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1. Irrt mer und nderungen vorbehalten spectral averaging mittelt die aufgenommenen Spektren vor der Auswertung Men Funktion ist nur in Betriebsart 3 bei dem interferometrischen Messverfahren von Bedeutung Um vorhandene st rende Frequenzen des Messsignals zu unterdr cken wird vor den Berechnungen der Schichtdicke gemittelt Mittelwertbildung Spektren aufrufen F1 gt F4 Config gt F3 spectral averaging ausw hlen Conrrg sel Tunctrion lt spectral averaging gt average width 001 esc down up next Mit F2 down und F3 up die markierte Ziffer ndern mit F4 next den Cursor zwischen den Ziffern bewegen und mit F1 esc die Eingabe beenden Das Auswahlfenster wird geschlossen und das Konfigurationsmen ge ffnet Defaultwert 001 Diesen Wert f r Betriebsart 1 und Betriebsart 2 beibehalten Eine Ver nderung beeinflusst nur die Mittelwertbildung Dies wird unter data averaging eingestellt Im Doppelbelichtungsmodus ist eine Spektrenmittelung nicht m glich Kommando SAVS lt Mittelung gt Betriebsanleitung OC Sharp 49 5 Konfiguration 5 3 5 Schwellenwert Intensit t set detect Threshold SL Intensit tsbereich Relativ Einheit Unter set detect threshold kann der Wert f r die Schwelle zwischen dem Rauschen und dem Mess Signal eingestellt werden Unterhalb dieses Schwellenwerts werden gefundene Peaks als ung ltig erkannt und am Display der Messwert 0 angezeigt M
2. USB Schnittstelle empf ngt kann der Sensor konfiguriert werden Durchf rbar sind Funktionen wie z B der Dunkelabgleich Mehr dazu in der Befehlsliste Kap 9 3 ab Seite 92 Men Funktion Betriebsart RS 232 RS 422 USB Befehl 1 2 3 Dark Dunkelabgleich SDRK SFDK lt averagenumber gt lt updatefactor gt S Rate Messrate SSRA lt n gt SHZ lt 32 2000 gt DCY lt n gt Menu Konfiguration Mit einer Anzahl verschiedener Befehle die das Ger t ber die RS 232 RS 422 oft data averaging SAD lt t00 spectralaveraging u 7 7 sas ano9 OOOO fsetdetect threshold V v lsm lt 0 409 gt oo set Qthreshold v som an9 OOOO set display holdtime 7 wirdniohtunterstitt select confocal sensor SSEN lt 0 15 gt Sensor Choice of optical probe selectused cD range 7 wirdnichtunterstitt _ _ _ 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 81 Irrt mer und nderungen vorbehalten 6 Daten bertragung Schnittstellen Men Funktion Betriebsart RS 232 RS 422 USB Befehl 1 2 3 KA ra Y ca Kal ca adjust lamp intensity set serial output data serial data ASCII BIN configure analog out 1 Y 7 SANA lt 0 750 655955 lt 0 65555 7 Tab 6 3 Befehls bersicht Auszug configure analog out 2 partial spect supress serial port baud rate 6 3 INTERFACE Dosenleiste INTERFACE Die Dosenleiste enth lt Synchronisatio
3. e keine Flussteuerung Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 9 Anhang 9 2 Datentelegrammformat ASCII Mode Bin r Mode 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten W hrend des normalen Betriebs sendet der Sensor kontinuierlich Datenpakete Die Datenausgaberate entspricht der Messrate dividiert durch die Anzahl der Mittelungen Jedes Datenpaket besteht aus bis zu 16 Datenw rter jedes 16 Bit lang Sie k nnen entweder als Dezimalzahlen in ASCII Zeichen oder im 2 Byte Binarformat dargestellt werden Die zu bertragenden Datenworte werden aus einer Liste m glicher Werte ausgew hlt Jedes Einzelne kann separat ausgew hlt werden Die Bedeutung der einzelnen Werte h ngt von der jeweiligen Betriebsart ab und ist in Kapitel 5 3 13 ab Seite 62 n her erl utert Telegramm Format lt data O gt lt data 1 gt lt data N gt CR LF data n steht f r ein bertragenes Datenwort Die ausgew hlten Datenworte Kommando SOD oder SODX werden im ASCII Format als 5 stellige Dezimalzahlen ausgegeben Jedes Wort kann Werte zwischen 00000 und 65535 annehmen und ist durch ein Komma von dem darauf folgenden getrennt Jedes Datentelegramm wird mit CR LF abgeschlossen Beachten Die maximale bertragungsrate im ASCII Format reicht nicht aus um mit einer Messrate von 4 kHz zu arbeiten Hochgeschwindigkeits Daten bertragung f r das Bin r Format verwend
4. nderungen vorbehalten 2 Produktbeschreibung Interferometrische Schichtdickenmessung Die Betriebsart 3 wird f r die Messung d nnerer Schichten 3 180 um optische Dicke eingesetzt interferometrische Schichtdickenmessung F r diese Messung wird ein spezieller achromatischer Messkopf ben tigt Die Schichtdickenmessung beruht auf der berlagerung des an beiden Grenzfl chen reflektierten Lichts Bei bekannter Brechzahl des Materials kann aus dem Spektrum des reflektierten Lichts die Schichtdicke bestimmt werden Die Betriebsart 3 kann zu Testzwecken f r 5 Minuten freigeschaltet werden Hierzu wird unter Config gt Betriebsart 3 angew hlt und anschlie end das Passwort 0000000001 eingegeben Es folgt die Meldung eval of interf mode CHR will stop in 5 min Die Freischaltung von Betriebsart 3 k nnen Sie jederzeit bei SICK bestellen falls nicht im Lieferumfang enthalten Der optische Sensor wird f r ein weites Spektrum verschiedener Aufgaben eingesetzt Typische Beispiele sind e Messung von Oberfl chentopographien e Dickenmessung von transparenten Schichten e Rauheitsmessung e Vermessung von optischen Komponenten e Vermessung von Beschichtungen e Abmessungskontrolle an kleinsten Teilen und Mikrostrukturen Betriebsanleitung OC Sharp 15 2 Produktbeschreibung 2 3 2 Aufbau Der optische Sensor besteht aus einem Messkopf und einer Sensoreinheit Die beiden Komponenten sind ber eine optische Faser mite
5. 7 1 ab Seite 87 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 2 Produktbeschreibung 2 3 3 Bedienelemente und deren Funktion ESC N N 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten OC Sharp Fi F2 F3 F4 er gt lt _ Hauptmenu aufrufen Funktion abbrechen Mit der Funktionstaste F1 das Hauptmen aufrufen oder die aktuell ausgef hrte Funktion abbrechen Das Ger t schaltet dann automatisch zur n chst h heren Men ebene zur ck beziehungsweise schlie t das Hauptmen Ausf hrliche Informationen zum Aufrufen und Struktur des Hauptmen s entnehmen Sie aus Kap 1 Konfiguration ab Seite 38 Softwareversion anzeigen F1 beim Einschalten gedr ckt halten Funktion ausw hlen Mit der Funktionstaste F2 F3 im Men fenster unter den Menupunkten ausw hlen Im Zahlen Eingabemodus wird durch Best tigen von F2 F3 die blinkende Ziffer dekrementiert inkrementiert Funktion best tigen ausf hren Mit der Funktionstaste F4 k nnen Sie eine Eingabe bernehmen beziehungsweise in die n chste untergeordnete Men ebene wechseln Betriebsanleitung OC Sharp 19 2 Produktbeschreibung 2 4 Technische Daten Messverfahren Messwerte Messrate Messbereich Steigungsfehler 3 Linearit tsabweichung Aufl sung Reproduzierbarkeit Synchronisation mit ext Ger ten Schnittstellen bertragungsrate Lichtquelle Betrieb
6. Das Auswahlfenster wird geschlossen und das Konfigurationsmen ge ffnet Mit F4 yes diesen Brechungsindex best tigen oder mit F1 no die Eingabe abbrechen Wird wie oben angezeigt ein Brechungsindex n 1 eingegeben so kann die geometrische Dicke eines transparenten Materials auch nachtr glich durch Multiplikation mit einer mittleren Brechzahl bestimmt werden Im Allgemeinen ist der Brechungsindex von transparenten Materialien keine konstante im sichtbaren Wellenl ngenbereich sein Verlauf kann aber durch die Angabe einer mittleren Brechzahl ng und die Angabe der Abbe Zahl va f r technische Anwendungen hinreichend gut angen hert werden Wird ein Wert von ng gt 1 eingegeben so ffnet sich ein weiteres Fenster in welchem die Abbe Zahl eingegeben werden kann Betriebsanleitung OC Sharp 55 5 Konfiguration il Betriebsart 3 interferometrische Schichtdicke vA lt i N TI lt lt ae N Brechungsindex A F1 v2 ESC lt 1 56 Betriebsanleitung OC Sharp RS 232 RS 422 und USB Schnittstelle Wird ein Brechungsindex von n 1 eingestellt ist dieser f r die Schnittstelle ohne Bedeutung Die ber die Schnittstelle erfassten Werte der Schichtdicke m ssen in der Betriebsart 2 mit dem Brechungsindex n multipliziert werden um die tats chliche Schichtdicke zu erhalten Die Korrektur der Messwerte durch die Abbe Zahl bleibt aber erhalten Ist nur der mittlere Brechungsindex bekannt nich
7. SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Der Schwellenwert Qualit t ist ein Ma f r die G te der Messung Je h her der Q Wert umso besser ist die interferometrische Messung Die Qualit t der interferometrischen Schichtdickenmessung ist umso h her je besser die beiden Grenzfl chen einer Schicht planparallel zueinander verlaufen Sie h ngt auch von dem Reflexionsgrad des Lichts an beiden Grenzfl chen und deren Rauheit ab Men Funktion ist nur in Betriebsart 3 dem interferometrischen Messverfahren aktiv Configs Sel T uUncticn lt set Q threshold gt O threshold 0025 esc down up next Am Display wird der aktuelle Schwellenwert angezeigt Mit F2 down und F3 up die markierte Ziffer ndern mit F4 next den Cursor zwischen den Ziffern bewegen und mit F1 esc die Eingabe beenden Das Auswahlfenster wird geschlossen und das Konfigurationsmen ge ffnet Der Schwellenwert Qualit t ist standardm ig auf 25 zu setzen Betriebsanleitung OC Sharp 51 5 Konfiguration am Qualitat Der spektrale Verlauf des von der Schicht oder einem Schichtensystem reflektierten Lichts ergibt sich aus der konstruktiven oder destruktiven Interferenz der verschiedenen Teilwellen in Abhangigkeit von der Wellenlange Tragt man die Intensitat der von einer Schicht reflektierten Strahlung uber die Wellenzahl auf erhalt man einen periodischen harmonischen Verlauf Das im internen Spektrographen aufgenommene Spektrum erfor
8. Zeilenr cklauf gefolgt von einem Zeilenvorschub 13 10 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 9 Anhang 9 3 2 Generelles Kommando Befehls Format 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten SKommando lt Argument1 gt lt Argument2 gt lt Argument n gt CR Jedes Kommando Befehl beginnt mit einem gefolgt von mindestens drei Buchstaben Alle zum Sensor gesendeten Zeichen mit Ausnahme des werden au erhalb einer Kommandofolge ignoriert und nicht zur ck gesendet Nachdem das empfangen wurde stoppt der Sensor die Daten bertragung und liefert die Kommandozeichenfolge inclusive und die Argumente zur ck Es ist nicht notwendig mit dem Senden der Befehle zu warten bis der Datenstrom gestoppt hat W hrend einer Befehlssequenz sind die 4 Bedientasten am Sensor gesperrt Argumente m ssen durch ein nicht numerisches Zeichen z B ein Leerzeichen getrennt werden ein Komma sollte nicht verwendet werden da einige Parameter als Gleitkommazahlen formatiert sind und somit ein Komma als Dezimalkomma fehlinterpretiert werden kann Falls nichts anderes erw hnt ist sind die Parameter Integer Werte Unabh ngig ob das ASCII oder Binarformat fur die Datenausgabe ausgew hlt wurde sind alle Argumente und R ckmeldungen im ASCII Format Befehle die Parameter erwarten m ssen mit einem carriage return 13 abgeschlossen werden diese Seq
9. als Spannungswerte zwischen O und 10 V ausgegeben Somit wird auch eine sehr kleine Messspanne von z B 10 um hochaufl send analog zwischen O und 10V ausgegeben Mit F4 das Eingabefenster der Auswahl ffnen set signal for ana Out set lower limit value set upper limit value Output Messwert ausw hlen Configi Sel rine pion lt configure analog out 1 gt Select signal f a out 1 0 distance Der aktuell aktive Output Messwert wird angezeigt Je nach eingestellter Betriebsart mit F2 bzw F3 unter den verschiedenen aufgef hrten Messwerten ausw hlen Tab 5 3 auf Seite 63 Mit F4 die Auswahl best tigen Den n chsten beliebigen Analogparameter wie Set lower limit value oder Set upper limit value festlegen Untere Messwertgrenze festlegen configure analog out 1 Set lower limit value Value for DV am 0000 ESC down up next Der aktuell eingestellte Wert wird angezeigt Defaultwert 0000 Mit F2 down und F3 up die markierte Ziffer ndern Mit F4 next den Cursor zwischen den Ziffern bewegen Mit F1 die Eingabe beenden Ger t schlie t das Eingabefenster und ffnet das Auswahlfenster der Analogparameter Set upper limit value kann festlegt oder weiter auf der Ebene des Konfigurationsmen s die n chste Auswahl getroffen werden Betriebsanleitung OC Sharp 67 5 Konfiguration Z lt WA F1 ESC Pam Obere Messwertgrenze festlegen configure analog ont 1 Set upper limit
10. 2 Men Servicefunktionen Funktionen 5 3 3 Messwert Mittelwertbildung data averaging Unter data averaging wird die Anzahl von nacheinander aufgenommenen Einzelmessungen eingestellt die zu einem Messwert gemittelt werden Dieser Messwert wird angezeigt und gegebenenfalls ber die Schnittstellen bertragen Die angezeigte bzw bertragene Intensit t ist ebenfalls ber die Einzelmessungen gemittelt Mittelwertbildung Messwert aufrufen F1 gt F4 Config gt F4 data averaging ausw hlen Config sel Tunction data averaging gt data averaging zeigt die aktuelle Anzahl von Messwerten an die zu einem Mittelwert zusammengefasst werden average width UT esc down up next Mit F2 down und F3 up die markierte Ziffer ndern mit F4 next den Cursor zwischen den Ziffern bewegen mit F1 esc die Eingabe beenden Das Auswahlfenster wird geschlossen und das Konfigurationsmen ge ffnet Standardm ig ist keine Mittelwertbildung Default 001 im Ger t eingestellt In der Default Einstellung wird die maximale Anzahl von Messwerten angezeigt entsprechend der eingestellten Messrate Anzahl der Mittelungen erh hen um Vibrationen einer Messprobe auszugleichen 48 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten RR 5 Konfiguration Kommando SAVD lt Mittelung gt 5 3 4 Spektren Mittelwertbildung spectral averaging fen 8014850 2014 07 SICK
11. 4 3 2 A 1 ne A gt 2 TXD RS232 3 RXD RS232 1 04 RX RS422 5 GND gt t 6 TX RS422 12 7 RX RS422 gt 8 TX RS422 9 nc D D not connected 84 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 6 Daten bertragung Schnittstellen 6 5 Encoder Schnittstelle 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Sub D15 123 4 5 6 7 8 differentieller Eingang 1 Kanal lt 1 oa D lt 2 0B 4 38 1A 1 4 1B BE En GND 46 24 7 28 l x Te 8 Auxt 4 9 OA 10 OB 4 11 M t 12 1B 1 13 24A 14 2B 4 15 Aux 0 1 2 Achsenindex A A B B differenzielle Signalpaare des Encoders OOGO CONOO 90 Aux Aux differenzielles Signalpaar Hilfseingang F r eine exakte Distanz oder Schichtdickenmessung ist es n tig dass jedem Messwert genau die richtigen Ortskoordinaten zugeordnet werden Diese Daten werden im System erfasst und ber die interne Schnittstelle an den Sensor bergeben Hierf r ist der Sensor mit einer Encoder Schnittstelle versehen Standardm ig sind die differentiellen Signalleitungen intern mit 100 Ohm abgeschlossen Werden die Encoder Signale zus tzlich noch an andere Ger te weitergeleitet und dort terminiert kann der 100 Ohm Abschluss auch deaktiviert werden Da hierzu das Ger t ge ffnet werden muss sollte vorher
12. 5 1 Dunkelabgleich durchf hren Dark 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Auch wenn sich keine Oberfl che im Messbereich des Messkopfs befindet ist das Signal der CCD Zeile des Sensors nicht Null Dieses Dunkelsignal das auf Streulicht im Faserkoppler Reflexionen an den Fasersteckern und das Umgebungslicht zur ckzuf hren ist begrenzt die Messdynamik des Sensors Um den Einfluss des Dunkelsignals zu eliminieren wird ein Dunkelabgleich des Betriebsanleitung OC Sharp 39 5 Konfiguration Schneller Dunkelabgleich ber Schnittstelle il Dunkelabgleich F1 Dune TEESE EA i S EA RES a ESC a Clear Dark S Rate Config A Mit F2 Dark aufrufen Soll das Dunkelsignal erfasst werden lt Acgu of dark signal No Yes F Mit F4 Yes den Dunkelabgleich starten lt 1 Acou GL dark signal Taking dark reference 40 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Sensors vorgenommen Der Dunkelabgleich wird werkseitig vor Auslieferung des Ger ts durchgef hrt muss aber immer nach Auswechseln eines Messkopfs oder der optischen Faser wiederholt werden Auch wenn das Ger t Messwerte anzeigt obwohl kein Messobjekt im Messbereich ist muss ein Dunkelabgleich durchgef hrt werden Das Ger t wird als Messwertaufnehmer in einer Messeinrichtung mit automatischer Ablaufsteuerung eingesetzt und ber die serielle RS 232 RS 422 oder USB Schnittstelle konfiguriert F hren Sie vor jedem
13. AO Beispiel Die Ausgabe der Werte des Abstandes der Intensitat und der LED Temperatur im Distanzmodus erfolgt Uber die Befehlssequenz SODX lt 0 3 17 gt Output Messwerte mode 0 1 modei 2 surfaces mode 2 interferometric P surface o a0 ai a2 13 14 15 16 17 1 nr S Tab 5 3 Output Messwerte bersicht o ao an a2 23 Enc LSw nooder Poston leastsignicant word 7 an Das ao Dan 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 63 Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfiguration Die Werte CCDpos1 und CCDpos2 dienen zur Kalibrierung und sind bis auf eine Ausnahme bei der Identifizierung st render Streulichtquellen f r den Anwender ohne Belang Die Flags zeigen folgendes an Bit O Im Doppelbelichtungsmodus steht 1 f r die lange Belichtungszeit und O fur die Kurze Bit 2 IGNOREDTRIGGER Ignorierter Trigger im trigger each oder external timing Modus Ein Trigger Puls wurde ignoriert weil er zu kurz nach dem vorangegangenen Trigger Puls gesendet wurde und dieser noch nicht abgearbeitet war Bit 3 DELAYEDTRIGGER Versp teter Trigger im Trigger each oder External timing Modus Der Belichtungstrigger war verz gert in Bezug auf den Triggerpuls weil er zu kurz auf den vorhergehenden Puls folgte Bit 4 CCD_SATURATED Bit 6 SHORTSYNCMARKERSENT Der Sensor sendet alle 5 Sekunden einen kurzen Sync Out Puls der e
14. F3 set serial output data ausw hlen A Config sel function lt Set serial output data gt In Abhangigkeit vom eingestellten Messmodus die einzelnen Messwerte festlegen die in das Datentelegramm aufgenommen werden sollen Es sind bis zu 16 Telegrammpositionen verf gbar 0 15 A F3 A Mit F2 bzw F3 die Telegrammposition ausw hlen welcher ein Wert AR EN zugewiesen werden soll Kap 6 1 auf Seite 78 Select telegram position 0 0 distance F4 Mit F4 die Auswahl der Telegrammposition bestatigen Angezeigt wird lt i Select data item 0 0 distance F2 F3 Mit F2 bzw F3 den Messwert auswahlen welcher uber die entsprechende iN iS Schnittstelle ausgegeben werden soll Kap 6 1 auf Seite 78 F4 Mit F4 die Auswahl des Messwerts bestatigen lt Danach wird die Auswahl der Telegrammposition ge ffnet F1 Mit F1 die Auswahl best tigen Das Auswahlmen wird beendet Es folgt die ESC Abfrage zum Sichern der konfigurierten Parameter in den EEPROM Anschlie end wird das Hauptmen ge ffnet 62 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfiguration i Mit F4 zwischen der Auswahl der Telegrammposition und Datenworte wechseln Die letzte Position setzt der Sensor automatisch auf 1 End of telegramm Um dar berhinaus weitere Messwerte auszugeben auf dieser Position den gew nschten Messwert ausw hlen Kommando SSODX lt Indices der gew nschten Werte gt
15. Kap 1 ab Seite 87 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfiguration 5 3 19 Laden anwenderspezifischer Parameter Load Setup N IN N ES O me In diesem Men punkt werden anwenderspezifische Einstellungen geladen Load setup aufrufen F1 gt F4 Config gt F3 service functions gt F3 load setup Choose service functions Load setup gt Mit F4 Vorgang starten Der kleinste Index O wird zuerst angezeigt Select Setup Index D Testparameter 05 Die auf dem Speicherplatzindex O abgelegten anwenderspezifischen Einstellungen Testparameter 05 werden geladen Mit F2 F3 im Auswahlmen und bereits vorhandenen Eintr gen bl ttern Mit F4 die Parameter laden Das Hauptmen wird ge ffnet Mit F1 die Funktion abbrechen Die Men ebene wird geschlossen und das Hauptmen ge ffnet Mit einer speziellen Software die Sensorkonfiguration in Form einer ASCII Datei im Format csu herunterladen und wieder aufspielen Kontaktieren Sie SICK 5 3 20 Sichern anwenderspezifischer Parameter Store Setup F2 F3 AVA F4 lt 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Mit dieser Funktion die benutzerdefinierte Einstellung speichern Der Sensor h lt daf r bis zu 16 Speicherpl tze frei Store setup Funktion aufrufen F1 gt F4 Config gt F3 service functions gt F3 store setup Choose servic
16. Tab Tab Tab Tab Tab Tab Tab Tab Tab 2 1 2 2 4 1 5 1 5 2 5 3 5 4 6 1 6 3 6 4 8 1 9 1 Tabellenverzeichnis Technische Daten Chromatische Messk pfe Technische Daten Interferometrische Messk pfe Technische Daten Beispiel Abbe Zahlen Kunststoff optisches Glas Men Konfiguration Funktionen Men Servicefunktionen Funktionen Output Messwerte bersicht Men default parameters Werkseinstellung Datendurchsatz der Messwerte ber die Schnittstellen 1 2 Datendurchsatz der Messwerte ber die Schnittstellen 2 2 Befehls bersicht Auszug Interface Dosenleiste St rungsanalyse Liste der Befehle Betriebsanleitung OC Sharp 20 22 24 34 47 48 63 13 81 81 82 83 89 99 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 1 Zu Ihrer Sicherheit 1 Zu Ihrer Sicherheit il Diese Bedienungsanleitung enth lt die wichtigsten Hinweise um das Produkt sicherheitsgerecht zu betreiben Beachten Sie alle Instruktionen und Anleitungen dieser Dokumentation Dar ber hinaus sind die f r den Einsatzort geltenden Regeln und Vorschriften zur Unfallverh tung zu beachten 1 1 Gew hrleistung und Haftungen F r unsere Produkte gelten die Allgemeinen Lieferbedingungen f r Erzeugnisse und Leistungen der Elektroindustrie sowie die Erg nzungen und Einschr nkungen der Allgemeinen Lieferbedingungen der SICK AG Konstruktions nderungen aus Gr nden der Qualit
17. Wartezustand Dieser Status wird durch ein Triggersignal steigende Flanke am Sync In Encoder Trigger verlassen Der Wait for Trigger Status kann auch durch das Kommando CTN verlassen werden Achtung Dies ist die einzige Situation in der ein des Sensors wieder startet Im Normalfall stoppt ein die Daten bertragung Wenn nicht bestimmt werden kann in welchem Status der Sensor ist kann gesendet werden um den Sensor zu stoppen und neue Befehle eingeben zu konnen auch TRE EXT ETR 116 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 9 Anhang STXG lt 0 7 1 gt Die bertragungspuffer Steuerung regelt die Gr e des internen Puffers Diese Einstellung wird nicht im EEPROM gespeichert Um die Kompatibilit t mit fr heren Firmware Versionen des Sensors zu gew hrleisten startet dieser immer mit der Puffergr e von 256 Bytes H here Puffergr en unterst tzt die RTS CTS Flu kontrolle ber die USB Verbindung Diese wird aktiviert bei offenem PC Port Am RS 232 422 Anschluss sind keine Hardware Handshake Leitungen angeschlossen Hardware Handshake Funktion nicht verf gbar f r RS 232 422 Der Parameterwert 1 leert unverz glich den bertragungspuffer Achtung Das Leeren des Puffers kann auch einen Teil des echo Befehls betreffen Warten Sie also nicht auf den Befehl echo Parameter bertragungs Bemerkung wert puffer Gr e 256 Grundeinstellun
