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Operating Instructione

1. 2 2 13 1 Keylock Switch 25 2 2 13 2 Multi Function Interface 27 2 23 8 Trigger Outputs Trigger 1 2 28 2 2 13 4 Driving of the Partial Flow 29 2 2 13 5 Remote Control of the Leak Testing Functions 30 2 2 13 6 Analog voltage outputs 30 2 2 13 7 Analog voltage output for ihe inlet pressure pe 31 2 2 13 8 Headset Socket 32 2 2 13 9 Camying Chain 32 2 2 13 10 Connection between Control Unit and Leak Detection Module 32 23 Initia Start Up and Evacuation ot a Test Object 34 2 3 1 Entering time and date 36 24 Operating Modes 37 2 4 1 Overview of the operating modes 37 24 2 Vacuum Leak Detection with Test Object 88 24 8 Handling of the Test for Local or Integral Leak Detection 38 24 3 1 Local Leak Detection 38 2 4 3 2 Determination of Response Time e 39 2 4 3 3 Integral Leak Detection 39 244 Special Features of Large Volume Test Objects 39 2 4 5 Special Features of Small Volume Test Objects 39 2 4 6 Special Features of Low and High Leak Rates 40 24 61 Low Leak Rates 40 24 6 2 High Leak Rates 40 247 Special Leak Detection Procedures 40 2 4 7 1 Optional Partial Flow Pump Set TPSUL 100 PLUS 40 24 7 2 Other pump sets 42 2 4 7 8 Leak Detection Module without Pump Module 43 2 4 7 4 Leak Detection Module with another
2. Vakuum Me und LEYBOLD AG Vakuumtechnik Verfahrenstechnik Analysentechnik L H Ein Unternehmen der Degussa LEYBOLD GA 10 207 4 Gebrauchsanweisung Operating Instructions Mode d emploi ULTRATEST UL 100 PLUS Helium Leck Detektor Portable Helium Leak Detector Portable D tecteur de fuites h lium portatif Software Version Version 3 x du logiciel 155 82 155 83 896 38 ACHTUNG Vor Jeder Inanspruchnahme des Services ist es aus Gr nden der Arbettssicherhelt und des Umweltschutz es notwendig am oder im Ger t befindliche jef hrii che Stoffe 28 im Sinne EG Richtiinie L 380 1976 11979 oder VBG 16 anzuzeigen und zu deklarleren Inhalt 1 Beschreibung 4 11 Allgemeine Angaben 4 1 1 1 Bezeichnung 5 1 1 2 Verwendungszweck 5 1 1 3 Kennzeichnungsstelle 5 1 1 4 Baugruppen bersicht 5 12 Technische Daten 6 1241 Physikalische Daten 6 1 2 2 Elektrische Daten vc 1 2 3 Sonstige Daten 7 13 Technische Beschreibung 8 1 3 1 Beschreibung des Nachweis Prinzips Gegenstrom 9 1 3 1 1 Ventiistellung cee 1 3 2 Vorvakuumpumpe 10 1 33 Turbo Molekularpumpe 10 134 Massenspektrometer 10 13 5 tonenquelle 11 1 3 6 lonenf nger und Verst rker 11 1 4 Ausstattung 12 1 4 1 Lieferumfang 12 142 Zubeh r 12 2 Bedienung und Betrieb 14 2 1 Aufstellen des UL 100 PLUS 14 2 1 1
3. 1 2 Technische Daten Hinwels Die angegebenen technischen Daten beziehen sich auf das Lecksuch Modul in Verbindung mit dem Pump Modul Sicherheiteangaben Das Ger t erf llt Schutzklasse 1 nach VDE 0411 IEC 348 1 2 1 Physikalische Daten Kleinste nachweisbare Leckrate 2407 mbar kel Zeitkonstante blindgeflanscht 158 Gr te anzeigbare Leckrate ohne Teilstrom Pumps 10 mbar I s mit Teilstrom Pumpsatz 10 mbar s Max Einta druck 0 2 mbar Max Einla druck mit Teilstrompumpsatz 100 mbar Anzeigebereiche Me bereichsumfang ohne Teilstrom Pumpsatz 8 Dekaden Me bereichsumfang mit Teilstrom Pumpsatz 11 Dekaden Leckraten Anzeige logarithmisch 2 Dekaden mit 15 Schritten ja Dekade separate Exponenten Anzeige 0 1 mbar bis 100 mbar logarithmisch in 15 Schritten Einla druck Leak detection module with Remote control unit 1 1 Turbo molecular pump TURBOVAC 50 1 2 Mass spectrometer 1 3 Electronics unit 1 4 Valve block 1 5 Pump module with Backing pump TRIVAC D 1 6 B 1 2 Technical Data Note The technical data below relate to the leak detection module used in conjunction with the pump module Satety The instrument meets the specifications of protection class 1 according to VDE 0411 IEC 348 12 1 Physical Data Minimum detectable leak rate 2107 mbar Lei Time constant with blind fiange lt 158 Maximum indicatable leak rate without partial flow pump
4. Die Minuten k nnen mit den Werteingabe tasten 4 6 und 4 19 ver ndert oder mit der Taste Zero 4 14 auf 00 r ckgesetzt werden Die Taste ENTER 4 13 best tigt den an gezeigten Wert und f hrt zur Anzeige des Da tums DATE Nach ca 1 s erscheint der ein gestellt Tag D xx Die Tage k nnen mit den Werteingabetasten 4 6 und 4 19 ver ndert oder mit der Taste Zero 4 14 auf 01 r ckgesetzt werden Die Taste ENTER 4 13 best tigt den an gezeigten Wert und f hrt zur Anzeige des Mo nats Mx Die Monate k nnen mit den Wertein gabetasten 4 6 und 4 19 ver ndert oder mit der Taste Zero 4 14 aut 01 r ckgesetzt werden Die Taste ENTER 4 13 best tigt den an gezeigten Wert und f hrt zur Anzeige des Jahres Jean Die Jahre k nnen mit den Werteingabetasten 4 6 und 4 19 ver ndert oder mit der Taste Zero 4 14 auf 90 r ckgesetzt werden Die Taste ENTER 4 13 best tigt den an gezeigten Wert und zeigt nochmals die ge w hlten Einstellungen von Baudrate Zeit und Datum Der UL 100 PLUS kann nach Einstellung des SERVICE NORMAL Schlitzschalters 25 2 in Stellung NORMAL und einer an schlie enden autom Initialisierungsphase alle Funktionen wieder ausf hren Hinweis Die Ventilstellung OFFEN wird jeweils durch eine leuchtende LED angezeigt Pressing the Automatic tigger logic push button 4 18 starts the display and modi ficatio
5. Schl sselschalter Kopfh rer Anschlu Multifunktions Schnittstelle Schlo f r Umhangekette Abb 10 Testanschl ssa Fig 10 Test connections Fig 10 Raccords test 2 2 12 Test Connection Besides its normal test connection 10 1 the UL 100 PLUS has an additional intake port 10 3 The latter is used for connecting the partial flow pump set option It may also be used as test connection if it is more readily accessible because of the dimensions of the test object In this case the test connection 10 1 must be closed with a blind flange Then loosen the four socket hex screws 11 6 and push the blind plate out 11 7 uang the four winged forcing screws The intake flange 10 3 is included in the ac cessories supplied It can now be mounted with the associated gasket using the four socket hex screws 10 2 2 243 Additional Features The UL 100 PLUS has four additional fea tures Keylock switch Headset socket Multi function Interface Lock for carrying chain AbbJFig 11 Erl uterungen zur Abb 10 Testanschlu 2 Innensechskantschraube 3 Zusatzflansch d Lecksuch Modul Key to Fig 10 13 Test connection 2 Hex screw 3 Supplementary flange 4 Leak detection module L gende de la flg 16 Raccord test Vis six pans creux Raccord test lateral additionnel Module d tecteur aone 2 2 12 Raccord test Outre le raccord test normal 10 1 le d tecteur UL 1
6. roi lat rale 30 4 Retirer les deux vis 6 pans creux 30 2 avec une cl de 5 mm Repousser le capot 30 1 du module d tec teur dans le sens longitudinal c d vers le ra amp cord test d env 20 mm Soulever le capot d env 30 mm Continuer pousser le capot dans la lon gueur et retirer prudemment la carte micro processeur en la faisant glisser dans les rainures jusqu ce que le capot puisse tre retir Retourner prudemment la carte micro processeur pour pouvoir acc der aux compo sants 3 3 3 Remplacement des EPROM programme Outillage et mat riel Cl pour vis 6 pans creux de 5 mm Tournevis plat de 5 mm Extracteur de IC ou tournevis plat de 3 mm ou pincette coud e Jeu de deux EPROM avec nouvelle version du logiciel Proc dure Ouvrir UL 100 PLUS comme d crit dans la section 3 3 2 D gager les deux EPROM 31 4 et 31 5 pru demment de leur socle en utilisant une pincette coudes un petit tournevis ou un extracteur de IC fig 25 ou sch ma d appareillage CPU BIMO1 no 200 27 290 Placer le ter EPROM 31 5 de la nouvelle version du logiciel design e par B 4 3 R2 x dans la position D14 juste c t du micropro cessour D13 TMS 9995 et dans le m me sens que celui ci encoche frontale 31 8 doit tre orient e dans le m me sens Das 2 EPROM 31 4 der neuen Software Version mit der Bezeichnung R2 x ist in Positi on D15 in de
7. 4 8 Indication et r glage de PE PV vitesse de transmission heure et date Indication cyclique d un nombre 0 255 correspondant la pression d admission PE xx La touche manuelle 4 8 permet de com muter entre l indication de la pression vide primaire PV xxx et l indication de la pres sion d admission PE oa Apr s le rempla cement d un capteur PV ou PE it faut quilibrer la consigne sur 246 la pression atmosph rique La touche ENTER 4 13 interrompt l indication cyclique Remarque Mettre TMP hors circuit pour quilibrer PV Mit der Taste Automatik Triggerlogik 4 18 beginnt nun Anzeige und Anderung von Baud rate Datum und Zeit Die Taste ENTER 4 13 bestatigt jeweils den angezeigten Wert und f hrt zur n chsten Darstellung Es erscheint zun chst MODIFY VALUES OF BAUD TIME AND DATE AnschlieBend wird die Baudrate angezeigt BAUD xx Der angezeigte Wert xx kann mit den Werteingabetasten 4 8 und 4 19 ver ndert oder mit der Taste Zero 4 14 auf 9600 r ckgesetzt werden Die Taste ENTER 4 13 best tigt den an gezeigten Wert und f hrt zur Anzeige der Uhr zeit TIME Nach ca 1 s erscheinen die Stunden H xx Die Stunden k nnen mit den Werteingabetasten 4 6 und 4 19 ver ndert oder mit der Taste Zero 4 14 auf Q0 r ckgesatzt werden Die Taste ENTER 4 13 best tigt den an gezeigten Wert und f hrt zur Anzeige der Mi nuta Mox
8. Mettre UL 100 PLUS en service comme d ha bitude pour v rifier si l installation de la version du logiciel donne satisfaction La nouvelle version du logiciel doit appara tre dans l affichage Lorsque l appareil atteint le mode STBY les fonctions d crites dans 2 doivent tre ex cutables Renvoyer s v p les anciens EPROM LEY BOLD AG Service APE 22 bo te postale 510 760 5000 Cologne 51 RFA 3 4 Service Le rapport d tat donne des informations im portantes pour les r parations concernant l tat interne de UL 100 PLUS Toutefois le rapport d tat n est lisible que par l interface RS 232 C Voir pour cela la description de l interface SB 10 207 Remarques g n rales Nous nous r servons le droit de modifier la construction et les indications donn es Les figures sont sans engagement Telefon 0221 347 0 Telefax 0221 347 1250 Telex 888481 20 Ih d Printed in Germany
9. Relais excit Contact ferm REJECT Relais d sexcit Contact ouvert REJECT Relais excit Contact ferm ACCEPT Relais d sexcit Contact ouvert REJECT 21 2 2 8 3 Sondertunktion Trigger 1 und 2 Ger tezustand St rmeldung Zum Einstellen dieser Sonderfunktion der Trig ger 1 und 2 m ssen die Trigger durch Dr cken der Taste Automatik Triggerlogik 4 18 invers geschaltet werden im Inversmodus kann Trigger 1 die Funktion als St rmeldung bernehmen Bedingung hierf r ist da mit der Werteinga be Taste 4 19 der invertierte Trigger in einen Bereich eingestellt wird in dem keine Leckrate angezeigt werden kann z B gt 1109 mbar s Plus Exponent Die Eingabe mu mit Taste ENTER 4 13 best tigt werden Bei einer Fehlermeldung wird der Kontakt 10 und 11 an der Multifunktions Schnittstelle sie he Absch 2 2 13 2 ge ffnet Somit ist durch externe Beschaltung eine Fehlermeldung m g lich Bereitmeldung Zum Einstellen dieser Sonderfunktion der Trig ger 1 und 2 m ssen die Trigger durch Dr cken der Taste Automatik Triggerlogik 4 18 invers geschaltet werden Im Inversmodus kann Trigger 2 die Funktion als Bereitmeldung bernehmen Bedingung hierf r ist daB mit der Wertein gabe Taste 4 19 der invertierte Trigger in ei nen Bereich eingestellt wird in dem keine Leckrata angezeigt werden kann z B gt 1 109 mbar s Plus Exponent Die Ein gabe mu mit Taste EN
10. ein eventueller Untergrund wird wieder als Leckrate angezeigt 22 7 Multifunktions Taste Akustisches Signal Hinweis Die Bet tigung dieser Taste und ihre Funktion k nnen in allen Betriebsarten erfolgen Mit der Multifunktions Taste Akustisches Sig nal 4 16 kann die Lautst rke bzw der Ein The value of the parameter is increased by pressing pushbutton 4 19 and decreased by pressing pushbutton 4 6 The entry does not take effect until the ENTER pushbutton 4 13 has been depressed 2 24 Range Selector Pushbutton Automatic Trigger logic By depressing the automatic measuring range selector 4 18 the UL 100 PLUS automati cally chooses the right measuring range and indicates it on the combined indicator 4 3 To perform testing and measurement without de lays it is advisable to set the UL 100 PLUS to automatic operation As a special function this pushbutton is used to switch between normal and inverse mode during the programming process of the trig gers sce section 2 2 8 2 2 2 5 Measuring Range Selector Man ual If the manual measuring range selector 4 8 is depressed automatic selection of the right measuring range is switched off The mea suring range must now be entered with the parameter pushbuttons 4 19 and 4 6 and can be read off directly at the exponents 4 4 and 4 5 This function is indicated by the LED 4 7 on the measuring range selector When the optional partial flow
11. wird der Vorvakuumdruck von py lt 0 1 mbar inner halb 3 min nach Inbetriebnahme nicht erreicht Fehlerursachen k nnen sein das Pumpmodul fehlt der Vorvakuumbereich einschlie lich Vaku umkupplung enth lt ein grobes Leck die Vorvakuumpumpe l uft nicht an oder erreicht die Nenndrehzahl nicht die Ventilsteuerung arbeitet fehlerhaft siehe unter CONT ERO6 Die Drehzahl der TMP 50 liegt unterhalb 63 000 mint siehe unter CONT ERO7 Der Offset des Elektrometerverst rkers ist kleiner 15 mV siehe unter CONT ER08 Der Offset des Elektrometerverst rkers ist gr er 90 mV siehe unter CONT Normalerweise betr gt der Offset ca 50 mV EROS Die lonenquelle ist defekt Bruch beider Katoden oder Fehler in der Massenspektro meter Versorgung ER10 Die Fehlermeldung ER 10 erscheint bei ei nem Fehler im batteriegepufferten Speicher Die Grundeinstellung wird durchgef hrt Diese Fehlermeldung wird nur in der Initialiste rungsphase abwechselnd durch ER 10 INIT angezeigt ER21 W hrend des Hochlaufes SNIF wird der Einla druck pe innerhalb von 2 min nach Inbetriebnahme nicht erreicht Fehlerursachen k nnen sein VakuumanschluB zwischen und Schn ffler undicht Schn ffelleitung undicht Schn ffelspitze defekt siehe unter CONT Nach Auftreten eines im Status Fehler Display angezeigten Fehlers wechselt die Anzeige periodisch zwischen der Fehle
12. 28 1 Rapid fasteners 2 Side 9 Dust filter 4 Insert of the air tube i gende de la fig 28 Verrous rapides Paro lat rale Filtre air Place du tube alr aon unten ziehen Hierbei schiebt sich gleich zeitig der Ansatz 28 4 mit Luftrohr aus der F hrungsschiene die fest an der Seiten wand montiert ist Erdverbindung an der Seitenwand abziehen Luftfilter 28 3 aus der F hrungsschiene der Seitenwand herausziehen Der Luftfilter be Steht aus einem Metallgitter mit aufgeklebter Filterwatte Luftfilter wechseln Einbau Der neue Luftfilter in die erste F hrungs Schiene die der Seitenwand am n chsten ist einschieben Erdleitung an den Stecker der Seitenwand aufstecken Seitenwand so ansetzen da der Ansatz 28 4 mit Luftrohr in die verbleibende F tirungsnut hinter dem Luftfilter einrastet Seitenwand vorsichtig nach oben schieben und in den Geh userahmen einlegen Schnellverschl sse schlie en 3 2 4 Wechsel der lonenquelle Ben tigtes Werkzeug Schraubendreher 1 0 x 5 5mm Innensechskantschl ssel SW4 UL 100 PLUS ausschalten Netzstecker vom Ger t abziehen Seitenwand ber dem elektrischen Anschlu feld wie im Abschnitt 3 2 3 beschrieben ab nehmen rl uterungen zur Abb 29 Sicherung f r 24 V Mikroprozessorversorgung Massanspektrometergeh use Vier Innensechskantschrauben lonenquelle Seen iberwurli Gewinde f r Abdr ckschraube Flansch er to Fig 20
13. 6 After the response time has elapsed the leak rate if any is displayed See No 7 Status LED 4 1 goes out The leak rate display goes out Exponent and zero LED 4 21 are on 2 3 Mise en service et vacuation d une pi ce Remarque Les positions num ro 1 3 et 4 sont ex cuter pour la premi re mise en service Indication R action Etape Activit 1 Installation de UL 100 PLUS comme dans la section 2 1 2 Alimenter UL 100 PLUS avec la tension secteur n cessaire 3 Basculer l unit lectronique CF section 2 7 V ritier la position de base des interrupteurs du panneau de service fig 25 Fermer la tubuiure d admission avec une bride aveugle Placer l interrupteur secteur MARCHE ARRET 8 7 Sur MARCHE 6 Actionner bri vement la touche START 4 24 7 Actionner longuement gt 2 s la touche STOPNENT 4 2 8 Ouvrir le raccord d admission 9 Raccorder la pi ce 10 Actionner brievement la touche START 4 24 11 Asperger la pi ce h lium 12 Actionner longuement gt 2 s la touche STOP VENT 4 2 CF no 7 13 D gager la pi amp ce Fermer le raccord d admission avec une bride aveugle ou raccorder une nouvelle piece Remarque On peut interrompre la mesure en actionnant bri vement la touche STOPAVENT Commutateur fente 26 2 sur NORMAL Tous les commutateurs 26 13 en position auto S lecteur de masse 26 11 sur M4 Initialisation de UL 100 PL
14. Quatre facteurs de calibrage sont m moris s facteur GROSS facteur FINE facteur ULTRA facteur SNIFF Pour le calibrage en ULTRA les facteurs GROSS et FINE sont calcul s partir du fac teur ULTRA Cette conversion n est valable que pour un service avec l option groupe de pompage flux partiel avec D 25 B Avec d autres installations ou pompes flux partiel il faut galement caliber dans les gammes GROSS et FINE Pour obtenir le taux de fuite calibr la sortie de Signal analogique section 2 2 13 6 ou l interface V 24 offrent une meilleure r solution que l affichage combin de l unit de comman de Avec l interface V 24 on peut sortir le taux de fuite sur un terminal ou une imprimante en actionnant la touche START It est pr f rable d effectuer une syntonisation avant chaque calibrage 2 6 1 Syntonisation La syntonisation sert quilibrer le spectro m tre de masse sur la sensibilit maximale On fait varier la tension d acc l ration des ions dans la gamme de masse choisie jusqu l enregistrement d un courant ionique maximal sur le collecteur d ions Pour la syntonisation il faut que l unit lectro nique avec le panneau de commande soit bas cul e et que la fuite calibr e soit ouverte Le spectrom tre de masse peut maintenant tre regl par le potentiom tre M4 26 12 sur sensibilit maximale L affichage du taux de fuite sort galement un maximum 2 8 2 Calibrage a
15. bar Das Lecksuch Modul ist vom Pump Modul abnehmbar und dadurch auch einzeln zB zu Servicearbeiten an Vakuumanlagen einfach einzusetzen An das Lecksuch Modul ist jede andere geei gnete Vorvakuumpumpe ber die Trennstelle der beiden Ger tebaugruppen anschlieBbar wenn ein gr eres Saugverm gen am Testan schluB und damit k rzere Pumpzeiten ben tigt werden Der UL 100 PLUS ist mit einem Teilstrom Pumpsatz besonders f r groBvolumige Pr fob jekte mit hohen Leckraten geeignet Leck ratennachweis und messung sind dann be reits ab 100 mbar Einta druck m glich 14 3 Kennzeichnungsstelle Ein Typen und Leistungsschild ist beim UL 100 PLUS an zwei Stellen angebracht Oberhalb des elektrischen AnschluBfeldes unter dem Tragegriff siehe Abb 8 Auf der R ckseite der Bedieneinheit 1 1 4 Baugruppen bersicht Der UL 100 PLUS besteht aus zwei Haupt baugruppen Caretully examine the UL 100 PLUS visually Examine the remote contro unit and connect ing lead to ensure that no damage has oc curred in transit If any damage is discovered report it im mediately to the forwarding agent and insurer If the damaged part has to be replaced get in touch with the orders department 1 1 1 Designation Full designation Portable Helium Leak Detector ULTRATEST UL 100 PLUS Leak detection module Pump module Short designation UL 100 PLUS 1 1 2 Purpose The Helium Leak Detector UL 100 PLUS is a
16. been completed further operation is carried out with the START 4 24 and STOP VENT 4 2 pushbuttons By briefly depressing the START pushbut ton 4 24 the test object is evacuated during which time the status LED 4 1 is green The dropping intake pressure pg is shown on the combined indicator 4 3 until pressure pe is lt 0 2 mbar At this value of the intake pressure the combined indicator 4 3 auto matically changes over to leak rate indication instead of inlet pressure indication During indication of a leak rate in the mea suring mode each depressing of the START pushbutton will output the displayed leak rate on a printer if connected PRINT ONLY mode see instructions for the interface SB 10 207 Pushbutton STOP VENT When the UL 100 PLUS is in the measure ment mode evacuation of the test object can be interrupted by briefly pressing the STOP VENT 4 2 pushbutton once The UL 100 PLUS then sets itself to standby This condition is indicated to the operator as follows The displayed leak rate disappears LED s 4 3 are all off The red green status LED 4 1 is off The exponents are still visible The status error diplay 26 1 on the service panel indicates STBY The zero LED 4 21 is on After pressing STOP VENT 4 2 the selt alignment process of the UL 100 PLUS is started Both internal helium background and electrical zero shift are determined By
17. e Remarque L affichage d tat 26 1 du panneau de service indique ER21 si la pression d admission n est pas atteinte en l espace de 2 min Pour sortir du mode renifleur Enfoncer la cl no 6 dans la fente de l unit de commande et actionner la touche EN TER 4 13 UL 100 PLUS passe en mode Stand By 2 2 13 2 Interface multifonction On trouve trois prises femelles sur la face arri re du clapet 11 8 sous l unit de com mande 11 1 interface multifonction 25 p les 12 1 Sorties enregistreurs 6 p les 12 2 sorties de relais 9 p les 12 3 Des sorties de tension analogiques sont dispo nibles pour le taux de fuite et l identification de gamme de mesure ainsi que des contacts iso l s de relais pour les deux seuils triggers r gia bles pour signaler les limites de taux de fuite Une interface s rielle d ordinateur V 24 RS 232 C est comprise dans l quipement standard Le d tecteur UL 100 PLUS peut donc tre raccor d avec des p riph riques d enregistrement comme des enregistreurs ou imprimantes Cf Ja l g de la fig 13 pour l affectation exacte de l interface multifonction 12 1 MULTIFUNCTION 13 12 11 10 9 8 7 6 5 4 3 21 25 24 23 22 21 20 19 18 17 16 15 14 4 RELAY OUTPUT 432 RECORDER o 27 131211 10 9 8 7 6 5 4 3 2 1 25 24 23 22 21 20 19 18 17 16 15 14 Abb 13 Multifunktlons Ausgang Fig 13 Multl functlon output Fig 13 Sortie multitonctio
18. e externe CF section 2 6 3 z Le point capital est que ce calibrage une fois ex cut il ne vaut que pour les conditions pr cises du reniflement distance et vitesse par rapport la position de la fuite Pour les facteurs de correction ventuels pour les concentrations d h lium lt 100 ou pour diff rentes pressions des pi ces voir le mode d emploi correspondant au renifleur Le facteur de calibrage et ie mode SNIF per sistent m me apr s la mise hors circuit de l appareil En mode mesure la touche STOP VENT est verrouill e En enfon ant nouveau la cl 6 et en actionnant la touche ENTER on annule la fonction reniflement L appareil passe en mode Stand By Im Schn ffelbetrieb kann der Fernsteuerein gang PUMPEN Pin Nr 18 der Muitifunkti onsschnittstelle zur Helium Untergrundbestim mung genutzt werden Dazu mu ein Schalter im Schn ffelspitzen Halter montiert und mit dem Fernsteuereingang zwischen Pin Nr 16 und Pin Nr 18 der Multifunktionsschnittsteile verbunden werden Die Funktion dieses Fernsteuereinganges ist vergleichbar mit der Nullpunkt Taste 4 14 der Bedieneinheit Abschnitt 2 2 6 Der Schalter mu so eingebaut werden da bei Entnahme der Schn ffelspitze aus der Hal terung der Kontakt ge ffnet und somit der He liumuntergrund unterdr ckt wird Die Helium Untergrundunterdr ckung wird durch die blinkende Null Indikator LED 4 21 angezeigt 2 4 8 1 Lecksuche mit
19. lectronique 25 3 Un affichage d erreur alphanum rique 26 1 facilite norm ment les travaux de maintenance ou de remise en tat en signalant les erreurs du d tecteur UL 100 PLUS au moyen d un Code Il est galement possible de contr ler toutes les tensions importantes de l appareil sur les points de mesure TEST OUTPUTS 26 3 D signation et signification des diverses fiches 26 3 femelles de contr le VN11 Tension d alimentation n g stabilis e 11 5 15 5 V VP2 Tension d alimentation non stabilis e 20 0 30 V CP Horloge interne pour l alimentation du spectrom tre de masse f 68 kHz 5 5 Vpp IAP Valeur effective du potentiel d anode 4 3 4 9 V x100 pour masse 4 VP11 Tension d alimentation pos stabilis e 11 5 15 5 V V02 Masse de r f rence pour potentiels de contr le ISP Valeur effective du potentie de sup presseur 3 0 3 4 V x100 IKP Valeur effective du potentiel de cat hode 3 5 4 1 V x100 pour masse 4 2 7 1 Indication d tats Signification des divers messages d tat INIT INIT est indiqu pendant quelques secondes apr s la mise en circuit de UL 100 PLUS pen dant la mont e en r gime Indication courante Apr s la mise en circuit de UL 100 PLUS l indication suivante se d roule sur l affichage d tat 26 1 UL 100 PLUS VERSION 2 0 DATE TIME x x xx ACCL Accelerate apr s l initialisation la commande par microprocesseur
20. tec tions de fuites locale et int grale 2 43 1 D tection de fuite locale Dans ce cas la pi ce raccord e 21 2 ne doit pas tre trop asperg e d h lium aux endroits douteux Il est alors conseill d utiliser un pistolet d aspersion buse fine 21 4 H est n cessaire de boucher les fuites d j d tect es en appliquant de l alcool si l on veut d tecter des fuites tr s fines proximit de celles d j d tect es L aspersion de la pi ce doit durer au moins autant que le temps de r ponse de l appareil d termin avec une fuite calibr e autrement la fuite peut tre ignor e ou mal localis e Erl uterungen zur Abb 21 UL 100 PLUS Pr lliag Abschirmung Spr hpistole 100 Helium Leckstelte Anschlu flansch ey to Fig 21 UL 100 PLUS Test object Shield Spray gun 100 hellum Leak Connecting flanga gende de la fig 21 UL 100 PLUS Eprouvette isolation Pistolet d aspersion Helium 100 Fuite Brida de raccordement znsauaun NOU SON F NON AWN Erl uterungen zur Abb 22 UL 100 PLUS Pr fling H lle Helium Pr flings Leck Anschlu flansch ey to Fig 22 UL 100 PLUS Test object Enclosure Hellum Leak of test object Connection flange gende de la fig 22 UL 100 PLUS Eprouvette Sac H lium Fuite de l prouvette Bride de raccordement x anaun uaun r anaun 2 4 3 2 Bestimmung der Ansprechzeit Zur Bestimmung der Ansprechzeit wird ein Testleck an der vom Tes
21. unterdr cken Schn ffelspitze vor die ffnung des Schn ffel Testlecks halten Durch Dr cken der Werteingabetasten 4 19 und 4 6 wird die auf dem Testieck aufge druckte Leckrate eingestellt Der Kalibriervorgang ist nach dem Dr cken der Taste ENTER abgeschlossen Der Faktor SNIFF ist damit bestimmt Bei zu geringer Empfindlichkeit kann beim Ka librieren mit der Taste HAND auf die andere Katode umgeschaltet werden Der Kalibriervorgang kann jederzeit durch Dr cken der Taste Trigger und Kalibrierung abgebrochen werden 48 electronics unit with the service panel must be folded out ULTRA V1 and V2 open FINE V1 V2 andVext open GROSS V1 2 V2 and Vext open Vext external partial flow valve of the optional partial flow pump set The calibration factors should be determined in the following order ULTRA with TL 8 FINE with TL 8 and GROSS with TL 4 6 For this the calibrated leak TL 4 6 may be calibrated in the FINE range Each calibration factor requires its own cali bration run However the mass spectrometer may only be aligned once When the sensitivity is too low during calibra tion it is possible to manually switch over to the other cathode by pressing the MANUAL pushbutton The calibration process may be terminated at any time by pressing the pushbuttons STOP or Trigger and Calibrate 2 6 4 Calibration in the sniffer mode Hold the tip of the sniffer up into the ai
22. von den Magnetverschl ssen 6 6 abgehoben und nach unten herausgenommen Jetzt k nnen beide Fl gelschrauben 6 2 und 6 4 hochgeklappt und durch eine Rechts drehung geschlossen werden Das Lecksuch Modul ist nun vakuumdicht mit dem Pump Modul verbunden Abdeckblech 7 1 schr g an das Pump Modul 7 2 ansetzen und unten gegen die Magnetverschl sse 6 6 andr k ken Beim Trennen des Lecksuch Moduls vom Pump Modul ist entsprechend in umgekehrter Reihenfolge vorzugehen Die im Pump Modul eingebaute Drehschieber Vakuumpumpe ist betriebsbereit mit I gef llt Erl uterungen zur Abb 6 Typenschild TRIVAC D 1 8 8 Verriegalung f r Vakuum Kupplung ge ffnet Lecksuch Modul Varriegalung f r Vakuum Kupplung geschlossen Pump Modul Magnetverschlu z onson ey to Fig 6 Name plate TRIVAC D 1 6 B Locking device for vacuum coupling open Leak detection module Locking device for vacuum coupling closed Pump module Magnetic fastener gende de la tlg 5 Plaque signal tique de TRIVAC D 1 6 8 Verrouillage de l accouplament sous vide ouvert Module d tecteur Verrouillage de l accouplement sous vide ferm Module pompe Verrou magn tique ausun r anaon Abb Fig 5 2 1 2 Preparations for Initial Start Up The UL 100 PLUS is supplied in ready to operate condition The pump module is al ready connected to the leak detection module H these two modules are still separate the leak detection module
23. 11 Robinet de lest d air Le robinet de lest d air de la pompe vide pri maire incorpor e dans le d tecteur UL 100 PLUS se manipule par l ext rieur II faut pour cela retirer la poign e 9 4 et d monter la cou verture 7 3 On peut alors pousser le levier de commande 9 3 vers l utilisateur pour ouvrir le robinet de lest d air devrait rester ouvert pendant quel ques minutes Le robinet est ferm quand le levier de commande 9 3 est positionn contre la pompe vide primaire Remarque Le robinet de lest d air doit tre toujours ferm pendant le transport Abb Fig 9 23 Abb Fig 10 2 2 12 Testanschlu Der UL 100 PLUS verf gt neben dem nor malen Testanschluf 10 1 ber einen Zusatz flansch 10 3 Er dient zum Anschlu des Teilstrom Pumpsatzes Option Ferner be steht de M glichkeit ihn ebenfalls als Testan SchluB zu benutzen wenn er aus Gr nden der Pr flingsgeometrie besser zug nglich ist Dazu mu der Testanschlu 10 1 mit einem Blind flansch verschlossen werden Dann vier Innensechskantschrauben 11 6 ausschrauben und Blindplatte 11 7 mit den Fl gelschrauben herausdr cken Der Zusatzflansch 10 3 ist im Lieferumfang enthaiten er kann nun einschlie lich der zuge h rigen Dichtung mit vier Innensechskant schrauben 10 2 angeschraubt werden 2 2 13 Zus tzliche Bedieneinrichtungen Der UL 100 PLUS verf gt ber vier zus tz liche Gedieneinrichtungen
24. 114 12 6 1 2 1 6 1 2 2 7 1 2 3 7 1 3 Technical Description 8 1 3 1 Description of Leak Detection Principle Counterflow 1 3 1 1 Valve positions 1 3 2 Backing Pump 13 3 Turbo Molecular Pump 1 3 4 Mass Spectrometer 1 3 5 Jon Source 1 8 6 lon Collector and Amplifier 11 14 12 1 4 1 12 14 2 12 2 Le stresse 14 poration 24 Setting Up the UL 100 PLUS 14 2 1 1 Layout of Controls and Displays 14 2 1 2 Preparations for Initial 15 2 1 3 16 2 2 16 2 2 1 16 2 2 1 1 16 2 2 1 2 17 2 2 1 3 Mains Outlet for Auxiliary quipment 17 2 2 2 Pushbutton START and STOPAENT 17 223 Parameter Pushbutton 18 2 2 4 Range Selector Pushbutton Automatic Trigger logic 19 2 2 5 Measuring Range Selector Manual 18 2 2 6 Pushbutton Auto Zero 19 2 2 7 Multi Function Pushbutton Acoustic Signal 19 228 Multi Function Pushbutton Trigger and Calibration 20 2 2 8 1 Function Trigger 1 and 2 Normal 20 2 2 8 2 Function Trigger 1 and 2 Invers 21 2 2 8 8 Special function Trigger 1 and 2 equipment status 22 2 2 8 4 Function Calibration 22 2 2 9 2 2 10 2 2 11 2 2 12 2 2 13 ENTIONI Pour des raisons fi es la s curit et l environnement pri re d indiquer chaque demande d intervention du service apr s vente les produits dangereux p ex au terme des directives de l
25. 18 Status Contact 19 Contact 18 Status ov ov Locar DN ov Loca z20V ov STBY 220V ov STBY ov 220 V MEAS ov 220V MEAS 20V z20V VENT z20V 220V VENT Bei Local dem Normalzustand des UL 100 in the local mode this being the norma mode PLUS lassen sich alle Tastaturfunktionen ber of the UL 100 PLUS all rd functions die Bedieneinheit wie bisher beschrieben be autzen Befindet sich an einem oder beiden Fernsteuereing ngen ein Spannungspegel von 220 V dann wird der Zustand Local verlassen und damit ist die Funktion aller Tasten der Be dieneinheit unterdr ckt Durch Ausnutzen die ser Eigenschaft l t sich jegliche uner w nschte Bedienung von Hand ausschlie en 2 2 13 6 Analog Spannungs Ausg nge Zur Registrierung der gemessenen Leckrate stelit der UL 100 PLUS zwei analoge Span nungsausg nge U 0 bis 10V RL 22 5 kf zur Verf gung Multifunktions Schnittstelle 12 1 PIN Nr 22 Analogausgang Leckratensignal PIN Nr 23 Analogausgang Me bereichssi gnal PIN Nr 24 Analogausgang Einla druck pe PIN Nr 25 Bezugsmasse f r Analogausgange 30 as described so far If a voltage ing 20 V is lied to one or both re mote control inputs local mode is inhibited and the operation of all pushbuttons is sup pressed This feature may be used to prevent any unwanted manual operations from being carried out 2 2 13 6 Analog voltage outputs The UL 100 PLUS provides two analog volt age outputs U 0 to 10V R
26. 20 clignote en m me temps CONT Apres la correction d une erreur si l affichage Status Display die Meldung CONT im Wechsel mit der letzten Fehlermeldung so kann der UL 100 PLUS durch ein oder zwei maliges kurzes Bet tigen der Taste START 4 24 zum Weiterarbeiten gebracht werden Anschlie end befindet sich der UL 100 PLUS nach ggf n tigem Hochlauf im Stand By Lecksuchmodus STBY 2 7 3 Abgleich der Massenposition Um die maximale Empfindlichkeit und Stabilit t zu erreichen mu das Massenspektrometer des UL 100 PLUS auf die richtige Massen position abgeglichen werden Der UL 100 PLUS wird werksseitig auf M2 und M4 abgeglichen und eingestellt auf Masse 4 ausgeliefert Ein Abgleich ist nur f r Masse 3 notwendig f r Masse 2 und 4 sollte der Abgleich bei der Kalibrierung berpr ft werden Abschnitt 2 6 Der Abgleich kann nur durchgef hrt werden wenn das entsprechende Gas eingelassen wird F r Masse 2 und 3 ist es notwendig ein H Testieck zum Beispiel TL 4 6 Kat Nr 155 80 mit Wasserstoff Druckgasflasche am Einla des Lecksuchers anzuschlie en F r Masse 4 kann ein externes Heliumtestleck oder falls vorhanden das interne Testleck verwendet werden Der Abgleich erfolgt f r alle Massen wie folgt Testleck am Einla anschlie en und Taste START 4 24 dr cken um in den MEAS Zustand zu gelangen Umschalter 26 11 am Servicefeld auf gew nschte Masse stellen Pot
27. 5 1 must be attached to the pump module 5 5 as in Fig 1 The tab 5 3 on the leak detection module 5 1 must first be guided into the slot 5 4 on the pump module 5 5 The leak detection module 5 1 can now be fully mounted on the pump mod ule 5 5 by applying slight pressure Then interlock teak detection module 5 1 with pump module 5 5 For this purpose the cover plate 7 1 on the pump module 7 2 is lifted off the magnetic fasteners 6 6 pulled downwards and out Now the two wing nuts 6 2 and 6 4 can be folded upwards and closed by turning to the right The leak detection module now has a vacuum tight connection to the pump module Then mount the cover plate 7 1 on the pump module 7 2 at an angle and press it at the bottom against the magnetic fasteners 6 6 To separate the leak detection module from ihe pump module proceed in the reverse or der The rotary vane vacuum pump integrated in the pump module is filled with oil and thus ready to operate Abb 6 Verriegelung Fig 6 Interlocking the module Fig 6 Verrouillage 2 2 1 2 Pr paratifs pour a premi re mise en service Le d tecteur UL 100 PLUS est pr t au service la livraison Le module pompe est d j reli au moduled tecteur Si ces deux parties sont encore s par es po ser le module d tecteur 5 1 sur le module pompe 5 5 comme le montre la fig 1 Le Cliquet 5 3 du module d tecteur 5 1 est introduit dans l
28. 5 MeBberelchswahl Taste Hand Durch des Bet tigen der Me bereichswahl Taste Hand 4 8 wird das automat Aus w hlen des richtigen Me bereiches abge schaltet Der Me bereich mu ber die Wer teingabe Taste 4 19 u 4 6 eingestellt wer den und kann an den Exponenten 4 4 bzw 4 5 abgelesen werden Durch eine in der Me bereichswahl Taste Hand vorhandene LED 4 7 wird diese Funktion angezeigt Bei Verwendung der Option Teilstrompump satz kann mit Hilfe der Taste HAND und der Werteingabetaste 4 8 manuell in den empfindlichsten Me bereich ULTRA g Schaltet werden Siehe Abschnitt 2 4 7 1 2 2 8 Nullpunkt Taste Auto Zero Im Me betrieb wird eine st rende konstante Untergrundanzeige durch einmaliges Bet tigen der Nullpunkt Taste 4 14 unterdr ckt Ab Softwareversion V3 4 wirkt die Null punkttaste zus tzlich auf die Triggerausg nge Abschnitt 2 2 8 und auf die Analog Spannungs Ausgange Abschnitt 2 2 13 6 Die Leckraten Anzeige wird automatisch auf Null gesetzt und die Null Indikator LED 4 21 blinkt Befindet sich der angezeigte Helium Unter grund in der unteren Dekade so wird der Me bereich eine Dekade empfindlicher ge w hlt Ein Umschalten in empfindlichere MeB bereiche ist nun nicht mehr m glich Ein Ab sinken des Untergrundes wird durch eine glei tende Untergrundbestimmung korrigiert Durch nochmaliges Bet tigen der Nullpunkt Taste 4 14 wird die Funktion aufgehoben
29. 9 wird eine hohe Auft sung erreicht Beim MS Spektrometer handelt es sich um ein magneti Sektorfeld MS Spektrometer mit 180 Ablenkung Durch die Inhomogenit t des Magnetfeldes senkrecht zum lonenstrahl wird in dieser Richtung eine zus tzliche B ndelung erreicht Z Fokussierung Diese Bauart ge w hrleistet neben einer guten Aufl sung eine hohe Empfindlichkeit und Langzeitstabilit t 1 3 2 Backing Pump The backing pump produces a proportional helium pressure from the helium flow entering the leak detector The stable helium pumping rate of the pump is exploited for this purpose its magnitude together with the compression of the turbo molecular pump determines the sensitivity of the system A rotary vane vacuum pump TRIVAC D 1 6 B is integrated in the UL 100 PLUS as a backing pump All data on it are contained in the Operating instructions GA 01 200 1 3 3 Turbo Molecular Pump The turbo molecular pump produces from the helium backing pressure the helium pressure that is detected in the mass spectrometer The stable compression capacity of the pump is exploited for this purpose Its magnitude to gether with the pumping rate of the backing pump determines the sensitivity of the sys tem The turbo molecular pump used is a TURBO VAC 50 All data on it are contained in the Operating Instructions GA 05 100 1 3 4 Mass Spectrometer The main components of the mass spec trometer are an ion source a magnetic sepa
