Benutzerhandbuch MP148D - Physik Instrumente (PI)
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1. www pi de Klicken Sie auf Infothek Wenn Sie Benutzername und Kennwort f r Ihr Produkt parat haben a Klicken Sie auf Login b Melden Sie sich mit dem Benutzernamen und dem Kennwort an Klicken Sie auf gt gt Produkt Downloads Klicken Sie im Bereich Produktdateien auf die entsprechende Produktkategorie Klicken Sie am rechten Seitenrand auf die entsprechende Unterkategorie Navigieren Sie auf der Seite zum Produktcode Folgende Handb cher werden angezeigt Frei zug ngliche Handb cher Handb cher die durch das eingegebene Kennwort gesch tzt sind Klicken Sie auf das gew nschte Handbuch und speichern Sie es auf der Festplatte Ihres PC oder auf einem Datentr ger Version 1 0 0 MP148D N 565 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 2 Sicherheit 2 Sicherheit In diesem Kapitel Bestimmungsgem e Verwendung sssessssesesrresssrneseenneernnnnnnenneetnnnnneenneennnnnnnennennnnnnnne 5 Allgemeine Sicherheitshinweise 0u4440snnonnnnannnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnenannnnnnnannn nen 5 Organisatorische Ma nahmen 44u4440044200nnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nenn 6 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung Der N 565 ist ein Laborger t im Sinne der DIN EN 61010 1 Er ist f r die Verwendung in Innenr umen und in einer Umgebung vorgesehen die frei von Schmutz l und Schmiermitteln ist Entsprechend seiner Bauform ist der N 565 f r die Positionieru2. 5 nm Aufl sung 10 N Druck Zugkraft Abmessungen 65 x 110 x 20 mm B x L x H piezoelektrischer Schreitantrieb NEXACTO N 565 360 Pr zisions Linearversteller 52 mm Stellweg PlOne Linearencoder 0 5 nm Aufl sung 10 N Druck Zugkraft Abmessungen 65 x 160 x 20 mm B x L x H piezoelektrischer Schreitantrieb NEXACT N 565 NEXACTO Versteller MP148D Version 1 0 0 7 3 Produktbeschreibung P I 3 2 Produktansicht 3 2 1 Detailbezeichnungen Abbildung 1 N 565 Produktansicht 1 Bewegte Plattform 2 Kabel f r Sensor und Antriebsanschluss an den Controller 3 Grundk rper Der Pfeil in der Abbildung zeigt die positive Bewegungsrichtung 8 Version 1 0 0 MP148D N 565 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung 3 2 2 Produktbeschriftung 1 2 Abbildung 2 Position der Produktbeschriftung am Versteller 3 Abbildung 3 Position der Produktbeschriftung an Motor und Sensorkupplung N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 9 3 Produktbeschreibung P J 10 Position Beschriftung Beschreibung AA 565 N 565 x60 Produktbezeichnung De EEE nach dem Punkt pr zisieren die Modellangabe 414000946 Seriennummer Beispiel individuell f r jeden N 565 Bedeutung der Stellen Z hlung von links 1 interne Information 2 und 3 Herstellungsjahr 4 bis 9 fortlaufende Nummer A Warnzeichen Handbuch beachten Sen of Origin gt Germany WWW PIMI
3. Bewegung bei vollem Stellweg Mechanische Eigenschaften Belastbarkeit 20 20 Vorschubkraft aktiv 10 10 Haltekraft passiv 10 10 N 565 NEXACT Versteller MP148D N 565 360 x 52 Optischer Linearencoder PlOne 0 5 2 10 5 80 30 1 5 20 10 10 Version 1 0 0 Einheit Toler anz mm nm nm mm s max nm typ urad typ um typ N max N max N min 39 10 Technische Daten Antriebseigenschaften Motortyp Betriebsspannung Anschl sse und Umgebung Betriebstemperaturbereich Material Masse Abmessungen Kabell nge Stecker Empfohlene Controller Treiber NEXACT Piezoschreitantr ieb 10 bis 50 10 bis 50 Aluminium schwarz eloxiert 0 3 65 x 80 x 20 3 HD D Sub m 15 pol Motor HD D Sub f 15 pol Sensor E 861 1A1 einachsiger Motion Controller E 712 modulares System mit bis zu 6 Achsen NEXACT Piezoschreitantr ieb 10 bis 50 10 bis 50 Aluminium schwarz eloxiert 0 4 65 x 110 x 20 3 HD D Sub m 15 pol Motor HD D Sub f 15 pol Sensor E 861 1A1 einachsiger Motion Controller E 712 modulares System mit bis zu 6 Achsen PI NEXACT Piezoschreitantr ieb 10 bis 50 V 10 bis 50 OG Aluminium schwarz eloxiert 0 6 65 x 160 x 20 kg 15 mm 3 m 10 m HD D Sub m 15 pol Motor HD D Sub f 15 pol Sensor E 861 1A1 einachsiger Motion Controller E 712 modulares System mit bis zu 6 Achsen Die Ve
4. PI DE 7 Wartung 7 Wartung In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Wartung ooooccccnnnncccinnnoccccnnnonccnn nn nc cnn nr 33 IN 565 reinigen u eek 33 7 1 Allgemeine Hinweise zur Wartung Der N 565 ist wartungsfrei 7 2 N 565 reinigen Voraussetzungen v Sie haben die Piezoaktoren des N 565 entladen v Sie haben den N 565 vom Controller getrennt N 565 reinigen gt Reinigen Sie die Oberfl chen des N 565 mit einem Tuch das leicht mit einem milden Reinigungs oder Desinfektionsmittel z B Ethanol oder Isopropanol angefeuchtet wurde gt F hren Sie keine Ultraschallreinigung durch N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 33 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 8 St rungsbehebung 8 Storungsbehebung In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur StOrungsbehebunQ cccococinincccnnccccnonnnonannnnncccnnncn nar nn nana cnnnncns 35 M gliche Ursachen und Behebung ccccooocccccnnoccncnanoncnnnononcnnnanoncnn nano ncnn nana cnn nnnnnnnnrannnn 36 8 1 Allgemeine Hinweise zur St rungsbehebung 77 577 AN Gefahr von Blendung und Irritation Der Linearencoder des N 565 verwendet einen Laser der Klasse 2 nach DIN EN60825 1 2007 Technische Daten des Lasers Lmax 1 mW 655 nm Im Auslieferzustand und im bestimmungsgem en Betrieb des N 565 ist der Laser vollst ndig abgeschirmt Laserstrahlen k nnen nur austreten wenn der N 565 ge ffnet wird Der Lichtstrahl des Lasers kann die Augen