18. akzeptiert liefert der Sensor die Antwort not valid Aus technischen Gr nden kann nicht jede Messrate exakt eingestellt werden die Eingabe wird auf den n chst m glichen Wert angepasst Die Abfrage der aktuellen Messrate erfolgt mit SHZ sie wird als Gleitkommazahl mit 6 Dezimalstellen im ASCII Format ausgegeben Bei der Abfrage einer Messrate mit dem Befehl SRA die zuvor mit SHZ eingestellt wurde wird der Index 127 und die aktuelle Messrate zuruck geliefert Dies bedeutet dass die aktuelle Messrate keiner der vordefinierten Messrate entspricht SRA Beispiel 1 SSHZ101 CR Antwort SSHZ101 CRjready CR LF Beispiel 2 SSHZ Antwort SSHZ 101 010100HZready CR LF Achtung Falls nicht beabsichtigt ist den Doppelbelichtungsmodus zu verwenden stellen Sie sicher dass das Belichtungsverh ltnis auf 100 gesetzt ist DCY100 zugeh rige Befehle SRA DCY Auswahl der Ausgabedaten Select Output Data Beachte Kommando kann durch SODX ersetzt werden Nur eine einheitliche Befehlssequenz verwenden SOD oder SODX Mit diesem Befehl wird ausgew hlt welches der 16 Datenworte ausgegeben werden sollen Der Sensor liefert 16 Datenworte die bertragen werden k nnen F r jedes Wort muss definiert werden ob es ausgegeben werden soll oder nicht 1bedeutet der Wert wird ausgeben O bedeutet dass der Wert nicht ausgegeben wird Werden weniger als 16 Parameter eingegeben liest der Sensor die Eingaben vom niedrigen zum h c
19. einer Messrate von 1000 Hz und einer bertragungsrate von 115200 Baud errechnet sich der N wie folgt 1 1000 Hz Ng ou 11 39 abgerundet 11 B Beispiel Bei den angegebenen Daten k nnen somit 10 Byte pro Messzyklus bertragen werden byte 0 byte 1 byte 2 byte 3 byte 4 byte 5 byte 6 byte 7 O M e MW 1 MW 2 MW 3 MW 4 Zu jedem Datenwort geh ren im Bin rformat zwei Bytes der Synchronisationssequenz und 8 Bytes f r die bertragung von Messwerten MW Jeder Messwert wird als zwei Byte langes Wort dargestellt sodass in diesem Beispiel vier Messwerte bertragen werden k nnen Im ASCIl Format l sst sich bei einer gegebenen Anzahl n bytes s die Anzahl N der pro Zyklus aus der Schnittstelle auslesbaren Messwerte wie folgt bestimmen N n 1 6 folgende Tabelle Eine bersicht der maximalen Anzahl von Messwerten die bei den EL verschiedenen Formaten Baudraten und Messraten bertragen werden kann entnehmen Sie der folgenden Tabelle 80 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 6 Daten bertragung Schnittstellen Datendurchsatz von Messwerten 1 2 Tab 6 1 Datendurchsatz der Messwerte ber die Schnittstellen 1 2 Datendurchsatz von Messwerten 2 2 bertragungsrate Baud 115200 230400 460800 921600 Tab 6 2 Datendurchsatz der Messwerte ber die Schnittstellen 2 2 6 2 Ger t konfigurieren seriell RS 232 RS 422 USB
20. intensity BAKK v Einstellwerte Einstellwerte Spannung bzw Helligkeit der Lichtquelle bzw Helligkeit der Lichtquelle Auswahl der ber RS 232 RS und USB set serial output data bertragenen Daten serial data ASCII BIN ah Y Wahl der Wahl der RS 232 RS 422 Datenstruktur 08060 Wahl der RS 232 RS 422 Datenstruktur 08060 422 Datenstruktur r bertragungsrate USB fest 921 6 kB oder RS 232 RS V ILI Tabelle Service Funktionen Tab 5 1 Men Konfiguration Funktionen select measuring mode Men s Funktionen sind nur aktiv wenn vorher Betriebsarten 1 2 oder 3 eingestellt wurde select measuring mode Kap 5 3 8 ab Seite 53 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 47 Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfiguration Service Funktionen Betriebsart 1 2 3 Fibersonnarierelean Anzeige des aktuell ber die Faseranschlussdose zur ckkommenden Lichts in Load setup Gespeicherte anwenderspezifischer Setup Daten laden Store setup Abspeichern anwenderspezifischer Setup Daten Set default parameter Zur cksetzen auf Standardeinstellung Defaultparameter take white reference Erfassen der Wei Referenz Show operation data V V y Anzeige von Gesamt und Lampenbetriebsstunden Anzahl Startvorg nge Reset lamplife timer Setzt Lampenstunden zur ck auf O Set lamplife alert time Alarmzeit einstellen Set system constants Platzhalter fur die Wahl verschiedener Lichtquellen Tab 5
21. kann Bei bersteuerung wird 255 255 ausgegeben Daher ist es ratsam bei h ufiger bersteuerung ein anderes Synchronisationswort zu w hlen Die folgende Tabelle beschreibt die Situation 114 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 9 Anhang a a oe ee ee BEE Korrekte Interpretation intens val default sync data val data val Saturation sequence new telegram Fehlerhafte Interpretation default sync data val new sequence telegram wrong Beispiel 1 SSQ 254 253 Beachte 254 253 Binarwerte 254 and 253 Antwort SSQ 254 253ready CR LF Beachte Die kundenspezifische Synchronisationssequenz wird aus Kompatibilitatsgrunden im nicht fluchtigen Speicher nicht gespeichert SSSU Speichern der Einstellung Save Setup Speichert die aktuellen Einstellungen in dem nicht fl chtigen Speicher EEPROM Sie werden beim n chsten Start wieder geladen SSTA Starte die Datenausgabe Start serial data output Dieser Modus kann im EEPROM gespeichert werden Der Sensor beginnt nach einem erneuten Start sofort mit der Datenausgabe auch STO SSTO Stoppt die Datenausgabe Stop serial data output Dieser Modus kann im EEPROM gespeichert werden In dem Fall liefert der Sensor nach einem erneuten Start so lange keine Daten bis der Befehl STA empfangen wird auch STA SSTS Status Status Beachte Kommando ist veraltet da es nur einen Auszug der verf gbaren Informationen
22. nicht erforderlich Die Synchronisationssequenz dient nur zur Kontrolle des Synchronisationszustands ber das Kommando SSQ kann die Synchronisationssequenz gegen eine beliebig andere ausgetauscht werden Eine Synchronisation kann auf zwei Wegen erreicht werden Man stoppt den Datenfluss vom Ger t indem vom Computer ein Befehl gesendet wird Nachdem das Ger t diesen Befehl ausgef hrt hat sendet es ready CR LF und beginnt mit der bertragung eines neuen Datenpakets Wird die Synchronisationssequenz nicht an der erwarteten Stelle empfangen kann auf die korrekte Synchronisationssequenz gewartet werden 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 79 Irrt mer und nderungen vorbehalten 6 Daten bertragung Schnittstellen bertragungszeit Bei der Auswahl der Baudrate der Messrate der Anzahl der Messwerte die gemittelt werden dem Datenformat und der Messwerte die bertragen werden sollen muss f r die Ubertragungszeit folgender Zusammenhang beachtet werden Die T Zeit die pro Byte f r die bertragung ben tigt wird errechnet sich zu 10 Tp Se US Baudrate Die Zeit die insgesamt f r das bertragen eines Datenpakets zur Verf gung steht ist gerade der Kehrwert der eingestellten Messrate wenn nicht ber mehrere Einzelmessungen gemittelt wird Wird der Kehrwert der eingestellten Messrate durch T dividiert erh lt man die Anzahl der Bytes N die in einem Zyklus bertragen werden k nnen Bei
23. nur Original Ger te und Ersatzteile und beachten Sie die Hinweise zur EMV gerechten Installation in den entsprechenden Handb chern Wird der optische Sensor innerhalb einer Anlage zusammen mit anderen Ger ten betrieben so muss bei der Inanspruchnahme der allgemeinen Betriebsgenehmigung die gesamte Anlage den Bestimmungen der EG Richtlinien entsprechen 1 4 Verpflichtung von Betreiber und Personal Der Betreiber des Ger ts ist verpflichtet nur Personen an dem Ger t arbeiten zu lassen die e mit den grundlegenden Vorschriften ber Arbeitssicherheit und Unfallverh tung vertraut und in die Handhabung des Ger ts eingewiesen sind e das Sicherheitskapitel dieser Bedienungsanleitung gelesen verstanden und dies durch ihre Unterschrift best tigt haben Das Personal muss entsprechend den Vorschriften und Sicherheitshinweisen belehrt und auf die m glichen Gefahren hingewiesen werden 8 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 1 Zu Ihrer Sicherheit 1 5 Sicherheitsma nahmen im Normalbetrieb Wenn anzunehmen ist dass ein gefahrloser Betrieb nicht mehr m glich ist muss das Ger t beziehungsweise die Anlage au er Betrieb gesetzt werden Eine Sicherung gegen unbeabsichtigten Gebrauch ist vorzunehmen Unzul ssige Eingriffe f hren zum Verlust der Gew hrleistungsrechte Der Versuch die Software zu kopieren oder zu analysieren f hrt unweigerlich zu einem Systemfehler und dem V
24. r die Dispersionskorrektur zur Dickenmessung Argument in Gleitkomma oder als Dezimalpunkt O steht f r keine Aberration Analogausgang Konfigurieren Nummer des Ausgangs 0 oder 1 n Index des Datenwerts VO Wert fur O V v10 Wert f r 10 V ASCII Datenausgabe erfolgt im ASCII Format Datenmittelung Anzahl der Mittelungen Mittelung berholtes Kommando besser AVD oder AVS verwenden Bei Verwendung dieses Befehls wird die Mittelung des Rohspektrums wieder auf 1 gesetzt Spektrenmittelung Anzahl der Spektrenmittelungen Bin r Format Datenausgabe im Bin r Format Baudrate Index der Baudrate in Bit s O 9600 1 19200 2 38400 3 57600 4 115200 5 230400 6 A60800 7 921600 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Befehl Argument Abfrage mit statt eines Arguments Antwort lt 0 1 2 gt lt 2147483648 4294967295 gt equalize noise 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Falls nicht erfolgreich Error PrepInterfMODE lt x gt x ist ein Fehlercode lt Start Pixel gt lt Stopp Pixel gt Bei ungultiger Einstellung Lange des kurzeren Belichtungsintervalls in not valid des Abtastintervalls lt n gt lt x gt n Index der kleinsten m glichen Messrate x kleinste Frequenz in Hz Gleitkomma Encoder Position 9 Anhang Bemerkung CCD Range
25. t sind folgende Auswahlm glichkeiten implementiert e Betriebsart 1 confocal 1 surface f r Abstandsmessung e Betriebsart 2 confocal 2 surfaces f r Schichtdickenmessung und e Betriebsart 3 interfer thickness f r die Dickenmessung von Einschicht und Mehrschichtsystemen Option Ist Betriebsart 3 im Ger t nicht implementiert so wird nach einem g ltigen Passwort gefragt und diese Option kann nachger stet werden Betriebsanleitung OC Sharp 53 5 Konfiguration i Zwischen der Betriebsart 1 und Betriebsart 2 kann einfach umgeschaltet werden Alle chromatischen Messk pfe sind f r beide Betriebsarten ausgelegt m ssen jedoch auf das Ger t kalibriert werden Die interferometrische Messmethode Betriebsart 3 Option kann nur mit einem speziellen interferometrischen Messkopf durchgef hrt werden Daf r wird eine spezielle Software und Kalibrierung ben tigt die jederzeit von SICK nachger stet werden kann Die Betriebsart 3 kann zu Testzwecken fur 5 Minuten freigeschaltet werden Hierzu wird unter Config gt Betriebsart 3 angew hlt und anschlie end das Passwort 0000000001 eingegeben Es folgt die Meldung eval of interf mode OC Sharp will stop in 5 min Betriebsart aufrufen Betriebsart 1 F1 gt F4 Config gt F3 select measuring mode ausw hlen Abstand F4 u A Config sel function lt lt select measuring mode gt Select measuring mode confocal 1 surface Aktuell ei
26. vom Spektrometer gemessene Rohspektrum kann gemittelt werden um das Rauschen zu reduzieren Dies erweitert den dynamischen Bereich da das Rauschen durch den Faktor 1 sart n reduziert wird w hrend das S ttigungslimit erhalten bleibt Um die erweiterte Dynamik nutzen zu k nnen muss der Schwellenwert STHR entsprechend reduziert werden Vorsicht bei der Verwendung der Spektrenmittelung in folgenden Situationen e interferometrischer Messbetrieb und bewegliche Messobjekte besonders bei gro en Dicken Die berlagerung unterschiedlicher Spektren kann zur Ausl schung der Interferenz f hren e Konfokaler Messmodus und schnell wechselnde Distanzen Der spektrale Antwortpeak wird erweitert und daher das Ergebnis weniger zuverl ssig e im Doppelbelichtungsmodus DCY 100 ist die Spektrenmittelung nicht m glich Im Trigger each mode gibt es nur einen Puls am Sync out zu Beginn der zu mittelnden Daten Dieser Puls signalisiert den Beginn der ersten gemittelten Belichtung des Intervalls In den anderen Moden wird pro CCD Belichtung ein Puls am Sync out erzeugt unabh ngig von der Mittelung Beispiel 1 SAVS 10 CR Antwort SAVS 10 CRjready CR LF Beispiel 2 SAVS Antwort SAVS 200ready CR LF auch AVD AVR 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 101 Irrt mer und nderungen vorbehalten 9 Anhang SBDR lt 0 1 2 3 4 5 6 7 gt SBIN SCRA lt O 999 gt lt 0 999 gt oder SCRA SCTN SDCY lt
27. von einer kalten in eine warme Umgebung gebracht wird Warten Sie unbedingt mit der Inbetriebnahme bis das kalte Ger t die Raumtemperatur angenommen hat Je nach Luftfeuchtigkeit und Raumtemperatur kann dieser Vorgang zwei bis drei Stunden dauern Inbetriebnahme des Ger ts 1 Messkopf und Sensor ber die optische Faser miteinander verbinden e Faserverbindung zum Messkopf Schutzkappe am FC APC Stecker vorsichtig entfernen den Stecker in die Faserdose am Messkopf einf hren und handfest verschrauben Bei Einsetzen des Steckers darauf achten dass der Steg in die Nut der Dose eingreift e Faserverbindung zum Sensor Das Stecksystem E 2000 verf gt ber automatische Schutzkappen die sich beim Einsetzen in die Ger tedose selbstt tig ffnen Der Stecker wird einfach in die Dose am Ger t eingef hrt bis die Verriegelung einrastet Zum Entfernen wird die Entriegelung am Stecker gedr ckt und der Stecker vorsichtig herausgezogen 2 Ger t mit separatem Netzteil verbinden Nach Herstellung der Spannungsversorgung erfolgt die Initialisierung f r einige Sekunden wird die Informationsanzeige Versions Nummern der internen Software am Display angezeigt Vor Beginn einer Messung sollten die verschiedenen Einstellungen des Ger ts gepr ft ggf neu konfiguriert werden Beispielsweise e Betriebsart e die Messrate e die Mittelwertbildung usw Kap 5 3 Ger t konfigurieren Config Seite 47 8014850 2014 07 SICK Betrie
28. zu erh htem Streulicht und k nnen das Messergebnis negativ beeinflussen Diese Funktion erleichtert es verunreinigte Faserendfl chen zu lokalisieren Die eingeschaltete Funktion zeigt das gemessene Streulicht an Nun kann die Faser gereinigt werden Anschlie end Dunkelabgleich durchf hren Fiber connector clean aufrufen F1 gt F4 Config gt F2 F3 service functions gt F4 F2 F3 fiber connector clean Choose service functions Fiber connector clean gt Mit F4 Vorgang starten Fiber cleaning monitor Stray light 64 0 Streulicht in folgenden Kombinationen kontrollieren e Sensor ohne angeschlossene Faser und Messkopf e Sensor mit angeschlossener Faser ohne Messkopf e Sensor mit Faser und Messkopf Ist die Faserendfl che mit dem gr ten Streulicht gefunden dann diese mit einem sauberen fuselfreien Tuch reinigen Die Faseranschlussdose im Sensor mit den im Lieferumfang enthaltenen Reinigungsst bchen reinigen Kap Fehler Verweisquelle konnte nicht gefunden werden Fehler Verweisquelle konnte nicht gefunden werden Seite Fehler Textmarke nicht definiert Mit einer Funktionstaste die Abfrage zum Dunkelabgleich starten Acqu of dark signal No Yes Mit F4 Yes den Dunkelabgleich starten Acqu of dark signal Taking dark reference Nach dem Dunkelabgleich schaltet das Ger t in das Hauptmen Informationen zum Reinigen optischer Faserendfl chen finden Sie im Kapitel Wartung
29. 0 49 100 gt Baudrate Baud rate Die Baudrate der seriellen Schnittstelle kann auf vorgegebene Werte zwischen 9600 und 921600 eingestellt werden F r die RS 232 Schnittstelle wird die Ubertragungsrate 115200 Bd default empfohlen Fur die virtuelle USB Schnittstelle ist die Baudrate auf 9216200 festgelegt Index Baudrate O 9600 1 19200 2 38400 3 57600 4 115200 5 230400 6 460800 T 921600 Beachte Nur mit korrekt gesetzter Baudrate k nnen die Befehle gesendet werden Die Baudrate wird unverz glich mit dem Senden des Befehls umgestellt es wird kein ready CR LF zur ckgegeben Um mit der Kommunikation fortzufahren muss der PC Port geschlossen werden und mit der neuen Baudrate wieder ge ffnet werden Wechselt zum bin ren Ausgabeformat auch ASC Einstellen des CCD Bereichs Set CCD Range Setzen des Start und Stopp Pixels der CCD Zeile im interferometrischen Messmodus Erster Parameter Start Pixel Zweiter Parameter Stopp Pixel Typische Werte f r den Sensor sind Start 40 und Stopp 600 ACHTUNG Bei der Eingabe von nicht geeigneten Werten geht der Sensor nicht in den interferometrischen Messmodus ber Beispiel 1 SCRA 40 600 CR Antwort SCRA 40 600 CR ready CR LF Beispiel 2 SCRA 40 50 CR Antwort SCRA 40 50 CR Error PrepInterfMODE FFready CR LF kein g ltiger Bereich Beispiel 3 SCRA Antwort SCRA 40 600ready CR LF Fortfahren Continue Fortsetzen des Normalbetriebs Beendet den Trigger
30. 141 CR Int ok CR LF ready CR LF Bei zu wenig Licht Antwort SWHT3141 CR Int too weak CR LF ready CR LF Bei zu viel Licht Antwort SWHT3141 CR Int too high CR LF ready CR LF 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 117 Irrt mer und nderungen vorbehalten 9 Anhang 9 4 Zeitdiagramme 9 4 1 Sync input sync In Timing sync In sih Tsinmaxshort tsil gt tsieycmin1 tsicyemin2 tsicyemin3 tsicye w bew a In fen borm o Sd Tannas on Smeinnignmartorshonmggermie m i a Sync in min cycle for valid trigger ext timing mode 9 4 2 Sync In CCD Exposure Sync Out Sync In CCD Exposure Sync Out teiso Sync Out tsoshort tsolo ng CCD Exposure CCD Exposure tsoccDexp Saba T A Neh Delay Sync out to start CCD exposure 118 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 9 4 3 CCD Exposure to Result Output Timing CCD Exposure to Result Output Timing CCD exposure n n 1 lecbexp CCD readout calculation fy Result output on In output tea 9 Anhang n n ewe o0 osem o time from end of CCD exposure to start result output time from end of CCD exposure to analog out 9 4 4 Normal Trigger Mode Timing Normal Trigger Mode Timing CCD exposure ae ee u tsample tsample sample tsample 9 4 5 Trigger Each Mode Timing Trigger Each Mo
31. 25 44 E Mail info sick nl SICKAG Waldkirch Germany www sick com Norge Phone 47 67 8150 00 E Mail sick sick no Osterreich Phone 43 0 22 36 62 28 8 0 E Mail office sick at Polska Phone 48 22 837 40 50 E Mail info sick pl Romania Phone 40 356 171 120 E Mail office sick ro Russia Phone 7 495 7 75 05 30 E Mail info sick ru Schweiz Phone 41 41 619 29 39 E Mail contact sick ch Singapore Phone 65 6744 3732 E Mail sales gsg sick com Slovenija Phone 386 0 1 47 69 990 E Mail office sick si South Africa Phone 27 11 472 3733 E Mail info sickautomation co za South Korea Phone 82 2 786 6321 4 E Mail info sickkorea net Suomi Phone 358 9 25 15 800 E Mail sick sick fi Sverige Phone 46 10 110 10 OO E Mail info sick se Taiwan Phone 886 2 2375 6288 E Mail sales sick com tw Turkiye Phone 90 216 528 50 00 E Mail info sick com tr United Arab Emirates Phone 971 0 4 88 65 878 E Mail info sick ae USA Mexico Phone 1 952 941 6780 1 800 325 7425 tollfree E Mail info sickusa com More representatives and agencies at www sick com SICK Sensor Intelligence
32. 4850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten N N me N SL 5 Konfiguration Mit F2 F3 kann innerhalb der Auswahlliste zwischen den verschiedenen Messk pfen gebl ttert werden Die Auswahlliste enth lt 16 Speicherpl tze von Nr O bis Nr 15 Mit F4 Auswahl best tigen Das Auswahlfenster wird geschlossen und das Konfigurationsmen ge ffnet Bei einem Ger t das mit nur einem Messkopf ausgeliefert wird ist immer Speicherplatz Nr O belegt brige Eintr ge der Auswahlliste sind ohne Bedeutung sie dienen als Platzhalter Die Auswahl einer anderen Messkopfnummer Messbereiches ergibt nur dann Sinn wenn der zugewiesene Messkopf werkseitig mit dem Ger t kalibriert wurde Wird aus irgendeinem Grund das Ger t mit einem Messkopf des gleichen oder eines anderen Typs nach umger stet so muss das Ger t zur Kalibrierung an SICK geliefert werden Eine bersicht der von SICK serienm ig hergestellten optischen Messk pfe finden Sie im Kap 2 5 Zubeh r auf Seite 22 Kommando SEN lt Tabellenplatz des Messkopfs gt 5 3 8 Betriebsart ausw hlen select measuring mode Betriebsarten 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Die Messung von Abst nden Dicken transparenter d nner Schichten mit dem optischen Sensor kann in verschiedenen Betriebsarten durchgef hrt werden Unter select measuring mode kann zwischen den Betriebsarten umgeschaltet werden Im Ger
33. 87 86 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 7 Wartung 7 1 Messkopf optische Faser pflegen reinigen Bei bekannten Messobjekten wird die Messempfindlichkeit nicht erreicht optische Komponenten pr fen und reinigen Frontlinse am Messkopf und die Faserenden Optische Faser _Frontlinse Messkopf Faserdose Messkopf Faserdose Ger t Abb 7 1 Wartung Sensor Messkopf pflegen ACHTUNG Frontlinse Auf der Frontlinse des Messkopfs befindet sich eine Antireflexschicht Chemische Reaktion z B Losungsmittel kann diese beschadigen Staub entfernen reines fettfreies und trockenes Gas aus Druckdosen verwenden Entfetten ein in Ethanol getranktes weiches fusselfreies Tuch verwenden oder Objektivreiniger aus dem Fotohandel Zum Reinigen der Anschlusse am Sensor ist im Lieferumfang ein Packchen Reinigungsstabchen enthalten Diese k nnen verwendet werden fur die Anschl sse des E2000 Systems sowie die FC APC Anschlusse am Sensor Stabchen nur einmal und trocken verwenden 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 87 Irrt mer und nderungen vorbehalten 7 Wartung Abb 7 2 Reinigungsst bchen verwenden St bchen mit der wei en Seite zur Reinigung in die Dose einf hren Dose E2000 System Metallfeder leicht nach unten dr cken St bchen einmal um seine L ngsachse drehen und wieder entfernen Zum Lokalisieren der verschmut
34. Artikelnummer 22 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 2 Produktbeschreibung D Faseranschluss Lichtwellenleiter Mittlerer Arbeitsabstand 2 6 5 Me 33 rae 15 110 Q 120 125 Abb 2 6 600 um Messkopf 49 8995 Abb 2 7 3 mm Messkopf 36 8988 Abb 2 8 12 mm Messkopf 2 5 2 2 Interferometrische Messk pfe Die interferometrischen Messk pfe zeichnen sich durch kompakte Bauweise aus und dienen der Schichtdickenbestimmung an transparenten d nnen Schichten von 3 um 180 um optische Wegl nge Sensor OC Sharp Anwendung Schichtdicke Messverfahren Interferometrisch Fu noten 1 Unterkante Messkopf bis Mitte Messbereich 2 abnehmende Genauigkeit zu den Grenzwerten 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 23 Irrt mer und nderungen vorbehalten 2 Produktbeschreibung Numerische Apertur 000 a 1 Bei Brechungsindex n 1 Tab 2 3 Interferometrische Messkopfe Technische Daten Faseranschluss Lichtwellenleiter Mittlerer Arbeitsabstand 15 008 Abb 2 9 interferometrischer Messkopf 3 180 um 40 um Spot 24 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 3 Inbetriebnahme 3 Inbetriebnahme 3 1 bersicht Inbetriebnahme Vorsicht Feuchtigkeitsbildung im Ger t Auf und im Ger t kann sich Feuchtigkeit niederschlagen wenn es
