Descriptif des bancs de caractérisations électrique
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1. C De Matos M Pugnet C De Matos M Pugnet Exploration de puissances cr tes lev es des longueurs d onde ajustables pour l optique non lin aire Application possible ondes de choc dans les semiconducteurs acc s limit formation n cessaire Discrets Manuel quelques minutes par composant quelques campagnes par an aucun Laser YAG puls g n rateur optique param trique Boxcar photodiodes rapides Si Ge optom canique Impulsions 10Hz 15ps A ajustable de 75nm 2um puissance 50m 1 06um 25m dans le vert 40 Caracterisation Optique C 2 5 R seaux de diffraction B t A S12 e Responsables scientifiques e Utilisateur s habituel s e Objectifs Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Duree de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Celles du puissance m tre Celles du montage 3D e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation Ph Arguel Ph Arguel Caract risation des r seaux de diffraction mesure du pas uniformit Mesure de l indice effectif des mat riaux et composants acc s limit formation n cessaire Discrets Manuel quelques minutes par composant quelques campagnes par an aucun Laser Argon 363nm Laser He Ne optiques diodes laser du commerce diff rentes longueurs2. Jour Par campagne Azote Air comprim Vide Eau Distributeurs de pr cision Metrohom pompe p ristaltique agitateur chauffant ionom tre d bim tre testeur param trique HP4140 hotte de chimie 1 pc Contr le des solutions concentration chimique temp rature de 20 C 100 C d bit de 50ml min 1L min HP 4140 10 A 10mA 100V Interface de mesure 10V 1 mA Aucune pour le moment 56 Caracterisation de Microsystemes D 3 3 Caracterisation d jecteurs matriciels e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation Anne Marie Gu MIS Mesure des param tres d jection d une matrice d jecteurs oui Discrets Manuel demi journ e minimum par campagne Eau DI solvents Banc optique alimentation courant tension g n rateur de signaux cam ra zoom miroir de renvoi Th se T Phou Soufflette N2 vide cam ra rapide Electronique de commande Acquisition images synchronisation acquisition et actionnement 57 Caracterisation de Microsystemes D 3 4 Caracterisation microfluidique en cours de realisation e Responsa
3. 1 source de lumi re blanche fibree 1 camera SONY moniteur 1 monochromateur HR1000 syst me acquisition 1 LASER Ar Ti AL 03 Courant Max 200mA R solution 10A Tension Max 7V Rapports de stage de J POLESEL MARIS N RIVIERE R gulation en temp rature du support de VCSEL Contr le en temp rature du support via le programme VB et alim PRO8000 35 Caracterisation Optique C 1 2 Caracterisation de diodes laser mettant par la tranche Mesure de I P V spectre diagramme de rayonnement B t C 88 e Responsables scientifiques e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Celles de l ANDO e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation S Bonnefont O Gauthier Lafaye S Bonnefont O Gauthier Lafaye D Mulin M Boutillier Caract risation des diodes laser P I V I spectre diagramme de rayonnement acc s limit formation n cessaire Discrets mission par la tranche Manuel et Automatis commande monochromateur et syst me acquisition via Visual Basic quelques minutes quelques heures par composant quotidien aucun 1 alimentation ILX optique et opto m canique cam ra SONY moniteur spectrographe ANDO photodi
4. Descriptif des bancs de caract risations lectrique hyperfr quence optique et de microsystemes Al 4 1 1 4 1 2 4 1 3 4 1 4 4 1 5 A 2 4 2 1 4 2 2 4 2 3 4 2 4 4 3 1 4 3 2 AA 4 4 1 4 4 2 4 4 3 4 4 4 5 4 5 1 4 5 2 B l B 1 1 B 1 2 B 1 3 B 1 4 B 2 B 3 B 4 mise jour Septembre 2004 CARACTERISATION ELECTRIQUE oooccncccnonnoconnonnnconconancononnnccnnconaccnnconanonccnonconaccnnnonanconnonos 3 TESTS PARAMETRIQUES MESURE DE COURANT DE TENSION DU TEMPS Caract risation standard Mesure del Her Caract risation bas niveau Mesure de V et t ss 6 Caract risation des composants de puissance Mesure del et V 7 Traceurs de caract ristiques JH 8 Test aux d charges lectrostatiques ESD caract risation par 9 MESURE D IMPEDANCE viciado geg ee nt 10 Mesure de capacit s inter electrodes de transistor MOSS 10 Mesure RLC dans la gamme 20Hz lt f lt IM 11 Mesure RLC dans la gamme 75kHz lt f lt 30MHz in 12 Mesure C V avec Sonde au Mercure 13 LOCALISATION MESURE DE POINTS CHAUDS sise 14 EE EE 14 Thermographie Infrarouge rapide 15 CARACTERISATION DE SUBSTRATS 16 Mesure de dur e de vie des porteurs ss 16 DLTS Deep Level Transient Spectroscopy ss 17 Mesure par Effet Hall sise 18 AFM SSRM Spreading Resistance 19 CARACTERI
5. Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Celles du couplage e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation E Daran E Daran B Viallet Caract risation du guidage dans les chantillons fluorures dop s TR dur e de vie pertes la propagation luminescence en mode guid caract risation de r seaux acc s limit formation n cessaire Discrets mission par la tranche Manuel et Automatis commande moteur Lyot monochromateur et syst me acquisition via Visual Basic quelques minutes par composant quelques campagnes par an raison de 2 jours par semaine aucun Laser Argon 7W Laser Ti Saphir objectifs pour injection monochromateur HR1000 d tecteurs InGaAs Ge Si PM AsGa 1 PC de commande Injection de la lumi re du Ti Saphir via un objectif optique dans le guide 21m 39 Caracterisation Optique C 2 4 Optique non lin aire B t A S28 e Responsables scientifiques e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Duree de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Celles Laser e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour linstrumentation Pour l automatisation
