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Installations- und Bedienungsanleitung

1. H Die RS 485 Schnittstelle ist eine Multidrop Schnittstelle Mit dieser Schnittstelle ist es m glich bis zu 32 Ger te an eine RS 485 Schnittstelle anzuschlie en IBM kompatible PC s sind standardm ig nicht mit einer RS 485 ausger stet Zum Anschluss an einen Standard PC ist entweder ein RS 232 zu RS 485 Konverter oder eine RS 485 Interface Karte notwendig Abbildung 2 4 zeigt das Anschlussbild f r zwei TMF s welche an einem IBM kompatiblen PC ber die RS 485 und einem RS 485 zu RS 232 Konverter angeschlossen ist Bitte beachten Sie hierbei daB bei Einsatz des RS 485 Bussystems AbschluBwiderst nde von 120 Ohm am Anfang und am Ende des Bussystems ben tigt werden Die AbschluBwiderst nde m ssen in der N he des Konverters plaziert werden In vielen Konvertern sind diese AbschluBwiderst nde bereits eingebaut dieses muss jedoch berpr ft werden Abbildung 2 4 RS 485 Multidrop Verbindungen zwischen PC und TMF s D connector to PC 25 pin 9 pin RTS or DTR Gnd RS 485RS 232 converter 2 8 ANSCHLUSS AN PERIPHERIE GER TE Bei Einsatz der Ger te ohne digitale Kommunikation d h es wird nur der Analogausgang ben tigt k nnen die nachfolgend aufgef hrten Anschlusskabel f r die Verbindung zwischen den Massedurchflussger ten und der Brooks Mikroprozessor Controleinheit geliefert werden L nge 3 Meter Teile Nr 124 Z 236 AAA L nge 6 Meter Teile Nr 124 2 237 AAA L nge 12 Me
2. 28 ANSCHLUSS AN PERIPHERIE GER TE Fortsetzung Tabelle 2 4 Elektrische Interface Anschl sse Smart TMF TMF Seite Read out Side Computer Computer Sub D 15polig Sub D 15polig Seite Seite Buch k tia Se Sub D 25 pol Sub D 9 pol d Buchse Buchse Joss TTL Open Collector Alarmausgang frowa 01 4 20 mA istwert Ausgangssignal 15 28 VDC Spannungsversorgung 15 VDC Spannungsversorgung ra 0 1 5 VDC Solwert Eingang pink IstwertAusgangssignat Masse t gob 5 VDG Referenzspannungs Ausgang Valve Override Eingang Option RS 232 RS 485 TxD A 16 Abschnitt 3 Betrieb 3 1 INBETRIEBNAHME 1 Verbinden Sie das Ger t mit der Spannungsversorgung und geben Sie dem Ger t 45 Minuten Zeit seine Betriebstemperatur zu erreichen Nach 45 Minuten werden die Leistungsdaten gem B Spezifikation erreicht Ein Betrieb ist jedoch auch vorher problemlos m glich 2 berpr fen Sie den aktuellen Gasdurchfluss bevor Sie das Ger t mit Druck beaufschlagen Ist die Durchflussrate gt 0 2 so ist am Ger t ein Null Abgleich durchzuf hren siehe Abschnitt 3 2 3 ffnen Sie die Gaszuf hrung 4 Setzen Sie den Sollwert auf 0 und beobachten Sie das Ausgangssignal Ist der Spannungsausgang gt 0 2 SO pr fen Sie die Anordnung auf eventuelle Leckagen 5 Der Normalbetrieb kann jetzt aufgenommen werden 3 2 NULLPUNKTKORREKTUR Jeder Massedurchflussmesser regler ist we
3. oder Rund Verbindungsstecker sollten eine Abschirmung aus Metall besitzen Wenn m glich sollten Kabeldurchf hrungen mit Anschlu m glichkeiten f r die Kabelabschirmung verwendet werden Die Abschirmung des Kabels ist auf beiden Seiten des Steckers oder der Kabeldurchf hrungen ber den vollen Umfang von 360 anzuschlie en Die Abschirmung ist mit dem Erdpotential zu verbinden Platinen Steckverbindunger sind standardm ige keine metallgeschirmten Verbindungen Um die Anforderungen der CE Zertifizierung zu erf llen sind Kabel mit einer 80 igen Schirmababdeckung zu verwenden Die Abschirmung ist mit dem Erdpotential zu verbinden All Brooks electrical electronic equipment bearing the CE mark has been successfully tested in accordance with the Electromagnetic Compatibility regulations EMC directive 89 336 EEC However special care is required when selecting signal cables to be used with equipment bearing the CE mark Quality of signal cables cable glands and connectors Brooks supplies high quality cabling that meets the specifications for CE certification However if you wish to use your own signal cable you should select one that is fully screened with at least 80 shielding Any D or Circular type connectors used should be screened with a metal shield If applicable metal cable glands must be used to clamp the cable shielding The cable shielding should be connected to the metal shell or gland and have
4. D Bild 2 1 2 2 2 3 2 4 2 5 2 6 Tabelle 1 1 2 1 Seite OO E PS ND Y Y J _ 17 17 18 18 18 19 20 20 20 22 22 22 22 25 29 30 32 33 33 34 35 39 Seite 10 12 13 14 14 15 Seite 13 16 21 22 Abschnitt 1 H Smart Control Smart DDE Smart Service Handbuch f r die Kommunikation Einf hrung 1 1 ARBEITEN MIT DEM HANDBUCH Es wird empfohlen dieses Handbuch vor jeglicher Arbeit mit den Ger ten sorgf ltig durchzuarbeiten Dieses Handbuch ist in neun Abschnitte unterteilt Abschnitt 1 Einf hrung Abschnitt 2 Installation Abschnitt 3 Inbetriebnahme Abschnitt 4 Wartung Abschnitt 5 Technische Daten Abschnitt 6 9 Anh nge Diese Bedienungsanleitung soll dazu dienen den Anwender unserer Ger te mit allen Informationen zu versorgen die er f r den Betrieb und die Wartung der Ger te ben tigt Diese neue Ger teserie basiert auf neuester Mikroprozessortechnologie und wurde f r die Anwendung unter verschiedensten Anwendungs und Prozessbedingungen entwickelt Die Verwendung dieser Technologie erlaubt den Anspruch auf h chste Genauigkeit und Zuverl ssigkeit zu erheben und erm glicht die vielf ltigen Anschlussm glichkeiten an Peripherieger te ber digitale und oder analoge Schnittstellen Diese Anleitung beinhaltet Informationen ber die Smart Massedurchflussmesser Modelle 5860S 59615 58635 und 5864S sowie die Smart Massedurch
5. Spannung 0 5 VDC oder 1 5 VDC Eingangsimpedanz gt 2000 Ohm Strom 0 20 mA oder 4 20 mA Kommunikation Eingangsimpedanz 250 Ohm Analog Ausgang Spannung 0 5 VDC oder 1 5 VDC 2000 Ohm Strom 0 20 mA oder 4 20 mA max 375 Ohm Schleifenwiderstand Digitale Kommunikation RS 232 oder RS 485 Baudraten 1200 bis 38K4 PROFIBUS DP bis 12Mbit s selbsteinstellend Alarm TTL Open Collector oder ber digitale Kommunikation Referenzspannung 5VDC Impedanz gt 2000 Ohm Speisespannung 15 28 VDC oder 15 VDC Stromaufnahme Durchflussmesser Modelle 5860S 5861S 5863S und 5864S 24 VDC 10 ca 80 mA 120 mA bei Profibus oder 15 VDC 5 ca 90 mA Durchflussregler Modelle 58505 58515 und 5853S 24 VDC 10 ca 140 mA 180 mA bei Profibus 15 VDC 10 ca 185 mA Beachten Sie bitte hierzu den Hinweis auf der n chsten Seite Bei Bestellung bitte angeben 23 Technische Daten Fortsetzung Temperatur Leckage Sicherheit Anw rmzeit D mpfung Ausregelzeit HINWEIS Bei aktivierter Valve Override Funktion betr gt die Stromaufnahme 15 VDC ca 285 mA 24 VDC ca 370 mA 0 70C Umgebungs und Gastemperatur Optional 0 100 C getrennte Elektronik notwendig 1 x 10 mbar Vsec Helium von au en Die Selbstdiagnose des Ger tes schaltet im Falle eines Fehlers den Open Collector Ausgang aktiv Einzelheiten ber die Ursache des Fehlers k nnen per digitaler Kommunikation a
6. geht jedoch nicht unter 2 Ventil ist offen festgeklemmt oder leck Regelventil reinigen Abschnitt 4 3 oder Ger t zur ck zu BROOKS Das Ausgangssignal folgt dem Sollwert erreicht jedoch nicht 100 Ungen gender Eingangs oder Differenzdruck Teilweise verstopfter Sensor Teilweise verstopftes Ventil Ventil ist dejustiert Defekte Ventilf hrungsfeder Dr cke und Eingangsfilter pr fen Filter ggf reinigen oder ersetzen Kalibration berpr fen Abschnitt 4 3 Ventil demontieren und pr fen Abschnitt 4 3 Ventil justieren Abschnitt 4 4 Regler schwingt siehe unten Ger t weist starke Abweichungen auf Durchfluss ist geringer als erwartet Teilweise verstopfter Str mungsteiler Str mungsteiler muss ersetzt werden Ger t weist starke Abweichungen auf Durchfluss ist h her als erwartet Teilweise verstopfter Sensor Str mungsteiler reinigen oder austauschen Der Regler schwingt Eingangs und oder Differenzdruck weichen von Kalibierbedingungen ab berdimensionierte D se Ventil dejustiert Schwankender Eingangsdruck Defekte Elektronik Druck einstellen D sengr e berpr fen Ventil justieren Externen Druckregler berpr fen Kontaktieren Sie BROOKS Instrument 21 Abschnitt 5 Technische Daten Leistungsdaten Genauigkeit Reproduzierbarkeit Spanne Regelbereich Langzeitstabilit t TemperatureinfluB