5. Stecker D Sub 15 m siehe Sensoranschluss f r N 565 Kupplung HD D Sub 15 w siehe nachfolgende Tabelle 5 1 fe m y 6ooe NA oo Ag ooo 15 11 Abbildung 15 Kupplung HD D Sub 15 w f r Sensor Verbindungsseite Referenzschalter Versorgungsspannung 5V Das Zeichen zeigt an dass der entsprechende Pin nicht belegt ist k NA EX ESO N 565 NEXACTO Versteller MP148D Version 1 0 0 45 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 11 Altger t entsorgen 11 Altger t entsorgen Nach geltendem EU Recht d rfen Elektroger te in den Mitgliedsstaaten der EU nicht ber den kommunalen Restm ll entsorgt werden Entsorgen Sie das Altger t unter Beachtung der internationalen nationalen und regionalen Richtlinien Um der Produktverantwortung als Hersteller gerecht zu werden bernimmt die Physik Instrumente PI GmbH amp Co KG kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines PI Altger tes sofern es nach dem 13 August 2005 in Verkehr gebracht wurde Falls Sie ein solches Altger t von Pl besitzen k nnen Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 D 76228 Karlsruhe N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 47 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 12 EG Konformit tserkl rung 12 EG Konformit tserkl rung F r den N 565 wurde eine EG Konformit tserkl rung gem den folgenden europ
6. ischen Richtlinien ausgestellt 2004 108 EG EMV Richtlinie 2011 65 EU RoHS Richtlinie Die zum Nachweis der Konformit t zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet EMV EN 61326 1 2013 Sicherheit EN 61010 1 2010 RoHS EN 50581 2012 Wenn ein elektrisches Betriebsmittel f r den Einbau in ein anderes elektrisches Betriebsmittel vorgesehen ist Der Betreiber ist f r die normgerechte Einbindung des elektrischen Betriebsmittels in das Gesamtsystem verantwortlich ge NU N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 49
7. ltnisse und Detaillierungsgrad in Illustrationen von den tats chlichen Gegebenheiten abweichen Auch fotografische Abbildungen k nnen abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar 1 5 Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erw hnten Ger te und Programme von PI sind in separaten Handb chern beschrieben E 861 NEXACT Servocontroller PZ205E User Manual PIMikroMove SM148E Software Manual 1 6 Handb cher herunterladen INFORMATION Wenn ein Handbuch fehlt oder Probleme beim Herunterladen auftreten gt Wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 37 INFORMATION F r Produkte die mit Software ausgeliefert werden CD im Lieferumfang ist der Zugang zu den Handb chern durch ein Kennwort gesch tzt Gesch tzte Handb cher werden auf der Website erst nach Eingabe des Kennworts angezeigt Das Kennwort ist auf der CD des Produkts enthalten N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 3 1 ber dieses Dokument E Fur Produkte mit CD Kennwort identifizieren 1 2 3 Legen Sie die CD des Produkts in das PC Laufwerk ein Wechseln Sie auf der CD in das Verzeichnis Manuals Offnen Sie im Verzeichnis Manuals die Release News Datei mit dem Namensbestandteil Releasenews Entnehmen Sie dem Abschnitt User login for software download in den Release News den Benutzernamen user name und das Kennwort password Handb cher herunterladen 1 2 3 ffnen Sie die Website http
8. nnnn cnn 8 3 2 2 ProduktbeschriftUng ooooocccconnncccnnnoccccconocnnnnanoncnncnnannnr nano cnn nnnna nara 9 3 3 ETE na e e E ersten eh een een 11 3 4 Geeignete Controller 02 ceccecesceeesceceeeeeceaeeeeeeeceeeeeseaeeesaaeeeeaeeseeeesaeeseaeeeneeeeeas 11 3 5 Technische Ausstattung ooooonccccnnoccccnnnoccccnononcconn noc cnn nar c cnn rr 12 3 5 1 Linearencoder Sensor ncccccccinocnnnncccconccnnonnnnnann nac cnnnrnnn nn cn nanncnna nc 12 3 5 2 ReferenZschallter ccesccccecsscccceeescceeseeeceeeeeseceeeseseaeeeseseaeeeeneeaeenees 12 4 Auspacken 13 5 Installation 15 5 1 Allgemeine Hinweise zur Installation 0 0 eceeceeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeneeeeeeeeeaees 15 5 2 N 565 auf Unterlage befestigen ooocconnccccnnnoccccnononnnonanoncncnanoncnn nano nn nn nana nn nn 18 5 3 XY System aufbauen siii still 22 5 4 Last am N 565 befestigen viii rede 24 5 5 N 565 an Controller anschlie en urs40u44400nnnnnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nn 26 10 11 12 Inbetriebnahme und Betrieb Wartung 7 1 7 2 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb Betriebsparameter N 565 betreiben Piezoaktoren des Antriebs entladen Allgemeine Hinweise zur Wartung N 565 reinigen St rungsbehebung 8 1 8 2 Allgemeine Hinweise zur St rungsbehebung M gliche Ursachen und Behebung Kundendienst Technische Daten 10 1 Spezifikationen 10 1 1 Datentabelle 10 2 Bemessungsdaten 10 3 10 4 10 4 1 Ant
9. COS COM Herstelleradresse Website Konformit tszeichen CE Schutzleitersymbol kennzeichnet die Lage der Bohrungen Uber die der N 565 an den Schutzleiter anzuschlieBen ist Warnzeichen Handbuch beachten hier Sensorkupplung Oberseite Warnzeichen und Werte f r den Laser Pra N S 33 hier Sensorkupplung Unterseite Hinweis auf Laserstrahlung S 33 hier en kn Sensorkupplung Oberseite Laserstrahlung Version 1 0 0 MP148D N 565 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung 3 3 Lieferumfang N 565 Versteller gem Bestellung S 7 5870500002 Schraubensatz zur Befestigung des N 565 4 Zylinderschrauben M3x16 ISO 4762 2 Zylinderstifte 3 m6 x 8 ISO 2338 000036450 Zubeh r zum Anschluss an das Erdungssystem 1 Flachkopfschraube mit Kreuzschlitz M4x8 ISO 7045 2 Sicherungsscheiben 2 Unterlegscheiben N664B000 1 Adapter D Sub 15 m auf HD D Sub 15 f f r den Sensoranschluss MP137EK Kurzanleitung f r NEXACT Versteller 3 4 Geeignete Controller Controller Beschreibung E 861 1A1 Digitaler NEXACT Controller gt Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst S 37 N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 11 3 Produktbeschreibung P J 3 5 Technische Ausstattung 3 5 1 Linearencoder Sensor Der Versteller ist mit einem optischen Linearencoder ausgestattet Die Aufl sung entnehmen Sie der Tabelle i