6. alit de la diode totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes taille max 8 pouces Manuel ou Automatis 5 minutes pour 1 composant Variable Air comprim Vide HP4142B Karl Suss PA200 Gamme en courant 1 pA gt 1A Gamme en tension 0 1 mV gt 200 V Puissance 20 W En pulse 1uA gt 10 et 0 2 mV gt 10V aucune Mettre jour les proc dures d extraction des param tres 20 Caract risation Electrique A 5 2 Mesure de temps de commutation de transistor MOS e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Duree de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation H Tranduc Tous Mesure de temps de commutation sur charge r sistive La maquette est r aliser au coup par coup par l utilisateur gt Discrets Manuel Quand la maquette existe de quelques minutes 1 heure Aucun Oscillo Tektronix 500 MHz 4 voies Alim Fontaine 500V 4A Alim HP 60V 9A Alim HP 120V 4A Temps de commutation partir de 10 ns aucune Traitement des donn es pour extraire les temps de commutation 21 CARACTERISATION HYPERFREQUENCE 23 Caracterisation Hyperfrequence
7. influence sur les mesures 37 Caracterisation Optique C 2 2 R flectivit en lumi re blanche Bat 86 e Responsables scientifiques e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour linstrumentation Pour l automatisation V Bardinal V Bardinal R flectivit sur chantillons VCSEL et sur plaques de silicium acc s limit formation n cessaire Discrets Manuel et Automatis commande monochromateur et syst me acquisition via Visual Basic quelques minutes par composant 3 4 jours de mesures raison de 2 3 campagnes par an aucun Source de lumi re blanche Jobin Yvon monochromateur HR1000 bient t DK480 1 d tection synchrone EG amp G 5209 d tecteurs InGaAs AsGa 1 PC de commande Celles du HR1000 r solution 0 008nm Rapport de stage tudiant BTS 2003 Exp rimentation qui sera transf r e en salle RTP B t C 174b sur le monochromateur DK480 pilot en Labwindows CVI 38 Caracterisation Optique C 2 3 Caracterisation des guides fluorures dopes TR B t C 86 e Responsables scientifiques e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants
8. B 1 Mesure de bruit B 1 1 Bancs de mesures de bruit basse fr quence BF e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Localisation e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Temps de mesure e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation R Plana R Plana L Bary doctorants Mesure du bruit basse fr quence de 1 Hz 100 kHz deux bancs a et b bas s sur des m thodes diff rentes E56 acc s limit longue formation n cessaire Discrets et Plaquettes banc a automatis banc b manuel de quelques minutes plusieurs heures quotidien Air comprim Vide pour les stations sous pointes commun station sous pointes Cascade Microtec 9600 cages de Faraday multim tres HP 34401A banc a FFT Takeda Riken TR9405A amplificateur faible bruit EG amp G 5184 banc b FFT HP 89410A amplificateurs transimp dance EG amp G5182 Mesures permettant d observer des niveaux de bruit d amplitude d l ordre de 10 A Hz banc a 5 10 min pour un dip le 45 60 min pour un quadrip le banc b 5 min pour un dip le 15 20 min pour un quadrip le Th ses R Plana L Bary mesure en temp rature d velopper sur la banc b 25 Ca
9. Mesure sur wafer 1 station sous pointe semi automatique Karl Suss PA200 1 testeur param trique Agilent 4142B Mesure sur composant discret 1 testeur p param trique Agilent 4142B Thermostream TP04200A Gamme en courant continu 1 pA gt 1 Gamme en courant pulse 1 gt 10 Gamme en tension 2uV gt 1000 V Puissance 20 W 75 C 225 C aucune Caract risation Electrique A 1 4 Traceurs de caract ristiques I V e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Traceur 370A Traceur 371 Thermostream e Bibliographie H Tranduc Tous Caracteristiques I V bipolaire ou unipolaire en continu en pulse dans le domaine 1mA 500A et 3kW totale apres une formation par le personnel de 2i Discrets Manuel et Automatise logiciel Metrics ICV Quelques minutes sans temp rature 1 2h avec temp Hebdomadaire Air comprim 3 Traceurs de courbes Tektronix 370A 371 et model 57 Thermostream TP04200A Mini 1uA Maxi 20 2kV Puissance 220W dur e de l impulsion 300us ou 80us toutes les 10ms 500A 3kW ou 3kV 30W 75 C 225 C aucune Caract risation Electrique A 1 5 Test aux d charges lectrostatiques ESD caract risat
10. Possibilit de mesures en temp rature sous pointes min 60 C max 200 C E35 totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes Semi automatis 30 40 min quotidien Air comprim Vide pour les stations sous pointes air ass ch pour les mesures en temp rature stations sous pointes S ss Microtec PM8 et ou PA200 analyseurs de r seau Anritsu 37397C et ou Wiltron 360B Evolution vers des mesures 110 GHz 29 Caract risation Hyperfr quence Banc de fiabilit de commutateurs MEMS hyper enti rement automatis e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Localisation e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation D Dubuc D Dubuc doctorants Contr le d activation du commutateur cyclage Mesures param tres en S possibilit de mesurer en temp rature Mesures electro m canique et de fiabilit E35 acc s limit longue formation n cessaire Discrets et Plaquettes Automatis 30 40 min hebdomadaire Air comprim Vide pour les stations sous pointes air ass ch pour les mesures en temp rature stations sous pointes S ss Microtec PA2
11. application d une goutte de mercure sur l oxyde d une plaque de silicium e Autonomie des utilisateurs totale apr s une formation par le personnel de 2i e Utilisation Composants Plaquettes taille max 4 Fonctionnement Manuel Dur e de la mesure variable Fr quence d utilisation variable Fluides utilis s Vide Appareils HP4284 et sonde mercure e Performances Celles du HP4284 e Bibliographie Notice d utilisation simplifi e e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation 13 Caracterisation Electrique Localisation Mesure de points chauds A 3 1 Mesure de photo mission e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie M Nolhier M Bafleur N Nolhier Localiser sur une puce le lieu d une focalisation de courant d avalanche ou la distribution de courants de recombinaison La mesure est effectu e sur la face avant de la plaquette Une mesure sur puce en boitier avec fen tre optique peut tre envisag e totale apres une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes taille max 8 pouces Manuel De quelques secondes a 1h Hebdomadaire 80 CIP Air comprim Vide S