35. Auswahlfenster wird geschlossen und das Konfigurationsmen ge ffnet 5 3 12 Anzeigeeinstellungen set display hold time 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Men Funktion ist nur in Betriebsart 3 aktiv bei dem interferometrischen Messverfahren Mit set display hold time bei einer Handmessung den Messbereich in Z Richtung abfahren Der qualitativ beste Messwert wird dabei f r die eingestellte Zeit angezeigt Misst der Sensor einen Qualit tswert der ber dem eingestellten Schwellenwert Q xx set Q threshold Kap 5 3 6 Seite 50 liegt so wird dieser f r die eingestellte Zeit angezeigt Ausnahme es wird ein h herer Wert gefunden Anzeigeeinstellung aufrufen F1 gt F4 Config gt F3 set display hold time ausw hlen Conft1lg Sel Timetion lt set display hold time gt Interf Mode best O dis play holdtime 0 0 sec Mit F2 down und F3 up die Zeit ndern von Os bis 60 s in einer Schrittweite von 0 5 s Mit F1 esc oder F4 next die Eingabe beenden Das Auswahlfenster wird geschlossen und das Konfigurationsmenu ge ffnet Betriebsanleitung OC Sharp 61 5 Konfiguration 5 3 13 Auswahl der ausgegebenen Messwerte ber RS 232 RS 422 und USB set serial output data Mit set serial output data festlegen welche Messwerte in jeder Betriebsart ber die RS 232 RS 422 oder USB Schnittstelle bertragen werden Output Messwerte einstellen F1 gt F4 Config gt
36. BETRIEBSANLEITUNG OC Sharp SHORT RANGE DISTANZSENSOREN SICK Sensor Intelligence Beschriebenes OC Sharp Produkt SICK AG Erwin Sick Str 1 79183 Waldkirch Hersteller Deutschland Dieses Werk ist urheberrechtlich gesch tzt Die dadurch begr ndeten Rechte bleiben bei der Firma SICK AG Die Vervielf ltigung des Werks oder von Teilen dieses Werks ist nur in den Grenzen der gesetzlichen Bestimmungen des Urheberrechtsgesetzes zul ssig Rechtliche Hinweise Jede nderung K rzung oder bersetzung des Werks ohne ausdr ckliche schriftliche Zustimmung der Firma SICK AG ist untersagt Die in diesem Dokument genannten Marken sind Eigentum ihrer jeweiligen Inhaber SICK AG Alle Rechte vorbehalten Originaldokument Dieses Dokument ist ein Original Dokument der SICK AG Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Inhaltsverzeichnis 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Inhaltsverzeichnis Zu Ihrer Sicherheit 1 1 Gew hrleistung und Haftungen 1 2 Sicherheitssymbole diss Bestimmungsgem e Verwendung 1 4 Verpflichtung von Betreiber und Personal 1 5 Sicherheitsma nahmen im Normalbetrieb 1 5 1 Schutz vor elektrischem Stromschlag 1 5 2 Schutz vor optischer Strahlung Augensicherheit 1 6 Lagerung und Transport 1 7 Verhalten im Notfall Produktbeschreibung 22 Gesamtansicht 2 2 Anschl sse Schnittstellen 2 3 Senso
37. ES N R TI N oo ESC 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfiguration Spektralbereich aufrufen F1 gt F4 Config gt F3 partial spect supress ausw hlen Contiq sel function lt partial spect Suppress gt lt Begin suppressed range gt Begin Pixelpos 0 Begin Pixelpos 0000 ESC down up next Mit F2 down und F3 up die markierte Ziffer ndern und mit F4 next den Cursor zwischen den Ziffern bewegen lt End of suppressed range gt End Pixelpos Q Mit F2 und F3 in der Auswahlliste zwischen Begin End der Pixelposition rauf runterbl ttern Begin Pixelpos 00000 ESC down up next End Pixelpos 00000 ESC down up next Mit F4 das jeweilige Eingabefenster ffnen Beispiel f r den ausgelesenen Wert CCDpos 18413 sind empfehlenswert Begin Pixelpos 18300 und End Pixelpos 18600 Mit F2 down und F3 up die markierte Ziffer ndern und mit F4 next den Cursor zwischen den Ziffern bewegen Mit F1 esc die Eingabe beenden Das Bearbeitungsfenster wird geschlossen und das Auswahlfenster des Spektrumbereichs ge ffnet Begin End festlegen Mit F1 die Auswahl best tigen Das Auswahlfenster wird geschlossen und das Konfigurationsmen ge ffnet Betriebsanleitung OC Sharp 69 5 Konfiguration 5 3 18 Faseranschl sse reinigen Fiber connector clean N IN Er 70 Verunreinigungen auf den Faserendfl chen f hren
38. ICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Mit der Messrate wird eingestellt die Menge der erfassten Messwerte pro Zeiteinheit Bei einer eingestellten Messrate von 4000 Hz werden in jeder Sekunde 4000 Messwerte erfasst Hilfreich beim richtigen Einstellen ist die Intensit tsanzeige Mit m glichst hoher Messrate messen um viele Messwerte in kurzer Zeit zu erfassen Messrate reduzieren bei Oberfl chen mit sehr geringem Reflexionsverm gen Dadurch wird die CCD Zeile des optischen Sensors l nger belichtet und die Messung bei sehr geringer reflektierter Intensit t ist m glich Eine bersteuerung der CCD Zeile bei hochreflektierenden Oberfl chen und kleiner Messrate kann zu Messfehlern f hren Falls die Intensit tsanzeige Int 999 blinkend angezeigt wird liegt eine bersteuerung vor Bei Ubersteuerung sollte die n chst h here Messrate eingestellt werden Bei maximaler Messrate 4000 Hz kann die reflektierte Intensit t verringert werden e indem der Messkopf in den oberen oder unteren Grenzbereich des Messbereiches positioniert wird e indem die Belichtungszeit manuell reduziert oder die Autoadapt Funktion eingeschaltet wird Kap 5 3 9 ab Seite 57 Wird der letzte Punkt durchgef hrt so ist unbedingt ein Dunkelabgleich erforderlich Betriebsanleitung OC Sharp 41 5 Konfiguration 5 2 1 Messrate festlegen S Rate F1 ESC F3 gt SL u Clear II CCD Scan rate Es wird die aktuelle Mess
39. Messablauf den Dunkelabgleich FDK durch Kap 9 3 ab Seite 92 Beachten Sie dass beim Durchf hren des Dunkelabgleichs das Ger t seine Betriebstemperatur erreicht Warmlaufzeit ca 10 Minuten in Abh ngigkeit von der Umgebungstemperatur und sich innerhalb des Messbereiches des Messkopfs kein Messobjekt befindet Der Messkopf darf nicht direkt auf eine Lichtquelle gerichtet sein Mit F1 Hauptmen aufrufen Irrt mer und nderungen vorbehalten Anzeige zum Dunkelabgleich Fam 5 Konfiguration Nach dem Dunkelabgleich wird der Wert des erfassten Streulichts angezeigt Dieser ist von unterschiedlichen Faktoren abh ngig z B Verschmutzung der Faserendfl chen Faserl nge Lichtquelle Je kleiner der ausgegebene Wert desto weniger Streulicht beeinflusst die Messdynamik des Sensors Der ausgegebene Wert gibt die geringstm gliche Messrate in Hz wieder Dieser sollte unter 150 liegen Je mehr Streulicht von den Faserendfl chen reflektiert wird desto h her ist diese Zahl Kap 1 ab Seite 86 Wird beim Dunkelabgleich zu viel Streulicht erfasst beispielsweise nach einem Wechsel oder Neuanschluss des Messkopfs sind verschmutzte Faserendfl chen oft die Ursache Nach dem Dunkelabgleich schaltet das Ger t in das Hauptmen Informationen zum Reinigen der optischen Faserendfl chen finden Sie im Kapitel Wartung Kap 1 ab Seite 86 Kommando SDRK 5 2 Messrate einstellen Einstellbereich 8014850 2014 07 S
40. Messrate parametriert wurde Bei einer Abfrage mit nachgestelltem Fragezeichen werden der Index der Messrate sowie die dazugeh rige Messrate in Hertz Falls die ausgew hlte Messrate nicht verf gbar ist erfolgt die Ausschrift not valid und die aktuelle Messrate wird beibehalten Jede Ver nderung der Messrate mit SRA aktiviert den einfachen Belichtungsmodus d h das Belichtungsverh ltnis wird auf 100 gesetzt DCY100 Beispiel 1 SSRATICR Antwort SSRA7 CR ready CR LF Beispiel 2 SSRA Antwort SSRA 7 2000HZready CR LF Beispiel 3 SSRA Antwort SSRA 127 1235HZready CR LF Beachte Im Beispiel 3 wurde vorher mit SHZ eine Messrate von 1235 Hz auch SHZ DCY Brechungsindex einstellen Set Refractive Index Um die korrekte Dicke unter Berucksichtigung der Dispersion am Display des Sensors zu sehen kann mit diesem Befehl der Brechungsindex eingestellt werden Die Eingabe kann als Gleitkommazahl erfolgen Beachte Um die korrekten Dickenwerte zu erhalten m ssen diese mit dem Brechungsindex multipliziert oder dividiert werden Kommando SCA Diese Einstellung ist nur f r die Betriebsanleitung OC Sharp 113 9 Anhang SSRT lt 0 16 gt Dispersionskorrektur und die Anzeige des exakten Werts im Display verantwortlich Die Dickenwerte die am Analogausgang oder den seriellen Schnittstellen ausgegeben werden werden als Integerwert bezogen auf den Full scale Wert ausgegeben und ber cksichtigen nich
41. R Antwort SETR 6 1 CRjready CR LF Externer Trigger External Timing In dieser Betriebsart wird die Belichtung der CCD durch einen Trigger gesteuert So kann der Sensor z B mit einem anderen Sensor synchronisiert werden welches im Freilauf oder im Triggerbetrieb ist Hierzu wird der Sync out des Master Sensors an den Sync In des Slaves angeschlossen Dieser Betrieb ist ebenfalls sinnvoll wenn die volle Messrate genutzt werden soll und jede Messung extern getriggert werden soll Im Trigger each Betrieb ist die maximale Messrate auf 1 kHz begrenzt Jeder Trigger beendet die laufende Belichtung und startet eine neue Nach der Belichtung wird die CCD Zeile ausgelesen und die Messergebnisse werden berechnet Das bedeutet dass das erste Datentelegramm ung ltig ist da die Belichtungszeit unbekannt ist Die aktuelle Belichtungszeit kann im Datentelegramm als Datenwort Nr 10 ausgelesen werden Sie wird als ein Vielfaches von 1 640000 Sekunden dargestellt Die externe Triggerung kann durch einen der folgenden Befehle beendet werden CTN SRA SHZ TRE Die Intensit tseinstellung mit SLAI und die automatische Intensit tsanpassung mit SAAL1 ist in diesem Modus nicht m glich da die Belichtungszeit nicht im Voraus bekannt ist auch TRG TRE ETR Betriebsanleitung OC Sharp 105 9 Anhang SFDK lt 1 999 gt lt 0 32767 Schneller Dunkelabgleich Fast Dark Dieser Befehl bewirkt einen Dunkelabgleich ausschlie l
42. SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 3 Inbetriebnahme Mk desem Assetenten k nnen Si Soltware fur che folgende Hardwarekomponende insialleren OC Sharp A Falls die Hardwarekomponente mit einer CD oder Diskette geliefert wurde legen Sie diese oe jetzt ein Whe mochten Sie vorgehen Schwan suicmalischmebelieren Jemniohlen Software von einer Liste oder bestimmten Quelle mstaleren fur fortgeschrittene Benutzer Klicken Sie auf weiter um den Vorgang fortzusetzen Abb 3 2 Treiberinstallation 1 Den Pfad zum Verzeichnis indem sich der Treiber befindet eingeben Hardwareinstallation Die Software die fur diese Hardware installiert wand OG sharp hat den Windows Logo T est nicht bestanden der die Kompatibilit t mit Windows P berpr ft Warum ist dieser Test wichtig Das Fortsetzen der Installation dieser Software kann die korrekte Funktion des Systems direkt oder in Zukunft beeintr chtigen Microsoft empfiehlt strengstens die Installation jetzt abzubrechen und sich mit dem Hardwarehersteller fur Software die den Windows Logo Test bestanden hat in Verbindung zu setzen Abb 3 3 Treiberinstallation Fortsetzung Nach Installation Vorgang zur Fertigstellung bestatigen 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 27 Irrt mer und nderungen vorbehalten 3 Inbetriebnahme Treiber f r den virtuellen Com Port installierten Assistent f r das Suc
43. Seite 51 und e um die Dicke der zum starksten Messsignal gehorenden Schicht die zu den Schichten gehorenden optischen Weglangen um mindestens 2 5 um unterscheiden mussen Das Ger t misst bis zu 3 unterschiedliche Schichtdicken gleichzeitig wobei sich Schichtdicke Die geometrische Schichtdicke wird jedoch nur dann angezeigt wenn bei der Auswahl der Betriebsart Kap 5 3 Seite 44 Abschnitt Betriebsart 3 der spezifische Brechungsindex des Messobjekts eingestellt wurde Wenn die Messung mit n 1 durchgef hrt wurde m ssen die Messwerte anschlie end durch n dividiert werden Fi Achten Sie darauf dass sich der eingegebene Brechungsindex nur auf die Anzeige am Display und nicht auf den an der Schnittstelle ausgegebenen Wert auswirkt Die Dispersionskorrektur Uber die Abbe Zahl bleibt aber erhalten In der oberen Anzeigenzeile wird ein senkrechter Strich angezeigt der mit wachsender Schichtdicke nach rechts wandert Befinden sich innerhalb des aktiven Messbereiches mehrere transparente Schichten so werden bis zu drei senkrechte Striche dargestellt deren Langen proportional zur Qualitat des jeweiligen Messsignals sind 36 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 4 Messung durchf hren Einschrankung des Messbereiches Durch Begrenzen des aktiven Messbereiches ist es moglich auch einen anderen Messwert als den mit der besten Qualitat Kap 5 3 6 ab Seite 51 anzuz
44. Setzen des CCD Bereichs fur den interferometrischen Messbetrieb Start Pixel Stopp Pixel Die Ausf hrung des Befehls muss berpr ft werden da ung ltige Werte nicht angenommen werden Continue Measuring Normalbetrieb fortsetzen Duty cycle Belichtungsverh ltnis der Doppelbelichtung in 1 49 oder 100 f r Einzelbelichtung Nur im konfokalen Messverfahren g ltig ACHTUNG Nicht alle Kombinationen von SHZ und DCY Einstellungen sind g ltig Einstellung durch Abfrage berpr fen Dunkelabgleich Dunkelabgleich durchf hren und speichern Encoder Position Index der Achse Position treated modulo 232 das Argument kann durch die Abfrage mit ersetzt werden um die Positionsangabe zu erhalten Detailbeschreibung Rauschen homogenisieren Nur im interferometrischen Messmode verf gbar Betriebsanleitung OC Sharp 5 90 G ltig ab 95 9 Anhang Befehl Argument Abfrage mit Bemerkung statt eines Arguments Antwort ETR lt Funk Index gt Detailbeschreibung Encoder Trigger lt Argument gt Detailbeschreibung i oo Oetabesctret Detailbeschreibung Identifikation Erweiterbares Kommando zur Sensor Identifikation Detailbeschreibung lt O 100 gt lt Wert in gt Lampen Intensit t LED Version Einstellung der Strahlzeit der LED zwischen 1 100 der Belichtungszeit Dieses Kommando schaltet die Autoadapt Funktion aus Halogen Version Lampenspannun
45. Setzt die Trigger Zustandsmaschine in den Ausgangszustand Warten auf Startposition Beispiel 1 SETR 3 1 CR Antwort SETR 3 1 CR ready CR LF e 4 Trigger w hrend der R ckfahrt an aus Argument O Standardeinstellung Der Encoder erzeugt nur w hrend der Fahrt von der Start zur Stopp Position Triggerereignisse 104 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten SEXT 9 Anhang Argument 1 Der Encoder Trigger ist auch wahrend der Ruckfahrt von der Stopp zur Start Position aktiv Beispiel 1 SETR 4 1 CR Antwort SETR 4 1 CR ready CR LF e 5 Auswahl Triggerachse Als Argument wird der Index der Achse die als Triggerquelle dienen soll bergeben Beispiel 1 SETR 5 O CR Antwort SETR 5 O CR ready CR LF e 6 Z hle Sync Pulse mit dem Achse O Encoder Z hler an aus Argument 0 Standardeinstellung Achse O Encoderzahler mit Encodereingang verbunden Argument 1 Achse O Encoderz hler z hlt Pulse auf dem Sync In Eingang Bemerkung Der Z hler verh lt sich im Sync In Pulsz hlmodus wie folgt Bit O LSB nimmt den invertierten aktuellen Zustand des Signals am Sync In Eingang an Bits 1 31 z hlen die steigenden Flanken des Signals am Sync In Eingang Die minimale Pulsbreite ist auf 1us 500kHz Z hlerfrequenz begrenzt um Fehler durch Leitungsreflexionen zu verhindern Beispiel 1 SETR 6 1 C
46. Trigger each und den External Timing Mode und wechselt zum normalen Betrieb Doppelbelichtungsmodus Duty Cycle Nur in Verbindung mit SSHZ Kommando benutzen Um eine h here Dynamik zu erreichen als standardm ig mit dem CCD Sensor m glich ist kann die Belichtungsdauer mit diesem Befehl in zwei Sub Intervalle unterschiedlicher Dauer gesplittet werden double exposure mode Das Messergebnis der l ngeren Belichtungszeit wird ausgegeben sofern die CCD nicht Ubersteuert hat Andernfalls wird das Ergebnis der k rzeren Belichtungszeit ausgewertet Daraus folgt dass die Intensit t nicht eindeutig dem kurzen oder dem langen Intervall zuzuordnen ist Daher sollte zus tzlich das Flag ausgelesen werden welches eine eindeutige Zuordnung erm glicht Alternativ kann die Belichtungszeit als Datenwort Nr 9 ausgegeben werden Die S ttigung bersteuerung wird wie gewohnt angezeigt Der im Kommando eingegebene Wert entspricht dem Anteil des k rzeren Subintervalls im Verh ltnis zur gesamten Belichtungsdauer in Prozent Die L nge dieses Intervalls kann keinen Wert lt 1 ms annehmen Hieraus ergibt sich eine Untergrenze f r das kleinere Subintervall in Abh ngigkeit von der aktuell eingestellten Messrate Fur eine eingestellte Messrate von 100 Hz bedeutet das dass kein Wert kleiner 10 einstellbar ist Werte gr er 49 sind ebenfalls nicht zul ssig Mit Ausnahme von 100 womit die Einzelbelichtung aktiviert wird Wird ein Wert nicht akzept
47. and oder aber eine Positioniereinrichtung mit Feinverstellung in Z Richtung H he in die der Messkopf eingesetzt wird Ist der Abstand des Messkopfs zu einer Oberfl che so eingestellt dass die Oberfl che im Messbereich liegt ndert sich die Anzeige Das linke Balkendiagramm stellt die Intensit t des Messsignals in einer logarithmischen Skalierung dar Darunter wird die Intensit t als Zahlenwert zwischen O und 998 in relativen Einheiten angegeben Wenn die Intensit tsanzeige 999 anzeigt und blinkt ist der Sensor bersteuert In diesem Fall kann zwar gemessen werden jedoch ist die Genauigkeit eingeschr nkt Das rechte Balkendiagramm zeigt in einer linearen Skalierung den aktuellen Messwert Unter dem Balkendiagramm wird der gemessene Abstand als Zahl in um ausgegeben Der Abstand der Oberfl che innerhalb des Messbereiches betr gt im oben dargestellten Bild 120 um Bei weiterer Ann herung des Messkopfs wird die angezeigte Distanz um kleiner Bei Verschieben des Messobjekts dessen Oberfl che gemessen wird kann am Display die Variation der Distanzanzeige beobachtet werden nur im Messbereich Wird der Abstand zu einer Oberfl che mit geringem Reflexionsverm gen gemessen kann die Intensit t des reflektierten Lichts zu klein sein Dann muss die Messrate verringert werden Kap 1 ab Seite 41 Umgekehrt k nnen bei bersteuerung des Sensors Intensit tsanzeige 999 blinkend Messfehler auftreten Bei bersteuerung i
48. anleitung OC Sharp 59 Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfiguration F1 WA ESC lt Stopp Pixelbereich stop Fixel 750 Esc down up next Der aktuelle Pixelbereich wird angezeigt Mit F2 down und F3 up die markierte Ziffer ndern mit F4 next den Cursor zwischen den Ziffern bewegen und mit F1 esc die Eingabe beenden Das Auswahlfenster wird geschlossen und die Sicherheitsfrage zum ndern aktiviert Password 0000000000 Esc down up next Accept value 0000000001 No Yes Mit F4 yes diesen Pixelbereich best tigen oder mit F1 no die Eingabe beenden Das Auswahlfenster wird geschlossen und das Konfigurationsmen ge ffnet Kommando CRA lt Startpixel Stoppixel gt am Die im Gerat eingestellten Werte sind fur die meisten Messaufgaben ideal Nur in Ausnahmef llen ndern 60 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfiguration 5 3 11 Kontrasteinstellung Display LCD contrast Z lt F2 F3 A AT F1 ESC Unter LCD contrast kann der Kontrast des Displays an die rtlichen Gegebenheiten angepasst werden Kontrasteinstellung aufrufen F1 gt F4 Config gt F3 LCD contrast ausw hlen Config Sel Tunetion lt LCD Contrast gt LED ate lamers on 200 ESC down up Die aktuelle Einstellung wird angezeigt Mit F2 down und F3 up den Kontrastwert schrittweise ndern Mit F1 esc die Eingabe beenden Das
49. ausgelesen werden Befehl SCA Kap 9 3 ab Seite 92 ASCII Format Im ASCII Format ist jeder Messwert mit 5 ASCII Zeichen kodiert Die einzelnen Werte die zum selben Messpunkt geh ren sind durch ein Komma getrennt Am Ende einer Messung werden die Kontrollzeichen CR LF angeh ngt BIN Format Beim bertragen im Binar Format wird jeder Messwert als 2 Byte das MSB zuerst bertragen Jedes Byte besteht unabh ngig vom gew hlten Format aus 1 Start Bit 8 Daten Bits 1 Stop Bit Vor jedem Datenwort wird zur Synchronisation OxFF OxFF bertragen Ox kennzeichnet die hexadezimale Schreibweise Die maximale Anzahl der zu bertragenden Messwerte pro Einzelmessung h ngt neben dem gew hlten Format ASCII Bin r und der Datenstruktur auch von der Ubertragungsgeschwindigkeit ab Datendurchsatz Beim bertragen im Bin r Format k nnen auch bei einer hohen Messrate mehrere Messwerte ausgelesen werden vgl Tab 6 1 Seite 81 Da der Wert OxFF auch als Wert im Fluss der Bin rdaten auftreten kann reicht es zur Synchronisation nicht aus einfach auf die angegebene Synchronisationssequenz OxFF OxFF zu warten Diese Synchronisationssequenz dient nur dazu den Start der bertragung von Messdaten anzuzeigen nicht aber den Start jedes einzelnen Datenpakets Synchronisation der Daten bertragung Da die einzelnen Datenpakete eine bekannte L nge haben ist eine Synchronisation bei der bertragung jedes einzelnen Datenpakets
50. bei spektraler d Linie 587 567 nm Bemerkung G ltig ab Version Auswahl der Ausgabe 5 90 daten Alle 16 m glichen Datenworte m ssen angesprochen werden 1 Ausgabe O Ausgabe ACHTUNG keine Die Befehle SOD und SODX durfen nicht gemischt werden Erweiterte Auswahl der 5 94 Ausgabedaten Definition der Ausgabedaten durch Aufz hlung der entsprechenden Indizes ACHTUNG Die Befehle SOD und SODX nicht mischen Messrate 5 90 Index der Messrate 3 32 Hz 4 100 Hz 5 320 Hz 6 1 kHz 7 4 kHz Bei Abfrage bedeutet 127 dass die Messrate mit SHZ eingestellt wurde Einstellen des 5 90 Brechungsindex bei der spektralen d Linie 587 567 nm Argument im Gleitkomma Format oder als Dezimalpunkt SRT lt 0 16 gt lt 0 16 gt Tabellennam lt O 16 gt Tabellenname e CR LF CR LF basierend auf ng und va lt 0 255 gt lt 0 255 gt Synchronisations Sequenz 5 90 Speichern 5 90 Speichert die eingestellten Parameter im EEPROM Brechungsindextabelle 5 96 ausw hlen O keine Tabelle gew hlt Dispersionsmodell 98 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 9 Anhang Befehl Argument Abfrage mit Bemerkung G ltig ab statt eines Arguments Version Antwort 5 90 Startet die serielle o WHT Int ok CR LF oder Int too weak CR LF oder Int too high CR LF Datenau
51. bsanleitung OC Sharp 25 Irrt mer und nderungen vorbehalten 3 Inbetriebnahme 3 2 Treiberinstallation USB Treiberinstallation Zur Kommunikation ber die USB Schnittstelle muss zuerst der Windows USB USB Schnittstelle Ger tetreiber installiert werden Der Treiber stellt auf dem Computer einen virtuellen COM Port zur Kommunikation mit dem Sensor zur Verf gung Jeder Sensor ben tigt seine eigene Treiberinstallation Nach dem Einschalten des Sensors und des Computers mit entsprechender Treiber Installations CD startet automatisch der Hardware Assistent treffen Sie die Auswahl entsprechend der folgenden Abbildungen i Abh ngig von Sensor und Betriebssystem Version k nnen die Fenster anders gestaltet sein USB Ger tetreiber installieren Dieser Vorgang muss zweimal ausgef hrt werden Assistent f r das Suchen neuer Hardware Wilkommen Es wird nach aktueller und aktualisierter Software auf dem Computer auf der Hardwareinstallations CD oder auf der Windows Update Website mit Ihrer Erlaubnis gesucht Datenschutznchtlinie anzeigen Soll eine Verbindung mit Windows Update hergestellt werden um nach Software zu suchen Ja nur diese eine Mal a und jedes Mal we Nein diesmal nicht sein Gerat angeschlossen wird Klicken Sie auf weiter um den Worgang fortzusetzen lt Zur ck Abbrechen Abb 3 1 Treiberinstallation Startfenster 26 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07