7. 2 1 gesteckt sein Bei Einsatz des Spannungseinganges Steuer Plusleitung mit Pin 8 verbinden Steuer Minusleitung mit Pin 1 verbinden 5 VDC Referenzspannung Pin 11 nur bei Regler An diesem Pin steht eine Referenzspannung von 5 VDC zum Einstellen des Sollwertes mit Hilfe eines externen Potentiometers 2 bis 10 KOhm zur Verf gung 2 6 ELEKTRISCHER ANSCHLUSS Fortsetzung Hinweis Bitte beachten Sie daB die Konfiguration der Ein Ausg nge in Ihrer Bestellung bereits festgelegt wurde Kundenseitige Anderungen m ssen ber die digitale Schnittstelle erfolgen Spannungsversorgung F r beide Ger tetypen gilt Die Versorgungsspannung ist an den Pin s 5 VDC und 9 Masse anzuschlieBen Minus 15 VDC Versorgung Bei Verwendung einer 15 VDC Spannungsversorgung ist diese Spannung an Pin 6 anzuschlieBen Weiterhin muss die Steckbr cke K2 auf der Hauptplatine in die untere Position gebracht werden siehe Abb 2 1 Hinweis zur Spannungsversorgung Die Versorgungsleitung zum Ger t sollte so kurz wie m glich gehalten werden damit die zum Betrieb des Ger tes notwendigen Mindestspannungen und str me ohne groBe Verluste dort zur Verf gung stehen Kabelabschirmung Anforderungen an das verwendete Kabel Gem B den EMV Richtlinien 89 336 EEC d rfen die Ger te nur mit voll abgeschirmtem Kabel betrieben werden Achten Sie bitte darauf da die Abschirmung mindestens 80 des Kabels abdeckt Jed
8. 360 shielding at both ends The shielding should be connected to an earth terminal Card Edge Connectors are non metallic as standard The cables used must be screened with 80 shielding to comply with CE certification The shielding should be connected to an earth terminal Los equipos de Brooks el ctricos electr nicos en relaci n con la marca CE han pasado satisfactoriamente las pruebas referentes a las regulaciones de Compatibilidad Electro magnetica EMC directiva 89 336 EEC Sin embargo se requiere una atenci n especial en el momento de seleccionar el cable de se al cuando se va a utilizar un equipo con marca CE Calidad del cable de se al prensaestopas y conectores Brooks suministra cable s de alta calidad que cumple las especificaciones de la certificaci n CE Si usted adquiere su propio cable de se al deber a usar un cable que est completamente protegido en su conjunto con un apantallamiento del 80 Cuando utilice conectores del tipo D 6 Circular deber an estar protegidos con una pantalla met lica Cuando sea posible se deberan utilizar prensaestopas met licos provistos de abrazadera para la pantalla del cable La pantalla del cable deber ser conectada al casquillo met lico 6 prensa y protegida en ambos extremos completamente en los 360 Grados La pantalla deber conectarse a tierra Los conectores estandar de tipo tarjeta Card Edge no son met licos los cables utilizados deberan ser p
9. 89 336 EEC E richiesta comunque una speciale attenzione nella scelta dei cavi di segnate da usarsi con la strumentazione soggetta a marchio CE Qualit del cavi di segnale e del relativi connettori Brooks fornisce cavi di elevata qualit che soddisfano le specifiche richieste dalla certificazione CE Se Vutente intende usare propri cavi questi devono possedere una schermatura del 80 connettori sia di tipo D che circolari devono possedere un guscio metallico Se esiste un passacavo esso deve essere metallico e fornito di fissaggio per lo schermo del cavo Lo schermo del cavo deve essere collegato al guscio metallico in modo da schermarlo a 360 e questo vale per entrambe le estemita Lo schermo deve essere collegato ad un terminale di terra connettori Card Edge sono normalmente non metallici ll cavo impiegato deve comunque avere una schermatura del 80 per soddisfare la certificazione CE Lo schermo deve essere collegato ad un terminale di terra Alle CE gemarkeerde elektrische en elektronische produkten van Brooks Instrument zijn met succes getest en voldoen aan de wetgeving voor Electro Magnetische Compatibiliteit EMC wetgeving volgens 89 336 EEC Speciale aandacht is echter vereist wanneer de signaalkabel gekozen wordt voor gebruik met CE gemarkeerde produkten Kwaliteit van de signaalkabel en kabelaansluitingen Brooks levert standaard kabels met een hoge kwaliteit welke voldoen aan de specificaties voor CE
10. Bauteile Erfahrungen haben gezeigt da bereits geringe elektrostatische Energie ausreicht um Bauteile zu besch digen oder zu zerst ren INHALTS VERZEICHNIS Abschnitt 1 EINFUHRUNG Arbeiten mit dem Handbuch Digitale Kommunikation Ger tebeschreibung Massedurchflussregler Abschnitt 2 INSTALLATION Empfang der Ger te Lagerung Prozessanschluss Installation Eingangsfilter Elektrischer Anschluss Digitale Kommunikation Abschnitt 3 BETRIEB Inbetriebnahme Nullpunktkorrektur Kalibration Abschnitt 4 WARTUNG Allgemeines Fehlersuche Systempr fungen System Fehlersuche Durchf hren der Reinigung Kalibrierung Montage und Demontage der Ger te Abschnitt 5 TECHNISCHE DATEN Leistungsdaten Mechanik Spezifikation MeBbereiche ANHANG A Verwendung der Korrektur Tabelle Beispiele ANHANG B MaBzeichnungen ANHANG C Garantie R cksendung R cksende Begleitschreiben ANHANG D Ubersetzung der CE Einbauhinweise LISTE DER ZEICHNUNGEN Open Collector Ausgang Elektronikplatine mit Steckbr ckenposition RS 232 Verbindung TMF PC RS 485 Multidrop Verbindung TMF s PC Anschlusskabel TMF Control Einheit Anschlusskabel TMF PC und Control Einheit LISTE DER TABELLEN Durchflussbereiche Anschlussbelegung DIP Schalterstellungen Elektrische Interface Anschl sse Fehlersuche Durchflussbereiche und Druckstufen Abschnitt ND ND sch a dE 1 1 1 D D D D D D D NN O1
11. Der skal dog gares opm rksom p benyttelsen af signalkabler i forbindelse med CE m rkede udstyr Kvaliteten af signal kabler og stik Brooks lever kabler af hoj kvalitet der in dekommer specifikationerne til CE m rkning Hvis der anvendes andre kabel typer skal der benyftes et sksermet kabel med hel skaarm med 80 d kning Forbindelses stikket type D eller cirkulaere skal v re sk rmet med metalhus og eventuelle PG forskruninger skal enten v re af metal eller metal sk rmet Sk rmen skal forbindes i begge ender til stikkets metalhus eller PG forskruningen og have forbindelse over 360 grader Sk rmen bgr v re forbundet til jord Card Edge stik er standard ikke af metal der skal derfor ligeledes benyttes et sk rmet kabel med hel sk rm med 80 d kning Sk rmen bor v re forbundet til jord Nach erfolgreichen Tests enstprechend den Vorschiften der Elektromagnetischen Vertr glichkeit EMC Richtlinie 89 336 EEC erhalten die Brooks Ger te elektrische elektronische Komponenten das CE Zeichen Bei der Auswahl der Verbindungskabel f r CE zertifizierte Ger te sind spezielle Anforderungen zu beachten Qualit t der Verbindungskabel AnschluBstecker und der Kabeldurchf hrungen Die hochwertigen Qualit tskabel von Brooks entsprechen der Spezifikation der CE Zertifizierung Bei Verwendung eigener Verbindungskabel sollten Sie darauf achten daf eine 80 igenSchirmababdeckung des Kabels gew hrleistet ist D
