible que votre syst me dispose de pompes qui ne peuvent tre d plac es en toute s curit que par deux personnes xxi D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium ATTENTION ATTENTION Les pompes vide sont galement des compresseurs un fonctio
103. fin normal 2 24 Mode test brut uniquement 2 24 Modes de tests de fuite C 3 Modifier les variables 2 7 N Nettoyage Bouton TC 4 20 joints toriques 4 20 Pi ces du p le magn tique 4 19 Plaque fente mise la terre 4 18 Tube spectrom tre 4 18 Notation num rique syst me exponentiel d finition de C 2 0 Objet du test D j tanche C 7 vacu C 6 sous pression C 7 P Panneau avant 1 12 2 2 Panneau de commande et de communication du syst me 1 15 Admission d tecteur 1 15 Connecteur E S 1 15 A 1 E S et commande distance Varian A 1 Entr e de commande distance 1 15 vent du syst me 1 15 Logique de commande 1 15 Panneau de commandes arri re 1 15 Panneau de communication 1 15 Param tre de facteur de gain 3 4 Param tres Exploitation interne B 5 Exploitation non volatile B 8 Param tres d exploitation Internes B 5 Non volatiles B 8 Param tres d exploitation internes B 5 Param tres d exploitation non volatiles B 8 Pi ces d tach es 4 24 P les magn tiques 4 17 Pompe de pr vidage Alimentation lectrique 1 17 Disjoncteur 1 17 S lection de la taille 2 22 Pompe de pr vidage d di e 2 21 S lection non install e 2 21 Pompe m canique unique se rapportant la pompe de pr vidage 2 21 Pompe primaire Alimentation lectrique 1 17 Disjoncteur 1 17 Pr amplificateur 4 16 Pr paration en vue du fonctionnement 1 10 Pression de prise de test 2 9 2 10 Unit s 2 31 Pression de transfert 2 29
104. gi pot variable utilis pour ajuster le signal d h lium en fonction d une fuite d talonnage standard INIT GL XFER Pr c d par X XE XX d finit en Torr la valeur de la pression de transition de la fuite brute INIT ION Un nombre de volts trois chiffres de l ordre de 200 350 qui d finit la tension en ions de la source d ions INIT LINEAR Aucune La tension de sortie analogique du taux de fuite devient lin aire Voir Section 2 6 6 Installation de commande de sortie la page 2 26 et Sch ma 2 15 la page 2 28 INIT 1LOG B 8 Aucune La tension de sortie analogique du taux de fuite devient logarithmique 1 volt par d cade Voir Section 2 6 6 Installation de commande de sortie la page 2 26 et Sch ma 2 14 la page 2 27 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Tableau B 2 Param tres d exploitation non volatiles Continued Commande Param tre INIT 2LOG Aucune La tension de sortie analogique du taux de fuite devient logarithmique 2 volts par d cade INIT 3LOG Aucune La tension de sortie analogique du taux de fuite devient logarithmique 3 volts par d cade INIT OFFSET Un nombre deux chiffres compris dans une fourchette de 00 99 qui d finit le pourcentage de la valeur d placement utilis e pour annuler le pr amplificateur INIT RANGESTOP Pr c d par XX d finit la valeur de l
105. huile sur un chariot quatre roues 1 5 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Sch ma 1 6 est un dessin graphique comportant les dimensions physiques d une double station d essais d tanch it pompage m canique et joint sec d un d tecteur de fuites de la s rie 979 sur un chariot quatre roues Sch ma 1 6 Configuration en version double pompe m canique joint sec sur un chariot quatre roues D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 1 2 D ballage du mod le 979 Le d tecteur de fuites 979 est soigneusement emball sur une palette flottante et prot g par un conteneur en carton pais fix la palette r ception inspectez le conteneur afin d y d celer d ventuelles traces de dommages survenus en cours d exp dition N liminez aucun l ment de preuve attestant d une manutention non conforme Lors de l ouverture du conteneur consultez les instructions de d ballage figurant l ext rieur dudit conteneur d exp dition L emballage d origine en usine garantit une protection optimale au cours de l exp dition Toutefois contr lez sur le champ le d tecteur de fuites et les l ments s y rapportant Signalez sans retard au transporteur toute trace de dommage observ e Les articles suivants sont compris dans le chargement Q Manuel d utilisateur du Mod le s rie 979 Q D tecteur de fui
106. ible de compromettre l int grit du joint N utilisez pas de graisse ni aucune autre substance sur les joints toriques entrant en contact avec le tube du spectrom tre N utilisez pas d alcool de m thanol ni aucun autre solvant pour nettoyer les joints toriques vous risqueriez de provoquer des d gradations ou de r duire leur capacit pr server le vide Le cas ch ant appliquez une petite quantit de graisse Apiezon L et essuyez les joints toriques avec un tissu non pelucheux jusqu ce qu ils soient parfaitement secs et lustr s D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium NOTE En raison du pouvoir nettoyant extr mement efficace du solvant VacuSolv et de ses propri t s sans r sidu l utilisation du Component and Spectrometer Tube Cleaning Kit kit de nettoyage composants et tube spectrom trique de Vacuum Technologies r f rence pi ce n 670029096 conform ment au mode d emploi du kit est recommand e pour le nettoyage des composants du tube spectrom trique Le kit peut galement tre utilis pour parfaire le nettoyage d autres pi ces du syst me vide du d tecteur de fuites telles que des soupapes et divers mat riels Aucun rin age ni aucun s chage haute temp rature n est n cessaire apr s un nettoyage avec VacuSolv Bien qu un certain nombre de pr cautions doivent tres respect es VacuSolv est compatible avec la plupart des mat riaux et ne
107. ient 1 5 4 Installations de syst me fixe Sch ma 1 7 illustre le processus d installation d une version syst me fixe du 959 959D Remarque coupez le tuyau noir 3 4 en 2 longueurs gales comme indiqu Conduite de refoulement primaire Connecteur Sch ma 1 7 Installation de syst me fixe 970 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 1 6 Rangement Si le d tecteur de fuites n est pas destin une utilisation imm diate il peut tre stock dans l tat dans lequel il a t re u sans pr cautions particuli res Un endroit sec relativement prot g de la poussi re est pr f rable L environnement de stockage requis est le suivant a 0 95 d humidit relative absence de condensation Q temp rature ambiante comprise entre 20 4 F et 60 C 140 F 1 7 Affichage et commandes du panneau avant Les boutons d affichage des taux de fuite et de contr le du panneau avant du 979 sont situ s du c t avant droit du d tecteur de fuite Sch ma 1 8 Le panneau est dot de gros boutons cod s par couleurs et clairement tiquet s ainsi que d un affichage large par graphique barres facile lire Ci apr s figure une br ve description des boutons de contr le Une analyse plus d taill e figure la Section 2 Utiliser le d tecteur de fuites 979 Sch ma 1 8 Affichage et commandes du panneau avant
108. ints de r glage de rejet est disponible au port E S ainsi qu la demande par le biais de la ligne RS 232 voir Annexe B Protocole de communication Au terme du cycle de test automatis le 979 capture le signal de taux de fuite mesure juste avant la fin du cycle de test automatis Ce taux de fuite est affich sur le panneau avant et conserv au port de r sultat analogique E S l arri re du d tecteur de fuites jusqu l initiation du cycle de test suivant Ceci autorise l utilisateur final enregistrer la valeur de fuite r elle pour chaque objet de test D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 6 3 1 Commandes d installation de l auto s quenceur 2 20 ROUGH TIME TEST TIME DUR E DU TEST La variable ROUGH TIME d termine le d lai que le d tecteur de fuite peut vacuer l objet du test la pression de transfert de test tol rable En mode AUTO SEQUENCER le 979 passe en mode test d s que la pression de transfert tol rable est atteinte IlI n attend pas l expiration du d lai total de pr vidage pr vu si cela n est pas n cessaire Si la pression de transfert de test tol rable n est pas atteinte dans le d lai de pr vidage pr s lectionn le syst me interromps le cycle et passe en mode HOLD La valeur de ROUGH TIME peut tre d termin e de mani re empirique et devrait refl ter le d lai typique requis pour pr vider votre objet de test
109. io la page 2 18 Si tous les points de r glage sont invalid s ou ne sont pas actifs cet indicateur est absent D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 4 6 Bo tes de l cran tactile SYS INFO et MENUS Deux bo tes d cran tactile figurent au bas de l cran d accueil Touchez la bo te SYS INFO du c t gauche de l cran d accueil pour afficher l cran Info Syst me qui est pr sent dans la section suivante Touchez la bo te MENUS situ e au bas droite de l cran d accueil pour afficher l cran de s lection du premier menu L cran de s lection du premier menu est pr sent dans la Section 2 6 cran de s lection premier menu la page 2 16 Tableau 2 2 tats defonctionnement du 979 Affichage Descriptif CALIBRATING TALONNAGE Indique que le d tecteur de fuites proc de actuellement une proc dure d talonnage de routine Le d tecteur de fuites revient en mode HOLD PAUSE lors de l talonnage par rapport au standard de fuite interne FINE TEST TEST AFFIN Indique que le d tecteur de fuites se trouve en mode TEST AFFINE Lorsque l appareil se trouve en mode TEST AFFINE la soupape de la prise de test et le d tecteur de fuites est pr t une proc dure de test affin e GROSS TEST TEST BRUT Indique que le d tecteur de fuites se trouve en mode TEST BRUT Lorsque l appareil est en mode TEST BRUT la soupape de la pris
110. ion de fuite C 1 Test de fuite pourquoi est ce n cessaire M me avec les technologies complexes actuellement disponibles il est dans la pratique impossible de fabriquer un bo tier ou syst me tanche dont l tanch it puisse tre garantie sans test pr alable Par l utilisation de techniques de tests d tanch it de spectrom tre de masse moderne tel que m is en uvre par le d tecteur de fuites l h lium S rie 979 les taux de fuite dans la fourchette 10 r guliers cc sec sont rep rables de mani re fiable La discussion suivante fournit un bref sommaire des informations sp cifiquement pertinentes en mati re de d tection des fuite C 2 Cat gories de d tection des fuites Il existe quatre grandes cat gories de d tection des fuites Bo tiers herm tiques ou pi ces s y rapportant Syst mes herm tiques Bo tiers sous vide ou pi ces s y rapportant Syst mes vide Ces l ments sont test s pour viter toute p n tration de contaminants ou la perte de fluide susceptible d affecter les performances de l unit sous coffret Exemples p riph riques lectroniques circuits int gr s relais tanches moteurs extr mit s de canettes de bo te couvercle d chirable et de passage multi broche Ils sont test s pour emp cher la perte de fluide ou de gaz l int rieur Exemples syst mes hydrauliques et de r frig ration Ces bo tiers sont test s pour viter toute
111. ion de fuite talonn e e se seeeeeeeiseieeeeeeeesriesrsisriiernrssisresresrrnresresrrsres 2 16 2 9 cran points de r glage rejet et audio ss ssessessiessiesiessresetsrrieertsreesresrtsrrenresreenresreesrrrrt 2 18 2 10 cran d installation de l auto S quenceur e e eeseieieeeeeiesierisreerenresrssrsrisrerrrsrrsressrerrns 2 19 2 11 cran d installation de pompe de pr vidage se seseseissieeeissieesererrtsrtsrirsresrrerresrrsrreenresrre 2 21 2 12 cran d installation de fourchette de taux de fuite s eeseeeeeeiseieeieeeersreeresreeresreeereen 2 22 2 13 cran d installation de commande de sortie s seseeeeeeeeeeieiseieeieereneesresisresresresresresrrsren 2 26 2 14 Tension de sortie logarithmique du d tecteur de fuites snesnsonensentreeeennresserrr rere neee 2 27 2 15 Tension de sortie lin aire du d tecteur de fuites n nsenneesnneeeeeernsseerrrrrtnrrrssrrrr rere neet 2 28 2 16 cran d installation de la pression de transfert 2 29 2 17 Second cran MON sr ornements e menant 2 31 2 148 cran d installation unit s es an ne se de tn ee 2 31 3 1 Second cran MON Hs m mincir nr E 3 1 3 2 cran Ver O A M ARE dot A tn Nr ce Con 3 1 3 3 SOCOrd CAN MONDE tes E A Rd sans 3 2 3 4 cran de remise z ro manuelle et d talonnage 3 3 3 5 cran d ajustage manuel du tube Spec s eisseseiieskiesiesreseresritsresretsresrtsrtsrrerrtsrrerirssrerrrns 3 5 3 6 cran de commande de soupa
112. ite plus le signal lectronique de bruit pour le niveau de d bit en cours par exemple mi tape stocke la lecture en m moire puis r initialise le point de r f rence z ro sur l affichage de taux de fuite Le voyant DEL d indicateur de REMISE Z RO s allume lors de la remise z ro Parmi les mesures de test ult rieures figurent la fois l h lium de la fuite r elle et l h lium des conditions ext rieures Le 979 soustrait automatiquement le signal de fond enregistr de la mesure et affiche uniquement le taux de fuite r el NOTE Le fait d appuyer sur le bouton Z RO lors de l introduction d un traceur l h lium dans l objet du test pourrait avoir pour cons quence la suppression d une fuite r elle N utiliser le bouton REMISE Z RO qu apr s que la source du traceur l h lium a t limin e Correctement utilis e la capacit de REMISE Z RO du 979 est extr mement puissante Elle permet de tester les niveaux de sensibilit inf rieurs au fond du syst me Cette fonctionnalit r duit galement la dur e des cycles de test en diminuant le temps requis pour que les niveaux de fond soient nettoy s naturellement ou en autorisant le lancement des tests des pressions de test relativement lev es Le bouton LECTURE DE FUITE STANDARD n est actif que lorsque le d tecteur de fuite est en phase de test Le bouton LECTURE DE FUITE STANDARD active la fuite interne talonn e optionnelle p