52. bung 2 5 Zubeh r 2 5 1 Optische Faser Die optischen Fasern stehen in verschiedenen Ausf hrungen zur Verf gung Sonderausf hrungen z B Sonderl ngen oder spezielle Ummantelungen k nnen bei SICK erfragt werden 2 5 2 Optische Messk pfe Durch die hohe Numerische Apertur und den kleinen Messfleckdurchmesser sind die Messk pfe f r viele messtechnische Anwendungen ideal Obere und untere H lfte der Messk pfe haben teilweise unterschiedliche Durchmesser Den Messkopf immer an der Unterseite befestigen Lichtaustrittseite mit gr erem Durchmesser Eine Halterung auf der Seite des Faseranschlusses kann zu Besch digungen f hren Nie die H lften gegeneinander verdrehen 2 5 2 1 Chromatische Messk pfe Die chromatischen Messk pfe zur Abstands und Schichtdickenmessung umfassen einen Messbereich von wenigen hundert Mikrometern bis hin zu mehreren Millimetern sodass f r jede Applikation ein passender Messkopf zur Verf gung steht Sensor OC Sharp Anwendung Distanz und Schichtdicke Messverfahren Chromatisch konfokal Fu noten Unterkante Messkopf bis Mitte Messbereich abnehmende Genauigkeit zu den Grenzwerten 9 bei Brechungsindex n 1 5 O om om om 90 30 90 30 90 15 105 8 x 49 l 61 1 mm 6053131 6053132 6053133 Tab 2 2 Chromatische Messkopfe Technische Daten Messbereich Numerische Apertur Messwinkel zur Oberfl che Dickenmessbereich Abmessung LxD mm
53. chaltet ist lt Index der Detailbeschreibung Detailbeschreibung Betriebsdaten 5 95 Funktion gt lt Wert Index der Funktion gt O Lampen Betriebsstunden 1 Lampen Betriebs stundenalarm 2 Betriebszeit 3 Anzahl Startvorg nge u lt 1 999 gt lt Qualit tsschwellen Qualit tsschwellenwert final wert gt lt 0 32767 gt lt rechter Grenzwert gt Rechtes Limit obere Grenze der Dicken messung im Mode 32768 full scale lt Skala gt Skalenendwert in um Full scale in um lt Index des Messkopfs gt Messkopf Tabellenplatz des angeschlossenen Messkopfs SENX lt n gt SNr lt x gt Erweiterbare Abfrage zum 5 93 Range lt y gt um optischen Messkopf n Tabellenplatz x Seriennummer des Messkopfs y Messbereich lt 32 2000 gt lt x gt HZ Frei wahlbare Messrate 5 90 x exakte Messrate in Hz im Gleitkomma Format 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 97 Irrt mer und nderungen vorbehalten 9 Anhang Befehl Argument lt 0 1 gt lt 0 1 gt lt 0 1 gt lt 0 1 gt max 16 times or lt gt lt 0 17 gt lt 0 17 gt lt 0 17 gt max 16 Werte oder lt gt Abfrage mit statt eines Arguments Antwort lt 0 1 gt lt 0 1 gt lt 0 1 gt 16 times lt 0 17 gt lt 0 17 gt lt 0 17 gt max 16 Werte lt Index der Messrate gt lt Messrate in Hz gt Hz lt Brechungsindex gt
54. chf hren Schichtdicke des Messobjekts Der Wert der Schichtdicke kann durch nachtr gliche Multiplikation konfokale Messung bzw Division interferometrische Messung mit der spezifischen Brechzahl ng des Messobjekts ermittelt werden Bei der chromatischen Schichtdickenmessung ist zu beachten dass bei der Messung einer Grenzfl che mit zu geringer Reflektivit t die Intensit t des reflektierten Lichts zu klein sein kann Dann muss die Messrate reduziert werden Umgekehrt muss wegen m glicher Messfehler auch eine bersteuerung des Sensors bei Messungen an hochreflektierenden Grenzfl chen vermieden werden Bei bersteuerung ist daher eine h here Messrate einzustellen Beachten Sie die Hinweise in den Abschnitten Messrate einstellen Kap 1 ab Seite 41 sowie die Hinweise f r die Schwellenwert Intensit t Kap 5 3 ab Seite 44 Betriebsanleitung OC Sharp 35 4 Messung durchf hren 4 3 Interferometrische Schichtdickenmessung Betriebsart 3 Um eine Schichtdicke zu messen muss die zu messende Schicht in den mode 2 Messbereich gebracht werden Der ungef hre Messabstand zur Oberfl che ist durch den Messkopf vorgegeben Ist Betriebsart 3 interfer thickness eingestellt so erscheint nach dem Einschalten des Ger ts z B die Anzeige Anzeige Am Display wird sowohl numerisch als auch als Balkendiagramm angezeigt e die Intensit t des reflektierten Lichts e Q die Qualitat des starksten Messsignals Kap 5 3 6 ab
55. cht ist Danach geht die Zustands Maschine in den Ausgangszustand Wenn die Betriebsart Triggerung w hrend der R ckfahrt nicht gew hlt ist wartet die Zustandsmaschine darauf dass die Startposition w hrend der R ckfahrt berfahren wird und wechselt dann in den Ausgangszustand Erster Parameter Funktionsindex Zweiter Parameter Funktionsabh ngiges Argument Folgende Funktionen sind verf gbar e 0 Setze Start Position Als Argument wird die Startposition in Inkrementen erster Trigger bei einem Encoder getriggerten Scan bergeben Der Aufruf dieser Funktion setzt die Zustands Maschine in den Ausgangszustand Warten auf Startposition Beispiel 1 SETR O 1234 CR Antwort SETR 0 1234 CRjready CR LF e 1 Setze Stopp Position Als Argument wird die Stopp Position in Inkrementen bergeben Uberfahrt der Encoder Zahler diese Position wird die Erzeugung von Encoder Triggerpulsen gestoppt Beispiel 1 SETR 1 2345678 CR Antwort SETR 1 2345678 CR ready CR LF e 2 Setzen des Trigger Intervalls float Als Argument wird die Distanz zwischen aufeinanderfolgenden Triggerpunkten bergeben Dieser Wert kann als Flie kommawert mit oder als Dezimalkomma angegeben werden Beispiel 1 SETR 2 111 234 CR Antwort SETR 2 111 234 CR ready CR LF e 3 Encoder Trigger An Aus Argument O Trigger durch steigende Flanke am Sync In Eingang Standardeinstellung kein Encoder Trigger Argument 1 Trigger ber Encoder
56. chungsindexes n und der Abbe Zahl v ber cksichtigt die refraktiven Eigenschaften eines transparenten Materials Der Men punkt ndern der Abbe Zahl ffnet sich bei Eingabe eines Brechungsindex 1 Der Defaultwert der Abbe Zahl betr gt 199 Standardeinstellungen beim Auswerten wird ein konstanter Brechungsindex im gesamten Spektralbereich des Sensors angenommen Messmodus einstellen Kommando SMOD lt O 2 gt O chromatische Distanzmessung 1 chromatische Schichtdickenmessung 2 interferometrische Schichtdickenmessung Brechungsindex einstellen Kommando SRI lt Brechungsindex gt Abbe Zahl einstellen Kommando SABE lt Abbe Zahl gt 5 3 9 Lampenintensitat einstellen adjust lamp intensity 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Mit adjust lamp intensity die relative Pulsdauer der LED und damit die effektive Helligkeit der Lichtquelle einstellen Belichtungsdauer reduzieren wenn eine hochreflektierende Oberfl che vermessen wird bei der auch bei der h chsten Messrate noch Ubersteuerung eintritt L ngere Pulsdauer einstellen wenn eine schwach reflektierende Oberfl che mit einer hohen Messrate wird Achtung Nach ndern der Belichtungsdauer ist ein Dunkelabgleich erforderlich Lampenintensit t aufrufen F1 gt F4 Config gt F3 adjust lamp intensity ausw hlen OC Sharp ist standardm ig mit einer LED Lichtquelle ausgestattet Sobald das Ger t diese erkennt erschei
57. d ein Dunkelabgleich durchgef hrt wird Der Wei abgleich erfolgt mit einem Hilfswerkzeug und wird wie folgt durchgef hrt Hilfswerkzeug kann bei SICK bestellt werden 1 Lichtwellenleiter vom Messkopf abschrauben 2 Am betriebswarmen Ger t den Dunkelabgleich durchf hren Ausf hrliche Informationen Kap 5 1 auf Seite 39 3 Schutzkappe der Faserdose am Hilfswerkzeug entfernen 4 Faser auf die Dose des Wei abgleichstools aufsetzen und mit der Uberwurfmutter handfest sichern 5 Wei abgleichsmen aufrufen F1 gt F4 Config gt F3 service function gt F3 take white reference ausw hlen lt take white reference gt Pl mirror at fiber end Mit F4 den Vorgang starten 1 Ist die Lichtmenge nicht ausreichend werden Sie aufgefordert den Spiegel des Hilfswerkzeugs auszurichten Folgen Sie den Angaben am Display Entsprechend der Aufforderung muss der Abstand der Faser zum Spiegel erhoht bzw verringert werden Not enough light on CCD Reduce mirror distance oder Tee much light om CCU Increase mirror distance Dazu muss die am Tool befindliche Schraube mithilfe eines Schraubendrehers gel st werden Anschlie end kann entsprechend der Aufforderung am Display der Abstand der Faser zum Spiegel erh ht werden in dem das Tool in sehr kleinen Schritten auseinander gezogen wird ggf leicht drehen Erh lt der Anwender die Aufforderung den Abstand der Faser zum Spiegel zu verringern muss nach
58. de Timing Sync In ION tsicyc a teicyemin3 code ff gt gt teample tire wait tsample 9 4 6 External Timing Mode External Timing Mode oyne In k tsicyc gt tsicycmi ne coperposue KK 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 119 Irrt mer und nderungen vorbehalten 8014850 2014 07 25 8M_SH 2014 07 A4 4c int43 Australia Phone 61 3 9457 0600 1800 33 48 02 tollfree E Mail sales sick com au Belgium Luxembourg Phone 32 0 2 466 55 66 E Mail info sick be Brasil Phone 55 11 3215 4900 E Mail marketing sick com br Canada Phone 1 905 771 14 44 E Mail information sick com Cesk republika Phone 420 2 57 91 1850 E Mail sick sick cz China Phone 86 4000 121 000 E Mail info china sick net cn Phone 852 2153 6300 E Mail ghk sick com hk Danmark Phone 45 45 82 64 00 E Mail sick sick dk Deutschland Phone 49 211 5301 301 E Mail info sick de Espana Phone 34 93 480 31 00 E Mail info sick es France Phone 33 1 64 62 35 00 E Mail info sick fr Great Britain Phone 44 0 1727 831121 E Mail info sick co uk India Phone 91 22 4033 8333 E Mail info sick india com Israel Phone 972 4 6881000 E Mail info sick sensors com Italia Phone 39 02 27 43 41 E Mail info sick it Japan Phone 81 0 3 5309 2112 E Mail support sick jp Magyarorszag Phone 36 1 371 2680 E Mail office sick hu Nederland Phone 31 0 30 229
59. dem L sen der Schraube dieses zusammengedr ckt werden Nach dem Ausrichten des Spiegels die Schraube am Tool wieder fixieren 2 Es erscheint die Anzeige einer Messrate f r die der Wei abgleich durchgef hrt wird Diese Messrate im Normalfall zwischen 300 Hz und 4000 Hz einstellen 74 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfiguration In Sonderf llen SICK kontaktieren 3 Nach erfolgreichem Abgleich den Vorgang speichern F4 Abfrage mit F4 best tigen Die ge nderte Konfiguration wird in einem EEPROM Speichern lt gespeichert und steht nach Aus Einschalten des Ger ts zur Verf gung F1 Abfrage mit F1 best tigen Die ge nderte Konfiguration bleibt nur bis zum Ausschalten des Ger ts erhalten Nach erneutem Einschalten liegt wieder die letzte abgespeicherte Konfiguration vor Kommando SWHT am Abbrechen 7 ESC 5 3 23 Betriebszeit anzeigen lassen Show operation data Mit diesem Men punkt werden angezeigt die Betriebsparameter e Gesamtbetriebszeit e Betriebszeit der Lampe e Anzahl der Startvorg nge Show operation data aufrufen F1 gt F4 Config gt F2 F3 service functions gt F4 F2 F3 show operation data Mit F4 die Funktion auswahlen Mit F2 F3 zwischen den einzelnen Anzeigen auswahlen 8 NN Abfrage der Gesamtbetriebszeit Kommando SOPD2 Abfrage der Anzahl Startvorg nge Kommando OPD3 Abfra
60. den bei der Mittelung nicht ber cksichtigt und beeinflussen das Ergebnis daher nicht Diese ung ltigen Werte werden bersprungen ohne dass das Mittelungsintervall verl ngert wird Es hat demnach auch keine Auswirkung auf die Datenausgaberate Vorsicht Bei der Verwendung der Datenmittelung im interferometrischen Messmodus Die 3 ausgew hlten Dicken werden entsprechend Ihrer Signalqualit t sortiert Diese kann teilweise stark schwanken Daher kann es vorkommen dass verschiedene Schichtdicken eines Multilayer Systems durch die Mittelung irrt mlicherweise vermischt werden Die Verwendung der Datenmittelung im Doppelbelichtungsmode DCY ungleich 100 ist nicht sinnvoll da die Intensit ten von kurzen und langen Belichtungsintervallen gemischt werden Im Trigger each mode gibt es nur einen Puls am Sync out zu Beginn der zu mittelnden Daten Dieser Puls signalisiert den Beginn der ersten gemittelten Belichtung des Intervalls In den anderen Moden wird pro CCD Belichtung ein Puls am Sync out erzeugt unabh ngig von der Mittelung Beispiel 1 SAVD 10 CR Antwort SAVD 10 CRjready CR LF Beispiel 2 SAVD Antwort SAVD 200ready CR LF SAVR lt 1 999 gt _ Mittelung Averaging auch AVD AVS Achtung Veraltet ersetzt durch SAVD Beschreibung AVD Aufgrund der Kompatibilit t mit lteren Softwareversionen wird die Spektrenmittelung auf 1 zur ckgesetzt SAVS lt 1 999 gt Spektrenmittelung Spectral averaging Das
61. der SICK Kundendienst kontaktiert werden Betriebsanleitung OC Sharp 85 7 Wartung 7 Wartung Allgemeine Kenntnisse und Verhaltensweise hinsichtlich folgender allgemeing ltiger Sicherheitsvorschriften Sicherheitsvorschriften werden vorausgesetzt VDE Bestimmungen insbesondere VDE 0100 0837 BGV A1 Allgemeine Vorschriften BGV A3 Elektrische Anlagen und Betriebsmittel oder die entsprechenden Bestimmungen des Landes Personalanforderung S mtliche T tigkeiten zur Instandsetzung und jegliche Eingriffe zum Beheben von Fehlern erfordern besondere Kenntnisse und d rfen nur von ausgebildetem Fachpersonal ausgef hrt werden Das Fachpersonal muss entsprechend den Vorschriften und Sicherheitshinweisen belehrt und auf die m glichen Gefahren hingewiesen werden Die vorgeschriebenen Schutzmittel sind einzusetzen Die SICK AG haftet nicht f r Sch den die durch eine unsachm ige Installation beziehungsweise durch einen unsachm igen Eingriff seitens unbefugter Personen entstanden sind VORSICHT Gef hrliche elektrische Spannung Vor allen Wartungs und Instandsetzungsarbeiten an dem Ger t ist dieses gegen Einschalten zu sichern Wartungst tigkeiten Die Wartung ist einfach und beschr nkt sich auf die externen optischen Komponenten des Messsystems Am optischen Sensor erlaubte Wartungst tigkeiten Reinigen von Messkopf und optischer Faser wenn keine optimale Lichteinkopplung in die Faser erreicht wird Kap 7 1 ab Seite
62. dert eine Entzerrung um diesen Verlauf zu erhalten Mit einer Transformation des periodisch harmonischen Verlaufs in das Leistungsspektrum kann man die Periodendauer und daraus die Schichtdicke bestimmen Ergebnis der Transformation ist ein Peak im Ortsraum Dessen Leistung bezogen auf die Leistung des gesamten vom Messobjekt reflektierten Lichts ist die Qualitat eines Dickenmesswerts Die Qualit t ist ein Ma fur den Modulationsgrad des Signals Kommando SQTHK lt Wert gt 5 3 7 Chromatischen Messkopf ausw hlen select confocal sensor Unter select confocal sensor wird dem Gerat mitgeteilt welcher chromatische Messkopf angeschlossen ist Men Funktion ist nur in Betriebsart 1 und Betriebsart 2 aktiv bei den chromatischen Messverfahren Auswahl chromatischer Messkopf aufrufen F1 gt F4 Config gt F3 select confocal sensor ausw hlen COME Sel Sane ELON lt select confocal sensor gt sel confoc sens r Nr 1 SNr 77 Range 330um Es wird der aktuell aktivierte Messkopf angezeigt z B Speicherplatz Nr 1 Seriennummer des Messkopfs SNr 77 Messbereich Range 330 um Dies bedeutet dass das Ger t beispielsweise auf einen 300 um Messkopf kalibriert und eingestellt ist In der Praxis k nnen die Messk pfe einen etwas gr eren Messbereich als in deren technischen Daten angegeben haben So besitzt in obigem Beispiel der Messkopf einen Messbereich von 330 um 52 Betriebsanleitung OC Sharp 801
63. e functions Lore secup gt Mit F4 den Vorgang starten Der kleinste Index 0 wird zuerst angezeigt select setup index 0 Testparameter 05 Die Testparameter O5 sind unter dem Index O der anwenderspezifischen Einstellungen abgelegt Mit F2 F3 im Auswahlmen der Indices und in vorhandenen Eintr gen bl ttern Mit F4 den Speicherplatz festlegen und die Menuebene f r die Eingabe des Speichernamens ffnen Betriebsanleitung OC Sharp 71 5 Konfiguration a amp A NY ES I TI ESC Edit setup name Mit F2 F3 innerhalb der Zeichenauswahlliste vor und zuruck blattern Mit F4 an die nachste Position des Eingabefeldes springen Mit F1 die Eingabe best tigen Reedit Fl Accept F4 Mit F1 den Namen korrigieren mit F4 die Eingabe bernehmen Das Ger t schlie t das Auswahlfenster und schaltet ins Hauptmen um Mit F1 die Funktion abbrechen Operation canceled aa See aa 5 3 21 Standardeinstellung Set default parameters il i vA Unter set default parameters die Konfiguration des optischen Sensors auf die Defaultparameter Werkseinstellung zurucksetzen Die Einstellungen der Schnittstellenparameter Datenformat Ubertragungsrate und Output Messwerte bleiben erhalten Standardeinstellung aufrufen F1 gt Config F4 gt F2 gt service functions gt Set default parameters Vor dem Zur cksetzen der Parameter auf die Defaultwerte wird ke
64. eigen Dazu wird der Messbereich so eingeschrankt dass der Messwert bester Qualitat nicht mehr innerhalb bestimmter Grenzen liegt Der Qualit tswert bei der interferometrischen Schichtdickenmessung sollte wenigstens 25 betragen Im interferometrischen Messmodus wird durch 2 x F4 die Messbereichsbegrenzung ein oder ausgeschaltet Bei eingeschalteter Messbereichsbegrenzung wird die Begrenzung des Messbereiches durch massive Balken in der Anzeige sichtbar gemacht i Mi ae Ore ole 29 Tins am Messbereich Ist die Begrenzung nicht aktiv werden die Bereichsgrenzen durch Linien angezeigt F2 F3 A Mithilfe von F2 F3 wird entweder die Untergrenze oder die Obergrenze nach fim an links bzw rechts verschoben i Beim Einstellen der unteren Messbereichsgrenze wird z B Low Limit 59 6 um activ angezeigt Dies bedeutet dass die Messwerte von Schichten d nner als 59 6 um nicht angezeigt werden Entsprechend gilt dies auch f r die Obergrenze F4 Mit F4 doppelte Best tigung wird festgelegt welche der Bereichsgrenzen sich lt verschieben lassen die Unter oder die Obergrenze 2x Fi Das Verschieben der Bereichsgrenzen kann bei eingeschalteter und abgeschalteter Messbereichsbegrenzung erfolgen Anderungen an der Messbereichsbegrenzung werden durch die Tastenfolge F1 F4 F1 F4 dauerhaft gespeichert Es gibt kein automatisiertes Speichern Anderungen gehen ohne die Tastenbefehle beim Ausschalten des Ger ts ver
65. einstellungen set display hold time Auswahl der ausgegebenen Messwerte Datenformat serial data ASCII BIN Ubertragungsrate serial port baud rate Analogausgange configure analog 1 configure analog 2 Gezieltes Ausblenden von Spektralbereichen partial spect supress Faseranschlusse reinigen Fiber connector clean Laden anwenderspezifischer Parameter Load Setup Sichern anwenderspezifischer Parameter Store Setup Standardeinstellung Set default parameters Wei referenz erfassen take white reference Betriebszeit anzeigen lassen Show operation data Lampenbetriebszeit zur cksetzen Reset lamp life timer Erinnerungsfunktion Lampenbetriebszeit Set lamplife alert time Setzen der Systemkonstanten Lichtquelle set system constants Daten bertragung Schnittstellen 6 1 Messwerte bertragen 6 2 Ger t konfigurieren seriell RS 232 RS 422 USB 6 3 INTERFACE Dosenleiste 6 4 RS 232 RS 422 Serielle Schnittstelle 6 5 Encoder Schnittstelle Wartung 1 1 Messkopf optische Faser pflegen reinigen St rungsbehebung Anhang 9 1 Datenschnittstelle 9 1 1 Schnittstellenarten 9 2 Datentelegrammformat 9 3 RS 232 RS 422 USB Befehle 9 3 41 Typographie 9 3 2 Generelles Kommando Befehls Format 9 3 83 Tabelle Befehle und Antworten 9 3 4 Detaillierte Kommando Beschreibung 9 4 Zeitdiagramme 9 4 1 Sync input 9 4 2 Sync In CCD Exposure Sync Out 9 4 3 CCD Exposure to Result Output Timing 9 4 4 Normal Trigge
66. ektesten Wege und ohne Probleme erreichen zu k nnen Betriebsanleitung OC Sharp 7 1 Zu Ihrer Sicherheit Eg VORAUSSETZUNG Beschreibt alle Komponenten sowie alle Bedingungen die vorhanden erf llt sein m ssen damit die Handlung erfolgreich ausgef hrt werden kann WEITERE INFORMATIONEN Teilt dem Benutzer mit wenn es weiterf hrende Informationen zu einem beschriebenen Kontext gibt 1 3 Bestimmungsgemafse Verwendung il Elektromagnetische Vertr glichkeit EMV Der optische Sensor ist als Standalone Ger t oder als Teil einer Messanlage zur Abstands Schichtdicken und Oberfl chenmessung oder Qualit ts berwachung und Dimensionspr fung bestimmt Verwenden Sie den optischen Sensor nur in trockener Umgebung Der Betrieb des Ger ts darf nur innerhalb der durch die technischen Daten angegebenen Spezifikationen erfolgen Eine von der bestimmungsgem en Verwendung abweichende Verwendung gilt als sachwidrig Die Haftung bernimmt in diesem Fall der Benutzer Der optische Sensor erf llt als Einzelger t und in Kombination mit den in dieser Dokumentation daf r vorgesehenen Ger ten den Normen DIN EN 61326 1 2013 07 und DIN EN 61010 1 2011 07 entsprechend den Bestimmungen der Richtlinien 2006 95 EG und 2004 108 EG Sein Einsatzort ist der Industriebereich Bei der Verwendung von kundenseitigen Ger ten oder Leitungen kann die Erf llung dieser Normen unter Umst nden nicht gegeben sein Verwenden Sie daher
67. en Telegram Format Die Werte in den lt gt stehen f r ein bertragenes Byte Das Vorzeichen Ox indiziert die hexadezimale Schreibweise lt OxFF gt lt OxFF gt lt data O MSB gt lt data O LSB gt lt data NMSB gt lt data N LSB gt Jedes Telegramm besteht aus den gew hlten Datenworten high byte first und beginnt mit einer Synchronisationssequenz default OxFF OxFF kann aber mit SSSQ Kommando ver ndert werden Da die L nge jedes einzelnen Datenpakets bekannt ist bleibt eine einmal durchgef hrte Synchronisation erhalten Eine erneute Synchronisation ist nur erforderlich wenn die Synchronisationssequenz nicht an der erwarteten Stelle auftritt Eine Synchronisation kann auf zwei Wegen erreicht werden Den Datenfluss vom Ger t stoppen indem vom Computer ein Befehl gesendet wird Nachdem das Ger t diesen Befehl ausgef hrt hat sendet es ready CR LF und beginnt mit der bertragung eines neuen Datenpakets O Wird die Synchronisationssequenz nicht an der erwarteten Stelle empfangen muss auf die korrekte Synchronisationssequenz gewartet werden Dies wird den Datenfluss nach einigen Zyklen synchronisieren da sich die bertragenen Datenworte ndern Es ist bei der Auswahl von Baudrate Messrate Mittelungen sowie Datenformat und zu bertragende Messwerte darauf zu achten dass die bertragung vollst ndiger Datentelegramme m glich ist Beachte Die T Zeit die pro Byte f r die bertragung ben tigt wird errec
68. en 9 Anhang 15 Encoder 2 Position niederwertigstes Datenwort 16 Sample counter 17 LED Temperatur Beispiel 1 SOD1 0 0 1 CR Antwort SSO0D1 0 0 1 CRjready CR LF In diesem Beispiel wird im Distanzmessbetrieb die Distanz 1 und die Intensit t ausgegeben Beispiel 2 SOD Antwort SOD 1 0 0 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0ready CR LF auch SODX Auswahl der Ausgabedaten erweitert Select Output Data extended Achtung Es darf entweder ausschlie lich SOD oder SODX verwendet werden Verwendung des Befehls SOD zur Abfrage ver ndert die Datenausgabe dahin gehend dass eine Einstellung aktiviert wird die dem SOD Befehlsformat entspricht Mit diesem Kommando k nnen weitere Datenworte zur Ausgabe ausgew hlt werden Die Datenworte werden direkt ausgew hlt indem ihr Index als Parameter eingegeben wird In Mode O bedeutet das z B dass nach der Eingabe SODX0 3 16 die Distanz die Intensit t sowie der sample counter ausgegeben werden Beispiel 1 SSODXO 3 16 CR Antwort SSODXO 3 16 CR ready CR LF Beispiel 2 SSODX Antwort SSODX 0 3 16ready CR LF auch SOD Messrate Scan Rate Auswahl einer der voreingestellten Messraten durch Eingabe des zugeh rigen Index Index Messrate 3 32 Hz 4 100 Hz 5 320 Hz 6 1000 Hz 7 4000 Hz 127 Freie Messrate eingestellt ber Befehl SHZ Der Index 127 wird bei der Abfrage als erster Parameter ausgegeben er bedeutet dass mit SHZ eine frei einstellbare