12. automatis valuation en cours de l Accent Diva 225 31 C CARACTERISATION OPTIQUE 33 Caracterisation Optique C 1 Tests parametriques mesure de puissance de tension spectre C 1 1 Caract risation VCSEL Mesure de V P spectre diagramme de rayonnement B t C 86 e Responsables scientifiques e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Celles du LDC8002 e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour linstrumentation Pour l automatisation V Bardinal T Camps G Almuneau V Bardinal T Camps G Almuneau C Bringer stagiaires Acquisition des courbes tension et puissance d livr e par composant VCSEL en fonction du courant Gammes de courant courant de quelques nA a 200mA et tension jusqu 7V temp rature ambiante acces limit formation n cessaire Discrets a mission par la surface Manuel et Automatis commande du monochromateur via Visual Basic quelques minutes par composant plusieurs heures quotidien purge azote dans le monochromateur HR1000 1 alimentation PRO8000 avec module LDC8002 1 amperemetre TTI 1 d tection synchrone HTDS 128A 1 photodiode Si 1 alimentation tension optique et opto m canique 2 FO 1 multimode 1 monomode
13. d onde moteur pas pas puissance m tre Advantest montage m canique 3D Surface de d tection 1cm P d tect e de 1nW 50mW de 400nm 1 1um Pr cision 10 degr Veiller conserver l environnement propre et stable thermiquement n cessaire aux caract risations des r seaux ainsi que la possibilit d obscurit totale 41 Caracterisation Optique C 3 Spectroscopie C 3 1 Photoluminescence B t C 86 e Responsables scientifiques e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation E Bedel C Fontaine A Arnoult E Bedel C Fontaine A Arnoult P Gallo Contr le de l intensit et de la longueur d onde mises par les structures pitaxi es dans le b ti de MBE et contr le de l tat et de la r ponse du b ti MBE acc s limit formation n cessaire Discrets Manuel et Automatis commande monochromateur et syst me acquisition via Visual Basic quelques minutes par composant Ajouter le temps n cessaire pour pomper le cryostat environ min au moins 2 jours par semaine pendant une campagne de croissances MBE balayage d azote dans le monochromateur HR1000 Laser Argon 7W
14. e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie H Tranduc Tous Observation de puces de grandes tailles et acquisition d image totale apres une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes Manuel Observation immediate Acquisition 5 minutes Quotidienne aucun Binoculaire LEICA MZ12 Appareil photo numerique POLAROID PC Grossissement max x205 Champ visuel 1 1mm Grossissement min x5 Champ visuel 41 7mm aucune 47 Caract risation de Microsyst mes D 1 2 Microscope force atomique AFM Topographie e Responsable scientifique Sarrabayrouse e Utilisateur s habituel s Dilhan e Objectifs Etude des surfaces l chelle nanom trique e Autonomie des utilisateurs aucune e Utilisation Composants Discrets ou Plaquettes taille max 4 pouces Fonctionnement Automatis Dur e de la mesure 30 min Fr quence d utilisation Quotidienne Fluides utilis s Appareils e Performances Resolution enX Y 2alOnm en Z 0 1 nm e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation 48 Caract risation de Microsyst mes D 1 3 Profilom trie et vibrom trie par interf rom trie e Responsable scientifique e Utilisateur s
15. laser Ar 1W monochromateur HR1000 cryostat 1 detection synchrone 5209 detecteurs PD InGaAs PM GaAs 1 PC de commande Celle du HR1000 Resolution 0 008nm Celle du cryostat Temp rature minimale 15K aucune R gulation en temp rature et humidit de la salle viter la rouille 42 Caracterisation Optique C 3 2 Excitation de luminescence Fluorures dop es TR B t 86 e Responsables scientifiques e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation E Daran E Daran B Viallet Caract risation spectrale des chantillons fluorures dop s Terres Rares en fonction de la longueur d onde d excitation D termination de la dur e de vie acc s limit formation n cessaire Discrets Manuel et Automatis commande monochromateur et syst me acquisition via Visual Basic quelques minutes par composant 1 fois tous les 2 mois 2 fois par mois raison de 4 5 jours par campagne balayage d azote dans le monochromateur HR1000 Laser Argon 7W laser Ti Saphir laser Ar 1W monochromateur HR1000 cryostat 1 detection synchrone 5209 detecteurs PD Si InGaAs Ge PM GaAs 1 PC de commande Cell
16. 00 analyseur de r seau Anritsu 37397C Hotte flux laminaire d ADS laminaire Contr leur en temperature avec thermo chuck TP03200A de Temptronic S cheur d air par adsorption DAn2 sources programmables HP6625A oscilloscope num rique 54501 M moire l ve ingenieur J L Sala n 30 Caract risation Hyperfr quence BA Bancs de mesures DC en impulsion en continu et analyse imp dance basse fr quence e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Localisation e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation O Llopis L J G Tartarin doctorants caract risation de diodes transistors bipolaires et effet de champ E56 amp E35 totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes Automatis 10 min DC de quelques secondes quelques heures pour impulsion journali re Air comprim Vide pour les stations sous pointes air ass ch pour les mesures en temp rature station sous pointes Cascade Microtec Model 22 source programmable Agilent HP4142 Diva 225 analyseur d imp dance Agilent HP4192A pour les mesures en impulsion acquisition d un appareil enti rement
17. 2i Discrets et Plaquettes taille max 8 Manuel et Automatis 1h Quasi quotidienne Air comprim Vide pour les stations sous pointes HP4284 et 3 testeurs sous pointes TC550 2x station Cascade Celles du HP4284 de 20Hz 1MHz Pas de manuel exploitable uniquement un manuel utilisateur tr s ancien 11 Caract risation Electrique A 2 3 Mesure RLC dans la gamme 75kHz lt f lt 30MHz e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation G Sarrabayrouse P M nini Mesure d imp dance totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes taille max 8 Manuel variable variable Air comprim Vide pour les stations sous pointes HP4284 et 3 testeurs sous pointes TC550 2x station Cascade Celles du HP4285 de 75kHz 30MHz aucune 12 Caract risation Electrique A 2 4 Mesure C V avec Sonde au Mercure e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s Tout chercheur e Objectifs Acquisition de courbes capacit tension entre deux lectrodes face avant et face arri re en fonction d une gamme de fr quence du Hz au MHz par