113. ites fuites Sa pr sence dans l atmosph re est en outre r duite 5 ppm ou 4 millitorr absolus L h lium est facilement d tectable par un simple spectrom tre masse l h lium poss de une masse de 4 ce qui fait que les pics adjacents de 3 et 6 sont facilement s par s par cette technique Non toxique et non r actif l h lium est de m me facilement disponible moyennant un co t raisonnable Les principes de base de la technique de la d tection de fuite par spectrom tre de masse l h lium sont abord s ci dessous C 5 1 Principes de la spectrom trie de masse Un spectrom tre de masse trie les gaz en fonction de leur poids mol culaire num ro de masse afin de d terminer la quantit de chaque gaz pr sent Avec le d tecteur de fuite muni d un spectrom tre de masse l h lium l int r t r side essentiellement dans l h lium le tube du spectrom tre de masse tant relativement simple Le principe est d ioniser les gaz dans le vide acc l rer les divers ions via une tension fix e puis de s parer les ions en les passant par un champ magn tique Une fente positionn e de mani re appropri e permet le passage uniquement des ions d h lium et les collecte Le courant qui en r sulte est amplifi et un graphique barres du taux de fuite indique la pr sence et la quantit d h lium C 5 2 Application comme d tecteur de fuite C 4 Un d tecteur de fuite sous forme de spectrom tre de masse comporte u
114. ites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 3 1 5 2 2 talonnage atmosph rique 1 Placez la clef d entretien T009 dans l interrupteur clef et mettez l interrupteur clef en position SERVICE Si le syst me n est pas d j en mode VENT VENT appuyez sur le bouton VENT Attendez environ dix secondes jusqu ce que la prise de test se stabilise Passez l cran talonnage de la jauge Sch ma 3 9 la page 3 11 Touchez la case TEST PORT TC ATM Q La mention CAL OK sur la droite de la case TEST PORT TC ARM confirme que l talonnage a bien r ussi Q Un message d erreur FAILED s affiche en cas d chec de l talonnage Cet chec peut provenir de la pr sence d une jauge thermocouple d fectueuse ou contamin e ou bien du fait que la pression r elle tait ou proche de l atmosph re Touchez DONE TERMIN pour quitter l cran et revenir l cran du menu pr c dent D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Section 4 Maintenance Comme d autres quipements de test sensibles le d tecteur de fuite spectrom tre de masse n cessite une maintenance p riodique pour une parfaite fiabilit du fonctionnement dans la dur e Apr s une longue p riode d utilisation le d tecteur de fuite accumule les contaminants m me partir des produits test s les plus propres Ces l ments de contamination finissent par nuire
115. jet choisi par l utilisateur et ou les points de r glage de pression de transfert dans le d lai sp cifi dans la P riode de Pr vidage AUTO SEQUENCER SET UP CAL ROUGH LEAK PUMP NEXT 5 De SET UP ROUGH TIME SECS XXX ok LE en LEAK RATE TANT TEST TIME SECS XXX OFF AUDIO SET RANGING POINTS POINTS SET UP SET UP AUTO OUTPUT SEQUENCER CONTROL BACK DN SET UP SET UP NXT ESC DONE Sch ma 2 10 cran d installation de l auto s quenceur L auto s quenceur atteint ou choue par rapport la valeur de taux de fuite s lectionn e par le biais de l cran de point de r glage de rejet Le crit re de r ussite chec est bas sur le point de r glage de rejet activ ON Si plus d un point de r glage de rejet est activ le crit re de r ussite chec est bas sur la valeur de point de r glage de rejet la plus stricte Une situation de r ussite est d clar e par le syst me revenant en mode VENT vent au terme du cycle de test Une situation d chec est d clar e par le syst me revenant en mode HOLD PAUSE tous les boutons d exploitation tant d sactiv s l exception de VENT Une situation d chec a galement pour cons quence le fait que la mention REJECTED s affiche sur l cran d accueil de l cran tactile ainsi qu une activation du point de r glage de rejet au terme du cycle de test L tat des po
116. l h lium Pour modifier l tat d une soupape donn e touchez la case correspondant cette soupape La soupape change d tat et la case passe de OPEN OUVRIR CLOSE FERMER Touchez DONE termin pour revenir l cran du menu maintenance L tat de la soupape affich sur la droite de la case de contr le de chaque soupape repr sente l tat actuel de la soupape correspondante Les tats de fonctionnement normal des soupapes des syst mes de pompes m caniques simples et doubles sont indiqu s dans Tableau 3 1 et dans Tableau 3 2 respectivement Tableau 3 1 Syst me pompe m canique simple 979 tableau pompe m canique simple tat du fonctionnement du 979 VENT VENT O pr C O C C ROUGH C O C C O C CONTRA FLOW CONTRE COURANT C O G O O C MIDSTAGE TAGE INTERM DIAIRE C C O O O C SNIFF MODE MODE D TECTEUR C O G O O C O Open ouvrir C Closed ferm Tableau 3 2 Tableau tat de la soupape 979 Syst me pompe m canique double tat du fonctionnement du 979 VENT VENT ROUGH PR VIDAGE GROSS TEST TEST BRUT CONTRA FLOW CONTRE COURANT MIDSTAGE TAGE INTERM DIAIRE SNIFF MODE MODE D TECTEUR O Open ouvrir C Closed ferm 3 9 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium GROSS LEAK FUITE BRUTE OPTION NEEDLE VALVE V
117. l Avenue Lexington MA 02421 3133 USA declare under our sole responsibility that the product erkl ren in alleniniger Verantwortung da dieses Produkt d clarons sous notre seule responsabilit que le produit declaramos bajo nuestra sola responsabilidad que el producto verklaren onder onze verantwoordelijkheid dat het product dichiariamo sotto nostra unica responsabilit che il prodotto D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium to which this declaration relates is in conformity with the following standard s or other normative documents auf das sich diese Erkl rung bezieht mit der den flogenden Norm en oder Richtlinie n bereinstimmt auquel se r f re cette d claration est conforme la aux norme s ou au x document s normatif s al que se refiere esta declaraci n es conforme a la s norma s u otro s documento s normativo s waamaar deze verklaring verwijst aan de volende norm en of richtlijn en beantwoodt a cui se rifersce questa dichiarazione conforme alla e sequente l norma o documento l normativo i 72 23 EEC Directive sur les applications basse tension 89 336 EEC Directive sur la compatibilit lectromagn tique EN61010 1 2001 Sp cifications de s curit pour l quipement lectrique de mesure de contr le et d utilisation en laboratoire Partie 1 Sp cifications g n rales CSA C22 2 No 1010 1 1992 Sp cifications de s curit pour l quipe
118. la norme UL3101 1 Des prises fixes l alimentation lectrique principales seront connect es un syst me de PROTECTION AVEC PRISE DE TERRE Pour une utilisation l int rieur uniquement pollution de niveau ll conform ment la norme UL3101 1 acuum Technologies recommande vivement l utilisation de limiteurs de surtension pour renforcer la protection des d tecteurs de la s rie 979 contre les surtensions unidirectionnelles passag res caus es par le ph nom ne suivant Q Ph nom nes d interruption dans le r seau d alimentation lectrique par exemple interruption de banque de condensateurs Q D faillances du r seau d alimentation lectrique Q Effets indirects de la foudre Utilisez uniquement le cordon d alimentation lectrique fourni avec votre d tecteur de fuites L utilisation de rallonges n est pas recommand il pourrait en r sulter des dommages l quipement ainsi qu une violation de la garantie 1 9 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 1 3 2 H lium Pour tester les produits ou proc der un contr le de fuite du 979 de l h lium de qualit soudure dans un cylindre standard dot d une soupape de r gulation de pression et un tuyau sont n cessaires 1 3 3 Mesures d entretien suppl mentaires recommand es Les mesures d entretien suivantes sont recommand es en particulier en cas d utilisation en salle blanche Q un t
119. le second cran menu Sch ma 3 1 Ces menus fournissent un acc s des informations et proc dures qui sont ordinairement en dehors des op rations au jour le jour La plupart de ces fonctions doivent tre effectu es par des personnels techniques qualifi s car ils affectent de mani re significative les performances du mod le 979 Touchez la case BACK retour partir de cet cran pour afficher l cran du premier menu Touchez ensuite la case NEXT Suivant pour afficher l cran d Accueil UNITS SET UP Es A VERSION BACK Sch ma 3 1 Second cran menu 3 1 Version L cran VERSION Sch ma 3 2 fournit des informations de r vision du logiciel syst me VERSION UNITS SET UP NEXT AAXX XX XXXXXX ERVICE MENUS VERSION AAXX XX XXXXXX BACK 1 800 882 7426 Sch ma 3 2 cran version 3 1 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Touchez la case VERSION pour afficher la r vision et la somme de contr le de l unit centrale principale et du logiciel de l unit centrale du panneau avant La consultation de l information de la somme de contr le prend quelques secondes Environ 15 secondes apr s que les donn es de r vision soient affich es dans leur int gralit l cran de VERSION revient automatiquement l cran du second menu AVERTISSEMENT Les
120. lium Tableau 2 3 tats de situation du 979 Affichage Descriptif BLANK VIDE Cette ligne demeure vide dans des conditions normales d utilisation BACKING SUPPORT Indique que le d tecteur de fuites supporte momentan ment la pompe principale de la pompe vide pouss au cours d une p riode de pr vidage prolong e Cette situation ne se pr sentera que sur les configurations pompe unique BOTH FILAMENTS BURNT OUT DEUX FILAMENTS GRILL S Indique que le filament 1 et le filament 2 de la source d ions ont grill CAL OK talonnage Ok Indique que la proc dure d talonnage a t ex cut e avec succ s CALIBRATION PREP PREP TALONNAGE Indique que le d tecteur de fuites pr pare une proc dure d talonnage de routine FILAMENT 1 BURNT OUT FILAMENT 1 GRILL Indique que le filament 1 de la source d ions a grill Le filament 2 s allumera automatiquement s il est toujours en bon tat et le d tecteur de fuites affichera un C clignotant dans l exposant de taux de fuite ce qui indique qu une proc dure d talonnage est n cessaire FILAMENT 2 BURNT OUT FILAMENT 2 GRILLE Indique que le filament 2 de la source d ions a grill Le filament 1 s allumera automatiquement s il est toujours en bon tat et le d tecteur de fuites affichera un C clignotant dans l exposant de taux de fuite ce qui indique qu une proc dure d talonnage est n cessaire
121. ment lectrique de mesure de contr le et d utilisation en laboratoire Partie 1 Sp cifications g n rales UL 3101 1 1993 Norme sur la s curit Equipement lectrique pour l utilisation en laboratoire Partie 1 EN61326 1997 Sp cifications en mati re de compatibilit lectromagn tique de l quipement de contr le par mesures et de laboratoire sdk CC AU Frederick C Campbell Operations Manager Varian Vacuum Technologies Lexington Massachusetts USA Mai 2003 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Informations risques et s curit Certains symboles internationaux usuels utilis s dans ce manuel ainsi qu avec l quipement lui m me figurent ci apr s O Interrupteur d alimentation L Mise la terre lectrique en position OFF Interrupteur d alimentation Surface chaude lectrique en position ON g CA courant alternatif f Tension dangereuse risque de choc lectrique Ce manuel utilise le protocole de s curit standard ci apr s NOTE Les notes contiennent des informations importantes reprises du texte AFRISSMNENT Les messages de prudence Attention sont affich s avant les proc dures S ils ne sont pas suivis l quipement pourrait tre endommag ATTENTION Les messages d avertissement sont destin s attirer l attention de l op rateur sur une proc dure ou une pratique donn e qui si elle n est pas suivie correctemen
122. met d acc der aux param tres op rationnels ainsi qu diverses fonctions li es l entretien de l appareil et de les contr ler Le voyant d alignement INF RIEUR indique que le taux de fuite d h lium mesur est actuellement inf rieur la valeur minimale affichable Le voyant peut clignoter bri vement tandis que le syst me revient son tat initial apr s une indication de fuite et le taux de fuite affichable avoisine z ro Si la fonction AUTO Z RO remise z ro automatique lt 0 est activ e le voyant UNDER INF RIEUR peut galement clignoter bri vement tandis que le syst me r initialise le point z ro une valeur inf rieure Reportez vous Section 3 1 1 1 AUTO ZERO lt 0 la page 3 3 Le 979 n affiche aucun taux de fuite lorsque le voyant INF RIEUR est allum Si ce voyant demeure allum plus de quelque secondes r initialisez le syst me pour fixer les param tres op rationnels la valeur z ro correcte Cette situation peut se pr senter lorsque le 979 n a pas t compl tement pr chauff avant le d but de l talonnage Le voyant d alignement OVER SUP RIEUR indique que le syst me est satur en h lium et que le taux de fuite mesur est sup rieur la valeur maximale susceptible d tre affich e D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 1 8 Panneau de commandes arri re 1 8 1 Panneau de commandes et de communicatio
123. mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 3 l aide du Scotch Brite nettoyez toutes les zones d color es des pi ces du p le magn tique Sch ma 4 21 Sch ma 4 21 Pi ce de p le magn tique mise la terre d color e l aide des lingettes et tampons pr imbib es VacuSolv Sch ma 4 22 nettoyez soigneusement l ensemble des surfaces du corps du tube spectrom tre les pi ces du p le magn tique et la plaque fente mise la terre Sch ma 4 22 Lingettes nettoyantes VacuSolv AVERTISSEMENT Le fil de d tection sur la partie inf rieure du bouton TC pr sente une paisseur d environ 3 mm Veillez ne pas endommager le fil D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 4 20 5 Examinez le bouton TC en prenant soin de ne pas endommager les fils S il n est pas endommag il pourra tre r utilis apr s avoir t correctement nettoy NOTE Si vous avez constat des lectures de pression erron es avant la remise en tat il sera probablement pr f rable de remplacer le bouton TC que vous d tectiez ou non des signes physiques de dommages 6 Pour nettoyer le bouton TC correctement faites le tremper dans du liquide VacuSolv ou de l ac tone avant de le rincer l alcool isopropyle Laissez le bouton TC s cher l air avant de le remonter sur le tube spectrom tre 7 Inspectez et essuyez soigneusement tous lesj
124. n Le syst me peut tre arr t quel que soit le mode dans lequel il se trouve Il faut toutefois prendre note du fait que lorsque le syst me est arr t toutes les soupapes du syst me sont ferm es de sorte que si le syst me n est pas en mode VENT VENT la prise de test demeure sous vide et pourra tre difficile ouvrir 2 2 Interface utilisateur Le panneau avant du Mod le 979 est d crit dans le Sch ma 2 1 Les commandes d utilisation incluent des boutons pour les fonctions VOLUME AUDIO SNIFFER D TECTEUR ZERO REMISE Z RO READ STANDARD LEAK LECTURE DE FUITE STANDARD CALIBRATE TALONNAGE TESTS HOLD PAUSE et VENT VENT En plus des boutons correspondant aux commandes de base le 979 est dot d un cran tactile pour l installation initiale du d tecteur de fuites Un commutateur d acc s clef est galement fourni dans le but d emp cher les modifications non autoris es des variables d installation du syst me Sch ma 2 1 979 Panneau avant 2 2 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Appuyez sur le bouton TEST HOLD TEST PAUSE lorsque l appareil est en mode VENT VENT afin de faire mettre le 979 en situation de pr ventilation puis en phase test Le mode d chantillonnage optimum est s lectionn automatiquement en fonction de la configuration et de l installation du syst me ainsi que de la pression de prise de test et le t
125. n du syst me Le panneau de contr le et de communication Sch ma 1 9 se trouve dans la partie inf rieuregauche du panneau arri re Sch ma 1 9 Panneau de commande et de communication du syst me Connecteur E S Connexion la pompe de refoulement primaire Entr e de commande distance Logique de commande Admission d tecteur vent du syst me Le connecteur E S est une prise femelle de type D 37 broches Ce connecteur permet l acc s toutes les fonctions entr e sortie discr tes au RS 232 le rejet des valeurs de r glage et les signaux de sortie analogiques de taux de fuite Un r sum d taill des informations li es aux communications E S figure dans Annexe B Protocole de communication La pompe de refoulement primaire KF 25 est utilis e pour connecter la pompe primaire de pr vidage une configuration de pompe m canique unique ou la pompe primaire d di e d une configuration double pompe Une prise femelle 9 broches de type D est fournie pour la connexion du dispositif optionnel de commande distance Num ro de Pi ce L9558301 La proc dure d utilisation du dispositif optionnel de commande distance est pr sent e dans le Manuel d utilisation du dispositif de commande distance Num ro de Pi ce 69990991 5 N est pas utilis actuellement N est pas utilis actuellement N est pas utilis actuellement D tecteur de fuites mod le s rie 979 av
126. n torr litres seconde 1 cc sec r gulier 0 76 torr litre sec 1 torr litre sec 1 3 cc sec r gulier 1 atm cc sec9 7 x 104 pieds cubiques de l heure ou pratiquement 10 microns CFH uCFH 1 uCFH ou pratiquement 1075 cc sec r gulier en pratique gal La plupart des taux de fuite significatifs en termes commerciaux constituent de tr s petites fractions d un cc sec r gulier En cons quence une chelle n gative de dix est utilis e comme mode de notation num rique pratique Tableau C 1 indique la relation entre exposants et multiplicateurs par rapport la base 10 par rapport la forme arithm tique ainsi que le r sultat quivalent Tableau C 1 Notation d cimale Multiple de 10 Forme arithm tique R sultat 1 x 10 1x 10x10 100 1x10 1 x 10 10 1 x 10 1 1 1x107 1x 1 10 14107 1x 1 10 x 1 10 01 5x 10 5x110x1 10x1 10 005 1 x 107 1x1A0x1 10x1 10 001 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium C 4 Divers modes de tests de fuites Il existe plusieurs modes de tests des fuites dans les bo tiers soit les syst mes soit les conteneurs Les m thodes les plus couramment utilis es ainsi que la fourchette de pr cision assur e sont num r es ci dessous Immersion dans l eau Observation de la bulle d air Liqueur magn tique Ultrasons Halog ne sensible aux composants ou composants halog nes notamment les gaz
127. n tube spectrom tre les dispositifs lectroniques pour le faire fonctionner et l interpr ter ainsi qu un syst me vide pouss pour maintenir le degr de vide voulu En outre un dispositif est fourni pour connecter un objet de test une pompe vide primaire et un syst me de pr vidage et de test est fourni pour vacuer l objet du test pour le connecter au tube du spectrom tre ou s il s agit d un objet tanche contenant de l h lium pour vacuer une chambre contenant l objet du test D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium C 5 3 La nature du d bit dans un vide Il est noter que l objectif d un syst me de vide est de faciliter le fonctionnement du tube de spectrom tre d analyse Les mol cules d h lium p n trant par le biais d une fuite atteignent individuellement le tube du spectrom tre en quelques millisecondes Les mol cules d h lium de m me que les mol cules d autres gaz sont en permanence enlev es par la turbo pompe du syst me vide Si l h lium est appliqu en permanence une fuite la concentration l int rieur du tube du spectrom tre s l vera d abord brutalement avant de parvenir un quilibre au moment d tre pomp e un d bit identique celui de son entr e Une fois l h lium enti rement supprim de la fuite l entr e chute z ro tandis que l h lium r siduel est pomp hors du syst me La fuite est ainsi sig
128. nal e par une hausse du signal d entr e du tube du spectrom tre C 5 4 Quelques faits propos des taux de fuite Visualisation des fuites en termes quotidiens D tection audible ou visuelle par l observateur a manation de bulles dans l eau b Fuites audibles Tailles des fuites sur les joints assemblages artificiels Variation de la taille des fuites 107 cc sec r gulier environ 1 cc jour 1077 cc sec r gulier environ 3 cc an 1074 cc sec r gulier ou plus 107 cc sec r gulier ou plus Les tudes indiquent que la plupart des fuites sur les joints assemblages sont d environ 5 x 1077 cc sec r gulier soit environ 1 cc mois ou plus Ce point se v rifie pour les joints c ramiques sur m tal plastiques sur m tal ainsi que pour les raccordements soud s brasure tendre ou forte Certaines fuites optiques peuvent tre l g rement plus petites La diffusion de l h lium travers le verre peut aller jusqu 1078 cc sec r gulier par centim tre carr de surface Les fuites malencontreusement int gr es des joints assemblages lors de la fabrication peuvent varier d heure en heure et de jour en jour Un souffle sur une fuite de 1076 cc sec r gulier fournit suffisamment d humidit pour le fermer de mani re temporaire peut tre pendant plusieurs jours Les particules atmosph riques sont capables de refermer une fuite de ce type Il ne faut jamais se fier au fait qu une fuite accidentelle va r
129. ndiquant que le niveau d arri re plan est inf rieur au point de r f rence z ro pr alablement r gl Appuyez sur le bouton ZERO sur le panneau avant pour r ajuster manuellement le point de r f rence z ro Ceci supprime le voyant indicateur UNDER 3 1 1 2 Gain Touchez la case GAIN pour r ajuster manuellement l talonnage Le param tre de gain sert talonner le d tecteur de fuite par rapport une source d h lium connue Le param tre de gain est ajust une fois que le d tecteur de fuite a t ajust pour l h lium Les valeurs de gain type s inscrivent entre 0 5 et 5 0 La valeur de gain est automatiquement r gl e pendant la proc dure d talonnage habituelle Plus le gain est lev plus le bruit est important dans la fourchette la plus sensible 3 1 1 3 Offset valeur d placement 3 4 La variable affich e dans la case OFFSET valeur d placement repr sente la valeur actuelle de la valeur d calage du pr amplificateur Cette valeur est utilis e par le technicien de service pour valuer l tat du pr amplificateur La fourchette de fonctionnement normale s inscrit entre 35 et 80 Si cette valeur exc de la fourchette contactez votre d l gu entretien Vacuum Technologies le plus proche D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 3 1 2 R glage manuel du tube spec Touchez la case MANUAL SPECTUBE TUNING AJUSTAGE TUBE SPEC MANUEL pour afficher l
130. neesseereeeentetsrrrrrerrrnsrtrnntrtttnrssttrnn nennen nesen nenne 1 11 1 6 RANgEMENT sente M NT RS A ARA AOE ie ttes ue 1 12 1 7 Affichage et commandes du panneau avant 1 12 1 8 Panneau de commandes arri re sisi 1 15 1 8 1 Panneau de commandes et de communication du syst me 1 15 1 8 2 Commande de puissance et disjoncteurs sssssessseeeessereseenetrsterrssernnntrnennestnneeene 1 16 1 9 Option de commande distance universelle 1 18 ALTO Specifications TS RS Se tend due eme de 1 19 Section 2 Utiliser le d tecteur de fuites 979 ur 2 1 2 1 Mise en service initiale et arr t en ae nn den ARR RER OS ee te ne 2 1 2 ll 1 MISS ON SEVICE nii a A rene en tn nee T 2 1 2 AlONNAQRE ES RSS ee E EE din 2 1 PEE ATOS EEEN D ET Men mal E AT RNA Sn ec 2 2 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 2 Interface utilisateur ss 2 2 2 2 1 Proc dure d installation de d tecteur 2 6 2 22 INterr pte r acle fan areeni ana e a R dns ni eee usa 2 6 2 3 M nus d l cran taetil sisi a EEEE A A 2 7 2 3 1 R glage du contraste de l affichage de cran tactile 2 7 2 3 2 Modifier les variables de l cran tactile nnnnnneennneesenre reer nreernrrrstnrrssrrrnnrnrrnenrene 2 7 2 3 3 S lectionner les options des crans tactiles 2 8 2 4 cran d accueil de l cran tactile du 979 2 9 2 4 1 Taux de fuite num rique sise 2 9 2 4 2 Pression de prise de tests nhini nent ent da
131. niquement le cordon d alimentation lectrique fourni avec votre d tecteur de fuites L utilisation de rallonges n est pas recommand e il pourrait en r sulter des dommages l quipement ainsi qu une violation de la garantie Pour viter tout choc lectrique branchez le cordon d alimentation lectrique une prise avec mise la terre Une connexion dot e d une mise la terre par le biais d un conducteur de mise la terre sur le cordon d alimentation lectrique est essentielle au fonctionnement de l appareil en toute s curit Vacuum Technologies recommande vivement l utilisation de limiteurs de surtension pour renforcer la protection des d tecteurs de la s rie 979 contre les surtensions unidirectionnelles passag res caus es par le ph nom ne suivant Q ph nom nes d interruption sur le r seau lectrique par exemple interruption des batteries de condensateur Q D faillances du r seau d alimentation lectrique Q Effets indirects de la foudre De nombreux l ments du 979 sont sensibles l lectricit statique Vacuum Technologies vous recommande de porter un quipement de mise la terre lorsque vous proc dez une quelconque op ration d entretien sur le 979 en particulier s agissant de l entretien des pi ces sensibles l lectricit statique xvii D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium xviii ATTENTION Cet quipement es
132. nn e 107 Bride NW25 F8473323 Fuite talonn e 1071 Bride NW25 F8473324 liminateur de nuage d huile bride NW25 949 9395 4 26 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Annexe A Connecteurs de l interface du panneau arri re Le panneau de contr le et de communication Sch ma A 1 se trouve dans la partie inf rieuregauche du panneau arri re Cette annexe traite des interfaces E S et de Commande distance Sch ma A 1 Panneau de commande et de communication du syst me Le connecteur E S assure Q Une interface E S discr te 5 24 V cc avec isolation optique Q Interface RS232 de s rie non isol e Q Sortie 0 10 V analogique non isol e pour les d tecteurs de fuites de la s rie 979 Le connecteur de la commande distance assure Q Une interface s rie non isol e et un branchement lectrique pour les sorties A 1 isolation optique universelles Tableau A 1 la page A 2 fournit les informations de sortie pour les connexions discr tes E S Sch ma A 2 la page A 2 affiche le sch ma du circuit de sortie Les sorties de niveau sont des collecteurs communs sont dot s d une isolation optique avec r sistances de s rie 10 ohms et un courant d attaque max de 14 mA 24 V cc max A 1 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Tableau A 1 Sommaire table des sorties isolation optique