69. en Funktion ist nur in Betriebsart 1 und Betriebsart 2 aktiv bei den chromatischen Messverfahren Schwellenwert Intensit t aufrufen F1 gt F4 Config gt F3 set detect threshold ausw hlen Contioy sel runet on lt set detect threshold detect threshold 0035 esc down up next Am Display wird der aktuelle Schwellenwert angezeigt Mit F2 down und F3 up die markierte Ziffer ndern mit F4 next den Cursor zwischen den Ziffern bewegen und mit F1 esc die Eingabe beenden Das Auswahlfenster wird geschlossen und das Konfigurationsmen ge ffnet Fur eine g ltige Messung sollte sich der Intensit tswert Uber O und unter 999 befinden ansonsten muss die Messrate ge ndert werden Kap 4 2 ab Seite 41 Wird der Abstand zu einer Oberfl che mit geringem Reflexionsverm gen gemessen kann die Intensit t des reflektierten Lichts zu klein sein und die Messrate muss verringert werden F r Messraten unter 1 kHz wird ein Schwellenwert von 40 empfohlen Damit wird verhindert dass Messwerte mit zu geringer Intensit t welche sich nur geringf gig aus dem Rauschen abheben die Messung verf lschen Bei Messraten von 1 kHz und h her ist ein Schwellenwert von 15 sinnvoll um die Dynamik des Ger ts voll auszunutzen Kommando STHR lt Qualit tswert gt Wird ein zu hoher Schwellenwert eingestellt so werden Bereiche der zu untersuchenden Oberfl che von denen wegen des Reflexionsverm gens oder der Neigung n
70. er Eingabe des Befehls SRT auf die Antwort des Sensors zu achten Ist eine Tabelle mittels eines Index ausgew hlt worden werden die ausgegebenen Werte auf einen Referenzbrechungsindex normalisiert hnlich dem ny Va Dispersionsmodel wo ny der Brechungsindex ist Dieser Wert ist in der Tabelle enthalten und muss mit SRI abgefragt werden um die ausgegebenen Werte korrekt zu skalieren Beispiel 1 SSRTO CR Antwort SSRTOI CR 0 no table active CR LF ready CR LF Beispiel 2 SSRT1 CR Antwort SSRT1 CR 1 Silizium CR LF ready CR LF Silizium eingegebener Tabellenname kann aus bis zu 64 Zeichen bestehen Beispiel 3 SSRT16 CR Antwort SSRT16 CR 16 volatile usertable CR LF ready lt CR LF Beispiel 4 SSRT5 CR Antwort SSRT5I CR 0 no table active CR LF ready CR LF Tabelle 5 ist nicht definiert bzw ung ltig auch LRT SRI ABE SCA MOD SSSQ lt ByteO gt lt Bytel gt Synchronisationssequenz Synchronization sequence Dieser Befehl erm glicht es eine neue Telegramm Startsequenz zu erzeugen Die 2 Bytes die dem Kommando direkt folgen zeigen den Beginn eines neuen Datenworts an im Bin rmode Diese Bytes m ssen direkt auf das Kommando folgen ohne Trennzeichen und nicht in hexadezimaler Schreibweise Die Default Synchronisationssequenz ist 255 255 Es kann eine Unsicherheit bei der Nutzung dieser Sequenz bzgl des Telegrammstarts bestehen da die Synchronisationssequenz auch im normalen Datenstrom vorkommen
71. erlust der Gew hrleistungsrechte 1 5 1 Schutz vor elektrischem Stromschlag Beachten Sie dass nach ffnen des Geh uses oder Entfernen von Teilen spannungsf hrende Teile freigelegt werden Das Ber hren solcher Komponenten ist lebensgef hrlich Bei Service und Reparaturarbeiten die an ge ffneten Ger ten und Modulen erfolgen muss die Netzspannungsversorgung zuverl ssig ausgeschaltet sein Netzkabel gezogen 1 5 2 Schutz vor optischer Strahlung Augensicherheit Bei Service und Reparaturarbeiten ist darauf zu achten nicht direkt in das Licht der LED zu blicken Das Licht kann das Auge sch digen 1 6 Lagerung und Transport Um Sch den beim Lagern und Transport zu vermeiden sind folgende Grundregeln zu beachten Den nach den technischen Daten erlaubten Bereich der Lagertemperatur einhalten Geeignete Ma nahmen zur Vermeidung einer Besch digung durch Feuchte Vibration oder Sto ergreifen Nicht in starken Magnetfeldern z B Dauermagnet oder starkes Wechselfeld oder deren N he lagern 1 7 Verhalten im Notfall e Trennen Sie die Anlage vom Netz e L schen Sie Brande nur mit einem Feuerl scher der Brandklasse B 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 9 Irrt mer und nderungen vorbehalten 2 Produktbeschreibung 2 Produktbeschreibung 2 1 Gesamtansicht Vorne Hinten Abb 2 1 Optischer Sensor Gesamtansicht D Dosenleiste Anschlussleiste 6 Beschriftungslabel Anschlus
72. erungen vorbehalten 5 Konfiguration 5 3 2 Konfigurieren e Konfiguration mithilfe der Funktionstasten e Empfehlungen f r Einstellungen der Men s und deren Funktionen Konfigurationsmen aufrufen Ablauf F1 gt F4 Config ausw hlen Clear Dark S Rate Config Config sel function lt data averaging gt data averaging erster Eintrag wird angezeigt F2 F3 Mit F2 bzw F3 innerhalb des Konfigurationsmen s zwischen den AR M verschiedenen Funktionen rauf runterbl ttern F4 Mit F4 die ausgew hlte Funktion aufrufen lt Konfiguration speichern Abfrage nach dem Verlassen des Konfigurationsmen s sollen die durchgef hrten Anderungen gespeichert werden Save Settings to EEPROM No Yes Anschlie end R ckkehr zum Hauptmen F4 Abfrage mit F4 best tigen Die ge nderte Konfiguration wird in einem EEPROM Speichern lt gespeichert und steht nach Aus Einschalten des Ger ts zur Verf gung F1 Abfrage mit F1 best tigen Die ge nderte Konfiguration bleibt nur bis zum Abbrechen ESC Ausschalten des Ger ts erhalten Nach erneutem Einschalten liegt wieder die letzte abgespeicherte Konfiguration vor 46 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfiguration Konfigurationsmen Die Auswahlm glichkeiten des Konfigurationsmen s Config sind Betriebsart 1 2 3 y y y Wahl der Betriebsart 1 Abstand 2 Dicke 3 Dicke interf adjust lamp
73. g Legacy Modus keine RTS CTS Fluss Regelung m glich 512 RTS CTS Fluss Regelung mit USB verwendbar 1024 RTS CTS Fluss Regelung mit USB verwendbar 2048 RTS CTS Fluss Regelung mit USB verwendbar 4096 RTS CTS Fluss Regelung mit USB verwendbar 8192 RTS CTS Fluss Regelung mit USB verwendbar 16384 RTS CTS Fluss Regelung mit USB verwendbar 32768 RTS CTS Fluss Regelung mit USB verwendbar OOOO aktuellen bertragungspuffer leeren Do o a Gr e des bertragungspuffers abfragen Beispiel TXB Antwort TXB Oready CR LF Beispiel TXB 1 CR Antwort Tready CR LF lt Command echo was partially killed by buffer flush depending on timing SVER Version Version auch IDE Der Befehl sendet eine ASCII Zeichenfolge zur ck mit Informationen ber Seriennummer DSP Software DSPsoft und Mikrocontroller Software C Beispiel SVER Antwort SVER 73 C V5 95 240909 DSPsoft V5 95 160909 ready CR LF WHT lt 3141 gt Wei abgleich White reference Beachte Vor einem Wei abgleich muss ein Dunkelabgleich durchgef hrt werden Der Befehl wird direkt nach der Eingabe ausgef hrt Das bedeutet dass vorher das Wei abgleichtool angeschlossen werden muss Aufgrund von ung ltigen Intensit tswerten kann die Befehlsbearbeitung scheitern Daher muss die Antwort berwacht werden und das Kommando ggf nach der Korrektur der Position des Wei abgleichtools wiederholt werden Beispiel SWHT3141 CR Falls erfolgreich Antwort SWHT3
74. g 12 Vin 1 104 u lt 0 32767 gt a lt linker Grenzwert gt Schlussel Werte Paare getrennt durch CR LF ahnlich dem Ini File Format Linkes Limit untere Grenze der Dickenmessung im interferometrischen Mode 2 32768 full scale lt O 1 gt lt 0 1 gt Limit aktivieren Aktiviert Limits zur Dicken messung im inter ferometrischen Messmode O Deaktivierung 1 Aktivierung lt 0 1 gt Tastensperre O Entsperren 1 Sperren lt 1 16 gt lt 1024 gt Tabelle lt 1 300 gt lt x gt Fast Dark lt 0 32767 gt x entspricht der wird nicht gespeichert virtuellen optional Anzahl der zu Belichtungsrate in Hz mittelnden Belichtungen bei welcher das CCD Standard 50 ges ttigt w re optional Einflussfaktor O l sst den alten Dunkelabgleich unver ndert 32767 ersetzt ihn vollst ndig Lade Brechungsindex Tabelle G ltig ab 96 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 9 Anhang G ltig ab Befehl Argument Abfrage mit Bemerkung statt eines Arguments Version Antwort Keine falls entweder Messmode 5 90 erfolgreich O confocal 1 surface Auswahl des Messmode ansonsten oder O konfokal Distanz Error 1 confocal 2 surface 1 konfokal Dicke PrepInterfMODE lt x oder 2 interferometrisch Dicke gt 2 interfer thickness x ist ein Fehlercode not valid falls der interf Mode nicht freiges
75. ge der Lampenbetriebsstunden Kommando SOPDO 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 75 Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfiguration 5 3 24 Lampenbetriebszeit zur cksetzen Reset lamp life timer Mit diesem Men punkt nach einem Lampenwechsel die Betriebsdauer der Lichtquelle wieder auf O setzen Reset lamp life timer aufrufen F1 gt F4 Config gt F2 F3 service functions gt F4 F2 F3 Reset lamp life timer Mit F4 die Funktion auswahlen Mit F2 F3 die im Display angegebene Zahl eingeben Mit F4 bestatigen und die Betriebszeit wieder auf O setzen Kommando OPDO 314 5 3 25 Erinnerungsfunktion Lampenbetriebszeit Set lamplife alert time Mit dieser Funktion den Alarmzeitpunkt f r Lampenbetriebsstundenzahler in Stunden setzen Hat der Betriebsstundenzahler x Stunden erreicht wird das Alarmflag Bit 9 im Flag Ausgangswort gesetzt Um dieses Bit auszuwerten mussen die Flags ausgelesen werden Set lamplife alert time aufrufen F1 gt F4 Config gt F2 F3 service functions gt F4 F2 F3 Set lamplife alert time WA Mit F4 die Funktion auswahlen lt F2 F3 A Mit F2 F3 die gew nschte Zeit eingeben lt gt F1 Mit F1 best tigen und die Alarmzeit wird gesetzt ESC Fi Kommando OPD1 x x Betriebsstunden bis zum Alarm 76 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfig
76. gt Ausgangsspannung O V und der obere Grenzwert zur Ausgangsspannung 10 V geh rt oder Werte au erhalb des programmiierten Bereichs werden auf OV oder 10V gerundet SANA Erster Parameter Index des angesprochenen Analogausganges O f r Ausgang 1 oder 1 f r Ausgang 2 Zweiter Parameter Index der Daten die ausgegeben werden sollen Liste der Indizes Seite 9 111 Dritter Parameter Untergrenze f r OV Vierter Parameter Obergrenze f r 10V Es gibt zwei Methoden die aktuellen Einstellungen abzurufen Eine f r den Abfrage beider Ausg nge gleichzeitig R ckantwort Index O Untergrenze O Obergrenze O Index 1 Untergrenze 1 Obergrenze 1 und eine f r die Abfrage eines Ausgangs Beispiel 1 ANA13 0 4095 CR Antwort SANA1 3 0 4095 CR ready CR LF Beispiel 2 ANA1 Antwort SANA1 3 0 4095ready CR LF Beispiel 3 SANA Antwort SANA 0 0 32767 3 0 4095ready CR LF 100 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 9 Anhang SASC ASCII ASCII auch BIN Wechselt das Ausgabeformat zu ASCII SAVD lt 1 999 gt Datenmittelung Data averaging auch AVR AVS Dieses Kommando bezieht sich auf die Mittelung von Distanz und Intensit t Es mittelt die eingegebene Anzahl an Ergebnissen vor der Ausgabe Die Mittelung ist kein gleitender Mittelwert daher reduziert sichdie Datenausgaberate um den eingegebenen Faktor n Ung ltige Werte aufgrund geringer Intensit t oder Qualit t wer
77. hen neuer Hardware Willkommen Es wird nach aktueller und aktualisierter Software auf dem Computer auf der Hardwareinstallations CD oder auf der Windows Update website mit Ihrer Erlaubnis gesucht Datenschutznchtlnie anzeigen Soll eine Verbindung mit Windows Update hergestellt werden um nach Software zu suchen Ja nur diese eine Mal Ja und jedes Mal wenn ein Gerat angeschlossen wird Nein diesmal nicht Klicken Sie auf Weiter um den Worgang fortzusetzen lt Zur ck Abbrechen Abb 3 4 Treiberinstallation 2 Durchgang Startfenster Assistent f r das Suchen neuer Hardware Wahlen Sie die Such und Installationsoptionen Diese Quellen nach dem zutreffendsten Treiber durchsuchen Verwenden Sie die Kontrollk stchen um die Standardsuche zu erweitern oder einzuschr nken Lokale Pfade und Wechselmedien sind in der Standardsuche mit einbegrilfen Der zutreffendste Treiber wird installiert Wechselmedien durchsuchen Diskette CD v Folgende Quelle ebenfalls durchsuchen C Treiber VirtualComPort_Treiber_V_2 0 0 0 Nicht suchen sondem den zu installierenden Treiber selbst w hlen Verwenden Sie diese Option um einen Ger tetreiber aus einer Liste zu w hlen Es ward nicht garantiert dass der von Ihnen gew hlte Treiber der Hardware am besten entspricht lt Zur ck _ Weiter gt Abbrechen Abb 3 5 Treiberinstallation 2 Durchgang Pfad 28 Betriebsa
78. hmus wird davon nicht beeinflu t da die ung ltigen Daten von der Mittelung ausgeschlossen werden Der Schwellenwert ist eine frei w hlbare Einheit die in k nftigen Software Versionen ggf ver ndert werden kann Beispiel 1 STHR35 CR Antwort STHR35 CR ready CR LF Beispiel 2 STHR Antwort STHR 35ready CR LF 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 115 Irrt mer und nderungen vorbehalten 9 Anhang STRE Trigger Each Trigger each Nach Eingabe dieses Befehls wird jede Belichtung durch eine steigende Flanke am Sync In oder durch ein Triggersignal falls vorher ber ETR eingestellt gestartet Die Belichtungszeit der CCD ist durch die eingestellte Messrate vorgegeben SRA or SHZ Beachte Aus technischen Gr nden wird nur die H lfte der maximalen Messrate durchgef hrt Ein Trigger Impuls der dies nicht erf llt wird ignoriert Die Spektren und Datenmittelung AVS AVD ist im Trigger Each Modus m glich Ein Triggerpuls startet eine Sequenz von AVS AVD Belichtungen Das Timing dieser Belichtungssequenzen wird durch die Messrate vorgegeben Ein gemitteltes Ergebnis wird nach der Belichtungssequenz ausgegeben Das Kommanod SCTN setzt den Normalbetrieb fort auch TRG EXT ETR STRG Trigger Trigger Warten auf Trigger Das Kommando erm glicht eine exakte Zuordnung der Messintervalle mit der Bewegung der Scan Achse Der Sensor stoppt nach der bertragung des aktuellen Datentelegramms und geht in einen
79. hnet sich aus 10 Tg Baudrate 1 yus Betriebsanleitung OC Sharp 91 9 Anhang 9 3 9 3 1 Typographie 92 Beispiel Bedingung Messrate 1000 Hz und bertragungsrate 115200 Baud 1 1000Hz 10 115200Bd 0 000 O01sec 11 39 10 Bytes Das hei t 2 Bytes Synchronisationssequenz 4 2 Bytes Daten k nnen bei 1 KHz im bin ren Datenformat bertragen werden Tab 6 1 Kap 6 1 RS 232 RS 422 USB Befehle Alles was exakt wie angegeben gesendet oder empfangen wird z B Befehle Courier 2 und Ruckantworten lt x gt Werte oder Namen in spitzen Klammern lt gt sind Funktionsargumente die zum Sensor gesendet werden oder Werte einer Ruckantwort Falls nichts anders erw hnt ist sind numerische Werte Ganzzahl Werte lt 0 500 gt Zwei durch getrennte numerische Werte beschreiben einen Bereich Jeder der darin enthaltenen Werte inklusive der Grenzen kann eingegeben werden lt 0 1 gt Durch Komma getrennte Werte beschreiben eine Auswahl vorgegebener Werte Nur diese Werte konnen eingegeben werden oder in der Ruckantwort enthalten sein lt x gt Argumente in eckigen Klammern sind optional Wenn ein Kommando mehr als einen optionalen Parameter hat erfolgt die Auswertung durch den Sensor von links nach rechts Wird z B ein Argument nicht gesendet wertet der Sensor immer das letzte Argument als fehlend CR Zeilenr cklauf 13 carriage return LF Zeilenvorschub 10 line feed CR LF
80. hsten Index D h die Werte mit den h chsten Indizes werden nicht ber cksichtigt Mit diesem Befehl k nnen Datenworte mit einem Index gr er als 15 nicht ausgegeben werden Werden diese ben tigt ist alternativ der Befehl SODX zu verwenden Der Sensor liefert als Antwort auf die Abfrage den Status der 16 m glichen Datenworte Betriebsanleitung OC Sharp 111 9 Anhang 112 Indices und Bedeutung der m glichen Datenworte Mode 0 Mode1 Mode 2 0 1 2 3 4 9 a 7 1 Oberfl che 2 Oberfl chen Interferometrisch Distanz 1 Dicke Dicke 1 beste Signalqualit t nicht belegt Distanz 1 Dicke 2 zweit beste Signalqualit t kleiner nicht belegt Distanz 2 Dicke 3 dritt beste Signalqualit t gr er Intensit t 1 nicht belegt Signalqualit t des Signals mit der besten Qualit t nicht belegt Intensit t 1 Signalqualit t des Signals mit der zweit besten Qualit t nicht belegt Signalqualit t des Signals mit der dritt besten Qualit t Pixelpos 1 Pixelpos 1 Intensit t nicht belegt nicht belegt nicht belegt Flags BitO Im Doppelbelichtungsmodus steht 1 fur die lange Belichtungszeit und O f r die Kurze Bit2 IGNOREDTRIGGER Ignorierter Trigger im trigger each oder external timing Modus Ein Trigger Puls wurde ignoriert weil er zu kurz nach dem vorangegangenen Triggerpuls gesendet wurde und dieser noch nicht abgearbeitet war Bit3 DELAYEDTRIGGER Versp teter Trigge
81. i dem der Abstand des Messkopfs zur Oberfl che w hrend der Messung angepasst werden kann Messkopf und optische Faser Abb 2 5 Messk pfe und optische Faser Betriebsanleitung OC Sharp 17 2 Produktbeschreibung 18 Messkopf Optische Faser Je nach Bedarf steht eine Reihe verschiedener Messk pfe zur Verf gung Die Gr e des jeweiligen Messkopfs variiert mit dessen Messbereich Der Messkopf enth lt keine beweglichen Bauteile oder elektronische Komponenten welche als W rmequellen die Genauigkeit und Stabilit t der Messung beeinflussen k nnten Neben den Standardmessk pfen sind f r bestimmte Anwendungen weitere Messk pfe mit angepassten Eigenschaften verf gbar z B abgewinkelte Messk pfe oder Messk pfe mit h herer numerischer Apertur Diese erm glichen Messungen auf st rker geneigten Oberfl chen Eine bersicht der Standardmessk pfe finden Sie im Kap 2 5 Die optische Faser ist gegen mechanische Beanspruchung empfindlich und muss vorsichtig behandelt werden Beim Handling der optischen Faser unbedingt beachten e der minimale Biegeradius der Faser betr gt 30 mm e die Faserenden sind sehr schmutzempfindlich und d rfen nicht mit der Hand ber hrt werden e beim Transport m ssen die mitgelieferten Schutzkappen auf die Faserenden bzw Steckerdosen am Ger t aufgesetzt werden Bei Verschmutzung der Faserendfl chen diese vorsichtig mit einem fusselfreien Tuch und eventuell mit Ethanol reinigen Kap
82. ich bei der eingestellten Messrate und wird nicht im FLASH gespeichert Er erm glicht einen sehr schellen und regelm igen Dunkelabgleich z B im Inline betrieb Da keine Speicherung erfolgt werden der dadurch entstehende Zeitverzug und ein Verschlei des Speichers vermieden Erster Parameter Anzahl der Mittelungen Gibt die Anzahl der Scans wieder die vor dem Dunkelabgleich gemittelt werden sollen Dieser Parameter ist optional Standardwert 50 Zweiter Parameter Einfluss Faktor optional Standardwert 32767 Gibt an inwieweit der neue Wert den alten beeinflusst Folgende Formel wird angewendet newRef 1 32768 Updatefactor Av Scans 1 Updatefactor OldRef Ein gro er Wert lt 32768 als Updatefaktor ersetzt den alten Dunkelabgleich durch den neuen Ein kleiner Wert passt den alten Wert lediglich etwas an Das Kommando muss immer mit CR abgeschlossen werden Die Parameter sind optional Folgt der Eingabe des Befehls FDK ein CR ohne Parameter werden die Standardmittelung 50 sowie Updatefaktor 32767 gesetzt und damit der alte Abgleich ersetzt Die Angabe nur eines Parameters entspricht er der Anzahl der Mittelungen Updatefaktor 32767 ersetzt alten Abgleich ebenfalls Als R ckantwort wird die virtuelle Messrate in Hz geliefert bei welcher eine S ttigung der CCD eintritt Ist dieser Wert gt 1OOHZ sollte er durch Reinigung der Faserendflachen reduziert werden Kap 7 1 Seite 87 Falls zu viel Licht a
83. iert gibt der Sensor die Antwort not valid zur ck Ist der Wert zu klein kleinere Belichtungsdauer zu kurz wird automatisch der kleinste 102 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten SDRK auch FDK SENC lt 0 1 2 gt lt 2147483648 4294967295 gt oder SENC lt 0 1 2 gt 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 9 Anhang m gliche Wert eingestellt Die Einstellung sollte einmalig abgefragt werden Bei der Verwendung des Befehls SHZ kann die Einschaltdauer mit DCY abgefragt werden Die Ausgabe erfolgt im ASCII Format als dezimale Gleitkommazahl mit 6 Dezimalstellen Achtung Die Doppelbelichtung steht nur im konfokalen Messbetrieb zur Verf gung Um die Doppelbelichtung via Befehle einzustellen muss die Messrate mit SHZ eingestellt werden Bei Einstellung ber SSRA wechselt der Sensor wieder in den einfachen Belichtungsmodus Beispiel 1 SDCY 10 CR Antwort SDCY 10 CRjready CR LF Beispiel 2 SDCY 90 CR Antwor SDCY 90 CRinot valid ready CR LF Beispiel 3 SDCY Antwort DCY22 123456ready CR LF auch SHZ Dunkelabgleich Dark reference F hrt den Dunkelabgleich durch und speichert das Ergebnis im Flash Speicher Die Aktion dauert ca 3 Sekunden Der Befehl wird direkt nach Eingabe ausgef hrt Daher ist unbedingt vorher sicher zustellen dass sich keine Oberfl che im Messbereich befindet Der Sensor gibt zum einen den I
84. inander verbunden An der Sensoreinheit k nnen verschiedene Messk pfe wechselweise betrieben werden wobei immer nur jeweils ein Messkopf angeschlossen sein kann So besteht die M glichkeit durch Messkopfwechsel verschiedene Messbereiche bei der Abstands oder Topographiemessung abzudecken oder auch zwischen Topographie und Schichtdickenmessung zu wechseln Das Ger t kann als Tischger t mit Standfu oder optional auf einer Hutschiene montiert eingesetzt werden Sensoreinheit Die Sensoreinheit enth lt neben den elektronischen und optischen Baugruppen zur Auswertung der gemessenen Signale eine LED Lichtquelle Optional ist auch der Anschluss einer externen Lichtquelle m glich sein Auf der Frontplatte befinden sich vier Funktionstasten und das LC Display Die Sensoreinheit kann mit diesen vier Funktionstasten F1 F4 vollst ndig konfiguriert werden Kap 5 3 ab Seite 44 Das zweizeilige Display zeigt das Messergebnis sowohl als Zahlenwert wie auch als Balkendiagramm an Im Distanzmode werden der gemessene Abstand und die Intensit t des ausgewerteten von der Oberfl che reflektierten Lichts angezeigt Im Schichtdickenmodus sieht man die gemessene Schichtdicke sowie die Intensit ten der Reflexe von beiden Grenzfl chen der Schicht An der Frontplatte befindet sich au erdem ein Schiebe ffner hinter dem sich die Faserdosse f r den Anschluss des Messkopfs sowie eine weitere Dose f r eine externe Lichtquelle befindet Un
85. ine Sicherheitsabfrage aktiv Choose service functions lt Set default parameters W hrend des Zur cksetzens erscheint Choose service function Default parameters set 72 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfiguration Defaultparameter bersicht Werkseinstellung EI 0 select measuring mode Letzte Einstellung aktiv refractive index 1 lamp intensity 98 autoadapt Off set serial output data Confocal 1 distance Confocal 2 thickness interf thickness 1 serial data ASCII BIN Letzte Einstellung aktiv serial port baud rate Letzte Einstellung aktiv Analog output lower limits O upper limits voller Wert e Dist um 330 abh ngig vom Messkopf e Int 4096 Messe 1 kHz und double exposure mode ausgeschaltet Tab 5 4 Men default parameters Werkseinstellung Dieser Befehl ist nur mit den Funktionstasten F1 F4 ausf hrbar Betriebsanleitung OC Sharp 73 5 Konfiguration 5 3 22 Wei referenz erfassen take white reference Wei abgleich N N Erfassen der Wei referenz ist beim normalen Betrieb des Ger ts nicht erforderlich Wird von einer LED auf eine Halogen Lichtquelle umgestellt oder der Halogenlampentyp gewechselt ist ein Wei abgleich erforderlich Vor dem Wei abgleich beachten dass das Ger t sich in einem betriebswarmen Zustand befindet un