18. ND NA lt NT lt 10 5 ND NA Energy accuracy 1 Energy resolution 10meV Emission rate range 5 10 4s 1 lt en lt 1 5 104s 1 Signal 1MHz 100mV Ranges 1 3000pF Sensitivity 0 01fF Offset compensation 0 3000pF Compensation Reproductibility lt 100fF Pulse width 500ns to 1000s Pulse reolution 500ns Pulse period 16us to 4000s DC Voltage 20V to 20V resolution 1mV DC Current 10mA to 10mA resolution 10pA Manuel d emploi tr s mal r dig achat carte tension 100Volts de BIORAD 17 Caract risation Electrique A 4 3 Mesure par Effet Hall e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation E Bedel Pereira Tout chercheur dans les semiconducteurs type n et p la temp rature ambiante ou 77K en utilisant de l azote liquide Oui apr s une formation Plaquettes taille max 2x2 cm2 Automatis 15min A voir Azote liquide pour mesures 77K Accent HL5500PC Aimant de 0 32T Source de courant 1pA 19 9mA Compliance 20V 18 Caract risation Electrique 4 4 AFM SSRM Spreading Resistance e Responsable scientifique
19. Nicu Caract risation physique tude de topographie forces de friction rugosit de surface de divers chantillons conducteurs ou non conducteurs 1cm2 fen tre de balayage 100umx100um max Mode contact et non contact Caract risation en milieu sec ou liquide Mesure d interactions sp cifiques entre mol cules biologiques L utilisation du microscope optique invers coupl e celle du microscope force atomique permet d obtenir simultan ment une caract risation optique de l chantillon en fluorescence et une caract risation physique de surface avec une tr s grande r solution Discrets et Plaquettes taille max 2 cm de diam tre Automatique De quelques minutes 1h suivant la r solution Quotidien Air comprim Topometrix Explorer R solution maximale de l ordre de 0 1nm en z et de 1nm en x et y pour le microscope force atomique R solution maximale de l ordre du micron pour le microscope optique invers champ clair contraste de phase et fluorescence http www thermomicro com spmguide contents htm Adaptation de l AFM pour des mesures sur des chantillons biologiques pour des applications de type biopuces 50 Caracterisation de Microsystemes D 1 5 Table X Y Z 8 pour l tude de dispositifs de micro d pots de nano stamping et de profilom trie en micro cavit s profondes e Responsables scientifiques J B Pourciel C Bergaud C Vieu e Utilisateur s habituel s e O
20. SATION DE COMPOSANTS DISCRETS Mesure de param tres de transistors MOSEL Mesure de temps de commutation de transistor MONN 21 CARACTERISATION HYPERFREQUENCE rssssssssorsossnnssnssnssnnsnnsnnssnssnnsnnsnnssnnsnssnnsnnnne 23 MESURE DE BRU Tina ii Bancs de mesures de bruit basse fr quence BF Banc de mesures de bruit de phase Banc de mesures de bruit lin aire haute fr quence de 1GHz 40GHZ 27 Banc de mesures de bruit non lin aire haute fr quence HF 28 BANCS DE MESURES DE PARAMETRES D EEN 29 BANC DE FIABILITE DE COMMUTATEURS MEMS HYPER ENTIEREMENT 30 BANCS DE MESURES DC EN IMPULSION EN CONTINU ET ANALYSE IMPEDANCE BASSE FREQUENCE me nd ent ant a ee 31 Cl 1 1 1 2 2 2 1 2 2 2 3 2 4 C 2 5 3 3 1 3 2 4 4 1 D I D 1 1 D 1 2 D 1 3 D 1 4 D 1 5 D 2 D 2 1 D 2 2 D 2 3 D 3 D 3 1 D 3 2 D 3 3 D 3 4 DA D 4 1 D 4 2 D 5 D 5 1 D 5 2 D 5 3 D 5 4 CARACTERISATION OPTIQUE msssssssssseeseneensnennsnnnnnnennsennsnnnnsnnnsenese 33 TESTS PARAMETRIQUES MESURE DE PUISSANCE DE TENSION SPECTRE 35 Caract risation VCSEL Mesure de I V spectre diagramme de rayonnement B t O0 A 35 Caract risation de diodes laser mettant par la tranche Mesure de I V spectre diagra
21. Sarrabayrouse e Utilisateur s habituel s Dilhan e Objectifs Mesure 2D des profils de dopants dans les semi conducteurs e Autonomie des utilisateurs aucune e Utilisation Composants Discrets ou Plaquettes taille max 4 pouces Fonctionnement Automatis Dur e de la mesure 30 min Fr quence d utilisation Ponctuelle Fluides utilis s Azote Air comprim Vide Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation 19 Caract risation Electrique A5 Caract risation de composants discrets A 5 1 Mesure de param tres de transistors MOS e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Ameliorations souhaitees Pour l instrumentation Pour l automatisation H Tranduc Tous Caract ristiques de sortie Id Vd caract ristiques de transfert Id Vg Id Vg sous le seuil caract ristiques I V en direct de la diode drain canal Extraction des param tres Kp facteur de pente Vt tension de seuil Ron resistance l tat passant Rs rie R sistance s rie de drain courants de fuite 10 courant extrapol Vdiode 0 et facteur d id
22. ation en profilom trie Jean Bernard Pourciel Laurent Jalabert and Takahisa Masuzawa Profile and Surface Measurement tool for high aspect ratio microstructures International Journal of the Japan Society of Mechanical Engineers Series C Vol 46 N 3 9 2003 pp916 922 Exp rimentation en cours de d veloppement id 51 Caracterisation de Microsystemes D 2 Caract risation m canique D 2 1 Nanoindenteur Manip en pr vision n cessite l achat d un nanoindenteur Localisation plut t cot du banc de caract risation m canique e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation PONS Patrick Caracterisation des propri t s m caniques de mat riaux en couches minces Plaquettes Manuel Dur e de la mesure XXX min Azote Vide Nanoindenteur 52 Caracterisation de Microsystemes D 2 2 Caracterisation m canique Manip en cours de montage pour la partie deformation de structures e Responsable scientifique PONS Patrick e Utilisateur s habituel s e Objectifs Caract risation des propri t s m caniques de mat riaux en couches minces caract risation des capteurs de press