133. nnement incorrect peut tre dangereux Lisez le Manuel d utilisation de la pompe m canique livr avec la pompe avant de d marrer les pompes Les pompes sont con ues pour viter tout risque thermique pour la s curit de l utilisateur Toutefois des conditions d utilisation sp cifiques peuvent g n rer des temp ratures sup rieures gt 70 o C L huile chaude br le la peau L entretien des pompes dans cette r gion doit tre effectu uniquement par des personnels sp cialis s cartez vous de la pompe m canique avant de la mettre en service V rifiez fr quemment le niveau d huile Ne faites pas fonctionner une pompe m canique huile lorsque le niveau d huile est inf rieur la marque LOW bas Si le niveau huile n est pas suffisant la pompe risque d en tre endommag e Pour viter tout dommage corporel attendez jusqu ce que la turbopompe soit l arr t avant de proc der la d connexion du syst me vide Services Vacuum Technologies xxii Ci apr s figurent deux des nombreux services de Vacuum Technologies propos s ses clients Consultez notre catalogue ou prenez contact avec nous pour d couvrir quels sont les services disponibles Pour plus de d tails contactez le Service client le de Vacuum Technologies au 1 800 8VARIAN Q Des tubes spectrom triques sont disponibles sur une base d change Q Services de test et de v rification de fuite calibr e talonn e NIST
134. nnent inflammables et explosifs et susceptibles de causer des pr judices corporels graves ou des d c s N utilisez pas ces solvants proximit d une source haute temp rature Ventilez la zone de travail l aide d un ventilateur et travaillez dans un espace vaste et bien ventil L alcool le m thanol et d autres solvants sont des irritants narcotiques d presseurs et ou canc rig nes Toute inhalation et ou ingestion peut pr senter des effets secondaires graves Un contact prolong ou continu avec la peau entra nera l absorption par la peau ainsi qu une toxicit mod r e Assurez vous toujours que les op rations de nettoyage sont conduites dans de grandes salles bien ventil es par des personnes portant des quipements de protection oculaire des gants et des v tements de protection personnels Ne nettoyez pas les pi ces en aluminium l Alconox L Alconox n est pas compatible avec l aluminium et son utilisation sera cause de dommages Au cours du remontage utilisez toujours Loctite PST compos pour filetage impr gn de Teflon sur les filetages au pas de gaz XV D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Equipement g n ral XVI ATTENTION ATTENTION Le d tecteur de fuites n est pas destin une utilisation avec des gaz dangereux V rifiez que le syst me tester a t purg de tous gaz dangereux avant toute utilisation du
135. oints toriques avant r utilisation Remplacez tous les joints toriques endommag s Sch ma 4 23 Sch ma 4 23 Inspection des joints toriques NOTE Vacuum Technologies recommande le remplacement de l ensemble des joints toriques au cours des entretiens de routine ou de toute proc dure d entretien n cessitant l enl vement des joints toriques D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 4 3 7 Remontage 1 Remontez le tube spectrom trique avec pr caution Sch ma 4 24 en suivant les divers tapes des instructions en sens inverse NOTE L ensemble du pr amplificateur pr sente une encoche qui doit tre align e par rapport la cheville de positionnement dans la cavit du pr amplificateur du corps du tube du spectrom tre La plaque fente mise la terre pr sente un orifice qui doit tre align par rapport celui qui se trouve la base de la cavit de la source d ions du corps du tube spectrom trique AVERTISSEMENT La source d ions doit tre align e de sorte que sa cheville de positionnement se place au centre de cet orifice Il peut se produire un court circuit lors de la mise sous tension si la cheville de positionnement touche les c t s de l orifice d alignement Sch ma 4 24 Remontage du tube spectrom trique 4 21 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 4 4 Remplacement de la source
136. olanis eare a E T O E a E TE XV Equipement g n ral EL EEE Ce AR fe ee xvi Alimentation lectrique et charge statique esnnessenreeeerenreererterttreserrrnrtrtnnnrestrrnsrrrnneet xvii Equipement vide et nettoyage asie tte te dant et net Xix Entretien des joints tOriQues ananas dm An onninnNnenatenee XX Tube du Sp CTrOM Esss ain in E aaae aeaa ae dt re dues xxi Option fuite DrUte ne de sas uen xxi POMPES is ie ineat a na ata ea a den nee dre UN TAEA A aE e a AON xxi Services Vacuum T CNNolO diese sus rss nn etudiante dm entiere talRe erenn xxii Contacter Vacuum Technologies sr xxiii Section 1 Pr sentation du mod le s rie 979 is 1 1 T e modde AS AS ARR Re RE a 1 1 1 1 1 Configurations du Mod le s rie 979 sssssssessssesssserrnsrrrrsrrrnntertrnnrsstrrnnennnnnrnnnnennne 1 1 1 2 D ballage du mod le 979 a iasies nt een sn nd ado st Ne non este 1 7 1 2 1 Instructions de d ballage 2 RAR AE ed NE mn din ete 1 7 1 2 2 Enlever 979 de la Palette nn RSS nent ne on te taie 1 8 1 2 3 tez les embase een 1 8 1 3 Entretien n cessaire au fonctionnement de lappareil seesssseessseresserrrreerenrrssrerrsserrrsrrrr n 1 9 1 3 1 Alimentation lectrique ses 1 9 1 3 2 H ll M PR 0 1 10 1 3 3 Mesures d entretien suppl mentaires recommand es ssssseessseeesseeerreereneeesrreesene 1 10 1 4 Pr paration en vue du fonctionnement 1 10 EEES GR RER D 1 11 1 5 4 Installations de syst me fixe esseeesn
137. olation optique Tableau A 2 fournit les informations d entr e pour les connexions discr tes E S Sch ma A 3 affiche le sch ma du circuit d entr e Les entr es de niveau sont isolation optique 5 24 V c c charge r sistive 3 600 ohms et n cessitent une largeur d impulsion de 200 ms minimum Tableau A 2 Sommaire table des entr es isolation optique Nom de l entr e Momentan e ou niveau Descriptif 1 Commun entr e S O Mise la terre fournie par le client pour toutes les entr es P101 21 START IN ENTR E Momentan gt Impulsion lev e 200 ms pour lancer le mode industriel D MARRAGE 979 22 ENTR E VENT Momentan gt Impulsion lev e 200 ms pour lancer le mode vent 979 23 HOLD IN ENTR E Momentan gt Impulsion lev e 200 ms pour lancer le mode pause 979 PAUSE 20 SPAREIN_5 Entr e rechange 5 24 AUTOCAL Momentan gt Impulsion lev e 200 ms pour lancer le mode AUTOCAL auto talonnage 979 25 Z RO Momentan gt Impulsion lev e 200 ms pour lancer une fonction Z RO 26 SPAREIN_3 Entr e rechange 5 27 SPAREIN_4 Entr e rechange 4 Client S rie 979 EE D E 5 24 V c c E ES 1 E S 21 gt 2e E S 27 gt K Sch ma A 3 Sch ma du circuit d entr e avec isolation optique A 3 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium A3 Interface de
138. oupape de d bit du test d alimentation lectrique pour obtenir une pression au niveau de la prise de test comprise entre 1 et 2 Torr Appuyez sur REMISE Z RO pour supprimer le signal de fond de l h lium Tableau 2 1 pr sente la sensibilit du mode d tecteur Tableau 2 1 Tranche de sensibilit du mode d tecteur pleine mesure Sensibilit normale Sensibilit lev e 1074 10 7 10 10 8 Toutes les valeurs contenues dans ce tableau ont t obtenues des pressions de prise de test comprises entre 1 et 2 Torr 2 2 2 Interrupteur clef 2 6 L interrupteur clef du 979 autorise trois niveaux d acc s diff rents aux commandes du syst me d cran tactile RUN FONCTIONNEMENT SET UP INTALLATION ou SERVICE ENTRETIEN Deux clefs diff rentes sont fournies avec le d tecteur de fuites Q La clef T008 permet de placer l interrupteur en positions FONCTIONNEMENT ou INSTALLATION La clef T008 est destin e tre utilis e par un agent de ma trise ou un ing nieur et autoriser la modification de la plupart des param tres mais elle n autorise aucune op ration susceptible d endommager l unit La clef T009 permet de placer l interrupteur en positions FONCTIONNEMENT INSTALLATION ou ENTRETIEN La clef T009 est destin e au personnel d entretien ainsi qu aux personnes ayant une connaissance tr s approfondie du fonctionnement de l unit Des op rations telles que le changement manuel des so
139. ous verre utilis e pour d terminer le taux de fuite global sssneesssneessnensseerrnnrenresserrrnsrrreee C 7 C 4 D tecteur de fuite muni d un spectrom tre de masse l h lium sssssseeeessereresrreeeeee C 8 C 5 principe de s paration magn tique sseesssseerssertrreretnettsttrrstttnstetrn nnt nnn reser rnneennn nennen C 9 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Liste des tableaux Tableau Description Page 1 1 Sp cifications relatives la s rie 979 1 19 2 1 Tranche de sensibilit du mode d tecteur pleine mesure 2 6 2 2 tats defonctionnement du 979 s se sseseessieeieeiesiesieriiesatsttsretntsstnitttitnrenresntnneneeneenren 2 11 2 3 tats de situation du OZ ne 2 12 2 4 Situation de l cran d information du syst me 2 14 2 5 D tecteur de fuites 979 sensibilit standard ssseseessneesnneeseerrrrerrrrrrstrreserrnrnrr nne 2 25 2 6 D tecteur de fuites 979 sensibilit lev e 2 25 3 1 Syst me pompe m canique simple 979 tableau pompe m canique simple 3 9 3 2 Tableau tat de la soupape 979 Syst me pompe m canique double sssseneeeseeeeenne 3 9 4 1 Maintenance programm e xsara ee nee nes 4 3 4 2 Maintenance en fonction des besoins 4 4 4 3 Outils et pi ces n cessaires pour la remise en tat du tube spectrom tre 4 6 4 4
140. pe manuelle 3 8 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 3 7 Diagramme syst me vide is 3 10 3 8 cran installation initialisation syst me 3 10 3 9 cran d talonnage de la jauge s ss siseeissiesseeerresrettsrestterrtsrrtrtesrertarrtsrraretsreerrsrerrrans 3 11 3 10 cran d accueil de l cran tactile du 979 3 11 4 1 Panneau avant inerte has sde adress Rene Re Anne 4 7 4 2 Vue avant de l ensemble du tube spectrom tre ennnen 4 8 4 3 Enl vement des CONNeCtOURS ina nn Ron ts en A ant 4 8 4 4 GTOU LOIRE PS nn Na E EE 4 9 4 5 Fiche raccordement rapide KF 25 iii 4 9 4 6 Vis des attaches du bo tier de l aimant ssnnnseesnnneessnerrreeennrretrrtrtnnnetserrnnnernnnnnsrnnnesene 4 10 4 7 Vis fente de l ensemble aimant ne enene 4 11 4 8 Vis de pression de laimant d ajustage 4 11 4 9 Ensemble TC du DOUION 2 2222 ARS RER At AS Re eee A dde 4 12 4 10 Suppression du bouton TO serment niet 4 12 4 11 Fils du bouton TC vue avec canalisation resene 4 13 4 12 Enlever la Source d IOnS asser ne tn nt nn EX 4 14 4 13 DOUCE IONS EENE ERE nn OR SE EEEE RES NT in TS Le 4 15 4 14 Cavit de la source TION hear amont 4 15 4 15 Plaque fente mise la terre ntm en tn M patte Ne Re ne 4 16 4 16 Enl vement du pr amplificateur
141. ploitation internes Continued Demande d information XREJECT Si x est un nombre compris entre 1 et 4 ou la lettre A un nombre sept caract res compos d une mantisse de taux de fuite de rejet deux chiffres avec un point de d cimale apr s le premier chiffre suivi de E puis d un exposant deux chiffres par exemple 7 0E 05 Cette demande d information sert indiquer le dernier taux de fuite de rejet saisi l aide de INIT XREJECT REMARQUE REJECT et 1REJECT se rapportent la m me variable REPELLER Indique la tension du r flecteur ROUGH Indique la dur e de s quen age de test approximative actuellement archiv e RSONOFF Indique le statut de la fonction Rangestop Activ ou d sactiv SEQONOFF Indique le statut de l auto s quen age Activ ou d sactiv SETUP Sept lignes Chacun commence par un lt cr gt lt lf gt La premi re ligne indique que la vitesse de la turbo pompe est Faible ou sur Off arr t La deuxi me ligne indique la fourchette de taux de fuite manuelle s lectionn e et le mode de fonctionnement en auto ou en manuel La troisi me ligne indique la fourchette de taux de fuite la moins sensible La quatri me ligne indique le taux de fuite du point de r glage de rejet La cinqui me ligne indique le taux de fuite standard de l talonnage La sixi me ligne indique si le mode de sortie CAN est en lin aire Log 2 V ou Log 3 V La
142. qui correspond l exposant de la fourchette du taux de fuite par exemple 1 3E 4 LPV Indique l tat du taux de fuite des pressions et de la soupape OFFSET Un nombre repr sentant la valeur d placement en pourcentage pleine chelle 50 r presente le milieu d chelle PRESSURES Deux lignes Chacun commence par un lt cr gt lt lf gt La premi re ligne se compose des motstest port TC suivie par un nombre en milliTorr La seconde ligne se compose des mots TC system suivis par un nombre en mTorr RANGE Un nombre deux caract res moins suivi par un chiffre indiquant l exposant actuel de la fourchette la moins sensible de fuite d tectable Les taux de fuite indiqu s s inscrivent dans cette fourchette et dans les trois fourchettes inf rieures exposant moins n gatif Voir galement INIT RANGE RANGESTOP Indique la valeur de la variable rangestop arr t fourchette REJECT Un nombre sept caract res se composant d une mantisse taux de fuite de rejet deux chiffres une d cimale apr s le premier chiffre suivie par E puis un exposant deux chiffres par exemple 7 0E 05 Cette demande d information sert indiquer le dernier taux de fuite de rejet saisi l aide de INIT REJECT gt REJECT Indique le statut du point de r glage de rejet n 1 B 6 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Tableau B 1 Param tres d ex