86. k Acqu of dark signal No Yes F3 5 Rate opens main menu closes main or sub menu ends data entry CCD scan rate 32 4000 Hz Cycle frequency free double Exposure Accept value NoYes Double exposure cycle Set E time ration 44 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfiguration Average width 1 999 Data averaging esc down up next Spectral average 1 999 esc down up next Spectral averaging Detect threshold 0 4094 Set detect threshold esc down up next Select Sel confoc sensor No confocal sensor SNo Range um Fibre connector clean Select Select measuring mode measuring mode confocal interfer Load setup Toggle on off with F2 F3 Adjust lamp intensity Autoadapt LED on off Store setup Set serial output data see en posman De Serial data ASCII BIN Set default ae Serial data ASCII BIN current format bin ASC Select serial baudrate ake white reference Serial port baud rate Baud Configure Saapamaa au Snow operation dat analog out 1 0 17 l Configure one aoe oe Reset lamplife timer analog out 2 0 17 oz Partial a Set lamplife alert time spect sUppiess PixelPosition 0 40000 _ LCD contrast a Pau Aiming laser intensity Service functions Set system constants 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 45 Irrt mer und nd
87. kann Im interferometrischen Messmodus empfiehlt es sich die R ckantwort zu beachten da es unter bestimmten Umst nden zu Fehlermeldungen kommen kann 1 Der interferometrische Messmodus ist auf diesem Sensor nicht freigeschaltet Der Sensor antwortet mit not valid Die Freischaltung kann nachtr glich bei SICK erworben werden und mittels eines sensorspezifischen Passworts ausgef hrt werden 2 Aufgrund von ung ltigen Eingaben f r den CCD Bereich CRA den Brechungsindex ABE oder der Abbe Zahl ABE wird der interferometrische Messmodus nicht gestartet In diesen F llen lautet die Antwort Error PrepInterfMODE lt x gt x entspricht dem Fehlercode Geben Sie zur Behebung dieses Falls andere Werte ein Bei einer Abfrage lautet die Antwort entsprechend der aktiven Betriebsart Entweder O confocal 1 surface oder 1 confocal 2 surfaces oder 2 interfer thickness Beispiel 1 SMODO CR Antwort SMODO CR ready CR LF Beispiel 2 SMOD 2 CR Antwort SMOD 2 CR not validready CR LF 108 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten SOPD lt 0 3 gt lt arg gt SQTH lt 1 999 gt SRLM lt 0 32767 gt 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 9 Anhang Beispiel 3 SMOD Antwort SMOD 2 interfer thickness ready CR LF auch SCA CRA SRI ABE Betriebsdaten Operation data Dieses Kommando beinhaltet verschiedene Funktionen z
88. liefert Dieser Befehl liefert einige der aktuellen Einstellungen mit den folgenden Informationen SRAx MODx SENx SRCx BIN ASC AVRx AVDx AVSx SODX0 X41 X15 ANAX X X X X X SCAX Weitere Details hinsichtlich des Formats sind der jeweiligen Befehlbeschreibung zu entnehmen Beispiel 1 SSTS Antwort SSTS SRA6 MODO SEN1 SRCO BIN AVR 40 AVD 40 AVS1 S0D1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0ANA0 0 32767 3 0 4096 SCA 3000ready CR LF STHR lt 0 4094 gt Schwellenwert Threshold Beachte Dieses Kommando ist nur im chromatisch konfokalen Messbetrieb verf gbar Hiermit kann ein Intensit tsschwellenwert f r die Messung von Distanzen definiert werden Ein hoher Schwellenwert ist n tzlich um Rauschspitzen nicht f lschlicherweise als Messwert zu interpretieren Soll hingegen eine schwach reflektierende schwarze Fl che vermessen werden muss der Schwellenwert sehr niedrig eingestellt werden Generell kann bei h heren Messraten f r den Schwellenwert eine niedrigere Einstellung gew hlt werden als bei kleinen Messraten Der Grund besteht darin dass bei kleinen Messraten das Streulicht der Faser und der Faserendfl chen l nger ber der CCD integriert wird Ein typischer Wert f r eine Rauschunterdr ckung und maximale Empfindlichkeit bei 4000 Hz ist ein Schwellenwert von 20 bei LOOHZ ist ein Wert von 50 empfehlenswert Ist das Signal kleiner als der Schwellenwert wird O f r die Distanz und die Intensit t ausgegeben Der Mittelungsalgorit
89. ller BE Disketbencontroler EHA Diskettenlaufwerke Fg DYDICD ROM Laufwerke EB Grafikkarte IDE ATAJATAPI Controber fee Laufwerke B O M use und andere Zeigeger be B Monitore EB Netzwerkadapter i gt NVIDIA Network Bus Enumerator E Prozessoren W Systemgerate fe Tastaturen E Cer USB Controber Abb 3 10 Gerate Manager Aktueller serieller Anschluss Der hier verwendete COM Port fur den Sensor ist COMS3 Die aktuelle Treiberversion kann von der SICK Homepage geladen werden am 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 31 Irrt mer und nderungen vorbehalten 4 Messung durchf hren 4 Messung durchf hren In diesem Abschnitt wird die Vorgehensweise bei der Distanz bzw Schichtdickenmessung n her erl utert Es handelt sich dabei um eine Punktmessung F r Profil oder Topographiemessungen wird der Messkopf mit entsprechenden Messeinrichtungen z B 3D Messsystem NEMESIS ber die Oberfl chen gef hrt sodass die Topographie und die Schichtdicke ber einen bestimmten Bereich aus den nacheinander aufgenommenen Einzelmessungen zusammengesetzt werden kann Ablauf Nach der Inbetriebnahme ist die Konfiguration des optischen Sensors der Messaufgabe entsprechend einzustellen Die Einstellung der entsprechenden Parameter finden Sie im Kap 5 3 ab Seite 44 Um h chste Genauigkeiten zu erreichen wird nach der Inbetriebnahme Kap 3 1 auf Seite 25 eine Warmlaufzeit von 10 Minuten empfohlen 1 Du
90. loren 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 37 Irrt mer und nderungen vorbehalten 4 Messung durchf hren Schichtsystem Die interferometrische Schichtdickenmessung erm glicht nicht nur die Messung der Dicke einer einzelnen transparenten Schicht wie z B einer Folie sondern auch Schichtsysteme Wird ein Schichtsystem bestehend aus zwei aufeinanderliegenden Schichten gemessen so misst der Sensor 3 Schichtdicken die beiden Einzelnen und die Gesamtschichtdicke Mehrere Schichten Wichtig ist neben der notwendigen Transparenz der zu messenden Schichten dass sich die Brechzahl zwischen aufeinander folgenden Schichten ndert Es muss ein hinreichend hoher Reflexionsgrad an der Grenzfl che auftreten Je st rker sich die Brechzahl an einer Grenzfl che ndert desto mehr Licht wird reflektiert Messobjekte f r die Schichtdickenmessung A B C Beispiele v Dist um A Abb 4 1 Interferometrische Schichtdickenmessung A Transparente Schicht auf reflektierendem Substrat B Luftspalt zwischen transparenter Schicht und reflektierendem Substrat C Dunnes transparentes Messobjekt Aus dem Spektrum des reflektierten Lichts und der Brechzahl des Schichtmaterials kann dann die Schichtdicke bestimmt werden Messabstand so w hlen dass das aus dem Messkopf austretende Lichtb ndel NS auf einen Punkt auf dem Messobjekt fokussiert wird damit moglichst viel reflektiertes Licht als Messsignal zur Verf gung s
91. n individuell auf den Sensor kalibriert Um exakte Messergebnisse zu erhalten ist sicher zu stellen dass auf dem gew hlten Tabellenplatz der Messkopf mit der richtigen Seriennummer gespeichert ist Ausf hrliche Informationen bzgl der Seriennummer des Tabellenplatzes k nnen mit dem Befehl SENX abgefragt werden Beispiel 1 SSEN 2 CR Antwort SSEN 2 CR ready CR LF Beispiel 2 SSEN Antwort SSEN 2ready CR LF auch SENX SCA MOD SSENX Messkopf Informationen Probe information Liefert den Tabellenplatz des Messkopfs die Seriennummer und den Messbereich in Mikrometer Format lt nO gt SNr lt n1 gt Bereich lt n2 gt um nO Tabellenplatz n1 Seriennummer n2 Messbereich in um Beispiel SSENX Antwort SSENX 2 SNr 123 Bereich 3320umready CR LF auch SEN SCA MOD 110 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten SSHZ lt 32 2000 gt SSOD lt 0 1 gt lt 0 1 gt lt 0 1 gt lt 0 1 gt bis zu 16 Argumente 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten oder SSOD 9 Anhang Frei w hlbare Messrate Set sample rate in Hz Der Befehl SHZ erm glicht die Eingabe freier Messraten in Hertz Mit dem Befehl SRA k nnen nur voreingestellte Messraten ausgew hlt werden Jeder Wert zwischen der durch das Streulicht vorgegebenen Untergrenze und 4000 Hz kann mit diesem Befehl eingestellt werden Wird der Wert nicht
92. n spektraler Position der Abstand zur Oberfl che bestimmt wird Abbildung Halogenlampe Intensit t Lichtwellenleiter Faserkoppl er on ool Messkopf Amin Oberflache K Messbereich ily x Amax ii Abb 2 3 Chromatisches Messprinzip Abstandsmessung 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 13 Irrt mer und nderungen vorbehalten 2 Produktbeschreibung Betriebsart 2 Chromatische Dickenmessung Befindet sich ein transparentes Material innerhalb des Messbereiches erscheinen im Spektrum des reflektierten Lichts zwei Peaks wobei jeder auf die Reflexion an einer der Grenzfl chen der Schicht zur ckzuf hren ist Aus dem spektralen Abstand und der Brechzahl des Schichtmaterials kann man in der Betriebsart 2 konfokale Schichtdickenmessung die Schichtdicke bestimmen Die konfokale Schichtdickenmessung Betriebsart 2 erfordert eine Mindestschichtdicke die von dem verwendeten Messkopf abh ngt damit die beiden Peaks im Spektrum Abb 2 4 Seite 14 noch voneinander getrennt werden k nnen Abstands und Schichtdickenmessung in der Betriebsart 1 und Betriebsart 2 werden mit demselben Messkopftyp durchgef hrt Lichtquelle Lichtwellenleiter 4 y A Abb 2 4 Chromatisches Messprinzip Dickenmessung 14 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Betriebsart 3 Anwendungen 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und
93. n und Messraten zum Datendurchsatz verwendet werden finden Sie im Kap 6 1 ab Seite 78 bzw Tab 6 1 auf Seite 81 und Tab 6 2 auf Seite 81 Kommando SBDR lt Index der Baudrate gt 5 3 16 Analogausgange configure analog 1 configure analog 2 66 Z lt Mit configure analog 1 und configure analog 2 die beiden Analog Schnittstellen konfigurieren An der Frontseite des Ger ts befindet sich unter anderem die Dosenleiste INTERFACE An Pin 10 OUT 2 und Pin 11 OUT 1 dieser Leiste k nnen die Messwerte als analoge Spannung abgegriffen werden 2 2 auf Seite 11 Die Ausg nge liefern eine analoge Spannung von O bis 10 Voc Analogausg nge aufrufen F1 gt F4 Config gt F3 configure analog 1 oder F1 gt F4 Config gt F3 configure analog 2 ausw hlen Contig sel function lt configure analog out gt configure analog out 1 Set signal for ana out Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Output Messwert F4 lt F2 F3 A A gt F4 lt Messwertgrenze F4 lt 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfiguration Mit F2 bzw F3 kann folgende Auswahl getroffen werden set signal for ana out f r Output Messwert Tab 5 3 auf Seite 63 set lower limit value und set upper limit value f r Messwertgrenzen Nach dem Einstellen der zwei Grenzwerte werden die Messwerte die zwischen den Grenzwerten liegen
94. nalprogramm z B Tera Term Freeware betrachtet werden Telegrammformat vgl Kap O auf Seite 22 Ausgabe in BIN Format Kommando BIN Ausgabe in ASCII Format Kommando ASC 5 3 15 bertragungsrate serial port baud rate Z lt il 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Mit serial port baud rate die bertragungsrate f r die serielle Schnittstelle einstellen bertragungsrate aufrufen F1 gt F4 Config gt F3 serial port baud rate ausw hlen Contigs Sel Ei metr en lt serial port baud rate gt select serial baud rate 115200 Baud Die aktuell eingestellte Baudrate wird angezeigt Baudraten 9600 19200 38400 57600 230400 460800 und 921600 Datendurchsatz aus O auf Seite 20 Nur bei einer bertragung ber die RS232 RS422 Schnittstellen ist die Baudrate w hlbar Bei einer Daten bertragung ber die USB Schnittstelle ist die Datenrate auf den Betriebsanleitung OC Sharp 65 5 Konfiguration F1 ESC SL maximalen Wert von 921600 Baud festgelegt Der Datendurchsatz ist neben der bertragungsrate auch von Datenformat Kap 5 3 14 auf Seite 65 und Datenstruktur abh ngig Mit F2 F3 in der Auswahlliste zwischen den Baudraten bl ttern Mit F1 die Auswahl best tigen Das Auswahlfenster wird geschlossen und das Konfigurationsmen ge ffnet Informationen ber die maximale Anzahl von Messwerten die bei den verschiedenen Formaten Baudrate
95. ndex der kleinsten m glichen Messrate wieder SRA sowie die virtuelle Messrate bei welcher die CCD durch das Streulicht ges ttigt ware in Hertz Ist dieser Wert gt 100Hz sollten die Faserendfl chen gereinigt werden Kapitel 7 1 Seite 87 Beispiel 1 SDRK CR Antwort SDRKICR 4 39 2 ready CR LF Encoderposition Encoder Position Mit diesem Kommando k nnen die Inkrementalencoderzahler der 3 Encoderkan le eingestellt oder abgefragt werden Alle Z hler verf gen ber 32Bit Breite welche einen Z hlbereich von 2 bis 27 1 zul ssen Nachdem die Z hler den Endwert erreicht haben z hlen sie wieder in die andere Richtung Es sind sowohl negative als auch positive Positionseingaben m glich 4294967295 1 Erster Parameter Achsenindex Zweiter Parameter Schrittweite Zur Abfrage muss zwischen Achsenindex und ein Trennzeichen z B Leerzeichen gesendet werden Beispiel 1 SENC 1 1234 CR Antwort SENC 1 1234 CR ready CR LF Beispiel 2 SENC 0 Antwort SENC 0 2147483640 CR ready CR LF Betriebsanleitung OC Sharp 103 9 Anhang SEQN SETR lt 0 6 gt lt argi gt auch TRG TRE EXT Reduzierung des Rauschens Equalize noise Gilt nur fur den interferometrischen Messbetrieb Dieses Kommando bewirkt eine Anpassung der Verstarkungsfaktoren FFT Pixel im interferometrischen Messbetrieb Ziel ist es ein gleichm iges Rauschen ber den gesamten Messbereich zu erhalten wenn keinem Eingangs
96. ng Die Pulsdauer betr gt normalerweise 50 us jede Sekunde wird ein Puls auf 10 us verk rzt Dies dient der Synchronisation von mehreren Ger ten wenn diese ber ihren Sync In Eingang mit dem Sync Out verbunden sind i Wait for Trigger Signalverhalten an Analog Out Der Sensor stoppt nach der bertragung des aktuellen Datentelegramms und geht in einen Wartezustand Der zuletzt bertragene Analogwert bleibt bis zur n chsten Belichtung bestehen siehe Befehl TRG 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Betriebsanleitung OC Sharp 83 6 Daten bertragung Schnittstellen 6 4 RS 232 RS 422 Serielle Schnittstelle RS 422 RS 232 Zum Auslesen der Messwerte nach Tab 4 2 Seite 63 und Steuerung Konfigurierung des Ger ts Max Ubertragungsrate 921600 Bd Beide Schnittstellen sind auf dem gleichen Stecker untergebracht Die Auswahl zwischen RS 232 und RS 422 erfolgt automatisch Wenn ein Signal Ruhesignal ca 5V auf dem RX Eingang der RS 232 Schnittstelle liegt ist der Eingang dieser Schnittstelle aktiv Anderenfalls ist der Eingang der RS422 Schnittstelle aktiv Die Datenausgabe auf beiden Schnittstellen erfolgt gleichzeitig Bemerkung Wenn eine USB Verbindung besteht ist diese automatisch als Dateneingang aktiviert die RS 232 422 Eing nge sind abgeschaltet Die Datenausgabe erfolgt parallel ber die RS 232 422 Ausgange Belegung SUB D9 Stecker fur die Verbindungsleitung zum Sensor 5
97. ngestellte Betriebsart wird angezeigt F2 F3 A Mit F2 F3 kann innerhalb der Auswahlliste zwischen den 3 Betriebsarten Ph aN rauf runter gebl ttert werden i Mit F1 die Auswahl best tigen Das Auswahlfenster wird geschlossen und das ESC Konfigurationsmen ge ffnet 54 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Betriebsart 2 chromatische Schichtdicke Brechungsindex tA F1 v4 ESC lt Abbe Zahl 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfiguration F1 gt F4 Config gt F3 select measuring mode ausw hlen Config sel unction lt select measuring mode gt Select measuring mode confocal 2 surface Aktuell eingestellte Betriebsart wird angezeigt Mit F2 F3 kann innerhalb der Auswahlliste zwischen den 3 Betriebsarten rauf runter gebl ttert werden Mit F1 wird die Auswahl best tigt Ger t schlie t das Auswahlfenster und schaltet zum Men punkt Brechungsindex um Bei der Schichtdickenmessung kann der Brechungsindex der transparenten Schicht eingestellt werden Damit wird erreicht dass am Display direkt die geometrische Schichtdicke angezeigt wird refr index nd 1 0000 esc down up next Der aktuelle Brechungsindex wird angezeigt Defaultwert 1 0000 Mit F2 down und F3 up die markierte Ziffer ndern mit F4 next den Cursor zwischen den Ziffern bewegen und mit F1 esc die Eingabe beenden
98. nkelabgleich durchf hren Kap 5 1 Dunkelabgleich durchf hren Dark auf Seite 39 2 Messrate anzeigen ggf anpassen Kap 5 2 1 Messrate einstellen S Rate ab Seite 41 3 Betriebsart ausw hlen Kap 5 3 Betriebsart ausw hlen select measuring mode ab Seite 53 4 Konfiguration pr fen ggf anpassen z B Messkopf etc Kap 5 3 Ger t konfigurieren Config ab Seite 44 EL Ausf hrliche Informationen zu den entsprechenden Messungen f r EL Schichtdicke finden Sie in dem folgenden Kapitel 4 1 beschrieben 32 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 4 Messung durchf hren 4 1 Chromatische Abstandsmessung Betriebsart 1 mode 0 Intensit t Abstand Messbereich 9 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Um einen Abstand zu messen muss eine Oberfl che in den Messbereich des Messkopfs gebracht werden Der ungef hre Messabstand zur Oberfl che ist durch den Messkopf vorgegeben Ist am Ger t die Betriebsart 1 confocal 1 surface eingestellt so erscheint nach dem Einschalten des Ger ts die Anzeige Im Messbereich des Sensors befindet sich keine Oberfl che Die Intensit t ist O und es wird kein Abstand gemessen F r den ersten Messversuch sollte eine gut reflektierende Oberfl che z B eine M nze verwendet werden Der kleine Messbereich des 300 um Messkopfs erfordert beispielsweise entweder eine sehr ruhige H
99. nleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 3 Inbetriebnahme Hardwareinstallation Die Software die fur diese Hardware installert ward OG sharp hat den Windows Logo Test richt bestanden det de Kompakt mi dieser Tes 2 Funktion des m direkt oder in Zukunft E becmtachines Microsoft empfiehlt strengstens die Installation jetzt abzubrechen und sich mit dem Hardwarehersteller fur Software die den Windows Logo Test bestanden hat in Verbindung zu setzen Fertigstellen des Assistenten Die Softveare fur die folgende Hardware wurde instalbert fee OC Sharp Klicken Sie auf Fertig stellen um den Vorgang abzuschheilen Abbrechen Abb 3 7 Treiberinstallation Fertigstellung 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 29 Irrt mer und nderungen vorbehalten 3 Inbetriebnahme Einstellen des COM Port Die Nummer des verwendeten COM Port ist unter dem Ger te Manager ersichtlich Einstellungen Systemsteuerung System Systemeigenschaften Diese kann dort manuell festgelegt werden Systemeigenschaften ajx Sygtemwiederherstellung Automatische Updates Remote Allgemein Lomputername Hardware Erweitert Gerate Manager Der Gerate M anager listet alle auf dem Computer installierten Hardwareger te auf Yerwenden Sie den Gerate Manager um die Eigenschaften eines Ger ts zu ndern Gerate M anager D
100. ns und Analogausg nge Nummeriert sind die Anschl sse von Pin 1 links nach Pin 12 rechts INTERFACE 12 GND Bezugspegel 1 Sync OUT 2 Sync IN 3 GND 1 ca n2 En 5 N1 6 GND l c7 our gt i 8 OUT 1 C 9 GND 10 QA2 cu QA1 c12 GND 82 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 6 Daten bertragung Schnittstellen Trigger Eingang Sync Out Sync Ausgang Tab 6 4 Interface Dosenleiste e als analoge Spannung O 10 V einstellbar Tab 5 3 Seite Messwerte analoge Spannung von O 10 V einstellbar Tab 5 3 Seite 63 Eine positive Flanke von O V nach 5 24 V bewirkt je nach Einstellung des Ger ts Start der Dauermessung aus dem Zustand Wait for Trigger heraus Ausl sen einer Einzelmessung in der Betriebsart Trigger each Beenden einer Einzelmessung und Start der n chsten Einzelmessung in der Betriebsart Ext Timing Inkrementieren des Encoderzahlers f r Achse O wenn dieser in der Betriebsart Pulsz hler ist Das Ger t unterscheidet Pulse die k rzer als 13 us sind von l ngeren Pulsen Diese Information wird dem Ergebnistelegramm der durch diesen Puls ausgel sten Messung mitgegeben So k nnen mehrere Ger te synchronisiert werden e Der Eingang ist intern mit einem 10 kOhm Pullup Widerstand nach 5 V ausgestattet Positive Flanke O V nach 5 V beim Start jeder einzelnen Messu
101. nsparenten Materialien nicht ber den ganzen sichtbaren Wellenl ngenbereich konstant Sein Verlauf kann aber durch die Angabe einer mittleren Brechzahl ng und die Angabe der Abbe Zahl vg f r technische Anwendungen hinreichend gut angen hert werden Dies ist beim Sensor m glich Kapitel 5 3 8 ab Seite 53 Neben den dispersiven Eigenschaften des Materials spielen auch die geometrischen Eigenschaften des transparenten Materials wie z B die Kr mmung der oberen Grenzflache bei der Messung von Linsen eine Rolle f r die Genauigkeit der Messung Diese zus tzliche geometrische Korrektur kann durch eine spezielle Software auf dem angeschlossenen Rechner durchgef hrt werden Hiermit lassen sich genaueste Messungen der Absolutdicke transparenter Materialien erreichen Die Software kann bei SICK bestellt werden Polymethyl Polycarbonat Cycloolefin Cycloolefin methacrylat Polymere Copolymere Eigenschaft PMMA Tab 4 1 Beispiel Abbe Zahlen Kunststoff optisches Glas Solange ein Brechungsindex von n 1 Defaultwert eingestellt ist wird die Ny Brechung des Lichts beim Eintritt in die zu messende Schicht nicht ber cksichtigt und der angezeigte Wert ist im konfokalen Messmodus kleiner im interferometrischen Messmodus jedoch gr er als die tats chliche 34 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 4 Messung dur
102. nt die folgende Men f hrung Funktion Autoadapt AUS Autoadaptfunktion ausgeschaltet die Leuchtst rke der LED kann von 0 bis 100 parametriert werden Die Pulsbreite PWM puls width modulation entspricht der auf dem Display in Klammern angezeigten Leuchtzeit w hrend einer Belichtungszeit Toggle on off with F2 F3 Autoadapt LED OET Betriebsanleitung OC Sharp 57 5 Konfiguration Funktion Autoadapt EIN Das automatische Anpassen der LED Leuchtdauer w hrend einer Belichtungszeit erleichtert es bei Messungen auf wechselnden Oberfl chen die beste Intensit tseinstellung zu erhalten Dies bedingt auch ein optimales Signal Rausch Verh ltnis Um einen definierten Prozentwert der Aussteuerung zu erreichen wird die Helligkeit der Lampe angepasst Der Wert kann den Bereich von 0 bis 75 annehmen Empfehlenswert f r die meisten Anwendungen ist ein Wert zwischen 20 und 40 der Helligkeit F2 F3 A Toggle on off with F2 F3 J L Autoadapt LED on F1 F4 Mit F4 die Auswahl best tigen ESC lt Autoadapt ein ausschalten Kommando AAL lt O oder 1 S ttigung in Prozent gt Lampenintensit t Kommando LAl lt Belichtungsdauer in gt Verwenden mit Halogenlichtquelle V Die folgende Men ebene setzt die Auswahl einer Halogenlampe als Lichtquelle J voraus vA lt Contig z sel Tuncbion lt adjust lamp intensity gt Adjust lamp intensity Voltage 11 75 V 98 Es wird die aktuell festgelegte Lampenin