30. Abbildungshinweise z B 4 14 geben mit der ersten Ziffer die Abbildungsnummer an und mit der zweiten Ziffer die Position in dieser Abbildung Helium Leck Detektor unmittelbar nach Emp fang auspacken auch wenn die Inbetriebnah me zu einem sp teren Zeitpunkt erfolgt Transportverpackungsbeh lter auf u ere Sch den untersuchen Verpackungsmaterial vollst ndig entfemen Hinweis Bei eventuellen Schadensersatzforderungen ist der Transportbeh lter und das Verpak kungsmaterial aufzubewahren Helium Leck Detektor UL 100 PLUS auf Voll st ndigkeit pr fen siehe Abschnitt 1 4 4 3 1 Maintenance Schedule 56 3 2 Maintenance Tasks es 88 8 2 1 Backing Pump TRIVAC D 16B 56 3 2 2 Turbo Molecular Pump TURBOVAC 50 56 3 2 3 Exchanging the air filter 56 2 4 Exchanging the lon Source 57 3 3 Software Update for Software Releases from V 20 58 3 3 1 Identification of Software of the UL 100 PLUS 58 3 3 2 Removal of the Microprocessor PCB 58 3 3 3 Exchanging the Program EPROMS e 59 3 3 4 Reassembly of the Micropro cessor POB 60 34 Service TT 60 1 Description 1 1 General These Operating Instructions contain important information on the functions installation start up operation troubleshooting and mainte nance of the Helium Leak Detector UL 100 PLUS Important remarks concerning operational safety an
31. Backing Pump Connected to the Forevacuum Inlet 43 24 8 Sniffing Leak Test 44 24 8 1 Leak Testing with Standard Sniffer 45 2 4 8 2 Leak Testing with QUICKTEST QT 100 Sniffer Probe 45 25 Switching Off 45 2 6 Calibration and Tuning 46 2 6 1 Tuning 46 2 6 2 Calibration with the built in calibrated leak 46 2 6 3 Calibration with an external 47 2 64 48 2 7 Service Functions of the Electronics Unit 49 244 Status Indication 52 27 2 Error Messages 53 2 7 3 Alignment of Mass Position 55 2 2 13 1 Commutateur cl 25 2 2 13 2 interface multifonction 27 2 2 13 3 Sorties trigger 1 et trigger 2 28 2 2 13 4 Commande du robinet flux partiel 29 2 2 13 5 T l commande de la d tection de fuite PPP 30 2 2 13 6 Sorties tension analogique 30 2 2 13 7 Sortie de tension analogique pour la pression d admission pE 31 2 2 13 8 Raccordement pour casque d coute 32 2 2 13 9 Chaine de suspension 32 2 2 13 10 C ble de connexion entre l unit de commande et le module d tecteur 32 23 2 3 1 2 4 2 4 1 242 243 2 4 3 1 2 4 3 2 2 4 3 3 244 2 4 5 2 4 6 2 4 6 1 2 4 6 2 2 4 7 24 7 1 2 4 7 2 24 7 3 2474 24 8 2 4 8 1 2 4 8 2 2 6 2 6 1 2 6 2 2 6 3 2 6 4 27 2743 27 2 2 73 Premi re mise en service et pre mi re vacuation d une pl ce 35 Introductio
32. Einla druckes wieder Der Ausgang liegt an PIN Nr 24 der Multi funktions Schnittstelle 12 1 und an PIN Nr 4 des Recorderausganges 12 2 Siehe auch Abschnitt 2 2 13 6 Der Analogausgang f r den EintaBdruck pe Abb 18 Analog Ausgang EinlaBdruck pg Fig 19 Analogue output inlet pressure pe Fig 19 Sortie analogique pression d admission pg Abb 18 Leckretensignal am Recorderausgang Fig 18 Leak rate signal at the chart recorder output Fig 18 Signal de taux de fuite la sortle enregistreur Recorder output 12 2 PIN No 5 Analog output leak rate signal PIN No 1 Analog output range signal PIN No 4 Analog output iniet pressure pe PIN No 3 Reference ground for analog out puts The leak rate signal is divided up as mantissa and exponent The analogue voltage for the mantissa supplies valid values in the range between 1 0 and 9 9 V per decade Fig 18 As of software release V 3 4 two decades are indicated when selecting the range manually The analogue voltage for the mantissa will Supply a valid output in the range between 0 1 V and 9 9 V In the event of possibly occurring disturbances for example when the amplifier is briefly over driven the voltage is limited to 10 6 V The exponent is represented by a step voltage with increments of 0 5 V per decade starting at 1 V equivalent to 1 E 10 mbar l s1 223 7 Analog voltage output for the Inlet pressure pe The analog output for the inlet pressure
33. Fuse for 24 V microprocessor supply Mass spectrometer housing Four hex screws lon source Goreng Union Thread lor forcing screw 8 Flange L gende de la fig 28 SE pour Pi iimentation 24 V du microprosseur Bo tier du spektrom tre de masse 4 vis six pans erem Source d ion Connecteur Hh fiches Ecrou d accouplement D gagement de la bride vis e Ae bh c ouacm anonaun Abb 28 ffnen der rechten Seltenwand Fig 28 Opening the right hand side Fig 28 Ouverture de la paroi lat rale droite When doing so the insert 28 4 of the air tubo lifts itself out of the guide which is fixed to the side panel Pull off the ground connection attached to the side panel Pull out the air filter 28 3 from its guide rail on the side panel The air filter consists of a metal grid with glued on filtering material Exchange the air filter Assembly Insert the new air filter into the first rail the rail closest to the side panel Reconnect the ground conductor to the side panel Attach the side panel so thet the insert 28 4 with the air tube is arrested in the remaining groove behind the air filter Carefully push the side panel in the upwards direction and fit it firmly into the frame of the housing Lock the quick couplings 3 2 4 Exchanging the lon Source Required tools Screwdriver 1 0 x 5 5mm Allan key 4 mm Switch off the UL 100 PLUS Disconnect the mains plug from the unit Remove the side panel
34. Lfd Nr 6 Nach Ablauf der Ansprechzeit ggf Anzeige der Leckrate Siehe Ltd Nr 7 Die Status LED 4 1 erlischt Die Leckratenanzeige erlischt Die Exponenten und die Null Indikator LED 4 21 leuchten 33 2 3 Note Steps 1 3 and 4 have to be carried out for initial start up only Step 1 2 10 11 12 13 Note Activity Install the UL 100 PLUS according to Section 2 1 Connect the UL 100 PLUS to the required mains voltage Fold out the electronics unit see section 2 7 Check that all switsches on the service panel are set to default Fig 25 Close the test port with a blank flange Set mains switch ON OFF 8 7 to ON Briefly press START 4 24 Press STOP VENT 4 2 for more than 2 s Open the test port Connect the test object Press START 4 24 briefly Spray the test object with helium Press Stop Vent for more than 2 s Disconnect the test object close the test port or connect the next test object Measurements can be interrupted by briefly pressing the STOP VENT pushbutton 34 Initial Start Up and Evacuatlon of a Test Object Slot switch 26 2 must be in the NORMAL position Switches 26 13 must all be in the Auto position Switch for mass 26 11 must be set to M4 Initialization of the UL 100 PLUS the status display 26 1 indicates INIT The hand unit is initialized status LED 4 1 lights green The backing pump runs up The electron
35. PCB Switch off the UL 100 PLUS and disconnect it from the mains Remove any connected test objects Detach the remote control unit from the leak detector module Open the rapid fasteners 30 3 on the right D gager l crou d accouplement 29 6 et retirer le connecteur fiches 29 5 de la source d ions 29 4 D monter les quatre vis six pans creux 29 3 et retirer la bride en aluminium Visser une vis six pans creux 29 3 dans le filet de d ga gement 29 7 de la source d ions 29 4 et chasser ainsi la bride 29 8 de la source d ions du bo tier du spectrom tre de masse 29 2 Retirer la source d ions 29 14 du boitier du spectrom tre de masse 29 2 z Remarque La garniture plate en mati re plastique situ e entre la bride de la source d ions 29 8 et le boitier du spectrom tre de masse 29 2 doit absolument tre remplac e en cas d endom magement ou d encrassage Contr ler l tat de toutes les pi ces Le montage se pratique en suivant l ordre inverse des op rations Remarque Les quatres vis six pans creux 29 3 doivent tre serr es r guli rement lors du montage de la source d ions 3 3 Modification du logiciel partir de la version V 2 0 3 3 1 Identification du logiciel de UL 100 PLUS Pour identifier la version du logiciel impl ment dans UL 100 PLUS il faut ouvrir l unit lectro nique comme d crit dans le mode d emploi de UL 100 PLUS dans la s
36. Trigger 2 Trigger und Kalibrlerung ste LED f r Kalibrierung 13 Taste f r Eingabe Ende ENTER 14 Nullpunkt Taste Auto Zero 15 LED t r Signi Einsatzpunkte 16 Multifunktions Taste Akus 17 LEO f r MT Automatik Triggerlogik 19 Werteingabe Taste gr er werdende Werte 22 Skala Vorvakuumdruck py 23 Skala EinlaBdruck pe 2 STOP VENT pushbutton 3 Combined pressure and leak rate indicator 4 Leak rate scale with exponent 1st decade 5 Leak rate scale with exponent 2nd decade Parameter pushbutton decreasing values H H Manual measuring range selector Multi function pushbutton LED for trigger 1 10 Multi function pushbutton LED for trigger 2 11 Multi function pushbutton trigger and calibration 12 Multi function pushbutton LED for calibration 15 LED for signal starting points 16 Multi functlon pushbutton acoustic signal loudness control nction pushbutton autoranging trigger logic 19 Parameter pushbutton increasing values 22 py backing pressure scale 23 pe intake pressure scale 24 START pushbutton Atfichage combin pression et taux de fuite Echelle pour taux de fuite avec exposant 1 re d cade Echelle pour taux de fuite avec exposant Ze d cade Touche d entr e des valeurs d croissantes Touche s laction Manuelle des gammes de mesure DEL pour trigger 1 10 Touche multifonction DEL pour trigger 2 11 Touche multifonction trigger et calibrage DEL pour calib
37. UL 100 PLUS VERSION 2 0 DATE o xx xx TIME ACCL Accelerate die Mikroprozessorsteuerung war tet nach der Initialisierung auf das Unter Schreiten des Vorvakuumdrucks unter 0 1 mbar sowie auf das Ende des Hochlaufs der Turbomolekularpumpe 63 000 mirr VAC und SNIFF Der UL 100 PLUS verf gt grunds tzlich ber zwei Betriebsarten die Vakuumlecksuche VAC siehe Abschnitt 2 4 und die Schn f fellecksuche SNIF siehe Abschnitt 2 4 8 Der UL 100 PLUS zeigt die gegebenenfalls ber den Schl ssel Nr 6 gew hlte Betriebsart w hrend des Ger tehochlaufes an Wird der Schl ssel Nr 6 nicht aktiv geht der Leck Sucher automatisch in den Vakuumleck suchbetrieb Hinweis Die einmal gew hlte Betriebsart VAC oder SNIFF bleibt nach dem Ausschalten des Ger tes erhalten 52 Whenever the electronics unit 25 3 is folded back in the switches 26 13 must always Switched to AUTOMATIC On the alphanumeric status and error display 26 1 an error code is displayed in the event of an error in the UL 100 PLUS this consi derably simplifies repairs or servicing In addition all major voltages within the unit can be checked at the TEST OUTPUTS 26 3 Designation of the Test Sockets 26 3 and Their Function VN11 Neg supply voltage regulated 11 5 to 15 5 V VP2 Supply voltage unregulated 20 0 to 30 V CP Internal clock for mass spectrometer supply 1 68 kHz 5 5 Vop IAP Anode potenti
38. above the electrical connection panel as described in Section 3 2 3 Abb 29 lonenquelle Fig 29 lon source Fig 28 Source d ions Abb Fig 28 vers le bas La pi ce 28 4 avec tubo d air glisse alors hors du rail de guidage fix e la paroi lat rale Retirer la ligne de terre de la paroi lat rale Retirer le filtre air 28 3 du rail de guidage de la paroi lat rale Il se compose d un crible m tallique et d une ouate filtrante coll e Remplacer le filtre Montage Engager le nouveau filtre dans le premier rail de guidage le rail le plus proche de la paroi lat rale Fixer la ligne de terre la prise de la paroi lat rale Poser la paroi lat rale de telle sorto que la pi ce 28 4 avec tube d air s enclenche dans la rainure qui reste derri re le filtre air Pousser prudemment la paroi lat rale vers le haut et l installer dans le b ti Fermer les fermetures rapides 3 2 4 Remplacement de la source d ions Outils n cessaires tournevis 1 0 x 5 5 mm Cl pour vis six pans creux No 4 Mettre UL 100 PLUS hors circuit Retirer la fiche secteur de l appareil Retirer la paroi lat rale au dessus du panneau des connexions lectriques comme indiqu dans la section 3 2 3 AbbJFig 28 berwurfmutter 29 6 l sen und die Steck verbindung 29 5 von der lonenquelle 29 4 abziehen Vier Innensechskantschrauben 29 3 aus schrauben und den Aluminiumflansch
39. attend que la pression pri maire tombe en dessous de 0 1 mbar et la fin de la mont e en r gime de la pompe turbomo l culaire 63 000 t min VAC and SNIFF UL 100 PLUS dispose de deux modes prin cipaux pour la d tection de fuite le mode vide VAC CF section 2 4 et le mode renille ment SNIF CF section 2 4 8 UL 100 PLUS indique pendant la mont e en r gime le mode de d tection ventuellement choisi avec la cl no 6 Si cette cl n est pas active UL 100 PLUS passe automatiquement en mode d tection sous vide Remarque Le mode de d tection choisi VAC ou SNIF est conserv en m moire lorsque l ap pareil est mis hors circuit STBY Stand By Lecksuch Bereitschaftsmeldung des UL 100 PLUS nach erfolgreicher inbe triebnahme nach Verlassen des Lecksuchsta tus MEAS durch kurzes 2 s Bet tigen der Taste STOP VENT und nach beheb barem Fehlerzustand Die Ventile V1 und V3 sind geschlossen V2 ist ge ffnet Die Turbo molekularpumpe l uft mit 63 000 min EVAC s erscheint nach Bet tigen der Taste START 4 24 bei vorangegangenem Lecksuchstatus St nd By STBY oder Fluten VENT Die Ventile V2 und V3 sind geschlossen V1 ist ge ffnet Wird im Teilstrombetrieb mit angeschlosse nem Teilstromventil gearbeitet sind V1 V1 2 und V3 geschlossen und V2 und Va ge ff net MEAS erscheint nach dem Evakuieren EVAC wenn der Druck am Einla unter 0 2 mbar oder
40. bei der Triggereinstellung die Taste Au tomatik Triggerlogik 4 18 gedr ckt erfolgt ei ne Umkehrung der Triggerlogik Die Kombi Anzeige 4 3 und die Ausg nge f r Trigger 1 und 2 an der Multifunktions Schnittstelle siehe Absch 2 2 13 2 werden invertiert Diese Betriebsart erkennt man durch inverse Darstellung in der LED Zeile 4 3 In dieser Darstellung leuchtet die LED des Triggerwertes nicht Die Ausg ngs arbeiten dann nicht als Schlie er sondem als ffner Die Relais Schaltzust nde siehe Tabelle 1 Tabelle 1 Triggerrelais Ke 1 Ger t ausgeschaltet ausgefallen 2 2 8 2 Trigger 1 amp Trigger 2 inversion The function of the triggers may also be inver ted As shown in table 1 only those measured test objects whose leak rate is really below the leak rate trigger are indicated as acceptable in the inverse mode Equipment errors can not be interpreted as seemingly leak tight test ob jects H pushbutton Automatic Trigger logic 4 18 is pressed the trigger logic is inverted Combination display 4 3 and the outputs for trigger 1 and 2 at the multifunction interface see section 2 2 13 2 are inverted This operating mode is indicated by an invert ed display of LED display 4 3 In this mode the LED for the trigger value does not light up The outputs then operate as n c contacts The status of the relays is given in Table 1 Funktion Normal Relais 1x EIN ontakt offen ACCEPT Relais abgefal
41. bersicht der Bedien und Anzeigeslemente 14 2 1 2 Vorbereitung zur Inbetrieb nahme 15 24 3 Betriebstemperatur 16 22 Beschreibung der Bedienfunitionen 16 2 2 1 Netzanschlu 16 2 2 1 1 Elektrischer Anschlu 16 2 2 1 2 Netzschalter EIN AUS 17 2 2 1 3 Netzspannungsausgang f r Zusatzger te 17 2 2 2 Taste START und STOPNENT 17 2 2 3 Werteingabe Taste 18 2 2 4 Me bereichswahl Taste Automatik Triggerlogik 19 225 Me bereichswahl Taste HAND en 19 2 2 6 Nullpunkt Taste Auto Zero 19 2 2 7 Multifunktions Taste Akustisches Signal 19 228 Multifunktions Taste Trigger und Kalibrierung 20 2 2 8 1 Funktion Trigger 1 und 2 Normal ee 20 2 2 8 2 Funktion Trigger 1 und 2 Invers se res 21 2 2 8 3 Sonderfunktion Trigger 1 und 2 Ger tezustand 22 2 2 84 Funktion Kalibrierung 22 2 2 9 Taste f r Eingabe Ende ENTER 22 2 2 10 Permanenter Parameterspeicher 23 2 2 11 Gasballastventil 23 2 2 12 TestanschluB 24 2 243 Zus tzliche Bedioneinrichtungen 24 IMPORTANTI Before consulting the Service Dept please declare for the sake of operational safety and environmental protection any toxic or other hazardous products e g as defined in EEC directive L 360 1976 1979 or VBG 18 existing in or around the apparatus to be serviced Contents 1 14 11 1 13 2 14 3
42. by pressing the ZERO pushbut ton The calibrated leak closes before the back ground is determined After the background has been determined the calibrated leak opens The leak rate which is imprinted on the cali brated leak is entered via the parameter entry pushbuttons 4 19 and 4 6 Pressing the ENTER pushbutton terminates the calibration process The internal calibrated leak closes audibly In this way the ULTRA factor has been deter mined The factors for FINE and GROSS are computed based on the ULTRA factor When the sensitivity is too low during calibra lion it is possible to manually switch over to the other cathode by pressing the MANUAL pushbutton The calibration process may be terminated at any time by pressing the Trigger and Cali brate pushbutton 2 6 3 Calibration with an external cali brated leak Open the external calibrated leak Set up the UL 100 PLUS to the measure mode by pressing the START pushbutton Use the multifunction pushbutton Trigger and Calibrate to select the calibrate mode and acknowledge this by pressing the ENTER pushbutton The status display 26 1 on the service panel will read CAL Now the sensitivity of the mass spectrometer may be set to maximum by operating potenti ometer M4 26 12 ses Section 2 6 1 The leak rate display will also show maximum Now close the external calibrated leak Suppress any existing background by operat ing
43. d iridium recouvertes d une couche de thorine Qui autorise une temp rature nettement inf rieure celle des filaments en tungst ne et les rend tr s r sistants imbr lables la porosit l oxyg ne la vapeur d eau et aux hydrocar bures Attention Les halog nes ou substances en contenant peuvent r duire dans certains cas la dur e de vie des cathodes 1 3 6 Collecteur d ions et amplificateur Les ions h lium positifs arrivant au collecteur 3 5 cr ent une tension sur l entr e fortement ohmique de l amplificateur Le signal converti et amplifi apparait sur l affichage combin 4 3 en indiquant le taux de fuite 11 1 4 Ausstattung 14 1 Lleferumfeng Der UL 100 PLUS wird betriebsbereit ausge liefert Zum Lieferumfang geh ren zus tzlich Kat Nr Netzanschlu Leitung 2 5 m f r 110 V bei 2 5 m f r 220 V bei Dichtungs Set 200 28 021 Flach Dichtung 6 x DN 40 KF Flach Dichtung 4 x DN 25 KF Flachdichtung DN 16 KF 2 x Flachdichtung f r Vorverst rker 1 x Flachdichtung f r Auspuffilter 2 x O Ring f r Einla flansch 2 x O Ring f r Vorverst rker 8 x O Ring f r D 1 6 B 4 x O Ring f r Vakuumkupplung 2 x Dichtring f r Festo Verschraubung 2 x 155 83 155 82 896 38 drei O Ringe f r die Vakuumkupplung Zusatzflansch DN 25 KF Anschlu f r Teilstrom Pumpsatz Filterelement zum Auspuff Filter D 1 6 B Satz Sicherungen 200 28 022
44. de a sortie enregistreur 12 2 Voir section 2 2 13 6 La sortie analogique pour la pression d admis liefert eine Ausgangsspannung von 0 bis 10V Der Zusammenhang zwischen Spannung und Druck ist aus Abb 19 ersichtlich Beispiel f r Druck Ausgabe Analog Ausgang 1 0 V ergibt Einta druck pg 1 0 10 1 mbar 2 2 13 8 Kopfh rer Anschlu Neben dem seitlich an der Bedien Einheit 11 1 eingebauten Schl sselschaltrer 11 2 befindet sich ein Kopfh rer Anschlu 11 3 Hier lassen sich Kopfh rer Impedanz 500 N mit einem 3 5 mm Klinkenstecker anschlie Ben 2 2 13 9 Halskette Die Bedieneinheit la t sich mit Hilfe einer Halskette leicht am K rper des UL 100 PLUS Benutzers tragen Zur Befestigung ist der Ket tenschi ssel fest in die Schlo bohrung 11 4 einzudr cken Durch leichtes Verdrehen l t Sich der Kettenschl ssel wieder aus dem Schlo herausziehen und die Kette entfernen 2 2 13 10 Verbindung zwischen Bedlenein heit und Lecksuchmodul Die Spiralleitung zwischen Lecksuchmodul und Bedieneinheit l t sich am Lecksuchmo dul mittels einer im Leitungsbeh lter vorhan denen Steckvorrichtung trennen um z B die 10 m Verl ngerungsleitung Kat Nr 165 43 einzusetzen Dazu ist zun chst die Spirallei tung vollst ndig aus dem Leitungsbeh lter und der Buchsentr ger samt Buchse und Stecker bis zum Einrasten vorsichtig an der Leitung gegen den Federzug aus der Leitungsbox her auszuzieh
45. die Nachweisgrenze erheblich h her s o 24 8 Schn tfellecksuche An den UL 100 PLUS k nnen folgende Schn ffeleinrichtungen angeschl werden Helium Standard Schn ffler ST 100 Helium Schn ffler QUICKTEST QT 100 In allen F llen wird der jeweilige Schn ffler an den Einla des Lecksuchers angeschlossen Der Schn ffelbetrieb kann wie im Abschnitt 2 2 13 1 beschrieben mit Schl ssel Nr 6 an gew hlt werden Wurde der Lecksucher im Hochlaufen initiali siert oder war er vor dem Ausschalten im Schn ffelbetrieb gelangt er automatisch in den Me betrieb Sonst ist ein zus tzliches Dr cken der Taste START 4 24 erforderlich Wenn der Lecksucher betriebsbereit ist er scheint auf der Leckratenanzeige der Wert f r das nat rliche Lufthelium Dieser Wert kann bei einigen 108 mbar ls t liegen Die Kalibrierung erfolgt genauso wie beim normalen Kalibrieren mit externem Testieck siehe Abschnitt 2 6 3 Entscheidend ist aber nun da die einmal durchgef hrte Kalibrierung nur f r die gew hl ten Schn ffelbedingungen Abstand und Ge schwindigkeit bez glich der Leckposition gilt F r eventuelle Korrekturfaktoren in Bezug der Heliumkonzentrationen unter 100 oder un terschiedlicher Pr flingsdr cke siehe die Ge brauchsanweisung des verwendeten Schn ff ler Der Kalibrierfaktor und die gew hlte Betriebs art SNIFF bleiben auch nach dem Aus schalten des Ger tes erhalten im Me betrieb ist
46. die Taste STOP VENT verriegelt Durch emeutes Stecken von Schl ssel Nr 6 und Dr cken der Taste EN TER wird de Schn ffelfunktion aufgehoben Das Ger t geht dann in den Stand By zustand 44 However the following restrictions in the speci fications should be noted the detection limit of the leak detection mod ule increases approximately in proportion to the volume flow rate of the pump connected ie for ten times the volume flow rate the detection limit is only 1 309 mbarke the stability of the readings noise and drifts and thereby the detection limit depend di rectiy on the quality of the backing pump used The best results may be obtained by using a possibly throttled high vacuum pump turbo pump as this type of pump exhibits a much more stable volume flow rate for helium and ultimate pressure than a backing pump When using such a pump with a high volume flow rate the detection limit is Considerably in creased as mentioned above 2 48 Sniffing Leak Test Ail LH sniffer probes can be connected to the UL 100 PLUS these being Helium Standard Sample Probe ST 100 Helium Sample Probe QUICKTEST QT 100 In all cases the corresponding sniffer is con nected to the inlet of the leak detector Key No 6 is used as described in Section 2 2 13 1 to set up the sniffer mode If the leak detector was initialized during runup or was in the sniffer mode when switching off it is automatically set to the m
47. diff rentes cl s ont les fonctions suivantes Cl no 1 La cl no 1 verrouille et lib re la touche multifonction trigger et calibrage 4 11 p ex pour emp cher des modifications interdites du calibrage r gl Cie no 2 La cl no 2 verrouille et libere les triggers le calibrage Manuelle Auto et les touches d introduction de valeurs Cl no 3 La cl no 3 ne s utilise qu en association avec le groupe de pompage flux partiel section 24 74 La cl no 3 permet la commutation de FINE vers ULTRA en s lection automatique des gammes de mesure Le robinet ext flux partiel est ferm et le d tecteur travaille avec la sensi bilit maximale La commutation ne peut avoir lieu que si la pression d admission tombe sous p 0 2 mbar La commutation de ULTRA vers FINE n est pas possible Cl no 4 Elle permet la d tection des fuites sur des objets ayant leur propre pompe primaire sans utiliser le module pompe de UL 100 PLUS 6 5 Equiper l accouplement du vide du mo dule d tecteur 6 3 avec une bride aveugle et raccorder l objet l un des raccords test 25 Der Flutvorgang des UL 100 PLUS kann nicht eingeleitet werden Um in den Zustand Betrieb ohne eigene Vor pumpe zu gelangen mu vor dem Einschal ten des UL 100 PLUS der Schl ssel Nr 4 ge steckt sein Diese Lecksuchbetriebsart setzt voraus da am Testanschlu w hrend der gesamten Betriebsdauer des UL 100 PLUS ei
48. e Gasmengen abpumpen und entlastet damit den Lecksucher bzw verschiebt seinen Me bereich zu gr eren Leckraten Die Lecksuche mit Teilstrompumpe ist dann ratsam wenn entweder gro e Volumina schnell abzupumpen sind eine kurze Ansprechzeit an gro e Volumina gew nscht wird bei hohen Dr cken bis 100 mbar Lecks gesucht werden sollen 40 Special Features at Low and High Leak Rates 2 4 6 1 Low Leak Rates The UL 100 PLUS is able to detect leak rates down to 2 109 mbarls To be able to read an indication in this range any back ground has to be suppressed with the auto zero pushbutton 2 4 6 Resolution may be increased by connecting a chart recorder Section 2 2 13 6 or by output ting the leak rate through the V 24 interface 2 48 2 High Leak Rates When measuring high leak rates there is a danger of the test object and UL 100 PLUS becoming contaminated The measuring time should therefore be kept as short as possible A contamination of the test object makes itself felt through a background reading which may be read off on the combination display 4 3 end which may be suppressed by operating autozero pushbutton 4 14 if required see also Section 2 2 6 Note Contamination of the backing pump can be eliminated by opening the gas ballast valve 9 3 for several minutes With high leak rates it is difficult to localize a leak because the leak sucks in helium from Quite a distance It is therefo
49. est n cessaire que pour la masse 3 celle des masses 2 et 4 devrait tre v rifi e lors du calibrage cf section 2 6 La compensation ne peut tre ex cut e que lorsque le gaz correspondant p n tre dans UL 100 PLUS Pour les masses 2 et 3 il faut rac corder une fuite calibr e Hz p ex TL 4 6 r f 155 80 l admission du d tecteur Pour la masse 4 on peut utiliser soit une fuite h lium calibr e externe ou si disponible la fuite calibr e interne La compensation se fait de la fa on suivante pour toutes les masses Raccorder la fuite calibr e l admission et enfoncer la touche START 4 24 pour parvenir dans l tat MEAS Placer le s lecteur 26 11 du panneau de service sur la masse d sir e R gler le potentiom tre 26 12 corres pondant la masse choisie avec un tournevis sur l affichage maximal tout d r glage du potentiom tre diminue alors la valeur affich el 2 Fermer ensuite la fuite calibr e et v rifier que l affichage diminue pour les masses 2 et 3 un affichage r siduel peut rester en raison d un fond naturel du d une pression partielle relativement importants pour la masse 4 la DEL 0 4 21 doit s allumer 55 3 Wartung 3 1 Wartungsplan Die Wartung am UL 100 PLUS ist bei Bedarf durchzuf hren Sie beschr nkt sich im allge meinen auf das Wechseln des ls in der Vor vakuumpumpe sowie auf das Wechseln der Jonenquelle Hinweis F r Au entemperat
50. exponent lighting up The unit is now ready for taking mea surements The teak rate is indicated after operating the START pushbutton pressing the push button STOP will cause the display to indicate STBY venting is not possiblet Briefly press CAL 4 11 three times Press ENTER 4 13 to acknowledge the process 2 4 7 4 Leak Detection Module with an other Backing Pump Connected to the Forevacuum Inlet After the leak detection module has been separated from the pump module access is gained to the small flange DN 16 KF at tho bottom of the unit for connection of any type of suitable backing pump see operating mode 1 in Fig 20 it should be noted that the connection of backing pumps with volume flow rates exceeding 16 m h 1 is not of additional advantage as higher volume flow rates cannot be effective at the inlet due to the throttling effect of the DN 16 KF flange Jn this operating mode all funtions of the leak detector remain unchanged so that the unit can be operated as usual FINE et GROSS Cf section 2 6 2 4 7 3 Service du module d tecteur sans module pompe L utilisation du module d tecteur sans module pompe CF mode de service 2 dans la fig 20 est int ressante surtout dans les cas suivants intervention dans des installations vide ayant leurs propres pompes installations UV avec basses pressions qui ne doivent pas tre contamin es avec l huile de a po
51. flg 11 Unit de commande S Commutateur cl pour ie verroulllage de programmes test Raccordement pour casque d coute Verrou pour chaine de suspension Sortle signal acoustique Vis six pans creux Obturateur pour raccord test Interface muttitonction derri re le clapet ananaw Nor Abb 11 Bedieneinheit und Testanschlu Fig 11 Remote control unit and test connection Fig 14 Unit de commande et raccords test 2 2 13 1 Schl sselschalter An der Bedieneinheit 11 1 vom UL 100 PLUS ist seitlich ein Schl sselschalter 11 2 angebracht Mit sechs verschiedenen Schl sseln lassen sich Pr fprogramme und Betriebsarten ein stellen Aktivieren Entsprechenden Schl ssel in den Schlitz des Schl sselschalters 11 2 der Bedieneinheit 11 1 bis zum Anschlag einschieben Taste ENTER 4 13 bet tigen Zero Indikator LED 4 21 blinkt 3x lang Schl ssel abziehen L schen Entsprechenden Schl ssel in den Schlitz des Sctil sselschalters 11 2 der Bedieneinheit 11 1 bis zum Anschlag einschieben und anschlie end Taste ENTER 4 13 bet tigen Null Indikator LED 4 21 blinkt 6x kurz Schl ssel abziehen Beim Ausschalten des UL 100 PLUS werden die Eingaben die ber die Schl sselfunktionen 1 2 und 6 eingegeben wurden abgespeichert d h beim Wiedereinschalten erscheinen wie der die Zust nde die mit diesen Schl sseln eingegeben wurden Die Funktionen die mit Schl ssel 3
52. helium leak indicator based on the mass spec trometric principle of detection The UL 100 PLUS possesses a wide detec tion range The UL 100 PLUS permits leak checks to be carried out on test objects of various sizes Small test objects with a volume of 10 I or less can be evacuated by the UL 100 PLUS s own backing pump On spraying the test object with helium helium will enter it if there is a leak Even very small helium con centrations reach the mass spectrometer where they are detected Owing to the counterflow principle liquid nitro gen is not needed Because of its small lightweight design the UL 100 PLUS is highly versatile Since the leak detection module can be separated from the pump module the former can easily be used individually for example in the servicing of vacuum systems The leak detection module can be connected to any other suitable backing pump at the cou pling between the two modules if a higher pumping speed at the test connection and hence a shorter pumping time is required When equipped with a partial flow pump set the UL 100 PLUS is particularly suited for large volume test objects with high leak rates Leak detection and measurement are then al ready possible from 100 mbar intake pressure and lower 1 1 3 Rating Plate Two name plates are provided on the UL 100 PLUS above the electrica connections below the carrying handle see Fig 8 on the rear of the remote contro
53. information on the alphanumerical status and error display 26 1 Pushbutton Automatic Trigger logic 4 18 cyclic display of the elapsed operating hours and indication of the service mode OPE RATION TIME XoxHOURS and xxMINUTES and SERV Pressing any key terminates the cyclic display Pushbutton ENTER 4 13 cyclic display of preamplifier offset calibra tion factor speed of the turbomolecular pump and indication of the service mode VARIABLES OFA ex CAL xxx TMP xox RPM and SERV Pressing any key terminates the cyclic display Pushbutton Zero 4 14 cyclic display of serial No and indication of the service mode IDENT NUMBER D ooooooox and SERV Pressing any key terminates the cyclic display Pushbutton Hand 4 8 for display and adjustment of PE PV baud rate time and date Cyclic display of a number 0 255 which corresponds to the inlet pressure PE xxx By pressing the Manual pushbutton 4 8 one may switch between the display of fore vacuum pressure PV xxx and inlet pressu re PE xxx After exchanging a gauge head PE or PV a realignment has to be carried out at atmospheric pressure The value has to be 246 at atmospheric pressure Pressing the ENTER pushbutton 4 13 terminates the cyclic display Note When aligning PV switch off the TMP L gende de la fig 26 Allichage d erreur et d tat alphanum rique 4 digits Commutateur fente commutation
54. la diff rence des pressions Ce gaz arrive dans le spectrom tre de masst en l espace du temps de r ponse Le spectro m tre de masse ionise les mol cules du gaz les s pare selon leur rapport masse charge capte les ions h lium masse 4 Le couran ionique proportionnel au nombre d ions h liun arrivant sur le collecteur d ions 3 5 est am plifi et repr sent sur l affichage combin 4 3 en tant que taux de fuite La remise l air de la piece s effectue par un longue pression sur la touche STOP 4 2 au moins pendant 2 s L affichage d t rouge 4 1 s allume la remise l air de I pi ce se manifeste de fa on audible La piec peut tre ensuite retir e Abb 2 Funktiansschema UL 100 PLUS Fig 2 Functional diagram of the UL 100 PLUS Fig 2 Sch ma fonctionnel du d tecteur UL 100 PLUS Erl uterungen zur Abb 2 Massenspektromater Turbo Malekularpumpe TURBOVAC 50 Totaldruck Me stelte Vorvakuum Totaldruck Me stelte EinlaB Testanschlu DN 25 KF 2 Testanschlu bzw Anschlu f r Teilstrom Pumpsatz ON 25 KF 7 Option Teilstrom Pumpsatz 8 Option He Testleck TL 7 s Anschlu DN 10 KF t r He Testleck 10 Auspuff Absparrventil 11 Drehschiaber Vakuumpumpe TRIVAC D 1 6 8 32 Trennstelle Vak umkupplung VI Pumpventil EintaBventiVFlutventll V1 2 Grobleck Ventil ext Ventil f r Option Teilstrompumpsatz Key to Fig 2 1 Mass spectrometer 2 Turbo molecular pump TURBOVAC 50 3 Total
55. mass range until a maximum ion current is registered at the ion collector For tuning it is required to fold out the elec tronics unit with the service panel and to open the calibrated leak Now the sensitivity of the mass spectrometer may be set to maximum by operating potenti ometer M4 26 12 The leak rate display will also show a maximum 2 6 2 Calibration with the built in call brated leak Set up the UL 100 PLUS to standby or vent ing by pressing the STOP VENT button Use the multifunction pushbutton Trigger and Calibrate to select the calibrate mode and acknowledge this by pressing the ENTER pushbutton The status display 26 1 on the service panel will read CAL The internal calibrated leak opens audibly 2 6 Calibrage et syntonisation Le d tecteur UL 100 PLUS permet la mesure quantitative des taux de fuite Ceci n cessite un facteur de cafibrage calcul automatiquement et m moris par le d tecteur lors du calibrage Cette op ration est tr s simplifi e par l emploi d une fuite calibr interne Si aucune fuite calibr e n est int gr e dans le d tecteur UL 100 PLUS ce calibrage doit alors tre ex cut au moyen d une fuite calibr e externe Remarque Ne pratiquer le calibrage que 15 minutes apr s la fin de la mont e en r gime Le r p ter apr s environ 2 heures Les facteurs d termin s par le calibrage sont conserv s m me apr s la mise hors circuit de l appareil
56. of the UL 100 PLUS or if available an external helium calibrated leak The alignment process is the same for all masses and is as follows Connect calibrated leak to the inlet and operate START pushbutton 4 24 so that the UL 100 PLUS is set to the MEAS mode Set switch 26 11 on the service panel to the desired mass Use a screwdriver to operate the potentio meter 26 12 for the required mass Turn the potentiometer until a maximum indication is reached ie the indication will drop in both directions of the potentiometer Then close the calibrated leak and make Sure that the indication drops In the case of masses 2 and 3 a small residual indication may remain due to the relatively high natural background resp partial pressure in the case of mass 4 Zero indicating LED 4 21 must come on d tat indique alternativement CONT et le dernier message d erreur c est qu il est pos sible de continuer le travail avec UL 100 PLUS en appuyant une ou deux fois bri vement sur la touche START 4 24 UL 100 PLUS se retrouve ensuite apr s une ventuelle mont e en r gime dans le mode d tection Stand By STBY 2 7 3 Compensation de la position de masse Pour obtenir la sensibilit et la stabilit maxi males le spectrom tre de masse de UL 100 PLUS doit tre compens sur la position de masse correcte UL 100 PLUS est quilibr en usine sur M2 et Ma et r gl sur masse 4 Une compensation n
57. rate trigger level Leak rate gt trigger level Tableau 1 relais triggers Etat de l appareil Contact 1 Appareil arr t en panne 1 Unit switched off failure Relay d ized ET 77 Relais abgefallen Kontakt offen ACCEPT Relais abgefallen Kontakt offen ACCEPT Function Normal Relay 1 n o contact Contact open ACCEPT Relay de energized oic ope HAGCEPT Relay de energized Relay energized Contact open ACCEPT Corne closed ACCEPT Relay energized Relay de energized Contact closed REJECT Contact open REJECT Fonction normale Relais 1x MARCHE ouvert ACCEPT Relais d sexcit Contact ouvert ACCEPT Function Inverted Relay 1 n o contact Contact open REJECT Relay de energii ntact open 2 Cable breakage Contact open REJECT Relay de energized Contact open REJECT Relais abgefallen Kontakt offen REJECT Relais angezogen Kontakt geschlossen ACCEPT Relais abgefallen Kontakt offen REJECT ized REJECT Fonction inverse Relais 1x MARCHE Contact ouvert REJECT Relais d sexcit Contact ouvert REJECT 2 Rupture de c ble Contact ouvert ACCEPT Contact ouvert REJECT 3 Appareil en circuit Mont e en r gime 4 Appareil en circuit Service normal taux de fuite seuil trigger taux de fuite gt seuil trigger Relais d sexcit Contact ouvert ACCEPT Relais d sexcit Contact ouvert ACCEPT
58. sont pas n cessaires Le mode de service est m moris L appareil reprend le m me tat quand il est remis en cir cuit Remarque Le robinet de lest d air de TRIVAC D1 6 B voir section 3 2 1 doit toujours tre ferm pour le transport 45 2 6 Kalibrleren und Tunen Der UL 100 PLUS ist zur quantitativen Leck ratenmessung geeignet Dazu ist ein Kalibrier faktor erforderlich der vom UL 100 PLUS beim Kalibrieren automatisch errechnet und gespeichert wird Die Kalibrierung vom UL 100 PLUS wird zudem durch die Verwendung eines internen Testlecks Einbautestleck TL 7 wesentlich vereinfacht Ist im UL 100 PLUS kein Testleck eingebaut mu die Kalibrierung mit einem externen Testleck erfolgen Hinweis Die Kalibrierung sollte erst 15 min nach Be endigung des Hochlaufs erfolgen u nach ca 2 Stunden einmal wiederholt werden Die durch die Kalibrierung ermittelten Kali brierfaktoren bleiben auch nach dem Aus schalten des Ger tes erhalten Es werden vier Kalibrierfaktoren gespeichert Faktor GROSS Faktor FINE Faktor ULTRA Faktor SNIFF Beim Kalibrieren in ULTRA werden die Fakto ren GROSS und FINE aus dem Faktor ULTRA berechnet Diese Umrechnung ist nur f r einen Betrieb mit der Option Teilstrom pumpsatz mit D 25 B g ltig Beim Betrieb mit beliebigen Anlagen oder Teilstrompumpen mu zus tzlich in den Bereichan GROSS und FINE kalibriert werden Der analoge Signalausgang Abschnitt 2 2 13