143. r alisation de l installation g n rale du 979 Le fait de toucher la bo te BACK de cet cran permet d acc der l cran d accueil En touchant la bo te NEXT vous acc dez l cran du deuxi me menu De nombreux menus contiennent des cases cocher permettant de passer d une s lection une autre lorsque vous les touchez La valeur ou la s lection affich e lorsque vous touchez OK est celle indiqu e Section 2 3 3 S lectionner les options des crans tactiles la page 2 8 D autres menus contiennent des param tres Modifier leur valeur en vous conformant la proc dure expos e la Section 2 3 2 Modifier les variables de l cran tactile la page 2 7 Les crans sont disponibles par le biais de l cran menu principal tel que d crit dans cette section 919 CAL ROUGH LEAK RATE X XXE XX atm cc sec LEAK PUMP NEXT SET UP SET UP T P PRESSURE X XE XX Torr REJECT amp LEAK RATE TRANSFER REJECT 2 4 AUDIO SET RANGING POINTS SYSTEM READY POINTS SET UP SET UP AUTO OUTPUT SYS INFO SEQUENCER CONTROL BACK MENUS SET UP SET UP Sch ma 2 7 cran de s lection premier menu 2 6 1 Installation fuite talonn e 2 16 Toucher la bo te CAL LEAK SET UP pour afficher l cran d installation de fuite talonn e tel qu il figure au Sch ma 2 8 Il est utilis pour d finir les valeurs des fuites talonn es internes et ext
144. r frig rants Radioisotope H lium Cette m thode est efficace jusqu environ 107 cc sec r gulier et peut s av rer plus sensible si la pression interne augmente ou si un vide est cr au dessus de la pression d eau Cette m thode est limit e en raison de la difficult faire la diff rence entre les bulles dues aux fuites et celles qui sont dues au cryorefroidissement par d sorption en surface Il sert tester des l ments industriels tels que des soupapes composants hydrauliques moules ainsi que des composants pour air conditionn Une teinture sp ciale appliqu e sur un c t d une surface pr sentant probablement une fuite s insinue travers la fuite pour r appara tre de l autre c t Cette m thode peut exiger d attendre une heure ou plus avant qu une fuite de 1074 cc sec r gulier n apparaisse Il s agit d un test peu on reux mais destructeur sur certaines applications Il est galement lent et produit des d g ts Cette m thode est efficace jusqu environ 107 cc sec r gulier Utilis e pour tester les lignes haute pression elle teste les ultrasons provenant d une fuite de gaz Cette m thode est efficace jusqu environ 107 cc sec r gulier dans la plupart des applications les plus courantes mais galement applicable en 107 cc sec r gulier dans certaines situations limit es Son efficacit d pend de mani re critique du bon sens de l op rateur si les fuites sont inf rieur
145. r de fuites 979 sensibilit standard Brut 2 pompes Fourchette 7 6 MS MS MS CF MS CF Pression de transfert 100 mTorr 100 mTorr 100 mTorr 5 Torr 100 mTorr 5 Torr MS MIDSTAGE CF CONTRA FLOW GL GROSS LEAK Tableau 2 6 D tecteur de fuites 979 sensibilit lev e Affin Brut 2 pompes Fourchette 4 MS CF GL 100 mTorr 100 mTorr 100 mTorr 5 Torr 100 mTorr 5 Torr 1 MS MIDSTAGE 100 mTorr 2 CF CONTRA FLOW 3 GL GROSS LEAK 4 Les r glages de transferts en contre courant sont les suivants 100 mTorr 100 mTorr 2 Torr 100 mTorr 2 Torr Q syst mes pompe unique pas de test brut 5 Torr max Q deux pompes dispose d un test brut 2 Torr max 2 Torr atm 2 25 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 6 6 Installation de commande de sortie Touchez la bo te OUTPUT CONTROL SET UP pour afficher l cran d installation de contr le de sortie Sch ma 2 13 partir de cet cran choisissez la sortie de taux de fuite souhait e le mode BARGRAPH DISPLAY et le protocole de communication RS 232 CAL ROUGH LEAK PUMP NEXT SET UP SET UP REJECT amp LEAK RATE TRANSFER AUDIO SET RANGING POINTS POINTS SET UP SET UP AUTO OUTPUT SEQUENCER CONTROL BAC
146. re de masse l h lium 2 6 5 1 Arr t de fourchette et installation et commande manuelles de fourchette RANGE STOP MANUAL RANGE La fonctionnalit RANGE STOP configure le 979 de sorte qu il d termine automatiquement les valeurs en descendant jusqu la d cade pr s lectionn e introduite dans le champ de la variable de la fourchette d arr t Par exemple si un arr t de fourchette a t activ et que le r glage de l arr t de fourchette tait de 10 07 la fourchette la plus sensible affich e par le d tecteur de fuites est 107 atm cc sec en chelle pleine Cette fonctionnalit est utile lorsqu une sp cification de produit est plus rigoureuse d une d cade que la sensibilit r elle du d tecteur de fuites Si le d tecteur de fuites est capable d afficher 10 tm cc sec en chelle pleine mais que les sp cifications sont seulement pour une fourchette de 1077 atm cc sec le r glage de l arr t de fourchette 10 08 atm cc sec r duit le cycle de test en supprimant la n cessit que le d tecteur de fuites atteigne son chelle la plus sensible au cours de chaque cycle de test Pour activer ou d sactiver la fonction RANGE STOP touchez la bo te ON ou OFF sous la fonction souhait e La fonctionnalit MANUAL RANGE configure le 979 de sorte qu il affiche uniquement la d cade pr s lectionn e introduite dans le champ de la variable fourchette manuelle Par exemple si la fonctionnalit de fourchette man
147. re de masse l h lium 2 6 7 Installation de la pression de transfert Touchez la bo te TRANSFER POINTS SET UP pour afficher l cran d installation de pression de transfert Sch ma 2 16 A partir de cet cran installez les pressions de transfert de test pour chaque mode de test Les r glages en usine par d faut sont indiqu s dans le Sch ma 2 16 TRANSFER PRESSURE SET UP CAL ROUGH LEAK PUMP NEXT SET UP SET UP GROSS LEAK XFER 7 5E 2 OK CONTRAFLOW LEAK XFER 5 0E 0 REJECT amp LEAK RATE TRANSFER AUDIO SET RANGING POINTS POINTS SET UP SET UP AUTO OUTPUT SEQUENCER CONTROL BACK SET UP SET UP UP ESC DONE Sch ma 2 16 cran d installation de la pression de transfert Les r glages de pression de transfert peuvent tre ajust s en fonction des valeurs inf rieures pour des applications sp cifiques Des limites de pression de transfert l g rement sup rieures aux r glages par d faut sont pr programm es dans le 979 Ces limites emp chent l op rateur de param trer par inadvertance le 979 en transfert en mode test une pression trop lev e ce qui entra ne une contamination du tube du spectrom tre excessive ou une panne du filament de la source d ions Touchez DONE termin pour revenir l cran du menu pr c dent Si vous effectuez des changements aux param tres touchez OK pour charger les nouv
148. re indiqu L talonnage vide est pr param tr en usine Ne pas modifier ce param trage moins de disposer de l quipement appropri NOTE L talonnage de la jauge thermocouple TC de la prise de test est pr param tr en usine et n cessite d utiliser un TC de r f rence et un ordinateur 3 1 5 2 1 talonnage basse pression vide 1 V rifiez que le d tecteur de fuite se trouve en SYSTEM READY sur l cran d accueil Sch ma 3 10 la page 3 11 et qu un cache de prise de test est bien en place Placez la clef d entretien T009 dans l interrupteur clef et mettez l interrupteur clef en position de SERVICE Si le syst me n est pas d j en mode VENT VENT appuyez sur le bouton VENT Appuyez sur le boutonTEST et v rifiez que le d tecteur de fuite passe bien en mode FINE TEST en affichant 10 atm cc sec ou moins Attendez environ 15 minutes jusqu ce que la pression du syst me vide se stabilise Touchez la case TEST PORT TC ZERO Q La mention CAL OK sur la droite de la case TEST PORT TC ZERO confirme que l talonnage a r ussi Q Un message d erreur FAILED s affiche en cas d chec de l talonnage Le message d chec FAILED peut provenir de la pr sence d une jauge thermocouple d fectueuse ou contamin e ou bien du fait que la pression r elle tait ou proche de z ro Touchez DONE TERMIN pour quitter l cran et revenir au menu pr c dent D tecteur de fu
149. relatives la s rie 979 Continued Versions du spectrom tre de masse h lium 979 Suppression de niveau de fond en mode s lectionnable avec fonctionnalit AUTOZERO lt O unique Indication de fuite Un indicateur graphique barres segment 50 lin aire ou diagraphie affiche automatiquement les niveaux de fuite indication alphanum rique sur cran LDC Une fuite peut galement d clencher une fr quence d alarme sonore variant en fonction de l importance de la fuite du contr le du volume d di ainsi que d un seuil audio programmable La tension analogique est proportionnelle au taux de fuite Indication de pression Affichages par graphique barres du port d essai et du spectrom tre pression et indication alphanum rique de la pression de la prise d essai sur cran LCD Tube du spectrom tre Conception optimis e de la sensibilit source d ions mont e sur canalisation avec double filament en iridium thori pr amplificateur ConvecTorr et vacuom tre S quen age de soupape automatis Le fonctionnement de la soupape contr l e par microprocesseur introduit dans le syst me une fonction de cycle automatis e Verrouillage de s curit Une conception de syst me de soupape prot geant le syst me vide pouss test pour d tecter des hausses subites de pression et des interruptions d alimentation lectrique Temps de cycle Un port muet peut tre introduit
150. res permettant d activer d sactiver afficher et ou modifier la valeur des quatre points de r glage de rejet et des quatre points de r glage audio REJECT AND AUDIO SET POINTS CAL ROUGH LEAK PUMP NEXT XXE E STUE REJECT SET POINT 1 X XE XX OFF Ok REJECT SET POINT 2 X XE XX ON REJECT amp LEAK RATE TRANSFER REJECT SET POINT 3 X XE XX OFF AUDIO SET RANGING POINTS POINTS SET UP SET UP REJECT SET POINT 4 X XE XX OFF AUDIO SET POINT X XE XX ON AUTO OUTPUT SEQUENCER CONTROL BACK SET UP SET UP UP ESC DONE Sch ma 2 9 cran points de r glage rejet et audio 2 6 2 1 Modifier et activer les valeurs de points de r glage 2 18 REJECT SET POINTS AUDIO SET POINT D finir les REJECT SET POINTS 1 4 de sorte que les points de r glage soient activ s lorsque la valeur de taux de fuite mesur exc de la valeur des points de r glage Lorsqu un point de r glage de rejet est activ le mode REJECT est affich sur l cran d accueil de l cran tactile avec le nombregl2de point de r glages de rejet ayant t activ L tat des points de r glage de rejet est galement disponible au port communications E S et la demande par le biais de la ligne RS 232 voir Annexe B Protocole de communication D sactivez les points de r glage de rejet en utilisant les boutons ON
151. ression vide 3 13 3 1 5 2 2 talonnage atmosph rique seseeiesiesiiereesresrresresrreresreerresrrerrns 3 14 S CION 4 Maintenance es Rae MANN en ne TS a AS MES 4 1 4 1 Maintenance quotidienne een 4 5 4 1 1 V rification de la S nsibit s sn aimen un ede Men MNR e RAe terne 4 5 4 2 R talonnage de la fuite interne talonn e seneeseenensserreeeertreetressrrrnrertnnrrernenrsrennesene 4 5 4 3 Remise en tat du tube spectrom tre ssseesssssreeeereresserrrretrrnertrnrtrrtnnresetenn reenen nenen nenene 4 6 4 3 1 D montage de l ensemble du spectrom tre sss sssssseeserrrresrttressrrrrnerrnntresrrresrrrnseet 4 7 4 3 2 Suppression du bouton TG antenne en ne denrrtanteman tent tenlteuss 4 12 4 33 Enlever la sou r d ion Spretan nn a trade Tea cute eng de 4 14 4 3 4 Enl vement du pr amplificateur neern neet 4 16 4 3 5 Enlevez les p les magn tiques 4 17 4 3 6 Examen et nettoyage des pi ces du spectrom tre ssssesssseerssererrrrrrretssrrrrsrern net 4 18 4 3 7 R montage siennes tendent net A EEA nr ei dt tte Na e 4 21 4 4 Remplacement de la source d ions en dehors de la maintenance annuelle 4 22 4 4 1 R MOntage in Re enter e een ren T an AKARA ENAERE SUN a eee 4 23 4 5 Pomp M CANIQUES este nee 4 24 4 5 1 Remplacement du fluide de la pompe tanch it huile ssesssseesseeeeseeresereee 4 24 4
152. rom tre de masse l h lium 3 1 2 2 R flecteur La case tension REPELLER R PULSIF affiche la valeur actuelle de la tension du r flecteur de la source d ions dans le tube du spectrom tre et permet d effectuer un ajustement manuel de ce param tre Le param tre de tension du r flecteur sert ajuster le d tecteur de fuite en optimisant la puissance du d tecteur de fuite pour un signal d h lium de pointe Le param tre de tension du r flecteur est ajust avant que le d tecteur de fuite ne soit talonn pour l h lium Ce param tre n est pas ajust automatiquement pendant la proc dure d talonnage habituelle La fourchette de valeurs type de tension du r flecteur s inscrit entre 320 V c c et 360 V c c 3 1 2 3 Courant d mission La case d ajustement de l EMISSION affiche la valeur du courant d mission existant de la source d ions dans le tube spectrom tre et permet d ajuster ce param tre Le param tre de courant d mission sert ajuster le d tecteur de fuite en optimisant sa puissance pour un signal d h lium de pointe Le param tre de courant d mission est ajust avant que le d tecteur de fuite ne soit talonn pour l h lium Ce param tre n est pas ajust automatiquement pendant la proc dure d talonnage habituelle Les valeurs type du courant d mission s inscrivent entre 0 7 mA et 1 4 mA NOTE Pour obtenir un signal de pointe d h lium maximum ajuster le courant d mission lors