10. EIS Sch den durch fehlerhafte Montage Eine fehlerhafte Montage des N 565 oder falsch befestigte Teile k nnen den N 565 besch digen gt Befestigen Sie den N 565 sowie Lasten nur an den daf r vorgesehenen Montagevorrichtungen Bohrungen N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 17 5 Installation pP HINWEIS Verspannen des N 565 durch Montage auf unebenen Flachen Die Montage des N 565 auf unebener Grundflache kann den N 565 verspannen Ein Verspannen verringert die Genauigkeit gt Befestigen Sie den N 565 auf ebener Grundfl che Die empfohlene Ebenheit der Grundflache betragt 10 um gt Bei Anwendungen mit groBen Temperaturschwankungen Befestigen Sie den N 565 nur auf Grundflachen die dieselben oder ahnliche Warmeausdehnungseigenschaften wie der N 565 besitzen HINWEIS Schaden durch ungeeignete Kabel Ungeeignete Kabel k nnen Sch den am N 565 und an der Elektronik verursachen gt Verwenden Sie f r den Anschluss des N 565 an die Elektronik nur Kabel von Pl INFORMATION F r optimale Wiederholgenauigkeit m ssen alle Komponenten fest miteinander verbunden sein 5 2 N 565 auf Unterlage befestigen Optionen f r das Befestigen des N 565 auf einer Unterlage INFORMATION Die Montagebohrungen im Grundk rper des Verstellers sind von oben nur zug nglich wenn sich die bewegte Plattform in der Referenzposition befindet Auslieferzustand Wenn n tig gt Nehmen Sie den V
11. Kundendienst 9 Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre PI Vertretung oder schreiben Sie uns eine E Mail info pi ws gt Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an Produktcodes und Seriennummern von allen Produkten im System Firmwareversion des Controllers sofern vorhanden Version des Treibers oder der Software sofern vorhanden PC Betriebssystem sofern vorhanden gt Wenn m glich Fertigen Sie Fotografien oder Videoaufnahmen Ihres Systems an die Sie unserem Kundendienst auf Anfrage senden k nnen Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 37 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten In diesem Kapitel 10 Technische Daten Spezifikationen A 39 Bermiessungsd ten un center een 41 Abmessungen AA ENEAS EAA ENE AANEEN SA 42 PIDE gungi sida iaa 43 10 1 Spezifikationen 10 1 1 Datentabelle Vorl ufige Daten N 565 160 N 565 260 Aktive Achsen x x Bewegung und Positionieren Stellweg 13 26 Integrierter Sensor Optischer Optischer Linearencoder Linearencoder PlOne PlOne Sensoraufl sung 0 5 0 5 Kleinste Schrittweite 2 2 Geschwindigkeit geregelt 10 10 Unidirektionale 5 5 Wiederholgenauigkeit Neigen bei vollem Stellweg 30 40 Gieren bei vollem Stellweg 30 30 Geradheit und Ebenheit der 1 1
12. MP148D N 565 NEXACTO Versteller Benutzerhandbuch Version 1 0 0 Datum 11 09 2015 PI Dieses Dokument beschreibt die folgenden Produkte N 565 160 Pr zisions Linearversteller 13 mm Stellweg PlOne Linearencoder 0 5 nm Aufl sung 10 N Druck Zugkraft Abmessungen 65 x 80 x 20 mm B x L x H piezoelektrischer Schreitantrieb NEXACT N 565 260 Prazisions Linearversteller 26 mm Stellweg PlOne Linearencoder 0 5 nm Aufl sung 10 N Druck Zugkraft Abmessungen 65 x 110 x 20 mm Bx L x H piezoelektrischer Schreitantrieb NEXACT N 565 360 Prazisions Linearversteller 52 mm Stellweg PlOne Linearencoder 0 5 nm Aufl sung 10 N Druck Zugkraft Abmessungen 65 x 160 x 20 mm B x L x H piezoelektrischer Schreitantrieb NEXACT Physik Instrumente PI GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 76228 Karlsruhe Germany PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE Telefon 49 721 4846 0 Fax 49 721 4846 1019 E Mail info pi de PI Physik Instrumente Pl GmbH 8 Co KG ist Inhaberin der nachfolgend aufgef hrten Marken PIO PICO PICMA PlLine PIFOC PIMag PiezoWalk NEXACT NEXLINE NanoCube NanoAutomation 2015 Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Karlsruhe Deutschland Die Texte Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich gesch tzt Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG beh lt insoweit s mtliche Rechte vor Die Verwendung dieser Texte Bi
13. blenden und Irritationen ausl sen gt ffnen oder zerlegen Sie den N 565 nicht gt Wenden Sie sich bei Fehlfunktionen des N 565 an den Kundendienst N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 35 8 St rungsbehebung P I 8 2 M gliche Ursachen und Behebung Zielposition wird zu langsam oder Regelparameter sind nicht 1 Schalten Sie die mit berschwingen angefahren optimal eingestellt Servoregelung unverz glich Zielposition wird nicht stabil Gro e nderungen der aus gehalten Belastung Pr fen Sie die Einstellungen der Regel ter Unkontrollierte Schwingungen H n Don i des N 565 vun n tig korrigieren Sie die Einstellungen der Regelparameter Verringerte Haltekraft und Keramikschiene des Kontaktieren Sie unseren Vorschubkraft NEXACT Antriebs ist Kundendienst S 37 verschmutzt Keine oder eingeschr nkte Zu hohe Last Verringern Sie die Last Bewegung siehe Datentabelle S 39 Lineal des Encoders ist Kontaktieren Sie unseren verschmutzt z B durch Kundendienst S 37 Ber hren Fehlfunktion des Encoders gt F hren Sie eine durch sto artige Referenzfahrt durch siehe Krafteinwirkung Benutzerhandbuch des Controllers Wenn die St rung Ihres Systems nicht in der Tabelle angef hrt ist oder wenn sie nicht wie beschrieben behoben werden kann kontaktieren Sie unseren Kundendienst S 37 36 Version 1 0 0 MP148D N 565 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 9