59. sse 30 3 der rechten Sei Abb Fig 30 58 Loosen union nut 29 6 and pull the connec tor 29 5 off the ion source 29 4 Screw out the four hex screws 29 3 and remove the aluminum backing ring Screw one of the hex screws 29 3 into the forcing thread 29 7 of the ion source 29 4 thus forcing the flange 29 8 of the ion source off the mass spectrometer housing 29 2 Take the ion source 29 4 out of the mass spectrometer housing 29 2 Note Between the flange of the ion source 29 8 and the mass spectrometer housing 29 2 there is a plastic gasket which always must be replaced by a new one in case of damage or contamination Check that all parts are in perfect condition Reassemble in the reverse order Note When installing the ion source the four hex screws 29 3 must be tightened crosswise 3 3 Software Update for Soft ware Releases from V 2 0 3 3 1 identification of Software Release of the UL 100 PLUS In order to identify the currently implemented software release open the electronics unit as described in Section 2 7 so that the alphanu merical status display can be seen After initial switching on if required switch off the unit first the first status indication is that of the currently implemented software release indi cated in the form V2 x e g V2 0 If new upgraded softwere chips are to be installed carry out the following steps 3 3 2 Removal of the Microprocessor
60. the autozero pushbutton 4 14 Open the external calibrated leak The leak rate which is imprinted on the cali brated leak is entered via the parameter entry pushbuttons 4 19 and 4 6 Pressing the ENTER pushbutton terminates the calibration process In this way the ULTRA factor has been deter mined The factors for FINE and GROSS are computed based on the ULTRA factor In the partial flow mode see operating modes 3 and 4 in Fig 20 it is possible to sepa rately determine the calibration factors GROSS FINE and ULTRA To do this it is first of all required to switch off the autorang ing function by operating the MANUAL pushbutton Operation of the parameter entry pushbuttons 4 19 and 4 6 selects the re quired measurement range For this the On peut alors r gler le spectrom tre de masse sur la sensibilit maximale avec le poten tiom tre M4 26 12 Cf section 2 6 1 L indication du taux de fuite est alors maximale L actionnement de la touche ZERO permet ensuite de d finir le fond h lium interne de l appareil la fuite calibr e se ferme vant la d termina tion du fond apr s la d termination du fond la fuite cali br e s ouvre nouveau On r gle ensuite le taux de fuite inscrit sur la fuite calibr e l aide des touches d introduction de valeurs 4 19 et 4 6 Apr s l actionnement de la touche ENTER le calibrage est termin On entend la fermeture de la fui
61. the mass spec trometer supply ER10 The error message ER 10 is displayed in the event of a fault in the battery backed up memory Default settings will then be used This error message is only displayed alter natingly as ER 10 INIT during the initiali zation phase ER21 During run up SNIF the inlet pressure pg was not reached within 2 min after switching on This may be due to A leaky vacuum connection between inlet flange and sniffer A leaky sniffer fine A faulty sniffer tip see CONT After a fault has been indicated by the status error display the display changes alternatingly between error message and the last indicated status display During this time the error indi cating LED 4 20 flashes CONT If after removal of the fault the status display ERO1 D tection d une pression primaire sup rieure 0 4 mbar provoqu e p ex par une entr e d air dans l objet tester L alimentation du spectrom tre de masse a t coup e automa tiquement pour prot ger la source d ions voir CONT ERO2 Signale une rupture de filament au point de mesure admission pg de Thermovac cf CONT s EROS3 Signale une rupture de filament au point de mesure pr vide de Thermovac py Appeler le SAV EROS La pression primaire p 0 1 mbar n est pas atteinte pendant les 3 min suivant la mise en service et pendant la mont e en r gime ACCL Les causes
62. the system where the pressure will certainly always be less than 0 2 mbar Note When using the leak detection module alone with an external backing pump set the pump ing speed of this set must be taken into ac count for the quantitative leak rate indications see Section 2 4 7 If necessary the leak de tection module must be recalibrated If the partial flow pump set is used the UL 100 PLUS s calibration remains valid over the en tire extended pressure range After switching on the mains power automatic run up of the UL 100 PLUS starts The con tinuously monitored backing pressure py 4 22 and the once determined intake pres Sure pe 4 23 are shown on the combined in dicator 4 3 The UL 100 PLUS is ready for leak detection once the UL 100 PLUS has run up Then the combined indicator 4 3 switch es over to leak rate indication showing that the UL 100 PLUS is ready for operation By briefly depressing the START push button 4 24 evacuation of a test object con nected to the UL 100 PLUS is started At the same time the status LED 4 1 lights up green and the combined indicator changes back to pressure indication The falling intake pressure pg test object is shown on the scale 4 23 of the combined in dicator 4 3 Once the intake pressure pg drops below 0 2 mbar the combined indicator 4 3 automatically changes over from intake pressure De 4 23 to leak rate indication When the test object is
63. unit 11 1 there is a flap 11 8 which carries three sockets on its rear Multifunction interface 25 way 12 1 Recorder outputs 6 way 12 2 Relay outputs 9 way 12 3 Analog voltage outputs are provided for leak rate and measuring range identification as well as floating relay contacts for the two adjusta bie triggers for leak rate limit indication Mo reover a serial V 24 RS 232 C computer in terface is provided as standard The UL 100 PLUS is thus equipped for the connection of logging devices e g recorders and printers Details of the pin out of the multi function in terface 12 1 are given in the key to Fig 13 La cl no 6 peut tre plac e pendant la mon t e en r gime en mode Stand By et pendant la remise l atmosph re Pendant la mont e en r gime il n est pas n cessaire de confirmer sa fonction avec la touche ENTER car la cl est automatiquement enregistr e Pour activer introduire la cl no 6 dans la fente de l unit de commande 11 1 et ac tionner la touche ENTER 4 13 Actionner la touche START 4 24 L admission est vacu s Lorsque la pression d admission atteint pE 0 2 mbar UL 100 PLUS passe en mode renifleur L affichage d tat 26 1 du panneau de service indique SNIF Quand le mode renifleur est activ UL 100 PLUS est pr t mesurer imm diatement apr s sa mont e en r gime Le mode Stand By n a pas lieu et la touche STOP VENT est ver rouill
64. vacuation du d tecteur Ut 100 PLUS n augmente pas proportionnellement au volume de ia pi ce mais sa surface interne Selon la conformation de ces surfaces de grandes quantit s d humidit peuvent en effet se fixer C est pourquoi le temps d vacuation peut augmenter consid rablement par exemple si la piece est rouill e Tester les volumes sup ri eurs 5 uniquement avec le groupe de pom page flux partiel pour obtenir de faibles temps de pompage Cf galement les modes 3 et 4 de la fig 20 2 4 5 Particularit s pour les pieces de petit volume Pour les petites pieces il est conseill de travailler si possible avec un pistolet d asper sion buse fine On vite ainsi que l h lium p n tre en m me temps par plusieurs fuites dans la pi amp ce Si n cessaire isoler la fuite comme dans la fig 21 39 2 46 Besonderheiten bei kleinen und gro en Leckraten 2 4 6 1 Kleine Leckraten Der UL 100 PLUS ist in der Lage Leckraten bis 2 1010 mbars nachzuweisen Um ei ne Anzeige in diesem Bereich ablesen zu k n nen ist eine eventuell vorhandene Unter grundanzeige mit Hilfe der Nullpunkttaste zu unterdr cken Eine h here Me wertaufl sung erreicht man durch Anschlie en eines Schreibers Ab schnitt 2 2 13 6 oder durch Ausgabe der Leckrate ber eine V 24 Schnittstelle 2 4 6 2 Gro e Leckraten Bei der Messung von gro en Leckraten be steht die Gefahr der Verseuchung des Pr f lings und
65. videment 5 4 du module pompe 5 5 Le module d tecteur 5 1 peut tre alors fix compl tement sur le module pompe 5 5 par une l g re pression II faut verrouiller le module d tecteur 5 1 avec le module pompe 5 5 Soulever donc sur le module pompe 7 2 la plaque de protection 7 1 des verrous mag n tiques 6 6 Retirer ensuite cette plaque vers le bas Maintenant relever et fermer les deux vis oreille 6 2 et 6 4 en les tournant vers la droite La liaison ainsi r alis e entre le mo dule d tecteur et le module pompe est tanche au vide Poser de biais la plaque de protection 7 1 contre Je module pompe 7 2 et l ap puyer en bas contre les verrous magn tiques 6 6 La s paration du module d tecteur du module pompe se pratique dans l ordre inverse des op rations La pompe palettes int gr e dans le module pompe est pr te au service et remplie d huile 15 Abb 7 Abdeckblech Verrlegelung Fig 7 Cover plate and locking device Fig 7 Plaque de protection verrouillage 2 1 3 Betriebstemperatur Die einwandfreie Funktion des UL 100 PLUS ist bei Umgebungsbedingungen von 17 C bis 40 C gew hrleistet Pumpen l N 62 F r Au entemperaturen von ca 10 C bis 17 C steht ein Spezial l Arctic l f r die Drehschieberpumpe D 1 6 B zur Verf gung Entsprechender lwechsel siehe GA 01 200 Das Spezial l Literflasche ist bei Leybold un ter der Bestell Nr
66. x 2 75 PVC 128 02 158 Arctic l Flasche mit 1 I 200 28 181 Hinweis Zum Bel ften des UL 100 PLUS mit anderen Gasen als Umgebungsluft kann das Sinterfil ter am Ventilblock Bel ftungsventil V3 gegen eine Schlauchverschraubung mit Schlauch ausgetauscht werden Ben tigt wird Schlauchverschraubung M 5 f r Schlauch 5 x 1 Schlauch 5 x 1 Meterware 200 23 010 128 20 140 Calibrated leak TL 4 6 155 80 Helium Sample Probe QUICKTEST QT 100 155 94 Helium Standard Sample Probe ST 100 155 90 Sniffer line for QUICKTEST 5 m 155 77 Sniffer line for QUICKTEST 20 m 155 76 Partial flow pump set 165 44 Spare ion source 165 04 Special accessories Exhaust tubing 5 5 x 2 75 PVC 12802 158 Arctic oil bottle with 1 1 200 28 181 Note For venting of the UL 100 PLUS with gases other than air the sinter filter in the valve block venting valve V3 may be exchanged for a screw on hose coupling with hose For this the following parts are required Screw on hose coupling M 5 for hose 5 x 1 Hose 5 x 1 specify length 200 23 010 128 20 140 ll LU Fuite calibr e TL 4 6 155 80 Renifleur h lium QUICKTEST QT 100 155 94 Renifleur h lium standard ST 100 155 90 Conduite du renifleur QUICKTEST 5 m 155 77 Conduite du renifleur QUICKTEST 20 m 155 76 Jeu de pompes en r gime flux partiel 165 44 Source d ions de rechange 165 04 Accessoire sp cial Tuyau d chappement 5 5 x 2 75 PCV 128 02 158 Huile Arti
67. 00 PLUS dispose d une tubulure d aspi ration suppl mentaire 10 3 Elle permet le raccordement du groupe de pompage de flux partiel option I est galement possible d utiliser cette tubulure pour raccorder des pi ces lorsque leur g om trie interdit l emploi du raccord test normal Il faut alors fermer ce dernier 10 1 avec une bride aveugle Retirer ensuite les quatre vis six pans creux 11 6 de la tubulure sur le c t et d gager l obturateur 11 7 avec vis oreilles La bride d aspiration 10 3 fait partie de l quipement standard elle peut tre alors re mont e avec les garnitures correspondantes et les quatre vis six pans creux 10 2 2 2 13 Dispositifs suppl mentaires Le d tecteur UL 100 PLUS dispose de quatre dispositifs suppl mentaires Commutateur cl Raccordement pour casque d coute Interface multifonction Verrou pour chaine de suspension Erl uterungen zur Abb 11 Bedien Elnheit Schl sselschalter zur Verriegelung von Pr fprogrammen Kopfh rer Anschlu Schlo f r Umh ngekstte Austritt akustisches Signal Innensechskantschrauben Bilndplatte f r Testanschlu Multifunktions Schnittstella hinter der Klappa ey to Fig 11 Remote control unit Keylock switch for locking In test programs Headset socket Lock for carrying chain Exit acoustic signal Hex scrows Blind plate far test connection Multi function Interface behind the flap DNGHAUNAX arvana va gende de la
68. 2 3 ou fig 14 PIN No 2 et 3 contact de travail du trigger 1 PIN No 4 et 5 contact de travail du trigger 2 Erl uterungen zur Abb 14 Key to Fig 14 L gende de fa fig 14 1 nicht belegen 1 donot use 1 Libres 2 Trigger 1 Relals Ausg nge 2 Trigger 1 Relay outputs 2 Trigger 1 sorties de relais 3 Trigger 1 Relals Ausg nge 3 Trigger 1 Relay outputs 3 Trigger 1 sorties de relais 4 Trigger 2 Relais Ausg nge 4 Trigger 2 Relay outputs 4 Trigger 2 sorties de ralais 5 Trigger 2 Relais Ausg nge Trigger 2 Relay outputs 5 Trigger 2 sorties de relais 8 Leckratensignal 6 Leak rate signal 6 Signal taux de fuite 7 MeBbereich Signal Exponent 7 Measurement range exponent 7 Signal gamme de mesure A exp sant 0V 100 mbar QV7100 mbards 1 0V 100 mbarls 8V 1018 mbarrst gv 10 10 mbart st av 10 10 mbart st 8 Einla druck pg 8 Inlet pressure pg 8 Pression d admission pg 9 Bezugsmasse 9 Reference ground Leak rate 9 Masse de r t rence signal tau Leckratensignal signal staircase voltage de fuite tension chelonn e Treppenspannung Ert uterungen zur Abb 15 Key to Fig 15 1 Leckratensignal Exponent 1 Leak rate signal exponent L gende de la fig 15 1 Signal taux de fuite exposant 2 nicht belegen 2 donotuse 2 Libres 3 Bezugsmasse 3 Reference ground 3 Masse de r f rence Leckratenslgnal helium signal signal h llum 4 Einla druck pe 4 Inlet pressure pe 4 Pr
69. 200 28 181 erh ltlich 2 2 Beschreibung der Bedien funktionen 2 2 1 NetzanschluB Hinwels Die im Folgenden beschriebenen Ger tefunk tionen beziehen sich auf die Softwareversion V 3 0 2 2 1 1 Elektrischer Anschlu Achtung Vor Anschlu des UL 100 PLUS pr fen ob die f r beide Module erforderliche Netz spannung mit der des vorhandenen Netzes bereinstimmt Bei falscher Netzspannung sind Besch digungen am UL 100 PLUS nicht auszuschlie en Netzspannung f r das Pump Modul pr fen Die Netzspannung kann anhand der Kat Nr der TRIVAC D 1 6 B 6 1 festgestellt werden Kat Nr 112 25 mu mit 220 bis 240 V und Kat Nr 112 27 mu mit 105 bis 120 V betrieben werden Bei falscher Netzspannungszuordnung ist das Pumpmodul bzw der UL 100 PLUS gegen die Version mit der korrekten Netzspannungs zuordnung auszutauschen Die Netzanschlu leitung 8 2 wird am UL 100 PLUS in den vorhandenen Kombi Ger te stecker 8 5 eingesteckt Hinweis Am Lecksuch Modul Oberteil des UL 100 PLUS ist die Netzspannung eingestellt die am 16 2 1 3 Operating Temperature The UL 100 PLUS will operate correctly with in an ambient temperature range of 17 C to 40 C Pump oil N 62 A special oil Arctic oil is available for opera tion of the D 1 6 B rotary vane pump within the temperature range of 10 C to 17 C The oil exchange is described in Operating Instructions GA 01 200 The special oil is available in
70. 4 und 5 eingestellt waren werden beim Ausschalten nicht abgespeichert Die Funktionen der Schl ssel im einzelnen Schl ssel Nr 1 Schl ssel Nr 1 verregelt und entriegelt die Benutzung der Multifunktionstaste Trigger und Kalibrierung 4 11 um z B unbelugte nderungen der eingestellten Kalibrierung und Triggerwerte zu verhindern Schl ssel Nr 2 Schl ssel Nr 2 verriegelt und entriegelt Trig ger Kalibrierung Hand Auto und die Wer teingabetasten Schl ssel Nr 3 Schl ssel Nr 3 wird nur in Verbindung mit dem Teilstrompumpsatz Abschnitt 2 4 7 1 verwendet Schl ssel 3 erm glicht bei automatischer MeBbereichswahl die Umschaltung von FINE nach ULTRA Hierbei wird das ext Teilstrom ventil geschlossen und der Lecksucher arbei tet mit der maximalen Empfindlichkeit Die Umschaltung kann nur erfolgen wenn der EinlaBdruck p 0 2 mbar unterschreitet Das Umschalten von ULTRA nach FINE ist nicht m glich Schl ssel Nr 4 Schl ssel 4 erm glicht die Lecksuche am Re zipienten mit eigener Vorvakuumpumpe ohne Verwendung des UL 100 PLUS Pumpmoduls 6 5 Dazu ist die Vakuumkupplung des Leck suchmoduls 6 3 mit einem Blindflansch zu versehen und der Rezipient mit einem der Testanschl sse zu verbinden 22 13 14 Keyiock Switch On the side of the UL 100 PLUS s remote control unit 11 1 is a recessed keylock switch 11 2 Six different keys can be used to enter test modes and operating modes Activa
71. 5 44 is desigend for use with 220 V mains In order to maintain a correct autoranging function as well as a quantitatively correct in dication over the entire range of leak rates the optional partial flow pump set must be used see operating mode 4 in Fig 20 This basically consists of vacuum pump TRIVAC D 25 8 solenoid valve DN 25 KF see Fig 23 and 1m flexible metal tubing Before connecting the partial flow pump set it is required to mount the supplementary flange 10 3 as described in Section 2 2 12 The supplementary flange is included in the acces sories supplied The DN 25 KF solenoid valve is attached to the test port and connected via flexible metal tubing to the TRIVAC D 25 B pump The mains cable 23 5 fixed to the so enoid valve is connected to the power socket 8 6 on the UL 100 PLUS The control cable 23 4 is connected via plug 23 3 to the electronics unit 23 2 of the so lenoid valve and the other end is connected to the multifunction interface output 12 1 on ihe UL 100 PLUS Upon plugging in at the multifunction interface 12 1 the option is sensed and controlled When starting the system the UL 100 PLUS and the partial flow pump set may be switched on simultaneously After the UL 100 PLUS TRIVAC D 25 B Abb 23 Eckventil mit alektromagnetischem Antrieb Fig 23 Solenoid valve PE a re d LE Ll pour les grands taux de fuite jusqu 1 marken Remarque Le groupe de pompage
72. 6 bzw die V 24 Schnittstelle bieten zur Erstellung der Kalibrierleckrate eine besse re Aufl sung als die Kombi Anzeige der Be dieneinheit Die Leckrate kann bei Benutzung der V 24 Schnittstelle durch Dr cken der Ta ste START an ein Terminal oder Drucker ausgegeben werden Vor jedem Kalibriervorgang solite ein TUNE Vorgang durchgef hrt werden 2 6 1 Tunen Der Tune Vorgang dient zum Abgleich des Massenspektrometers auf maximale Empfind lichkeit Dazu wird die Beschleunigungsspan nung der lonen im gew hlten Massebereich variert bis ein maximaler lanenstrom am lo nenf nger registriert wird Zum Tunen mu die Elektronikeinheit mit dem Servicefeld ausgektappt werden und das Test leck ge ffnet sein Das Massenspektrometer kann jetzt mit Po tentiometer M4 26 12 auf max Empfind lichkeit gebracht werden Die Leckratenanzei ge wird dann maximal 2 8 2 Kalibrieren mit eingebautem Test feck UL 100 PLUS mit der Taste STOP VENT in den Zustand Standby oder Fluten bringen Mit Multifunktionstaste Trigger und Kali brierung das Kalibrieren anw hlen und mit der Taste ENTER quittieren Auf der Statusanzeige 26 1 im Servicefeld erscheint CAL Das interne Testleck ffnet h rbar 46 2 6 Calibration and tuning The UL 100 PLUS is suitable for quantitative leak rate measurements This requires a Cali bration factor which is automatically calcula ted and stored by the UL 100 PLUS during calibratio
73. 6 8 For all maintenance work on the vacuum pump TRIVAC D 1 6 B please refer to the Operating Instructions GA 01 200 3 2 2 Turbo Molecular Pump TURBOVAC 50 The turbo molecular pump TURBOVAC 50 incorporated in the UL 100 PLUS does not need any maintenance All data of this pump are given in the Operating Instructions GA 05 100 3 2 3 Exchanging the air filter Switch off the UL 100 PLUS Disconnect the mains plug on the unit Note The air filter is located behind the side panel above the electrical connection panel Disengage both quick couplings 28 1 using a screwdriver by turning them to the left audible click Carefully pull the side panel 28 2 at the lo wer end of the UL 100 PLUS down and out Abb Fig 27 CG anaun x auaoun 3 Entretien 1 Plan d entretlen Le d tecteur UL 100 PLUS ne n cessite pas d entretien syst matique Son entretien se limite la vidange au plein d huile de la pompe vide primaire et au remplacement de la Source d ions Remarque Pour des temp ratures ext rieures d env 10 C jusqu moins de 18 C il faut remplir la pompe palettes rotatives D 1 8 B avec l huile Arctic A ces temp ratures un d marrage sans probl me facile n est possible que dans cette condition 2 Travaux d entretien 3 2 1 Pompe vide primaire TRIVAC D1 68 Pour tous les travaux d entretien sur la pompe vide rotative palettes TRIVAC D 1 6 B veuiller consulter
74. 7 3 einheit und Lecksuchmodul 32 Inbetriebnahme und Ab pumpen eines Priiflings 33 Einstellen der Uhrzeit und Datum 36 Betriebsarten 37 bersicht der Betriebsaten 37 Vakuum Lecksuche mit Pr fling 38 Handhabung des Pr flings bei lokaler und integraler Lecksuche e 38 Lokale Lecksuche 88 Bestimmung der Ansprech zeit 789 Integrale Lecksuche 39 Besonderheiten bei gro em Volumen eines Pr flinps 39 Besonderheiten bei kleinem Volumen eines Pr flings 39 Besonderheiten bei kleinen und gro en Leckraten 40 Kleine Leckraten 40 Gro e Leckraten 40 Besondere Lecksuchabl ufe 40 Option Teilstrompumpsatz TPS UL100PLUS 40 Sonstige Pumps tze 42 Betrieb des Lecksuchmoduls ohne Pumpmodul 43 Lecksuchmodul mit anderer Vorvakuumpumpe am Vor vakuumanschluB 43 Schn ffellecksuche 44 Lecksuche mit Standard schn ffler 45 Lecksuche mit Helium Schn ffler QUICKTEST QT 100 45 Au erbetriebsetzung 45 Kalibrieren und Tunen 46 Tunen 46 Kalibriereri mit eingebautem Testleck 46 Kalibrieren mit externem Testieck seen e EE 47 Kalibrieren im Schn ffelbetieb 48 Servicefunktion der Elektronik Einheit 49 Statusanzeige 52 Fehlermeldung 53 Abgleich der Massen position 55
75. CE geschaltet werden Im SERVICE Betrieb ist die Mikrocomputer Steuerung des UL 100 PLUS weitgehend au er Funktion Auf der alphanumerischen Status und Fehleranzeige 26 1 wird der Mode durch die Anzeige SERV ausgegeben ber die Be dienschalter 26 13 k nnen nun die Ventile beliebig geschlossen und ge ffnet werden Die jeweilige Ventilstellung wird durch LEDs im Funktionsschema 26 6 angezeigt Achtung Keine automatischen Verriegelungen im SERVICE Mode Es k nnen auch unsinnige oder f r Teile des Ger tes gef hrliche Zu st nde eingestellt werden In diesem Mode erh lt man folgende Zusatz anzeigen auf der Bedieneinheit Durch Dr cken der Taste STOP 4 2 Anzeige pe py 2 7 Service Functions of the Electronics Unit The electronics unit 25 3 at the back of the UL 100 PLUS s leak detection module can be folded out so that the service panel is acces sible to the operator This is done by pushing the locking bolt 25 2 on the leak detection module 25 1 inwards using a screwdriver 25 4 and folding out the electronics unit 25 3 By operating slot switch 26 2 the UL 100 PLUS can be set from the normal operating mode to the service mode Service functions in position NORMAL of the slot switch 28 2 any open valves may be closed by operating the corresponding switch 26 13 The respective valve position is indicated by LEDs in the functional diagram 26 6 After having carried out
76. DENT NUMBER D ooooocox und SERV Der Abbruch der zykl Anzeige erfolgt mit einer beliebigen Taste Taste Hand 4 8 f r zur Anzeige und Einstellung von PE PV Baudrate Zeit und Datum Zyklische An zeige einer Zahl 0 255 die dem EinlaB druck entspricht PE 20x Mit der Taste Hand 4 8 kann die Anzei ge zwischen Vorvakuumdruck PV xxx und Einta druck PE xxx hin und hergeschaltet werden Nach Austausch einer R hre PE oder PV ist bei Atmosph rendruck der Sollwert auf 246 abzugleichen Taste ENTER 4 13 bedingt den Abbruch der zykl Anzeige Hinweis Bei Abgleich von PV TMP ausschalten 50 TEST OUTPUTS MASS TUNE SEL je dr 9 ved M2M3M4 s voc QOO i Ge 11 10 9 8 7 Key to Fig 26 4 position alphanumeric error and status display Slot switch for SERVICE or NORMAL Test voltage outputs LED for emission falliure LED for emission on Funktional diagram with LEO status indicators LED for cathode 2 operation LED for anode heating LED for cathode 1 operation 10 LED for heater faitura 10 11 Selector for mass 2 3 or 4 factory set to mass 4 11 12 Potentiometers for mass 2 3 or 4 alignment 12 13 Switches for manual valve operation 13 CECILE TEE EEN Display of the helium leak rate provided the vacuum pressure of the TMP is correct by pressing the START pushbutton 4 24 By pressing certain pushbuttons on the hand unit see Fig 4 one may obtain the following additional
77. Der Bet tigungshebel 9 3 kann dann zum Ofinen des Gasballastventils zum Bediener hin geschoben werden Das Ventil sollte meh rere Minuten ge ffnet bleiben Das Gasbal lastventil ist geschlossen wenn der Bet ti gungshebel 9 3 an der Vorvakuumpumpe anliegt Hinweis Das Gasballastventil mu zum Transport im mer geschlossen werden Erl uterungen zur Abb 9 1 Lecksuch Modut 2 teinla schraube 3 Bet tigungshebel Gasballastventll geschlossen 4 Tragegritf Key to Fig 9 1 Leak detection module 2 Ollinfet screw 3 Actuating laver for gas ballast valve closed 4 Handle L gende de 1a fig 9 1 Module d tecteur 2 Vis d introduction d huile 3 Levier de commande du robinet de lest d air term 4 Poign e Abb 9 Bet tigungshebel Gasballastventil Fig 9 Actuating lever for gas ballast valve Fig 9 Levier de commande du robinet de lest d air 2 2 10 Permanent Parameter Memory During the initialization phase of the UL100 PLUS it checks whether or not the last para meter set is still stored Normally the UL 100 PLUS reverts to those settings which were programmed before switching off If the last parameter set has been lost for example due to exhausted memory buffer batteries the unit reverts to default Volume 5 8 of the maximum value Loudspeaker threshold from LED 0 Trigger 1 11079 mbarkei Trigger 2 10 10 mbar s t CAL factor average sensitivity Baud rate 9600 baud Trigger logic normal AUTO
78. L 22 5 kQ for registration of the measured leak rate Multi function interface 12 1 PIN No 22 Analog output leak rate signal PIN No 23 Analog output range signal PIN No 24 Analog output inlet pressure pe PIN No 25 Reference ground for analog out pus 2 2 13 5 T l commande de la d tection de fuite Les fonctions de la touche START ou STOP peuvent galement tre d clench es par l interface avec des signaux logiques env 0 et 20 35 V Ceci peut avoir lieu par com mande de contacts fig 16 ou commande pro grammable CP fig 17 Les signaux de contr le n cessaires pour les modes STBY VENT et MEAS sont appliqu s aux contacts PIN No 18 Pomper Mesurer PIN No 19 Disponibilit PIN No 21 Masse de r f p no 18 et no 19 PIN No 18 et 19 Remis l air avec actionnement simultan Une dur e d impulsion d au moins 500 ms est n cessaire pour que UL 100 PLUS passe par cette t l commande effectivement d un tat dans un autre Tension sur Tension sur Contact 19 Contact 18 Etat ov DV Local z20V ov STBY DV 220V MEAS 220V 220V VENT En mode local l tat normal de UL 100 PLUS toutes les fonctions du clavier sont utilisables comme d crit pr c demment sur l unit de commande Lorsqu un niveau de tension gt 20 V est appliqu une ou deux sorties de t l commande l tat local est annul ce qui interdit les fonctions de toutes les touches de l unit de c
79. Luftfilter Halskette zur Bedien Einheit Werkzeugsatz Fl gelschraube 2 x Schnittstellenstecker 9pol Sub D Stecker 25pol Sub D Stecker 6pol Kupplungs Stecker Schlauchstutzen f r Auspuffleitung Schl sselsatz Gebrauchsanweisungen UL 100 PLUS V 24 RS 232 C Schnittstellen betrieb mit dem ULTRATEST GA 10 207 UL 100 PLUS SB 10 207 TURBOVAC 50 GA 05 100 TRIVAC D 1 6 B GA 01 200 TURBOTRONIK NT 14 GA 05 213 Ersatzteilliste ET 05 100 Ersatzteiliiste ET 10 207 Ersatzteilliste ET 01 200 Staubschutzh lle Kopfh rer Best Nr 200 27 981 1 42 Zubeh r Kat Nr Best Nr Transport Koffer 155 97 Transport Boy 155 98 Verl ngerungsleitung 10 m zur Bedien Einheit 165 43 Testleck TL 7 komplett mit Elektro magnet Ventil und Einbausatz 155 93 Testleck TL 8 16557 12 1 4 Equipment 14 1 Standard S The UL 100 PLUS is supplied ready for ope ration The standard equipment also includes Cat No Mains connection cable 2 5 m for 110 V 155 83 2 5 m for 220 V 155 82 896 38 Set of gaskets 200 28 021 Gasket 6 x DN 40 KF Gasket 4 x DN 25 KF Gasket DN 16 KF 2 x Gasket for preamplifier 1 x Gasket for exhaust filter 2 x O ring for inlet flange 2 x O ring for preamplifier 3 x O ring for D 1 6 B 4 x O ring for vacuum coupling 2 x Gasket for Festo connection 2 x Three O rings for the vacuum coupling Supplementary flange DN 25 KF connection tor partial flow pump se
80. N No 10 and 11 normally closed relay contact of trigger 1 PIN No 12 and 13 normally closed relay X contact of trigger 2 Relay output 12 3 and Fig 14 PIN No 2 and 3 normally closed relay contact of trigger 1 PIN No 4 and 5 normally closed relay contact of trigger 2 mesure Voir la description d interface SB 10 207 pot plus d informations sur les diff rents signau pour l interface s rielle d ordinateur 12 1 Sur les modes de service REMOTE et PRIN ONLY Outre cette interface multifonction on trouve parall lement une prise interface 9 p le 12 3 fournissant encore une fois les quatr sorties de relais et les sorties enregistreur Pot les affectations voir la fig 14 La sortie enregis teur s par e 12 2 est galement parall l aux deux prises interfaces pr cit es Pour le affectations voir la fig 15 22133 Sorties trigger 1 et trigger 2 Deux sorties trigger voir section 2 2 8 1 contacts isol s de relais sont pr vues pour I connexion avec des indicateurs de valeur limit p ex BON REJETE Voir la sectio 2 2 8 pour la programmation et la fonction de Sorties triggers Les contacts de relais sont soi lis sur le connecteur multifonction et la prise d sortie de relais avec les affectations suivantes Logique standard fonction normale Interface multifonction 12 1 ou fig 13 PIN No 10 et 11 contact de travail du trigger 1 A PIN No 12 et 13 contact de travail du trigger 2 Sortie relais 1
81. Netz schalter 8 7 auf Stellung AUS wird diese Funktion aufgehoben und nicht gespeichert F r den Einsatz in automatischen Pr fsyste men braucht der Schl ssel Nr 5 nur gesteckt sein da er direkt nach dem Einschalten auto matisch registriert wird Bei Verwendung des Standard Teilstrom pumpsatzes darf der Schl ssel Nr 5 nicht ak tiviert werden da ansonsten das Teilstrom ventil nicht angesteuert wird Bei aktivem Schl ssel 5 kann der Rezipient nicht durch den UL 100 PLUS geflutet wer den Schl ssel Nr Der Schl ssel Nr 6 erm glicht den Schn ffel betrieb 26 The venting process of the UL 100 PLUS can not be initiated Key No 4 must be inserted before switching on the UL 100 PLUS when wanting to enter the operating mode Operation without built in backing pump For this leak detection mode it is required that during the entire process an inlet pressure pe of lt 0 2 mbar is maintained at the test con nection of the UL 100 PLUS After run up key No 4 may be removed when the unit has entered the STBY mode In the operating mode of the UL 100 PLUS without pump module valves V1 and V2 re main always open provided the inlet pressure is continuously below 0 4 mbar The STAND BY condition differs from the MEAS condition in that the leak rate display is switched off Should the inlet pressure ex ceed the value 0 4 mbar V1 is automatically closed and the ion source is switched off t
82. PLUS Pour obtenir l tat service sans module pompe primaire il faut enfoncer la cl no 4 avant de mettre UL 100 PLUS en circuit Ce mode de d tection n cessite une pression de pg 0 2 mbar au raccord test pendant toute la dur e du service de UL 100 PLUS Apr s la mont e en r gime la cl no 4 peut tre retir e quand l unit est dans le mode STBY Dans le mode de service de UL 100 PLUS sans module pompe les robinets V1 et V2 sont toujours ouverts condition que la pression d admission soit 0 4 mbar L tat STAND BY se distingue de l tat MEAS par la d commutation de l affichage de taux de fuite Lorsque la pression d admis sion d passe la valeur 0 4 mbar V1 est ferm automatiquement la source d ions d connect e et le message d erreur ERO1 pression primaire max d pass e est indiqu dans l affichage d tat Pour revenir en mode d tection sans module pompe il faut arr ter dans ce cas lo module d tecteur de UL 100 PLUS et le remettre en service apr s avoir enfonc la cl no 4 Cl no 5 Elle permet la mesure de fuites pour une pression d admission de pg 100 mbar avec une pompe primaire externe quelconque Le d tecteur UL 100 PLUS est ainsi en me sure d effectuer une fonction autorange pour des valeurs de mesure de 10 mbarls 17109 mbarls en fonction du d bil de la pompe vide primaire Pour activer enfoncer la cl no 5 dans la fente de l unit de
83. PLUS Der Statusreport ist jedoch nur ber die RS 232 C Schnittstelle auslesbar Siehe hierzu die Schnittstellenbeschreibung SB 10 207 Allgemeine Hinweise Eine nderung der Konstruktion und der an gegebenen Daten behalten wir uns vor Die Abbildungen sind unverbindlich DFS 2 0 3 93 60 LEYBOLD AG Bonner Stra e 498 Postfach 510760 D 5000 K ln 51 Insert the second EPROM 31 4 with the new software release designated R2 x in position D 15 with the same orientation as D14 Inspect both sides of both chips to ensure that every pin is properly inserted in the socket 3 3 4 Reassembly of the Microprocessor PCB Bring the microprocessor pcb back to the ini tial position with the components facing down wards Insert the microprocessor pcb into the guide grooves of the cover lid 30 1 Possibly tho Pertinax spacer has fallen out and if so it must be inserted into the same guide grooves before inserting the microprocessor pcb Before placing the cover lid on the slotted guides it is advisable to check the seating of all the connectors Push the cover lid in the direction of the side cover using a little pressure so that the cover is pushed back into the initial position Sorew in two hex screws 30 2 and tighten them with the 5 mm Allan key Again attach the side cover For testing of the new software release switch on the UL 100 PLUS as usual First look at the status display to see if the right s
84. RANGE active Key 1 to6 disabled A loss of parameters is indicated by the error message ER 10 2 2 11 Gas Ballast Valve The gas ballast valve of the backing pump in the UL 100 PLUS can be operated from the Outside To do so pull out the handle 9 4 and remove the cover 7 3 To open the gas ballast valve the actuating le ver 9 3 can then be pulled towards the oper ator The valve should be left open for several minutes The gas ballast valve is closed when the lever rests against the housing of the backing pump Note The gas ballast valve must always be closed during transport A 2 210 M moire permanente des para m tres La phase d initialisation de UL 100 PLUS com prend la v rification de la pr sence en m moire du dernier r glage des param tres Normale ment UL 100 PLUS reprend les valeurs pro gramm ss avant la mise hors circuit Si ce r glage est perdu p ex par une panne des bat teries tampons les param tres de base sui vants sont r gl s Intensit sonore 5 8 de la valeur max Pt d appl du haut parleur partir de DEL 0 Trigger 1 1110710 mbards 1 Trigger 2 10103 mbars Facteur CAL flux principal sensibilit moyenne Vitesse 9600 Baud Logique trigger normale AUTORANGE actif Cl s1 6 inactives La perte des param tres est indiqu e par le message ER10 2 2
85. Recorder output 3 Relay output L gende de la tig 12 1 Interface multifonction 2 Sortie enregistreur 3 Sortie de Relais Abb 12 Anordnung der Mullifunktions Schnittstella hinter der Klappe 11 8 Fig 12 Location o the muitl tunction Interfaces behind the flap 11 8 Fig 12 Position de l interface multifunction derri re te clapet 11 8 Key No 8 can be used during runup in the standby mode and when venting During run up the key function does not have to be ac knowledged by pressing the ENTER push button as the presence of the key is automati cally registered For activation insert key No 6 into the slit of the key operated switch on the hand unit 11 1 and operate the ENTER pushbutton 4 13 Operate START 4 24 The inlet is evacuated When reaching a pres sure of pe 0 2 mbar the UL 100 PLUS Switches itself to the sniffer mode The status display 26 1 on the service panel indicates SNIF With the sniffer mode activated the UL 100 PLUS is immediately ready to measure after running up The STANDBY mode is skipped and the STOP VENT pushbutton is locked Note H the inlet pressure is not reached within 2 min the status indicator 26 1 on the service panel will indicate ER21 To disable the sniffer mode Insert key No 6 into the slit of the key operated switch and press ENTER 4 13 The UL 100 PLUS goes to standby 2 2 13 2 Muiti Function Interface Below the remote control
86. SERVICE NORMAL Points da mesure des tensions de l appareil DEL pour message d DEL pour mission Sch ma fonctionnel avec affichage d tat par des DEL DEL pour cathode 2 en service DEL pour chauffage d anode DEL pour cathode 1 en service DEL pour message panne du chauffage S lect de masse 2 3 ou 4 r gl en usine sur masse 4 Potentiom tre pour compensation masses 2 3 et 4 Commutateurs pour l actionnement manuel des vannes Indication du taux de fuite h lium si le vide de la TMP est correct en actionnant la touche START 4 24 En actionnant certaines touches de l unit de commande CF fig 4 on obtient les indica tions suppl mentaires suivantes sur l affichage d tat et d erreur alghanum rique 26 1 Touche automat log trigger 4 18 Indication cyclique pour heures de service et mode de service OPERATION TIME XoxHOURS and xMINUTES et SERV Actionner une touche quelconque pour interrompre l indication cyclique Touche ENTER 4 13 Indication cyclique pour offset pr ampli facteur de calibrage vitesse rot de la turbo pompe et mode de service VARIABLES OFA x CAL xx TMP xox RPM Actionner une touche quelconque pour interrompre l indication cyclique Touche z ro 414 Indication cyclique pour num ro de l appareil et mode de service IDEN NUMBER dxooooooox et SERV Actionner une touche quelconque pour interrompre l indica tion cyclique Touche manuelle