12. Sensor oder Regler aus der Anlage entfernen m ssen stellen Sie unbedingt sicher daB sich keine R ckst nde von toxischen brennbaren oder korrosiven Gasen in dem Ger t befinden Zur Sicherheit muss vor der Demontage eines Ger tes immer mit einem trockenen Inertgas ausreichend gesp lt werden Durch unvollst ndige Dekontamination des Ger tes k nnen erhebliche Personen und Sachsch den entstehen 18 System Fehlersuche 1 Verbinden Sie das Ger t mit einer Spannungsversorgung mit 15 28 VDC 15 VDC wenn notwendig und verbinden Sie die Din e 2 und 10 mit einem m glichst genauen Spannungsme Bger t 4 1 2 digit Setzen Sie den Sollwert des Ger tes auf 0 Schalten Sie die Spannungsversorgung ein und geben Sie dem Ger t 45 Minuten Zeit seine Betriebstemperatur zu erreichen Zu dieser Zeit sollte noch keine Gaszuf hrung erfolgen Beobachten Sie das Ausgangssignal und folgen Sie wenn notwendig der Prozedur zur Nullpunktkorrektur Abschnitt 3 2 Sollte das Ger t keinen stabilen Nullpunkt finden nehmen Sie bitte Kontakt mit Brooks Instrument auf 2 Verbinden Sie das Ger t mit der Gasleitung Zu Testzwecken sollte jeweils mit dem original Kalibriergas gefahren werden Fahren Sie den Sollwert auf 100 und justieren den Ein und Ausgangsdruck auf die Werte die im mitgelieferten Kalibrierzertifikat aufgef hrt sind Pr fen Sie ob das Ausgangssignal 5 00 V erreicht und diese stabil beibeh lt Variieren Sie den Sollwert zwisc
13. angetrieben wird Das Hauptventil sollte nicht ausgebaut werden Falls dieses jedoch notwendig ist so sollte das Ger t zur ck zu BROOKS gesendet werden Beachten Sie hierzu bitte Anhang C 1 Unter benetzen Teilen ist zu verstehen der K rper das laminare Durchflusselement sowie alle Komponenten des Ventils einschlie lich der D se den Prozessanschl ssen und dem Eingangsfilter 20 Tabelle 4 1 Fehlersuche Problem M gliche Ursache Pr fung Behebung Ausgangssignal steht auf 0 trotz h herem Sollwert erfolgt kein Durchfluss Verschmutztes Sensorelement Defekte Elektronik Sensor reinigen Abschnitt 4 3 Durchfluss kann nicht erreicht werden ohne Einfluss des Sollwertes anwendbar nur bei Regler Verschmutztes Regelventil Valve Override Eingang liegt auf Masse Defekte Elektronik Regelventil reinigen Abschnitt 4 3 oder Ger t zur ck zu BROOKS Potential an Pin 12 pr fen Elektronik muss ausgetauscht werden Ausgangssignal steht auf ca 5 25 VDC oder 21 mA ohne Einflu des Sollwertes bei Gasdurchfluss Ventil ist offen festgeklemmt oder leck nur bei Durchflussreglern Valve Override Eingang ist mit 15 VDC beschaltet nur bei Durchflussreglern Defekte Elektronik Ventil reinigen und oder justieren Abschnitt 4 3 Potential an Pin 12 pr fen Kontaktieren Sie BROOKS Instrument Ausgangssignal folgt dem Sollwert bei h heren Vorgaben
14. da durch den Prozessdruck ein thermischer Kamineffekt hervorgerufen werden kann Dieser beeinflusst das Ausgangssignal bei Null Durchfluss und verschlechtert somit die Spezifikation HINWEIS Das Regelventil der Massedurchflussregler ist konzipiert f r die hochgenaue Regelung von Gasstr men Sollte ein dichtschlieBendes Shut Off Ventil erforderlich sein so ist dieses separat vorzusehen Im Falle der Installation eines separaten SchlieBventiles ist darauf zu achten da sich zwischen dem Massedurchflussregler und dem Schlie ventil jeweils eine unbestimmte Gasmenge befindet Um diesen Effekt zu verringern empfiehlt es sich das Schlie ventil so nah wie m glich an das Ger t zu bauen oder das Ventil vor den Massedurchflussregler zu plazieren Wenn Sie ein Ger t in der Ventil Ausf hrung normal ge ffnet besitzen ist der vorangegangene Hinweis hinf llig Die Ventil Ausf hrung normal ge ffnet ist konzipiert f r sicherheitstechnische Anforderungen in Anlagen die eine Inertgassp lung bei Stromausfall erfordern 2 5 EINGANGSFILTER Eingangsseitig ist ein Filter eingebaut mit dem das Eindringen von Fremdk rpern in den Sensor und das Regelventil verhindert wird Das Filterelement sollte regelm ig berpr ft und bei Bedarf ersetzt oder in einem Ultraschallbad gereinigt werden Die Massedurchflussmesser und Massdurchflussregler d rfen nur mit sauberen Gasen betrieben werden 2 6 ELEKTRISCHER ANSCHLUSS F r die Installa
15. gefahren werden Der Ablesewert ist 750 ml min bei CO0s Durchfluss 750 x 0 78 585 0 ml min Zur Berechnung des Korrekturfaktors f r Gasgemische kann folgende Formel eingesetzt werden Korrekturfaktor 100 P1 P2 Pn Faktor 1 Faktor 2 Faktor n P 1 Volumenprozente Gas 1 P 2 Volumenprozente Gas 2 P n Volumenprozente Gas n Beispiel Das zu messende Gas besteht zu 20 aus Helium und zu 80 aus Chlor Der MeBbereich soll 20 l min betragen Der Sensor Korrekturfaktor f r das Gasgemisch lautet 100 Faktor 20 80 0 903 139 0 83 Luft Durchfluss quivalent 200 0 93 22 15 Iy min Bei Verwendung der vorangegangenen Korrekturm glichkeiten ist zu beachten daf die MeBabweichung des Ger tes bis zu 5 betragen kann Bei stark abweichenden Prozessbedingungen k nnen zus tzliche Fehler durch die Abh ngigkeiten des cP Wertes in Bezug auf Druck und Temperaturschwankungen auftreten Die Korrekturtabelle dient zur Bestimmung des Durchflusswertes bei vom Kalibriergas abweichenden Gasen Ihr Ger t ist werkseitig auf ein Gas unter bestimmten Prozessbedingungen eingestellt worden Bei Gaswechsel multiplizieren Sie den Ausgangswert mit dem Faktor aus der Tabelle nur wenn Ihr Ger t auf Luft oder Stickstoff eingestellt ist 25 Korrekturtabelle f r Gase 1 1 2 Trichloro 1 1 2 Triflouroet Freon 113 1 1 Difluoroethan 1 1 Difluoroethylen C2CL3F3 CH3CHF2 CH2 CF2 0 231 0 341 0 41
16. 2 UNC x 3 8 Dp Mtg holes 2x MODELL 58505 ANSCHLUSSE Fr EH 16 18 UNF VCR 200 1 5 MODELL 58535 ANSCHL SSE VE VCO Ye VCR VCO 0 5 1 1 5 NPT oder 1 1 16 12 Alle Ma e verstehen sich in mm ANHANG B MABZEICHNUNGEN DIGITALE MASSEDURCHFLUSSMESSER 58518 BROOKS OUTLET 8 32 UNC x 3 8 Dp Mtg holes 2x 4 dl MODELL 5851S Va Klemmring ls Klemmring 1 4 VCO 10 mm Klemmring 145 D connector 200 1 5 300 3 FLANSCHE DIN DN15 PN40 DIN DN25 PN40 DIN DN40 PN40 DIN DN50 PN40 ANSI 0 5 150 LBS ANSI 0 5 300 LBS ANSI 1 150 LBS ANSI 1 300 LBS ANSI 1 5 150 LBS ANSI 1 5 300 LBS ANSI 2 150 LBS ANSI 2 300 LBS 30 58608 BROOKS _ 9 16 18UNF BOTH ENDS Zeien e INLET OUTLET gt 9 16 18UNF BOTH ENDS INLET O
17. 5 0 458 0 215 D senfaktor 2 520 1 957 1 536 1 512 2 905 Dichte kg m3 7 92 4 776 1 1 Difluoro 1 Chloroethan C2H3CLF2 2 94 2 86 10 53 1 2 Dibromotetrafluoroethan C2Br2F4 1 3 Butadien 1 Butan 3 Methyl 1 Buten C4H6 C4H8 0 354 0 294 1 413 1 435 2 491 2 503 2 2 Dimethylpropan C CH3 4 0 247 1 613 3 244 Argon Arsen AsH3 1 395 0 754 1 038 0 781 1 195 1 661 1 357 0 771 1 784 3 478 5 227 MEE TO EE 00 SE Bromtrifluorid Sam 439 FT FETT Chlor Chlor VI oxyd CLO2 0 876 0 693 1 467 1 598 1 554 2 593 3 214 3 011 Chloroform CHCL3 0 442 2 066 Chlortrifluorid Chlortrifluoroethylen C2CLF3 0 337 2 044 5 208 CIS 2 Butan gm enr 0 458 Cyanchloride Cyclobutan C4H8 CLCN C4H8 0 32 0 618 0 387 1 435 1 366 1 480 1 413 2 503 2 322 2 73 2 491 1 877 Cyclopropan C3H6 0 505 1 224 Dichlorosilan SiH2CL2 0 442 1 897 4 506 Diboromodifluoromethan CBr2F2 0 363 2 652 8 768 Difluoromethan Dimethylaether Dimethylamin Distickstoffoxid CF2H2 CH3 20 CH3 2NH N20 0 627 0 392 0 37 0 752 1 360 1 281 1 269 1 259 2 411 2 055 2 013 1 964 Ethylacetylen 0 365 1 384 2 388 Ethylchlorid C2H5CL 0 408 1 516 2 879 26 Fluoroform Freon 23 3 127 Fluorwasserstoff 0 998 0 845 0 893 Freon 114 E Hexafluoroaceton C3F60 SC 9 T a 4 Hexamethyldisilan HMDS CH2 6Si2 0 139 2 404 7 208 Hydrogen