103. onfiguration Accept value 100 No Yes Mit F4 die Eingabe best tigen Folgende Anzeige erscheint Dauer Exposures cycle Set E time ratio 10 90 Das Verh ltnis der Belichtungszeiten schrittweise ver ndern mit F2 oder F3 F r eine Gesamtmessrate cycle frequency von 100 Hz Belichtungszeit 10 ms kann diese sich begrenzt beliebig aufteilen Bei 100 Hz ist das kleinst m gliche einstellbare Verh ltnis 5 95 mit den Belichtungszeiten 0 5 4 5 ms usw Beispiel Verh ltnis 10 90 entspricht den Belichtungszeiten 1 9 ms oder Verh ltnis 23 77 entspricht den Belichtungszeiten 2 3 7 7 ms Kommando DCY lt kurzeres Belichtungsintervalls in gt Frei einstellbare Messrate Hauptmen aufrufen F1 gt F3 S Rate gt F3 free double Exposure F4 gt F1 ausw hlen E _ s lt free double Exposure gt Mit F2 F3 Set E time ratio 100 0 auswahlen Die Frei einstellbare Messrate ist vorteilhaft gegenuber der Messrate S Rate Kap 5 2 1 auf Seite 42 bei der die CCD Scanrate nur in diskreten Werten eingestellt werden kann Uber das Dialogfenster cycle frequency kann die Messrate in 1 Hz Schritten im Bereich von 5 Hz bis zur maximalen Messrate von 4000 Hz variiert werden Kommando SHZ lt Messrate in Hz Betriebsanleitung OC Sharp 43 5 Konfiguration 5 3 Ger t konfigurieren Config 5 3 1 Menustruktur Wert abhangig von Messkopf Verbindungsart Messmethode etc F1 Clear F Dar
104. orrekte bertragung der Messdaten muss der Computer jederzeit in der Lage sein ankommende Daten zu empfangen Die Baudrate f r RS 232 RS 422 kann im Bereich zwischen 9600 Bd und 921600 Bd eingestellt werden Die h chste vom Host computer unterst tzte Baudrate verwenden um die schnellste Messrate zu nutzen Fur die virtuelle USB Schnittstelle ist die Baudrate auf 921600 Baud fixiert Baudrate am Bedienfeld des Ger ts einstellen unter Config serial port baud rate Kap O ab Seite 65 oder ber das Kommando BDR Befehl BDR Kap 9 3 ab Seite 92 Im Folgenden wird die bertragung von Messdaten ber die RS 232 RS 422 USB Schnittstelle und die Konfigurierung des Ger ts an Hand von Befehlen beschrieben 6 1 Messwerte bertragen Datenpaket Intensit t il W hrend des normalen Betriebs sendet der optische Sensor kontinuierlich Datenpakete mit den ausgew hlten Messdaten und Steuerzeichen Dividiert man die eingestellte Messrate durch die eingestellte Anzahl von Messwerten ber die gemittelt wird data averaging Kap 5 3 3 auf Seite 48 bzw SAVD Tab 6 3 Befehls bersicht auf Seite 82 erh lt man die Anzahl der pro Sekunde bertragenen Datenpakete In jedem Datenpaket werden bis zu 16 Datenw rter jedes 16 Bit lang bertragen Diese W rter stellen Messwerte dar sie k nnen entweder als ASCII Zeichen oder in einem 2 Byte Bin rformat dargestellt werden In den verschiedenen Betriebsarten des optischen Sens
105. ors zur Abstands und Schichtdickenmessung k nnen unterschiedliche Messwerte Abstand Dicke Intensit t bertragen werden Tab 5 3 Seite 63 Die bertragung jedes in der jeweiligen Betriebsart anstehenden Messwerts kann eingeschaltet werden Das geschieht entweder mit den Funktionstasten am Ger t set serial output data Kap 5 3 13 ab Seite 62 oder mit dem Befehl SSODX ber die RS 232 RS 422 USB Schnittstelle Kap 9 3 ab Seite 92 Ein Intensit tswert wird wenn die bertragung im Ger t freigegeben ist Kap 5 3 13 ab Seite 62 ohne Einheit als Zahl zwischen O und 4095 bertragen Im Display wird die Intensit t als Wert zwischen O und 999 dargestellt Ein Intensit tswert von 999 blinkend bedeutet Ubersteuerung 78 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 6 Daten bertragung Schnittstellen Abstand Abstandswert in Betriebsart 1 Dicke Distanz 1 und Distanz 2 in Betriebsart 2 und die Dicke in Betriebsart 3 werden als ganze Zahl zwischen O und 32767 bertragen Tats chliche Abst nde in um bertragene Werte durch 32768 dividieren und mit dem Wert FullRange des Sensors multiplizieren Der Wert FullRange gibt den gr ten zu messenden Abstand an und ist eine spezifische Eigenschaft jedes Sensorkopfes i Um aus den bertragenen Abstandsdaten tats chliche Abstandswerte um zu berechnen muss der Wert FullRange des optischen Sensors ber die Schnittstelle
106. r Eigenschaften 2 3 1 Funktionsbeschreibung 2 3 2 Aufbau 2 3 3 Bedienelemente und deren Funktion 2 4 Technische Daten 2 4 1 Ma zeichnung 2 5 Zubeh r 2 9 1 Optische Faser 2 5 2 Optische Messk pfe Inbetriebnahme 34 bersicht Inbetriebnahme 3 2 Treiberinstallation USB Messung durchf hren 4 1 Chromatische Abstandsmessung 4 2 Chromatische Schichtdickenmessung 4 3 Interferometrische Schichtdickenmessung Konfiguration FL Dunkelabgleich durchf hren Dark 5 2 Messrate einstellen 5 2 1 Messrate festlegen S Rate 5 2 2 Belichtungsmodus anpassen free double Exposure 5 3 Ger t konfigurieren Config 5 31 Men struktur 5 3 2 Konfigurieren 53 3 Messwert Mittelwertbildung data averaging 5 3 4 Spektren Mittelwertbildung Spectral averaging 5 3 5 Schwellenwert Intensitat set detect Threshold Betriebsanleitung OC Sharp Oo 0 oo ON N N 10 10 11 12 13 19 20 21 22 22 22 25 25 26 32 33 34 36 Inhaltsverzeichnis 9 3 6 5 37 9 3 8 5 3 9 5 3 10 5 3 11 5 3 12 5 3 13 5 3 14 5 3 15 5 3 16 5 93 17 5 3 18 5 3 19 5 3 20 5 3 21 5 3 22 9 3 23 5 3 24 5 3 25 5 3 26 Schwellenwert Qualitat set Q threshold Chromatischen Messkopf auswahlen select confocal sensor Betriebsart auswahlen select measuring mode Lampenintensitat einstellen adjust lamp intensity Nutzbaren Pixelbereich auswahlen select used CCD range Kontrasteinstellung Display LCD contrast Anzeige
107. r Mode Timing 9 4 5 Trigger Each Mode Timing 9 4 6 External Timing Mode Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Abbildungsverzeichnis Abb Abb Abb Abb Abb Abb Abb Abb Abb Abb Abb Abb Abb Abb Abb Abb Abb Abb Abb Abb Abb Abb Abb 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 2 8 3 2 3 3 3 4 3 5 3 6 3 7 3 9 3 10 4 1 5 1 7 1 1 2 Abbildungsverzeichnis Optischer Sensor Gesamtansicht Ger teanschl sse bersicht Chromatisches Messprinzip Abstandsmessung Chromatisches Messprinzip Dickenmessung Messkopfe und optische Faser 600 um Messkopf 3 mm Messkopf 12 mm Messkopf interferometrischer Messkopf 3 180 um 40 um Spot Treiberinstallation Startfenster Treiberinstallation 1 Treiberinstallation Fortsetzung Treiberinstallation 2 Durchgang Startfenster Treiberinstallation 2 Durchgang Pfad Treiberinstallation 2 Durchgang Fortsetzung Treiberinstallation Fertigstellung Systemeigenschaften Ger te Manager Ger te Manager bersicht Ger te Manager Aktueller serieller Anschluss Interferometrische Schichtdickenmessung Funktionstasten Wartung Sensor Messkopf pflegen Reinigungsst bchen verwenden Betriebsanleitung OC Sharp 10 11 13 14 17 23 23 23 24 26 27 27 28 28 29 29 30 30 31 38 39 87 88 Tabellenverzeichnis Tab Tab Tab Tab Tab
108. r im Trigger each oder External timing Modus Der Belichtungstrigger war verz gert in Bezug auf den Triggerpuls weil er zu kurz auf den vorhergehenden Puls folgte Bit4 CCD_SATURATED Bit6 SHORTSYNCMARKERSENT Der Sensor sendet alle 5 Sekunden einen kurzen Sync Out Puls der es erlaubt mit gleichartigen Sensoren Slave zu synchronisieren Bit7 SHORTSYNCMARKERRECEIVED Der Sensor erkennt einen k rzeren Sync In Puls lt 12us der es erm glicht mit dem Master zu synchronisieren Bit8 INDEX_INP_TOGGLE Dieses Bit wird mit jeder steigenden Flanke des Encoders O Z Eingangs invertiert Das erlaubt den Sensor Datenstrom mit externen Ereignissen zu synchronisieren Bit9 ALARM_LAMPLIFE Die voreingestellte Lampen Lebensdauer wurde erreicht Die Lampe sollte getauscht werden Bit10 15 reserviert 9 Aktuelle Belichtungszeit als Vielfache von 1 640000 Sekunden 10 Encoder O Position h chstwertiges Datenwort 11 Encoder O Position niederwertigstes Datenwort 12 Encoder 1 Position h chstwertiges Datenwort 13 Encoder 1 Position niederwertigstes Datenwort 14 Encoder 2 Position h chstwertiges Datenwort Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten SSODX lt 0 17 gt lt 0 17 gt lt 0 17 gt bis zu 16 Stuck oder SSODX SSRA lt 3 7 gt SSRI lt 1 4 gt 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalt
109. r keine Daten der seriellen Schnittstelle empfangen Besteht keine USB Verbindung und ein RS 232 Stecker Standardbelegung ist angeschlossen ist diese Schnittstelle aktiv Der Sensor nutzt die negative Spannung am RXD Pin um eine RS 232 Verbindung zu erkennen Ist keine der oben genannten Verbindungen vorhanden ist die RS 422 Schnittstelle aktiv Zur Verwendung der USB Verbindung muss ein Treiber installiert werden Dieser Treiber bildet die USB Schnittstelle als virtuellen Com Port auf dem PC ab F r alle 3 Schnittstellen ist daher nur eine Software notwendig Die serielle Schnittstelle arbeitet ohne Hard oder Software Handshake Um eine korrekte bertragung der Messdaten zu gew hrleisten muss der Computer daher jederzeit in der Lage sein ankommende Daten zu empfangen Daher ist bei Verwendung der maximalen Baudrate 921600 der Einsatz einer Schnittstellenkarte mit Fifo Speicher zu empfehlen Die Baudrate der seriellen Anschl sse kann ber die Funktionstasten am Sensor F4 gt F3 serial port baud rate oder ber das Kommando BDR eingestellt werden Befehlsbeschreibung Sie kann Werte zwischen 9600 Bits s und 921600 Bits s annehmen Empfohlen wird die Verwendung der h chsten Baudrate um auch die gr t m gliche Messrate von 2kHz verwenden zu k nnen Die virtuelle USB Schnittstelle arbeitet mit 921600 Bd Weitere Kommunikationsparameter der seriellen Anschl sse e 8 Bit Werte e keine Paritat 1 Stop Bit
110. rate angezeigt z B 1000 Hz Die Messrate kann schrittweise mit F2 zum n chst kleineren bzw mit F3 zum n chst h heren Wert ver ndert werden 32 100 320 1000 2000 3200 4000 Mit F4 die Auswahl best tigen Kommando SSRA lt index der Messrate gt 5 2 2 Belichtungsmodus anpassen free double Exposure Belichtungszeit Ablauf N N Doppelbelichtungsmodus vermessen von Fl chen mit wechselnden Oberfl chen unterschiedlicher Reflektivit t in einem Messgang Gesamtmessrate bzw Periodendauer einstellen Es werden zwei Messungen mit unterschiedlicher Belichtungszeit durchgef hrt Die Gesamtmessrate reicht von 950 Hz bis 5 Hz mit entsprechenden Belichtungszeiten von 1 ms z B blankes Metall bis 200 ms z B schwarze Fl chen Doppelbelichtungsmodus Belichtungsmodus aufrufen F1 gt F3 S Rate gt F3 free double Exposure ausw hlen Th ol a a a ah a Ne a en l l eel SEDESER zT J lt free double Exposure gt Cycle frequency Hz 300 Esc down up next Mit F2 F3 und F4 Gesamtmessrate einstellen Maximal 950 Hz dies entspricht einer Belichtungszeit von 1 ms Mit F1 die Eingabe beenden Es startet die Sicherheitsabfrage n Cycle frequency Hz 100 ESC Esc down up next F4 lt 42 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten fam 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 K
111. rringern Kap 5 2 1 Sensor sendet keine Daten STO Befehl wurde gesendet STA Befehl und anschlie end SSU ber die Schnittstelle Befehl senden Intensit tsanzeige blinkt Sensor ist ubersteuert dadurch Messrate erh hen Kap 5 2 1 Int 999 verringert sich die Genauigkeit oder LED Intensit t verringern Kap 5 3 9 Anzeige der gemessenen Dicke Brechungsindex falsch eingestellt Brechungsindex anpassen stimmt nicht mit dem Betriebsart ausw hlen Kap 5 3 8 erwarteten Wert berein Konfigurations nderungen Konfiguration wurde nicht im EEPROM Konfiguration nach nderung beim gehen nach jedem Abschalten gespeichert Verlassen des Konfigurationsmen des Ger ts verloren speichern mit YES best tigen Tab 8 1 St rungsanalyse 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 89 Irrt mer und nderungen vorbehalten 9 Anhang 9 Anhang 9 1 Datenschnittstelle 9 1 1 Schnittstellenarten 90 Der Sensor unterst tzt 3 unterschiedliche Schnittstellen zur Daten bertragung 1 USB Full speed 12MBit Sek 2 RS 232 bis zu 921600Bits Sek 3 RS 422 bis zu 921600Bits Sek Welche Schnittstelle aktiv ist h ngt von den folgenden Faktoren ab Besteht eine USB Verbindung zwischen Sensor und Host PC wird diese als aktive Schnittstelle ausgew hlt Die Datentelegramme sowie die R ckantworten auf die Befehle werden trotzdem auch ber die serielle Schnittstelle bertragen 9216008Bits sec Es werden abe
112. s erlaubt mit gleichartigen Sensoren Slave zu synchronisieren Bit 7 SHORTSYNCMARKERRECEIVED Der Sensor erkennt einen k rzeren Sync In Puls lt 12 us der es erm glicht mit dem Master zu synchronisieren Bit 8 INDEX_INP_TOGGLE Dieses Bit wird mit jeder steigenden Flanke des Encoders O Z Eingangs invertiert Das erlaubt den Sensordatenstrom mit externen Ereignissen zu synchronisieren Bit 9 ALARM_LAMPLIFE Die voreingestellte Lampen Lebensdauer wurde erreicht Die Lampe sollte getauscht werden Bit 10 15 reserviert 64 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfiguration 5 3 14 Datenformat serial data ASCII BIN SL Verf gbar sind zwei Formate ASCII BIN um die Messwerte vom optischen Sensor ber die RS 232 RS 422 und USB Schnittstelle auszulesen Datenformat aufrufen F1 gt F4 Config gt F3 serial data ASCII BIN ausw hlen Contig teele ennetrien lt serial data ASCII BIN gt lt serial data ASCII BIN gt current format ASCII ASCII BIN gt Das aktuell eingestellte Format wird angezeigt Mit F2 bzw F3 wird das ASCII oder binary Format angew hlt Mit F1 die Auswahl best tigen Das Auswahlmen wird beendet Es folgt die Abfrage zum Sichern der konfigurierten Parameter in den EEPROM Anschlie end wird das Hauptmen ge ffnet Die Messwerte k nnen als ASCll Zeichen zu einem Computer bertragen und z B mit einem Termi
113. s h lt die Intensit t auf dem CCD durch Anpassung der Strahlzeit der Diode auf einem bestimmten Niveau Der Sollwert wird als Grad der S ttigung im zweiten Parameter eingestellt Wird kein zweiter Parameter eingegeben beh lt der Sensor die aktuelle Einstellung bei Erster Parameter O steh t f r Autoadapt AUS 1 steht f r Autoadapt EIN Zweiter Parameter Wert des CCD Belichtungsgrade 255 S ttigung Ein Wert 80 30 wird empfohlen Beispiel 1 S SAAL1 80 CR Antwort SAAL1 80 CR ready CR LF Beispiel 2 AAL Antwort SAAL 1 80ready CR LF auch LAI Abbe Zahl Abbe number Der Brechungsindex ist abh ngig von der Wellenl nge Dispersion Um die Dicke einer gemessenen Schicht korrekt angezeigt zu bekommen muss daher die Abbe Zahl ber cksichtigt werden Eine niedrige Abbe Zahl steht f r eine starke Dispersion eine hohe Abbe Zahl bedeutet geringe Dispersion ABE O deaktiviert die Dispersion ab Version 5 94 verf gbar Der Wert kann als Gleitkomma unter Verwendung von oder eingegeben werden Beispiel 1 ABE55 8 CR Antwort SABE55 8 CRjready CR LF Beispiel 2 SABE Antwort SABE 55 8ready CR LF hier wurde als Dezimalpunkt verwendet auch SRI SRT MOD CRA Analogausgang konfigurieren Configure analog output Alle intern erzeugten Ergebnisse Werte konnen uber einen der Analogausgange oder ausgelesen werden Die Werte sind linear skaliert sodass der untere Grenzwert zur SANA lt 0 1
114. schen Messmodus skaliert auf den interferometrischen Full scale Wert Das bedeutet 32767 entspricht dem Full scale Wert Abfrage mit SCA Beispiel 1 SRLM 20150 CR Antwort SRLM 20150 CR ready CR LF Beispiel 2 SRLM Antwort SRLM 20150ready CR LF auch LLM LMA Betriebsanleitung OC Sharp 109 9 Anhang SSCA Abfrage des Full scale Werts Scale Abfrage des Skalenendwerts in Mikrometern Wird an der seriellen Schnittstelle ein Distanzwert von 32768 ausgegeben entspricht das einer tats chlichen Distanz x Full Scale in Mikrometern Die Distanz in Mikrometern ergibt sich durch folgende Formel D um d integer 32768 Full Scale Beachte Bei der chromatischen Dickenmessung mode 1 muss der ausgegebene Wert anschlie end mit dem Brechungsindex des gemessenen Materials bei 587 567nm multipliziert werden Bei der interferometrischen Dickenmessung Mode 2 muss der Wert durch den Brechungsindex des gemessenen Materials bei 587 567nm dividiert werden Achtung Der Fullscale Wert wird durch die Befehle MOD SRI ABE und CRA beeinflusst Daher sollte er nach diesen Befehlen immer abgefragt werden Beispiel SSCA Antwort SSCA 3320 CR LF ready CR LF auch MOD SEN SRT SRI ABE SSEN lt 0 15 gt Index des Messkopfs Sensor Mit diesem Befehl wird der Tabellenplatz der entsprechenden Kalibriertabelle ausgew hlt Der Sensor verwendet dann die dort hinterlegte Tabelle Achtung Alle Messk pfe werde
115. se 2 Schiebeabdeckung Halterung f r Montageschiene 3 Bedientasten Alu Aufstellwinkel Anzeige 10 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 2 Produktbeschreibung 2 2 Anschl sse Schnittstellen Vorne Abb 2 2 Ger teanschl sse bersicht O Anschlussdose Lichtwellenleiter Anschluss USB 2 Serielle Schnittstelle 5 Encoder Input Sub D15 Stecker RS 232 RS 422 Sub D9 Dose Dosenleiste Interface Dose f r externe Lichtquelle Dose f r Stromversorgung 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Betriebsanleitung OC Sharp 11 2 Produktbeschreibung 2 3 Sensor Eigenschaften Messrate bis zu 4 kHz Sehr gutes Signal zu Rausch Verhaltnis und eine hohe Dynamik d h auf Oberflachen mit schnell wechselnden Reflextionseigenschaften kann mit derselben Messrate zuverl ssig gemessen werden Das Messobjekt kann spiegelnd oder streuend reflektieren absorbieren oder auch transparent sein Die Farbe der Oberfl che ist ohne Bedeutung Wartungsarm aufgrund langlebiger LED Lichtquelle Automatische Lichtregelung Verarbeitung von bis zu 3 Encodersignalen Vielf ltige Triggerm glichkeiten 2 Analogausg nge mit 16 Bit Aufl sung Datenausgabe sowohl ber USB als auch serielle Schnittstelle Wir empfehlen die Datenausgabe ber USB im industriellen Umfeld nicht als Prozessdatenlinie zu verwenden Bei der Datena
116. sgabe Zustand wird im EEPROM gespeichert wenn das SSU Kommando gesendet wird Nach Neustart beginnt der Sensor sofort mit der Daten ausgabe Stoppt die serielle Datenausgabe Dieser Zustand wird im EEPROM gespeichert wenn das SSU Kommando gesendet wird Wenn er gespeichert wurde erfolgt daher beim n chsten Start solange keine Daten ausgabe bis das Kommando STA gesendet wird Status Report liefert Status 5 90 die Einstellungen Kommando veraltet einiger Parameter Threshold Schwellenwert f r die Peakermittlung im konfokalen Messbetrieb O und 1 Trigger Each Mode Warten auf Trigger Stoppt den Sensor nach Abschluss des aktuellen Datentelegramms und setzt ihn in einen Wartezustand Tab 9 1 Liste der Befehle 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 99 Irrt mer und nderungen vorbehalten 9 Anhang 9 3 4 Detaillierte Kommando Beschreibung SAAL lt 0 1 gt lt 0 255 gt oder SAAL SABE lt O 500 gt SANA lt 0 1 gt lt 0 17 gt lt 0 65535 gt lt 0 65535 gt Nachdem der Sensor die vollst ndige Befehlssequenz erhalten hat und die entsprechenden Befehle ausgef hrt hat sendet er die Zeichen ready CR LF und setzt den Betrieb fort Automatische Helligkeitsanpassung Auto adapt Verf gt der Sensor ber eine LED oder SLD Lichtquelle kann die Intensit t automatisch geregelt werden um optimale Messergebnisse zu erzielen Der Algorithmu
117. signal anliegt Das Ergebnis wird gespeichert Dieses Kommando ist nur notwendig wenn im interferometrischen Messbetrieb signifikante Anderungen des CCD Bereichs vorgenommen wurden Fur korrekte Ergebnisse ist folgendes zu beachten Lampenintensitat auf O setzen LAI 0 nach ca 10 Sekunden einen Dunkelabgleich durchf hren und das Kommando EQN senden Anschlie end die Lampenintensit t auf das gew nschte Niveau einstellen und erneut einen Dunkelabgleich durchf hren Encoder Trigger Encodertrigger Dieses Kommando umfasst mehrere Funktionen bzgl des Encoder Triggers Die Einstellungen k nnen nicht im EEPROM gespeichert werden Der Encoder Trigger ist als Zustands Maschine ausgef hrt Im Ausgangszustand wartet er darauf dass der Positionsz hler der gew hlten Achse die eingestellte Start Position berf hrt Richtung nicht relevant und generiert das erste Trigger Ereignis Das eingestellte Trigger Intervall wird zu der aktuellen Position addiert Erreicht die Achse diese Position wird das n chste Trigger Ereignis erzeugt Dieser Schritt wird wiederholt bis die Stopp Position erreicht wird Die Erzeugung von Triggerpulsen wird dann gestoppt In der Betriebsart Triggerung w hrend der R ckfahrt wartet die Zustands Maschine darauf dass die Stopp Position wieder berfahren wird und generiert Trigger Ereignisse in hnlicher Weise wie auf der Hinfahrt Trigger Intervall wird nun subtrahiert bis die Start Position errei
118. st daher eine h here Messrate zu w hlen Beachten Sie hierzu die Hinweise f r die Schwellenwert Intensit t Kap 5 3 ab Seite 44 Betriebsanleitung OC Sharp 33 4 Messung durchf hren 4 2 Chromatische Schichtdickenmessung Betriebsart 2 In Betriebsart 2 Schichtdicke kann die Dicke einer transparenten Schicht mode 1 gemessen werden wenn sich beide Grenzfl chen dieser Schicht im Messbereich des Messkopfs befinden Ist Betriebsart 2 confocal 2 surfaces eingestellt so erscheint nach dem Einschalten des Ger ts die Anzeige Diese Anzeige gibt an dass sich eine transparente Schicht der Dicke 115 24 um im Messbereich des Messkopfs befindet Befindet sich die Schicht in der unteren H lfte des zur Verf gung stehenden Messbereichs ist der dargestellte Balken dessen Breite der Schichtdicke entspricht links von der Mitte der Balkenanzeige Wird eine transparente Schicht z B Wandst rke einer Glasflasche gemessen so ist die Intensit t des Reflexes der oberen Grenzschicht in der Regel gr er als die des Reflexes der unteren Grenzschicht Intensit t Misst man hingegen z B die Dicke einer Lackschicht auf einem polierten Blech so ist die Intensit t des Reflexes von der oberen Grenzschicht klein die des Reflexes der unteren Grenzschicht dagegen gro Schichtdicke Bei der chromatischen Schichtdickenmessung zeigt das Display die gemessene Schichtdicke in um an Im Allgemeinen ist der Brechungsindex von tra
119. stemperatur Abmessungen Sensoreinheit Gewicht Lichtwellenleiter Netzspannung Leistungsaufnahme Anzahl der Messkan le Lagertemperatur Relative Feuchtigkeit Schutzart Elektrische Schutzklasse Chromatisch interferometrisch Distanz Schichtdicke 32 4 000 Hz Chromatisch richtet sich nach dem Messkopf Interferometrisch 3 180 um optische Wegl nge lt 0 001 0 033 des Messbereiches 0 003 des Messbereiches 15 Bit optional 0 00001 23bit 0 009 des Messbereiches Trigger Eingang 3 Encoder Eing nge Synchronisations Ausgang USB RS 232 RS 422 und Analog 16 Bit RS 232 9 600 921 600 Baud RS 422 9 600 921 600 Baud USB virtual comport 921 600 Baud LED externe Lichtquelle 5 C bis 50 C 200 x 100 x93 mm BxHxT 1 1kg 2 40 m multimode optional stahlummantelt bis 15 m 16 30 V DC mit separatem Netzteil 90 264 VAC 10 W 1 25 C bis 55 C 5 bis 80 nicht kondensierend IP 20 DIN 40050 IEC 144 Tab 2 1 Technische Daten a Messgenauigkeit Linearit tsfehler Steigungsfehler x genutzter Messbereich 20 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 2 Produktbeschreibung 2 4 1 Mafszeichnung 110 I 105 94 OCOD S arD 9 o o a p EHRE 129 192 Abmessungen in mm 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 21 Irrt mer und nderungen vorbehalten 2 Produktbeschrei