87. Standard schn ffler Der Standardschn ffler wird dann eingesetzt wenn h chste Empfindlichkeit verlangt wird Er hat zudem den Vorteil kein Gas in nennens werter Menge abzusaugen Deshalb ist er besonders gut f r H llentest s oder zur Messung sehr kleiner Lecks geeig net 2 4 8 2 Lecksuche mit Hellum Schn ttler QUICKTEST QT 100 Der Helium Schn ffler QUICKTEST QT 100 vermeidet die Beschr nkung des Standard schn fflers auf kurze Leitungsl ngen Durch seinen Ansaugeffekt hat er den Vorteil auch Lecks anzuzeigen die relativ weit von der Schn ffelspitze entfernt sind Er ist deshalb besonders gut f r die Leckloka lisierung einzusetzen 2 5 AuBerbetriebsetzung Zur Au erbetriebsetzung ist der Netzschalter EIN AUS 8 7 auf Stellung AUS zu schalten Weitere Ma nahmen sind nicht erforderlich Die Betriebsart wird gespeichert Das Ger t nimmt nach Wiederinbetriebnahme den glei chen Zustand wieder ein Hinweis Das Gasballastventil der TRIVAC D 1 6 B siehe Abschnitt 3 2 1 mu zum Transport immer geschlossen werden in the sniffer mode it is possible to utilize the remote control input PUMPING pin No 18 on the multifunction interface to determine the helium background For this it is required to mount a switch in the holder for the sniffer probe which is connected to the remote con trol input between pin No 16 and pin No 18 of the multifunction interface The function of th
88. TER 4 13 best tigt werden Die Bereitmeldung erfolgt nach Ger tehochlauf und erfolgreich eingeschalteter Emission In dieser Einstellung wird der Kontakt 12 und 13 an der Multifunktions Schnittstelle siehe Absch 2 2 13 2 geschlossen Somit ist durch externe Beschaltung eine R ckmeldung der Betriebs bzw Me bereitschaft m glich Hinweis Wird nur eine der Sonderfunktionen genutzt kann der andere Relaiskontakt weiterhin als inverser Triggerkontakt benutzt werden 2 2 8 4 Funktion Kalibrierung Die Multifunktions Taste TRIG CAL 4 11 bzw LED 4 12 dient zum Ermitteln des Kali brierfaktors f r eine quantitative Leckraten Anzeige im einzelnen richtet sich ihre Wirkungsweise danach ob ein internes oder externes Testleck benutzt wird Siehe Abschn 2 6 2 und 2 6 3 Die Funktion wird durch dreimaliges kurzes Dr cken der Taste 4 11 und anschlieBendes Dr cken der Taste ENTER 4 13 aktiviert 2 29 Taste f r Eingabe Ende ENTER Nach jeder Eingabe bestimmter Werte ber die Werteingabe Taste 4 19 und 4 6 mu die Eingabe durch Dr cken der Taste f r Ein gabe Ende ENTER 4 13 beendet werden Erst dann ist der UL 100 PLUS in der Lage die neuen Werte zu verarbeiten Die Taste dient au erdem als Best tigung f r die Aus bung des Kalibriervorgangs 22 2 2 8 3 Special functlon Trigger 1 and 2 equipment status Error monitoring For setting this special mode of the triggers 1 and 2 the t
89. US INIT est indiqu par l affichage d tat 26 1 L unit de service est initialis e les DEL d tat 4 1 s allument en vert D marrage de la pompe primaire Alimentation en tension de la partie lectronique Sur le panneau de service l affichage d tat 26 1 indique successivement le texte suivant UL 100 PLUS VERSION 3 0 DATE xx xx TIME xx xx La mont e en r gime de la pompe turbomol culeire ou TMP commence automatiquement Sur le panneau de service l affichage d tat 26 1 indique en alternance ACCL 1VAC indication pression primaire et pression d admission D s que la pression du vide primaire atteint py gt 0 1 mbar et la pompe TMP sa vitesse nominale il y a message d aptitude au service par l allumage des exposants et des DEL indicateurs 4 21 g La DEL d tat 4 1 s teint Dans le panneau de service l affichage d tat 26 1 indique STBY Remarque Si l affichage d tat 26 1 du panneau de service indique en alternance ACCL SNIF c est que UL 100 PLUS tait en mode renifleur avant la mise hors circuit L admission est vacu e indication EVAC Le mode Stand By est saut et l affichage indique SNIF La DEL d tat 4 1 s allume en vert Les exposants et la DEL indicateur de z ro 4 21 s teignent Indication de pression d admission pg 4 23 d croissante L affichage d tat 26 1 du panneau de service indique EVAC D s que la pression d admission est pe 2 0 2 mbar
90. US est celle indiqu e Erl uterungen zur Abb 8 Schraubendreher NetzanschluBleitung Sicherungsainschub und Spannungsw hler Marklerung am Kombi Ger testecker Kombi Ger testacker Ger testeckdoss QUICKTEST Netzschalter EIN AUS ey to Fig 8 Screwdriver Power lead Slide In fuse unit and voltage selector Marking on power socket Power socket QUICKTEST socket ON OFF power switch L gende de la fig 8 Tournevis Cordon secteur Porte tusibla at s lecteur de tension Marque sur la fiche combin e Fiche combin e Prise pour raccorder le QUICKTEST Interrupteur secteur MARCHE ARRET sanaun z EE EE onion Sicherungseinschub 8 3 lesbar nach oben auf die Markierung 8 4 zeigt Zum Einstellen der Ger tespannung ist der Sicherungseinschub 8 3 neben dem Kombi Ger testecker mit einem Schraubendreher 8 1 herauszunehmen und so zu drehen da die gew nschte Spannung lesbar nach oben auf die Markierung 8 4 zeigt Den Sicher ungseinschub in dieser Stellung wieder in den Kombi Ger testecker 8 5 einschieben Netz anschlufileitung am Kombi Ger testecker 8 5 einstecken und mit dem Netz verbinden Der UL 100 PLUS kann nun am Netzschalter EIN AUS 8 7 eingeschaltet werden 2 2 1 2 Netzschalter EIN AUS Durch Bet tigen des Netzschalters 8 7 wird das gesamte Ger t in Betrieb genommen Der UL 100 PLUS beginnt mit dem automa tischen Hochiauf der Turbopumpe Nach ca 3 min ist d
91. V RL22 5 ka Trigger taux de fuite commutateur seuils 2 fermeture sans potentiel ind pendants Puissance de coupure max 2 A 60 V charge ohmique Commande ext des fonctions de d tection 24 48 V DC Interface RS 232 C V 24 1 2 3 Autres caract ristiques Niveau de bruit Consommation en air de refroidissement 54 dBA env 100 mh Temp rature ambiante max 40 C Humidit max 85 rel non condens e Temp rature min au d marrage de la pompe avec l huile N 62 Temp rature min d amorgage de la pompe avec huile sp ciale HuileArctic 10 C Encombrement HxLxP UL 100 PLUS complet Module d tecteur 17 C 430x460x250 mm 320x460x250 mm Module pompe 225x460x250 mm Poids UL 100 PLUS complet env 33 5 kg Module d tecteur env 20 0 kg Module pompe env 13 5 kg R f ULTRATEST UL 100 PLUS d tecteur de fuites h lium portatif complet Version Euro 220 240 V 155 82 Version 100 V 120 V 896 38 Module d tecteur UL 100 PLUS 155 83 T mm 1 3 Technische Beschrelbung Der UL 100 PLUS dient zum Auffinden von Lecks und erm glicht es die Leckrate quanti tativ zu bestimmen Die kleinste nachweisb Helium Leckrate betr gt 210719 mbar s Der UL 100 PLUS besteht aus dem Leck such Modul und dem Pump Modul Der UL 100 PLUS wird betriebsbereit gelie tert Dabei ist das Lecksuch Modul auf das Pump Modul abgestimmt und
92. a GE L 380 1976 1979 ou VBG 16 se trouvant sur ou dans l appareil Sommaire 1 Description 4 11 G n ralit s 4 1 1 1 D signation 5 1 1 2 Emploi 5 1 1 3 Signalisations 5 1 1 4 Composition modulaire 5 1 2 Caract ristiques techniques D 1 2 1 Caract ristiques physiques 1 2 2 Caract ristiques lectriques 7 1 2 3 Autres caract ristiques 7 1 3 Description technique 1 3 1 Description du principe de d tection contre flux 1 3 1 1 Positions des robinets 1 3 2 Pompe vide primaire 1 1 3 3 Pompe turbomol culaire 1 1 3 4 Spectrom tre de masse V 1 3 5 Source d ions d 1 3 6 Collecteur d ions et amplificateur 1 14 Equipement LH 14 1 Equipement standard 1 14 2 Accessoires e04 2 Utilisation 1 2 1 Installation de UL 100 PLUS T 24 1 El ments de commande et d affichage oot 2 1 2 Pr paratifs pour la premi re mise en service 1 2 1 3 Temp rature de service 1 2 2 Description des fonctions de commande A 2 2 1 Raccordement au secteur 1 2 2 1 1 Raccordement lectrique 1 2 2 1 2 interrupteur MARCHE ARRET 1 2 2 1 3 Sortie de tension secteur pour appareils suppl mentaires 4 222 Touches START et STOP VENT 1 223 Touche d entr e de valeurs 1 2 2 4 Touche de s lection automa tiq
93. a litre bottle from Leybold under Ref No 200 28 181 2 2 Description of Controls 2 2 1 Note The operation of the UL 100 PLUS as des cribed in the following is related to software version V 3 0 Mains Connections 2 2 1 1 Electrical Connections Note Before connecting the UL 100 PLUS to the mains make sure that the mains voltage of both modules corresponds to the existing mains voltage If the unit is connected to the wrong mains voltage the UL 100 PLUS may be damaged Check the mains voltage on the pump module The mains voltage to which the unit has been set is indicated by the Cat No of the TRI VAC D 1 6 B 6 1 Cat No 112 25 must be operated with 220 to 240 V and Cat No 112 27 must be operated with 105 to 120 V In case of an incorrect mains voltage corre spondence the pump module or the UL 100 PLUS must be exchanged for a unit with the correct mains voltage The mains cable 8 2 is plugged into the socket 8 5 on the UL 100 PLUS Note i The leak detection module upper part is set to the voltage as indicated on slide in fuse unit Erl uterungen zur Abb 7 Abdackblech Verriegelung Pump Modul Abdeckung Gesballast Lecksuch Modul Tragegriff Key to Fig 7 1 Cover plate locking device 2 Pumpmodule 3 Cover gas ballast unit 4 Leak datection module 5 Handle LEY L gende de la fig 7 Plaque de protection verroulllage Module pompa Couverture lest d air Module d tec
94. a touche fin d entr e EN TER 4 13 2 24 Touche de s lection automat trigger log des gammes de mes L actionnement de cette touche 4 18 d clenche dans le d tecteur UL 100 PLUS le choix automatique de la gamme de mesure cor recte et son indication sur l affichage combin 4 3 Ce service automatique du d tecteur UL 100 PLUS est conseill pour ne pas perdre de temps avec les diff rentes op rations de contr le ou de mesure Pour la programmation des triggers cette touche a la fonction sp ciale de commuter entre mode normal et mode inverse CF section 2 2 8 2 22 5 Touche de s lection manuelle des gammes de mesure L actionnement de cette touche manuelle 4 8 arr te la s lection automatique de la gam me de mesure correcte Celle ci doit tre introduite au moyen d une touche d entr e 4 19 ou 4 6 Elle peut tre lue imm diato ment avec les exposants 4 4 ou 4 5 La fonction est indiqu e par une DEL 4 7 sur la touche manuelle s lection manuelle Avec l option groupe de pompage flux partiel on utilise la touche manuelle et la touche d introduction de valeurs 4 6 pour commuter manuellement sur la gamme de mesure la plus sensible ULTRA Cf section 2 4 7 1 2 2 8 Touche de remise z ro auto z ro En mode mesure l affichage d une valeur para Site constante peut tre supprim en actionnant la touche de remise z ro 4 14 A partir de la version V 3 4 d
95. abneh men Eine Innensechskantschraube 29 3 in das Abdr ckgewinde 29 7 der tonenquelle 29 4 einschrauben und so den Flansch 29 8 der lonenquelle vom Massenspektro metergeh use 29 2 abdr cken lonenquelle 29 4 aus dem Massenspektro metergeh use 29 2 herausnehmen Hinweis Zwischen dem Flansch der lonenquelle 29 8 und dem Massenspektrometergehause 29 2 befindet sich eine Kunststoff Flachdichtung die bei Besch digung oder Verschmutzung gegen eine neue Dichtung zu wechseln ist Alle Teile auf einwandfreien Zustand pr fen Der Einbau erfolgt sinngem in umgekehrter Reihenfolge Hinweis Die vier Innensechskantschrauben 29 3 m ssen beim Einbau der lonenquelle ber kreuz angezogen werden 3 Softwareumr stung f r Softwareverslonen ab V 2 0 3 1 Identifikation der Software des UL 100 PLUS Zur Identifikation der im UL 100 PLUS im plementierten Software Version die Elektronik Einheit ffnen wie in der Gebrauchsanwei sung des UL 100 PLUS im Abschnitt 2 7 be Schrieben um die alphanumerische Status Anzeige beobachten zu k nnen Nach dem Einschalten des UL 100 PLUS ggf vorher ausschalten erscheint als erste Statusmel dung die Versionsnummer in der Form V2 x z B V2 0 3 3 2 Ausbau der Mikrocomputerleiter karte UL100 ausschalten und von der Netz spannung trennen Evtl vorhandenen Pr fling entfernen Bedieneinheit vom Lecksuchmodut abneh men Schnellverschl
96. act isol de l Interfact multifonction lorsqu une certaine valeur du tau de fuite est atteinte Les sorties trigger 1 et trigger 2 de l Inter face multifonction voir section 2 2 13 2 sont i la libre disposition de l utilisateur du d tecteu UL 100 PLUS La valeur du taux de fuite pour lequel le contacts isol s de l interface multifonction sor commut s est laiss e au libre choix d l utilisateur Il faut alors pr s lectionner la fonction trigge 1 ou 2 en appuyant une ou deux fois sur touche multifonction TRIG CAL 4 11 c qui provoque l allumage des DEL 4 9 o 4 10 La valeur du taux de fuite peut tre modifi e c fa on quelconque l aide de la touche d entr de valeurs 4 19 ou 4 6 La valeur introdut est repr sent e pendant le r glage par position d une DEL individuelle sur l affichag Combin 4 3 avec l exposant L introduction doit amp tre termin e avec la touct ENTER 4 13 Pour interrompre le r glat des triggers actionner 3 fois la touche trigg et calibrage 4 11 pour le trigger 1 et 2 fc pour le trigger 2 2 2 8 2 Funktion Trigger t u 2 Invers Die Funktion der Trigger l t sich auch um kehren Wie aus Tabelle 1 erkennbar werden in der inversen Funktionsweise nur tats chlich als unterhalb der Leckraten Triggerschwelle lie gend gemessene Pr flinge als akzeptabel gemeldet Ger tefehler k nnen nicht als schein bar dichte Pr flinge interpretiert werden Wird
97. al actual value 4 3 to 4 9 V x100 for mass 4 Pos supply voltage regulated 11 5 to 15 5 V Reference ground for the test poten tials ISP Suppressor potential actual value 3 0 to 3 4 V x100 IKP Cathode potential actual value 3 5 to 4 1 V x100 for mass 4 2 7 1 Status Indication The meanings of the status indications are INIT After switching on the UL 100 PLUS INIT is displayed for several seconds during the initialization phase Running display After switching on the UL 100 PLUS the status display 26 1 displays once the following one after the other VP11 vo2 UL 100 PLUS VERSION 2 0 DATE xxx TIME ox xx ACCL Accelerate after initialization the micropro cessor control waits for the forevacuum pres sure to drop below 0 1 mbar and for the turbo pump to finish running up 63 000 rpm VAC and SNIFF The UL 100 PLUS has been provided with two basic operating modes vacuum leak detection VAC see section 2 4 and sniffer leak detection SNIF see section 2 4 8 During rup up the UL 100 PLUS displays any possibly selected operating mode entered with key No 6 if key No 6 is not used the leak detector automatically enters the vacuum leak detection mode 5 Note The once selected operating mode VAC or SNIFF remains stored in the memory even after switching off Les commutateurs 26 13 doivent toujours tre r gl s sur AUTOMATIQUE lors de la fer meture de l unite
98. alibrage GROSS FINE et ULTRA peuvent tre d ter min s s par ment il faut pour cela couper la s lection automatique des gammes de mesure en actionnant la touche manuelle avant le calibrage La gamme de mesure d sir e se choisit alors par les touches d introduction de valeurs 4 19 et 4 6 H faut pour cela que 47 das Servicefeld mit Elektronik Einheit ausge klappt werden ULTRA Vi und V2 ge ffnet FINE V1 V2 undVext ge ffnet GROSS V1 2 V2 und Vext ge ffnet Vext externes Teilstromventil von der Option Teilstrom pumpsatz Die Kalibrierfaktoren sollten in folgender Rei henfolge bestimmt werden ULTRA mit TL 8 FINE mit TL 8 und GROSS mit TL 4 6 Das Testleck TL 4 6 kann dazu in FINE kali briert werden F r jeden Kalibrierfaktor ist eine Kalibrierung notwendig Der Abgleich des Massenspektrometers darf dabei aber nur einmal erfolgen Bei zu geringer Empfindlichkeit kann beim Ka librieren mit dar Taste HAND auf die andere Katode umgeschaltet werden Der Kalibriervorgang kann jederzeit durch Dr cken der Tasten STOP oder Trigger und Kalibrierung abgebrochen werden 2 6 4 Kalibrieren im Schn ffelbetrieb Schn ffelspitze in die Luft halten Mit Multifunktionstaste Trigger und Kalibrie rung das Kalibrieren anw hlen und mit der Taste ENTER quittieren Auf der Statusanzeige 26 1 im Servicefeld erscheint CAL Einen vorhandenen Untergrund mit der Null punkt Taste 4 14
99. ameter pushbuttons 4 19 or 4 6 The volume is in dicated by successive lighting of the LEDs 4 3 from bottom to top Finaly depress the ENTER pushbutton 4 13 at the end of entry This adjustment can be terminated by pressing pushbutton 4 16 once or twice 2 2 8 Multi Function Pushbutton Trig ger and Calibration Note Operation of this pushbutton is only possible in the stand by or the measurement mode 2 28 1 Trigger 1 and Trigger 2 Normal With the aid of the functions Trigger 1 and Trigger 2 a floating contact is switched at the multi function Interface in each case upon reaching a specific leak rate The outputs Trigger 1 and Trigger 2 at the multifunction interface see Section 2 2 13 2 can be used by the UL 100 PLUS operator as desired The leak rate value at which the floating con tacts at the multi function Interface operate can be selected freely by the operator For this purpose the Trigger 1 or 2 function must be selected by depressing the multi function pushbutton TRIG CAL 4 11 once or twice ively This is indicated by the LED 4 9 or 4 10 Using the parameter pushbuttons 4 19 and 4 6 the trigger threshold can then be altered as desired The value entered is indicated dur ing this setting procedure together with the exponent by the relevent individual LED on the combined indicator 4 3 Finally depress the ENTER pushbutton 4 13 at the end of entry The
100. and removing it 2 2 13 10 Connection Cable between Re mote Control Unit and Leak De tectlon Module The coiled cord between leak detection mod ule and remote contro unit may be separated via the connector within the cable retainer for example in order to extend the length using the 10 m long extension cable Cat No 165 43 To do this first carefully pull the coiled cord out of its retainer including the spring loaded socket holder with socket and plug un til the cable is arrested Now the plug can be detached from the sock et by holding it at its outer casing In doing so the plug is automatically released For re newed plugging the two red markings must face each other After the plug has been in serted the entire connection is placed back in the cable retainer To do this carefully pull at the cable while slightly twisting the socket holder at the plug in the clockwise direction By lightly releasing the cable it will then slide back into its retainer Note Grasp the connector behind the knurled col lar If the knurled collar is grasped and tumed the internal portion is disconnected and with drawn into the UL 100 PLUS Sion pg fournit une tension entre 0 et 10 V La relation entre la tension et la pression est d crite par Fig 19 Exemple d une sortie de pression sortie analogique 1 0 V donne pression d admission pg 1 0 10 mbar 2 243 8 Raccordement pour casque d coute A c t du commuta
101. any functional checks Switches 26 13 must under all circumstances be reset to the AUTOMATIC position If valves closed by the control are to be opened manually slot switch 26 2 must be changed from the NORMAL position to the SERVICE position In the SERVICE mode most functions controlled by the micro processor of the UL 100 PLUS will then be Qut of operation The alphanumerical status and error display 26 indicates the mode by indicating SERV Now it is possible to close and open ihe valves via switches 26 13 The respective valve position is indicated by LEDs in the functional diagram 26 6 Important There is no automatic valve interlocking in the SERVICE mode It is also possible to set up operating modes which do not make sense or which even endanger parts of the instruments in this mode one can obtain the following additional information on the hand unit Display of pg py by pressing the STOP pushbutton 4 2 2 7 Fonctlons de service de l unit lectronique L unit lectronique 25 3 incorpor e dans la face arri re du module d tecteur de UL 100 PLUS doit tre bascul e pour acc der au panneau de service Enfoncer le verrouillage 25 2 sur le module d tecteur 25 1 avec un tounevis 25 4 et basculer ensuite l unit lectronique 25 3 Le commutateur fente 26 2 permet de commuter UL 100 PLUS entre mode normal et mode fonctions de service Fonctions de service E
102. backing pressure measuring point 4 Total intake pressure measuring point 5 Test connection DN 25 KF 6 7 8 H onaun 2nd test connection DN 25 KF or connection for partial flow pump sat Partlal low pump sat option Helium callbrated leak TL 7 option Connection DN 10 KF for helium calibratad leak 10 Exhaust shut off valve 1 Rotary vans vacuum pump TRIVAC D 1 6 B 12 Vacuum coupling vi Pump valve V2N3 Inlet valve Vanting valve V1 2 Coarse leak valve External valve for partial flow pump set option 13 1 Beschreibung des Nachweis Prin zips Gegenstrom Beim Gegenstrom Prinzip wird der Pr fling an der Vorvakuumpumpe angekoppelt Dadurch sind erheblich h here Pr flingsdr cke zul ssig als beim klassischen Hauptstrom Prinzip Das Helium diffundiert entgegen der Pumprichtung der Turbo Molekularpumpe in das Massenspektrometer w hrend schwere Gase vor allem Wasserd mpfe zur ckge halten werden massenabh ngiges Kompres sionsverm gen Eine K hlfalle in Verbindung mit fl Stickstoff ist deshalb nicht mehr erforderlich 1 3 1 1 Ventilstellung Nachfolgende Tabelle zeigt den Zusammen hang zwischen der Betriebsart und den Ventil stellungen Siehe auch Abb 2 Ventil stellung Bezeich Einla nung V1 2 V2 Vex offen V1 geschl FINE V1 V2 p lt 0 2 Vgxr offen V1 2 gesch ULTRA V1 V2 offen p lt 0 2 V1 2 geschl Vexr geschi mit externer Vorva
103. beitet wer den Damit wird vermieden da Helium gleichzeitig durch mehrere Lecks in den Pr f ling eindringen kann Gegebenenfalls Leck ge m Abb 21 abschirmen Abb 22 Integrale Lecksuche Fig 22 Integral leak detection Fig 22 Recherche de fulte int grale 2 4 3 2 Determination of Response Time To determine the response time a calibrated leak is connected to the test object at the point furthest away from the test connection The teak rate indicated is that of the calibrated leak The calibrated leak is closed and simul taneously the time is measured until the leak rate indicated on the UL 100 PLUS has fallen to about 37 of the original value The time thus recorded is the response time constant 2 4 3 3 Integrated Leak Detection For integral leak detection the test object 22 2 is placed in an enclosure 22 3 e g a PVC bag filled with a known helium concen tration 22 4 If possible the connecting flange 22 6 should not be surrounded by the enclosure since helium might diffuse through the connecting gasket and cause a back ground 2 4 4 Special Features of Large Volume Test Objects The pumping time of the UL 100 PLUS does not increase in proportion to an increase in the test object s volume but in proportion to its in ner surface This is due to the fact that large quantities of moisture may be retained de pending on the surface quality The pumping time may thus be greatly pro longed by rust d
104. bien noter que le logicie ne travaille qu avec les robinets lectromagn tiques r f 287 42 287 52 288 42 288 52 selon la ten sion et le mat riau du corps D autre part pour d autres pompes et tuyaux il faut recalibrer successivement pour les gammes ULTRA Abb 24 UL 100 PLUS Lecksuch Modul an Vakuumanlage mit eigenem Pumpsatz Fig 24 UL 100 PLUS leak detection module connected to a vacuum system equipped with its own pump set Fig 24 UL 100 PLUS module d tecteur sur installation vide quip s de son propre groupe de pompage ULTRA FINE und GROSS siehe Abschnitt 2 8 nacheinander durchgef hrt werden 2 4 7 3 Betrieb des Lecksuchmoduls ohne Pumpmodul Die Verwendung des Lecksuchmoduls ohne Pumpmodul siehe Betriebsart 2 in Abb 20 ist insbesondere in folgenden F llen sinnvoll im Serviceeinsatz an Vakuumanlagen mit eigenen Pumpen an UHV Anlagen mit niedrigen Dr cken die nicht durch Vorpumpen l verschmutzt werden sollen S wenn bereits vorhandene Drehschieberpum pen als Vorpumpen genutzt werden sollen Das Lecksuchmodul ist unter der Kat Nr 155 83 als eigenst ndige Einheit erh ltlich Bei UHV Anlagen hat dies den besonderen Vorteil da die Anlage berhaupt nicht mit einer Vorvakuumpumpe verbunden wird und damit kohlenwassarstoffrei bleibt Um das Lecksuchmodul in dieser Weise ein zusetzen ist folgenderma en vorzugehen Lecksuchmodul durch L sen der beiden Schnellverschl
105. c bouteille avec 1 I 200 28 181 Remarque Pour remettre UL 100 PLUS l atmosph re avec d autres gaz que l air ambiant il est possible de remplacer le filtre fritt du bloc de robinets robinet V3 contre un raccord vis quip d un tuyau Sont n cessaires Raccord vis M 5 pour Tuyau 5 x 1 Tuyau 5 x 1 au m tre 200 23 010 128 20 140 13 Er 2 Bedienung und Betrieb 2 1 Aufstellen des UL 100 PLUS 2 1 1 bersicht der Bedien und Anzeigeelemente Die Bedien und Anzsigeelemente des UL 100 PLUS befinden sich auf einer Bedienein heit die ber eine Leitung mit dem UL 100 PLUS verbunden ist Die Bedieneinheit kann entweder am Ger t eingeh ngt betrieben wer den oder erlaubt im abgenommenen Zustand die Fernbedienung des UL 100 PLUS Bedienelemente und die MeBwert Statusan zeigen sind in Abb 4 dargestellt und erl utert o e ea a a a a a ec n a e o el ca aea c C Abb 4 Bedieneinheit Fig 4 Remote control unit Fig 4 Unit de commande 14 2 Operation 24 Setting Up the UL 100 PLUS 2 1 1 Layout of Controls and Display The controls and displays of the UL 100 PLUS are contained on a control panel which is connected via a cable to the UL 100 PLUS The control pane may either be attached to the UL 100 PLUS or may be detached there by enabling the UL 100 PLUS to be remotely controlled The controls and the display status indicators ere shown and explained in Fi
106. collec teur d ions 3 5 Le diaphragme interm diaire 8 9 permet d obtenir une haute pr cision er liminant les ions parasites L appareil utilis est un spectrom tre magn tique champ secteur et d viation de 180 L inhomog n it du champ magn tique perpen diculaire au faisceau ionique permet d obtenir dans cette direction une focalisation suppl mentaire focalisation Z Ce type de construc tion garantit outre une bonne r solution unt haute sensibilit et une stabilit long terme Key to Fig 3 L gende de la fig 3 1 Cathode t 1 Cathode 1 2 Anode 2 Anode 3 Cathode 2 3 Cathode 2 4 Ampliller 4 Amplificateur 5 Ion collector 5 Capteur d ions 8 Shield for ion 6 Ecran pour le capteur collector d ions Supprassor 7 Olaphragma Magnetic field 8 Champs magn tique intermediate screen 9 Dlaphragme interm diaire 0 Extractor screen 10 Diaphragme d extraction 1 Shield ring 31 Ecran cylindrique Abb 3 Schematische Darstellung des Massenspektrometers Fig 3 Schematic representation of the mass spectrometer Fig 3 Sch ma du spectrom tre de masse 1 3 5 tonenquelle Die aus der Katode 3 1 oder 3 3 austreten den Elektronen werden von der positiven Ano de 3 2 angezogen Sie treffen aber nicht so fort auf die Anode sondern pendeln oft zwi schen der Katode und dem Abschirmring 3 11 bis sie schlie lich an die Drahtwendel der Anode gelangen Auf diesem Wege ioni sieren die Elektronen Gasatome d
107. commande et actionner l touche ENTER quand UL 100 PLUS est en mode STBY VENT ou MEAS Cette fonction peut tre supprim e ou bier r activ s par nouvel appel UL 100 PLUS passe ensuite l tat STAND BY En mettant le d tecteur UL 100 PLUS hort service l interrupteur 8 7 sur la positior ARRET cette fonction est supprim e et pa mise en m moire Pour le service dans des contr les automa tiques la cl no 5 doit seulement tre enfon c e tant automatiquement enregistr e im m diatement apr s mise en service Si un groupe de pompage flux partiel stan dard est utilis la cl no 5 ne doit pas tr activ e car le robinet de flux partiel ne sera pas command Quand la cl 5 est activ e l objet ne peut plu tre remis l atmosph re par UL 100 PLUS Ci no 6 Elle permet le service renifieur Der Schl ssel Nr 6 kann w hrend des Hoch laufs im Stand By Betrieb und beim Fluten gesetzt werden Beim Hochlauf mu die Schl sselfunktion nicht mit Taste ENTER best tigt werden da der Schl ssel automa tisch registriert wird Zur Aktivierung Schl ssel Nr 6 in den Schl sselschlitz der Bedieneinheit 11 1 ein stecken und die Taste ENTER 4 13 dr cken Taste START 4 24 dr cken Der Einla wird evakuiert Beim Erreichen des EintaBdruckes pg 0 2 mbar schaltet der UL 100 PLUS in den Schn ffelbetrieb Die Sta tusanzeige 26 1 im Servicefeld zeigt SNIF an Bei aktivie
108. computerleiterkarte vorsichtig um drehen um die Bauteileseite erreichen zu k nnen 3 3 3 Austausch der Programm EPROMs Ben tigtes Werkzeug und Material Innensechskant Schl ssel 5 mm Flachschraubendreher mit 8 mm Klingen breite IC Auszieher oder Flachschraubendreher mit 3 mm Klingenbreite o abgewinkelte Pinzette Satz bestehend aus zwei EPROMs mit neuer Softwareversion Vorgehensweise UL 100 PLUS wie in Abschnitt 3 3 2 be schrieben ffnen Mit Hilfe eines speziellen IC Auszieher oder einer abgewinkelten Pinzette sind nun die bei den EPROM Bausteine 31 4 und 31 5 vor sichtig aus der Fassung herauszuhebeln Abb 25 bzw Best ckungszeichnung CPU BIMO1 Nr 200 27 290 Das 1 EPROM 31 5 der neuen Software Version mit der Bezeichnung B 4 3 R2 x ist in Position D14 unmittelbar neben dem Mikro prozessor D13 TMS 9995 in der gleichen Richtung wie dieser die stimseitige Kerbe 31 8 mu in die gleiche Richtung zeigen einzustecken Erl uterungen zur Abb 31 Mikrocomputartelterkarte Stecker X4 Stecker X3 4D15 Vx D14 BA Vox Stecker X1 Stecker X1 1 Austausch EPROM s ey to Fig 31 Microprocessor pcb Plug X4 Plug X3 D15 Vox 014 84 Vox Plug X1 Plug X1 1 EPROM s gende de la fig 31 Carte microprocesseur Ficha X4 Fiche X3 015 Vox D14 B4 Vox Fiche X1 Fiche Xt 1 EPROM da remplacement BONA ononaun Rawr ave even Abb 31 Lage der EPROMS auf de
109. connecteur derri re l crou molet II faut le saisir et le tourner pour d gager la partie interne qui est tir dans UL 100 PLUS eee 2 3 Inbetriebnahme und Abpumpen eines Pr flings Hinweis Die Lfd Nr 1 3 und 4 sind nur bei der ersten Inbetriebnahme durchzuf hren Lfd Nr T tigkeit 1 Aufstellen des UL 100 PLUS gem Abschnitt 2 1 2 UL 100 PLUS mit der erforderlichen Netzspannung versorgen 3 Elektronikeinheit ausklappen s Abschnitt 2 7 Grundeinstellung der Schalter im Servicefeld Abb 25 pr fen 4 Ansaugstutzen mit Blindflansch schlie en Netzschalter EIN AUS 8 7 auf EIN 6 Taste START 4 24 kurz dr cken 7 Taste STOP VENT 4 2 lange 2 s dr cken 8 Ansaugstutzen ffnen 98 Pr fling anschlie en 10 Taste START 4 24 kurz dr cken 11 Pr fling mit Helium bespr hen 12 Taste STOP VENT l nger als 2 s dr cken 13 Pr fling abkoppetn Ansaugstutzen mit Blindflansch schlie en oder neuen Pr fling anschlie en Hinweis Der MeBbetrieb kann durch kurzes Dr cken der Taste STOP VENT unterbrochen werden Anzeige Reaktion Schlitzschalter 26 2 auf Stellung NORMAL Bedienschalter 26 13 alle auf Stellung Auto Umschalter f r Masse 26 11 auf M4 Initialisierung des UL 100 PLUS auf der Statusanzeige 26 1 erscheint INIT Die Bedieneinheit wird initialisiert die Status LED 4 1 leuchtet gr n Anlauf der Vorpumpe Elektronik wird mit Spannung versorgt
110. cteur est employ seul avec un groupe de pompage primaire externe il faut tenir compte du d bit volume de ce groupe pour l affichage quantitatif du taux de fuite voir section 2 4 7 Il est ventuellement n cessaire de recalibrer le module d tecteur Si l on utilise cependant le groupe de pompage de flux partiel le calibrage reste valable pour toute la gamme tendue des pressions La premi re op ration de UL 100 PLUS apr s sa mise en circuit est la mont e en r gime automatique La pression du vide primaire py 4 22 et la pression d admission pg 4 23 sont indiqu es sur l affichage combin 4 3 La d tection peut commencer quand la mont e en r gime est termin e L affichage combin 4 3 commute alors sur affichage de taux de fuite et montre ainsi la disponibilit de l appareil L vacuation d une pi ce raccord e au d tecteur UL 100 PLUS est amorc e en ap puyant bri vement sur la touche START 4 24 L affichage d tat vert 4 1 s allume simultan ment l affichage combin revient sur affichage de pression La pression d admission d croissante pg pi amp ce est indiqu e sur l chelle 4 23 de l af fichage combin 4 3 Lorsqu cette pression d admission pe devient inf rieure 0 2 mbar l affichage combin 4 3 revient auto matiquement sur affichage de taux de fuite La pi ce est ensuite asperg e avec de l h lium Si la pi ce pr sente une fuite l h lium peut y p n trer gr ce
111. ction 1 4 Helium Leck Detektor UL 100 PLUS einer sorgf ltigen Sichtpr fung unterziehen Fernbedienungseinheit und Anschlu leitung pr fen um sicherzustellen da auf dem Tran sportweg keine Sch den entstanden sind Werden Besch digungen festgestellt ist um gehend eine Schadensmeldung an den Spe diteur und an den Versicherer zu leiten Falls es notwendig ist das besch digte Teil zu ersetzen bitte mit der Auftragsabteilung in Verbindung setzen 1 1 1 Bezeichnung Gebrauchsname Helium Leck Detektor Portable ULTRATEST UL 100 PLUS Lecksuch Modul Pump Modul Kurzbezeichnung UL 100 PLUS 1 1 2 Verwendungszweck Der Helium Leck Detektor UL 100 PLUS ist ein Heliumlecksucher mit massenspektrometri schem Nachweisprinzip Der UL 100 PLUS zeichnet sich durch einen gro en Nachweisbereich aus Mit dem UL 100 PLUS k nnen Dichtheitspr fungen an verschieden gro en Pr flingen durchgef hrt werden Kleinere Pr flinge Vol s10 I k nnen durch die im UL 100 PLUS vorhandene Vorvakuumpumpe evaku iert werden Bei Bespr hen des Pr flings mit Helium kann durch ein vorhandenes Leck He lium in den Pr fling eindringen Schon gering ste Helium Konzentrationen gelangen zum Massenspektrometer und werden dort nachge wiesen Durch das Gegenstromprinzip ist die Verwen dung von fl ssigem Stickstoff nicht erforder lich Durch die besonders kleine und leichte Bau weise ist der UL 100 PLUS universell einsetz
112. d Hochlauf bei 110 V 5A bei 220 V 25A Gesamtstromaufnahme nach 30 min Betrieb bei 110 V 3A bei 220 V 15A Netzausgang f r Schn ffler Max Strombelastbarkeit 1A Achtung Der Ausgang f hrt immer die jeweils am UL 100 PLUS anliegende Netzspannung Signaleing nge Signalausg nge Einla druck pe O bis 10 V RL22 5 kQ Leckraten Signal 1 bis 10 VR 22 5 kQ Me bereich Signal Exponent 0 5 V Stufen pro Dekade 1 bis 10V RLz2 5 kd Leckraten Trigger Grenz wertschattor 2 Schlie er potentialfrei voneinander unabh ngig Schaltverm gen max 2 A 60 V Ohmsche Last Ext Ansteuerung Lecksuch funktionen 24 bis 48 V DC Schnittstelle RS 232 C V 24 1 23 Sonstlge Daten Ger usch Pegel 54 dBA K hlluftbedart ca 100 m3 h Maximale Umgebungstemperatur 40 C Maximale Feuchte 85 rel nicht kondensierend Minimale Pumpenanlauftemperatur mit N 62 17 C Minimale Pumpenanlauftemperatur mit Spezial l Arctic l 10 C Abmessungen HxBxT UL 100 PLUS komplett 430x460x250 mm Lecksuch Modul 320x460x250 mm Pump Modul 225x460x250 mm Gewicht UL 100 PLUS komplett ca 33 5 kg Lecksuch Modul ca 20 0 kg Pump Modul ca 13 5 kg Kat Nr ULTRATEST UL 100 PLUS Helium Leck Detektor Portable komplett Euro Version 220 V bis 240 V 155 82 Version 100 V bis 120 V 896 38 UL 100 PLUS Lecksuch Modul 155 83 Backing pressure 0 01 mbar to 10 mbar indication logarithmic in 15 steps Mass spectrometer 180 magnetic sector Jon sourc
113. d protection are emphasized as fol lows Caution indicates procedures that must be stricty observed to prevent hazards to per sons Important indicates procedures that must be Strictly observed to prevent damage to or de struction of the Helium Leak Detector UL 100 PLUS Note indicates special technical requirements the user must comply with The references to diagrams e g 4 14 con sist of the Fig No and the Item No in that or der After delivery immediately unpack the helium leak detector even if it is to be put into opera tion at a later date Examine the shipping container for any exter nal damage Remove all packing material Note The shipping container and packing material must be kept in the event of complaints about damage Check that the Helium Leak Detector UL 100 PLUS is complete Section 1 4 3 Entretien ee 56 81 Plan d entretien 56 3 2 Travaux d entretien 56 3 2 1 Pompe vide primaire TRIVACD1 6B 56 3 2 2 Pompe turbomol culaire TURBOVAC 50 56 3 23 Remplacement du filtre air 56 3 2 4 Remplacement de ia source d ions 57 3 3 Modification du logiciel partir de la version V 2 0 58 3 8 1 Identification du logiciel de UL 100 PLUS 58 3 3 2 D montage de la carte microprocesseur BE 3 8 3 Remplacement des EPROMS programme nnn S 3 3 4 Montage de la carte micr
114. de flux partiel de la r f 165 44 n est pr vu que pour une tension de service de 220 V Pour obtenir une fonction autorange correcte ainsi qu un bon affichage quantitatif sur toute la gamme des taux de fuites m me en flux partiel il est n cessaire d utiliser le groupe de pom page de flux partiel fourni en option voir mode de service 4 dans la fig 20 Il comprend essentiellement une pompe TRIVAC D 25 8 un robinet lectromagn tique DN 25 KF voir fig 23 ainsi qu un tuyau onduleux flexible de 1 m de long Pour raccorder le groupe de pompage de flux partiel il faut monter le raccord test lat ral 10 3 comme indiqu dans la section 2 2 12 Le raccord test fait partie de l quipement standard Le robinet entra nement lectomagn tique DN 25 KF est brid au raccord test et reli la TRIVAC D 25 B par le raccord m tallique pour tuyau L alimentation en tension secteur s obtient en reliant l cordon 23 5 stationnaire sur le robinet lectomagn tique la prise secteur auxiliaire 8 6 de UL 100 PLUS La ligne de commande 23 4 est reli e par la fiche 23 3 l unit lectronique 23 2 du robinet lectomagn tique et de l autre c t l interface multifonction 12 1 de UL 100 PLUS L option est reconnue et command e d s que la figne est fich e dans l interface multifonction 12 1 Pour mettre le syst me en route on peut met tre simultan ment en circuit UL100 et le groupe de pom