18. Bromide Har Jo 987 1 695 3 645 Hydrogen Cyanide Eu 744 0 973 1 179 lodine Pentafluorid CO an ES Fee PS om as be Kohlenoxydfluorid Methyl Vinyl Ether C3H60 0 377 1 435 2 567 Methylacetylen Methylbromid CH3Br 0 646 1 834 4 236 Methylchlorid CH3CL 0 687 1 347 2 308 Methylfluoride CH3F 0 761 1 102 1 518 Methylmercaptan CH4S 0 588 1 313 2 146 27 D senfaktor Dichte kg m3 Monoethylamin IERSCHENHE EE e N 013 0 847 Peng re fm fm pa Pentan n Pentan C5H12 0212 1 605 3 222 Perchlorfluorid CLO3F 0 448 1 905 4 571 Perfluoro 2 Buten i Perfluoromethyl vinylether PMVE 5 131 Phosphorpentafluorid PS 0 346 2 109 Phosphortrifluorid Same We ps fm bes eg fa e be Schwefeldioxid SO2 0 728 1 529 2 858 OSS GSE Schwefeltetrafluorid Sefomwassersio DS 07 65 Pn Sumero P fo PS P se EE ESSES Stickstoffoxid Trichlorofluoromethan Freon 11 CCL3F 0 374 2 244 6 281 Trichlorosilan SiHCL3 0 329 2 201 6 038 28 Trimethylamin CH3 3N 0 316 1 467 2 639 Trimethyloxyboran TMB B OCH3 3 A A 638 929 Uranhexafluorid 3 548 Vinylbromid C2H3Br 0 524 1 985 4 772 Vinylchlorid C2H3CL 0 542 1 492 2 788 O pas fo ba Wee fe be be Wolramhexaluorg D FS fe ba 29 58508 BROOKS _ 9 16 18UNF BOTH ENDS OUTLET 8 3
19. Installations und Bedienungsanleitung BROOKS Smart Serie TMF Massedurchflussmesser Modell 5860S 5861S 5863S 5864S A Modell 5850S 5851S 5853S 541 F AAA Rev F September 2000 Brooks Instrument WARNUNG Diese Bedienungsanleitung ist vor jeglicher Inbetriebnahme eines Ger tes unbedingt in ihrem vollen Umfang aufmerksam zu lesen Verst ndnisfehler und die daraus enstehenden Folgen k nnen zur Zerst rung des Ger tes und oder zur Gef hrdung von Personen f hren Sollte ein Ger t eine Reparatur oder Kalibration ben tigen so wenden Sie sich bitte an Ihre n chste BROOKS Vertriebsniederlassung oder dem Ihnen bekannten Service St tzpunkt Eine wichtige Voraussetzung f r eine korrekte und sichere Wartung der Ger te ist die Ausf hrung der Arbeiten durch qualifiziertes Personal Sehr geehrter Kunde die BROOKS Massedurchflussmesser regler zeichnen sich durch h chste Qualit t und Zuverl ssigkeit aus Die Ger te geben Ihnen die Genauigkeit Reproduzierbarkeit und vielseitige Einsetzbarkeit die es Ihnen erm glicht Ihren Prozess mit der gr Btm glichen Zuverl ssigkeit zu handhaben In Hinblick auf die Vielfalt der Einsatzm glichkeiten der Ger te wurde bei der Entwicklung dieser Generation darauf geachtet dem Kunden vor Ort M glichkeiten zu geben seinen Sensor oder Regler an verschiedenste Prozessbedingungen anzupassen Bei der Auswahl der verwendeten Werkstoffe wurde darauf geachtet auch den Einsatz f r korrosi
20. Mechanik Werkstoffe Dichtungsmaterial Prozessanschl sse Elektrischer Anschluss Spezifikation Zertifizierung 0 7 vom Messwert 0 2 vom Endwert 0 5 vom Messwert 0 1 vom Endwert auf Anfrage 0 25 vom Messwert 1 50 innerhalb der Spezifikation 1 100 d h im Arbeitsbereich lt 0 5 vom Messwert pro Jahr 0 015 C vom Messwert im Bereich von O 70 C Bei Durchflussraten ber 100 l min m ssen Gas und Umgebungstemperatur gleich sein Alle medienber hrten Teile sind aus 316 SS rostfreiem Stahl Viton Buna N PTFE Kalrez oder EPDM Lieferbar sind NPT F Schneidring VCR VCO DIN sowie ANSI Flansche 15 poliger Sub D Steckverbinder mit vergol deten Kontakten CE zertifiziert Optional f r Zone 2 gem NEN 3410 und NEN EN 500019 Bitte bei Bestellung angeben 22 Technische Daten Fortsetzung Messbereiche Tabelle 5 1 Durchflussbereiche und Druckstufen Brooks Digital TMF Massedurchflussger te Regler Sensoren Bereich Druckstufe Modell Modell Min Max Einheit Bar 5850 S 5860 S 0 003 30 l min 100 300 5851 S 5861 S 20 100 l min 100 5853 S 5863 S 100 1000 l min 100 5864 S 18 2160 m h 11 2 100 bar 2 3 85 bar 4 6 70 bar 8 50 bar Bezug Normalbedingungen bei 0 und 1013 12mbar Optional f r 300 bar lieferbar 3 APmax f r Modell 5853S betr gt 20 bar Sollwert Eingang
21. OUG KOVOVIGHOUG TNG Hisxktpo Mayvntuic ZvuBat tntag EMC vripextiBa 89 336 EEC Onwo nnore peter eu apocoxi Kara Tv ETAOYR TOU kaAm iov uerapop c TOU ONHATOG TO onoo KOMDSLO TP KELTAL VO XPNOIOTOMBEL LE pyava TOU p povv to oua CE Hou rnta rop Kalm dtov ouatoc TOV oromodlurt v KOL TOV SUVO CHOV H Brooks kat xav va zpounBebet vymAng rot rmtas KORSA ta oxoia xAnpo v TIC TPO LAYPAGEG yu motoroinor CE Edv y exthoyn TOU KUAM IOL ofuutoc yivel and SUG AP REL VA IPNOLLOTOMOETE Kaloo TO OTOIO va p pel E TEPIKA nne nAeyna kat va TOPEXEL Bop xion 80 Ot ovvoecuor Cou D o KukAukot TOV kalndiov rp xei va Bwpaxkitovtar HE HETOAMKT Sop xicn E v giva epapu cino xp xei va gpnowuonotodvrai etoklikoi STURIOBAINTEG KOAM LDV TOL va BABETOUV axpod xm VIENS TOU TAEYHOTOG TOU KAMD IOV To TA YMO TOU KA MSIOL TPETEL va GUVS ETUL oto HETOAMK mepiBanua 1 otov OTUMOO TN Ku va Ompaxilera kar oto o kpa kard 360 uoiper H Q mp kion TPETEL va KATAMYEL oe K TOIO AKPO EKTN yzimonc O1 GVVSEGLOL KAPTAV eiva UT UETO MKO TA KOAOBIG TOU XPTOULOTOLODVTAL NPETE va p povv TAEYHA Oop kions 80 yia va VROKOVOUV otv motoroinon CE H dopaxion TP TEL VO KATAANYEL GE K XOIO UKPOSEKTN yeiwonc Questa strumentazione elettrica ed elettronica prodotta da Brooks Instrument soggetta a marcatura CE ha superato con SUCCESSO le prove richieste dalla direttiva per la Compatibilit Elettomagnetica Direttiva EMC
22. SSER 265 1 5 MODELL 58645 ANSCHL SSE B C MODELL 58645 ANSCHL SSE A C o 315 235 Alle MaBe verstehen sich in mm 32 Anhang C Reparatur und oder Garantie Begleitschreiben GARANTIE Sollte sich innerhalb von 12 Monaten ab Auslieferungsdatum ein Ger t oder Teil als nachweislich fehlerhaft erweisen so bernehmen wir die Reparatur bzw Instandsetzung in unserem Hause Beachten Sie bitte daB Ihr Anspruch innerhalb dieser Frist an uns zu melden ist Unsere Haftung beschr nkt sich ausschlieBlich auf den Ersatz der Teile oder Ger te Sch den an Personen oder Anlagen die durch unsachgem Be Handhabung der Ger te hervorgerufen werden werden nicht durch diese Garantie abgedeckt Es versteht sich da Sch den durch Korrosion und Alterung des Materials nicht durch unsere Garantie ber cksichtigt werden k nnen Es gelten unsere Allgemeinen Gesch ftsbedingungen R CKSENDUNG Jedes Ger t oder Teil muss mit einem R cksende Begleit schreiben zur ckgesendet werden Eine Kopie des Begleitschreibens ist f r die Reparaturabteilung sowie f r die zust ndi
23. UTLET Es al Sab I F Le e a 15 e E 8 32 UNC x 3 8 Dp Mig holes 2x 22 8 32 UNC x 6mm Dp Mtg holes 2x MODELL 5860S IRSCH MODELL 58618 ANSCHI SSE CAS het8 UNF 1 80 Ya ji S 4 VOR 105 7 134 5 VE VCO ASE 127 9 14 NPT va NCO 119 7 6 mm Klemmring 109 7 140 145 D connector FLOW gt o 5 0 5 145 D connestor 4 155 1 MI U elt EL 75 37 155 1 0 84 0 5 25043 E MBx6 0 4x 23 E HHA i le ao y H H a 10 135 0 10 135 MODELL 5863S ANSCHLUSSE MODELL 58635 ANSCHLUSSE FLANSGHE DIN DN40 PN40 DIN DN50 PN40 ANSI 0 5 150 LBS ve NCO VCO V VCR oder 1 1 16 12 Alle MaBe verstehen sich in mm ANSI 2 150 LBS ANSI 2 300 LBS ANSI 0 5 300 LBS ANSI 1 150 LBS ANSI 1 300 LBS ANSI 1 5 150 LBS ANSI 1 5 300 LBS 31 DIGITALE MASSEDURCHFLUSSME
24. bgefragt werden Zur Vermeidung von nicht berechtigtem Zugriff k nnen Me spanne und Nullsetzen nur ber Smart Control Modell 0160 oder Smart DDE Modell 0162 ge ndert werden lt 10 min bei 1 v EW spez Leistungsdaten in 45 Minuten Eine adaptive Ausgangssignal D mpfung von 0 10 Sekunden ist einstellbar werksseitige Voreinstellung 0 5 sek Eine Ausregelzeit von weniger als 0 5 Sekunden mit einer Ann herung bis auf 2 des Endwertes ohne Totzeit und ber bzw Unterschwingen kann erreicht werden Die Einstellung kann nur ber die digitale Schnittstelle erfolgen Werkseinstellung 1 Sekunde 3 Sekunden f r die Modelle 5853 S Bei Bestellung bitte angeben 24 ANHANG A VERWENDUNG DER KORREKTUR TABELLE Wenn ein Massedurchflussmesser bzw regler mit einem anderen Gas als dem Original Kalibriergas betrieben wird kommt es zu einer Abweichung der Anzeige Die Abweichung findet ihre Begr ndung in einem abweichenden cP Wert Ein Ausgleich der Abweichung kann mit Hilfe eines Korrekturfaktors erfolgen Eine Tabelle mit Umrechnungsfak toren f r die meisten Gase erhalten Sie unter der Teil Nr J 836 D 508 Um auf ein neues Gas umzustellen multiplizieren Sie den Ausgangswert mit dem Verh ltniswert zwischen dem aktuellem und dem Kalibriergas Durchflusswert Ablesewert x Faktor neues Gas Faktor Kalibriergas Beispiel Das Ger t ist auf Stickstoff kalibriert Als neues Gas soll Kohlendioxid
