Home

Benutzerhandbuch MP135D

1. 27 Mehrachssystem aufbauen ccccccsssseccccceeeseceeeceeesececeeeeaeeeeseeeaeeeeessuaaeeeessssaneeeessaas 30 Last am 90 545 befestigen an ucsnesiiie ee eher inter 39 Q 545 an Elektronik anschlie en 00ccceseesseessssessssssssessssssessssesseseseeseesseseseeeeeens 42 5 1 Allgemeine Hinweise zur Installation Abbildung 5 Bei ausgefahrener bewegter Plattform zug nglich Keramikstift des PIShift Antriebs Beispiel Q 545 140 HINWEIS Fehlfunktion durch Verschmutzung Verschmutzungen jeglicher Art z B durch Staub l Schmiermittel oder Kondenswasser machen den Q 545 funktionsunf hig gt Halten Sie den Q 545 frei von Schmutz und Kondenswasser gt Vermeiden Sie das Ber hren des Keramikstifts des Antriebs Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 25 5 Installation Pp I HINWEIS Elektrostatische Gef hrdung Bei Modellen mit Sensor kann das Ber hren der Pins im Anschluss D Sub 15 elektrostatisch auch ESD gef hrdete Bauteile des Q 545 besch digen Deshalb werden diese Modelle mit einem ESD Schutz ausgeliefert Q 545 x40 ESD Schutzkappe am Stecker Q 545 x4U nicht leitf hige Folie an der Kupplung gt Entfernen Sie den ESD Schutz erst vom Anschluss wenn Sie den Q 545 an den Nei uses anschlie en HINWEIS Erw rmung des Q 545 w hrend des Betriebs Die w hrend des Betriebs des Q 545 abgegebene W rme kann Ihre Anwendung beeintr chtigen gt Insta
2. 1 3 Begriffserkl rung Belastbarkeit Maximale Belastbarkeit vertikal wenn der Versteller horizontal montiert ist Der Angriffspunkt der Last liegt in der Mitte der Plattform Linearencoder Der Linearencoder ist ein inkrementeller Sensor zur Erfassung von Lage nderungen Die Signale des Sensors werden f r die R ckmeldung der Achsenposition verwendet Nach dem Einschalten des Controllers muss eine Referenzwertbestimmung durchgef hrt werden bevor absolute Zielpositionen kommandiert und erreicht werden k nnen 1 4 Abbildungen Zugunsten eines besseren Verst ndnisses k nnen Farbgebung Gr enverh ltnisse und Detaillierungsgrad in Illustrationen von den tats chlichen Gegebenheiten abweichen Auch fotografische Abbildungen k nnen abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar 1 5 Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erw hnten Ger te und Programme von PI sind in separaten Handb chern beschrieben Beschreibung E 870 10 E 870 11 E 870 21 E 870 41 Piezomotor Technical Note E870T0001 PiezoMike Treiberelektronik OEM Board 1 bis 4 Kan le E 870 1G E 870 2G E 870 4G Piezomotor Technical Note E870T0002 PiezoMike Treiberelektronik Tischger t 1 bis 4 Kan le E 871 1A1 Q Motion Controller 1 Kanal USB Benutzerhandbuch PZ241D Schnittstelle PIMikroMove SM148E Software Manual Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 3 1 Uber dieses Dokument P I 1 6 Handb cher her
3. Abbildung 12 Q 545 24x Die Pfeile kennzeichnen folgende Montagebohrungen in der bewegten Plattform des Q 545 2xx Zum Ausrichten der Last Wei e Pfeile Passbohrungen 2 5 mm H7 Tiefe 1 4 mm Zum Befestigen der Last Dunkelgraue Pfeile Gewindebohrungen M2 5 Tiefe 4 mm Hellgraue Pfeile Gewindebohrungen M2 5 Tiefe 4 mm Schwarze Pfeile Gewindebohrungen M2 Tiefe 4 mm Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 25 Sie haben den Versteller ordnungsgemaB auf einer Unterlage S 27 oder auf einem Q 545 befestigt S 30 Der Versteller ist von der Elektronik getrennt Sie haben die Last so vorbereitet dass sie auf der bewegten Plattform befestigt werden kann fur die erforderliche