153. rom trique entre en contact avec une quelconque surface magn tique l aimant risque de se d magn tiser le tube spectrom trique perdant alors une partie de sa sensibilit AVERTISSEMENT Ne pas enlever les 6 vis des attaches du bo tier de l aimant D figurant en Sch ma 4 6 tout en assurant la maintenance sur le tube spectrom tre Sch ma 4 6 Vis des attaches du bo tier de l aimant D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 9 Enlevez les 2 vis fente D qui fixent l ensemble de l aimant du tube spectrom tre sur le corps du tube spectrom tre Sch ma 4 7 Sch ma 4 7 Vis fente de l ensemble aimant 10 Avec pr caution faire glisser l ensemble aimant pour l enlever du corps du tube spectrom tre Si l ensemble aimant ne s enl ve pas facilement il peut s av rer n cessaire de desserrer les aimants d ajustage en faisant sortir de force les vis de pression qui se trouvent des deux c t s de l ensemble Sch ma 4 8 Ne pas enlever les vis de pression et les aimants d ajustage compl tement Sch ma 4 8 Vis de pression de l aimant d ajustage D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 4 3 2 Suppression du bouton TC 1 Enlever les 4 vis cruciformes qui maintiennent la canalisation du TC bouton Sch ma 4 9 Sch ma 4 9 Ensemble TC du bouton 2 Enlever la canalisation du bouton TC Sch ma
154. rre le turbo et le spectube apr s la commande de RALENTI IDLE SNIFF D TECTER Active le mode d tecteur interne SYTCATM D finit la lecture du thermocouple du syst me en cours de mani re ce qu elle repr sente la pression atmosph rique La r ussite de l action est signal e par la r ponse ok habituelle SYTCZERO D finit la lecture du thermocouple du syst me en cours de mani re ce qu elle repr sente une pression qui est trop faible pour tre lue par un thermocouple La r ussite de l action est signal e par la r ponse ok habituelle D finit la lecture du thermocouple de la prise de test actuelle de mani re ce qu elle repr sente la pression atmosph rique La r ussite de l action est signal e par la r ponse ok habituelle TPTCZERO D finit la lecture du thermocouple de la prise de test actuelle de mani re ce qu elle repr sente une pression qui est trop faible pour tre lue par un thermocouple La r ussite de l action est signal e par la r ponse ok habituelle TUNE R GLER Ajuste la tension de la source d ions de mani re ce qu elle r agisse de mani re optimale l h lium D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Cette page a t laiss e en blanc intentionnellement D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Annexe C Introduction la d tect
155. s Sch ma C 5 principe de s paration magn tique C 9 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Cette page a t laiss e en blanc intentionnellement D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Index A distance universelle Connexion A 5 Option 1 18 propos du mod le 979 1 1 Activer l arr t de fourchette 2 23 Activer l auto s quenceur 2 20 Admission d tecteur 1 15 Affichage de la pression 1 13 Affichage du graphique barres log 2 27 Affichage du taux de fuite 1 13 Affichage et commandes du panneau 1 12 Affichage et commandes du panneau avant 1 12 Affichage de la pression 1 13 Affichage du taux de fuite 1 13 Bouton de marche arr t d tecteur 1 13 Bouton essai pause 1 13 Bouton talonner 1 13 Bouton VENT 1 13 Bouton lecture fuite standard 1 13 Bouton z ro 1 13 Contr le du volume sonore 1 13 Interrupteur clef 1 14 Affichage et commandes sur le panneau avant 1 12 Affichage graphique barres 2 9 Affichage lin aire du graphique barres 2 27 Alimentation lectrique de la soupape de pr vidage 1 17 Arr t 2 2 Arr t de fourchette Activer 2 23 D sactiver 2 23 atm cc sec c cc sec r gulier C 2 Auto s quenceur 2 19 Activer 2 20 Commandes 2 20 D sactiver 2 20 cran d installation 2 19 Auto zero lt 0 3 3 Active 3 3 Inactive inactif 3 4 sous le voyant lumineux 3 4 Bo te INFO SYS 2 9 Bo te MENUS
156. s rie et analogique non isol es Tableau A 3 fournit une interface de s rie RS 232 non isol e et information de sortie analogique non isol e Sch ma A 4 affiche le diagramme de c blage partir d un branchement 9 broches RS 232 sur le 979 sub D 37P Les connexions E S de s rie RS 232 sont r f renc es sur le plancher du ch ssis et ne sont pas isol es Les sp cifications lectriques sont conformes la norme EIA TIA 232 E de l EIA TIA Tableau A 3 Sommaire table des E S non isol es Nom de l entr e Spec signal Descriptif RxD Spec RS 232 R ception de donn es sur le 979 RTS Spec RS 232 Demande d envoi partir du 979 TxD Spec RS 232 Donn es transmises partir du 979 CTS Spec RS 232 Effacer pour envoyer partir du 979 M T Spec RS 232 Signal commun Sortie analogique o 10V c c Tension analogique mise jour en mode test Mise la terre M TA Retour pour tension analogique analogique D Sub 37P D Sub 37P H Sch ma A 4 Diagramme de c blage 979 COM A 4 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium A 4 Connecteur de commande distance Le connecteur D Sub 9S fournit une interface de s rie non isol e et une connexion lectrique pour l unit distante universelle Tableau A 4 fournit des informations s rie et alimentation sans isolation Tableau A 4 Sommaire table de s rie
157. s du 979 Tableau 4 4 979 Pi ces d tach es Montage Num ro de pi ce Source d ions 82850302 Bouton TC Syst me R1266301 Pr amplificateur L9030301 Sensibilit standard R1003301 Sensibilit lev e Jauge thermocouple de la prise de test TC Mod le 531 F0472301 Montage de l aimant du tube spectrom trique K3023301 4 24 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Tableau 4 4 979 Pi ces d tach es Continued Montage Num ro de pi ce Programme d change de l ensemble du tube spectrom trique EXL9713302 Sensibilit standard EXL9713303 Sensibilit lev e Kit de nettoyage du tube spectrom trique 670029096 Fuite talonn e fourchette 7 inf rieure Appelez Vacuum Technologies Fuite talonn e fourchette 8 inf rieure Appelez Vacuum Technologies Alimentation secteur 659077039 Circuit imprim contr leur source d ions L9539302 Circuit imprim interface num rique L9536301 Circuit imprim pr amplificateur L9524301 Circuit imprim jauges R0395301 Circuit imprim cerveau Appelez Vacuum Technologies Alimentation lectrique circuit imprim L9255301 Circuit imprim E S 979 Appelez Vacuum Technologies Montage cran tactile Appelez Vacuum Technologies Bo tier avant Appelez Vacuum Technologies Bo tier arri re Appelez Vacu
158. samment longtemps pour tre d tect e C 7 D tecteur de fuite muni d un spectrom tre de masse C 8 l h lium descriptif simplifi Chaque mod le 979 se compose essentiellement d un tube de d tection analytique dit tube spectrom tre d un dispositif lectronique assurant le fonctionnement du tube d un syst me vide permettant d assurer un vide tr s pouss dans ce tube g n ralement inf rieur 0 1 millitorr ou environ quivalent un dix millionni me de pression atmosph rique ordinaire En outre une pompe vide de pr vidage et un syst me de soupapes sont fournis pour permettre d effectuer des cycles de tests voir Sch ma C 4 Objet du test Spectrom tre Tube lectronique amp et vide A indicateur de pompe 979 fuite syst me de pr vidage Sch ma C 4 D tecteur de fuite muni d un spectrom tre de masse l h lium D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Dans le tube du spectrom tre les mol cules de gaz sont ionis es elles re oivent une charge lectrique positive par bombardement d lectrons partir d un filament d iridium thori chaud Les ions ainsi form s sont acc l r s dans un champ magn tique o les ions d h lium de masse 4 sont d vi s 90 degr s voir Sch ma C 5 Seuls les ions d h lium atteignent le collecteur Un lectrom tre extr mement stable fournit
159. sibilit 1 Appuyez sur le bouton READ STANDARD LEAK lire fuite standard 2 Comparez la valeur affich e sur l cran HOME accueil Section 2 4 cran d accueil de l cran tactile du 979 la page 2 9 par rapport la valeur de la fuite talonn e connue sur l cran SYSTEM INFORMATION information syst me Section 2 5 cran d information syst me 979 la page 2 14 ou sur l cran CALIBRATED LEAK SET UP installation fuite talonn e Sch ma 2 6 la page 2 14 3 Si les valeurs ne correspondent pas appuyez sur le bouton CALIBRATE talonner pour effectuer un talonnage automatis puis renouvelez l tape 1 Si la sp cification n est pas respect e il pourra s av rer n cessaire de proc der un ajustage manuel Voir Section 3 1 2 R glage manuel du tube spec la page 3 5 4 2 R talonnage de la fuite interne talonn e Les fuites talonn es l h lium se d gradent en r gle g n rale 3 pour cent par an La fuite talonn e fournie avec votre 979 doit faire l objet d une v rification au moins une fois par an pour s assurer qu elle correspond la valeur indiqu e sur son tiquette Tout manquement tester la fuite pourrait nuire la fiabilit du test Vous pouvez prendre des dispositions pour effectuer les tests et le r talonnage dans le labo de votre choix Vacuum Technologies fournit des services de test et de v rification de fuite talonn e et tra ables
160. spositif long retardement et une prise la terre fiable Ne pas utiliser de rallonge Q Utilisez uniquement le cordon d alimentation lectrique fourni avec votre d tecteur de fuites L utilisation de rallonges n est pas recommand il pourrait en r sulter des dommages l quipement ainsi qu une violation de la garantie Q Pour viter tout choc lectrique branchez le cordon d alimentation lectrique une prise avec mise la terre Une connexion dot e d un dispositif par mise la terre par le biais d un conducteur de mise la terre sur le cordon d alimentation lectrique est essentielle au fonctionnement de l appareil en toute s curit Q Avant de placer l unit sous tension pour la premi re fois v rifiez que l unit est configur e pour fonctionner sur secteur la tension locale Q L ouverture du bo tier est susceptible d exposer des tensions dangereuses D branchez toujours le cordon d alimentation lectrique ainsi que les c bles d interface avant toute ouverture du bo tier Ne touchez pas les fiches de la prise d alimentation lectrique durant au moins 10 secondes apr s que le cordon d alimentation lectrique a t d branch D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium ARTESEVENT Cet quipement g n re utilise et est susceptible d mettre de l nergie de RF et s il n est pas install et utilis conform ment au manuel de l utilis
161. st CONTRA FLOW LEAK permet d effectuer des tests sensibilit lev e des pressions de test exceptionnellement lev es 2 6 8 Cases NEXT suivante et BACK Retour Touchez la case NEXT sur l cran du menu principal pour afficher l cran de s lection du second menu Les op rations de l cran du second menu sont abord es dans Section 2 7 cran de s lection du second menu Touchez ensuite la case BACK Retour pour afficher l cran d Accueil 2 7 cran de s lection du second menu 2 30 L cran du second menu Sch ma 2 17 affiche les crans disponibles pour la r alisation des fonctions d installation et de service g n ral Touchez la case BACK retour partir de cet cran pour afficher l cran du premier menu Touchez ensuite la case NEXT Suivant pour afficher l cran d Accueil La fonction UNITS SET UP installation unit s est d crite dans cette section Les menus VERSION et SERVICE entretien sont abord s dans la Section 3 Entretien Les menus incluent les proc dures g n ralement mises en oeuvre en dehors des op rations quotidiennes D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium CAL ROUGH LEAK PUMP NEXT Ur NEXT SET UP SET UP REJECT amp LEAK RATE TRANSFER SERVICE AUDIO SET RANGING POINTS MENUS VERSION POINTS SET UP SET UP AUTO OUTPUT SEQUENCER CONTROL BACK BACK SET UP SET UP
162. syst me 3 10 cran points de r glage rejet et audio 2 18 cran remise z ro manuelle et talonnage Cal 3 3 cran tactile Modifier les variables 2 7 cran version 3 1 Enlever le 979 de la palette 1 8 Entr e E S discr te sch ma de circuit A 3 Entr e de commande distance 1 15 Entretien 3 1 Entretien n cessaire au fonctionnement de l appareil 1 9 Alimentation lectrique 1 9 H lium 1 10 Mesures d entretien suppl mentaires 1 10 talonnage atmosph rique 3 12 Jauge de pression du syst me 3 12 Prise de test 3 14 talonnage basse pression 3 11 talonnage de la jauge de pression du syst me 3 11 Prise de test 3 13 talonnage de la jauge 3 11 Atmosph rique 3 12 Pression de prise de test 3 13 Pression syst me 3 12 Vide basse pression 3 11 talonnage de la jauge de pression de la prise de test 3 13 Atmosph rique 3 14 Vide basse pression 3 13 talonnage de la jauge de pression du syst me 3 11 Atmosph rique 3 12 Vide basse pression 3 11 talonnage normal 2 17 talonnage rapide 2 17 talonnage vide 3 11 Pression syst me 3 11 Prise de test 3 13 talonner le 979 2 1 tanch is l h lium C 7 tats de fonctionnement 2 11 tats de situation 2 12 vent du syst me 1 15 Fourchette de taux de fuite 2 22 Gross leak xfer transfert fuite brute 2 30 Halog ne C 3 H lium C 3 Immersion dans l eau C 3 Indicateur syst me pr t 2 9 Indication de situation 2 9 INFO SYS Bo tes de l