25. certificering Indien men voorziet in een eigen signaalkabel moet er gebruik gemaakt worden van een kabel die volledig is afgeschermd met een bedekkingsgraad van 80 D of ronde kabelconnectoren moeten afgeschermd zijn met een metalen connector kap Indien kabelwartels worden toegepast moeten metalen kabelwartels worden gebruikt die het mogelijk maken het kabelscherm in te klemmen Het kabelscherm moet aan beide zijden over 360 met de metalen connectorkap of wartel verbonden worden Het scherm moet worden verbonden met aarde Card edge connectors zijn standaard niet metallisch De gebruikte kabels moeten volledig afgeschermd zijn met een bedekkingsgraad van 80 om te voldoen aan de CE certificering Het scherm moet worden verbonden met aarde Til den det ang r Brooks Instrument elektrisk og elektronisk utstyr p f rt CE merket har gjennomg tt og best tt pr ver som beskrevet i EMC forskrift om elektromagnetisk immunitet direktiv 89 336 EEC For opprettholde denne klassifisering er det av stor viktighet at riktig kabel velges for tilkobling av det m letekniske utstyret Utf relse av signalkabel og tilh rende plugger Brooks Instrument tilbyr levert med utstyret egnet kabel som m ter de krav som stilles til CE sertifisering Dersom kunden selv velger kabel m kabel med fullstendig 80 skjerming av lederene benyttes D type og runde plugger og forbindelser m v re utf rt med kappe i metall og kabel
26. chalten eingestellt wurde Jede Anderung der Baudrateneinstellung oder Schnittstellenanwahl w hrend des Betriebes f hrt zu einer direkten Beeinflussung der Kommunikation Die Schnittstellentreiber sind direkt mit der auf der Ger teoberseite befindlichen Sub D Steckerleiste verbunden Die RS 232 Schnittstelle ist im wesentlichen eine Punkt zu Punkt Verbindung d h eine direkte Verbindung zwischen einem PC und einem Smart Massedurchflussger t Viele IBM kompatible PC s sind mit einem oder mehreren RS 232 Ausg ngen COM Ports standardm ig ausger stet Das von Brooks gelieferte Standard Kabel ist ein Split Kabel passend f r die Kommunikation per RS 232 der Kommunikationsanschluss des Kabels kann direkt am seriellen COM Port eines IBM kompatiblen PC s angeschlossen werden Der andere Anschluss kann z B an der Brooks Auslese und Steuerelektronik Modell 0152 0154 angeschlossen werden Dieses Modell liefert die Spannungsversorgung f r die Smart Massedurchflussger te Weiterhin k nnen mit diesem Ger t vor Ort die Analog Ausgangssignale ausgelesen und angezeigt werden zus tzlich kann eine Sollwertvorgabe erfolgen Abbildung 2 3 zeigt die Anschlussbelegung einer RS 232 Konfiguration Die Pin Belegung gilt f r einen IBM kompatiblen PC Standard Belegung Abbildung 2 3 RS 232 Verbindung zwischen TMF und PC D connector to PC 25 pin 9 pin 3 2 13 27 DIGITALE KOMMUNIKATION Fortsetzung
27. d h 15VDC bis 24VDC Normal Betrieb Haupt Reset Alle Paramerter werden gel scht D K2 Nur f r Modell 5851 bei symmetrischer Spannungsversorgung d h 15VDC und 15VDC SW 1 KS Bitte beachten Sie Tabelle 2 2 K K2 Kl Haupt Platine Nr 097 B 265 ZZZ Digital Platine Nr 097 B 225 ZZZ Auf der Tochterplatine werden alle hardwarem Bigen Einstellungen vorgenommen welche f r die digitale Kommunikation notwendig sind F r diese Zwecke ist die Platine mit einem DIP Schalterblock ausger stet XE Dipswitch block welcher vier DIL Schalter besitzt Der Benutzer kann hier zwischen verschiedenen Ebenen ausw hlen der RS 232 Schnittstelle Einzelbetrieb oder der RS 485 Schnittstelle Bus Verdrahtung Zus tzlich wird hier die Baudrate eingestellt Tabelle 2 3 auf Seite 13 zeigt die Einstellm glichkeiten der DIP Schalter 12 ID 2 7 DIGITALE KOMMUNIKATION Fortsetzung Tabelle 2 2 DIP Schalterstellungen DIP Schalterblock SW1 Schnittstellen Baudrate HE NE IE OA Ee O O 19200 Off n n AN A OA Brooks Smart Massedurchflussmesser sind in der Lage sofort nach dem Anlauf zu kommunizieren Sorgen Sie bitte aus diesem Grunde daf r daB die korrekte Baudrate vor dem Eins
28. er D Sub Stecker bzw Buchse muss mit einer metallischen Abschirmung ausger stet sein Die Kabelabschirmung muss an das Geh use des D Sub Steckers angeschlossen werden Damit erfolgt eine 360 Abschirmung an den Enden des Kabels Die Abschirmung ist mit dem Erdpotential zu verbinden F r weitere Hinweise beachten Sie bitte Anhang D Alarmausgang An Pin 3 steht Ihnen ein open collector TTL Ausgang zur Verf gung Hierzu wird ein NPN Transistor ben tigt Abbildung 2 1 Open Collector Ausgang O Umox 30V Rload Imax 25mA alarm output 10 2 6 ELEKTRISCHER ANSCHLUSS Fortsetzung Valve Override Aus Gr nden der Sicherheit ist es manchmal notwendig daB Regelventil unabh ngig vom momentanen Sollwert ganz zu ffnen oder zu schlie en ber Pin 12 k nnen Sie diese Funktion aktivieren Die logischen Pegel bedeuten dann gt 5 VDC gt Ventil AUF lt 0 VDC gt Ventil ZU HINWEIS Der ber Pin 12 eingegebene Valve Override Befehl hat immer Vorrang vor dem ber die Kommunikations Schnittstelle ausgel sten Die angelegte Steuerspannung darf die Versorgungsspannung nicht bersteigen Digitale Kommunikation Uber die Pin s 14 und 15 kann das Ger t an die RxD A oder TxD A Leitung der RS 232 RS 485 angeschlossen werden HINWEIS Bei Bestellung des Ger tes sollte festgelegt werden welche Schnittstelle ben tigt wird De
29. erden HINWEIS Tr nken Sie den Sensor nicht in L sungsmittel Sollte L sungsmittel in den Sensor hineintropfen so wird dieser mit gro er Wahrscheinlichkeit zerst rt oder zumindest in seiner Funktionst chtigkeit stark beeintr chtigt 4 4 KALIBRIERUNG Die Kalibration von digitalen Massedurchflussmessern wird in diesem Handbuch nicht beschrieben da f r die Durchf hrung von Kalibrationsarbeiten einige wichtige Voraussetzungen erf llt sein m ssen Zus tzlich zur digitalen Kommunikation werden zur Kalibrierung noch hochgenaue und geeichte Kalibrierger te ben tigt wie sie im brooks eigenen Labor zur Verf gung stehen Sollte Ihr Unternehmen jedoch mit solchen Ger ten ausgestattet sein so k nnen Sie auf Anforderung eine Kalibriervorschrift von BROOKS Best Nr 834 P 064 erhalten 4 5 MONTAGE BZW DEMONTAGE DES VENTILS HINWEIS Sollte eine Zerlegung des Ger tes erforderlich sein so muss f r diese Arbeiten ein entsprechender Fachmann mit speziellen Ger ten zur Verf gung stehen Sind diese Voraussetzungen nicht vorhanden so sollte das Ger t zur ck zu BROOKS gesendet werden Beachten Sie hierzu bitte Anhang C Sollten Sie jedoch ber eine entsprechende Ausr stung verf gen dann fordern Sie bitte bei BROOKS die Montage bzw Demontageanleitung mit der Bestellnummer 834 L 030 an Die Regelventil Ausr stung f r Modell 5853S enth lt ein axial positioniertes Hauptventil welches vom oben sitzenden Pilot Ventil
30. flussregler Modelle 58505 5851S und 58535 Digitale Kommunikation Das links neben dem Text stehende Computersymbol bedeutet daB sich der begleitende Text auf die digitale Kommunikation bezieht Digitale Kommunikation entweder ber RS 232 oder RS 485 erlaubt den Anschluss der BROOKS Software wie z B Software 0160 Smart Control Dieses Interfaceprogramm kann zum Betrieb sowie zur Um Konfiguration von Smart Massedurchflussreglern eingesetzt werden wobei jedoch die Kalibrations Parameter nicht zug nglich sind Falls Sie eine Bi direktionale Verbindung zwischen Ihrer auf Windows basierenden Applikations Software und BROOKS Smart Massedurchflussmesser ben tigen unsere Software 0162 Smart DDE ein leistungsstarkes benutzerfreundliches dynamisches Daten Austauschprogramm bietet alle Merkmale welche Sie zum optimalen Einsatz unserer Ger te ben tigen Sollten Sie bereits mit einem Prim rstandard VOL U Meter oder einer vergleichbaren Referenz ausgestattet sein so bietet sich der Einsatz der Software 0163 BROOKS Smart Service zur Konfigurations nderung Diagnose Kalibration und oder Uberpr fung an Eine Liste der HART Befehle finden Sie in einem separaten Handbuch mit der Brooks Teile Nr 541 C053 AAA 1 2 GER TEBESCHREIBUNG Die Brooks Digital Massedurchflussmesser als Modelle 5860S 58615 5863S und 5864S sind zur genauen Durchflussmessung von Gasen einzusetzen Das Herz des Systems bildet ein thermischer Durc