115. de fuites sous vide Normalbetrieb Abschnitt 2 4 2 ULTRA Normal operation Section 2 4 2 ULTRA Service narmal section 2 4 2 ULTRA LI g ULTRA ULTRA Key No 4 ULTRA cl 4 aa mit anderer Vorpumpe Abschnitt 2 4 7 4 with a different backing pump Section 2 4 7 4 avec autre pompe primaire section 2 4 7 4 Abb 20 bersicht der Betriebsarten Fig 20 Overview of the operating modes Fig 20 Tableau des modes de service 2 UHV Anlagenlecksucher Abscha 2 2 13 1 2 4 7 3 Schl ssel 4 UHV systems leak detector Section 2 2 13 1 2 4 7 3 D tecteur d installation UV sections 2 2 13 1 2 4 7 3 Rezipient s aim Gem Lee Ww w CI L HV Hochvakuum HV High vacuum HV vide pouss Schn ffellecksuche Sniffer leak detection D tection de fuites par renifleur 2 4 Modes de service 24 1 Aper u des modes de service Remarque Il est conseill d quilibrer le d tecteur UL 100 PLUS avec une fuite calibr e comme indiqu dans la section 2 6 avant toute d termination quantitative d un taux de fuite UL 100 PLUS dispose de deux modes de d tection de fuites la d tection par le vide VAC et ia d tection par reniflement SNIF Le mode SNIFF est choisi par la cl no 6 Cf section 2 2 13 1 Le mode de service est indiqu par l affichage d tat 26 1 du panneau de service pendant la mont e en r
116. des UL 100 PLUS Daher die MeB zeit so kurz wie m glich halten Eine Verseu chung des Pr flings u ert sich durch einen Untergrund der auf der Kombi Anzeige 4 3 abgelesen und ggf mit der Nullpunkt Taste 4 14 unterdr ckt werden kann siehe auch Abschnitt 2 2 6 Hinweis Durch ffnen der Gasballasteinrichtung 9 3 f r mehrere Minuten kann eine Verseuchung der Vorvakuumpumpe behoben werden Eine Lokalisierung ist bei gro en Leckraten schwierig da das Leck Helium schon aus ei ner gewissen Entfernung ansaugt Daher nur wenig Helium mit einer Feinspr hspitze spr hen Die quantitative Messung ist nur durch f hrbar wenn 100 Helium vor das Leck gebracht werden kann H ufige Leckratenmessungen ber Werte von 10 3 mbaris sollten m glichst mit Teil strompumpsatz durchgef hrt werden Siehe hierzu die Betriebsart 4 in Abb 20 Eine kurzzeitige Messung von Leckraten bis 10 mbarks ist jedoch auch ohne Teil strompumpsatz m glich 2 4 7 Besondere Lecksuchabl ufe Die im Folgenden beschriebenen Lecksuch abl ufe sind mit dem Lecksuchmodul des UL 100 PLUS in Verbindung mit jeweils notwen digen Zusatzger ten m glich Sie erfordern im allgemeinen die Benutzung eines Schl ssels mit dem die entsprechenden Abl ufe aktiviert werden 2 4 7 1 Option Teilstrompumpsatz TPS UL 100 PLUS Bei der Lecksuche mit einer Teilstrompumpe wird eine gro e Pumpe parallel zum Leck suchereinla betrieben Diese kann gro
117. die V 24 RS 232 C Schnittstelle Siehe hierzu SB 10 207 36 2 3 1 Entering time and date in order to obtain valid outputs for date and time from the UL 100 PLUS via the V 24 RS 232 C interface date and time have possible to be reentered Date and time programmed into the UL 400 can be checked as follows after switching on the mains initialization values are indicated on the alphanumerical display 26 1 These include time and date see Section 2 3 1 in the service mode see Section 2 7 Ser vice functions Time and date may also be entered in two ways on the unit itself via the hand unit in the ser vice mode This is described in Section 2 7 in the sequence after operating the Man ual pushbutton through the V 24 RS 232 C interface Refer to SB 10 207 2 3 1 Introduction de l heure et de la date iI faut ventuellement introduire nouveau la date et l heure pour que ces valeurs soient correctes lors des sorties de UL 100 PLUS notamment par l interface V 24 RS 232 C Le contr le de la date et de l heure programm es dans l appareil se fait de deux mani res diff rentes apr s la mise en circuit l affichage alphanu m rique 26 1 montre une initialisation indiquant galement la date et l heure CF section 2 3 1 en mode SERVICE CF section 2 7 fonctions de service L introduction de la date et de l heure se fait galement de deux mani res diff rentes sur l appareil par l
118. e 8 3 dispos c t de la fiche combin e avec un tounevis 8 1 Tourner le porte fusible jusqu ce que la tension d sir e apparaisse en haut sur la marque 8 4 Enfoncer le porte fusible dans cette position dans la fiche combin e 8 5 Raccorder le cordon secteur avec la prise 8 5 et relier le cordon au secteur Le d tecteur UL 100 PLUS peut tre connect maintenant avec l inter rupteur MARCHE ARRET 8 7 2 2 1 2 Interrupteur MARCHE ARRET L appareil complet est mis en service par l actionnement de l interrupteur secteur 8 7 La mont e en r gime automatique de la turbo pompe est la premi re op ration du d tecteur UL 100 PLUS Environ 3 minutes apr s il est pr t fonctionner Remarque Lors de la premi re mise en service ou apr s une longue p riode d arr t cette mont e en r gime peut tre d pass s La LED indicatrice d erreur clignote L tat d erreur peut tre annul en actionnant nouveau la touche START Un nouvel actionnement de l interrupteur met l appareil hors circuit voir la section 2 5 Apr s la mont e en r gime il reprend l tat qu i avait la mise hors circuit CF section 2 2 10 2 2 1 3 Sortie de tension secteur pour apparells suppl mentaires La prise secteur auxiliaire 8 6 permet de rac corder des consommateurs de faible puissance absorb e max 1 A tels que le renifleur h lium QUICKTEST QT 100 Elle fournit la m me tension sec
119. e 1 109 mbar s la stabilit de l affichage bruits et d rives et donc galement la limite de d tection d pend directement de la qualit de la pompe primaire utilis e Le meilleur r sultat peut tre obtenu avec le raccordement d une pompe vide pouss tur bopompe ventuellement trangl e car celle ci pr sente une stabilit pour la pression limite et le d bit d h lium sensiblement plus importante que dans le cas d une pompe primaire Cependant pour une telle pompe grand d bit la limite de d tection est bien plus lev e voir ci dessus 2 4 8 D tection avec renifleurs On peut raccorder les renifleurs suivants UL 100 PLUS Renifleur h lium standard ST 100 Renifleur h lium rapide QUICKTEST QT 100 Dans tous les cas le renifleur en question est raccord l admission du d tecteur Utiliser la cl no 6 comme d crit dans la section 2 2 13 1 pour s lectionner le mode renifleur Le d tecteur passe automatiquement au mode mesure s il a t initialis pendant la mont e en r gime ou s il tait en mode renifleur avant la mise hors circuit Sinon il est n cessaire d actionner encore une fois la touche START 4 24 Lorsque le d tecteur est en ordre de marche l affichage des taux de fuite indique la concentration normale d h lium dans l air Cette valeur est de l ordre de quelque 10 mbar Le calibrage se fait exactement comme le calibrage normal avec fuite calibr
120. e d erreur le contact 10 et 11 de l interface multifonction CF sec tion 2 2 13 2 est ouvert Ceci permet de signaler les erreurs par un circuit externe Message d aptitude au service Pour r gler cette fonction sp ciale des triggers 1 et 2 il faut les inverser en actionnant la touche automat trigger log 4 18 En mode inverse le trigger 2 peut assurer la signalisation de l aptitude La condition pr alable est le r glage du trigger invers par a touche d entr e de valeurs 4 19 dans une gamme dans laquelle aucune fuite ne peut tre indiqu e p ex gt 1 10 mbar s exposant positif L introduction doit tre confirm e par la touche ENTER 4 13 Le message d aptitude est donn apr s la mon t e en r gime et la commutation r ussie de l mission Dans ce r glage le contact 12 et 13 de l interface multifonction CF section 2 2 13 2 est ferm Avec un appareillage externe il es donc possible de signaler l aptitude au service c d la mesure Remarque Si l on n utilise qu une seule fonction sp ciale l autre contact de relais peut continuer servir comme contact de trigger inverse 2 2 8 4 Fonction calibrage La touche multifonction TRIG CAL 4 11 ou DEL 4 12 permet la d termination di facteur de calibrage pour l affichage quantitat du taux de fuite L effet de cette touche diff r selon qu il s agit d une fuite calibr e interne o externe Voir les sections 2 6 2 et 2 6 3 La
121. e pour raccordem sous vide 2 x Bague d tanch it pour raccord filet Festo 2 x 3 joints toriques p raccordement sous vide Bride suppl mentaire DN 25 KF raccord du groupe de pompage de flux partiel El ment du filtre d chappement D 1 6 B Jeu de fusibles 200 28 022 Filtre air Cha ne p suspendre l unit de commande Jeu d outils Vis oreilles 2x Connecteur m le de l interface Connecteur subminiature 9 p les Connecteur subminiature 25 p les Connecteur subminiature 6 p les Raccord du tuyau d chappement Jeu de d s Modes d emploi UL 100 PLUS GA 10 20 Service de l interface V 24 RS 232 C avec ULTRATEST UL 100 PLUS SB 10 20 TURBOVAC 50 GA 05 10 TRIVAC D 1 6 B GA 01 20 TURBOTRONIK NT 14 GA 05 21 Liste de pi ces de rechange ET 05 10 Liste de pi ces de rechange ET 10 20 Liste de pi ces de rechange ET 01 20 Cache poussi re Casque d coute R f 200 27 98 1 42 Accessoires R Coffre de transport 155 9 Chariot de transport 1559 Rallonge de 10 m pour l unit de commande 1654 Fuite callibr e TL 7 compl te avec robinet lectromagn tique et pieces de montage 155 8 Fuite calibr e TL 8 165 8 Testleck TL 4 6 155 80 Helium Schn ftler QUICKTEST OT 100 155 94 Helium Standard Schn ffler ST 100 155 90 Schn ffelleitung zum QUICKTEST 5m 155 77 Schn ffelleitung zum QUICKTEST 20m 155 76 Teilstrom Pumpsatz 165 44 Ersatz lonenquelle 165 04 Sonderzubeh r Auspuffschiauch 5 5
122. e with Z axis focussing two iridium cathodes heated anode self cleaning Detectable masses 2 3 and 4 Time until operational lt 3 min Test connection 2x DN 25 KF Length of remote contro unit s lead 8m 1 22 Electrical Data Leak detection module Mains voltage selectable 100 V 120V 220 V 240 V 5 50 60 Hz Power rating 80 VA Pump module Mains voltage 210 to 260 V or 100 to 130 V Mains frequency range 50 60 Hz Power rating 240 VA Total current rating during run up 110 V 5A at 220 V 2 5 A Total current rating after 30 min of operation at110 V 3A at 220 V 15A Mains output for sniffer Max cuurent 1A Important This output always carries the mains voltage the UL 100 PLUS is connected to Signal inputs outputs Inlet pressure pg O to 10 VR 2 5 KR Leak rate signal 110 10 VR z2 5 kQ Range signal exponent 0 5 V steps per decade 11010 V R 225kf Leak rate triggers limit switches 2 N C contacts floating independent of each other Switching capacity max 2 A 60 V ohmic load External activation of leak detection functions 24 to 48 V DC Interface RS 232 C V 24 1 2 3 Other Data Noise level 54 dBA Cooling air consumption ca 100 m3 ht Max ambient temperature 40 C Max humidity 85 rel non condensed Min run up temperature for the pump with N 62 oil 17 C Minimum pump runup temperature with special oil Arctic oil 10 C Dimensions HxWxD UL100 Plus complete 430x460x250 mm Leak detect module 320
123. easurement mode when switching on again Otherwise pushbutton START 4 24 must be operated in addition When the teak detector is ready the leak rate display will indicate the natural helium concen tration of the air This value may be equivalent to a leak of 10 9 mbar ls1 Calibration is performed in the same way as for normal calibration with an external calibrat ed leak see Section 2 6 3 The decisive point in this is that the once per formed calibration only applies for the selected conditions of calibration distance and velocity with respect to the position af the leak For possible correction factors because of he lium concentrations below 100 or different pressures within the test objects please refer to the Operating Instructions of the sniffer probes used The calibration factor and the selected ope rating mode SNIFF remain in the memory even after switching off In the measurement mode the STOP VENT pushbutton is blocked This key invoked sniffer function is disabled again by inserting key No 6 and pressing the ENTER pushbutton The unit then reverts to the standby mode li faut cependant noter les restrictions des sp cifications suivantes la limite de d tection du module d tecteur augmente de fa on sensiblement propor tionnelle au d bit raccord de la pompe primaire c d qu un d bit dix foix plus im portant r duit p ex la plus petite fuite d celable une valeur d
124. ecteur avec une autre pompe sur le raccord vide primaire Une fois que le module d tecteur est s par du module pompe on dispose d une petite bride DN 16 KF sur la face inf rieure du module d tecteur pour le raccordement de pompes primaires quelconques Cf mode de service 1 dans la fig 20 H faut seulement noter que le raccordement de pompes d un d bit sup rieur 16 mh n est pas int ressant car ce d bit ne peut tre effectif l admission du d tecteur vu l tranglement par la bride DN 16 KF Dans ce mode de service toutes les fonctions du d tecteur restent inchang es c d que sa commande se fait de la fagon habituelle 43 Zu beachten sind jedoch die folgenden Ein schr nkungen bei den Spezifikationen die Nachweisgrenze des Lecksuchmoduls erh ht sich ungef hr proportional zum ange schlossenen Saugverm gen der Vorpumpe d h bei 10 x gr erem Saugverm gen ist z B die kleinste nachweisbare Leckrate nur noch 1 103 mbar ts 1 die Stabilit t der Anzeige Rauschen und Driften und damit auch wieder die Nach weisgrenze h ngt unmittelbar von der Quali t t der eingesetzten Vorpumpe ab Das beste Ergebnis kann mit dem Anschlu einer eventuell gedrosselten Hochvakuum pumpe Turbopumpe erzielt werden da diese im Vergleich zu einer Vorvakuumpumpe er heblich stabiler bzgl Enddruck und Saugver m gen f r Helium ist Bei einer solchen Pumpe mit gro em Saug verm gen ist allerdings
125. ection 2 7 et observer l affichage d tat alphanum rique apr s la mise en route de UL 100 PLUS car le premier message d tat qui apparait est justement ie num ro de la version sous la forme V2 x p ex V2 0 3 3 2 D montage de la carte micro processeur Arr ter UL 100 PLUS et le d connecter de l alimentation secteur Retirer l objet tester Retirer l unit de commande du module d tecteur Ouvrir les fermetures rapides 30 3 de la pa Erl uterungen zur Abb 30 1 Abdeckhaube 2 Innansechskantschraube 3 SchnellverschluB 4 Rechte Seitenwand Key to Fig 30 1 Cover lid 2 Hex screws 3 Rapid fastener 4 Right hand cover L gende de la fig 30 1 Capot 3 Vis six pans creux 3 Fermeture rapide 4 Parol lat rale Abb 30 finen des UL 100 PLUS zum Ausbau der Mikrocomputerplatine Fig 30 Opening the UL 100 PLUS for accessing the microprocessor peb Fig 30 Ouverte de la paroi lat rale pour d monter la carte microprocesseur tenwand 30 4 ffnen und Seitenwand ent fernen 2 innensechskantschrauben 30 2 mit 5 mm Schl ssel entfernen Abdeckhaube 30 1 des Lecksuchmoduls in L ngs Testanschlu richtung ca 20 mm ver schieben Abdeckhaube ca 30 mm anheben Abdeckhaube weiter in L ngsrichtung ver schieben und in den Nuten eingeschobene Mikrocomputerleiterkarte vorsichtig heraus gleiten lassen bis die Abdeckhaube entfernt werden kann A Die Mikro
126. ektronik Elnhait mit Servicefeld 4 Schraubendreher Kay to Fig 25 1 Leak detection module 2 Locking device of atectronics unit 3 Electronics unit with service panel d Scrawdriver L gende de la fig 25 1 Module d tecteur 2 Verrou de l unit lectronique 3 Unit lectronique avec panneau de service 4 Tournevis 2 7 Servicefunktion der Elektronik Einheit Die auf der R ckseite des UL 100 PLUS Lecksuch Moduls eingebaute Elektronik Ein heit 25 3 l t sich so ausklappen daB das Servicefeld f r den Bediener zug nglich wird Dazu wird mit einem Schraubendreher 25 4 der Verriegelungsbolzen 25 2 am Lecksuch Modul 25 1 hereingedr ckt und die Elektro nik Einheit 25 3 ausgeklappt ber den Schlitzschalter 26 2 l t sich der UL 100 PLUS in den Normalbetrieb bzw den Servicebetrieb umschalten Servicezweck In Stellung NORMAL des Schlitzschalters 26 2 lassen sich Ventile wenn von der Steuerung ge ffnet durch Bet tigen des ent sprechenden Bedienschalters 26 13 zwangs weise schlieBen Die jeweilige Ventilstellung wird durch LEDs im Funktionsschema 26 6 angezeigt Nach der Funktionskontrolle m ssen die Schalter 26 13 unbedingt wieder in Stellung AUTO MATIK geschaltet werden Sollen von der Steuerung geschlossene Ven tile von Hand auch ge ffnet werden k nnen mu vorher der Schlitzschalter 26 2 mit einem passenden Schraubendreher von Stel tung NORMAL auf Stellung SERVI
127. elay output Fig 14 Sortie de relais Erl uterungen zur Abb 13 Key to Fig 13 L gende de ta tig 13 1 e 1 not used 1 Libre 2 Ro 2 RXD 2 RXD 3 T a TXD TxD 45 irei 4 5 not used A8 Libres D 6 Gen 8 Gen 7 GNO 7 GNO 7 GND 8 nicht belegen 89 donot use ge Libres 10 Trigger 1 Relals Ausg n 10 Trigger Relay outputs 10 Trigger sortias de relais 11 Trigger 1 Relals Ausg nge 1 Trigger 1 Relay outputs 1i Trigger 1 sorties de relais 12 Trigger 2 Relals Ausg n 12 Trigger 2 Relay outputs 12 Trigger 2 sorties de relais 13 Trigger 2 Relais Ausga 13 Trigger Relay outputs 13 Trigger 2 sorties de relais 14 Steuerung Tellstromventil 14 Control partial flow valve 14 Commande robinet flux partie 15 igsmasse f r 14 18 Reference ground for 14 18 Massa de r f rance pour 14 16 24V Vers f r 17 18 24V version far 17 18 Version 24 V pour 1 17 Teilstromventil R ckmeldung 17 Partlal flow Valve status ind 17 Robinet 18 Pul luten 18 Pumping venting Rem 18 Evacuer remettre l air Fernsteuerung co 19 StandByFiutenFernsteverung 19 Si 20 0 21 Bezugsmasse Pumpen Flu 21 ten Stand By 4 S me OV 100 Se trol tandby venting Rem control 19 ot used t l commande Stand by remettre l air t l commande Reference ground pumping 20 Libre venting Standby 21 22 Helium signal Measurement rai Masse de r f rence vacuer remettre l air Stand by a signal 22 S
128. en Jetzt kann der Stecker durch Anfassen an der Griffh lse aus der Buchse herausgezogen werden Die Entriegelung der Steckvorrichtung geschieht dabei automatisch Zum Stecken m ssen die roten Lagemarkierungen zueinan der zeigen Mit eingestecktem Stecker kann man die Steckvorrichtung wieder in der Kabel box verschwinden lassen Dazu ist vorsichtig an der Leitung zu ziehen und gleichzeitig der Buchsentr ger mittels leichter Drehung am Stecker im Uhrzeigersinn zu entriegeln und durch Nachgeben der Leitung in die Leitungs box zur ckgleiten zu lassen Hinweis Den Steckverbinder hinter der R ndelmutter ergreifen Durch Ergreifen und Drehen der R ndelmutter l st sich der innere Teil und wird in den UL 100 PLUS zur ckgezogen 32 supplies an output voltage ranging between 0 and 10 V The relationship between voltage and pressure is given in Fig 19 Example of a pressure output Analog output 1 0 V is equivalent to an inlet pressure pg 1 0 10 mbar 2 2 13 8 Headset Socket Next to the keylock switch 11 2 on the side of the remote contro unit 11 1 is a headset socket 11 3 Headsets impedance gt 500 N can be connected with a 3 5 mm phone plug 2 213 9 Carrying Chain The carrying chain included with the acces sories can be used to wear the remote control unitThe carrying chain is attached by firmly pressing it into the lock 11 4 The carrying chain may be detached by slightly tuming the end within the lock
129. entiometer 26 12 f r die gew nschte Masse mit Schraubendreher so einstellen da maximale Anzeige erscheint die An zeige mu dann bei Verstellung des Potis in beiden Richtungen kleiner werden Anschlie end Testieck schlie en und ber pr fen da die Anzeige zur ckgeht es darf bei Masse 2 und 3 eine Restanzeige aufgrund des relativ hohen nat rlichen Untergrundes bzw Partialdruckes bleiben bei Masse 4 mu die Null indikator LED 4 21 leuchten indicates CONT alternating with the last status indication the UL 100 PLUS can be brought back into the norma operating mode by briefly pressing the START pushbutton 4 24 once or twice The UL 100 PLUS will then revert to the standby mode STBY after run up if required 2 7 3 Alignment of Mass Position In order to obtain maximum sensitivity and stability the mass spectrometer within the UL 100 PLUS must be correctly aligned The UL 100 PLUS is factory aligned to masses M2 and M4 and supplied adjusted to mass 4 Alignment for mass 3 may be neccessary For masses 2 and 4 alignment should be checked during calibration see Section 2 6 The alignment procedure can only be carried out by letting the relevant test gas into the UL 100 PLUS For masses 2 and 3 it is reqiured to connect a Hz calibrated leak for example TL 4 6 Cat No 155 80 with a pressurized hydrogen reservoir to the leak detector inlet For mass 4 use either the internal calibrated leak
130. eposits For shortest pumping times volumes over 5 liters should be tested only with an external partial flow pump set For this refer to operating modes 4 and 3 given in Fig 20 2 4 5 Special Features of Small Volume Test Objects For small test objects a spray gun with a fine nozzle should be used if possible This pre vents helium from entering the test object through several leaks at once If necessary shield the leak as shown in Fig 21 Abb Fig 22 2 4 3 2 D termination du temps de r ponse 2 Pour d terminer le temps de r ponse on place une fuite calibr e l endroit de la pi ce le plus loign possible du raccord test Le taux de fuite affich par le UL 100 PLUS correspond au taux de fuite calibr On ferme la fuite cali br e et mesure en m me temps le temps n cessaire pour que le taux de fuite affich par le d tecteur UL 100 PLUS tombe environ 37 de la valeur d origine Le temps ainsi me sur est le temps de r ponse 2 4 3 3 D tectlon de fuite Integrale Dans ce cas la pi ce 22 2 se trouve dans un sac 22 3 par exemple une enveloppe en PCV remplie d une concentration d h lium connue 22 4 Dans la mesure du possible feire en sorte que l enveloppe ne recouvre pas la bride de raccordement 22 6 L tanch it de ce raccordement pourrait laisser passer de l h lium provoquant ainsi un affichage parasite 2 4 4 Particularit s pour les pi ces de grand volume Le temps d
131. er UL 100 PLUS betriebsbereit Hinweis Bei der Erstinbetriebnahme bzw nach l nge rer Stillstandszeit kann es zu einer berschrei tung dieser Hochlaufzeit kommen Die Fehler Indikator LED blinkt Durch erneutes Dr cken der Taste START kann der Fehler quittiert werden Durch nochmalige Bet tigung wird das Ger t abgeschaltet siehe Abschnitt 2 5 Es nimmt nach dem Hochlauf den gleichen Zustand ein den es beim Ausschalten hatte siehe Ab schnitt 2 2 10 2 2 1 3 Netzspannungsausgang f r Zu satzger te An der Ger testeckdose 8 6 kann f r Ver braucher niedriger Leistungsaufnahme max 1 A die am Kombistecker 8 5 zugef hrte Netzspannung entnommen werden z B f r den QUICKTEST QT 100 Heliumschn ffler Hinweis Die Ger testeckdose 8 6 wird nicht ber den Netzschalter vom Netz getrennt Sie f hrt stets die Netzspannung 2 2 2 Tasten START und STOP VENT Taste START Nachdem der UL 100 PLUS mit dem Netz schalter eingeschaltet und der Hochlauf be Abb 8 NetzanschluB Fig 8 Mains connection Fig 8 Raccordement secteur 8 3 whereby the number facing the marking 8 4 at the top applies To set the mains voltage remove the slide in fuse unit 8 3 next to the power socket with a screwdriver 8 1 and turn it so that the de sired voltage can be read at the top of the marking 8 4 Push the slide in fuse unit back into the socket 8 5 in this position Plug the power lead into the pow
132. er socket 8 5 and connect it to the mains The UL 100 PLUS can now be switched on by operating ON OFF power switch 8 7 2 2 1 2 ON OFF Power Switch By operating the power switch 8 7 the UL 100 PLUS is switched on The UL 100 PLUS starts with the automatic run up of the turbo pump After approx 3 min the UL 100 PLUS is ready for operation Noto During initial operation or after a prolonged standstill period the run up time may be ex ceeded The error LED will start to flash This is simply acknowledged by pressing the START pushbutton If the power switch is depressed again the UL 100 PLUS is switched off see sect 2 5 After running up the UL 100 PLUS reverts to the same operational status it had when switched off ses section 2 2 10 2 2 1 3 Mains Outlet for Auxiliary Equip ment Auxiliary equipment with a low power rating max 1 A i e the QT 100 Helium sample probe may be connected to the mains outlet socket 8 6 which carries the same voltage as supplied through power socket 8 5 Note The socket 8 6 is not disconnected from the mains when switching off it always carries the mains voltage 2 2 2 Pushbuttons START STOP VENT Pushbutton START Once the UL 100 PLUS has been switched on via the power switch and the run up has Sur la fiche combin e 8 3 en haut en face de la marque 8 4 Pour r gler la tension n cessaire l appareil retirer le porte fusibl
133. erm gen dieser Pumpe ausgenutzt Seine Gr e bestimmt zusammen mit der Kompression der Turbo Molekular pumpe die Empfindlichkeit der Anordnung Als Vorvakuumpumpe ist im UL 100 PLUS ei ne Drehschieber Pumpe TRIVAC D 1 6 B eingebaut Alle Daten und Angaben k nnen der Gebrauchsanweisung GA 01 200 entnom men warden 1 3 3 Turbo Molekularpumpe Die Turbo Molekularpumpe erzeugt aus dem Helium Druck im Vorvakuum den Helium Druck im Massenspektrometer der dort dann nachgewiesen wird Dabei wird ihr stabiles Kompressionsverm gen f r Helium ausge nutzt Seine Gr e bestimmt zusammen mit dem Saugverm gen der Vorvakuumpumpe die Empfindlichkeit der Anordnung Die Turbo Molekularpumpe ist eine TURBO VAC 50 Alle Daten und Angaben k nnen der GA 05 100 entnommen werden 1 3 4 Massenspektrometer Das Massenspektrometer besteht im wesent lichen aus der lonenquelle dem magnetischen Trennsystem und dem lonenf nger Die lonenquelle ionisiert durch Elektronensto neutrale Gasteilchen und erzeugt daraus einen lonenstrahl Positiv geladene fonen werden durch das negative Potential der Extraktor blende 3 10 aus der lonenquelle abgesaugt und gelangen so in das Magnetfeld 3 8 Dort werden sie auf einer Kreisbahn mit definiertem Radius abgelenkt Nur die Helium lonen M 4 erf llen die Trennbedingungen der An ordnung und erreichen den lonenf nger 3 5 Durch die Ausblendung von St rionen mit Hil fe der Zwischenblende 3
134. ession d admission pe 5 Leckratensignal Mantissa S Leak rate signal mantissa Signal taux de fuite mantisse 6 nicht belegen 6 do not usa 6 Libres Der jeweilige Triggerkontakt ist geschlossen wenn der UL 100 PLUS eine gr ere als die eingestellte Leckrate feststellt inverse Logik Funktion Invers Multifunktions Schnittstelle 12 1 PIN Nr 10 und 11 schlieBender Retaiskon takt von Trigger 1 St r meldung PIN Nr 12 und 13 schlie ender Relaiskon takt von Trigger 2 Be reitmeldung F r Relaisausgang 12 3 PIN Nr 2 und 3 so wie PIN Nr 4 und 5 Der jeweilige Triggerkontakt ist geschlossen wenn der UL 100 PLUS eine kleinere als die eingestellte Leckrate feststellt In allen anderen Betriebszust nden ist er ge ffnet Hinweis Die Triggerausg nge sind f r eine Spannung von max 60 V und einen Strom von max 1 A ausgelegt 2 213 4 Teilstromventilansteuerung Zur Ansteuerung des als Zubeh r im Teil strom Pumpsatz siehe Abschnitt 2 4 7 1 ent haltenen externen Teilstromventils sind fol gende Buchsenkontakte vorgesehen Multi funktionsschnitistelle 12 1 PIN Nr 14 Ventil Steuersignal Ausgang 0V ZU 24V AUF Bezugsmasse f r Nr 14 24V Versargung f r Nr 17 Ventil R ckmelde Eingang Kurz schlu zwischen Nr 16 u 17 be deutet Ventil vorhanden und ge schlossen PIN Nr 15 PIN Nr 16 PIN Nr 17 The corresponding trigger contact is closed when the UL 100 PLUS detects a hi
135. fonction est activ e en actionnant trois foi brievement la touche 4 11 et en confirmar ensuite par la touche ENTER 4 13 2 29 Touche de confirmation d entr e ENTER Toute entr e de param tre avec la touch d entr e de valeurs 4 19 ou 4 6 doit tre te min e en appuyant sur la touche de confirme tion activation ENTER 4 13 Ce n e qu ensuite que le d tecteur UL 100 PLUS e en mesure de traiter les nouvelles valeurs La touche sert en outre de confirmation pot l ex cution d un calibrage 22 10 Permanenter Parameterspeicher In der Initialisierungsphase des UL 100 PLUS wird getestet ob die letzte Parametereinstel lung noch gespeichert ist Normalerweise bernimmt der UL 100 PLUS alle Einstellun gen die vor dem Ausschalten des Netzes pro grammiert wurden Sollte ein Verlust der letz ten Parameterdaten vorliegen z B durch Versagen der Puffer Batterie wird eine Grundeinstellung vorgenommen Lautst rke 5 8 des Maximalwertes Einsatzp des Lautspr ab LED 0 Trigger 1 1910 16 mbar s Trigger 2 10 103 mbar l s CAL Faktor mittlere Empfindlichkeit Baudrate 9600 Baud Triggertogik Normal AUTORANGE aktiv Schl ssel 1 bis 6 inaktiv Der Parameterverlust wird durch die Fehler meldung ER10 angezeigt 2 2 11 Gasballastventil Das Gasballastventil der im UL 100 PLUS eingebauten Vorvakuumpumpe ist von au en zu bedienen Dazu Tragegriff 9 4 heraus ziehen und die Abdeckung 7 3 abnehmen
136. g 2 The UL 100 PLUS is then ready for leak detection This is also indicated by the change from pressure indica tion to leak rate indication on the remote con trol unit Fig 4 Due to the partial flow ratio it is now possible to detect leak rates down to 1 10 mbarls t Automatic switch over occurs when the pres sure drops Valve V 1 2 closes and valve V 1 opens when pe lt 0 2 mbar FINE see Fig 2 Due to the smaller partial flow ratio the leak rate range down to 109 mbarks is now available By activating key No 3 see Section 2 2 13 1 or by operating the Manual and the parame ter entry pushbutton to is possible to reach the maximum sensitivity of 2 10 10 mbarls ULTRA 2 4 7 2 Other pump sets Basically any type of rotary vane pump may be used in the partial flow pump set as well as other types of valve and tubing see operating mode 4 in Fig 20 But it should be noted that the UL 100 PLUS software will only func tion properly with solenoid valves Cat No 287 42 287 52 288 42 288 52 depending On voltage and casing material Moreover when using other pumps or different tubing the Calibration process should be run for r gime de UL 100 PLUS est termin e les op rations ult rieures sont command es uni quement par la touche START START 4 24 et la touche STOP AVENT 4 2 Pour vacuer une pi ce par le groupe flux partiel 2 7 actionner bri vement la touche START 4 24 Remar
137. g 4 Rot Gr n Status LED Taste STOP VENT 2 3 4 Skala f r Leckrate mit 5 Skala f r Leckrate mit 6 7 8 Hand LED 10 Multifunktions Tast 11 Multifunktions Tast 12 Multifunktions 18 Multifunktions Taste 20 Fehler Indikator LED 21 Null Indikator LED 24 Taste START Key to Fig 4 1 Rad green status LEO Manual LED 13 ENTER pushbutton 14 Auto zero pushbutton 18 Multi 20 Error indicating LED 21 Zero Indicator LED L gende de la fig 4 CEL d lat rouge vert Touche STOP VENT DEL de Manuelle vonanaun Touche multifonction 12 Touche multifonction 14 Touche Auto Z ro 15 Touche multifonction 17 Touche multifonction 18 Touche multifonction 24 Touche START 16 Touche multifonction 2 Utilisation 2 1 Installation de UL 100 PLUS 2 11 El ments de commande et d affi chage Les commandes et affichages de UL 100 PLUS sont contenus dans l unit de commande reli e par un c ble UL 100 PLUS Eile peut servir directement sur l appareil ou s par ment pour commander UL 100 PLUS distance Les commandes et affichages des valeurs et des tats sont pr sent s et d crits dans la fig 4 Erl uterungen zur Abb 4 1 Kombi Anzeige t r Druck und Leckrate Exponenten 1 Dekade Exponenten 2 Dekade Werteingabe Taste klelner werdende Warte Me bereichswahl Taste Hand 9 Multifunktlons Taste LED f r Trigger 1 LED f r
138. g result is not falsified by helium entering other leaks nearby If necessary the leak of the test object should be shielded eg with a cardboard tube A test object connected to the UL 100 PLUS is evacuated by briefly depressing the push button START 4 24 The falling intake pressure pg test object is shown on the scale 4 23 of combined indi cator 4 3 Switch over of the combined indi cator 4 3 from pressure indication pe py to leak rates occurs under the following condi tions in operating modes 1 and 2 according to Fig 20 at pe 0 2 mbar in operating modes 4 and 3 according to Fig 20 at pe 100 mbar The leak detector is now in the meaurement mode When the test object is sprayed with helium helium can enter the test object through any existing leak owing to the pressure difference between inside and outside and is detected by the mass spectrometer 2 4 3 Handling of the Test Object for Local or Integral Leak Detection 2 4 3 1 Local Leak Detection For local leak detection the test object 21 2 connected to the UL 100 PLUS must be sprayed with not too much helium at the points where leaks are suspected If possible use a spray gun with a fine nozzle 21 4 In order to detect very smali leaks in addition to leaks already discovered on the test object the latter must be closed temporarily e g by applying alcohol When spraying the test object with helium it is absolute
139. gher leak rate than the one set Inverse logic Function inverse Multi function interface 12 1 PIN No 10 and 11 normally closed relay contact of trigger 1 error PIN No 12 and 13 normally closed relay contact of trigger 2 ready For relay output 12 3 PIN No 2 and 3 as well as PIN No 4 and 5 The corresponding trigger contact is closed when the UL 100 PLUS detects a lower leak rate than the one set In all other operating modes it is open Note The trigger outputs are rated for a voltage of 60 V max and a current of 1 A max 22134 Driving of the Partial Flow Control Valve The following socket contacts multifunction in terface 12 1 may be used to drive the exter nal partial flow contro valve which is included with the accessories for the partial flow pump set sea 2 4 7 1 PIN No 14 Valve control signal output 0V Closed 24V Open PIN No 15 Reference ground for No 14 PIN No 16 24 V supply for No 17 PIN No 17 Valve position indicator input a Short circuit between No 16 and 17 means valve connected and closed Extern External Externe Remote cont GND Masse de r f rence pour t l commande Abb 18 Ansteuerung durch Schaltkontakte Fig 16 Remote control via swilches Fig 16 T l commande par contacts RECORDER OUTPUT Abb 18 Recorderausgang Fig 15 Recarder output Fig 18 Sortie enregistreur Chaque contact trigger se ferme quand UL 100 PLUS constate un ta
140. gime de l appareil ce qui permet de la contr ler 5 Abschn 2 4 8 SNIFF Schl ssel 6 Section 2 4 8 SNIFF Kay No 6 Section 2 4 8 SNIFF cl 6 3 Aniagenlecksucher Abschn 2 2 13 1 GROSS FINE Schl ssel 5 Systems leak detectar Section 2 2 13 1 GROSS FINE Key No 5 D tecteur d installation section 2 2 13 1 GROSS FINE cl s 4 mit Option Tellstrompumpsatz Abschn 2 4 7 1 GROSS FINE ULTRA Schl ssel 3 with partial flow pump set option Section 2 4 7 1 GROSS FINE ULTRA Kay No 3 avec l option groupe de pompage flux partiet section 2 4 7 1 GROSS FINE ULTRA cl 3 Rezipient Vac chamber Enceinte 37 2 4 2 Vakuum Lecksuche mit Pr fling Zur quantitativen Bestimmung einer Leckrate ist das Leck eines Pr flings mit einer Helium Konzentration von 100 zu bespr hen Das hei t da solange Helium gespr ht werden mu bis die Anzeige nicht mehr gr er wird Dabei ist sicherzustellen da das Me ergeb nis nicht durch Helium verf lscht wird das durch zus tzliche Leckstellen in der N he ein dringt Gegebenenfalls ist das Pr flingsleck z B durch eine Pappr hre abzuschirmen Ein am UL 100 PLUS angeschlossener Pr f ling wird durch kurzes Bet tigen der Taste START 4 24 evakuiert Der fallende EintaBdruck pg Pr fling wird auf der Skala 4 23 der Kombi Anzeige 4 3 an gezeigt Ein Umschalten der Kombi Anzeige 4 3 von Druckanzeige pe py auf Leckra
141. gt Die leuchtenden LED s auf der Kombi An zeige 4 3 geben den Bereich an in dem das akustische Signal aktiviert ist Durch zweimaliges Bet tigen der Multifunk tions Taste Akustisches Signal 4 16 leuch tet die Lautst rke LED 4 17 ber Wertein gabe Taste 4 19 oder 4 6 kann in diesem Fall dio Lautst rke des akustischen Signals ge ndert werden Die Intensit t wird durch Aufleuchten der LED s 4 3 von unten nach oben angezeigt Die Eingabe mu mit der Taste f r Eingabe Ende ENTER 4 13 abgeschlossen wer den Die Einstellung kann durch nochmaliges Dr cken oder zweimaliges Dr cken der Taste 4 16 abgebrochen werden 2 28 Multifunktions Taste Trigger und Kalibrierung Hinweis Die Bet tigung der Taste kann aus dem Stand By und dem Me betrieb erfolgen 2 2 8 1 Funktion Trigger 1 und 2 Nor mal Mit Hilfe der Funktionen Trigger 1 und 2 wird bei Erreichen einer bestimmten Leck raten H he je ein potentialfreier Kontakt an der Multifunktions Schnittstelle geschaltet Die Ausg nge Trigger 1 und Trigger 2 an der Multifunktions Schnittstelle siehe Ab schnitt 2 2 13 2 stehen dem Benutzer des UL 100 PLUS zur freien Verf gung Die H he des Leckraten Wertes bei der die potentialfreien Kontakte am Multifunktions Schnittstelle geschaltet werden ist vom Be nutzer frei vorw hlbar Dazu mu die Funktion Trigger 1 oder 2 durch ein bzw zweimaliges Dr cken der Mul tifunktions Tas
142. he status display wili then indicate ERO1 max forevacuum pressure exceeded In order to return to the operating mode with out the pump module the leak detection mo dule must be switched off in this case and again put into operation using key No 4 Key No 5 Key No 5 allows the measurement of leaks at an inlet pressure of pg 100 mbar in connec tion with any backing pump The UL 100 PLUS is thus placed in a position for autoranging in the 10 mbar s to 1 109 mbarl s range depending on the volume flow rate of the backing pump For activation key No 5 is inserted into key slot on the operating unit Then the ENTER pushbutton is operated while the UL 100 PLUS is in the STBY VENT or MEAS mode This function can be cancelled by calling up this function again After having done so the UL 100PLUS reverts to the STANDBY mode When switiching off the UL 100 PLUS mains Switch 8 7 in position OFF this function is cancelled and not stored For applications in automatic testing systems it is only required to insert key No 5 as its presence is automatically detected upon Switching on When using the standard partial flow pump set key No 5 must not be activated as otherwise the partial flow valve will not function With key No 5 active the vacuum chamber Cannot be vented by the UL 100 PLUS Key No 6 Key No 6 enables the sniffer mode Il n est pas possible de pratiquer une remise l air dans UL 100
143. ics are powered up The status display 26 1 on the service panel indicates one after the other once UL 100 PLUS VERSION 3 0 DATE c0cx TIME 1x 9 xx The turbomolecular pump starts to run up automatically Status display 26 1 on the service panel alternatingly indicates ACCL VAC Display of forevacuum and inlet pressure As soon as the inlet pressure py 0 2 mbar and the nominal sp ed of the TMP pump are reached the ready status is indicated by lighting of the exponents and the zero indicators 4 21 The status LED 4 1 goes out The status display on the service panel 26 1 indicates the stand by message STBY S Note If the status display on the service panel 26 1 displays alternatingy ACCL SNIF the UL 100 PLUS was in the sniffer mode before switching off The inlet is evacuated display EVAC the standby mode is skipped and SNIF is displayed Status LED 4 1 lights green Exponent and zero indicator LED 4 21 go out Display of dropping inlet press Ge 4 23 The status display on the service panel 26 1 indicates EVAC As soon as the inlet pressure pg has dropped below 0 2 mbar the combination display 4 3 Switches to leak rate A short pip s sounded Display of the leak rate The status display on the service panel 26 1 indicates MEAS The status LED 4 1 lights red The leak rate display goes out Exponent and zero indicator LED 4 21 light up Venting valve opens audibly See No