163. t pourrait tre cause de dommages corporels graves Les op rateurs et les personnels d entretien doivent tre au fait de tous les risques li s l utilisation de cet v nement Ils doivent savoir comment identifier les situations dangereuses ou potentiellement dangereuses et disposer du savoir faire requis pour les viter Les cons quences d une utilisation non professionnelle inappropri e ou imprudente de l quipement peuvent tre graves Ce produit ne doit tre utilis et entretenu que par des personnels form s Chaque op rateur ou personnel d entretien doit lire et comprendre pleinement les manuels d utilisation entretien ainsi que toutes informations suppl mentaires fournies par Vacuum Technologies Tous les messages de prudence Attention et d avertissement doivent tre lus avec attention et strictement respect s Consultez les agences locales r gionales et nationales concernant des sp cifications et r glementations sp cifiques Adressez toutes questions en mati re de s curit et ou d entretien votre bureau Vacuum Technologies le plus proche xiv D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Solvants NOTE Les l ments m caniques des d tecteurs de fuites sont g n ralement nettoy s l alcool au m thanol ou l aide d autres solvants Lorsqu ils sont chauff s pulv ris s ou expos s un quipement haute temp rature ces solvants devie
164. t con u pour fonctionner conform ment la r glementation de la CEE en vigueur DBT Directive basse tension 73 23JEEC et CEM Compatibilit lectromagn tique directive 89 336 EEC pour les installations de cat gorie Il les environnements de pollution du 2 me degr pour les quipements lectriques industriels scientifiques de mesure et de contr le des proc d s Q Toutes modifications par l utilisateur sont susceptibles d tre l origine de d fauts de conformit par rapport la r glementation ou d affecter les performances en mati re de CEM ou de s curit du produit Vacuum Technologies ne saurait tre tenue pour responsable des cons quences de telle intervention Q L quipement est susceptible d tre endommag par des tensions incorrectes d alimentation lectrique CA principales ainsi que par la radiofr quence RF et des apports en nergie de d charge lectrostatique ESD exc dant les valeurs maximales ou par un fonctionnement haute temp rature ou sans ventilation ad quate l immersion dans un liquide ou des abus physiques Q Toutes connexions lectriques doivent tre r alis es par un lectricien qualifi et doivent tre conformes aux normes nationales et locales Q Assurez vous que l installation lectrique est conforme vos sp cifications locales de s curit Q L isolation lectrique doit comprendre le circuit de d rivation appropri au moins 20 A ainsi qu un di
165. te tar en TN dure se ent 2 10 2 4 3 tat du d tecteur de DIS ends en ne 2 10 2 4 4 Situation du d tecteur de fuites sseeseeeeeeeeenreestttresetrrntrtrn rrtt tentsserrnsrtern nne nnerenene 2 10 2 4 5 Rejet d indicateur de situation 2 10 2 4 6 Bo tes de l cran tactile SYS INFO et MENUS n sssssnneeseenneenneeeenereserrnsrrrrnrerrreessne 2 11 2 5 cran d information syst me 70h a nn em tn AA ne rans 2 14 2 6 cran de s lection premier MENU iruurnnseurrriineieneenieneitesnini rentes 2 16 2 6 1 Installation fuite talonn e iii 2 16 2 6 1 1 S lectionner une fuite talonn e interne ou externe pour talonnage 2 17 2 6 1 2 S lection du Mode d Etalonnage Complet ou Rapide ssssseesseseeeseseeeeeeen 2 17 2 6 2 Points de r glage rejet et audio ssnessseneeeeenetesrerrestrrrtrtrnrerrrentssenrnsrennnnstnerneene 2 18 2 6 2 1 Modifier et activer les valeurs de points de r glage ssnssssssseensserreserreeee 2 18 2 6 3 Installation de l auto s quenceur sssessserseseesreessttrrstrtrntrttnrrttrentssternnetenn nren nn reene 2 19 2 6 3 1 Commandes d installation de l auto s quenceur sessssseeessssererssrrrsssrrrenee 2 20 2 6 4 Installation pompe de pr vidage ssseessseteeeenreestttreserrrnrrtrnnnttnnntsstnrnsetnn nenen nn nnneee 2 21 2 6 4 1 S lectionner le mode pr vidage uniquement ou le mode courant divergent 2 21 2 6 4 2 Introduire les tailles de la pompe de pr vidage
166. terrompue et le syst me est remis z ro Enfin un gain est calcul partir de la lecture du taux de fuite pour que le signal corresponde la valeur de la fuite talonn e et le syst me est remis en mode TEST Le voyant DEL d TALONNAGE s allume lors de l talonnage Le volume de l indicateur sonore de taux de fuite est contr l par les deux boutons tiquet s HI HAUT et LOW BAS ainsi qu avec des fl ches haut et bas Appuyez sur le bouton avec la fl che HAUT pour augmenter le volume sonore Appuyez sur le bouton avec la fl che BAS pour r duire le volume sonore Lorsque l affichage par graphique barres du taux de fuite est en mode LINEAR LIN AIRE Section 2 7 1 Installation unit s la page 2 31 le signal sonore augmente passant d une tonalit basse une tonalit lev e tandis que le taux de fuite augmente par d cade La tonalit augmente par d cade Lorsque l affichage par graphique barres du taux de fuite est en mode LOG le signal sonore augmente passant d une tonalit basse une tonalit lev e tandis que le taux de fuite augmente tout au long de l chelle du graphique barres Le r glage de l affichage en mode LOG est fr quemment souhaitable dans des applications de d tecteur de sorte que la r ponse sonore correspond directement la taille de la fuite Le bouton SNIFFER ON OFF MARCHE ARR T D TECTEUR permet d activer ou d arr ter le mode DETECTEUR du 979 Le vo
167. tes Mod le 979 configur et totalement assembl conform ment au bon de commande Tous cordons d alimentation lectrique n cessaires Les manuels de la des pompes en fonction de la configuration achet e Tout mat riel optionnel command D OOD Tous manuels pour les quipements optionnels acquis 1 2 1 Instructions de d ballage Pour d baller le d tecteur de fuites 979 et l ter de la palette 1 inspectez le conteneur afin d y d celer d ventuelles traces de dommages survenus en cours d exp dition N liminez aucun l ment de preuve attestant d une manutention non conforme Signalez sans retard tous dommages au transporteur et au Service client le de Vacuum Technologies au 1 800 8VARIAN Enlevez avec soin l emballage d exp dition ext rieur Inspectez imm diatement le d tecteur des fuites et les l ments li s afin de rep rer d ventuels dommages caus s lors de l exp dition Coupez avec soin les attaches maintenant le d tecteur de fuites sur la palette tez toutes bo tes ou tous paquets qui ne sont plus attach s et mettez les de c t Conservez l emballage d origine pour pouvoir le r utiliser dans l ventualit o il serait n cessaire de retourner le d tecteur de fuites Varian Vacuum Technologies Enlevez avec soin la barre de maintien avant en d faisant les deux tire fonds Otez avec soin l emballage plastique recouvrant le d tecteur de fuite Le d tecteur de fuit
168. test au moment de la commande Utilis pour talonner l extr mit basse pression du TC de la prise de test sur un pression connue sup rieure z ro INIT TEST Pr c d par XXX d finit la dur e de test d auto s quen age en secondes B 9 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Les commandes num r es dans Tableau B 3 sont utilis es pour entra ner une modification imm diate dans les param tres d exploitation du spectrom tre Ces commandes ne modifient pas les param tres d exploitation non volatiles Tableau B 3 Param tres d exploitation du spectom tre Commande Param tre PUT EMISSION Un nombre de micro amp res quatre chiffres de l ordre de 0300 2000 qui d finit le courant d mission de la source d ions PUT EXPONENT Un nombre trois caract res indiquant l exposant de la fourchette de fuite en mode MANUEL Les valeurs acceptables sont comprises entre 0 et 10 Les valeurs non acceptables ne sont pas archiv es PUT FOCUS Un nombre de volts trois chiffres de l ordre de 150 400 qui d finit la tension focale variable de la source d ions PUT GAIN Un nombre deux chiffres un point de d cimale apr s le premier chiffre de l ordre de 1 0 6 0 qui d finit la position d un p riph rique gain digi pot variable utilis pour ajuster le signal d h lium en fonction d une fuite d talonnage standard PUT
169. test est bien en place 979 LEAK RATE X XXE XX atm cc sec T P PRESSURE X XE XX Torr REJECT 2 4 SYSTEM READY SYS INFO MENUS Sch ma 3 10 cran d accueil de l cran tactile du 979 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 8 Placez la clef d entretien T009 dans l interrupteur clef et positionnez cet interrupteur en position de SERVICE voir Sch ma 1 8 la page 1 12 Si le syst me n est pas d j en mode VENT VENT appuyez sur le bouton VENT Appuyez sur le boutonTEST et v rifiez que le d tecteur de fuites passe bien en mode FINE TEST en affichant 107 atm cc sec o moins Attendez environ cinq minutes jusqu ce que la pression du syst me vide se stabilise Passez l cran GAUGE CALIBRATION Sch ma 3 9 la page 3 11 si vous ne vous y trouvez pas d j Touchez la case SYSTEM TC ZERO Q La mention CAL OK sur la droite de la case SYSTEM TC ZERO confirme que l talonnage a r ussi Q Un message d erreur FAILED s affiche en cas d chec de l talonnage Cet chec peut provenir de la pr sence d une jauge thermocouple d fectueuse ou contamin e ou bien du fait que la pression r elle est nettement sup rieure 1 mTorr Touchez DONE TERMIN pour quitter l cran et revenir l cran du menu pr c dent 3 1 5 1 2 talonnage atmosph rique L talonnage de la jauge thermocouple
170. transmise un caract re la fois alors attendez la r ponse en cho du 979 avant de transmettre le caract re suivant puis terminez la commande avec un retour de chariot CR Windows 95 et autres version ult rieures contiennent en s rie un programme de communication du nom de HyperTerminal un outil tr s utile pour tablir la communication entre le 979 et un ordinateur B 2 1 Instructions de configuration HyperTerminal Windows B 2 Pour configurer HyperTerminal Windows 1 2 Cliquez sur D marrer S lectionner Programmes gt Accessoires gt Communications gt HyperTerminal Double cliquez sur Hypertrm exe La bo te de dialogue du descriptif de la connexion s affiche Saisissez un nom et choisissez une ic ne pour la connexion dont 979 RS232 Cliquez sur OK La bo te de dialogue Se connecter s affiche D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 6 S lectionnez un port COM partir de la Connexion en utilisant la liste d roulante La bo te de dialogue Propri t s com Param tres du port 7 Configurez les param tres suivants Q Bits par seconde d bit en bauds 9 600 Q Bits de donn es 8 Q Parit aucune Q Bits d arr t 1 Q Contr le du d bit aucune 8 Cliquez sur OK 9 S lectionner Propri t s partir du menu Fichier La fen tre Propri t s s affiche 10 Configurez les param tres suivants sur l onglet Connexion
171. tre anti parasite Le SUPPRESSOR filtre anti parasite affiche la valeur de la tension du filtre anti parasite dans le pr amplificateur du tube du spectrom tre Le param tre de tension du filtre anti parasite n est pas variable Ce param tre est non modifiable par l op rateur 3 1 2 7 Tension focale fix e L indicateur de tension FIXED FOCUS FOCALE FIX E affiche la valeur actuelle de tension focale fix e de la source d ions dans le tube spectrom tre Ce param tre de tension focale fix e est invariable et non modifiable par l op rateur 3 1 2 8 S lection du filament La case de s lection du filament permet de passer de FIL 1 ACTIVE FILAMENT ACTIF FIL 2 ACTIVE FIL ACTIF 2 et vice versa Cette s lection de filament peut tre effectu e manuellement d faut elle intervient automatiquement dans le cas o le filament utilis grille Mettre en uvre la proc dure d talonnage habituelle chaque fois qu un filament d exploitation est modifi S lection du filament Dans le cas o le filament utilis grille le 979 bascule commute automatiquement vers le filament suivant disponible La modification appara t sur l cran tactile et l exposant du taux de fuite affiche un C clignotant indiquant qu il est n cessaire de proc der un talonnage NOTE Il est conseill de remplacer la source d ions d s que possible une fois que le filament de rechange est utilis Voir Section 4 4 Remplacement de la so
172. u six centim tres 2 Pendant qu un assistant maintient le d tecteur de fuites contre la partie arri re de la barre de maintien d vissez et tez les deux attaches palette avant en les faisant pivoter dans le sens des aiguilles d une montre 3 Assurez vous que l assistant maintient toujours le d tecteur de fuite contre la partie arri re de la barre de maintien abaissez doucement la partie avant de la palette en direction du sol 4 Faites alors rouler le d tecteur de fuites doucement et avec soin depuis la palette sur le sol 1 2 3 tez les emballages isol s 1 8 Une fois le 979 hors de la palette d faites et enlevez l ensemble des emballages du d tecteur de fuites D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 1 3 Entretien n cessaire au fonctionnement de l appareil 1 3 1 Alimentation lectrique En fonction de la configuration que vous avez command e les sp cifications en mati re alimentation secteur pour les d tecteurs de fuite de la s rie 979 seront les suivants AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT ATTENTION A Q 100 V c a 20 A 50 Hz 115 VAC 20 A 60 Hz ou Q 230 V c a 20 A 50 60 Hz Les fluctuations de la tension de l alimentation lectrique principale n exc deront pas 10 de la tension nominale Les surtensions transitoires n exc deront pas les valeurs conformes la cat gorie d installation cat gorie de surtension Il de