31. ge Brooks Niederlassung bestimmt Ein Muster ist dieser Anleitung beigeheftet siehe n chste Seite Bitte f llen Sie dieses Begleitschreiben sorgf ltig aus nur hierdurch wird eine z gige Abwicklung gew hrleistet 33 FISHER ROSEMOUNT R cksende Begleitschreiben Brooks Micro Motion P O Box 56 8900 AB Veenendaal The Netherlands Lieferant Kunden Best Nr Brooks Serien Nr Modell Teile Nr Lieferdatum Einbaudatum Ausfalldatum Gewiinschte Lieferzeit 5 REPAIR DEPARTMENT Thermal Mass Flow Devices Fax no 31 0 318 549349 0 Reparatur 0 Kalibration 0 Austausch 0 Angebot 0 Storno 0 Andere 0 Garantie PROZESS BEDINGUNGEN Medium Druck P1 Durchflussrate Druck P2 E Temperatur Ein und oder Ausgang Einstellung Ref Temperatur GER TEZUSTAND Medienber hrte Teile sind gereinigt JA NEIN Verwendetes Reinigungsmittel Sollte kein Standard Reinigungsmittel verwendet werden k nnen kommt das Ger t zur ck Bitte machen Sie pr zise Angaben damit unsere Mitarbeiter in der Versand und Reparaturabteilung keinen Gefahren ausgesetzt werden Ohne exakte Angaben ber den Ger tezustand werden keine Reparaturen ausgef hrt REPARATUR HINWEISE VERSANDADRESSE VERSANDART 34 Anhang D bersetzungen der CE Einbauhinweise 35 Brooks Instrument har gennemf rt CE m rkning af elektronisk udstyr med succes i henhold til regulativet om elektrisk st j EMC direktivet 89 336 EEC
32. hen 1 und 100 und beobachten Sie ob das Ausgangssignal folgt Legen Sie eine Spannung zwischen 5 15VDC an Pin 12 Valve Override und beobachten Sie ob der Signalausgang 100 erreicht Verbinden Sie Pin 12 mit Masse und pr fen Sie ob das Signal auf unter 2 f llt Wenn m glich schalten Sie ein weiteres Durchflussme ger t Master Meter in Reihe mit dem Pr fling um die Genauigkeit zu berpr fen Erf llt das Ger t alle vorangegangenen Tests mit zufriedenstellendem Ergebnis so ist von einem einwandfreien Zustand auszugehen Siehe Tabelle 4 1 19 4 3 DURCHF HREN DER REINIGUNG Sollte es notwendig sein den Smart Massedurchflussregler oder messer aufgrund von Verunreinigungen zu s ubern so verfahren Sie bitte wie nachfolgend beschrieben 1 Bauen Sie das Ger t aus Reinigen Sie das Ger t mit trockenem Stickstoff Hierdurch werden praktisch alle Stoffe aus dem Ger t entfernt Sollte die Verunreinigung weiter bestehen so unterziehen Sie alle benetzten Tele einer Ultraschall Reinigung Reinigen Sie anschlie end nochmals das gesamte Ger t mit trockenem Stickstoff 3 Sollte der Sensor verstopft sein so f hren Sie mit Hilfe einer Pinzette eine 0 007 Klaviersaite in das Sensorelement ein um diese R ckst nde zu entfernen Die besten Ergebnisse erzielen Sie wenn die Saite durch die ausgangsseitige Sensor ffnung Ventilseite einf hren Der Sensor kann danach mit einer r ckstandsfreien L sung gesp lt w
33. hflusssensor der den Gasflu in ein elektrisches Signal umwandelt Als Erg nzung bieten die Digital Massedurchflussregler als Modelle 58508 5851S und 5853S die M glichkeit eine Messung in Kombination mit einem integrierten Regelventil zu realisieren Die Me bereiche der Modelle entnehmen Sie bitte Tabelle 1 1 Brooks Digital Serie Tabelle 1 1 Durchflussbereiche der Ger te Regler Sensoren Bereich Modell Modell Min EW Max EW Einheit 5850 S 5860 S 0 003 30 l min 5851 S 5861 S 20 100 l min 5853 S 5863 S 100 1000 l min 5864 S 18 2160 m h Bezug Normalbedingungen bei 0 C und 1013 12mbar Die Brooks Massedurchflussmesser sind autarke Messinstrumente die ihre Mikroprozessor Elektronik und ihre Messeinheit in einem Geh use vereinen Massedurchflussregler beinhalten zus tzlich ein Regelventil zur Erzeugung stabiler Gasdurchfl sse Die nachfolgend aufgef hrten Standard Eigenschaften beziehen sich auf alle Ger te Ein eingebauter Eingangsfilter beruhigt den Gasstrom und sch tzt das MeBelement vor Verschmutzung Neben dem Effekt der Reduzierung von Schwankungen des Mediums in der ankommenden Rohrleitung sch tzt der Filter ebenso das Messelement vor Verschmutzung Ein zus tzlicher und somit teurer Eingangsfilter kann hierdurch entfallen Die Signalausgangsbegrenzung sch tzt nachgeschaltete elektrische Ger te vor Besch digungen durch zu hohe Str me oder Spannungen Der Spannu
34. n Sie in Kapitel 5 Stellen Sie vor der Inbetriebnahme sicher daf alle Prozessanschl sse korrekt befestigt und dicht sind Pr fen Sie weiterhin alle elektrischen Anschl sse auf korrekte Verdrahtung 2 1 EMPFANG DER GER TE Bei Erhalt der Ger te pr fen Sie bitte die Verpackung der Ger te auf Transportbesch digungen Sollte die Verpackung besch digt sein melden Sie dies bitte umgehend dem zust ndigen Spediteur zwecks Schadens bernahme durch dessen Versicherung Wir bitten auch um eine kurze schriftliche Meldung an unsere Service Niederlassung Entnehmen Sie den Umschlag mit der Packliste und anschlie end die gelieferten Komponenten aus der Verpackung Pr fen Sie die Lieferung auf Vollz hligkeit und Sch den 2 2 LAGERUNG Sollten die Ger te f r l ngere Zeitabschnitte eingelagert werden so sind einige Bedingungen zu beachten a Aufbewahrung nur im Original Karton b Der Lagerraum sollte folgende Klimaeigenschaften aufweisen 1 Umgebungstemperatur 21 C 32 max und 7 C min 2 relative Luftfeuchte 45 60 max und 25 min c Bei Lagerentnahme sollte eine Sichtpr fung erfolgen die den aktuellen Zustand mit dem urspr nglichen Lieferzustand vergleicht Sollte das Ger t l nger als 10 Monate oder unter stark abweichenden Bedingungen gelagert worden sein so sind alle Dichtungen zu ersetzen und das Ger t muss einem erneuten Drucktest unterzogen werden 2 3 PROZESSANSCHL SSE Als Standard Prozessverbindunge
35. n sind f r alle Modelle folgende Ausf hrungen lieferbar NPT F Klemmringverschraubungen VCR VCO und DIN bzw ANSI Flansche Die wichtigste Aufgabe vor der Installation eines Ger tes ist die Pr fung der Rohrleitungen auf Verschmutzung oder Gegenst nde Installieren Sie das Ger t jeweils in der Einbaulage bei der Sie gute Zugangsm glichkeiten f r eventuelle Reinigungs oder Fehlersucharbeiten haben 2 4 INSTALLATION siehe auch Anhang B MaBzeichnungen Bei der Installation von Massedurchflussmessern und reglern ist sorgf ltig darauf zu achten daB keine Fremdk rper in die Ger te gelangen k nnen Entfernen Sie die Schutzkappen auf den Anschl ssen erst unmittelbar vor Verbindung der Ger te mit der Prozessleitung Bei Einsatz mit aggressiven oder toxischen Gasen berpr fen Sie vor Inbetriebnahme die ordnungsgem Be Verrohrung und die Dichtigkeit des Systemes Es ist sinnvoll einen Probelauf mit z B Stickstoff zu fahren Empfohlene Vorgehensweise bei der Installation a Alle Ger te sollten in einer trockenen sauberen stoB und vibrationsarmen Umgebung installiert werden b Sehen Sie gen gend Raum f r die Verkabelung vor c Installieren Sie die Ger te so dass sie auf einfache Weise zum Reinigen ausgebaut werden k nnen d Die Ger te k nnen in jeder beliebigen Lage montiert werden wenn der Prozessdruck geringer als 10 bar ist e Bei h heren Prozessdr cken ist die horizontale Einbaulage vorteilhafter