14. chtigtes Abziehen c Verbinden Sie die Kupplungsseite des Adapters HD D Sub 15 f mit dem Einbaustecker des Controllers siehe Benutzerhandbuch des Controllers 3 Sichern Sie die Steckverbindungen am Controller mit den integrierten Schrauben gegen unbeabsichtigtes Abziehen N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 27 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 6 Inbetriebnahme und Betrieb 6 Inbetriebnahme und Betrieb In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb uuernneennnnenennnnennennn 29 Betriebsparameter uu uu n nen elek 31 NA ak 31 Piezoaktoren des Antriebs entladen 44ssrsnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnnennnnnnnnn 32 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb HINWEIS A DD Sch den durch Kollisionen Kollisionen k nnen den Versteller die zu bewegende Last und die Umgebung besch digen gt Stellen Sie sicher dass im Bewegungsbereich des Verstellers keine Kollisionen zwischen Versteller zu bewegender Last und Umgebung m glich sind gt Platzieren Sie keine Gegenst nde in Bereichen in denen sie von bewegten Teilen erfasst werden k nnen gt Halten Sie bei einer Fehlfunktion des Controllers die Bewegung sofort an gt Wenn m glich passen Sie die Stellwegsgrenzen in der zur Bewegungskommandierung verwendeten Software an Ihr mechanisches System an N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 29 6 Inbetriebnah
15. des NEXACTO Antriebs 1 Unterseite der bewegten Plattform des N 565 2 Keramikschiene des NEXACT Antriebs nicht ber hren 16 Version 1 0 0 MP148D N 565 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation HINWEIS Sch den durch mechanische Einwirkung Das Lineal des Linearencoders ist kratzempfindlich und kann durch mechanische Einwirkung z B durch spitze Gegenst nde besch digt werden gt Behandeln Sie das Lineal mit u erster Vorsicht In der Referenzposition der bewegten Plattform Auslieferzustand ist das Lineal nicht zug nglich Wenn vor Installation und Demontage n tig gt Nehmen Sie den Versteller in Betrieb S 29 und f hren Sie eine Referenzfahrt zum Referenzschalter aus siehe Benutzerhandbuch des Controllers HINWEIS Fehlfunktion durch Verschmutzung Verschmutzungen jeglicher Art z B durch Staub l Schmiermittel oder Kondenswasser machen den N 565 funktionsunf hig gt Halten Sie den N 565 frei von Schmutz und Kondenswasser gt Vermeiden Sie das Ber hren der Keramikschiene des NEXACT Antriebs und des Lineals des Linearencoders In der Referenzposition der bewegten Plattform Auslieferzustand sind Keramikschiene und Lineal nicht zug nglich Wenn vor Installation und Demontage n tig gt Nehmen Sie den Versteller in Betrieb S 29 und f hren Sie eine Referenzfahrt zum Referenzschalter aus siehe Benutzerhandbuch des Controllers HINW
16. dreher N 565 auf Unterlage befestigen 1 Nur bei Befestigen von oben Wenn die erforderlichen Montagebohrungen im Grundk rper des N 565 durch die bewegte Plattform verdeckt sind Nehmen Sie den Versteller in Betrieb S 29 und kommandieren Sie die bewegte Plattform an eine geeignete Position siehe Benutzerhandbuch des Controllers und Pfeile in der Abbildung 2 Richten Sie den Versteller so auf der Unterlage aus dass sich die entsprechenden Montagebohrungen in Versteller und Unterlage berdecken 3 Drehen Sie die Schrauben an den Montagebohrungen entsprechend der gew hlten Befestigungsoption S 29 ein Bei Befestigen von oben F hren Sie die Schrauben durch die bewegte Plattform und den Grundk rper des N 565 in die Unterlage ein Bei Befestigen von unten F hren Sie die Schrauben durch die Unterlage in den Grundk rper des N 565 ein Maximale Einschraubtiefe 7 5 mm Maximales Drehmoment 0 5 Nm 4 Stellen Sie sicher dass alle Schraubenk pfe vollst ndig abgesenkt sind 5 berpr fen Sie den festen Sitz des N 565 auf der Unterlage N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 21 5 Installation pP 5 3 XY System aufbauen Zwei Versteller N 565 k nnen zu einem XY System kombiniert werden gt Wenden Sie sich f r weitere Kombinationsm glichkeiten an den Kundendienst S 37 HINWEIS A Unzul ssig hohe Last an den Verstellern i f In einem XY System muss der Versteller f r die Y Ac
17. e f r die entsprechenden Montagebohrungen Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 15 Sie haben den Versteller ordnungsgem befestigt S 18 Sie haben die Last so vorbereitet dass sie an den Montagebohrungen auf der bewegten Plattform befestigt werden kann Der Abstand zwischen dem Schwerpunkt der Last und dem Zentrum der bewegten Plattform ist in alle Richtungen m glichst gering Fur das Befestigen der Last auf der bewegten Plattform sind mindestens zwei Punkte vorgesehen Werkzeug und Zubeh r Mindestens zwei Schrauben geeigneter L nge Optionen Schrauben M2 5 Schrauben M3 Geeignetes Werkzeug zur Befestigung der Schrauben 24 Version 1 0 0 MP148D N 565 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Last am N 565 befestigen Abbildung 10 Montagebohrungen zum Befestigen der Last auf der bewegten Plattform 1 8xM2 5 Bohrungen mit Gewindetiefe 4 mm 2 18 x M2 Bohrungen mit Gewindetiefe 3 mm 3 4x M3 Bohrungen mit Gewindetiefe 5 mm Genaue Lage siehe Abmessungen S 42 1 Richten Sie die Last so aus dass die ausgew hlten Montagebohrungen in der bewegten Plattform f r die Befestigung verwendet werden k nnen N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 25 5 Installation gt 2 Befestigen Sie die Last mit den Schrauben an den ausgew hlten Montagebohrungen in der bewegten Plattform Maxi