173. ue d une quelconque partie du syst me 4 1 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium La propret est essentielle s agissant de l entretien du d tecteur de fuite ou d un quelconque quipement vide Certaines techniques sont plus importantes pour l entretien d un d tecteur de fuites que pour le travail sous vide en g n ral AVERTISSEMENT NOTE Ne pas utiliser d huile ou de graisse de silicone Utilisez des gants en butyle ou en polycarbonate non poudr s pour viter que des huiles corporelles ne se d posent sur des surfaces vide Ne nettoyez pas les pi ces en aluminium l Alconox L Alconox n est pas compatible avec l aluminium et son utilisation sera cause de dommages Il n est en principe pas n cessaire d utiliser de graisse vide Toutefois si son utilisation est un imp ratif vitez les graisses de type silicone et appliquez la parcimonieusement La graisse Apiezon L est recommand e Pi ce Vacuum Technologies n 695400004 Lors de l enl vement de la v rification ou du remplacement des joints toriques AVERTISSEMENT NOTE 4 2 tez soigneusement les joints toriques avec vos doigts N utilisez pas d outils en m tal pour cette t che Vous viterez ainsi de rayer toutes surfaces d tanch it Nettoyez tous les joints toriques avec un tissu non pelucheux avant installation pour viter la pr sence d un corps tranger suscept
174. uelle a t activ e et si la variable fourchette manuelle a t fix e 10 06 la d cade de taux de fuite affich e sur le graphique barres DEL lors de l essai sera uniquement dans la fourchette 10 06 atm cc sec Cette fonctionnalit est utile lorsque l op rateur de test n est concern que par le suivi de la mesure du taux de fuite dans une seule d cade Pour activer ou d sactiver la fonction MANUAL RANGE touchez la bo te ON ou OFF sous la fonction souhait e 2 23 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 6 5 2 S lectionnez le mode Test Affin ou le mode Test Brut Uniquement 2 6 5 3 Sensibilit du syst me 2 24 Touchez la bo te USE FINE TEST GROSS TEST ONLY pour faire r gler le d tecteur de fuite en mode de fonctionnement en test affin normal et en mode de test fuite brute uniquement FINE TEST MODE GROSS TEST ONLY Lorsque la commande USE FINE TEST mode de fonctionnement normal est affich e le d tecteur de fuites teste automatiquement les fuites brutes puis les transf re en test affin si aucune fuite brute n est d tect e Lorsque la mention GROSS TEST ONLY est affich e cette fonctionnalit n est disponible qu avec des configurations double pompe m canique le d tecteur de fuites ne passe pas en mode FINE TEST Cette fonctionnalit est utile pour qualifier des parties ayant un taux in habituellement lev de d faillances de
175. um Technologies Programme d change de turbo pompe V70D Appelez Vacuum Technologies Programme d change de turbo pompe V70LP Appelez Vacuum Technologies Ensemble scellement par pointage pompe primaire s rie Triscoll 300 PTSS0300TS Kit d outils maintenance pompe primaire Triscoll PTSSO600TK Ensemble scellement par pointage pompe primaire s rie Triscoll 600 PTSSO600TS Module d change pompe Triscoll 620 EXPTS0620SC Module d change pompe Triscoll 320 EXPTS0320SC Cartouche liminateur de nuage d huile Qt 2 949 9394 Filtre chappement 110420110 Kit d outils maintenance n cessaire pour l installation 4 25 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 4 7 Liste d l ments d accessoires 979 Tableau 4 5 Liste d l ments d accessoires 979 Kit d adaptateur d admission LDNW25 LDNW25INADKIT Bo tier de non retour battant bride NW25 L6241302 Sonde lectrique longueur 3 m bride NW25 K9565306 Sonde lectrique longueur 7 5 m bride NW25 K9565307 Filtres de pointage de rechange pour sonde lectrique Qt 10 K9565303 Soupape de r glage bride NW25 R1947301 Pompe fluide m canique Elite Z 695409005 Fuite talonn e 107 10 Bride NW25 F8473320 Fuite talonn e 1077 Bride NW25 F8473321 Fuite talonn e 1078 Bride NW25 F8473322 Fuite talo
176. upapes ne peuvent tre effectu es que lorsque l interrupteur clef est en position ENTRETIEN Un op rateur local ne disposerait pas d une clef et ne serait en mesure d utiliser le 979 que lorsque l interrupteur clef est en position FONCTIONNEMENT clef t e Aucune modification des param tres d utilisation n est autoris e lorsque l interrupteur clef est en position FONCTIONNEMENT D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 3 Menus de l cran tactile Le d tecteur de fuites 979 fait appel un affichage sur cran tactile pour l installation et la configuration initiales du d tecteur de fuites Une fois le d tecteur de fuites install et configur en vue d une application sp cifique les op rations sp cifiques sont principalement contr l es par les boutons clairement tiquet s d crits dans la pr c dente section L cran d accueil de l cran tactile figure ci apr s au Sch ma 2 2 il est pr sent plus en d tail la Section 2 4 cran d accueil de l cran tactile du 979 la page 2 9 979 LEAK RATE X XXE XX atm cc sec T P PRESSURE X XE XX Torr REJECT 2 4 SYSTEM READY SYS INFO MENUS Sch ma 2 2 979 cran d accueil cran tactile 2 3 1 R glage du contraste de l affichage de l cran tactile Pour modifier le contraste appuyez sur le coin sup rieur gauche ou droit de l cran d accueil de l cran tactil
177. urce d ions en dehors de la maintenance annuelle la page 4 22 3 7 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 3 1 3 Commande de soupape manuelle 3 8 Touchez la case MANUAL VALVE CONTROL Commande soupape manuelle pour afficher l cran de contr le de la soupape manuelle Sch ma 3 6 qui permet dans le cadre d une proc dure de d tection des pannes d assurer un contr le manuel des soupapes dans le syst me 979 vide Voir Sch ma 3 7 la page 3 10 pour consulter une illustration Syst me vide 979 AVERTISSEMENT Toute manipulation des soupapes via l cran de contr le des soupapes manuelles doit tre r alis e exclusivement par des personnes extr mement familiaris es avec le d tecteur de fuite 979 tant donn qu il est possible que des dommages se soient produits sur les composants essentiels par exemple le tube spectrom tre MANUAL VALVE CONTROL MANUAL MANUAL ZEROING amp VALVE OPEN VENT VALVE CLOSED CALIBRATE CONTROL CLOSE CONTRAFLOW VALVE OPENED MANUAL GAUGE CLOSE TEST PORT VALVE OPENED SPEC TUBE N TUNING CLOSE FORELINE VALVE OPENED SYSTEM CLOSE MIDSTAGE VALVE OPENED INIT BACK as OPEN STD LEAK VALVE CLOSED DONE Sch ma 3 6 Ecran de commande de soupape manuelle D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse
178. us sensible atteinte B 10 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium Tableau B 4 Actions de d tection de fuites Continued Commande Action DISABLE RANGESTOP D sactiver arr t fourchette D sactive la fonction Rangestop ENABLE RANGESTOP activer arr t fourchette D sactive la fonction Rangestop EXTERNAL Utilise une fuite externe calibr e dans la prise de test Pour les op rations d auto talonnage FPEAK Ajuste la tension focale variable de mani re ce qu elle r agisse de mani re optimale l h lium IDLE Arr te le turbo et le spectube et attend une commande d EX CUTION INCR MENTER Ajoute 1 l exposant du taux de fuite manuel ce qui le rend moins n gatif La r ussite de l action est signal e par la r ponse ok habituelle Ne fait rien en mode auto Ne fait rien une fois la fourchette la moins sensible atteinte INTERNE Fait appel une fuite interne talonn e Pour les op rations d talonnage PAUSE Oblige le d tecteur de fuites fermer la plupart des soupapes et entrer en mode HOLD pause MANUAL D finit le mode manuel La r ussite de l action est signal e par la r ponse ok habituelle NOSNIFF D sactive le mode d tecteur interne PREVIDAGE Oblige le d tecteur de fuites commencer une s quence de pr vidage et de test RUN EX CUTER D ma
179. utilis es pour d finir des param tres d exploitation non volatiles La valeur actuelle du param tre de fonctionnement est remplac e par la nouvelle valeur Tableau B 2 Param tres d exploitation non volatiles Commande Param tre INIT AZ lt O Pr c d par 0 ou par 1 d finit le statut d auto z ro lt 0 0 off 1 on INIT CL XFER Pr c d par X XE XX d finit en Torr la valeur de la pression de transition en mode contre courant INIT DAC Pr c d par un nombre compris entre 0 et 255 d finit la variable d placement du CNA de tension de sortie du taux de fuite INIT DISPLAY INIT AFFICHAGE Pr c d par LOG ou LINEAR lin aire d finit le grand graphique barres en un cran fichier journal ou lin aire INIT EMISSION Un nombre de micro amp res quatre chiffres de l ordre de 0300 2000 qui d finit le courant d mission de la source d ions INIT EXTLEAK Identique INIT STDLEAK mais pour la valeur de la fuite externe INIT FILAMENT Un simple chiffre soit 1 soit 2 qui d finit le filament d exploitation dans la source d ions INIT FOCUS Un nombre de micro volts trois chiffres de l ordre de 150 400 qui d finit la tension focale variable de la source d ions INIT GAIN Un nombre deux chiffres un point de d cimale apr s le premier chiffre de l ordre de 1 0 6 0 qui d finit la position d un p riph rique gain di
180. uyau d chappement de pompe pr vidage de refoulement primaire vers l ext rieur de la pi ce en utilisant le branchement sur les chappements de la pompe Ce dispositif peut contribuer r duire le comptage en cause ainsi que le signal de fond de l h lium Q Lorsque des pompes m caniques lubrifi es l huile sont utilis es un dispositif de suppression de brouillard d huile peut tre install sur l chappement de la pompe m canique afin de r duire le brouillard d huile provenant de l chappement Les dispositifs de suppression de brouillard d huile sont toutefois sujets saturation l huile ayant pour effet de r duire la vitesse de pompage et d accro tre le signal de fond de l h lium dans le d tecteur de fuites L intervalle du d lai de remplacement du dispositif de suppression de brouillard d huile varie selon que l utilisateur op re fr quemment des pressions de pr vidage qu il pompe des volumes importants ou qu il modifie fr quemment les cycles du syst me Reportez vous la Section 4 6 Liste de pi ces d tach es du 979 la page 4 24 et la Section 4 7 Liste d l ments d accessoires 979 la page 4 26 concernant le dispositif de suppression de brouillard d huile et le num ro de pi ce de la cartouche de remplacement 1 4 Pr paration en vue du fonctionnement Les r glages avant utilisation sont minimaux pour le d tecteur de fuites de la s rie 979 Des pompes vide
181. y KT 12 2QF Royaume Uni T l 44 1932 89 8000 Fax 44 1932 22 8769 Etats Unis Varian Inc 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 Etats Unis T l 781 861 7200 Fax 781 860 5437 Autres pays Varian Inc Via F lli Varian 54 10040 Leini Torino Italie T l 39 011 997 9 111 Fax 39 011 997 9 350 Service et support client Am rique du Nord T l 1 800 882 7426 appel gratuit Vtl technical support varianinc com Europe T l 00 800 234 234 00 appel gratuit Vtl technical support varianinc com Japon T l 81 3 5232 1253 ligne d di e Vtj technical support varianinc com Cor e T l 82 2 3452 2452 ligne d di e vtk technical support varianinc com Taiwan T l O 800 051 342 appel gratuit vtw technical support varianinc com Site Internet international Demande de catalogue et Commandes en ligne WwWw varianinc com Repr sentants dans la plupart des pays avh TA VARIAN
182. yant DEL de l indicateur du DETECTEUR s allume lorsque le mode DETECTEUR est activ Lorsque le d tecteur de fuites est en mode VENT VENT Appuyez sur le bouton D TECTEUR MARCHE ARR T pour lancer le cycle de test Cette man uvre verrouille le d tecteur en mode CONTRA FLOWTM LEAK d terminant automatiquement les mesures effectu es par le biais de quatre d cades en diminuant jusqu la tranche la plus sensible existant compte tenu de la configuration existante du d tecteur de fuites Si le d tecteur de fuites est en mode TEST le fait d appuyer sur le bouton MARCHE ARRET DETECTEUR permet d ex cuter la m me fonction l exception de la mise en uvre de la s quence de lancement de cycle de test Lorsque l appareil se trouve en mode D TECTEUR appuyez sur le bouton MARCHE ARRET DETECTEUR pour basculer nouveau le d tecteur de fuites en mode de TEST normal configur 2 5 D tecteur de fuites mod le s rie 979 avec spectrom tre de masse l h lium 2 2 1 Proc dure d installation de d tecteur 1 4 Ventilez le 979 et ins rez une sonde lectrique Vacuum Technologies Num ro de Pi ce K9565306 dans la prise de test Pour des configurations de sonde d alimentation lectrique suppl mentaires reportez vous au catalogue des produits Fixez un arr t de tranche 10 07 voir Sch ma 2 12 la page 2 22 V rifiez la lecture de la pression de la prise de test sur l cran tactile et r glez la s

Série modèle 979 Détecteur de fuite muni d`un spectromètre de

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