表面解析用質量分析装置 要求仕様書 財団法人京都高度技術研究所
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1.2. 2 2 1 2 2 1 2 3 1 0 4 10 5 106 2 4 nm um H He 4 SIMS TOF re rd ff SIMS
3. TOF SIMS MS 40 SIMS
4. 2 1 1 2 al 3 1 2 4 1
5. 9 1 4 3 1 2 I 1
6. 1 1 2 40m 9 000 28 u M IM FWHM 15 000 200 u 27 u M AM FWHM 10 000 u 4 000 1 108 A1 nC 1 2 Au
7. 1 12 1 1 1 Static SIMS 1 Surface Spectra S SIMS Library 1 2nd Copy 1 Au 1 Ga 1 1 1 SE HN 0x 1 Ar 1 Ar 1 Ar 1
8. 2 5 3 1 oO MW I I 1 ul 2 oO MR I 1 A E LED f
9. Ar 5 Y Z 2 3 Map 2 5 1 1 1 1 2 1 1 3 Ar 0x 1 4 Ar 1 1 5 1 1 6 1
10. 1 1 SS 2 100 12 1 1 1 0 4 10 5 106 2
11. 30keV 500gm X500gm 30keV 1 024X1 024 E 0 7mo 130nm Ga Au Ga Au 1 1 3 Ga 30keV
12. Ar 20kV 10nA 1 6 20eV 1 7 0S Microsoft Windows 7 2GB 200GB USB 1 8 1 9 X
13. 500 mmX500m 30keV 1 024X1 024 0 6m 80nm Au Ga Au Ga 1 1 4 Ar 0x 0 01 4kV 1 2 2uA 1 5
14. 50mm Y 50mm 15 5 180 tr 100mm 15mm 1 10 100mm 1 11 5X10 7 Pa GCIB
15. 1 7 1 1 8 1 1 9 1 1 10 TN 3 3 1 I I 3 2 3 3 3 4 4 4 1 ce te 4 2 1 2 25 10 3 18
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