120. t SLMA 1 ready CR LF auch RLM LLM Bedientasten am Gerat verriegeln Lock Keyboard 1 Verriegeln O Freigeben Um nicht erwunschten Eingaben wahrend einer automatisierten Messung vorzubeugen k nnen die Bedientasten gesperrt werden Nach jedem Neustart sind die Tasten wieder aktiv Lade Brechungsindex Tabelle Load Refractive index Table Es k nnen bis zu 15 verschiedene Brechungsindex ber Wellenl nge Tabellen in den Sensor geladen und im Flash Memory gespeichert werden Tabelle 16 wird nicht gespeichert Sie muss direkt nach dem Hochladen mit SRT16 aktiviert werden Die Befehlssequenz LRT folgt der Tabellenindex 1 16 in ASCII Zeichen Leerzeichen 1024 ASCll Zeichen zur Indizierung der Datenl nge Leerzeichen und die Tabelleninhalte im Format 64 Bytes Tabellenname als mit O abgeschlossener String Nicht verwendete Zeichen sollen mit O aufgef llt werden 60 Bytes reserviert mit Nullen auff llen 4 Bytes Referenz Brechungsindex als float big endian 896 Bytes bis zu 112 Wellenlange Brechungsindex Paare Wellenlange in um float big endian Brechungsindex als float big endian Nicht verwendete Tabellenplatze am Ende der Tabelle mit dem letzten gultigen Paar auffullen Messmodus e O konfokal 1 Oberfl che e 1 konfokal 2 Oberfl chen e 2 interferometrisch Nach einem Wechsel der Betriebsart sollte der Full scale Wert mit SCA abgefragt werden da er sich ver ndert haben
121. t der LED SLD in Prozent der Belichtungszeit O 100 Bei Verwendung einer Halogenlampe Lampenintensit t 0 104 100 steht f r 12V Versorgungsspannung 104 steht f r 12 5V Mit diesem Befehl wird die aktive Autoadapt Funktion deaktiviert Beispiel 1 SLAI 95 CR Antwort SLAI 95 CR ready CR LF Beispiel 2 SLAI Antwort SLAI 10ready CR LF auch AAL SLLM lt 0 32767 gt Linke Begrenzung Left Limit Untere Begrenzung des Suchbereichs fur die Schichtdicke im interferometrischen Messmodus skaliert auf den interferometrischen Full scale Wert Das bedeutet 32767 entspricht dem Full scale Wert Abfrage mit SCA Beispiel 1 SLLM 450 CR Antwort SLLM 450 CRjready CR LF Beispiel 2 SLLM Antwort SLLM 450ready CR LF auch RLM LMA 8014850 2014 07 SICK Betriebsanleitung OC Sharp 107 Irrt mer und nderungen vorbehalten 9 Anhang SLMA lt 0 1 gt SLOC lt 0 1 gt SLRT lt 1 16 gt lt 1024 gt lt byteO byte1 byte1023 gt MOD lt 0 2 gt Limits aktivieren Limits active Aktiviert oder deaktiviert die Begrenzungen des Suchbereichs bei der Dickenmessung im interferometrischen Messmodus e 0 kompletter Dickenmessbereich ist verf gbar keine Begrenzung aktiviert e 1 die voreingestellten Limits sind aktiv Es werden nur Dicken innerhalb der eingestellten Grenzen ausgewertet Beispiel 1 SLMA 1 CR Antwort SLMA 1 CR ready CR LF Beispiel 2 SLMA Antwor
122. t aber die Abbe Zahl so kann va 199 eingestellt werden Damit wird ng praktisch als konstant gewertet F1 gt F4 Config gt F3 select measuring mode ausw hlen Contig sel netten lt select measuring mode gt Select measuring mode Interf thickness Aktuell eingestellte Betriebsart wird angezeigt Mit F2 und F3 innerhalb der Auswahlliste zwischen den 3 Betriebsarten bl ttern Mit F4 die Auswahl best tigen Ger t schlie t das Auswahlfenster und ffnet die Anzeige Brechungsindex Eingabefenster Bei der Schichtdickenmessung kann der Brechungsindex der transparenten Schicht eingestellt werden Damit wird erreicht dass am Display direkt die gemessene Schichtdicke angezeigt wird refr ndex nd 1 0000 esc down up next Der aktuelle Brechungsindex wird angezeigt Defaultwert 1 0000 Mit F2 down und F3 up die markierte Ziffer ndern mit F4 next den Cursor zwischen den Ziffern bewegen und mit F1 esc die Eingabe beenden Das Auswahlfenster wird geschlossen und das Konfigurationsmen ge ffnet Mit F4 yes diesen Brechungsindex best tigen oder mit F1 no die Eingabe abbrechen 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten am 5 Konfiguration F r eine vollst ndige Beschreibung der Dispersion eines Materials wird die Anderung Brechzahl n des Materials unter der Variation der Wellenl nge A des Lichts als Funktion n A dargestellt Eingeben eines mittleren Bre
123. t den Brechungsindex Nur der Einfluss durch die Abbe Zahl bleibt bei der Ausgabe erhalten Achtung Aus technischen Gr nden kann es im interferometrischen Messbetrieb dazu kommen dass die nderung des Brechungsindex nicht bernommen wird Daher empfiehlt es sich die Befehlsantwort zu berpr fen Beispiel 1 SSRI1 465 CR Antwort SSRI1 465 CR ready CR LF Beispiel 2 SSRI Antwort SSRI 1 465ready CR LF Beispiel 3 SSRI3 99 CR Antwort SSRI3 99 CR ErrorPrepInterfMODE FFready CR LF auch SRT CRA MOD ABE SCA Brechungsindextabelle auswahlen Set refractive table Anstatt das Verhalten des Brechungsindex uber der Wellenlange mittels eines einfachen Models basierend auf ng und Abbe Zahl vg zu beschreiben bietet der Sensor bis zu 15 verschiedene Dispersionsfunktionen welche in Tabellenform im Flash Memory gespeichert werden Mit SRT kann eine dieser Tabellen aktiviert werden die zu dem eingegebenen Parameter gehorende Tabelle wird aktiviert Eine zus tzliche Tabelle kann in den fl chtigen Speicher geladen und mit dem Index 16 aktiviert werden Diese fl chtige Tabelle muss direkt nach dem Hochladen mit dem Kommando LRT aktiviert werden Der Parameter O deselektiert Brechungsindextabellen und w hlt stattdessen das Dispersionsmodell basierend auf Brechungsindex ng und Abbe Zahl vg aus Enth lt eine ausgew hlte Tabelle keine g ltigen Daten schaltet der Sensor auf das Dispersionsmodell um Daher ist bei d
124. teht Messrate Kapitel 5 2 1 ab Seite 42 38 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfiguration 5 Konfiguration ESC Hauptmen Die Konfiguration umfasst neben anderen die Auswahl der Messrate der Betriebsart Messmodus und der Schnittstellen Parameter Es bestehen drei Moglichkeiten das Gerat zu konfigurieren e Manuell mithilfe der Funktionstasten F1 F4 am Bedienfeld e uber die RS 232 RS 422 Schnittstelle Kap 1 auf Seite 78 und e uber die USB Schnittstelle Kap 1 auf Seite 78 Im Folgenden wird die Konfiguration mithilfe der Funktionstasten beschrieben und Empfehlungen fur geeignete Einstellungen der Menus und deren Funktionen gegeben Hauptmen mit F1 aufrufen Jede der vier in diesem Men dargestellten Funktionen entspricht jeweils einer der am Bedienfeld darunter angeordneten Funktionstasten OC Sharp Fi F2 F3 F4 lt ESC Abb 5 1 Funktionstasten F r die Konfiguration stehen folgende Men s zur Auswahl F1 Clear schlie t das Hauptmen F2 Dark startet den Dunkelabgleich des Sensors um den Einfluss des Dunkelsignals zu kompensieren Kap 5 1 ab Seite 39 F3 S Rate Messrate Parameter mit dem der Sensor den Abstand bzw die Schichtdicke aufnimmt Kap 5 2 ab Seite 41 F4 Config Konfigurationsmen Sensor Schnittstellen und Ger teparameter Service Funktionen Kap 5 3 ab Seite 44
125. tensit t angezeigt F2 F3 N Mit F2 und F3 die Lampenspannung verringern bzw erh hen jJ L T Mit F4 die Auswahl best tigen Das Auswahlfenster wird geschlossen und das Konfigurationsmen ge ffnet lt Empfohlen werden Grenzwerte von 80 bis 100 der Lampenspannung 5 3 10 Nutzbaren Pixelbereich auswahlen select used CCD range Anzahl der verwendeten Pixel im interferometrischen Messmodus begrenzen um bei der Schichtdickenmessung einen moglichst hohen Qualitatswert zu erzielen Mit select used CCD range dem Gerat vorgeben welcher nutzbare Pixelbereich ausgewertet wird Dieser sollte zwischen 10 und 750 liegen 58 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfiguration Men Funktion ist nur in Betriebsart 3 interferometrisches Messverfahren aktiv Nutzbaren CCD Pixelbereich aufrufen F1 gt F4 Config gt F3 select used CCD range ausw hlen Pa Contig sel function lt lt select used CCD range F4 lt Adjust lamp intensity Voltage 11 75 V 985 Start Pixelbereich Start Pixel 010 Esc down up next Der aktuelle Pixelbereich wird angezeigt F Mit F2 down und F3 up die markierte Ziffer ndern FA mit F4 next den Cursor zwischen den Ziffern bewegen und mit F1 esc die Eingabe beenden Das Auswahlfenster wird geschlossen und die Eingabeaufforderung f r den Stopp Pixelbereich aktiviert 8014850 2014 07 SICK Betriebs
126. terhalb der Frontplatte befinden sich alle Verbindungsanschl sse f r die Sensoreinheit e Anschlussdosen f r die seriellen Schnittstellen RS 232 RS 422 und USB e Anschluss f r die Encoder e Schnittstelle zur Synchronisation mit externen Ger ten und e Anschluss f r die Stromversorgung Das Ger t kann ohne Anschluss an einen Computer eingesetzt werden um punktuelle Abstands bzw Schichtdickenmessungen durchzuf hren Standalone 16 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Messeinrichtung 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 2 Produktbeschreibung ber die Datenschnittstellen RS 232 RS 422 USB die Analogausg nge und den Triggereingang kann das Ger t in komplexe Messeinrichtungen integriert werden Der Inkrementalencoder Eingang erm glicht sowohl das pr zise Zuordnen von Messpunkten und Achsenpositionen als auch das positionsbezogene Ausl sen von Messungen ohne zus tzliche Hardware Wird der Messkopf z B auf einer Linearachse montiert kann das Profil einer Oberfl che bzw der Verlauf der Dicke einer Schicht entlang der Verfahrstrecke gemessen werden Ein XY Kreuztisch mit zwei Linearachsen erm glicht die Messung der Topographie oder der Schichtdicke in einem Bereich der Oberfl che Die Messung der Topographie von Oberfl chen mit H henunterschieden die den Messbereich des Messkopfs berschreiten erfordert einen XYZ Tisch be
127. tsverbesserung oder zur Erweiterung der Anwendungsm glichkeiten sowie aus fertigungstechnischen Gr nden m ssen wir uns vorbehalten Das Zerlegen des Ger ts f hrt zum Verlust jeglicher Garantieanspr che Davon ausgenommen ist der Austausch von Teilen die einer Abnutzung unterliegen und Wartungs oder Einstellarbeiten erfordern sofern darauf ausdr cklich in dieser Dokumentation hingewiesen wird Eigenm chtige Ver nderungen am Ger t f hren zum Ausschluss der Haftung 1 2 Sicherheitssymbole 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten In der Bedienungsanleitung werden folgende Benennungen und Zeichen f r Gef hrdungen und Hinweise verwendet VORSICHT Dieses Symbol bedeutet eine m glicherweise gef hrliche Situation Das Nichtbeachten dieser Hinweise kann leichte Verletzungen zur Folge haben oder zu Sachbesch digungen f hren VORSICHT Gef hrliche elektrische Spannung bezeichnet Gefahr durch Stromschlag und warnt vor unmittelbar drohender Gefahr f r das Leben und die Gesundheit von Personen oder vor umfangreichen Sachsch den ACHTUNG Ber hren verboten bedeutet dass die Ber hrung der Kontakt Optikfl chen zur Besch digung Zerst rung der Bauteile f hren kann WICHTIG Informationen die der Benutzer zu beachten hat kennen muss um St rungen im Handlungsablauf beim Produkteinsatz zu vermeiden TIPP Vermittelt das Wissen das der Benutzer braucht um das Handlungsziel auf dem dir
128. uenz wird ebenfalls zur ck geliefert Einige Befehle akzeptieren ein Fragezeichen als Argument und liefern die aktuell eingestellten Parameter zur ck Wenn der Sensor das vollst ndige Kommando erhalten und die entsprechende Aktion ausgef hrt hat wird eine befehlsspezifische Antwort zur ck gesendet Ist ein Kommando vollst ndig abgeschlossen sendet der Sensor ready CR LF und setzt den normalen Betrieb fort Betriebsanleitung OC Sharp 93 9 Anhang 9 3 3 Tabelle Befehle und Antworten Befehl Argument lt 0 1 gt lt O 255 gt oder lt gt Abfrage mit statt eines Arguments Antwort lt Abbe Zahl gt lt Nummer des Ausgangs gt lt Index der Datenwerte gt lt untere Grenze gt lt obere Grenze gt Werte durch Kommata getrennt lt 0 1 gt lt n gt lt vO gt lt v10 gt oder lt 0 1 gt lt gt lt 1 999 gt lt 1 999 gt lt n n ist die Anzahl der Datenmittelungen Anzahl der gemittelten Spektren AVS lt Anzahl der gemittelten Spektren gt BDR lt O 7 gt lt Index der Baudrate gt 94 Betriebsanleitung OC Sharp lt 0 1 gt lt Belichtungsgrad der CCD gt lt Anzahl der Mittelungen gt Bemerkung G ltig ab Version Auto Adapt An Aus Schalten der automatischen Helligkeitsanpassung Belichtungsgrad des CCD Die Autoadapt Funktion wird auch durch Senden des LAI Befehls ausgeschaltet Einstellen der Abbe Zahl f
129. uf die CCD trifft wird not valid CR LF ready CR LF ausgegeben und der vorherige Dunkelabgleich wird beibehalten Beispiel 1 SFDK 30 32767 CR 30 Mittellungen alter Abgleich wird vollst ndig ersetzt Antwort SFDK 30 32767I CR 33 1 CRjready CR LF Beispiel 2 SFDK 1 327 CR keine Mittelung nur 1 des alten Abgleichs wird ersetzt Antwort SFDK 1 327 CR 32 8 CR ready CR LF Beispiel 3 SFDK 100 CR 100 Mittelungen alter Abgleich wird vollst ndig ersetzt Antwort SFDK 100 CR 25 7 CR ready CR LF Beispiel 4 SFDKICR 50 Mittelungen alter Abgleich wird vollst ndig ersetzt Antwort SFDK CR 28 5 CRjready CR LF F r den g ngigen Dunkelabgleich ist der Befehl der SDRK Befehl zu verwenden 106 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 9 Anhang SIDE Identifikation Identification Erweiterbares Kommando um den Sensor zu identifizieren Die Abfrage liefert Schl ssel Werte Paare analog eines Ini Files Beispiel FPGA Version A 12 1 A CCD Typ B NIR InGaAs 12 1 Version 800 Produktions ID der Hauptplatine 22 07 2009 Produktionsdatum der Hauptplatine Beispiel SIDE Antwort IDEDevice OC Sharp CR LF FPGA Vers A 12 1 CR LF PNr 471 CR LF PDate 18 4 2008 CR LF HWVers 1 CR LF ready CR LF auch VER LAI lt 0 105 gt _Lampenintensit t Lamp intensity Bei Verwendung einer LED oder SLD Lichtquelle Strahlzei
130. ur berwachung der Betriebsdauer Der erste Parameter ist der Index der Funktion der zweite Parameter ist ein Argument Verfugbare Funktionen sind O Lampenbetriebszeit 314 als Argument setzt die Lampenbetriebszeit auf O zur ck als Argument liefert die Betriebszeit der Lampe Beispiel SOPDO Antwort SOPDO 335h 21minready CR LF 1 Erinnerungsfunktion Lampenbetriebszeit Das Argument entspricht der gew nschten Lampenbetriebszeit in Stunden Nach Ablauf dieser Zeit wird ein Alarmbit im Flag Ausgangswort gesetzt Die Abfrage kann mit erfolgen Diese Einstellung muss mit SSU im EEPROM gespeichert werden Beispiel1 OPD1 1000 CR Antwort SOPD1 1000 CR ready CR LF Beispiel2 OPD1 Antwort SOPD1 1000 CR ready CR LF 2 Abfrage der gesamten Betriebszeit Die kumulierte Gesamtbetriebszeit kann mit als Argument abgefragt werden Beispiel SOPD2 Antwort SOPD2 1325h 57minready CR LF 3 Abfrage der Anzahl der Startvorg nge Die Anzahl der Ein Ausschaltvorg nge kann mit als Argument abgefragt werden Beispiel SOPD3 Antwort SOPD3 543ready CR LF Qualit tsschwellenwert Quality threshold Schwellenwert der Qualit t des Signals in der interferometrischen Betriebsart Beispiel 1 SQTH 30 CR Antwort SQTH 30 CR ready CR LF Beispiel2 SQTH Antwort SQTH 30ready CR LF Rechte Begrenzung Right Limit Obere Grenze des Suchbereichs bei der Dickenmessung im interferometri
131. ur wenig Licht reflektiert wird als ung ltig erkannt Ein zu kleiner Schwellenwert f hrt zu zuf lligen Ergebnissen wenn kein oder nur ein sehr schwaches Signal auf die CCD Zeile auftrifft Die Intensit t wird in relativen Einheiten gemessen Ger teintern wird die Aufl sung Intensit t mit 12 bit Aufl sung als Zahlenwert zwischen O und 4095 bestimmt und so auch ber die Schnittstellen RS 232 RS 422 USB bertragen 50 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 5 Konfiguration Am Display wird die Intensit t zwischen O und 999 angezeigt wobei der Wert 999 am Display dem internen Wert 4095 entspricht Die Abstandsmessung zu einer Oberfl che mit dem optischen Sensor beruht auf der spektralen Auswertung des von der Oberfl che reflektierten Lichts Das Spektrum des reflektierten Lichts zeigt einen ausgepr gten Peak F r die Abstandsmessung wird die Wellenl nge bei der dieser Peak auftritt ermittelt Die Intensit t der Peaks ist f r die Messung ohne Belang solange sie gro genug ist um den Peak vom Rauschen der CCD Zeile unterscheiden zu k nnen Die Intensit t des Peaks h ngt f r einen bestimmten Messkopf vom Reflexionsverm gen der untersuchten Oberfl che der Neigung der Oberfl che im Messfleck und der Belichtungszeit der CCD Zeile im Ger t d h der eingestellten Messrate ab 5 3 6 Schwellenwert Qualit t set Q threshold me 8014850 2014 07
132. uration 5 3 26 Setzen der Systemkonstanten Lichtquelle set system constants gt N DS N 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten Mit dieser Servicefunktion besteht k nftig die M glichkeit unterschiedliche Lichtquellen f r den Sensor auszuw hlen Der Sensor wird mit einer LED ausgeliefert Weitere Lichtquellenoptionen sind in kommenden Erweiterungen vorgesehen Set system constants aufrufen F1 gt F4 Config gt F3 service functions gt F3 set system constants Choose service functions lt Set system constants Mit F2 F3 im Auswahlmen innerhalb der Eintr ge bl ttern Choose Lightsource lt Halogen ext source gt Mit F4 die verwendete Lichtquelle ausw hlen Betriebsanleitung OC Sharp 17 6 Daten bertragung Schnittstellen 6 Daten bertragung Schnittstellen Analog OUT 1 OUT 2 il RS232 RS422 USB Baudrate Die vom optischen Sensor gemessenen Abstands Dickenwerte und die Intensit t des jeweils ausgewerteten Signals k nnen am Display abgelesen oder als Spannung an den beiden Analogausg ngen OUT 1 OUT 2 abgegriffen werden Au erdem k nnen die Messdaten ber die RS 232 RS 422 USB Schnittstelle zu einem Computer bertragen werden Alle Funktionen k nnen mithilfe von Steuerbefehlen eines Computers via serieller Schnittstelle ausgef hrt werden Die serielle Schnittstelle arbeitet ohne Hardware oder Software Handshake F r eine k
133. urch die Treibersignierung kann sichergestellt werden dass installierte Treiber mit windows kompatibel sind Uber Windows Update k nnen Sie festlegen wie Treiber uber diese Website aktualisiert werden sollen Treibersignierung Windows Update Hardwareprofile ber Hardwareprofile k nnen Sie verschiedene Hardware konfigurationen einrichten und speichern Hardwareprotile Abbrechen bernehmen Abb 3 8 Systemeigenschaften Ger te Manager Im Gerate Manager sind alle Systemeigenschaften ersichtlich a Gerate Manager Datei Aktion Ansicht 7 gt m i E Aud o video und i 5 F Computer HZ Diskettencontroller Er Diskettenlaufwerke Bl 4 DYDJ CD ROM Laufwerke El i Grafikkarte HZ IDE ATAJATAPI Controller Fl Laufwerke fT M use und andere Zeigeger te E a Monitore ee Netzwerkadapter gt NYIDIA Network Bus Enumerator EJ Prozessoren El Systemger te H Tastaturen Ei USE Controller Abb 3 9 Ger te Manager bersicht 30 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 3 Inbetriebnahme Ein Doppelklick auf Anschl sse COM und LPT zeigt die aktuell verwendeten COM Ports des Sensors Ger te Manager Datel Aktion Ansicht 7 m Efa ela 7 OC Sharp USB Serial Port COMS af EOP Druckeranschluss LPTI A Kommunikationsanschluss COMI J Audo Video und Gamecontro
134. usgabe ber USB besteht ein h heres Risiko von Kommunikationsst rungen die durch EMV verursacht werden Robuster Messkopf Er enth lt keine elektronischen oder bewegten Teile und kann daher auch bei schwierigen Umweltbedingungen eingesetzt werden Die einzige Verbindung zwischen dem Messkopf und der Sensoreinheit besteht aus einer optischen Faser mit unterschiedlichen L ngen bis zu 50 m Messkopf und Sensoreinheit k nnen somit r umlich getrennt betrieben werden Die hohe numerische Apertur der Messk pfe erm glicht die Abstandmessung auf spiegelnd reflektierenden Oberfl chen selbst wenn diese deutlich verkippt sind Der optische Sensor erm glicht eine koaxiale Messung Abschattung durch St rkanten wie bei Triangulationsmessverfahren tritt nicht auf Hutschienenhalterung 12 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 2 Produktbeschreibung 2 3 1 Funktionsbeschreibung Der optische Sensor verf gt ber drei verschiedene Betriebsarten Betriebsart 1 Chromatische Distanzmessung Distanzmessung wird in Betriebsart 1 konfokale Abstandsmessung durchgef hrt Dabei wird wei es Licht mittels einer Optik mit ausgepr gter chromatischer Aberration auf die Oberfl che des Messobjekts fokussiert F r die Wellenl nge f r die sich die Oberfl che im Fokus befindet wird das reflektierte Licht maximal Das Spektrum des reflektierten Lichts zeigt einen ausgepr gten Peak aus desse
135. value Value for 10V pm 3080 ESC down up next Der aktuell eingestellte Wert wird angezeigt Der maximale obere Grenzwert wird von dem jeweiligen am Gerat angeschlossenen aktivierten Messkopf festgelegt Die beispielshaft gezeigte obere Messwertgrenze Defaultwert 3080 entspricht dem 3 mm Messkopf Mit F2 down und F3 up die markierte Ziffer ndern mit F4 next den Cursor zwischen den Ziffern bewegen und mit FL esc die Eingabe beenden Das Bearbeitungsfenster wird geschlossen und das Auswahlfenster der Analogparameter ge ffnet Set lower limit value kann festlegt oder weiter auf der Ebene des Konfigurationsmen s die n chste Auswahl getroffen werden Kommando SANA lt Index des Analogausgangs Datenindex Wert entspricht O V Wert entspricht 10 V gt 5 3 17 Gezieltes Ausblenden von Spektralbereichen partial spect supress 68 ry Mit partial spect ral supress einen Teil des Spektrums ausblenden z B Prozessspektrum einer Lichtquelle Einen Spektralbereich ausblenden ist erforderlich wenn sich z B ein Laser in der N he des Messkopfs befindet Dadurch kann Streulicht in den Spektrographen sowie auf die CCD Zeile gelangen Um eine st rende Intensit t auf dem CCD zu lokalisieren muss der Wert CCDpos z B Streulicht von 18413 ber die RS 232 RS 422 oder USB Schnittstelle ausgelesen werden Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten N
136. zten Stelle die Service Funktion In fibre connector clean verwenden Kapitel 5 3 18 Seite 70 88 Betriebsanleitung OC Sharp 8014850 2014 07 SICK Irrt mer und nderungen vorbehalten 8 St rungsbehebung 8 Storungsbehebung Display leuchtet nicht keine Netzspannung Netzanschluss prufen Dunkelabgleich meldet zuviel Verschmutzung am Messkopf an der Folgende Komponenten auf Streulicht gt 150 optischen Faser am Gerat Verschmutzung pr fen ggf reinigen Frontlinse des Messkopfs Faserenden und Faserdosen am Messkopf und am Ger t Kann der Fehler nicht behoben werden das Ger t zur Reparatur an SICK senden Defekter Messkopf oder Messkopf optisch pr fen ggf defekte optische Faser austauschen Ersatz bestellen Faser optisch auf Defekt pr fen Anzeige Wei abgleich Position des Spiegels im Folgen Sie den Anweisungen auf dem too much light on CCD oder Wei abgleichtool nicht korrekt Bildschirm ggf Wei abgleich neu not enough light on CCD starten Gerat zeigt keine gultige Messobjekt ist au erhalb des Messobjekt im Messbereich Messung an Fokusbereiches positionieren Tab 2 2 Intensitat und Abstand 0 Messkopf steht zu schrag zur Messoberflache Messkopf ist nicht bzw unsachgem Anschluss des Messkopfs pr fen angeschlossen ggf defektes Teil austauschen Schwellenwert Intensit t ist zuhoch Schwellenwert verringern Kap 5 3 5 Messrate f r Messobjekt zu hoch Messrate ve

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