23. bjectifs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation J B Pourciel P Belaubre Mise en place d un micro positionneur X Y Z 8 pilot par micro ordinateur destin a une utilisation pour plusieurs themes d velopp s dans le groupe Nano Adressage Le dispositif est compl t par des actionneurs pi zo lectriques pour des d placements nanom triques et de diff rents modules d acquisition rapide et de commande Etude des propri t s de mouillage lors de d p ts de picolitres de liquide Etude physique de dispositifs de chargement et de d p t par utilisation d un champ lectrique pour le chargement et le d p t Dispositif de placement alignement automatique par rapport la surface d un dispositif de nano impression Profilom trie et trac de surface l int rieur de cavit s micro usin es pr sentant un haut facteur de forme m thode par mesure de force Leviers pi zo lectriques plumes pour le d p t composants en PDMS Automatique quelques minutes r p titive Quotidien Aucun Pr cision de la table 0 5 um sur x y z et 0 005 d sur 6 Pr cision globale du positionnement avec actionneurs pi zo lectriques 5 nm Pr cision en profilom trie 25 nm utilis
24. ble scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation Anne Marie Gu MIS Caract risation de lab on chip oui Discrets Semi automatique demi journ e minimum par campagne Eau DI solvants acides bases colorants fluorescents solutions tamponn es Microscope fluorescence alimentation haute tension pousse seringue PC generation haute tension 1 5kV sur 8 voies contr le d bit dans microcanalisations observation coulement de fluides et r actions chimiques ou biologiques mesure vitesses d coulement Cam ras d acquisition rapide Synchronisation acquisition actionnement pilotage exp riences 58 Caracterisation de Microsystemes DA Syst mes de d p ts D 4 1 Syst me automatis de d p ts d chantillons biologiques par microleviers e Responsable scientifique L Nicu J B Pourciel C Bergaud e Utilisateur s habituel s L Nicu Leichtl Belaubre e Objectifs e Autonomie des utilisateurs autonomes e Utilisation Composants Discrets ou Plaquettes taille max Fonctionnement Automatis Dur e de la mesure XXX min Fr quence d utilisatio
25. e du HR1000 resolution 0 008nm Celle du cryostat temp rature minimale 15K aucune 43 Caracterisation Optique CA Bruit C 4 1 Optique et Micro Ondes Bat E sous sol e Responsables scientifiques e Utilisateur s habituel s e Objectifs Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Duree de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour linstrumentation Pour l automatisation O Llopis O Llopis B Onillon Bruit des liaisons optiques analogiques caract risation de composants r alisation d oscillateurs contr l s par fibre optique Ces mesures sont r alis es sur des modules connectoris s ou sous pointe acc s limit formation n cessaire Discrets Manuel Modules Laser T l com photodiode fibr e photodiodes wattm tre att nuateurs diode laser 830nm 16mW Celle des modules T l com 1 5um 10mW modulable 3GHz A 1 5um 3mW modulable 15GHz Celle de la photodiode fibr e rapide caract ris e jusqu 30GHz Celle du wattm tre de 800nm 1 5um 44 D CARACTERISATION DE MICROSYSTEMES 45 Caract risation de Microsyst mes D 1 Caract risation g n rale D 1 1 Observation par binoculaire e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs
26. entation Pour l automatisation C Bergaud L Nicu C Bergaud L Nicu D Saya Caract risation de la r ponse dynamique de microstructures leviers ponts membranes avec actionnement et ou d tection int gr e Possibilit d actionnement externe pour la caract risation de structures passives par l interm diaire d un actionneur pi zo lectrique propre au banc de mesures Ce type de mesure permet d acc der aux propri t s m caniques de mat riaux en couches minces module d Young contrainte fatigue vieillissement On peut galement d terminer la r ponse lectrique de couches actives pi zo lectrique ou pi zor sistive soumises des sollicitations m caniques autonomes Discrets ou Plaquettes taille max 1 cm Manuel de quelques minutes quelques heures quotidien Air comprim Bande passante de mesure 1MHz utilisation d un d tecteur synchrone Perkin Elmer Possibilit d tude des modes de vibration transversaux flexion et ou de torsion utilisation d un photodetecteur 4 cadrans actifs Rapport LAAS n 00415 Th se de L Nicu 54 Caract risation de Microsyst mes D 3 Caract risation de microsyst mes pour la chimie et la biologie D 3 1 Caract risation de capteurs de gaz e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s Philippe MENINI TMN e Objectifs Mesure d imp dance de capteurs de gaz conductim triques e Autonomie des uti
27. eurs chimiques en milieu liquide 56 Caract risation d Ejecteurs matriciels ses 57 Caract risation microfluidique en cours de r alisation ooo 58 SYSTEMES DE DEPOTS toria tm nets eent SEENEN 59 Syst me automatis de d p ts d chantillons biologiques par microleviers 59 Robot de d p t localis en cours de r alisation ss 60 CARACTERISATIONS SPECIFIQUES E 61 Caract risation de microsystemes pyrotechniques mesure de pouss es 61 Caract risation de micromirroirs eee 62 Caracierisation de camera anne ENEE dee ae bee 63 Fiabilit de MEMS EE 64 A CARACTERISATION ELECTRIQUE Caract risation Electrique A 1 Tests param triques mesure de courant de tension du temps A 1 1 Caract risation standard Mesure de I V et t e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Celles du HP4155 e Bibliographie e Ameliorations souhaitees Pour linstrumentation Pour l automatisation G Sarrabayrouse Tout chercheur Acquisition des courbes courant tension et courant ou tension en fonction du temps lors d une polarisation a tension ou courant constant da
28. habituel s e Objectifs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Resolution maximale e Bibliographie e Ameliorations souhaitees Pour l instrumentation Pour l automatisation C Bergaud E Scheid C Bergaud E Scheid Caract risation m canique de microsyst mes en r gime statique profilom trie ou dynamique vibrom trie Discrets et Plaquettes taille max 4 pouces Automatique Quelques minutes suivant la r solution R glages initiaux assez longs plusieurs dizaines de minutes Quotidien aucun profilom tre Fogale Zoom Surf 3D 1 nm en z et 1 um dans le plan xy avec une bande passante de 2 MHz en r gime dynamique Mode d emploi fourni et aide en ligne tr s sommaire Automatisation du r glage du tilt par microcontr leurs 49 Caracterisation de Microsystemes D 1 4 Microscope a force atomique et microscope optique invers e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation C Bergaud L Nicu C Bergaud 6427 M Guirardel 6351 D Saya L