36. ng sollte das Ger t zur ck zu Brooks gesendet werden da oft nicht die entsprechenden Fachleute mit den hierzu erforderlichen Kalibierger ten zur Verf gung stehen 4 2 FEHLERSUCHE Systempr fungen Die digitalen Massedurchflussmesser und regler sind h ufig Bestandteil von sehr komplex aufgebauten gasverarbeitenden Anlagen Aufgrund dieser Tatsache ist die Isolation einzelner Fehlfunktionen in diesem System nicht ganz einfach Ein erhebliches Risiko in Bezug auf hohe Ausfallzeiten stellen Fehldiagnosen dar Bitte f hren Sie wenn m glich die nachfolgenden Pr fungen durch bevor Sie den als fehlerhaft vermuteten Durchflussmesser oder regler ausbauen um ihn auf der Werkbank zu pr fen Dies gilt besonders dann wenn es sich um ein neues Ger t handelt 1 berpr fen Sie alle Steckverbindungen auf ihren korrekten Anschluss und auf einwandfreie Kontakte Stellen Sie sicher daB die Spannungsversorgung und alle Signale am Stecker des TMF korrekt anstehen 2 berpr fen Sie die Prozessgasanschl sse auf korrekten Sitz und Leckagen 3 Sollte der Massedurchflussregler arbeiten jedoch nicht seinen eingestellten Sollwert erreichen so sind der eingangs und ausgangsseitige Druck zu berpr fen F r den vollen Gasdurchfluss ist es wichtig ber dem Ger t ein entsprechendes Druckgef lle zu erzeugen 4 berpr fen Sie die Positionen aller Steckbr cken im Ger t Siehe Abbildung 2 2 und Tabelle 2 2 WARNUNG Wenn Sie den
37. ngsausgang ist auf den Bereich von 0 5 25 VDC und der Stromausgang auf 0 21 mA begrenzt Ein verf gbarer Alarmkontakt TTL informiert den Anwender ber Abweichungen im Ger t oder den Prozessbedingungen Dieser Alarm wird ausgel st sobald die Einsatzgrenzen des Ger tes berschritten werden sei es durch die Prozessbedingungen oder durch das Ger t selbst Die Ausgangssignal D mpfung erm glicht eine stabile Durchflussanzeige trotz schwankendem Gasstrom Werkseinstellung 0 5 sek Der Sollwerteingang erlaubt dem Anwender einen externen Sollwert als Spannungs oder Stromsignal 0 5 VDC oder 0 21 mA zu verwen den Siehe auch Abschnitt 2 7 MASSEDURCHFLUSSREGLER Standardm ig sind diese Ger te mit den folgenden Eigenschaften ausger stet Jeder Smart Massedurchflussregler ist mit einem Ventil Steuerungs Algorithmus ausger stet Dieser dient der Aufrechterhaltung eines stabilen Durchflusses selbst unter wechselnden Prozessbedingungen z B Druck bzw Temperaturschwankungen Diese Regelung wird auch Adaptive Control genannt Sollwerteingang ausw hlbar F r die Massedurchflussregler kann als Signalquelle ausgew hlt werden Kommunikation ber RS 232 RS 485 oder 0 5 VDC Spannungsausgang oder 1 5 VDC Spannungsausgang und 0 20 mA Stromausgang oder 4 20 mA Stromausgang Fast Response erm glicht eine schnelle Regelcharakteristik mit minimalen Ausregelzeiten und geri
38. ngstem ber Unterschwingen von bis zu lt 200 ms Werkseinstellung 1sek f r Modell 5850 51 3sek f r Modell 5853 Die Valve Override Funktion VOR an Pin 12 erlaubt dem Anwender das Regelventil unabh ngig vom Prozessgeschehen zu ffnen oder zu schlie en Die Schleichmengenabschaltung verhindert die ffnung des Ventils wenn der Sollwert kleiner als 1 des Endwertes ist Charakteristische Merkmale der digitalen Kommunikation Die digitale Kommunikation ber die RS 232 oder RS 485 Schnittstelle erm glicht den Zugriff auf alle Smart TMF Funktionen einschlie lich genaue Massedurchflussmessung und Sollwertsteuerung nur bei Regler Controller in Prozent vom Skalenendwert und in ausw hlbaren Einheiten Z hler Umgebungstemperatur Kalibration Speicherung von bis zu 10 Kalibrationskurven e PID Regler Parametrierung Fast response Soft start lineare Rampenfunktionen adaptive Filterung des Ausgangssignales Durchflusswert in w hlbaren Einheiten Alarme e Selbstdiagnose EEPROM Fehler RAM Fehler H Ausgangssignal Fehler e Uberwachung Sollwert Durchfluss Ventil Analogausgang e Prozessst rungen kein Gasdurchfluss Spannungsversorgung auBerhalb Toleranz Umgebungstemperatur auBerhalb Toleranz Abschnitt 2 INSTALLATION Hinweis zum Betrieb der Ger te Bitte achten Sie unbedingt darauf daf die Ger te nicht au Berhalb ihrer technischen Spezifikationen betrieben werden Die technischen Spezifikationen finde
39. nipler m v re utf rt i metall for jordet innfesting av skjermen Skjermen i kabelen m tilknyttes metallet i pluggen eller nippelen i begge ender over 360 tilkoblet elektrisk jord Kort kantkontakter er normalt utf rt i kunststoff De tilh rende flatkabler m v re utf rt med fullstendig 80 skjerming som kobles til elektrisk jord p riktig pinne i pluggen for m te CE sertifiseringskrav O equipamento el ctrico electr nico Brooks com a marca CE foi testado com xito nos termos do regulamento da Compatibilidade Electromagn tica directiva CEM 89 336 EEC Todavia ao seleccionar se o cabo de sinal a utilizar com equipamento contendo a marca CE ser necess rio ter uma aten o especial Qualidade do cabo de sinal buchas de cabo e conectores A Brooks fornece cabo s de qualidade superior que cumprem os requesitos da certifica o CE Se fornecerem o vosso pr prio cabo de sinal devem utilizar um cabo que na sua totalidade seja isolado com uma blindagem de 80 Os conectores tipo D ou Circulares devem ser blindados com uma blindagem met lica Se tal for necess rio deve utilizar se buchas met licas de cabo para o isolamento do aperto do cabo O isolamento do cabo deve ser ligado blindagem ou bucha met lica em ambas as extremidades em 360 A blindagem deve terminar com a ligag o massa Os conectores Card Edge n o s o em geral met licos e os cabos utilizados devem ter um isolamento c
40. om blindagem a 80 nos termos da Certifica o CE A blindagem deve terminar com liga o massa Brooksin CE merkill varustetut s hk iset laitteet ovat l p issyt EMC testit direktiivi 89 336 EEC Erityist huomiota on kuitenkin kiinnitett v signaalikaapelin valintaan Signaalikaapelin kaapelin l piviennin ja liittimen laatu Brooks toimittaa korkealaatuisia kaapeleita jotka t ytt v t CE sertifikaatin vaatimukset Hankkiessaan signaalikaapelin itse olisi hankittava 80 sti suojattu kaapeli D tai Circular tyyppisen liitimen tulisi olla varustettu metallisuojalla Mik li mahdollista tulisi k ytt metallisia kaapeliliittimi kiinnitett ess suojaa Kaapelin suoja tulisi olla liitetty metallisuojaan tai liittimeen molemmissa p iss 360 n matkalta Suojan tulisi olla maadoitettu Card Edge Connector it ovat standarditoimituksina ei metallisia Kaapeleiden t ytyy olla 80 sesti suojattuja jotta ne olisivat CE sertifikaatin mukaisia Suoja on oltava maadoitettu Brooks elektriska elektronik utrustning som r CE m rkt har testats och godk nts enligt g llande regler f r elektromagnetisk kompabilitet EMC direktiv 89 336 EEC Speciell h nsyn m ste emellertid tas vid val av signalkabel som ska anv ndas tillsammans med CE m rkt utrustning Kvalitet p signalkabei och anslutningskontakter Brooks levererar som standard kablar av h g kvalitet som motsvarar de krav som
41. rkseitig auf einen Nullpunkt von O VDC 10 mVDC justiert Die Justage erfolgt in unserem Labor unter den dort blichen geregelten klimatischen Bedingungen bei 20 C Nach der ersten Installation und Inbetriebnahme kann der Nullpunkt leicht abweichen Die Ursache hierf r liegt haupts chlich in dem eventuellen Temperaturunterschied zwischen Ihrem Einsatzort und unserem Labor Zur berpr fung des Nullpunktes bauen Sie das Ger t bitte in seine endg ltige Anlagenposition und geben diesem mindestens 45 Minuten Zeit sich an die Umgebungsbedingungen anzupassen Benutzen Sie ein passendes Voltmeter um das Ausgangssignal zu beobachten Sollte eine Nullpunktkorrektur notwendig sein so kann dies mittels Software 0160 Smart Control oder ber den Zero Button neben der Diagnose LED erfolgen Die Nullpunktkorrektur sollte unter Betriebsbedingungen bei gestopptem Durchfluss durchgef hrt werden 3 3 KALIBRATION Die Kalibration von digitalen Massedurchflussmessern wird in diesem Handbuch nicht beschrieben da f r die Durchf hrung von Kalibrationsarbeiten einige wichtige Voraussetzungen erf llt sein m ssen 17 Abschnitt 4 Wartung 4 1 ALLGEMEINES Die Brooks Digital Massedurchflussmesser und regler bed rfen auBer einer gelegentlichen Reinigung keiner regelm Bigen Wartung Ausschlie Blich der Eingangsfilter sollte in zyklischen Abst nden ersetzt oder in einem Ultraschallbad gereinigt werden Hinweis Zur Nachkalibrieru