144. ignal h lium De 100 marl 23 Signal gamme de mesure px 9V 10 10 mbar4 st av 1019 mbar posant Q 100 mars 24 EinlaBdruck p 24 Inlet pressure pe V 1019 maris 25 Bezugsmasse fLeckratensignal 25 Reference ground leak rate 24 Pression d admission pe Me bereich Signal signal meaSurement range 25 Masse de r f rence signal signal taux de fulte signal gamme de Further description of the single signals for the serial computer interface 12 1 as well as the description of the operating modes REMOTE and PRINT ONLY see instructions for the in terface SB 10 207 in addition to this multifunction interface there is a parallel 9 way interface socket which du plicates the four relay outputs and the record er outputs The pin out of this socket is given in Fig 14 The separate recorder 12 2 out put is in parallel to the aforementioned inter face sockets The pin out of this socket is giv en in Fig 15 e 2 243 3 Trigger Outputs Trigger 1 2 Two trigger outputs see section 2 2 8 1 with floating relay contacts are provided for con nection to external limit value indicators such as for ex PASSED REJECTED For programming and operation of the trigger out puts see Section 2 2 8 The relay contacts are accessible through the multi function socket and the relay output socket whereby the fol lowing pin assignment applies Standard logic Function normal Multi function interface 12 1 and Fig 13 PI
145. il y a commutation de l affichage combin 4 3 sur taux de fuite On entend un bref signal Indication du taux de fuite L affichage d tat 26 1 du panneau de service indique MEAS La DEL d tat 4 1 s allume en rouge L indication de taux de fuite s teint Les exposants et la DEL indicateur de z ro 4 21 s allument On entend distinctement l ouverture du robinet de remis l air CF no 6 Indication vent du taux de fuite au bout du temps de r ponse voir a position du no 7 La DEL d tat 4 1 s teint L affichage de taux de fuite s teint Les exposants et la DEL indicateur de z ro 4 21 s allument 35 2 3 1 Einstellen der Uhrzeit und Datum Um bei Ausgaben des UL 100 PLUS speziell ber die V 24 RS 232 C Schnittstelle g ltige Werte f r Uhrzeit und Datum zu erhalten m ssen diese gegebenenfalls neu eingestellt werden Die Kontrolle der im Ger t pro grammierten Uhrzeit und Datum kann auf zwei Arten erfolgen nach dem Netzeinschalten l uft auf der al phanumerischen Anzeige 26 1 eine Initiali sierungsanzeige ab in der auch Uhrzeit und Datum angezeigt werden Abschnitt 2 3 1 im SERVICE Betrieb sishe Abschnitt 2 7 Service Funktionen Die Einstellung von Uhrzeit und Datum kann ebenfalls auf zwei Arten durchgef hrt werden am Ger t ber die Bedieneinheit im SERVICE Betrieb Dies ist beschrieben im Abschnitt 2 7 im Ablauf nach Bet tigung der Taste HAND ber
146. im Servicefeld erscheint in der Statusanzeige 26 1 einmal durchlaufend nachstehender Text UL 100 PLUS VERSION 3 0 DATE TIME xx xx xx Beginn automatischer Hochlauf der Turbo Molekularpumpe Im Servicefeld erscheint in der Statusanzeige 26 1 alternierend die Anzeige ACCL VAC Anzeige Vorvakuum und Einlafidruck Sobald Vorvakuumdruck py lt 0 1 mbar und die Nenndrehzahl der TMP Pumpe erreicht ist erfolgt Bereitmeldung durch Aufleuchten der Exponenten und Null Indikatoren LED 4 21 Die Status LED 4 1 erlischt Im Servicefeld erscheint in der Statusanzeige 26 1 die Bereitschaftsmeldung STBY Hinweis Erscheint im Serviceteld in der Statusanzeige 26 1 alternierend die Anzeige ACCL SNIF war der UL 100 PLUS vor dem Ausschalten im Schn ffelbetrieb Der Einlaf wird evakuiert Anzeige EVAC Der Stand By Betrieb wird bersprungen und auf der Anzeige erscheint SNIF Die Status LED 4 1 leuchtet gr n Die Exponenten und Null Indikator LED 4 21 verl schen Anzeige fallender Einla druck pg 4 23 Im Servicefeld erscheint in der Statusanzeige 26 1 EVAC Sobald Einla druck pe 0 2 mbar Umschalten der Kombi Anzeige 4 3 auf Leckrate Ein kurzes Signal ert nt Anzeige der Leckrate Im Servicefeld erscheint in der Statusanzeige 26 1 MEAS Die Status LED 4 1 leuchtet rot Leckratenanzeige erlischt Die Exponenten und die Null Indikator LED 4 21 leuchten Flutventil ffnet h rbar Siehe
147. im Teilstrombetrieb unter 100 mbar ge sunken ist und die Leckrate auf der Bedien einheit angezeigt wird Die Ventile V1 und V2 sind ge ffnet V3 ist geschlossen Wird im Teilstrombetrieb mit angeschlosse nem Teilstromventil gearbeitet sind bei einem Einla Druck von 100 mbar gt pg gt 0 2 mbar V1 und V3 geschlossen und V2 V1 2 und Vox ge ffnet Bei einem Einlafi Druck von pe lt 0 2 mbar sind V1 V2 und Ve ge ffnet V3 und V1 2 sind geschlossen VENT erscheint nach Fluten des Einla bereiches und Verlassen des Lecksuchstatus MEAS durch langes gt 2 s Bet tigen der Taste STOP VENT 4 2 Die Ventile V2 und V3 sind ge ffnet V1 V1 2 und Vox ist geschlossen CAL Cal erscheint beim kalibrieren 2 7 2 Fehlermeldung Die Bedeutung der Fehlermeldungen im ein zelnen EROO Erscheint im Servicefeld in der Statusanzeige die Anzeige EROO liegt ein Systemfehler vor In der Statusanzeige erscheint als st ndig durchlaufender Text ER00 CODE xx 3 LINE x00x x Zahlenwert von 1 bis 40 xoxx Zahlenwert von 1 bis 32 767 Durch einen Neustart kann es m glich sein da sich der Systemfehler automatisch be seitigt Sollte der Systemfehler wiederholt auf treten ist unbedingt der Service zu benach richtigen STBY Standby this indicates that the UL 100 PLUS is ready for leak detection this occurs after successful run up or after having left the leak detection status MEAS by operating
148. inla druck pg kleiner als 0 2 mbar erfolgt automatisch ein Umschalten der Kombi Anzeige 4 3 von Einla druck pe 4 23 auf Leckraten Anzeige Wird der Pr fling mit Helium bespr ht kann Helium durch die Druckdifferenz durch ein eventuell vorhandenes Leck in den Pr fling eindringen Helium gelangt innerhalb der An sprechzeit in das Massenspektrometer Das Massenspektrometer ionisiert die Gas Molek le trennt sie nach ihrem Masse zu Ladungs verh ltnis und f ngt die Helium lonen Mas senzahl 4 auf Der Strom proportional zur Anzahl der Helium lonen die auf den lonen f nger 3 5 treffen wird verst rkt und auf der Kombi Anzeige 4 3 als Leckrate sichtbar ge macht Zum Bel ften des Pr flings mu die Taste STOP 4 2 lange gedr ckt werden minde stens 2 s Die Status LED 4 1 leuchtet rot Der Pr fling wird h rbar geflutet und kann abgenommen werden 1 3 Technical Description The UL 100 PLUS is used for detecting leaks and for quantitative determinations of leak rates The smallest detectable helium leak rate is 210719 mbar st The UL 100 PLUS consists of the leak de tection module and the pump module The UL 100 PLUS is supplied ready for ope ration with the leak detection module matched to the pump module and calibrated The leak detection module may be used individually for detecting leaks in vacuum systems In this case make sure that the leak detection modu le is connected to a point in
149. is a system fault The status displays continuously the following text EROO CODE xx te LINE xox x Value from 1 to 40 xoxx Value from 1 to 32 767 By restarting it may be possible that the sys tem fault disappears automatically Should the system fauit appear repeatedly call the ser vice STBY Stand By UL 100 PLUS signale qu il est pr t d tecter des fuites Ce mode est tabli apr s une bonne mise en service en sortant du mode d tection MEAS en actionnant bri vement lt 2 s la touche STOP VENT et apr s la Correction d un tat d erreur Les robinets V1 et V3 sont ferm s V2 est ouvert La pompe turbomol culaire tourne 63 000 T min EVAC Apparait apr s l actionnement de la touche START 4 24 si l appareil tait pr c de ment en mode Stand By STBY ou remise l air VENT Les robinets V2 et V3 sont ferm s V1 est Ouvert En r gime flux partiel avec robinet flux partiel raccord V1 V1 2 et V3 sont ferm s et V2 et Vext Sont ouverts MEAS Apprait apr s l vacuation EVAC lorsque la pression tombe en dessous de 0 2 mbar l admission ou en r gime flux partiel sous 100 mbar et que le taux de fuite est affich sur l unit de commande Les robinets V1 et V2 sont ouverts V3 est ferm Lorsqu on travaille en flux partiel avec robinet flux partiet raccord pour une pression d admission de 100 mbar z pe gt 0 2 mbar V1 et V3 sont ferm s et V2 V1 2 e
150. is remote control input is comparable to that of the autozero pushbutton 4 14 on the hand unit see Section 2 2 6 The switch must be installed in such a way that the contact opens when the sniffer probe is taken out so that the helium background is suppressed at that time This is indicated by a flashing zero indication LED 4 21 2 4 8 1 Leak Testing with Standard Snifter The standard sniffer probe is always used when the highest sensitivity is required It also has the advantage that gas intake is very low It is therefore especially well suited for hood tests or for the measurement of very fine leaks 2 4 8 2 Leak Detection with the QUICK TEST QT 100 Sniffer Probe The QUICKTEST QT 100 avoids the limita tions of the standard sniffer concerning the length of the sniffer line Due to its sucking ef fect it has the additional advantage of being able to indicate any leaks fairly far apart from the probe tip Therefore it is especially well suited for the lo calization of leaks 2 5 Switching Off To switch off the UL 100 PLUS set the ON OFF power switch 8 7 to the OFF position No other action is necessary The operating mode is stored The instrument reverts to the same operating mode when it is Switched on again Note The gas ballast valve of the TRIVAC D 1 6 B see Section 3 2 1 must always be closed during transport En mode renifleur l entr e de t l commanda POMPER broche no 18 de
151. kalibriert Das Lecksuch Modul kann auch allein zur Auffin dung von Lecks an Vakuumanlagen eingesetzt werden Es mu sichergestellt sein da das Lecksuch Modul nur an einer Stelle der Anla ge angeschlossen wird wo der Druck mit Si cherheit immer kleiner als 0 2 mbar ist Hinwels Bei alleiniger Verwendung des Lecksuch Mo duls mit einem externen Vorvakuum Pumpsatz mu f r die quantitative Leckraten Anzeige das Saugverm gen dieses Pumpensatzes be r cksichtigt werden siehe Abschnitt 2 4 7 Gegebenenfalls ist das Lecksuch Modul neu zu kalibrieren Bei Verwendung des Teilstrom Pumpsatzes gilt die Kalibrierung ber den ge samten erweiterten Me bereich Nach dem Einschalten der Netzspannung be ginnt der UL 100 PLUS mit dem automa tischen Hochlauf Dabei wird auf der Kombi Anzeige 4 3 der fortlaufend erfaBte Vorvaku umdruck py 4 22 und der einmal ermittelte EinlaBdruck pe 4 23 angezeigt Der UL 100 PLUS ist lecksuchbereit wenn der Hochlauf beendet ist Dann schaltet die Kombi Anzeige 4 3 auf Leckraten Anzeige um und zeigt die Betriebsbereitschaft des Ger tes an Durch kurzes Bet tigen der Taste START 4 24 wird die Evakuierung eines am UL 100 PLUS angeschlossenen Pr flings begonnen gleichzeitig leuchtet die Status LED 4 1 gr n die Kombi Anzeige schaltet wieder auf Druck anzeige Der fallende Einla druck pe Pr fling wird auf der Skala 4 23 der Kombi Anzeige 4 3 an gezeigt Ist der E
152. kuumpumpe D 25 B L gende de la tig 2 1 Spectrom tre de masse Pompe turbomolecufalre TURBOVAC 50 Polnt de mesure pression totale vide primaire Point da mesure pression totale admission Raccord d admission DN 25 KF 2e raccord test ou raccord du groupe de pompage de flux partiel DN 25 KF Option jeu de pompes en r gime flux partiel Option fulte calil l h llum TL 7 on onaum 1 3 1 Description of the Leak Detection Principle Counterflow With the counterflow principle the test object is linked to the backing pump This permits considerably higher test object pressures compared to the conventional full flow principle The helium diffuses against the turbo molecular pump s pumping direction into the mass spectrometer while heavy gas s especially water vapors are restrained mass dependent compression capacity A cold trap in conjunction with liquid nitrogen is thus no longer needed 1 3 1 1 Valve positions The following table provides information in which way valve position and operating mode are related See also Fig 2 Lecksuch Modul Leak detection madule Module d tecteur 9 Raccord ON 25 KF pour la calibr e l h lium 10 Robinat d isolement chappement 11 Pompe vide rotative palettes TRIVAC D 1 8 B 12 Ligne de s paration accouplement pour vide vi Robinet d vacuation Robinets d admission de remise l air V1 2 Robinet pour grosses fuites Robinet ext pour option g
153. l interface mutti fonction peut servir d terminer le fond h lium Il faut pour cela monter un commutateur sur le Support de la pointe du renifleur et le relier avec l entr e de t l commande entre broche no 16 et broche no 18 de l interface multi fonction Cette fonction de l entr e de t l commande est comparable celle de la touche de remise z ro 4 14 de l unit de commande section 2 2 6 Le commutateur doit tre mont de telle mani re que le contact s ouvre en annulant le fond h lium lorsqu on retire de son support la pointe du renifleur La suppression du fond h lium est indiqu e par le clignotement de la DEL z ro 4 21 2 4 8 1 D tectlon avec renifleur standard N s utilise toujours pour obtenir la plus haute sensibilit a d autre part l avantage de ne pas aspirer de gaz en quantit notable C est pourquoi il est particulierement appropri pour le test sous enveloppe ou pour la mesure de fuites particuli rement petites 2 4 8 2 D tection avec le renifleur rapide QUICKTEST QT 100 Il n est pas contraint comme le renifleur stan dard de courtes distances Avec son effet aspirant il pr sente l avantage d indiquer des fuites relativement loign es de la pointe du re nifleur Il est donc particul rement appropri la loca lisation des fuites 2 5 Arr t de l appareil Commuter l interrupteur MARCHE ARRET 8 7 sur la position ARRET D autres mesu res ne
154. l unit 1 1 4 Modules The UL 100 PLUS comprises two modules M Soumettre approfondi l appareil un contr le visuel Contr ler l unit de commande distance et le cordon de raccordement afin de s assurer qu aucun dommage n est apparu pendant le transport Les ventuelles constatations de dommage doivent tre imm diatement signal es l ex p diteur et l assureur Prendre contact avec le service commandes lorsque des pi ces endommag es doivent tre remplac es 1 1 1 D signation Appellation D tecteur de fuites h lium portatif ULTRATEST UL 100 PLUS Module d tecteur Module pompe Abr viation 1 1 2 Emploi Le d tecteur de fuites h lium UL 100 PLUS travaille selon le principe de d tection par spectrom trie de masse Le d tecteur UL 100 PLUS se distingue par sa grande plage de d tection Cet appareil permet d effectuer des preuves d tanch it sur des pi ces de diff rentes tailles Les petites pi ces vol s 10 D peuvent tre vacu es par la pompe vide primaire de UL 100 PLUS De l h lium peut p n trer par la fuite dans la pi ce lorsqu on la vaporise avec ce gaz M me de tr s faibles concentrations d h lium peuvent arriver au spectrom tre de masse pour y tre d tect es UL 100 PLUS L utilisation d azote liquide n est pas n cessaire gr ce au principe de travail
155. le mode d emploi GA 01 200 3 2 2 Pompe turbomol culaire TUROBOVAC 50 La pompe turbomol culaire TURBOVAC 50 in corpor e dans le d tecteur UL 100 PLUS n exige pas d entretien Veuillez consulter le mode d emploi GA 05 100 pour les caract risti ques techniques et les informations n ces saires 3 2 3 Remplacement du flitre air Mettre UL 100 PLUS hors circuit Retirer la fiche secteur Remarque Le filtre air se trouve derri re la paroi lat rale audessus du panneau des connexions lectriques D verrouiller les deux fermetures rapides 28 1 en toumant vers la gauche avec un tournevis on entend un clic Retirer la paroi lat rale 28 2 au bord in f rieur de UL 100 PLUS et tirer prudemment Erl uterungen zur Abb 27 labla schraube lstandsmarka minimum lstand lstandsmarke maximum Abdeckung leinla schraube Tragegritt ey to Fig 27 Oll drain plug Minimum oil level mark Oll level Maximum oll level mark Cover oli tilling plug Handie gende de la fig 27 Vis de purge d huile Marque niveau d huile minimum Niveau d hulle Marque niveau d huile maximum Couverture vis d admission d huile Polgnda onaun Abb 27 labla schraube und lstandsschauglas Fig 27 Oildrain plug and oil level glass Fig 27 Vis de purge d huile el regard du niveau d hulie Erl uterungen zur Abb 28 1 Schnellverschilisse 2 Seitenwand 3 Luftfilter 4 Ansatz f r Luftrohr Key ta Fig
156. len Kontakt offen ACCEPT 22 8 2 Fonction trigger 1 et 2 Inverse ll est possible d inverser la fonction des trig gers Comme indiqu dans le tableau 1 lors que la fonction est invers e les seules pi ces signal es comme acceptables sont celles dont la mesure est effectivement sous le seuil trigger du taux de fuite Les erreurs de l appareil ne peuvent plus tre interpr t es comme des pi ces apparemment tanches Pour inverser la logique trigger il faut actionner la touche automat trigger log 4 18 pen dant le r glage des triggers L affichage com bin 4 3 et les sorties pour trigger 1 et 2 de l interface multifonction CF sec 2 2 13 2 sont alors invers es On reconna t ce mode par la repr sentation invers e de la ligne DEL 4 3 La DEL de la valeur du trigger n est plus allum e Les sorties ne travaillent plus comme contacts de travail mais comme contacts de repos Le tableau 1 indique les tats de commutation des relais Funktion Invers Relais 1x EIN Kontakt offen REJECT Relais abgefallen Kontakt offen REJECT 2 Kabelbruch Kontakt offen ACCEPT Kontakt offen REJECT 3 Ger t eingeschaltet Hochlauf 4 Ger t eingeschaltet Normalbetrieb Leckrate Triggerschwelle Leckrate gt Triggerschwelle Relais angezogen Kontakt geschlossen REJECT Table 1 Trigger relay Equipment status 3 Unit switched on running up 4 Unit switched on normal operation Leak
157. losed Auto vw H Abb 26 Servicefald Fig 26 Service panel Fig 28 Panneau de service Erl uterungen zur Abb 26 4 stellige alphanumerische Fehlar und Statusanzeige Schiltzschatter Umschaltung SERVICE NORMAL we 3 Testpunkte f r Gerdtespannungen 4 LED f r Fahlermeldung bei Emissionsaustall 5 LED f r Funktion der Emission 6 Funktionsschema mit Zusiandsanzeige durch LEDs 7 8 9 Katoda 2 LED f r Anodenheizung Katode 1 eldung bel Heizungsausfall l r Massa 2 3 oder 4 Ab Werk auf M 4 r f r Abgleich Masse 2 3 und 4 Bedienschalter f r Ventilbet tigung von Hand Durch Dr cken der Taste START 4 24 Anzeige Heliumleckrate bei korrektem Va kuumdruck der TMP Durch Dr cken bestimmter Tasten der Bedieneinheit siehe Abb 4 erh lt man auf der alphanumerischen Status und Fehleran zeige 26 1 folgende Zusatzanzeigen Taste Automatik Triggerlogik 4 18 zyklische Anzeige der Betriebsstunden und Kennung des Servicemodes OPERA TION TIME x oxHOURS and xMINUTES und SERV Der Abbruch der zykl An zeige erfolgt mit einer beliebigen Taste Taste ENTER 4 13 zyklische Anzeige von Offset Vorverst rker Kalibrierfaktor Turbopumpendrehzahl und Kennung des Servicemodes VARIABLES OFA ox CAL xxxx TMP xox RPM und SERV Der Abbruch der zykl Anzeige erfolgt mit einer beliebigen Taste Taste Zero 414 zyklische Anzeige Ger tenummer und Ken nung des Servicemodes I
158. ly essential to spray helium as long as the ascertained system s response time Oth erwise a leak in the test object may be missed or be incorrectly localized Abb 21 Lokale Lecksuche Fig 21 Local leak detection Fig 21 Detection de fuite locale 242 D tection de fuites sur pi ce sous vide Pour la d termination quantitative d un taux de fuite il faut asperger la fuite d une pi ce par une concentration d h lium 100 et ceci jusqu ce que l affichage n augmente plus Le r sultat de la mesure peut tre fauss par de Ph lium p n trant par d autres fuites voisines Isoler la fuite contr l e par exemple avec un cylindre en carton Une pi ce raccord e UL 100 PLUS est vacu e en actionnant bri vement la touche START 4 24 La pression d admission d croissante pg pi ce est indiqu e sur l chelle 4 23 de l af fichage combin 4 3 L affichage combin 4 3 commute de l indication de pression pg pv l indication de taux de fuite pg 0 2 mbar dans les modes 1 et 2 de la fig 20 A pe 100 mbar dans les modes 4 et 3 de la fig 20 Le d tecteur est alors en service mesure L h lium avec lequel la pi ce t asperg e peut p n trer gr ce la diff rence de pression entre l int rieur et l ext rieur si cette pi ce pr sente une fuite L h lium ayant p n tr la pi ce est d tect ensuite dans le spectrom tre de masse 243 Travail sur la pi ce pour les d
159. maire et par la compression de la pompe turbomol culaire Une pompe vide rotative palettes TRIVAC D 1 6 B sert de pompe vide primaire pour le d tecteur UL 100 PLUS Toutes les caract ris tiques et indications n cessaires sont donn es dans le mode d emploi GA 01 200 1 3 8 Pompe turbomol culaire A partir de la pression h lium fournie par la pompe primaire la pompe turbomol culaire tablit dans le spectrom tre de masse la pression h lium qui y sera d tect e La stabi lit de la compression pour ce gaz de la pompe mol culaire le permet Sa valeur d termine avec le d bit de la pompe vide primaire la sensibilit du dispositif La pompe turbomol culaire est une TURBO VAC 50 Le mode d emploi GA 05 100 con tient toutes les caract ristiques techniques et informations n cessaires 1 3 4 Spectrom tre de masse Cet appareil se compose principalement d une source d ions d un syst me de s paration magn tique et d un collecteur d ions La source d ions ionise les particules de gaz neutres par bombardement lectronique en cr ant un faisceau ionique Les ions de charge positive sont attir s parle potentiel n gatif du diaphragme d extraction 3 10 tls sortent donc de la source d ions et arrivent daris le champs magn tique 3 8 o ils sont d vi s selon une trajectoire circulaire au rayon d fini Seuls les ions h lium M 4 parviennent passer le syst me de s paration et atteignent le
160. mpe primaire lorsque les pompes palettes rotatives d j install es peuvent tre utilis es comme pompes primaires Le module d tecteur est disponible en tant qu unit ind pendante sous la r f 155 83 Dans le cas des installations UV elles ne sont pas du tout raccord es une pompe primaire et restent donc exemptes d hydrocarbures Proc der de la fa on suivante pour utiliser le module d tecteur de cette mani re S parer le module d tecteur du module pompe en rel chant les deux fermetures rapides Equiper le raccord pr vide du module d tecteur avec une bride aveugle DN 16 KF Raccorder l admission du module d tecteur avec l enceinte sous vide il faut disposer d un robinet sur l enceinte sous videl Ouvrir le robinet vers l enceinte vacu e de sorte que l admission du d tecteur soit vacu e Enfoncer la cl no 4 jusqu la but e dans la fente de l unit de commande Mettre en service le module d tecteur et attendre la mont e par l interrupteur secteur jusqu l allumage de l exposant L appareil est pr t mesurer Actionner la touche START pour obtenir l indication de taux de fuite En actionnant la touche STOP l affichage d tat du panneau de service indique STBY la remise l air est devenue impossible i Actionner la touche CAL 4 11 3x bri ve ment Actionner la touche ENTER 4 13 pour confirmer l op ration 2 4 7 4 Module d t
161. n Weitere Beschreibung der einzelnen Signale f r die seriella Computer Schnittstelle 12 1 sowie Beschreibung der Betriebsarten REMO TE und PRINT ONLY siehe Schnitistellen beschreibung SB 10 207 Zus tzlich zu dieser Multifunktions Schnitt stelle befindet sich parallel eine 9pol Schnitt Stellenbuchse 12 3 auf der nochmals die vier Relaisausgange und die Recorderausgange geschaltet sind Entsprechende Steckerbele gung siehe Abb 14 Der separate Recorder ausgang 12 2 liegt auch parallel zu den bei den vorgenannten Schnittstellenbuchsen Ent sprechende Steckerbelegung siehe Abb 15 2 23 3 Trigger Ausg nge Trigger 1 2 Zur externen Ansteuerung von Grenzwertmel dern z B GUT SCHLECHT Anz igen Sind 2 Triggerausg nge siehe Abschnitt 2 2 8 1 vorgesehen als potentialfreie Relais kontakte Zur Programmierung und Funktion der Trigger Ausg nge siehe Abschnitt 2 2 8 Die Relaiskontakte sind herausgef hrt auf der Multifunktionsbuchse und der Relais Aus gangsbuchse mit folgender Belegung Standard Logik Funktion Normal Multifunktions Schnittstelle 12 1 bzw Abb13 PIN Nr 10 und 11 schlie ender Relaiskon takt von Trigger 1 PIN Nr 12 und 13 schlieBender Relaiskon takt von Trigger 2 Relaisausgang 12 3 bzw Abb 14 PIN Nr 2 und 3 schlieBender Relaiskon takt von Trigger 1 PIN Nr 4 und 5 schlieBender Relaiskon takt von Trigger 2 RELAY OUTPUT 5432 t Abb 4 Relaisausgang Fig 14 R
162. n Calibration of the UL 100 PLUS is greatly simplified by the use of an internal calibrated leak if the UL 100 PLUS is not e quipped with a calibrated leak calibration must be carried out with an external calibrated leak Note Calibration should not take place until 15 min after run up and should be repeated once after approx 2 hours The factors determined during the calibration process remain stored even after switching off Four calibration factors are stored factor GROSS factor FINE factor ULTRA factor SNIFF During calibration in the ULTRA range the factors GROSS and FINE are computed based on the ULTRA factor This computation applies only for operation with the option par tial flow pump set with D 25 B For operation with any other type of system or other partial flow pump it is essential to calibrate the ranges FINE and GROSS in addition The analogue signal output Section 2 2 13 6 or the V 24 interface offer a higher resolution compared to the combined indicator on the hand unit When using the V 24 interface it is possible to output the leak rate once to a ter minal or a computer by pressing the START pushbutton The TUNE process should be run before each calibration 2 6 14 Tuning The tuning process helps to align the mass spectrometer so that its maximum sensitivity is obtained For this the accelerating voltage for the ions in the mass spectrometer is varied in the selected
163. n Druck von pg 0 2 mbar herrscht Nach dem Hochlauf kann im Zustand STBY der Schl ssel Nr 4 wieder entfernt werden In der Betriebsart des UL 100 PLUS ohne Pumpmodul sind die Ventile V1 und V2 immer ge ffnet vorausgesetzt der Einla druck ist lt 0 4 mbar Der Zustand STAND BY unterscheidet sich vom Zustand MEAS dadurch daf die Leck ratenanzeige ausgeschaltet ist berschreitet der Einla druck den Wert 0 4 mbar wird V1 automatisch geschlossen die lonenquelle abgeschaltet und auf dem Statusdisplay die Fehlermeldung ERO1 max Vorvakuum druck berschritten angezeigt Zur Wiederaufnahme des Lecksuchbetriebes ohne Pumpmodul ist in diesem Fall das UL 100 PLUS Lecksuchmodul auszuschalten und dann erneut mit eingestecktem Schl ssel Nr 4 in Betrieb zu nehmen Schl ssel Nr 5 Schl ssel Nr 5 erm glicht das Messen von Lecks bei einem Einla druck von pg 100 mbar mit einer beliebigen externen Vorpumpe Der UL 100 PLUS ist somit in der Lage ein Autoranging f r Me werte von 10 mbarls bis 13109 mbard st durchzuf hren in Ab h ngigkeit vom Saugverm gen der Vorvaku umpumpe Zur Aktivierung den Schl ssel Nr 5 in den Schl sselschlitz der Bedieneinheit stecken und im STBY VENT oder MEAS Mode des UL 100 PLUS die Taste ENTER dr cken Diese Funktion kann durch erneutes Aufrufen wieder aufgehoben werden Danach geht der UL 100 PLUS in den STAND By Zustand Mit dem Abschalten des UL 100 PLUS
164. n de l heure et de la date 36 Modes de service 37 Aper u des modes de service 37 D teotion de fuites sur pi ce sous vide 38 Travail sur la pi ce pour les d tections de fuites locale et intr grale 38 D tection de fuite locale 38 D termination du temps de r ponse 99 D tection de fuite int grale 39 Particularit s pour les pi ces de grand volume 39 Particularit s pour les pi ces de petit volume 39 Particularit s pour les taux de fuite minimes et importants 40 Petits taux de fuite e 40 Importants taux de fuite 40 Proc dures sp ciales de d tection 40 Option groupe de pompage de flux partiel TPS UL 100 PLUS 40 Autres groupes de pompage 42 Service du module d tecteur sans module pompe 43 Module d tecteur avec una autre pompe sur le raccord vide primaire 43 D tection avec renifleur 44 D tection avec renifleur standard 45 D tection avec renifleur rapide QT 100 45 Arr t de l appareil 45 Calibrage et syntonisation 46 Syntonisation 46 Calibrage avec fuite calibr e incorpor s ss 46 Calibrage avec une fuite calibr e exteme 47 Calibrage en mode renifleur 48 Unit lectronique avec panneau de service 49 Indication d tat
165. n position NORMAL tous les robinets ouverts par la commande peuvent tre ferm s par l actionnement du commutateur correspon dant 26 13 La pos actuelle des robinets est indiqu e par des DEL dans le sch ma fonctionnel 26 6 Apr s le contr le fonctionnel les commutateurs 26 13 doivent absolument tre replac s en position AUTOMATIQUE Pour que les robinets ferm s par la comman de puissent galement tre ouverts manuelle ment il faut auparavant tourner le commutateur fente 26 2 de la position NORMAL la position SERVICE avec un tournevis con venable En mode SERVICE la commande par microprocesseur de UL 100 PLUS est pratiquement hors fonction L affichage d tat et d erreur alphanum rique 26 1 signale le mode en indiquant SERV II est alors possible d ouvrir et fermer volont les robinets par les commutateurs 26 13 Les positions des robinets sont indiqu es par des DEL dans le sch ma fonctionnel 26 6 Attention ll n y a pas de verrouillage automatique en mo de SERVICE II est donc possible d obtenir des tats qui n ont pas de sens ou qui sont m me dangereux pour des parties de l appareil Dans ce mode on peut obtenir les indications suppl mentaires suivantes sur l unit de com mande Indication de pg py en actionnant la touche STOP 4 2 49 STATUS ERROR NORMAL OT SERVICE vt v2 V3 V1 2 CAL LEAK KEE de av 13 VALVES Open C
166. n process for baud rate date and time Pressing ENTER 4 13 acknowledges the displayed value and leads to the next display Displayed first is MODIFY VALUES OF BAUD TIME AND DATE Next the baud rate is displayed BAUD xo The displayed value xxx may be changed by operating the parameter entry pushbuttons 4 6 and 4 19 or it can be reset to 9600 by pressing the Zero button 4 14 Pressing ENTER 4 13 acknowledges the displayed value leading to the display of TIME After 1 s approx the hours H xx ere indicated The hours value may be Changed by operating the parameter entry pushbuttons 4 6 and 4 19 or it can be reset to 00 by pressing the Zero pushbutton 4 14 Pressing ENTER 4 13 acknowledges the displayed value leading to the display of the minutes Man The minutes value may be changed by ope rating the parameter entry pushbuttons 4 6 and 4 19 or it can be reset to 00 by press ing the Zero pushbutton 4 14 Pressing ENTER 4 13 acknowledges the displayed value leading to the display of the DATE After 1 s approx the date D xx is indicated The date may be changed by op erating the parameter entry pushbuttons 4 6 and 4 19 or it can be reset to 01 by press ing the Zero pushbutton 4 14 Pressing ENTER 4 13 acknowledges the displayed value leading to the display of the month Mox The month may be changed by operating the parameter entry pu
167. ne Status LED 4 1 erlischt Die Exponenten sind weiterhin sichtbar Im Servicefeld wird auf der Status Fehler anzeige 26 1 STBY angezeigt Die LED Zero 4 21 leuchtet Nach dem Dr cken der Taste STOP VENT 4 2 erfolgt ein Selbstabgleich des UL 100 PLUS Hierbei wird der ger teinteme He liumuntergrund und die elektrische Nullpunkt verschiebung bestimmt Durch l ngeres Dr cken mindestens 2 s der Taste STOPAVENT 4 2 wird die Funktion VENT Fluten erreicht Das Flutventil V3 wird ge ffnet Der Pr fling wird h rbar geflutet Dieser Betriebszustand wird durch rotes Auf leuchten der Status LED 4 1 gemeldet Die LEDs der Kombi Anzeige 4 3 sind alle aus Das Flutventil V3 kann wieder geschlossen werden durch nochmaliges Dr cken der Taste STOP VENT Der UL 100 PLUS geht in den Standby Zustand oder Taste START 4 24 dr cken Der UL 100 PLUS geht in den Mefibetrieb zur ck 2 2 3 Werteingabe Tasten Nach Bet tigen einer Multifunktionstaste k n nen ber die Werteingabe Tasten 4 19 und 4 6 Parameter ins Ger t eingegeben werden Zum Beispiel kann nach vorherigem Bet tigen der Muttifunktions Taste Akustisches Signal 4 16 die Lautst rke des akustischen Signals eingestellt werden Hinwels Mit den Werteingabe Tasten 4 19 und 4 6 kann nur die Funktion beeinflu t werden die jeweils auf einer der Multifunktions Tasten vorgew hlt und ber eine LED angezeigt wird 18
168. oftware release is indicated Then after reaching the STBY status the new functions as describ ed in Section 2 must be executable Please retum the old EPROMs to your local LEYBOLD sales or service office 8 4 Service The status report provides important informa tion on the internal status of the UL 100 PLUS in the case of servicing However the status report can only be output via the RS 232 C interface For this refer to the interface de scription given in the Service Manual SB 10 207 General Remarks We reserve the right to alter the design or any data given in these Operating instructions The illustrations are not binding Placer le 2 me EPROM 31 4 de la nouvelle version du logiciel d sign e par R2 x dans la position D15 et dans le m me sens que D14 3 3 4 Montage de la carte micropro cesseur Retourner la carte microprocesseur pour que le composant soit orient vers le bas La glisser de nouveau dans les rainures du capot 30 1 Si la bande d cartement en Pertinax est tomb e il faut la remettre dans les rainures avant de glisser la carte V rifier la bonne fixation de tous les connec teurs avant de replacer le capot sur los guides fendus Repousser le capot un peu fortement en direc tion de la paroi lat rale droite jusqu ce qu il revienne en position d origine Revisser les deux vis 6 pans creux 30 2 et les bloquer avec la cl de 5 mm Remonter la paroi lat rale
169. oit tre effectu qu une seule fois Si la sensibilit est trop faible on peut passer pour le calibrage l autre cathode avec la touche manuelle L interruption du calibrage est possible tout moment avec les touches STOP ou trigger et calibrage 2 6 4 Calibrage en mode renifleur Maintenir la pointe du renifleur dans l air S lectionner le calibrage avec la touche multifonction trigger et calibrage et confirmer avec la touche ENTER CAL apparait sur l indicateur d tat 26 1 du panneau de commande Corriger un ventuel fond h lium avec la touche z ro 4 14 Placer la pointe du renifleur devant l ouverture de la fuite calibr amp e pour renifleur On r gle ensuite le taux de fuite inscrit sur la fuite calibr e l aide des touches d introduction de valeurs 4 19 et 4 6 Apr s l actionnement de la touche ENTER le calibrage est termine Le facteur SNIFF est ainsi d termin Si la sensibilit est trop faible on peut passer pour ie calibrage l autre cathode avec la touche manuelle L interruption du calibrage est possible tout moment avec la touche trigger et calibrage Abb 25 Ausklappen der Elektronik Einheit mit Service feld Fig 25 Folding out the electronics unit with service panel Fig 25 Basculement de l unit tectroniqua avec panneau de service Erl uterungen zur Abb 25 1 Lecksuch Modul 2 Verschlu f r Elekironlk Elnheit 3 El
170. ommande Cette propri t permet d interdire toute manipulation erron e 2 2 13 5 Sorties tension analogique UL 100 PLUS dispose de deux sorties de tension analogique U 0 10V RL 22 5 KO pour l enregistrement du taux de fuite mesur Interface multifonction 12 1 PIN No 22 Sortie analogique signal taux de fuite PIN No 23 Sortie analogique signal gamme de mesure PIN No 24 Sortie analogique pression d admis Sion pg PIN No 25 Masse de r f rence pour les sor ties analogiques Recorderausgang 12 2 PIN Nr 5 Analogausgang Leckratensignal PIN Nr 1 Analogausgang Mefibereichssi gnal PIN Nr 4 Analogausgang Einla druck pe PIN Nr 3 Bezugsmasse f r Analogausg nge Das Leckratensignal teilt sich auf in Mantisse und Exponent Die Analogspannung der Man tisse liefert g ltige MeBwerte im Bereich von 1 0 V bis 9 9 V pro Dekade siehe Abb 18 Ab Softwareversion V3 4 werden bei manu eller Bereichswahl 2 Dekaden angezeigt Dann liefert die Analogspannung der Mantisse g ltige MeBwerte im Bereich von 0 1 V bis 99 V Bei eventuell auftretenden St rungen zB kurzzeitige bersteuerung des Verst rkers wird die Spannung auf 10 6 V begrenzt Der Exponent wird durch eine Spannungs Treppenstufe mit 0 5 V pro Dekade dargestellt beginnend mit 1 V f r 1 E 10 mbar I st 2 2 13 7 Analog Spannungs Ausgang f r den Einla druck pe Der Analogausgang f r den Einla druck pg gibt den Verlauf des
171. on d crites par la suite sont possibles avec le module d tecteur de UL 100 PLUS associ diff rents appareils suppl mentaires Ces proc dures n cessitent en g n ral l utilisation d une cl pour activer les proc d s 2 4 7 1 Option groupe de pompage de flux partiel TPS UL 100 PLUS Pour la d tection des fuites avec une pompe flux partiel on fait travailler une grosse pompe parall lement l admission du d tecteur Elle permet de pomper de grandes quantit s de gaz et soulage ainsi le d tecteur ou d cale sa gam me de mesure vers les taux da fuite plus forts La d tection avec pompe flux partielle est conseill e dans les cas suivants de grands volumes doivent tre vacu s rapidement un temps de r ponse rapide est n cessaire pour de grands volumes pour les fortes pressions jusqu 100 mbar gro e Leckraten bis 1 mbarl s gemes sen werden sollen Hinweis Der Teilstrompumpsatz gem der Kat Nr 165 44 ist nur f r eine Betriebsspannung von 220 V ausgelegt Um ein funktionierendes Autoranging sowie ei ne quantitativ richtige Anzeige ber den ge samten Leckratenbereich auch im Teilstrom zu erhalten mu der als Option lieferbare Teilstrompumpsatz benutzt werden siehe Be triebsart 4 in Abb 20 Er besteht im we sentlichen aus einer Pumpe TRIVAC D 25 B einem Magnetventil DN 25 KF siehe Abb 23 sowie einem Metall Wellschlauch von 1 m L nge Zum Anschlu des Teil