29. ion e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Discrets et Plaquettes Fonctionnement Manuel stagiaire pr vu en octobre 2004 pour automatisation Dur e de la mesure XXX min Fr quence d utilisation Fluides utilis s Azote Vide Appareils G n rateur pression Mesureur pression Capacim tre Voltm tre Alimentation DC Etuve Profilom tre optique e Performances G n rateur de pression 0 18 bars r solution 0 3 mbar Etuve 40 C 180 C Capacim tre C gt 0 01 pF r solution 1fF Profilom tre optique voir fiche sp cifique e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Remise neuf du banc de g n ration de pression en cours Pour l automatisation G n ration automatique de la pression et acquisition automatique des param tres lectriques capacit tension et ou des param tres m caniques d formations par profilom tre optique 53 Caracterisation de Microsystemes D 2 3 Caracterisation par d flexion optique de la r ponse dynamique de microstructures m caniques e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrum
30. ion par TLP e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie N Nolhier N Nolhier D Tremouilles P Besse M Bafleur Caracterisation des circuits ou composants en tenue aux ESD par application d un stimulus proche du modele du corps humain HBM soit un courant de quelques amp res pour des dur es d impulsion de 100ns Une courbe I V statique est mesur e apr s chaque impulsion afin de d celer une ventuelle d gradation du composant totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes taille max 8 Manuel et Automatis labview 5 minutes par composant 5h par wafer quasi quotidienne Air comprim Vide pour la station sous pointes Station sous pointes KARL SUSS PA200 Oscilloscope Tektronix 1GHz TDS684C Alimentation Bertan 3kV Agilent 4142B longueur de l impulsion 100ns Courant max 7A Tension max 100V Mesures statiques Courant max 1A Tension max 200V M moire Cnam de Nicolas Mauran Conception et r alisation d un banc de caract risation sous pointes pour mesures impulsionnelles haute nergie Caract risation Electrique A 2 Mesure d imp dance A 2 1 Mesure de capacit s inter lectrodes de tran
31. lisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour linstrumentation Pour lautomatisation oui Discrets Semi automatis demi journ e minimum par campagne Air synth tique Azote CO 1000ppm Cage de Faraday bain thermostat 3 d bim tres massiques pc 3 alimentations 1 double 15 V 15 V 1 simple 0 5 V Multim tre d acquisition multivoies Agilent 34970 Imp dancem tre Schlumberger SI1260 Impedancemetre 1 y Hz 1MHz Manuel d utilisation Soufflette N2 vide eau voies de gaz suppl mentaires Bain thermostat suppl mentaire Plusieurs types de mesures 55 Caract risation de Microsyst mes D 3 2 Caract risation de microcapteurs chimiques en milieu liquide e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation Pierre TEMPLE BOYER TMN quipe capteurs chimiques caract risation des propri t s de d tection des microcapteurs chimiques Oui Discrets Automatis
32. lisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation J Y Fourniols J L Boizard A Naoulou M Devy T Sentenac J Sola A Monin J Y Fourniols Caracterisation de detecteurs et de cameras vision IR stereo autonomes Discrets Automatis et Manuel quelques secondes quelques heures quotidien aucun Cam ra visible et IR rail optique alimentations g n rateurs pc avec instrumentation CVI Mesures du spectre visible jusqu 14um Observation du cm jusqu plusieurs m tres d veloppement Picas o 63 Caracterisation de Microsystemes D 5 4 Fiabilite de MEMS e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation Jean Yves Fourniols H Camon S Muratet J Y Fourniols C Rossi T Campo Mesurer l volution temporelle de param tres d un MEMS en fonctionnement autonomes Discrets et Plaquettes Automatis et Manuel quelques heures
33. minutes plusieurs heures Quotidien proche de 100 Air comprim Vide pour les stations sous pointes 1 station sous pointe Cascade Summit 12k 1 testeur param trique Keithley 4200 SCS 1 testeur param trique Agilent 4156C Courant Max 100mA R solution 0 1fA Tension Max 100V R solution 14V Courant Max 1A R solution 1fA Tension Max 200V R solution 24V Manuel d utilisation de la station Cascade r dig par Menini Caract risation Electrique A 1 3 Caract risation des composants de puissance Mesure de I et V e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Celles du Agilent 4142B Thermostream e Bibliographie H Tranduc Tout chercheur Acquisition des courbes courant tension lors d une polarisation tension ou courant constant dans des les gammes suivantes de quelques nA 10A et tension jusqu 1000V temp rature comprise entre 0 C et 220 C sur wafer et de 75 C 220 C sur composant discret totale apres une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes taille max 8 Manuel et Automatise logiciel Metrics ICV de quelques minutes plusieurs heures Quotidien Air comprim Vide pour les stations sous pointes
34. mme de rayonnement B t CAR 36 CARACTERISATION MATERIAUX ET Mesure de gain des diodes laser B t n R flectivit en lumi re blanche B t 86 ins Caract risation des guides fluorures dop s TR Bat 86 Optique non lin aire B t A AR R seaux de diffraction B t A ASIA SPECTROSCOPIE A AA AA 42 Photoluminescence B t Cp 42 Excitation de luminescence Fluorures dop es TR B t n 43 E Rue WEE 44 Optique et Micro Ondes B t E sous sol 44 CARACTERISATION DE MICROSYSTEMES zusussorsossonssnssnssnnsnnsonssnssnnsnnsnnssonsnssnnsnnnnne 45 CARACTERISATION GENERA LE ore rata 47 Observation par binoculaire iii 47 Microscope force atomique AFM Topographie 48 Profilometrie et vibrometrie par interf rom trie sis 49 Microscope force atomique et microscope optique 50 Table XK Y Z 0 pour l tude de dispositifs de micro d pots de nano stamping et de profilom trie en micro cavit s profondes sin 51 CARACTERISATION MECANIQUE 2 2822 nase nn nn ENEE Ee ENEE 52 NOESEN ee dee 52 Caract risation m canique 53 Caract risation par deflexion optique de la r ponse dynamique de microstructures EE 54 CARACTERISATION DE MICROSYSTEMES POUR LA CHIMIE ET LA BIOLOGIE 55 Caract risation de capteurs de gaz sise 55 Caract risation de microcapt