18. ellten Informationen z B Erg nzungen und Technical Notes zum Benutzerhandbuch hinzu Wenn Sie den N 565 an Andere weitergeben f gen Sie dieses Handbuch und alle sonstigen vom Hersteller bereitgestellten Informationen bei F hren Sie Arbeiten grunds tzlich anhand des vollst ndigen Benutzerhandbuchs durch Fehlende Informationen aufgrund eines unvollst ndigen Benutzerhandbuchs k nnen zu leichten Verletzungen und zu Sachsch den f hren Installieren und bedienen Sie den N 565 nur nachdem Sie dieses Benutzerhandbuch gelesen und verstanden haben Personalqualifikation Nur autorisiertes und entsprechend qualifiziertes Personal darf den N 565 installieren in Betrieb nehmen bedienen warten und reinigen 6 Version 1 0 0 MP148D N 565 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung In diesem Kapitel M dell bersichti uuu ee 7 Prod ktansicht 2 m 2 rare ae nn 8 Lieferumfang una eek 11 Geeignete Controller u0u0 nennen 11 Technische Ausstattung 22422222 ni 12 3 1 Modell bersicht Der N 565 ist in folgenden Ausf hrungen erh ltlich Modell Beschreibung N 565 160 Prazisions Linearversteller 13 mm Stellweg PlOne Linearencoder 0 5 nm Aufl sung 10 N Druck Zugkraft Abmessungen 65 x 80 x 20 mm B x L x H piezoelektrischer Schreitantrieb NEXACT N 565 260 Pr zisions Linearversteller 26 mm Stellweg PlOne Linearencoder 0
19. erenzfahrt durch siehe Benutzerhandbuch des Controllers INFORMATION Die positive Bewegungsrichtung zeigt in die dem Kabelabgang entgegengesetzte Richtung INFORMATION Die Wiederholbarkeit des Positionierens ist nur gew hrleistet wenn der Referenzschalter immer von derselben Seite angefahren wird Diese Anforderung erf llen empfohlene Controller von Pl durch die automatische Richtungserkennung f r Referenzfahrten zum Referenzschalter 30 Version 1 0 0 MP148D N 565 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 6 Inbetriebnahme und Betrieb 6 2 Betriebsparameter Bei Verwendung der im Lieferumfang des Controllers E 861 1A1 enthaltenen Software k nnen die Betriebsparameter aus der Verstellerdatenbank PIMicosStages2 dat geladen werden gt Laden Sie sich den Pl Update Finder von der Pl Website http update pi portal ws herunter und aktualisieren Sie damit die Verstellerdatenbank PIMicosStages2 dat auf Ihrem PC Weitere Informationen zu Verstellerdatenbanken finden Sie im Benutzerhandbuch des Controllers E 861 1A1 6 3 N 565 betreiben Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb gelesen und verstanden S 29 Sie haben das Benutzerhandbuch des Controllers gelesen und verstanden Sie haben das Benutzerhandbuch der PC Software gelesen und verstanden Sie haben den Versteller ordnungsgem befestigt S 15 XX S SOS Der Controller und die ben tigte PC So
20. ersteller in Betrieb S 29 und f hren Sie eine Referenzfahrt zum Referenzschalter aus siehe Benutzerhandbuch des Controllers Die Montagebohrungen des N 565 sind f r folgende Befestigungsoptionen vorgesehen 18 Version 1 0 0 MP148D N 565 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Befestigungsoption Montagebohrungen Details siehe Abmessungen S 42 Befestigen von oben mit Schrauben M3x12 Abbildung 6 N 565 Ansicht von oben Bohrungen M4 mit Kernlochdurchmesser 3 4 mm und Senkung f r das Befestigen von oben mit Schrauben M3 Befestigen von oben mit Schrauben M3x12 Diese Befestigungsoption wird z B beim Aufbau eines XY Systems aus zwei Verstellern N 565 genutzt S 22 Abbildung 7 N 565 Ansicht von oben Bohrungen mit 3 4 mm und Senkung f r das Befestigen von oben mit Schrauben M3 Befestigen von unten mit Schrauben M4 Abbildung 8 N 565 Ansicht von unten Bohrungen M4 f r das Befestigen von unten mit Schrauben M4 N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 19 5 Installation PI HINWEIS Zu lange Schrauben Zu tief eingebrachte Schrauben k nnen den N 565 besch digen gt Beachten Sie die Tiefe der Montagebohrungen S 42 gt Verwenden Sie nur Schrauben mit der richtigen Lange f r die entsprechenden Montagebohrungen HINWEIS Hervorstehende Schraubenk pfe Hervorstehende Sch
21. ftware wurden installiert Alle Anschl sse am Controller wurden eingerichtet siehe Benutzerhandbuch des Controllers N 565 betreiben gt Folgen Sie f r die Inbetriebnahme und den Betrieb des N 565 den Anweisungen im Handbuch des verwendeten Controllers N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 31 6 Inbetriebnahme und Betrieb E I 6 4 Piezoaktoren des Antriebs entladen INFORMATION Der N 565 wird von NEXACT Piezoaktoren angetrieben Durch Temperaturschwankungen und Druckbelastungen k nnen Ladungen in Piezoaktoren entstehen Nach dem Trennen von der Elektronik k nnen Piezoaktoren f r einige Stunden aufgeladen bleiben Das Ber hren oder Kurzschlie en der Kontakte im Antriebsstecker des N 565 kann unangenehme Stromschl ge ausl sen Wenn Sie die unangenehme Stromschl ge vermeiden wollen gt Entladen Sie den Versteller bevor Sie den Antriebsstecker vom Controller abziehen Piezoaktoren des Antriebs entladen Wenn Sie den Stecker des Antriebs vom Controller abziehen m chten 1 Wenn Sie im geregelten Betrieb arbeiten Schalten Sie am Controller den Servomodus aus 2 Stellen Sie am Controller durch Senden eines RNP Befehls die Piezospannung auf 0 V ein siehe Benutzerhandbuch des Controllers 3 Wenn m glich Schalten Sie den Controller aus 4 Warten Sie vor dem Abziehen des Steckers vom Controller mindestens 10 Sekunden 32 Version 1 0 0 MP148D N 565 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW
22. hse mitbewegt werden Unzul ssige hohe Lasten beeintr chtigen die Bewegung und k nnen die Versteller besch digen gt Beziehen Sie die Masse des mitbewegten Verstellers in die Berechnung der zu bewegenden Last ein gt F ralle Versteller in einem Mehrachssystem berschreiten Sie nicht die maximal zul ssige Last gt Stellen Sie f r alle Versteller in einem Mehrachssystem sicher dass Kr fte die jeweils in Bewegungsrichtung an der bewegten Plattform angreifen die aktive Druck Zugkraft des Antriebs nicht berschreiten S 39 Bezeichnungen in dieser Anleitung Unterer Versteller Bildet die Basis des Mehrachssystems X Achse ist auf einer Unterlage befestigt Oberer Versteller Bildet die Y Achse des Mehrachssystems wird um 90 gedreht auf dem unteren Versteller befestigt Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 15 v Sie haben den Platzbedarf f r eine knickfreie und vorschriftsm ige Kabelf hrung ber cksichtigt v Sie haben den unteren Versteller ordnungsgem auf einer Unterlage befestigt S 18 Werkzeug und Zubeh r 4 Schrauben M3 im Lieferumfang des oberen Verstellers S 11 Geeigneter Schraubendreher 22 Version 1 0 0 MP148D N 565 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation XY System aufbauen Abbildung 9 XY Sy
23. lder und Zeichnungen ist nur auszugsweise und nur unter Angabe der Quelle erlaubt Originalbetriebsanleitung Erstdruck 11 09 2015 Dokumentnummer MP148D LMo Version 1 0 0 nderungen vorbehalten Dieses Handbuch verliert seine G ltigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision Die jeweils aktuelle Revision ist auf unserer Website zum Herunterladen S 3 verf gbar PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE Inhalt 1 ber dieses Dokument 1 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs 444444HHnnnnnn nn n nn 1 1 2 Symbole und Kennzeichnungen ursnssssnsnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nn 1 1 3 Begriffserkl rung u een ee een 2 1 4 Abbildungen es enen ea n nn enn ne aenhr a erer ee 3 1 5 Mitgeltende DokuMentE ococoncccccnonococinononcconononcconanoro nan nnnn cnn nn anna ran 3 1 6 Handb cher herunterladen ccceccceceeeeeeeeeeeneeeeeeeaeeeeeeaaeeeeeeaaeeeseeaaeeeeseaeeeeseaas 3 2 Sicherheit 5 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung uuersssesensnnnnennnnnnnennnnnnnennnnnnnnnnnnnnonn nn 5 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise uusrs0nnnnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nennen 5 2 3 Organisatorische Ma nahmen rs44sssnsunnnennnnnnnnnnennnnnnnnnnnnennnnnn nn 6 3 Produktbeschreibung 7 3 1 Modell bersicht cairear ar aa aeai 7 3 2 ProduktanSICN dia ita 8 3 2 1 Detailbezeichnungen coooocccccnnociccnonoccncnonancnnnanncnn nano nn nn nano nn nn
24. m Abschnitt Spezifikationen S 39 Optische Linearencoder messen die Ist Position direkt Direktmetrologie Fehler im Antriebsstrang wie z B Nichtlinearitat Umkehrspiel oder elastische Deformation k nnen die Positionsmessung nicht beeinflussen 3 5 2 Referenzschalter Der Versteller ist mit einem richtungserkennenden Referenzschalter ausgestattet der ungefahr in der Mitte des Stellwegs angebracht ist Dieser Sensor sendet ein TTL Signal das anzeigt ob sich der Versteller auf der positiven oder negativen Seite des Referenzschalters befindet Die Befehle die das Referenzsignal verwenden sind im Benutzerhandbuch des Controllers und oder in den entsprechenden Softwarehandb chern beschrieben 12 Version 1 0 0 MP148D N 565 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 4 Auspacken 4 Auspacken 1 Packen Sie den N 565 vorsichtig aus 2 Vergleichen Sie die erhaltene Lieferung mit dem Inhalt laut Vertrag und mit der Packliste 3 berpr fen Sie den Inhalt auf Anzeichen von Sch den Bei Anzeichen von Besch digungen oder fehlenden Teilen wenden Sie sich sofort an Pl 4 Bewahren Sie das komplette Verpackungsmaterial auf f r den Fall dass das Produkt zur ckgeschickt werden muss N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 13 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation 5 Installation In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Installation u444nnnnnnnnnnnnnnnn
25. male Einschraubtiefe in der bewegten Plattform des N 565 Schrauben M2 3 mm Schrauben M2 5 4mm Schrauben M3 5 mm Maximales Drehmoment Schrauben M2 0 3 Nm Schrauben M2 5 0 7 Nm Schrauben M3 1 3 Nm 3 berpr fen Sie den festen Sitz der Last auf der bewegten Plattform des Verstellers 5 5 N 565 an Controller anschlie en 3m 998989896 Abbildung 11 N 565 Anschl sse 1 Antriebsstecker HD D Sub 15 m 2 Sensorkupplung D Sub 15 f 3 Adapter D Sub 15 m auf HD D Sub 15 f 26 Version 1 0 0 MP148D N 565 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 15 Sie haben einen geeigneten Controller S 11 installiert Sie haben das Benutzerhandbuch des Controllers gelesen und verstanden Der Controller ist ausgeschaltet Werkzeug und Zubeh r Adapter N664B0001 im Lieferumfang S 11 Schraubendreher f r Schlitzschrauben SL N 565 am Controller E 861 1A1 anschlie en 1 Verbinden Sie den Antriebsstecker des Verstellers mit der entsprechenden Buchse des Controllers siehe Benutzerhandbuch des Controllers 2 Verbinden Sie die Sensorkupplung des Verstellers mit dem Controller a Verbinden Sie die Sensorkupplung des Verstellers mit der Steckerseite des Adapters D Sub 15 m b Sichern Sie die Steckverbindung mit den integrierten Schrauben gegen unbeabsi
26. me und Betrieb pP I HINWEIS Sch den durch Positions nderungen aufgrund externer Kr fte Das Verschieben der bewegten Plattform des Verstellers durch extern angreifende Kr fte kann den Antrieb besch digen Positions nderungen der bewegten Plattform die durch extern angreifende Kr fte ausgel st werden k nnen auch die Last oder die Umgebung besch digen gt Stellen Sie insbesondere bei vertikaler Montage des Verstellers sicher dass Kr fte die in Bewegungsrichtung an der bewegten Plattform angreifen die aktive Druck Zugkraft des Antriebs S 39 nicht berschreiten gt L sen Sie Bewegungen ausschlie lich durch Senden von Bewegungsbefehlen an den Controller aus Verschieben Sie die bewegte Plattform nicht manuell HINWEIS Unkontrollierte Schwingungen Ihre Anwendung und der N 565 k nnen durch unkontrollierte Schwingungen besch digt werden Unkontrollierte Schwingungen sind dadurch erkennbar dass der Versteller die Zielposition zu langsam bzw zu schnell anf hrt oder sie nicht stabil h lt Servozittern Falls w hrend des Betriebs des N 565 unkontrollierte Schwingungen auftreten gt Schalten Sie unverz glich die Servoregelung der betreffenden Achse aus gt Pr fen Sie die Einstellungen der Regelparameter INFORMATION Sto artige Krafteinwirkungen k nnen eine Fehlfunktion des Encoders verursachen gt Vermeiden Sie sto artige Krafteinwirkungen auf den Versteller gt F hren Sie eine Ref