172. onstantly heated to prevent polymerized hydrocarbon deposits insulating layers that may impair the sensitivity The cathodes consist of iridium tape coated with thorium oxide Owing to this thorium coat ing the iridium filaments operate at a much lower temperature than tungsten ones and possess excellent resistance burnout resis tance to embrittlement by oxygen water va por and hydrocarbons Important Halogens or halogen containing substances may adversely affect the service life of the cathodes 1 3 6 lon Collector and Amplitler The positive helium ions arriving at the ion collector 3 5 produce a voltage at the high impedance input of the amplifier After pos tamplification and conversion the signal ap pears on the combined indicator 4 3 as the leak rate See 1 3 5 Source d ions Les lectrons sortant de la cathode 3 1 ou 3 3 sont attir s par l anode positive 3 2 Ils ne parviennent pas imm diatement l anode mais oscillent fr quemment entre la cathode et l cran cylindrique 3 11 jusqu ce qu ils at teignent enfin le filament spiral de l anode Les lectrons ionisent de cette fa on les atomes de gaz par collision Les ions de gaz positifs sont retir s de la zone de l anode par le diaphragme extracteur 3 10 L anode est chauff e constamment afin d viter les d p ts d hydrocarbures polym ris s cou che isolante nuisant la sensibilit Les cathodes sont compos es de bandes
173. oprocesseur ec 4 Service GC 1 Description 1 1 G n ralit s Ce mode d emploi donne des informations im portantes pour comprendre installer mettre er service utiliser et entretenir le d tecteur di fuites helium UL 100 PLUS ainsi que sur li recherche des d fauts Les remarques importantes concemant s curit technique et fonctionnelle sont mise en vidence de la facon suivante Prudence signale des travaux ou op rations respecter scrupuleusement pour ne pas mettr des personnes en danger Attention signale des travaux et op rations respecter scrupuleusement afin d viter le endommagements ou destructions du d tecter de fuites helium UL 100 PLUS Remarque signale des contraintes technique auxquelles l utilisateur devra faire partic li rement attention Les chiffres entre parenth ses dans le text comme p ex 4 14 se rapportent pour le pre mier au num ro de a figure et pour deuxi me au num ro concem dans la l genc de cette figure D balier imm diatement le d tecteur de fuite h lium d s la livraison m me si la mise service doit avoir lieu ult rieurement Contr ler d abord si la boite de transpc pr sente des signes ext rieurs d avarie Remarque Conserver la boite de transport et le mat ri d emballage pour ies ventuelles pr tentions des dommages int r ts V rifier si le d tecteur de fuites h lium UL 100 PLUS est complet voir la se
174. p de flux partiel Lorsque la mont e en gt UL 100 PLUS 5 UL 100 PLUS Fig 23 Robinet querre entra nement lectromagn tique 41 100 PLUS den Hochlauf beendet hat erfolgt die weitere Bedienung mit der Taste START 4 24 und der Taste STOP VENT 4 2 Durch kurzes Dr cken der Taste START 4 24 wird ein angeschlossener Pr fling vom Teilstrompumpsatz 2 7 evakuiert Hinweis Bei richtigem Anschlu und evakuiertem Pr f ling leuchtet an der Elektronik des Magnet ventils die gr ne LED 23 1 Sollte st ndig die rote LED leuchten ist zu kontrollieren ob der Mikro Umschaiter in der Elektronikeinheit des Magnetventils auf Remote Stellung S geschaltet ist Siehe hierzu die GA 06 202 Der Mikro Umschalter muB auf Stellung S stehen Bei einem Einla druck von 100 mbar wird das Grobleck Ventil V 1 2 automatisch ge ffnet GROSS siehe Abb 2 Der UL 100 PLUS ist Lecksuchbereit Dies ist erkennbar durch den Wechsel von Druckanzeige zur Leckraten anzeige der Bedieneinheit Abb 4 Aufgrund des Teilstromverh ltnisses k nnen nun Leckraten bis 1 108 mbar ks nachge wiesen werden Bei fallendem Einla druck erfolgt dann eine automatische Umschaltung Das Ventil V 1 2 schlie t und das Ventil V 1 ffnet bei pg 0 2 mbar FINE siehe Abb 2 Der Leckraten bereich bis 10 9 mbar s steht nun infolge des kleineren Teilstromverh ltnisses zur Ver f gung Durch Aktivieren des Schl
175. par contre flux Le d tecteur UL 100 PLUS est d un emploi universel gr ce sa taille r duite et sa con Struction l g re Le module d tecteur peut tre s par du module pompe II peut donc tre utilis s par ment par exemple pour des travaux d entretien sur des installations vide Ce module d tecteur se raccorde par l ac couplement des deux modules toute autre pompe vide primaire appropri e lorsqu un plus grand d bit et donc un temps d pom page plus court est n cessaire au raccord test Equip avec un groupe de pompage de flux partiel le d tecteur UL 100 PLUS est parti culi rement appropri la d tection d impor tants taux de fuite d objets volumineux La d tection et la mesure des taux de fuite sont alors possibles d s une pression d admission de 100 mbar 1 1 3 Signalisations UL 100 PLUS est quip de deux plaques signal tiques Au dessus des connexions lectriques sous la poign e CF fig 8 Sur la face arri re de l unit de commande 1 14 Composition modulaire Le d tecteur UL 100 PLUS se compose de deux modules principaux Abb 1 Baugruppen bersicht Fig Modules of the UL 100 PLUS Fig 1 Modules composant le d tecteur UL 100 PLUS Lecksuch Modul mit Bedien Einheit 1 1 Turbo Molekularpumpe TURBOVAC 50 1 2 Massenspektrometer 1 3 Elektronik Einheit 1 4 Ventilblock 1 5 Pump Modul mit Vorvakuumpumpe TRIVAC D 1 6 B
176. peuvent tre les suivantes le module pompe manque fuite grossi re dans la zone pr vide compre nant l accouplement vide la pompe primaire ne d marre pas ou n at teint pas sa vitesse nominale la commande des robinets travaille mal voir CONT EROS La vitesse de TMP 50 est inf rieure 63 000 t min voir CONT ERO L offset de l ampli lectrom trique est inf rieur 15 mV Cf sous CONT EROS L offset de l ampli lectrom trique est sup rieur 90 mV Cf sous CONT Normalement l offset est d env 50 mV ERO9 La source d ions est d fectueuse rupture des deux cathodes ou d faut dans l alimentation du Spectrom tre de masse ER10 Signale une erreur dans la m moire tampon aliment e par pile Le r glage par d faut est alors adopt Ce message d erreur n est indiqu que pendant la phase d initialisation dans l alternance ER 10 INIT ER21 Pendant la mont e en r gime SNIF la pression d admission pe n est pas atteinte pendant les 2 min apr s la mise en circuit Causes probables Fuite au raccord vide entre la bride d admis Sion et le renifleur Fuite de la conduite du renifleur Buse du renifleur d fectueuse voir CONT Apr s Findication d un d faut dans l affichage d ta d erreur l affichage commute p riodi quement entre message d erreur et la derni re indication d tat La DEL d indication d erreur 4
177. pg reflects the varying inlet pressure Its output is pin No 24 of the multi function interface 12 1 and pin No 4 of the recorder output 12 2 See also section 2 2 13 6 The analog output for the inlet pressure pc Exponent exponent exposant Sortie enregistreur 12 2 PIN No 5 Sortie analogique signal taux de fuite Sortie analogique signal gamme de mesure Sortie analogique pression d admis sion pe Masse de r f rence pour los sor ties analogiques PIN No 1 PIN No 4 PIN No 3 Le signal de taux de fuite se compose de la mantisse et de l exposant La tension analogi que de la mantisse fournit des mesures va lables de 1 0 V 9 9 V par d cade fig 18 A partir de la version V 3 4 du logiciel 2 d cades sont indiqu es en s lection de game ma nuelle La tension analogique de la mantisse foumit alors des mesures valides dans la gamme de 0 1 9 9 V La tension est limit e 10 6 V pour les ven tuelles perturbations p ex br ve saturation de l amplificateur L exposant est repr sent par une tension chelonn e en pas de 0 5 V par d cade en commen ant par 1 V pour 1 E 10 mbar ls 2 213 7 Sortie de tension analogique pour la press d admission pg La sortie analogique de la pression d admission pg fournit l volution de la pression d admis sion Cette tension est appliqu e la broche PIN no 24 de l inter ace multifonction 12 1 et la broche no 4
178. pressing the pushbutton STOP AVENT 4 2 for a longer period of time for at least 2 s the venting process can be started Venting valve V3 is opened The test object is audibly vented This operating condition is indicated by the status LED 4 1 The LEDs on the combination display 4 3 are alll off Venting valve V3 can be closed again by again operating the STOP VENT push button The UL 100 PLUS returns to standby or operating the START 4 24 pushbutton The UL 100 PLUS returns to the measure ment mode 2 2 3 Parameter Pushbuttons After operating a program pushbutton para meters can be entered with the parameter pushbuttons 4 19 and 4 6 For example after previously operating the acoustic signal multi function pushbutton 4 16 the volume of the acoustic signal can be adjusted Note With the Sen pushbuttons 4 19 and 4 6 one can only influence a function pre viously selected with a multi function push button and indicated by the relevant LED r gime de la pompe la commande est pour suivie avec la touche START 4 24 et la touche STOP VENT 4 2 La pi ce raccord s est vacu e en tapant bri vement la touche START 4 24 simulta n ment la DEL d tat verte 4 1 s allume La pression d admission d croissante pg est in diqu e sur l affichage combin 4 3 jusqu la valeur pe lt 0 2 mbar Quand cette valeur est atteinte l affichage combin 4 3 est commut automa
179. pump set is used the MANUAL pushbutton and the pa rameter pushbutton 4 6 may be used to ma nually switch over to the most sensitive UL TRA range see also Section 2 4 7 1 2 2 6 Pushbutton Auto Zero In the measurement mode an unwanted con stant background reading is supppressed by pressing the autozero pushbutton 4 14 once As of software release V 3 4 the Zero push button additionally affects the trigger outputs Section 2 2 8 and the analogue voltage out puts Section 2 2 13 6 The leak rate indication is automatically set to zero and the zero indicating LED 4 21 flas hes It the displayed helium background is in the lo wer part of a decade the next more sensitive range is selected Further switch over to an even more sensitive range is then no longer possible A possible further reduction of the background will now be automatically accoun ted for by the adaptive background determina tion process H the auto zero pushbutton 4 14 is de pressed again the function is cancelled and any background is again displayed as leak rate 22 7 Multi Function Pushbutton Acou stic Signal Note Operation of this pushbutton is possible in all operating modes With the acoustic signal multi function push button 4 16 one can adjust the loudness or La valeur est augment e en actionnant la touche 4 19 et diminu e par la touche 4 6 L introduction n est termin e et donc activ e qu en actionnant l
180. que La DEL verte 23 1 s allume sur l lectronique du robinet lectomagn tique si le raccordement est correct et la pi ce vacu e Lorsque la DEL rouge s allume constamment il faut contr ler si le microcommutateur de l unit lectronique du robinet lectromagn tique est plac sur Remote position S Voir galement GA 06 202 Le microcommutateur doit tre sur la position S Pour une pression d admission de 100 mbar le robinet vide grossier V 1 2 s ouvre automa tiquement GROSS Cf fig 2 UL 100 PLUS est pr t d tecter Cet tat se manifeste par la commutation de l unit de commande fig 4 de l indication de pression a l indication de taux de fuite Grace au flux partiel on peut d tecter maintenant des fuites jusqu 1108 mbarst Si la pression d admission diminue il y a alors une commutation automatique Le robinet V 1 2 se ferme et V 1 s ouvre pour pe lt 0 2 mbar FINE Ct fig 2 La gamme des fuites jusqu 10 mbarks est alors disponible gr ce au flux partie plus petit On obtient la sensibilit maximale de 21010 mbars ULTRA en activant la cl 3 Cf section 2 2 13 1 ou en actionnant la touche manuelle et la touche d introduction de valeur 2 4 7 2 Autres groupes de pompage tl est possible d utiliser des pompes palettes rotatives quelconques dans le groupe de pom page flux partiel ainsi que d autres robinets et tuyaux Cf mode de service 4 dans fig 20 Il faut
181. r Use the multifunction pushbutton Trigger and Calibrate to select the calibrate mode and acknowledge this by pressing the ENTER pushbutton The status display 26 1 on the service panel will read CAL Suppress any existing background by operat ing the autozero pushbutton 4 14 Hold the tip of the sniffer in front of the open ing of the sniffer calibrated leak The leak rate which is imprinted on the cali brated leak is entered via the parameter entry pushbuttons 4 19 and 4 6 Pressing the ENTER pushbutton terminates the calibration process This completes the determination of the SNIFF factor When the sensitivity is too low during calibra lion it is possible to manually switch over to the other cathode by pressing the MANUAL pushbutton The calibration process may be terminated at any time by pressing the Trigger and Cali brate pushbutton le panneau de commande avec PFunit lectronique soit bascul ULTRA V1 et V2 ouverts FINE V1 V2 et Vext ouverts GROSS V1 2 V2 Vext ouverts Vext robinet ext flux partiel de l option groupe de pompage flux partiel Les facteurs de calibrage doivent tre d termi n s dans l ordre suivant ULTRA avec TL8 FINE avec TL8 et GROSS avec TL 4 6 Pour ceia on peut calibrer la fuite calibr e TL 4 6 dans FINE Un calibrage est n cessaire pour chaque facteur de calibrage Cependant le calibrage du spectrom tre de masse ne d
182. r Mikrocomputer Platine Position of the EPROMS on the micropro cessor pcb Position des EPROMS sur fa carte micro processeur Fig 31 Fig 31 hand side cover 30 4 and remove it Remove two hex screws 30 2 using the 5 mm Allan key Move the cover lid 30 1 20 mm in the di Tection of the test connection Lift the cover lid 30 mm Move the cover lid further in the direction of the test connection and let the micro processor pcb slide out gently until the cov er can be completely removed Cerefully turn the microprocessor pcb over in order to access the component side 3 3 3 Exchanging the Program EPROMs Required tools and materials Allan key 5mm Flat screwdriver Smm IC puller or fiat screwdriver 3mm or angled forceps Set of two EPROMs with new software re lease Procedure Open UL 100 PLUS as described in Section 3 3 2 Use either an IC puller angled forceps or a small screwdriver to carefully remove the two EPROMS 31 4 and 31 5 from their sockets Fig 25 or component layout diagram CPU BIMO1 No 200 27 290 Insert the first EPROM 31 5 with the new software release designated B 4 3 R2 x in po Sition D14 directly next to the microprocessor D 13 TMS 9995 with the same orientation the marking 31 8 at the top of the IC s must point in the same direction
183. r gleichen Richtung wie D14 einzustecken 3 3 4 Einbau der Mikrocomputerleiter karte Die Mikrocomputerleiterkarte ist in die Aus gangslage Bauteile nach unten zu drehen Die Mikrocomputerleiterkarte ist wieder in die F hrungsnuten der Abdeckhaube 30 1 ein zuschieben M glicherweise ist der Pertinax Abstandsstreifen herausgefallen und muB in diesem Fall zuerst vor der Mikrocomputer leiterkarte in die gleichen F hrungsschlitze eingeschoben werden Bevor die Abdeckhaube wieder vollst ndig auf die geschlitzten F hrungsbolzen aufgesetzt wird noch einmal alle Steckvorrichtungen auf korrekten Sitz pr fen Die Abdeckhaube ist mit etwas Kraft in Rich tung rechter Seitenwand in die Ursprungslage zur ckzuschieben Die zwei Innensechskantschrauben 30 2 sind wieder einzuschrauben und mit dem 5 mm Schl ssel fest anzudrehen Rechte Seitenwand wieder anbringen Zum Test der erfolgreichen Installation der neuen Software Version ist der UL100 wie gewohnt in Betrieb zu nehmen Es sollte zu n chst festgestelit werden ob in der Statusan zeige die richtige Software Version angezeigt wird Nach Erreichen des STBY Zustands m ssen die Funktionen entsprechend Ab schnitt 2 ausf hrbar sein Die alten Programm EPROMs bitte an LEY BOLD AG in 5000 K ln 51 Postfach 510 760 Abt APE 22 zur cksenden 3 4 Service Der Statusreport gibt im Servicefall wichtige Informationen ber den internen Zustand des UL 100
184. rage 13 Touche pour fin d entr e ENTER DEL pour points d appfication du signal signal acoustique DEL pour r glage du son automatique trigger logique 19 Touche d entr e valeurs croissantes 20 DEL d indication d erreur 21 DEL d indication du z ro 22 Echelle pression vide primaire py 23 Echella pression d admission pg Abb 5 Ansetzen des Lecksuch Moduls Fig Attaching the leak detection module Fig 5 Pose du module d tecteur Eri uterungen zur Abb 5 1 Lacksuch Modul 2 Tragegriff herausgezogan 3 Klinke 4 Aussparung Klinke 5 Pump Modul Key to Fig 5 1 Leak detection module 2 Handle in pulled out position 3 Tab 4 Slot for tab 5 Pump module L gende de la fig 5 1 Module d tecteur 2 Poign e retir e 3 Cliquet 4 Evidament cliquet 5 Module pompa 2 1 2 Vorbereitung zur Inbetriebnahme Der UL 100 PLUS wird im betriebsbereiten Zustand ausgeliefert Das Pump Modul ist be reits mit dem Lecksuch Modul verbunden Sind beide Teile noch voneinander getrennt ist das Lecksuch Modul 5 1 auf das Pump Modul 5 5 gem Abb 1 aufzusetzen Dabei mu die Klinke 5 3 am Lecksuch Modul in die Aussparung 5 4 vom Pump Modul 5 5 gef hrt werden Das Lecksuch Modul 5 1 kann nun durch leichten Druck vollst ndig auf das Pump Modul 5 5 aufgesetzt werden Das Leckauch Modul 5 1 mit dem Pump Modul 5 5 verriegeln Dazu wird am Pump Modul 7 2 das Abdeck blech 7 1
185. rating system and an ion collector The ion source ionizes neutral gas particles through electron impact thereby generating an ion beam Positively charged ions are driven out of the ion source owing the positive cath ode 3 1 and thus reach the magnetic field 3 8 There they are deflected into an orbit of defined radius Only the helium ions M 4 meet the separation conditions of the arrange ment and reach the ion collector 3 5 The elimination of stray ions by means of the inter mediate screen 3 9 ensures high resolution The built in mass spectrometer is of the mag netic sector field type with 180 deflection Owing to the inhomogeneity of the magnetic field vertically in relation to the ion beam addi tional concentration is achieved in this direc tion Z axis focussing This design guarantees not only good resolution but also high sensitiv ity and long term stability Abb Fig 3 Erl uterungen zur Abb 3 Katode 1 Anode Katode 2 Verst rker lonentanger Abschirmung f r lonenf nger Suppressor Magnatfeld Zwischenblende 0 Extraktorblende 1 Abschirmring oanaon 2200 10 22004 1 3 2 Pompe vide primaire La pompe vide primaire donne une pression d h lium proportionnelle au flux d h lium entrant dans le d tecteur de fuites La stabilit du d bit d h lium de cette pompe le permet La sensibilit du dispositif est d termin e par le d bit de la pompe pri
186. re necessary to spray only a little helium with a fine nozzie A quantitative measurement is only possible H 100 helium is brought in front of the leak Frequent leak rate measurements over values of 10 3 mbar s should best be carried out with a partial flow pump set For this see oper ating mode 4 given in Fig 20 However brief measurement of leak rates up to 10 mbarks is possible without the par tial flow pump set 2 47 Special Leak Detection Proce dures The leak detection processes described below can be carried out with the leak detection mo dule in connection with the stated additional components Generally these leak detection processes require the use of a key to activate the corresponding functions 2 4 7 1 Optional Partial Flow Pump Set TPS UL 100 PLUS For leak detection in connection with a partial flow pump set a large pump is connected in parallel to the inlet of the leak detector It can pump out large quantities of gas thereby relie ving the leak detector of this duty and also ex panding its measurement range Leak detection with a partial fiow pump is re commended when either large volumes have to be pumped out quick y a short response time is required in the case of large volumes detecting leaks at high pressures up to 100 mbar 2 48 Particulirit s pour les taux de fuite minimes et Importants 2 4 6 1 Petits taux de fuite UL 100 PLUS peut d tecter des fuites j
187. riggers must be inverted by press ing the Automatic Trigger logic pushbutton 4 18 In the inverted mode trigger 1 can be used for error monitoring The precondition for this is that the parameter entry pushbutton 4 19 has been used to set the inverted trigger to such a range where no leak rate can occur e g 1 109 mbar s pos exponent The entry must be acknow ledged by the ENTER pushbutton 4 13 In the event of an error message the contact 10 and 11 on the multifunction interface see Section 2 2 13 2 is opened Thus it is possi ble to externally indicate the occurrence of er rors Ready indication For setting this special mode of the triggers 1 and 2 the triggers must be inverted by press ing the Automatic Trigger logic pushbutton 418 In the inverted mode trigger 2 can be used for monitoring the operating condition The precondition for this is that the parameter entry pushbutton 4 19 has been used to set the inverted trigger to such a range where no leak rate can occur for example 2 1 109 parke positive exponent The entry must be acknowleged by the ENTER pushbutton The ready indication occurs after running up and successfully switched on emission In this setting the contact 12 and 13 on the multifunction interface see Section 2 2 13 2 is closed Thus it is possible to externally indi cate the ready status of the leak detector Note If only one of the special functions is
188. rmeldung und letzter Statusanzeige Dabei blinkt die Fehler Indikator LED 4 20 CONT Erscheint nach Beseitigung des Fehlers im Einla tlansch 54 EPO A vacuum pressure of more than 0 4 mbar has been detected for example caused by an air inrush into the test object For protection of ihe ion source the mass spectrometer supply has been automatically switched off see CONT ERO2 A filament breakage has been detected at the Thermovac measurement point inlet Pe see below CONT ERO3 A filament breakage has been detected at the Thermovac measurement point forevacuum py Call service EROS During run up ACCL the forevacuum pressure of py lt 0 1 mbar has not been reached within 3 min after being ready for operation Either of the following faults may be the reason for this the pump module is missing there s a coarse leak within the forevacuum area including the vacuum coupling the backing pump is not running or has not reached its nominal speed the valve control is faulty see CONT ERO6 The speed of the TMP 50 turbopump is below 63 000 rpm see CONT ERO The offset of the high impedance input amplifi er is below 15 mV see CONT EROS The offset of the high impedance amplifier is higher than 90 mV see CONT Normally the offset is below 50 mV EROS The ion source is faulty both cathodes broken or there is a fault in
189. roupe de pompage flux partiet 13 1 Description du principe de d tec tion contre flux Pour la d tection selon le principe du contre flux la pi ce est raccord e la pompe vide primaire Ceci permet des pressions bien plus importan tes dans la pi ce que celles n cessaires selon le principe classique flux principal L h lium se diffuse dans le sens inverse de l vacuation de la pompe turbomol culaire dans le spectro m tre de masse tandis que les gaz lourds et surtout les vapeurs d eau sont retenus com pression d pendante de la masse Un pi ge azote liquide n est donc plus n cessaire 1 3 1 1 Positions des robinets Le tableau suivant indique les rapports entre le mode de service et les positions des robinets Cf fig 2 galement Mode Typ meas Valve Inlet Nom Gamme Position Pression range pressure mes typiq robinet admission mbarts1 mbar mbar s mbar GROSS 105 p lt 100 GROSS 2031 V1 2 V2 p 100 Vexr ouvert V1 ferm FINE 1099 p lt 0 2 FINE 109 V1 V2 p lt 0 2 Vgxr ouvert V1 2 ferm ULTRA 2 10 10 V1 V2 open p 0 2 ULTRA 2 10 10 V1 V2 ouvert p lt 0 2 V1 2 closed V1 2 ferm Vex closed Vex ferm with extemal backing pump D 25 B avec pompe primaire externe D 25 8 1 3 Vorvakuumpumpe Die Vorvakuumpumpe erzeugt aus dem in den Leck Detektor flie enden Helium Strom einen proportionalen Helium Druck Dabei wird das stabile Helium Saugv
190. rtem Schn ffelbetrieb ist der UL 100 PLUS nach dem Hochiauf sofort me be reit Der Stand By Betrieb entf llt und die Ta ste STOP VENT ist verrriegelt Hinweis Wird der Einla druck nicht innerhalb von 2 min erreicht erfolgt auf der Statusanzeige 26 1 im Servicefeld die Fehlermeldung ER21 Zum Ausstieg aus dem Schn ffelbetrieb Schl ssel Nr 6 in den Schl sselschlitz der Bedieneinheit stecken und die Taste EN TER 4 13 dr cken Der UL 100 PLUS geht in den Stand By Betrieb 2 2132 Muttifunktions Schnittstelle Unter der Bedien Einheit 11 1 befindet sich eine Klappe 11 8 auf deren R ckseite sich drei Buchsen befinden Multifunktionsschnittstelle 25pol 12 1 Recorderausg nge 6palig 12 2 Relaisausgange 9polig 12 3 Es stehen analoge Spannungsausg nge f r Leckrate und Me bereich Identifikation sowie potentialfreie Relaiskontakte f r die beiden ein Stellbaren Triggerschaltpunkte zur Grenzwert meldung von Leckraten zur Verf gung Au er dem ist eine serielle Computer Schnittstelle V 24 RS 232 C standardm eingebaut Damit ist der UL 100 PLUS f r den Anschlu von Registrierger ten 2 B Schreiber und Druckern ausger stet Die genaue Belegung der Multifunktions Schnittstelle 12 1 ist den Erl uterungen der Abb 13 zu entnehmen Erl uterungen zur Abb 12 1 Multifunktions Schnittstelle 2 Recorderausgang 3 Relalsausgang Key to Fig 12 1 Multl Function Interface 2
191. s 52 Messages d erreurs e 53 Compensation de la position de masse 55 3 Wartung ee 58 3 1 Wartungsplan e 96 32 Wartungsarbeiten 56 3 2 1 Vorpumpe TRIVAC D 1 8 B 56 8 2 2 Turbo Molekularpumpe TURBOVAC 50 56 3 2 3 Luftfilter wechseln 3 2 4 Wechsel der lonenquelle 3 Softwareumr stung f r Softwareversionen ab V 2 0 58 3 3 1 Identifikation der Software des UL 100 PLUS 58 9 8 2 Ausbau der Mikrocomputer leiterkarte 58 9 3 3 Austausch der Programm EPROMS 59 9 3 4 Einbau der Mikrocomputer leiterkarte e 60 3 4 Service 60 1 Beschreibung 1 1 Allgemeine Angaben Diese Gebrauchsanweisung enth lt wichtige Informationen zum Verst ndnis zur Aufstel lung Inbetriebnahme und Betrieb Fehlersu che und zur Wartung des Helium Leck Detek tors UL 100 PLUS Wichtige Anweisungen die die technische Si cherheit und den Betriebsschutz betreffen sind durch Kennzeichnungen hervorgehoben Vorsicht steht bei Arbeits und Betriebsver fahren die genau einzuhalten sind um eine Gef hrdung von Personen auszuschlie en Achtung bezieht sich auf Arbeits und Be triebsverfahren die genau einzuhalten sind um Besch digungen oder Zerst rungen des Helium Leck D tektors UL 100 PLUS zu ver meiden Hinweis gilt f r technische Erfordemisse die der Benutzer besonders beachten mu
192. s teintes Le robinet de fuite V3 peut tre referm en actionnant une nouvelle fois la touch STOP VENT UL 100 PLUS passe e mode Stand By ou en actionnant la touche START 4 24 U 100 PLUS revient en mode mesure 2 2 3 Touches d entr e de valeurs Ce type de touche 4 19 et 4 8 perme apr s l actionnement d une touche programmt d introduire des param tres I est par exempl possible en appuyant avant sur la touch multifonction signal acoustique 4 16 c r gler l intensit du signal sonore Remarque Les touches d entr e des valeurs 4 19 4 6 ne peuvent influencer que la fonction c la touche pr c demment choisie et indiqu par une DEL Die Werteingabe wird durch Dr cken der Ta ste 4 19 vergr Bert und durch Dr cken der Taste 4 6 verkleinert Sie wird erst mit Dr cken der Taste Eingabe Ende ENTER 4 13 abgeschlossen und damit wirksam 2 2 4 Mefibereichswahl Taste Automatik Triggerlogik Durch Bet tigen der Taste Me bereichswahl Automatik 4 18 w hlt der UL 100 PLUS automatisch den richtigen Mefibereich und zeigt diesen auf der Kombi Anzeige 4 3 an Um den jeweiligen Pr f bzw Me vorgang oh ne Verz gerungen durchf hren zu k nnen empfiehlt es sich den UL 100 PLUS auf Automatikbetrieb einzustellen Als Sonderfunktion wird die Taste bei der Pro grammierung der Trigger zur Umschaltung zwischen Normal und invers Betrieb ver wendet siehe Abschnitt 2 2 8 2 2 2
193. sation automa tique qui suit Remarque La position de robinet OUVERTE est indi qu e chaque fois par une DEL allum e 51 Die Bedienschalter 26 13 m ssen beim Ein klappen der Elektronik Einheit 25 3 immer in Stellung AUTOMATIK geschaltet werden Auf der alphanumerischen Status und Fehler anzeige 26 1 wird dem Servicepersonal bei einem Fehler im UL 100 PLUS ein Fehler code gemeldet der die Wartung bzw Instand setzung wesentlich vereinfacht Zus tzlich lassen sich alle wichtigen Ger te Spannungen an den Me stellen TEST OUT PUTS 26 3 pr fen Die Bezeichnung der Pr fbuchsen 26 3 und ihre Bedeutung im Einzelnen VN11 neg Versorgungsspannung stabilisiert 11 5 bis 15 5 V Versorgungsspannung unstabilisiert 20 0 bis 30 V CP intemer Takt f r MS Versorgung f BB kHz 5 5 Vas VP2 IAP Istwert Anoden Potential 4 3 bis 4 9 V x100 f r Masse 4 VP11 pos Versorgungsspannung stabilisiert 11 5 bis 15 5 V V02 Bezugsmasse f r Pr fpotentiale ISP Istwert Suppressor Potential 3 0 bis 3 4 V x100 IKP Istwert Katoden Potential 3 5 bis 4 1 V x100 f r Masse 4 2 71 Statusanzeige Die Bedeutung der Statusmeldungen INIT Die Anzeige INIT erscheint nach dem Ein schalten des UL 100 PLUS w hrend der Ini tialisierungsphase f r einige Sekunden Laufschrift Nach dem Einschalten des UL 100 PLUS er scheint in der Statusanzeige 26 1 einmal durchlaufend
194. set 10 mbar st with partial flow pump set 10 mbar Lei Max inlet pressure 0 2 mbar Max inlet pressure with partial flow pump set 100 mbar Indicating ranges Measuring range without partial flow pump set 8 decades with partial flow pump set 11 decades Leak rate indication logarithmic S 2 decades with 15 steps per decade separate exponent display Intake pressure 0 1 mbar to 100 mbar indication logarithmic in 15 steps Erl uterungen zur Abb 1 Bedien Elnheit Turbo Molekularpumpe TURBOVAC 50 Massenspektrometer mit Vorverst rker Elektronik Elnhelt Ventliblock Vorvakuumpumpe TRIVAC D 1 6 B mit Kopplungseinrichtung Annona Key to Fig 1 1 Remote control unit Turbo molecular pump TURBOVAC 50 Mass spectrometer with preamplifier Electronics unit Valve block Backing pump TRIVAC D 1 6 B with coupling gende de la fig 1 Unit de commande Pompe turbomol cutaire TURBOVAC 50 Spectrom tre de masse avec pr ampli Unit lectronique Bloc de robinets Pompe vide primaire TRIVAC D 1 8 B avec accouplement onaun r anawn Module d tecteur avec Unit de commande 1 1 Pompe turbomol culaire TURBOVAC 50 1 2 Spectrom tre de masse 1 3 Unit lectronique 1 4 Bloc de robinets 1 5 Module pompe avec Pompe vide primaire TRIVAC D 1 6 B 1 2 Caract ristiques techniques Remarque Les caract ristiques techniques indiqu es st rapportent au module d tecteur as
195. shbuttons 4 6 and 4 19 or it can be reset to 01 by pressing the Zero pushbutton 4 14 Pressing ENTER 4 13 acknowledges the displayed value leading to the display of the year Jas The year may be changed by operating the parameter entry pushbuttons 4 6 and 4 19 or it can be reset to 90 by pressing the Zero pushbutton 4 14 Pressing ENTER acknowledges the dis played value and in this case the selected en tries of baud rate time and date are displayed once more After setting the SERVICE NORMAL slot ted switch 25 2 back to the NORMAL po sition of the UL 100 PLUS regains all its func tions again after a brief initialization phase which is run automatically Note The valve position OPEN is indicated by an illuminated LED La touche autom log trigger 4 18 permet alors l indication et le r glage de la vitesse de transmission de la date et de l heure Actionner la touche ENTER 4 13 pour confirmer chaque valeur et passer la Suivante On obtient d abord MODIFY VALUES OF BAUD TIME AND DATE ensuite la vitesse de transmission est indi qu e BAUD xx La valeur indiqu e xox peut tre modifi e avec les touches d entr e de valeur 4 6 et 4 19 ou initialis e sur 9600 avec la touche z ro 4 14 Actionner la touche ENTER 4 13 pour confirmer la
196. soci at module pompe S curit L appareil correspond la classe de s curit selon VDE 0411 IEC 348 1 2 1 Caract ristiques physiques Plus petit taux de fuite d celable Constante de temps bride aveugle Plus grand taux de fuite affichable Sans groupe de pompage de flux partiel 107 mbar t s Avec groupe de pompage de flux partiel 10 mbar ke Pression d admission max 0 2 mbe Pression d admission max avec groups de pompage de fiux partiel 100 mbe 240 mbar Le 15 Plages d affichage Gamme de mesure sans groupe de pompage de flux partiel 8 d cade Gamme de mesure avec groupe de pompage de flux partiel 11 d cade Affichage taux de fuite lagarithmique 2 d cade avec chacune 15 chelons par d cac et affichage d exposant s pai Pression d admission 0 1 mbar 100 mbi logarithmique en 15 chelor 0 01 mbar bis 10 mbar logarithmisch in 15 Schritten Massenspektrometer 180 magnetisches Sektorfeld Vorvakuumdruck lonenquelle mit Z Fokussierung Zwei Iridium Katoden geheizte Anode selbstreinigend Nachweisbare Massen 2 8 und4 Zeit bis zur Betriebsbereitschaft lt 3 min Testanschlu 2xDN 25 KF Leitungsl nge der Bedien Einheit 8m 12 2 Elektrische Daten Lecksuch Modul Netzspannung umschaltbar 100 V 120 V 220V 240V 5 50 60 Hz Leistungsaufnahme 80 VA Pump Modul Netzspannung 210 bis 260 V oder 100 bis 130 V Netzfrequenzbereich 50 60 Hz Leistungsaufnahme 240 VA Gesamtstromaufnahme w hren
197. sprayed with helium the helium will owing to the pressure diffe rence enter the test object through any leak The helium reaches the mass spectrometer within the response time The mass spectro meter ionizes the gas molecules separates them according to their mass to charge ratio and collects the helium ions mass number 4 The current which is proportional to the num ber of helium ions arriving at the ion collector 3 5 is amplified and shown on the combined indicator 4 3 as the leak rate To vent the test object the STOP push button 4 2 must be depressed for at least 2 S The status LED 4 1 then turns red and the test object is audibly vented whereupon it can be disconnected 13 Description technique Le d tecteur UL 100 PLUS permet non seule ment la d tection de fuites mais galement la d termination quantitative de leurs taux Le plus petit taux de fuite d h lium d celable se monte 210 19 mbars Le d tecteur UL 100 PLUS se compose de deux modules le module d tecteur et le mo dule pompe est pr t fonctionner la livraison et le mo dule d tecteur est adapt au module pompe et calibr Il est possible d utiliser s par ment le module d tecteur pour d tecter des fuites sur des installations vide H faut alors s assurer que ce module soit raccord un endroit de l installation o la pression reste absolument inf rieure 0 2 mbar Remarque Lorsque le module d te
198. sse vom Pumpmodul tren nen Vorvakuumanschlu des Lecksuchmoduls mit Biindflansch DN 16 KF verschlie en Einla des Lecksuchmoduls mit Vakuum kammer verbinden hierzu mu an der Vakuumkammer ein Ventil vorhanden sein Ventil zur evakuierten Vakuumkammer ff nen so da Lecksuchereinla8 abgepumpt wird Schl ssel Nr 4 bis zum Anschlag in Schl s selschlitz der Bedieneinheit einstecken Lecksuchmodul mit Netzschalter einschaltea und Hochlauf abwarten bis Exponent aufteuchtet Das Ger t ist nun me bereit Die Leckratenanzeige erfolgt nach Dr cken der Taste START Durch Dr cken der Taste STOP erfolgt in der Statusanzeige im Servicefeld die Anzeige STBY es kann nicht geflutet werden Taste CAL 4 11 3x kurz dr cken Taste ENTER 4 13 dr cken und somit den Vorgang best tigen 2 4 7 4 Lecksuchmodul mit anderer Vorvakuumpumpe am Vorvaku umanschiuB Nachdem das Lecksuchmodul vom Pumpmo dul gel st wurde steht an der Unterseite des Lecksuchmoduls ein Kleinflansch DN 16 KF zum Anschlu beliebiger Vorpumpen zur Verf gung siehe Betriebsart 1 in Abb 20 Dabei ist lediglich zu beachten da der Anschlu von Pumpen mit einem Saugverm gen von mehr als 16 m h nicht sinnvoll ist da durch die Drosselwirkung des DN 16 KF Flansches dieses Saugverm gen nicht am Einlad des Lecksuchers wirksam werden kann Die Ablaufsteuerung des Lecksuchers bleibt in dieser Betrieb
199. ssels 3 siehe Ab Schnitt 2 2 13 1 oder durch Dr cken der Ta ste Hand und der Werteingabetaste kann die maximale Empfindlichkeit von 2 10 10 mbar l s erreicht werden ULTRA 2 4 7 2 Sonstige Pumps tze Grunds tzlich k nnen im Teilstrompumpsatz beliebige Drehschieberpumpen sowie auch andere Ventile und Schl uche verwendet wer den siehe Betriebsart 4 in Abb 20 Dabei ist jedoch zu beachten da die Software nur mit den Magnetventilen Kat Nr 287 42 287 52 288 42 288 52 je nach Spannung und Geh usematerial zusammenarbeitet und au Berdem bei Verwendung anderer Pumpen oder Schl uche die Kalibrierung im Bereich p 3 0 2 mbar Pumpsatz Pump set Groupe de pompage Abb Fig 24 42 has fully run up further operation is carried out only via the START 4 2 and STOP VENT 4 2 pushbuttons A connected test object is evacuated by the partial flow pump set 2 7 by briefly pressing the START pushbutton 4 24 Note When the test object has been connected cor rectly and evacuated the green LED 23 1 on the electronics unit of the solenoid valve will come on If the red LED is on check that the changeover switch within the electronics unit of the solenoid valve is set to remote po sition S Details are given in Operating Instructions GA 06 202 The changeover Switch must be in position S At an inlet pressure of 100 mbar the gross leak valve V 1 2 is opened automatically GROSS see Fi
200. stelle durch Logiksignale ca 0 und 20 35V ausgel st werden Dies geschieht durch Kontaktsteuerung Abb 16 oder Steuerung ber SPS Abb 17 Die Zustandssteuersignale f r die Stat STBY VENT und MEAS werden zugef hrt ber die Kontakte PIN Nr 18 Pumpen Messen PIN Nr 19 Stand By PIN Nr 21 Bezugsmasse f r Nr 18 u Nr 19 PIN Nr 18 und 19 Fluten bei gleichzeitiger Bet tigung Damit der UL 100 PLUS ber diese Fernbe dienung sicher von einem Zustand in den an deren wechselt ist eine Impulsdauer von mindestens 500 ms zu gew hrleisten Abb 17 Ansteuerung durch Logik oder SPS Fig 17 Remote control vla logic or PC Fig 17 T l commande par logique ou CP 2 2 13 5 Remote Control of the Leak Te Sting Functions Alternatively the functions of the pushbuttons START or STOP may also be implemen ted via the interface by applying logic signals approx 0 and 20 35V This can be done either through switches Fig 16 or by pro grammable control Fig 17 The required Control signals for the modes STBY VENT and MEAS are epplied to contacts PIN No 18 Pumping measuring PIN No 19 Standby PIN No 21 Ref potential for No 18 amp No 19 PIN No 18 and 19 Vent when operated si multaneously With this remote control pulses of at least 500 ms duration are required for the UL 100 PLUS to safely switch from one mode to the next Spannung an Spannung an Voltage at Voltage at Kontakt 19 Kontakt