35. n Fluides utilis s Azote Air comprim Vide Eau DI Eau Appareils Microscope optique Olympus 1 pc 1 plateforme robot appareillage d alimentation et de mesure frigo table antivibrations e Performances Performances de la manip e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Hotte aspirante pour la manipulation de produits chimiques et biologiques Pour l automatisation 59 Caracterisation de Microsystemes D 4 2 Robot de dep t localis en cours de r alisation e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour linstrumentation Pour l automatisation Anne Marie Gu MIS D p t automatis de microgouttes oui Discrets Semi automatique demi journ e minimum par campagne Eau DI solvents Platines de d placement automatique driver platines alimentation courant tension g n rateur de signaux lectronique de commande syst me d acquisition image cam ra zoom miroir de renvoi PC D p t localis s et matriciels sur des surfaces lt 10cmx10cm pr cision de d placement 0 5um alignement semi automatique pr cision lt 5um pilotage par LabWidow
36. ns des gammes de courant et de tension courantes courant de quelques nA 100mA et tension jusqu 100V temp rature ambiante totale apres une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes taille max 6 Manuel et Automatise logiciel Metrics ICV de quelques minutes plusieurs heures quotidien Air comprim Vide pour les stations sous pointes 2 testeurs sous pointe SET TC550 1 testeur param trique HP4155 Courant Max 100mA R solution 10fA Tension Max 100V R solution 2V aucune Prise en compte des 3 probers et du cryostat et ou tuve Caract risation Electrique A 1 2 Caract risation bas niveau Mesure de I V et t e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances Celles du Keithley 4200 Celles du Agilent 4156C e Bibliographie G Sarrabayrouse Tout chercheur Acquisition des courbes courant tension lors d une polarisation tension ou courant constant dans des faibles gammes de courant de quelques fA a quelques mA et tension jusqu a 100V temp rature comprise entre 5 C et 300 C totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets et Plaquettes taille max 8 Manuel et Automatis logiciel Metrics ICV de quelques
37. ode Celles de l ILX Courant Max 200mA R solution 10 Tension Max 7V R solution 0 05nm entr e fibr e FC PC de 0 6um 1 7um Rapports de stage R gulation en temp rature et humidit de la salle viter la rouille 36 Caracterisation Optique C 2 Caract risation mat riaux et composants C 2 1 Mesure de gain des diodes laser B t C 86 e Responsables scientifiques e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation S Bonnefont O Gauthier Lafaye D Mulin S Bonnefont O Gauthier Lafaye D Mulin B Messant Mesure du gain de diodes laser mettant par la tranche 1 3um ou 1 5um en mode impulsionnel acces limit formation n cessaire Discrets Manuel et Automatis commande monochromateur et systeme acquisition via Visual Basic quelques minutes par composant aucun Alimentation ILX monochromateur HR1000 1 d tection synchrone EG amp G 5209 ou Boxcar detecteur PM AsGa Hamamatsu 1 PC de commande Celles du HR1000 r solution 0 008nm Rapports de stage Exp rimentation pouvant voluer vers la mesure de lumi re spontan e Stabilit de la temp rature et des vibrations
38. par campagne de caract risation Azote Air comprim Vide Marbre avec pointes et binoculaire enceinte thermique et hydrom trique en cours de r alisation 64
39. racterisation Hyperfrequence B 1 2 Banc de mesures de bruit de phase e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Localisation e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation O Llopis O Llopis doctorants Mesure du bruit de phase d oscillateurs et d amplificateurs de 1 Hz 100 kHz Mesure active ou passive jusqu a 18 GHz et par conversion de fr quence jusqu a 40 GHz E56 acc s limit longue formation n cessaire Discrets et Plaquettes Automatis 10 15 min quotidien Air comprim Vide pour les stations sous pointes Station sous pointes Microtec Model 22 Analyseur de spectre Anritsu MS2665C FFT Advantest R9211B cage de Faraday synth tiseur Wiltron 69147 Bruit de phase de quadrip le plancher de l ordre de 180 dBc Hz d pend de la fr quence Bruit de phase d oscillateurs d pend de la technique utilis e active ou passive et de la fr quence Th se M R gis Th se G Cibiel rapport LAAS 02591 dition Herm s La mesure de bruit de phase en Hyperfr quence O Llopis utilisation d une r f rence saphir mont e en fr quence remplacement du PC ancien et changement ou volution d
40. s CVI Rapport de stage L Piazza rapport LAAS N 04141 en cours en cours 60 Caracterisation de Microsystemes D 5 Caract risations sp cifiques D 5 1 Caract risation de microsyst mes pyrotechniques mesure de pouss es e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour linstrumentation Pour l automatisation Carole Rossi MIS quipe microsyst mes pyrotechniques Caract risation de l initiation et mesures de la force g n r e oui Discrets Semi automatis 2h minimum par campagne Azote Air comprim Vide Eau 3 alimentations 2 doubles 1 simple 0 30V Multim tres d acquisition 1 boitier l ctronique con u et r alis par II 1 oscillo 1 balance de pouss e 1PC 1mA 30uN Manuel d utilisation Introduire une lectronique permettant la caract risation de matrices dinitiateurs pyrotechniques adress s Finir l interface logicielle qui permet de g rer sous un m me programme la caract risation de initiation et celle des forces initier et mesurer en m me temps 61 Caracterisation de Microsystemes D 5 2 Caracterisation de micromirroirs e Responsable scientifiq
41. sateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie G Sarrabayrouse G Sarrabayrouse Mesure et cartographie de dur e de vie des porteurs minoritaire sur plaquette lingot ou couche pitaxi e Plaquettes taille max 6 Automatis 10 1h rare Vide EPITEST WT85 Laser 904 nm 15 ns fall time 2 antennes micro ondes contact non contact r solution 0 5mm min rapidit 30 ms point Densit de fer gt 109 cm 3 Passivation liquide solide 1 us lt dur e de vie lt 10 ms Possibilit d extension SPV aucune 16 Caracterisation Electrique A 4 2 DLTS Deep Level Transient Spectroscopy e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour linstrumentation Pour l automatisation F Olivi F Olivi D termination des signatures des centres profonds profils des d fauts I V en temp rature Non Discrets et Plaquettes taille max Automatis DLTS 25mn variable Azote Banc de mesures BIORAD 8000 Trap concentration sensitivity 10 7
42. sistor MOS e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour linstrumentation Pour l automatisation H Tranduc CIP Acquisition des capacit s inter lectrodes d un transistor MOS et extraction des param tres Les mesures sont effectu es fr quence fixe f 1MHz totale apr s une formation par le personnel de 2i Discrets Automatis labview 1h Rare aucun Boonton 7200 capacitance meter f 1MHz appareil de mesure surtout efficace si c lt 2nF M moire Cnam de P F Calmon 10 Caract risation Electrique A 2 2 Mesure RLC dans la gamme 20Hz lt f lt 1MHz e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Ameliorations souhaitees Pour linstrumentation Pour l automatisation G Sarrabayrouse Tout chercheur Acquisition des courbes C V capacit tension et G V w conductance tension fr quence et extraction des param tres totale apres une formation par le personnel de
43. tation Karl Suss PA200 Cam ra C4880 10 HAMAMATSU Attention cette manipulation utilise la station de la manip 10 Les deux manipulations ne peuvent donc pas tre effectu e en parallele Observation qualitative 5 grossissements x2 x10 x20 x50 IR x100 IR aucune 14 Caract risation Electrique A 3 2 Thermographie Infrarouge rapide e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour linstrumentation Pour l automatisation E Scheid P Tounsi E Scheid tout chercheur Caract risation thermique de composants circuits ou microsysteme en r gime statique ou transitoire A voir Discrets et Plaquettes taille max quelques cm Manuel variable variable aucun Cam ra infrarouge CEDIP D tecteur HgCdTe 320 x 240 pixels Bande 3 6um 4 8um Resolution spatiale de la thermographie IR 1pixel 10 um avec objectif G1 vitesse d acquisition max environ 20kHz en fen trage 2x64 pixels aucune 15 Caract risation Electrique AA Caract risation de substrats A 4 1 Mesure de dur e de vie des porteurs e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utili
44. tion e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation L Escotte O Llopis L Escotte doctorants Mesure du facteur de bruit de dispositifs actifs en r gime de compression application dispositifs non lin aires tels que les m langeurs E56 acc s limit longue formation n cessaire Discrets et Plaquettes Manuel 10 min variable Air comprim Vide pour les stations sous pointes station sous pointes S ss Microtec PM8 source programmable HP6625A analyseur de reseau Rhode amp Schwartz ZVRE analyseur de spectre HP 70000 synth tiseur Anritsu MG3694A en cours d valuation stage de DEA en cours 28 Caracterisation Hyperfrequence B 2 Bancs de mesures de param tres S e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Localisation e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhait es Pour l instrumentation Pour l automatisation T Parra D Dubuc L Ban Gamme fr quentielle couverte entre 9 kHz et 67 GHz
45. u logiciel de programmation 26 Caracterisation Hyperfrequence B 1 3 Banc de mesures de bruit lineaire haute fr quence HF de 1GHz a 40GHz e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Localisation e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Am liorations souhaitees Pour l instrumentation Pour l automatisation L Escotte L Escotte J G Tartarin doctorants Param tres du bruit et param tres S entre 1 et 40 GHz de transistors sous pointes ou discret Facteur de bruit d amplificateurs Mesure en temperature sous pointes 60 C 200 C 26 40 GHz E56 acc s limit longue formation n cessaire Discrets et Plaquettes Automatis 30 40 min hebdomadaire Air comprim Vide pour les stations sous pointes air ass ch pour les mesures en temp rature station sous pointes S ss Microtec PM8 tuner Maury MT986A analyseur de r seau Agilent HP8510 analyseur de spectre Rhode amp Schwarz FSEK source programmable HP6625A Th se S Long Th se J G Tartarin 27 Caracterisation Hyperfrequence B 1 4 Banc de mesures de bruit non lin aire haute fr quence HF e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Localisa
46. ue e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des utilisateurs e Utilisation Composants Fonctionnement Dur e de la mesure Fr quence d utilisation Fluides utilis s Appareils e Performances e Bibliographie e Ameliorations souhaitees Pour linstrumentation Pour l automatisation H Camon H Camon C Ganibal Caract risation angulaire dynamique la r sonance et en basculement en fonction de la pression environnante oui Discrets Manuel jour par campagne de quelques jours Vide pompe source de tension jusqu 1700V g n rateur de fr quence pompe vide oscilloscopes ordinateur PC capteur PSD et lectronique associ e laser rouge 1mW s curit oculaire bouteille d azote prochainement Les micromiroirs peuvent tre valu s en r ponse statique et fr quentielle jusqu 800V et indicielle jusqu 1700V diff rentes pressions La commande est indiff remment appliqu e l une des lectrodes ou aux deux Les r sultats sont m moris s par un oscilloscope num rique et transf r s sur PC Aucune pour l instant possibilit d teindre l clairage n on sur la zone plut t que d imposer l obscurit tout le monde non envisag 62 Caracterisation de Microsystemes D 5 3 Caracterisation de camera e Responsable scientifique e Utilisateur s habituel s e Objectifs e Autonomie des uti
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