27. ng Justierung und Verschiebung von Lasten in einer Achse bei verschiedenen Geschwindigkeiten vorgesehen Der N 565 ist ein Versteller f r die Nanostelltechnik Der Vorschub wird durch NEXACT Piezoaktoren erzeugt die an einer Keramikschiene ankoppeln PiezoWalk Prinzip Der N 565 ist mit einem Linearencoder zur direkten Positionserfassung ausger stet Die bestimmungsgem e Verwendung des N 565 ist nur im eingebauten Zustand und in Verbindung mit einem geeigneten Controller m glich S 11 Der Controller ist nicht im Lieferumfang des N 565 enthalten 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise Der N 565 ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut Bei unsachgem er Verwendung des N 565 k nnen Benutzer gef hrdet werden und oder Sch den am N 565 entstehen gt Benutzen Sie den N 565 nur bestimmungsgem und in technisch einwandfreiem Zustand Lesen Sie das Benutzerhandbuch Beseitigen Sie St rungen die die Sicherheit beeintr chtigen k nnen umgehend Der Betreiber ist f r den korrekten Einbau und Betrieb des N 565 verantwortlich N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 5 2 Sicherheit PI 2 3 Organisatorische Ma nahmen Benutzerhandbuch gt Halten Sie dieses Benutzerhandbuch st ndig am N 565 verf gbar Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit F gen Sie alle vom Hersteller bereitgest
28. ngen des N 565 42 Version 1 0 0 MP148D N 565 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 4 Pinbelegung 10 4 1 Antriebsanschluss Der Stecker HD D Sub 15 bertr gt die Signale zur Ansteuerung des Antriebs Das Zeichen zeigt an dass der entsprechende Pin nicht belegt ist Dieser Pin ist im Steckergeh use mit GND verbunden Im Controller E 861 1A1 wird dieser Pin zur Aktivierung der Verst rker verwendet N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 43 10 Technische Daten i 10 4 2 Sensoranschluss Pinbelegung der Kupplung D Sub w am N 565 Der D Sub 15 Anschluss Ubertragt die Signale von und zu dem integrierten inkrementellen Linearencoder Sensor und dem Referenzschalter 8 1 OS Ciera 10 wwe we wu fe 15 9 Abbildung 14 Kupplung D Sub 15 w f r Sensor Verbindungsseite Versorgungsspannung 5V Eingang GND GND Encodersignal 1 Cosinus Ausgang COS Encodersignal 1 Cosinus Ausgang invertiert Encodersignal 2 Sinus Ausgang Encodersignal 2 Sinus invertiert Ausgang Q Z U Das Zeichen zeigt an dass der entsprechende Pin nicht belegt ist 44 Version 1 0 0 MP148D N 565 NEXACTO Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 4 3 Pinbelegung des Adapters N664B0001 F r den Adapter N664B0001 der im Lieferumfang des N 565 enthalten ist gelten folgende Pinbelegungen
29. nnnnnnnnnnnnnnnnnn nn nn 15 N 565 auf Unterlage befestigen umsussnnaanonennnannnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnannnn 18 XNY SystemAaufbauen nun n n leise nee aim ida 22 Last am N 565 befestigen u en el 24 N 565 an Controller anschlie en 240rs44snnnonnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnnnn nen 26 5 1 Allgemeine Hinweise zur Installation HINWEIS Sch den durch Positions nderungen aufgrund externer Kr fte Das Verschieben der bewegten Plattform des Verstellers durch extern angreifende Kr fte kann den Antrieb besch digen Positions nderungen der bewegten Plattform die durch extern angreifende Kr fte ausgel st werden k nnen auch die Last oder die Umgebung besch digen gt Stellen Sie insbesondere bei vertikaler Montage des Verstellers sicher dass Kr fte die in Bewegungsrichtung an der bewegten Plattform angreifen die aktive Druck Zugkraft des Antriebs S 39 nicht berschreiten gt L sen Sie Bewegungen ausschlie lich durch Senden von Bewegungsbefehlen an den Controller aus Verschieben Sie die bewegte Plattform nicht manuell N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 15 5 Installation P Abbildung 4 Bei ausgefahrener bewegter Plattform zug nglich Lineal des Linearencoders 1 Unterseite der bewegten Plattform des N 565 2 Lineal des Linearencoders nicht ber hren Abbildung 5 Bei ausgefahrener bewegter Plattform zug nglich Keramikschiene
30. raubenk pfe k nnen den N 565 besch digen gt Stellen Sie sicher dass die Schraubenk pfe in den Montagebohrungen vollst ndig abgesenkt sind und die Bewegung nicht beeintr chtigen Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 15 v Sie haben eine geeignete Unterlage bereitgestellt F r die erforderliche Lage der Bohrungen siehe Abmessungen S 42 F r das Befestigen von oben mit Schrauben M3x12 Vier Bohrungen M3 mit einer Tiefe von mindestens 5 mm sind vorhanden F r das Befestigen von unten mit Schrauben M4 Vier Durchgangsbohrungen f r Schrauben M4 sind vorhanden Die Dicke der Unterlage und die Tiefe von Senkungen an den Durchgangsbohrungen in der Unterlage sind so angepasst dass eine maximale Einschraubtiefe von 7 5 mm im N 565 eingehalten wird Die Ebenheit der Oberfl che ist lt 10 um Bei Anwendungen mit gro en Temperaturschwankungen Die Unterlage besitzt m glichst dieselben W rmeausdehnungseigenschaften wie der N 565 v Sie haben den Platzbedarf f r eine knickfreie und vorschriftsm ige Kabelf hrung ber cksichtigt 20 Version 1 0 0 MP148D N 565 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Werkzeug und Zubeh r Schrauben entsprechend der gew hlten Befestigungsoption siehe oben 4 Schrauben M3x12 im Lieferumfang oder 4 Schrauben M4 von geeigneter Lange nicht im Lieferumfang Geeigneter Schrauben