201. strompumpsatzes ist es notwendig den seitlichen Testanschlu8 10 3 entsprechend Abschnitt 2 2 12 zu montieren Der TestanschluB ist im Lieferumfang enthal ten Das Magnetventil mit elektromagnetischem Antrieb DN 25 KF wird an den Testanschlu angeflanscht und ber den Metallwellschlauch mit der TRIVAC D 25 B verbunden Zur Versorgung mit Netzspannung wird die Netzanschlu leitung 23 5 die am Magnet ventil fest installiert ist mit der Geratesteck dose 8 6 des UL 100 PLUS verbunden Die Steuerleitung 23 4 wird ber den Stecker 23 3 mit der Elektronikeinheit 23 2 des Magnetventils verbunden und auf der an dern Seite mit der Multifunktions Schnittstelle 12 1 des UL 100 PLUS Nach Einstecken an der Multifunktions Schnittstelle 12 1 wird die Option erkannt und gesteuert Zur Inbetriebnahme des Systems kann der UL 100 PLUS und der Teilstrompumpsatz gleich zeitig eingeschaltet werden Nachdem der UL Erl uterungen zur Abb 23 LED Elektronikeinheit des Magnetventils Stecker Steuarlaltung Steuerleitung Netzanschlu leitung CENTRES Key to Fig 23 LED Electronics unit of the solenoid valve Plug control cable Control cable Mains cable aaen L gende de la fig 23 1 DEL 2 Unit lectronique du robinet lectromagn tique 3 Fiche ligne de commande 4 Ligne de commande 5 Cordon secteur measuring high leak rates up to 1 mbar st Note The partial flow pump set Cat No 16
202. sweise erhalten d h die Be dienung erfolgt in der blichen Weise ULTRA FINE and GROSS see Section 2 6 in that order 2 4 7 3 Leak Detection Module without Pump Module The use of the leak detection module without ihe pump module see operating mode 2 in Fig 20 is useful in the following cases Servicing in vacuum systems having their own pumps On UHV systems at low pressures which are not to be contaminated by the oil of the backing pump H already installed pumps can be used as backing pumps The leak detection module is available as a self conatined unit under Cat No 155 83 In the case of UHV systems this has the special advantage that a backing pump is not required and the UHV system is therefore not contaminated with hydrocarbons To use the leak detection module in this way proceed as follows Separate the leak detection module from the pump by loosening the two quick release locks Close the forevacuum connection on the leak detection module using a DN 16 KF blind flange Connect the iniet of the leak detection module to the vacuum chamber this re quires a valve at the vacuum chamber Open the valve to the vacuum chamber so that the leak detector inlet is pumped out Insert key No 4 into the hand unit and activate it right up to the stop Switch on the leak detection module via its mains switch and wait until the run up phase has been completed This is indicated by the
203. t Filter element for exhaust filter D 1 6 8 Set of fuses 200 28 022 Dust filter 3 Carrying chain for remote control unit Set of tools Wing screw Interface plug 9 way Sub D plug 25 way Sub D plug 6 way coupling plug Hose coupling for exhaust line Set of keys Operating instructions UL 100 PLUS V 24 RS 232 C interface operation with the ULTRATEST UL 100 PLUS TURBOVAC 50 TRIVAC D 1 68 TURBOTRONIK NT 14 GA 10 207 SB 10 207 GA 05 100 GA 01 200 GA 05 213 ET 05 100 ET 10 207 ET 01 200 Spare parts list Spare parts list Spare parts list Dust cover Headset Order No 200 27 981 142 Accessories Cat No Order No 155 97 155 98 Transport case Transport boy Extension lead 10 m for remote control unit 165 43 Calibrated leak TL 7 complete with solenoid valve and installation set 155 93 Calibrated lesk TL 8 165 57 1 4 Equipement 14 1 Equipement standard UL 100 PLUS est pr t au service la livraison Sont foumis galement R f Cordon du raccordement secteur 2 5 m pour 110 V pour 155 83 2 5 m pour 220 V pour 155 82 896 38 Jeu de joints 200 28 021 Gamiture plate 8 x DN 40 KE Gamiture plate 4 x DN 25 KF Garniture plate DN 16 KF 2x Gamiture plate pour pr amplificateur 1 x Garnit plate pour filtre d chappement 2 x Joint torique pour bride d admission 2 x Joint torique pour pr amplificateur 3 x Joint torique pour D 1 6 B 4 x Joint toriqu
204. t Vaa sont ouverts Pour une pression d admission de pe lt 0 2 mbar V1 V2 et Vea sont ouverts V3 et V1 2 sont fermes VENT Apparait apr s la remise l air de la zone d admission et apr s avoir quitt l tat de d tection MEAS en actionnant longtemps gt 2 s l touche STOP VENT 4 2 Les robinets V2 et V3 sont ouverts V1 V1 2 et Ve sont ferm s CAL CAL apparait pendant le calibrage 2 7 2 Messages d erreurs Les divers messages d erreurs ont la significa tion suivante EROO Ce message apparait sur l affichage d tat du panneau de service en cas d erreur du systeme Le message suivant se d roule continuellement sur l affichage EROO CODE xx LINE woox x Value from 1 1040 xox Value from 1 to 32 767 L erreur du syst me peut ventuellement dis para tre automatiquement avec une nouvelle mise en circuit Si elle recommence il faut absolument consulter le S A V 53 ERO1 Es wurde ein h herer Vorvakuumdruck als 0 4 mbar festgestellt z B verursacht durch einen Lufteinbruch am Pr f ng Zum Schutz der lonenquelle hat sich die Massenspektrometer Versorgung selbstt tig abgeschaltet siehe unter CONT ERO2 Es wurde ein Fadenbruch an der Thermovac Me stelle Einta pg festgestellt Service rufen ERO3 Es wurde ein Fadenbruch an der Thermovac Mefistelle Vorvakuum py festgestellt Service rufen EROS W hrend des Hochlaufes ACCL
205. tanschlu am wei testen entfernten Stelle des Pr flings ange schlossen Die angezeigte Leckrate entspricht der Testleckrate Das Testleck wird zugedreht gleichzeitig die Zeit gemessen bis die an gezeigte Leckrate am UL 100 PLUS auf ca 37 des urspr nglichen Wertes abgefallen ist Die so gemessene Zeit ist die Ansprech zeit 2 4 3 3 Integrale Lecksuche Bei der integralen Lecksuche befindet sich der Pr fling 22 2 in einer H lle 22 3 z B eine PVC T te die mit einer bekannten Helium Konzentration 22 4 gef llt ist Nach M glich keit soll der Anschlu flansch 22 6 nicht von der H lle umschlossen werden da durch die Anschlu Dichtung Helium diffundieren und zu einer Untergrundanzeige f hren k nnte 2 4 4 Besonderheiten bei gro em Volu men eines Pr flings Die Pumpzeit des UL 100 PLUS vergr ert sich nicht proportional zum Pr flingsvolumen sondern proportional zur inneren Oberfl che Dies liegt daran da je nach Oberfl chenbe schaftenheit gro e Mengen Feuchtigkeit ge bunden sein k nnen Daher kann die Pumpzeit z B durch Rostan Satz erheblich verl ngert sein Um geringe Pumpzeiten zu erhalten sollen Volumen ber 5 Liter nur mit ext Teilstrompumpsatz gepr ft werden Siehe hierzu auch die Betriebsart 4 und die Betriebsart 3 in Abb 20 24 5 Besonderheiten bei kleinem Volu men eines Pr flings Bei kleinen Pr flingen soll m glichst mit einer Spr hpistole mit feiner Spitze gear
206. te TRIG CAL 4 11 vor gew hlt werden Dies wird durch die LED s 4 9 oder 4 10 angezeigt Mit Hilfe der Werteingabe Tasten 4 19 und 4 6 kann die Triggerschwelle beliebig in der Gr e ge ndert werden Der eingegebens Wert wird f r die Dauer des Einstellvorganges durch die Position einer Einzel LED auf der Kombi Anzeige 4 3 zusammen mit dem Ex ponenten dargestellt Die Eingabe muB mit der Taste f r Eingabe Ende ENTER 4 13 abgeschlossen wer den Die Triggereinstellung f r Trigger 1 kann durch 3maliges Dr cken der Taste Trigger und Kalibrierung 4 11 und f r Trigger 2 durch 2maliges Dr cken der Taste Trigger und Kalibrierung 4 11 abgebrochen werden 20 the signal starting point by entering different values with the parameter pushbuttons 4 19 or 4 6 if the acoustic signal multi function pushbutton 4 16 is depressed once the LED for the si gnal starting point lights up 4 15 The star ting point of the acoustic signal can then be set with the aid of the parameter pushbuttons 4 19 or 4 6 to any desired displayed value The set starting point is displayed during set ting on the combined indicator 4 3 The LEDs on the combination display 4 3 indicate the range in which the acoustic signal is acti vated If the acoustic signal multi function pushbutton 4 16 is depressed twice the volume LED 4 17 lights up The volume of the acoustic Signal can then be altered with the par
207. te calibr e interne Le facteur ULTRA est ainsi d termin Les facteurs GROSS et FINE sont calcul s partir du facteur ULTRA Si la sensibilit est trop faible on peut passer pour le calibrage l autre cathode avec la touche manuelle L interruption du calibrage est possible tout moment avec la touche trigger et calibrage 2 6 3 Calibrage avec une fuite calibr e externe Ouvrir la fuite calibr e externe Placer UL 100 PLUS dans l tat mesure avec la touche START S lectionner le calibrage avec la touche multifonction trigger et calibrage et confirmer avec la touche ENTER CAL apparait sur l indicateur d tat 26 1 du panneau de commande On peut alors r gler le spectrom tre de masse sur la sensibilit maximale avec le poten tiom tre M4 26 12 Cf section 2 6 1 L indication du taux de fuite est alors maximale Raccorder la fuite calibr e externe Corriger ensuite un ventuel fond h lium en actionnant la touche ZERO 4 14 Ouvrir la fuite calibr e externe On r gle ensuite le taux de fuite inscrit sur la fuite calibr e l aide des touches d introduction de valeurs 4 19 et 4 6 Apr s l actionnement de la touche ENTER le calibrage est termin En service normal le facteur ULTRA est ainsi d termin Les facteurs GROSS et FINE sont calcul s partir du facteur ULTRA En service flux partiel Cf les modes 3 et 4 dans la fig 20 les facteurs de c
208. ten anzeige erfolgt unter der Bedingung in Betriebsart 1 und 2 gem Abb 20 bei Pe 7 0 2 mbar in Betriebsart 4 und 3 gem Abb 20 bei Pe 100 mbar Der Lecksucher ist nun im Me betrieb Wird der Pr fling mit Helium bespr ht kann Helium infolge der Druckdifferenz zwischen au en und innen durch ein eventuell vorhan denes Leck in den Pr fling eindringen und im Massenspektrometer nachgewiesen werden 2 4 3 Handhabung des Pr flings bei lo kaler und integraler Lecksuche 2 4 3 1 Lokale Lecksuche Bei der lokalen Leoksuche ist der am UL 100 PLUS angeschlossene Pr fling 21 2 an ver d chtigen Stellen mit nicht zuviel Helium zu bespr hen Dabei sollte nach M glichkeit eine Spr hpistole mit feiner Spitze 21 4 benutzt werden Um auch sehr kleine Lecks neben schon ge fundenen Lecks am Pr fling auffinden zu k n nen sind bereits bekannte Lecks durch Auf tragen von Alkohol zu verschlie en Beim Bespr hen des Pr flings mit Helium ist mind solange zu spr hen wie die mit einem Testleck am Pr fling ermittelte Ansprechzeit betr gt Sonst wird das Leck falsch lokalisiert oder nicht gefunden Abb Fig 21 38 2 4 2 Vacuum Leak Detection with Test Object For quantitative leak rate determinations the leak of a test object must be sprayed with a 100 helium concentration This means that helium must be sprayed until the indicated leak rate no longer changes Make sure that the measurin
209. teur cl 11 2 situ sur le c t de l unit de commande 11 1 on trouve un raccordement pour casque d coute 11 3 imp dance gt 500 2 quip d une fiche jack 8 5 mm 2 2 13 9 Chaine de suspension Elle permet l utilisateur de UL 100 PLUS de porter ais ment l unit de commande La chaine se fixe en enfonant la cl fortement dans le verrou 11 4 Pour retirer la chaine enlever la cl en la tournant l g rement 2 2 13 10 Cable de connexion entre l unit de commande et le module d tecteur Ce c ble spiral entre le module d tecteur et l unit de commande peut amp tre s par du con necteur situ dans le boiter de c ble du module d tecteur pour utiliser p ex une rallonge de 10 m r f 165 43 Retirer d abord la c ble spira l compl tement et prudemment de son boitier et le support douille ressort avec la douille et la fiche jusqu l enclenchement On peut maintenant retirer la fiche de la douille en la saisissant par son corps exteme La lib ration du connecteur fiche se fait automa tiquement Pour ficher nouveau mettre les marques rouges face face Lorsque la fiche est ins r e on peut remettre le connecteur dans le boitier du c ble en tirant prudemment sur le c ble et d verrouillant simultan ment le support douille en tournant l g rement la fiche dans le sens des aiguilles d une montre En l chant le c ble il glisse dans son boitier Remarque Saisir le
210. teur Poign e mawn a 2 1 3 Temp rature de service Le parfait fonctionnement de UL 100 PLUS est garanti pour des temp ratures ambiantes de 17 C 40 C Huile de pompe N 62 Une huile sp ciale Huile Arctic est disponible pour la pompe palettes rotative D 1 6 B pour les temp ratures ext rieures d env 10 C 17 C Pour le renouvellement d huile voir GA 01 200 L huile sp ciale sa commande en bouteilles d un litre chez Leybold sous la r f 200 28 181 22 Description des fonctions de commande 2 21 Raccordement au secteur Remarque Les fonctions d crites ci dessous tiennent compte de la version V 3 0 du logiciel 2 2 1 1 Raccordement lectrique Attention Eviter d endommager l appareil en contr lant l concordance entre la tension secteur st celle n cessaire aux deux modules avant dt raccorder UL 100 PLUS au secteur V rifier l indication de tension sur le module pompe La tension secteur affect e l unit es indiqu e par le num ro de r f rence de k pompe TRIVAC D 1 6 B 6 1 R f 112 25 peut tre aliment e avec 220 240 V et R f 112 27 avec 105 120 V Si la tension secteur ne correspond pas il fat remplacer le module pompe ou UL 100 PLU par la version travaillant avec la tension secte correcte j Le cordon de secteur 8 2 se raccorde sur fiche combin e 8 5 de UL 100 PLUS Remarque La tension secteur n cessaire au module d tecteur de UL 100 PL
211. teur que la fiche combin e 8 5 Remarque Cette prise 8 6 n est pas d connect e par Pinterrupteur secteur Elle est toujours sous tension secteur S 2 2 2 Touches START et STOP VENT Touche START Apr s la mise en circuit du d tecteur UL 100 PLUS avec l interrupteur et la mont e en 17 E endet ist erfolgt die weitere Bedienung mit der Taste START 4 24 und der Taste STOP I VENT 4 2 Durch kurzes Dr cken der Taste START wird ein angeschlossener Pr fling evakuiert gleichzeitig leuchtet die Status LED 4 1 gr n Der fallende EinlaBdruck pg wird auf der Kom bi Anzeige 4 3 angezeigt bis der EinlaB druck von pg lt 0 2 mbar ist Bei diesem Ein la druck wird automatisch die Kombi Anzeige 4 3 so umgeschaltet da anstelle des Ein la drucks die Leckrate angezeigt wird W hrend im Me betrieb die Leckrate ange zeigt wird kann mit jedem weiteren Druck auf die Taste START die angezeigte Leckrate auf einen evtl angeschlossenen Drucker aus gegeben werden PRINT ONLY Betrieb siehe Schnittstellenbeschreibung SB 10 207 Taste STOP VENT Ausgehend vom MeBbetrisb des UL 100 PLUS wird durch einmaliges kurzes Dr cken der Taste STOP VENT 4 2 das Evakuie ren des Pr flings unterbrochen Der UL 100 PLUS geht in den Stand By Zustand Dem Bediener wird dieser Zustand wie folgt angezeigt Die angezeigte Leckrate wird ausgeblendet die LED s 4 3 sind alle aus Die rot gr
212. the pushbutton STOP VENT for less than 2 s and after a rectified fault Valves V1 and V3 are closed V2 is open The turbomolecular pump is running 63 000 rpm EVAC is displayed after operating the START pushbutton 4 24 after having been in the standby STBY or vent VENT mode Valves V2 and V3 are closed valve V1 is open In the case of partial flow operation with a connected partial flow valves V1 V1 2 and V3 are closed and V2 and Vaxt are open MEAS is displayed after evacuation EVAC if the pressure at the inlet bas dropped below 0 2 mbar or in the case of partial flow operation below 100 mbar and the leak rate is indicated on the remote control unit Valves V1 and V2 are open V3 is closed In the case of partial flow operation with a Connected partial flow valve and an inlet pres Sure of 100 mbar gt p gt 0 2 mbar V1 and V3 are closed and V2 V1 2 and Vex are open At an inlet pressure of pg lt 0 2 mbar V1 V2 and Vex are open V3 and V1 2 are closed VENT is displayed after venting the inlet area and leaving the leak detection status MEAS by operating the STOP VENT pushbutton 4 2 for more than 2 s Valves V2 and V3 are open V1 V1 2 and Vext are also closed CAL Cal is displayed during calibration 2 72 Error Messages The different error messages have the follow ing meanings ER00 H EROO is displayed on the status display on the service panel there
213. ting Insert the required key into the slit of the key operated switch 11 2 on the hand unit 11 1 right up to the stop Operate ENTER 4 13 Zero indicator LED 4 21 flashes three times long Remove the key Deactivation Insert the required key into the slit of the key operated switch 11 2 on the hand unit 11 1 right up to the stop and then operate the ENTER pushbutton 4 13 Zero indicator LED 4 21 flashes six times briefly Remove the key When switching off the UL 100 PLUS all en tries entered through keys 1 2 and 6 are stored i e when switching on again the same conditions are set up Functions entered through keys 3 4 and 5 are not stored when switching off The effect of the keys is as follows Key No 1 Key No 1 locks and unlocks the operation of the multi function pushbutton Trigger and Calibration 4 11 for example to prevent un qualified changes in the calibration or trigger values Key No 2 Key No 2 locks and unlocks Trigger Calibra tion Manual Auto and the parameter entry pushbuttons Key No 3 Key No 3 is only used in connection with the partial flow pump set see Section 2 4 7 1 Key No 3 permits switch over from FINE to ULTRA when the autoranging process is on When doing so the external partial flow valve is closed and the leak detector is operated at its maximum sensitivity Switch over is only possible provided the inlet pressure is belo
214. tiquement de telle sorte que ce soit le taux de fuite et non la pression d admission qui soit affich Pendant l affichage de taux de fuite en mode mesure chaque pression sur la touche START provoque une sortie du taux actuel sur l imprimante ventuellement raccord e mode PRINT ONLY voir description d inter face SB 10 207 Touche STOP VENT Lorsque UL 100 PLUS est en mode de me sure on peut interrompre l vacuation de la pi ce raccord e en actionnant une seule fois et bri vement la touche STOP VENT 4 2 UL 100 PLUS passe alors en mode Stand By Cet tat est indiqu l op rateur de la fagor Suivante Le taux de fuite indiqu dispara t les DEL 4 3 sont toutes teintes La DEL rouge verte 4 1 s teint Les exposants restent visibles L affichage d tat d erreur 26 1 du panneat de service indique STBY La DEL du z ro 4 21 s allume L quilibrage automatique de UL 100 PLUS lieu apr s l actionnement de la touch STOP VENT 4 2 Le fond h lium de l ap pareil et la d rive lectrique du z ro sont alor d termin s On obtient la fonction VENT remise l atmos ph re en actionnant plus longtemps au moin 2 s la touche STOP VENT 4 2 Le robine de fuite V3 est ouvert On entend distinctemer la remise l atmosph re de la pi ce raccord e Cet tat de service est signal par l allumage de la DEL d tat 4 1 Les DEL de l affichag combin 4 3 sont toute
215. trigger adjust ment for trigger 1 can be terminated by press ing pushbutton Trigger and Calibration 4 11 three times and twice for trigger 2 point d application du signal en modifiant la fonction choisie avec la touche entr e de va leurs 4 19 ou 4 6 En appuyant une fois sur la touche multi fonction signal acoustique 4 16 la DEL point d application s allume 4 15 Ce point peut alors tre d fini l aide de la touche d entr e de valeurs 4 19 ou 4 6 sur une valeur quelconque indiqu e pendant son r glage par une DEL sur l affichage combin 4 3 Les DEL allum es sur l affichage combin 4 3 indiquent la gamme d activation du signal acoustique La DEL intensit sonore 4 17 s allume en actionnant deux fois la touche multifonction signal acoustique 4 16 L intensit sonore du signal acoustique peut alors tre d finie gr ce la touche d entr e de valeurs 4 19 ou 4 6 L intensit est indiqu e par l allumage des DEL 4 3 du bas vers le haut L introduction doit tre termin e avec la touche ENTER 4 3 On peut interrompre le r glage du trigger en actionnant nouveau la touche 4 16 ou en actionnant deux fois la touche 4 16 22 8 Touche multifonction trigger et calibrage Remarque Cette touche de fonction est op rante dans le mode Stand By et le mode mesure 2 2 8 1 Fonction trigger 1 et 2 normale Ces fonctions trigger 1 et trigger 2 com mutent chacune un cont
216. u logiciel l action de la touche point z ro s tend galement aux sorties trigger section 2 2 8 et aux sorties de tension analogique section 2 2 13 6 L affichage de taux de fuite revient automa tiquement z ro et la DEL du z ro 4 21 clignote La gamme de mesure sera choisie d une d cade plus sensible si le fond h lium affich se trouve dans la d cade inf rieure Il n est alors plus possible de commuter sur des gammes plus sensibles La r duction du fond est corrig e par une d termination flottante du fond En appuyant une nouvelle fois sur la touche de remise z ro 4 14 cette fonction est annul e et un ventuel fond parasite est affich en tant que taux de fuite 2 2 7 Touche multifonction signal acou stique Remarque Cette touche de fonction est op rante pour tous les modes de service La touche multifonction signal acoustique 4 16 permet de r gler l intensit sonore ou le 19 satzpunkt der Lautst rke eingestellt werden indem die jeweils gew hlte Funktion ber die Werteingabe Taste 4 19 oder 4 6 ge ndert wird Durch einmaliges Bet tigen der Multifunktions Taste Akustisches Signal 4 16 leuchtet die Einsatzpunkt LED 4 15 Der Einsatzpunkt des akust Signals kann mit Hilfe der Wertein gabe Taste 4 19 oder 4 6 auf jeden beliebi gen Skalenwert eingestellt werden Der einge stellte Einsatzpunkt wird w hrend der Einstel lung auf der Kombi Anzeige 4 3 angezei
217. ue trigger log des gammes de mesure T 2 2 5 Touche de s lection manuelle des gammes de mesure 1 2 2 6 Touche de remise z ro autoz ro 1 227 Touche multifonction signal acoustique 2 28 Touche multifonction trigger et calibrage H 2 2 84 Fonction triggers 1 et2 nomale i 2 2 8 2 Fonction triggers 1 et 2 inverse 6 eee cere eee ee 2 2 8 8 Fonction sp ciale triggers 1 et 2 tat de l appareil i 2 2 84 Fonction calibrage i 2 29 Touche de confirmation d entr e ENTER i 2 2 10 M moire perm des param tres 2 211 Robinet de lest d air 2 212 Raccordtest Len 2 213 Dispositifs suppl mentaires 2 2 13 1 2 2 13 2 2 2 13 3 2 2 13 4 2 2 13 5 2 2 18 6 2 2 18 7 2 2 13 8 2 2 13 9 Schl sselschalter Multifunktions Schnittstelle 27 Trigger Ausg nge Trigger 1 2 28 Teilstromventilansteuerung 29 Fernsteuerung der Lecksuch funktionen 30 Analog Spannungs Ausg nge 30 Analog Spannungs Ausgang f r den EinlaBdruck p 31 Kopfh rer Anschlu 32 Halskette 32 2 2 13 10 Verbindung zwischen Bedien 23 2 3 1 2 4 24 1 2 4 2 2 4 3 2 4 3 1 2 4 3 2 2 4 3 3 2 4 4 2 4 5 2 4 6 2 4 6 1 2 4 6 2 2 4 7 2 4 7 1 24 7 2 24 7 8 24 74 2 4 8 2 4 8 1 2 4 8 2 2 5 2 6 2 6 1 2 6 2 2 6 3 264 27 2 7 1 2 7 2 2
218. unit de commande en mode SERVICE Vous en trouverez la description dans la section 2 7 dans la S quence apr s l actionnement de la touche manuelle par l interface V 24 RS 232 C Consulter pour cela SB 10 207 2 4 Betriebsarten 24 1 bersicht der Betriebsarten Hinweis Vor jeder quantitativen Leckraten Bestimmung sollte der UL 100 PLUS mit einem Testleck nach Abschnitt 2 6 abgeglichen werden Der UL 100 PLUS verf gt grunds tzlich ber zwei Betriebsarten die Vakuumlecksuche VAC und die Schn ffellecksuche SNIF Die Betriebsart SNIFF wird ber den Schl s sel Nr 6 Abschnitt 2 2 13 1 angew hit Die Betriebsart wird an der Statusanzeige im Servicefeld 26 1 w hrend des Hochlaufes des Ger tes angezeigt und kann so kontrolliert werden 2 4 Operating Modes 2 4 1 Overview of the operating modes Note Prior to a quantitative leak rate determination the UL 100 PLUS should be calibrated using a calibrated leak as described in Section 2 6 The UL 100 PLUS has two main operating modes vacuum leak detection VAC and Sniffer leak detection SNIF The operating mode SNIFF is selected via key No 6 see Section 2 2 13 1 During run up the operating mode is indicated on the status display for checking purposes and can be inspected at this time UL 100 PLUS Betriebsarten Operating modes of the UL 100 PLUS UL 100 PLUS Modes de service Sa Vakuumlecksuche Vacuum leak detection D tection
219. urch Sto Die positiven Gasionen werden durch die Ex traktorblende 3 10 aus dem Anodenraum ge zogen Zur Vermeidung von polymerisierten Kohlen wasserstoffablagerungen isolierende Schich ten die die Empfindlichkeit beeintr chtigen k nnen wird die Anode st ndig geheizt Die Katoden bestehen aus Iridiumband das mit Thoriumoxid beschichtet ist Wegen ihres Thoriumbelages arbeiten diese lridium Gl h f den mit einer viel niedrigeren Temperatur als Wolfram Gl hf den und haben eine ausge zeichnete Widerstandsf higkeit Durchbrennsi cherheit gegen Verspr dung O2 H90 Dampf und KW Stoffe Achtung Halogene oder halogenhaltige Substanzen k nnen unter Umst nden die Lebensdauer der Katoden ung nstig beeinflussen 1 3 6 lonenf nger und Verst rker Die positiven Helium lonen die auf den lonen f nger 3 5 treffen erzeugen im hochohmigen Eingang des Verst rkers einen Strom Nach Verst rkung und Wandlung erscheint das Si gnal auf der Kombi Anzeige 4 3 als Leckra te 1 3 5 lon Source The electrons emerging from the cathode 8 1 or 3 3 are attracted by the positive an ode 3 2 However they do not immediately reach the anode but travel to and fro between the cathode and the shield 3 11 until finally reaching the wire spiral of the anode In this path the electrons ionize gas atoms through impact The positive gas ions are extracted from the anode space by the extractor screen 30 The anode is c
220. uren von ca 10 C bis kleiner 18 C sollte die Drehschieberpumpe D 1 6 B mit Arctic l gef llt werden Nur dann ist bei diesen Temperaturen ein problemloser leichter Anlauf m glich 3 2 Wartungsarbeiten 3 2 1 Vorpumpe TRIVAC D 1 6 B F r alle Wartungsarbeiten der Drehschieber Vakuumpumpe TRIVAC D 1 6 B wird auf die GA 01 200 verwiesen 3 2 2 Turbo Molekularpumpe TURBOVAC 50 Die im UL 100 PLUS eingebaute Turbo Mole kularpumpe TURBOVAC 50 ist wartungsfrei Alle Daten und Angaben k nnen der Ge brauchsanweisung GA 05 100 entnommen werden 2 3 Luftfilter wechseln UL 100 PLUS ausschalten Netzstecker vom Ger t abziehen Hinweis Der Luftfilter befindet sich hinter der Seiten wand ber dem elektrischen AnschiuBfeld Beide Schnellverschl sse 28 1 mit einem Schraubendreher durch eine Linksdrehung entriegeln Knackger usch h rbar Seitenwand 28 2 am unteren Ende vom UL 100 PLUS abziehen und vorsichtig nach 3 Maintenance 3 1 Maintenance Schedule Maintenance of the UL 100 PLUS must be carried out when required It is confined to changing the oil in the backing pump and exchanging the ion source Note For operation of the pump at ambient tempe ratures between 10 C and 18 C the D 1 6 B rotary vane pump should be filled with Arctic oil Only the use of this oil will ensure proper easy running up of the pump at these temperatures 2 Maintenance Tasks 3 2 1 Backing Pump TRIVAC D 1
221. usqu 2310 0 mbar ks Pour obtenir cette pr ci sion il faut interdire une ventuelle indication parasite avec la touche de remise z ro Une plus forte r solution des mesures s obtient en raccordant un enregistreur sec 2 2 13 6 Ou par la sortie des taux de fuite par une interface V 24 2 4 6 2 Importants taux de fuite La mesure de grands taux de fuite pr sente le risque d une contamination de la pi ce et du d tecteur UL 100 PLUS Le temps de mesure doit tre donc aussi court que possible La contamination de la pi amp ce se manifeste par un fond parasite qui peut tre lu sur l affichage combin 4 3 et supprim le cas ch ant avec la toucha ZERO 4 14 CF section 2 2 6 Remarque La pompe vide primaire peut tre d con tamin e en ouvrant le dispositif de lest d air 9 3 pendant quelques minutes Une localisation des fuites importantes est difficile car elles attirent l h lium d assez loin I1 faut donc une buse fine pour n asperger que peu d h lium La mesure quantitative ne peut tre ex cut e que si l on peut obtenir de l h li um 100 sur la fuite Utiliser de pr f rence un groupe de pompage flux partiel pour les fr quentes d tections au dessus de 103 mbar s Cf mode de ser vice 4 de la fig 20 Une br ve mesure de taux de fuite jusqu 10 mbarke est cependant possible sans ce groupe de pompage 2 47 Proc dures sp ciales de d tection Les proc dures de d tecti
222. ustand Messen bringen Mit Multifunktionstaste Trigger und Kalibrie rung das Kalibrieren anw hlen und mit der Taste ENTER quittieren Auf der Statusanzeige 26 1 im Servicefeld erscheint CAL Das Massenspektrometer kann jetzt mit Po tentiometer M4 26 12 auf max Empfind lichkeit gebracht werden Abschnitt 2 6 1 Die Leckratenanzeige wird dann maximal Externes Testleck schlie en Einen vorhandenen Untergrund mit der Nullpunkt Taste 4 14 unterdr cken Externes Testleck ffnen Durch Dr cken der Werteingabetasten 4 19 und 4 6 wird die auf dem Testleck aufge druckte Leckrate eingestellt Der Kalibriervorgang ist nach dem Dr cken der Taste ENTER abgeschlossen Im Normalbetrieb ist der Faktor ULTRA damit bestimmt Die Faktoren GROSS und FINE werden aus dem Faktor ULTRA berechnet im Teilstrombetrieb siehe die Betriebsarten 3 und 4 in Abb 20 k nnen die Kalibrier faktoren GROSS FINE und ULTRA einzelnen bestimmt werden Dazu mu vor dem Kalibrie ren durch Dr cken der Taste HAND die au tomatische Me bereichswahl ausgeschaltet werden Durch Dr cken der Werteingabeta sten 4 19 und 4 6 kann der entsprechende Me bereich angew hlt werden Hierzu mu Now the sensitivity of the mass spectrometer may be set to maximum by operating potenti ometer M4 26 12 Sec 2 6 1 The leak rate display will also show a maximum Now it is possible to determine the internal background
223. utilized the other relay contact may still be used as an inverse trigger contact 2 2 8 4 Function Calibration The multi function pushbutton TRIG CAL 4 11 and LED 4 12 are used for setting the calibration factor for quantitative leak rate indi cations The effect depends on whether an in ternal or external calibrated leak is employed See Sections 2 8 2 and 2 6 3 This function is activated by briefly pressing pushbutton 4 11 followed by pressing the ENTER 4 13 pushbutton 2 2 9 Pushbutton for End of Entry EN TER Whenever entering values with the parameter pushbuttons 4 19 and 4 6 the ENTER pushbutton 4 13 must be depressed upon completion of the entering process Only then will the UL 100 PLUS be able to process the new values This pushbutton is also used to confirm the calibration procedure 2 2 8 3 Fonction sp ciale triggers 1 et 2 tat de l appareil Message d erreur Pour r gler cette fonction sp ciale des triggers 1 et 2 il faut les inverser en actionnant ta touche automat trigger log 4 18 En mode inverse le trigger 1 peut assurer la signalisation des erreurs La condition pr alable ost le r glage du trigger invers par la touche d entr e de valeurs 4 19 dans une gamme dans laquelle aucune tuite ne peut tre indiqu e p ex gt 1 109 mbar s exposant positif L introduction doit tre confirm e par la touche ENTER 4 13 En pr sence d un messag
224. ux de fuite sup rieur la valeur r gl e Logique inverse fonction inverse Interface multifonction 12 1 PIN No 10 et 11 contact de travail du trigger 1 indication de perturbation contact de travail du trigger 2 pr t au service PIN No 12 et 13 Pour la sortie de relais 12 3 broches no 2 et 3 ainsi que broches no 4 et 5 Le contact de trigger correspondant se ferme quand UL 100 PLUS d tecte un taux de fuite plus petit que celui qui est r gl II reste ouvert pour tout autre tat de service Remarque Les sorties trigger sont congues conform ment aux prescripions VDE 0100 pour une tension de 60 V max et un courant de 1 A max 2 2 13 4 Commande du robinet flux partiel Les contacts douille suivants 12 1 sont pr vus pour la commande du robinet externe du flux partiel contenu dans le groupe de pompage de flux partiel CF section 2 4 7 1 PIN No 14 Sortie signal de commande du robinet 0V ferm 24V ouvert PIN No 15 Masse de r f rence pour no 14 PIN No 16 Alimentation 24 V pour no 17 PIN No 17 Entr e position du robinet un court circuit entre no 16 et 17 signifie robinet connect et ferm U L 1 0 0 P L U S 21 Remote cont GND 24 V GND 15 Abb Fig 16 U L 1 0 0 P L U S Abb Fig 17 2 2 13 5 Fernsteuerung der Lecksuch tunktionen Die Bedienungsfunktionen der Tasten START oder STOP k nnen altemativ auch ber die Schnitt
225. valeur et passer celle de l heure TIME Les heures apparaissent env 1 s apr s H xx Elles se r glent avec les touches d entr e de valeur 4 6 et 4 19 et sont remises O0 avec la touche z ro 4 14 Actionner la touche ENTER 4 13 pour confirmer la valeur et passer aux minutes Mx Elles se r glent avec les touches d entr e de valeur 4 6 et 4 19 et sont remises 00 avec la touche z ro 4 14 Actionner la touche ENTER 4 13 pour confirmer la valeur et passer l indication de la DATE Le jour D xx apparait env 1 s apr s se r gle avec les touches d entr e de valeur 4 6 et 4 19 et prend la valeur 01 avec la touche z ro 4 14 Actionner la touche ENTER 4 13 pour confirmer la valeur et passer celle du mois Mx Il se r gle avec les touches d entr e de valeur 4 6 et 4 19 et prend la valeur 01 avec la touche z ro 4 14 Actionner la touche ENTER 4 13 pour con firmer la valeur et passer celle de l ann e Jo Elle se r gle avec les touches d entr e de valeur 4 6 et 4 19 et prend la valeur 90 avec la touche z ro 4 14 Actionner la touche ENTER 4 13 pour confirmer la valeur et revoir les r glages de la vitesse de transmission de l heure et de la date UL 100 PLUS peut de nouveau ex cuter toutes les fonctions apr s le r glage du commutateur fente SERVICE NORMAL 25 2 sur NORMAL et la phase d initiali
226. vec fuite calibr e incorpor e Mettre UL 100 PLUS dans l tat Stand By ou remis l atmosph re avec la touche STOPWENT S lectionner le calibrage avec la touche multifonction trigger et calibrage et confirmer avec la touche ENTER CAL apparait sur l indicateur d tat 26 1 du panneau de commande On entend distincte ment l ouverture de ia fuite calibr e interne Das Massenspektrometer kann jetzt mit Po tentiometer M4 26 12 auf max Empfind lichkeit gebracht werden Abschnitt 2 6 1 Die Leckratenanzeige wird danri maximal Durch Dr cken der Taste ZERO kann nun der gerateinterne Untergrund bestimmt werden Vor der Untergrundbestimmung schlie t das Testleck Nach der Untergrundbestimmung ffnet das Testieck Durch Dr cken der Werteingabetasten 4 19 und 4 6 wird die auf dem Testleck aufge druckte Leckrate eingestellt Der Kalibriervorgang ist nach dem Dr cken der Taste ENTER abgeschlossen Das in terne Testleck schlie t h rbar Der Faktor ULTRA ist damit bestimmt Die Faktoren GROSS und FINE werden aus dem Faktor ULTRA berechnet Bei zu geringer Empfindlichkeit kann beim Ka librieren mit der Taste HAND auf die andere Katode umgeschaitet werden Der Kalibriervorgang kann jederzeit durch Dr cken der Taste Trigger und Kalibrierung abgebrochen werden 2 6 3 Kalibrieren mit externem Testieck Externes Testleck ffnen UL 100 PLUS mit der Taste START in den Z
227. w p 0 2 mbar Switch over from ULTRA to FINE is not possi ble Key No 4 Key No 4 permits leak detection on objects with a backing pump without having to use the UL 100 PLUS pump module 6 5 For this purpose the vacuum connection on the leak detection module 6 3 must be equipped with a blind flange the test object is con nected to one of the test connections 2 2 13 1 Commutateur cl Un commutateur cl 11 2 est dispos dans un renfoncement sur le c t de l unit de commande 11 1 du d tecteur UL 100 PLUS Six cl s diff rentes permettent de r gler des programmes de v rification et de modes de Service Activer Enfoncer la cl en question fond dans la fente du commutateur cl 11 2 de l unit de commande 11 1 Actionner la touche ENTER 4 13 La DEL indicateur de z ro 4 21 clignote 3x long Retirer la cl D sactiver Enfoncer la ci en question fond dans la fente du commutateur cl 11 2 de l unit de commande 11 1 et actionner ensuite la touche ENTER 4 13 La DEL indicateur de z ro 4 21 clignote 6x court Retirer la cl Quand UL 100 PLUS est mis hors circuit il y a m morisation des donn es introduites par les cl s 1 2 et 6 Les tats introduits par cas cl s apparaissent donc nouveau la remise en circuit t Les fonctions r gl es par les cl s 3 4 et 5 ne sont pas m moris es la mise hors circuit Les
228. x460x250 mm Pump module 225x460x250 mm Weight UL 100 PLUS complete approx 33 5 kg Leak detection module approx 20 0 kg Pump module approx 13 5 kg CatNo ULTRATEST UL 100 PLUS Portable Helium Leak Detector complete Euro version 220 V to 240 V 155 82 Version 100 V to 120 V 896 38 UL 100 PLUS Leak Detection Module 155 83 Q M M M DE En e Pression vide 0 01 mbar 10 mbar primaire logarithmique en 15 chelons Spectrom tre de masse Champ secteur magn tique 180 Source d ions avec focalisation Z Deux cathodas en iridium Anode chauff e autonettoyante Masses d celables 2 3et4 Temps de mont e en service lt 3 min Raccord test 2x DN 25 KF Cordon de l unit de commande 8m 1 2 2 Caract ristiques lectriques Module d tecteur Tension secteur commutable 100 V 120 V 220V 240V 5 50 60 Hz Puissance absorb e 80 VA Module pompe Tension secteur 210 260 V ou 100 130 V Fr quence secteur 50 60 Hz Puissance absorb e 240 VA Consom totale pendant la mont e en r gime 110V 5A 220 V 25A Consommation totale apr s 30 min de service 110V 8A 220V 15A Sortie secteur pour renifleur Courant max 1A Attention La sortie fournit toujours la tension sec res pectivement appli dans UL100 PLUS Entr es sorties de signaux Pres d admission pe 0 10 V RL 22 5 kf Signal taux de fuite 1 810VRL22 5 kQ Signal plage de mesure exposant Echelon de 0 5 V par d cade 1 10

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