42. rotegidos con un apantallamiento del 80 para cumplir con la certificaci n CE La pantalla deber conectarse a tierra Les quipements Brooks lectriques lectroniques portant le label CE ont t test s avec succ s selon les r gles de la Compatibilit Electromagn tique directive CEM 89 336 EEC Cependant la plus grande attention doit tre apport e en ce qui concerne la s lection du c ble utilis pour v hiculer le signal d un appareil portant le label CE Qualit du c ble des presse toupes et des connecteurs Brooks fournit des c bles de haute qualit r pondant aux sp cifications de la certification CE Si vous approvisionnez vous m me ce c ble vous devez utiliser un c ble blind 80 Les connecteurs D ou de type circulaire doivent tre reli s la terre Si des presse toupes sont n cessaires ceux ci doivent tre m talliques avec mise la terre Le blindage doit tre raccord aux connecteurs m talliques ou aux presse toupes sur le pourtour complet du c ble et chacune de ses extr mit s Tous les blindages doivent tre reli s la terre Les connecteurs de type card edge sont non m talliques Les c bles utilis s doivent tre blind s 80 pour satisfaire la r glementation CE Tous les blindages doivent tre reli s la terre Ta pyava nAextpic nkAertpovix mg Brooks ta oroia p povv to ona CE xovv tun EAeYXDEL GUH OVO pe T
43. st lls f r CE godk nnande Om man anv nder en annan signalkabel ska kabeln i sin helhet vara sk rmad till 80 D eller runda typer av ansiutningskontakter ska vara sk rmade Kabelgenomf ringar ska vara av metall alternativt med metalliserad sk rmning Kabelns sk rm ska i bada ndar vara ansluten till kontakternas metallk por eller genomf ringar med 360 graders sk rmning Sk rmen ska avslutas med en jordf rbindelse Kortkontakter r som standard ej metalliserade kablar som anv nds m ste vara 80 skarmade f r att verensst mma med CE certifieringen Sk rmen ska avslutas med en jordf rbindelse
44. taillierte Hinweise zur Konfiguration der Elektronikplatine finden Sie in Abschnitt 2 7 11 H 2 7 DIGITALE KOMMUNIKATION Hinweis Eine nderung der Steckbr cken auf den Elektronikplatinen ist nur dann notwendig wenn die gew nschte Konfiguration von der bei Bestellung angegebenen abweicht Die Brooks Massedurchflussmesser und regler enthalten zwei Elektronikplatinen Die Hauptplatine XE Main Board ist mit dem Prozessor ausger stet und enth lt zus tzlich noch eine Tochterplatine Diese Zusatzplatine stellt die Analog Ein bzw Ausg nge zur Verf gung und erm glicht die Kommunikation mit einem PC ber die RS 232 oder RS 485 Schnittstelle Der Kontakt zwischen Tochterplatine und Hauptplatine erfolgt ber die Stecker K5 K6 und K7 siehe Abb 2 2 Um Zugriff zu den Platinen im Ger t zu erlangen muss das Geh use entfernt werden Schalten Sie die Versorgungsspannung ab und entfernen Sie alle Kabelanschl sse die zum Sub D Stecker gehen Entfernen Sie die drei Schrauben an der unteren Kante des Geh uses und ziehen Sie die Haube nach oben vom Ger t Vor einem erneutem Einsatz muss das Elektronikgeh use wieder aufgesetzt werden Abbildung 2 2 Elektronikplatinen mit Steckbr cken J1 Spannungseingang Stromeingang J2 offen keine Steckbr cke gesetzt geschlossen Steckbr cke gesetzt E Voreinstellung Bei asymmetrischer Spannungsversorgung
45. ter Teile Nr 124 Z 610 AAA Abbildung 2 5 Anschlusskabel TMF an Contol Einheit THERMAL SIDE READ OUT SIDE Sub D 15 pin female Sub D 15 pin male 14 28 ANSCHLUSS AN PERIPHERIE GER TE Fortsetzung F r den Einsatz von TMF s mit digitaler Kommunikation kann ein geteiltes Kabel Split Kabel zum Anschluss aller drei Ger te geliefert werden In Abbildung 2 5 ist der Anschluss zwischen TMF einerseits und Computer sowie der Control Einheit andererseits dargestellt Lieferbare fertig konfektionierte Kabell ngen L nge 3 Meter Teile Nr 124 Z 893 AAA L nge 6 Meter Teile Nr 124 Z 894 AAA L nge 12 Meter Teile Nr 124 Z 895 AAA Andere Kabell ngen werden auf Wunsch geliefert Abbildung 2 6 Anschlusskabel TMF an PC und Control Einheit READ OUT SIDE THERMAL SIDE Sub D 15 pin male Sub D 15 pin female COMPUTER SIDE Sub D 9 pin female ID Hinweis Bei Einsatz des Multi Drop Verfahrens d h RS 485 Anschluss k nnen Spezialkabel geliefert werden Die Pin Belegung der einzelnen Stecker f r die oben dargestellte Konfiguration entnehmen Sie bitte Tabelle 2 4 auf der n chsten Seite 15
46. tion der Smart TMF Ger te wird ein 15 pin D SUB Stecker ben tigt Die Steckerbelegung ist in der nachfolgenden Tabelle 2 1 im Detail aufgef hrt Tabelle 2 1 Anschlussbelegung f r Smart TMF PIN Massedurchfluss Belegung Regler Messer 1 Soir Eingang e 2 0 1 5VDO Istwert Ausgangssignal 3 TTL Open Collector Alarmausgang 4 0 4 20 mA Istwert Ausgangssignal 5 15 28 VDC Spannungsversorgung 6 1svDCSpammungswersorgung 7 0 4 20mASolwertEimgang _0 1 5VDC SollwertEingang e Spannungsversorung Masse e 11 SVDC Referenzspannungsausgang Valve Override Eingang a nicht belegt 15 Option RS 232 RS 485 TxD A n e e n b nicht belegt Istwert Ausgang Pin 2 4 und 10 An Pin 2 wird das Ausgangssignal f r den Durchfluss als O 5 oder 1 5 VDC Signal proportional zum Massedurchfluss ausgegeben Gleichzeitig steht ein Ausgangssignal als Stromsignal von 0 20 mA oder 4 20 mA an Pin 4 zur Verf gung Der gemeinsame Pin beider Ausgangssignale als Massepotential ist der Pin 10 Sollwert Eingang Pin 7 8 und 1 jedoch nur beim Regler Der Smart Massedurchflussregler kann mit einem Strom oder einem Spannungsollwert angesteuert werden Bei Einsatz des Stromeinganges Steuer Plusleitung mit Pin 7 verbinden Steuer Minusleitung mit Pin 1 verbinden Die Steckbr cke J1 muss gem Abbildung
47. ve Medien und in industrieller Atmosph re zu erm glichen Zur Nutzung des vollen Leistungspotentiales Ihres Ger tes empfiehlt es sich dieses Handbuch in seinem gesamten Umfang genauestens zu lesen Sollten Sie weitere Informationen ben tigen oder Fragen haben so z gern Sie bitte nicht Ihren zust ndigen Vertriebsingenieur oder die n chste BROOKS Instrument Niederlassung direkt anzusprechen Wir sind jederzeit gerne bereit Ihnen mit unserem Wissen und unserer Erfahrung zur Seite zu stehen und den Einsatz unserer Ger te auch in Ihrem Prozess erfolgreich zu realisieren Hochachtungsvoll BROOKS Instrument B V ACHTUNG Die Ger te beinhalten elektronische Komponenten die durch elektrostatische Entladungen zerst rt werden k nnen Der sachgerechte Umgang bei jeglichen Arbeiten an Ihrem Ger t ist eine der unbedingten Voraussetzungen f r den st rungsfreien Betrieb Handlungsanweisungen 1 Trennen Sie das Ger t von der Spannungsversorgung 2 Servicepersonal ist vor jeglicher Ber hrung interner Komponenten durch ein entsprechendes Armband mit dem rtlichen Erdpotential zu verbinden 8 Platinen sind ausschlie lich in speziellen Transporttaschen oder Containern mit Schutz gegen elektrostatische Spannungen zu transportieren oder lagern Anmerkung Die Ger te sind wie viele andere elektronische Ger te auch mit empfindlichen elektronischen Komponenten best ckt Nahezu jede moderne Elektronik enth lt Mikroprozessoren und SMD

Installations- und Bedienungsanleitung

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