31. riebsanschluss 10 4 2 Sensoranschluss Altger t entsorgen 10 1 2 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Abmessungen uersnnesennnennnnnnnnnnnen nen Pinbelegung umsursnnssnneennnnnnennnnnnnn 10 4 3 Pinbelegung des Adapters N664B0001 EG Konformit tserkl rung PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 1 ber dieses Dokument 1 ber dieses Dokument In diesem Kapitel Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ccoooocccccnnocccccononcccnnnancnnnnnncncnnnnncncnnnns 1 Symbole und KennzeichnungeN coccccnoccconocononcccnonnnononanono cnn ncn nan nana 1 BegrifiSerklarUND ii A eee A AATE 2 Abbildungen oi 3 Mitgeltende Dokumente ae aes 3 Handb cher herunterladen oococoonnccinnnnnoconncccccnnccncnnnnn nn nn 3 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enth lt die erforderlichen Informationen f r die bestimmungsgem e Verwendung des N 565 Grunds tzliches Wissen zu geregelten Systemen zu Konzepten der Bewegungssteuerung und zu geeigneten SicherheitsmaBnahmen wird vorausgesetzt Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit 1 2 Symbole und Kennzeichnungen In diesem Benutzerhandbuch werden folgende Symbole und Kennzeichnungen verwendet A Gefahrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen leichte Verletzungen gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden HINWEIS n Gef hrliche Sit
32. rstellerserie N 565 ersetzt die Serie LPS 65 40 Version 1 0 0 MP148D N 565 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 1 2 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Folgende Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen sind f r den N 565 zu beachten Einsatzbereich Nur zur Verwendung in Innenr umen Maximale H he 2000 m Luftdruck 1100 hPa bis 0 1 hPa Relative Luftfeuchte H chste relative Luftfeuchte 80 f r Temperaturen bis 31 C nichtkondensierend Linear abnehmend bis 50 relativer Luftfeuchte bei 40 C nichtkondensierend Betriebstemperatur 10 C bis 50 C Lagertemperatur 20 C bis 60 C Transporttemperatur 20 C bis 60 C berspannungskategorie gem EN 60664 1 2007 VDE 0110 1 Schutzklasse gem EN 61140 VDE 0140 1 Verschmutzungsgrad gem EN 60664 1 2007 VDE 0110 1 Schutzart gem IEC 60529 10 2 Bemessungsdaten Der Versteller ist f r folgende Betriebsgr en ausgelegt Maximale Maximale Maximale Betriebsspannung Betriebsfrequenz Leistungsaufnahme A A A N 565 NEXACTO Versteller MP148D Version 1 0 0 41 10 Technische Daten E 10 3 Abmessungen Abmessungen in mm Zeichen die zur Abtrennung von Dezimalstellen verwendet werden Tiefe und Durchmesser von Bohrungen Punkt Alle anderen Ma angaben Komma 4x 03 4 _ 6 4x 2 5H7 V5 Abbildung 12 Abmessu
33. stem aus zwei Verstellern N 565 260 aufbauen 1 Oberer Versteller bewegte Plattform in Referenzposition mit a d Montagebohrungen 3 4 mm mit Senkung f r Zylinderschrauben M3 2 Unterer Versteller mit a d Montagebohrungen M3 in der Plattform Bohrungen die sich beim Befestigen berdecken sind mit demselben Buchstaben bezeichnet 1 Wenn n tig Machen Sie die ben tigten Montagebohrungen im Grundk rper des oberen Verstellers zug nglich Nehmen Sie den oberen Versteller in Betrieb S 29 und f hren Sie eine Referenzfahrt zum Referenzschalter aus siehe Benutzerhandbuch des Controllers 2 Positionieren Sie den oberen Versteller um 90 gedreht auf der bewegten Plattform des unteren Verstellers siehe Abbildungen oben 3 Richten Sie den oberen Versteller so aus dass sich die ben tigten Montagebohrungen im oberen und unteren Versteller berdecken Bohrungen a bis din der Abbildung oben 4 Drehen Sie in jede der Bohrungen eine Schraube M3 vollst ndig ein 5 Stellen Sie sicher dass alle Schraubenk pfe vollst ndig abgesenkt sind 6 berpr fen Sie den festen Sitz des oberen Verstellers N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 23 5 Installation pP 5 4 Last am N 565 befestigen HINWEIS Zu lange Schrauben Zu tief eingebrachte Schrauben k nnen den N 565 besch digen gt Beachten Sie die Tiefe der Montagebohrungen S 42 gt Verwenden Sie nur Schrauben mit der richtigen L ng
34. uation Bei Nichtbeachtung drohen Sachsch den gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden N 565 NEXACT Versteller MP148D Version 1 0 0 ho 1 ber dieses Dokument pP INFORMATION Informationen zur leichteren Handhabung Tricks Tipps etc Symbol Bedeutung Kennzeichnung 1 Handlung mit mehreren Schritten deren Reihenfolge 2 eingehalten werden muss gt Handlung mit einem Schritt oder mehreren Schritten deren Reihenfolge nicht relevant ist Aufz hlung S 5 Querverweis auf Seite 5 RS 232 Bedienelement Beschriftung auf dem Produkt Beispiel Buchse der RS 232 Schnittstelle Auf dem Produkt angebrachtes Warnzeichen das auf ausf hrliche Informationen in diesem Handbuch verweist 1 3 Begriffserkl rung Belastbarkeit Maximale Belastbarkeit vertikal wenn der Versteller horizontal montiert ist Der Angriffspunkt der Last liegt in der Mitte der Plattform Linearencoder Der Linearencoder ist ein inkrementeller Sensor zur Erfassung von Lage nderungen Die Signale des Sensors werden f r die R ckmeldung der Achsenposition verwendet Nach dem Einschalten des Controllers muss eine Referenzwertbestimmung durchgef hrt werden bevor absolute Zielpositionen kommandiert und erreicht werden k nnen 2 Version 1 0 0 MP148D N 565 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 1 ber dieses Dokument 1 4 Abbildungen Zugunsten eines besseren Verst ndnisses k nnen Farbgebung Gr Benverh
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