Lage und Tiefe der Bohrungen zur Aufnahme von Schrauben und Passstiften siehe Abmessungen S 69 Der Abstand zwischen dem Schwerpunkt der Last und dem Zentrum der bewegten Plattform ist in alle Richtungen m glichst gering F r das Befestigen der Last auf der bewegten Plattform sind vier Punkte vorgesehen Wenn Sie Passstifte verwenden um die Last auszurichten Sie haben in die Last zwei Passbohrungen mit 2 5 mm H7 f r die Aufnahme von Passstiften eingebracht Werkzeug und Zubeh r Schrauben von geeigneter L nge S 69 Optionen Schrauben M2 Schrauben
4. Referenzwertbestimmung der Achse Kommandieren von ersten Bewegungen zum Test Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 57 6 Inbetriebnahme und Betrieb Pp I 2 Wenn notwendig Passen Sie den Parameter Maximum Motor Output ID 0x9 an Ihre Anwendung an siehe auch Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb S 51 und Betriebsdauer S 68 Im E 871 Benutzerhandbuch wird die Inbetriebnahme anhand des Programms PIMikroMove beschrieben 58 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 7 Wartung 7 Wartung In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Wartung uusssussssnnennnnnnennnnennnnnnn nennen nennen nnnnnnnn nennen nennen 59 Wartungsfahrt durchf hren rss 59 ODAS TEN Eeee R 59 7 1 Allgemeine Hinweise zur Wartung HINWEIS Sch den durch falsche Wartung Eine falsche Wartung kann zur Dejustage und zum Ausfall des Q 545 f hren gt L sen Sie Schrauben nur entsprechend den Anleitungen in diesem Handbuch 7 2 Wartungsfahrt durchf hren Die Wartungsfahrt muss ber den gesamten Stellweg durchgef hrt werden gt F hren Sie die Wartungsfahrt nach jeweils 10 Millionen Schritten aus 7 3 Q 545 reinigen Voraussetzungen v Sie haben den Versteller von der Elektronik getrennt Versteller reinigen Nur wenn der Versteller nicht im Vakuum eingesetzt wird gt Wenn notwendig reinigen Sie die Oberfl chen des Verstellers mit einem Tuch das leicht mit e
5. 3 6 Geeignete Elektronik Bestellnummer Q 545 Versteller Beschreibung PlShift Piezomotor PiezoMike Treiberelektronik 1 Kanal OEM Board PlShift Piezomotor PiezoMike Treiberelektronik 1 Kanal OEM Board mit Steckerleiste PlShift Piezomotor PiezoMike Treiberelektronik 1 Kanal Tischger t PIShift Piezomotor PiezoMike Treiberelektronik 2 Kan le OEM Board mit Steckerleiste PIShift Piezomotor PiezoMike Treiberelektronik 2 Kan le Tischger t PIShift Piezomotor PiezoMike Treiberelektronik 4 Kan le OEM Board mit Steckerleiste MP135D Versteller Versteller mit ohne Sensor Sensor Q 545 x00 Q 545 x40 Q 545 x0U Q 545 x4U Version 1 0 0 19 3 Produktbeschreibung P I Bestellnummer Beschreibung Versteller Versteller mit ohne Sensor Sensor Q 545 x00 Q 545 x40 Q 545 x0 U Q 545 x4U PlShift Piezomotor PiezoMike Treiberelektronik 4 Kan le Tischger t E 871 1A1 Q Motion Controller 1 Kanal USB Schnittstelle gt Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst S 63 3 7 Technische Ausstattung 3 7 1 Linearencoder Sensor Einige Modelle des Q 545 sind mit einem optischen Linearencoder ausgestattet Die Aufl sung entnehmen Sie der Tabelle im Abschnitt Spezifikationen S 65 Optische Linearencoder messen die Ist Position direkt Direktmetrologie Fehler im Antriebsstrang wie z B Nichtlinearit t Umkehrspiel oder elastische Deformation k nnen die Positions
6. 4 Zylinderschrauben A2 M2 5x5 ISO 4762 MP139EK Kurzanleitung f r Q 5xx Q 6xx PIShift Versteller 16 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung Artikelnummer Komponenten Nur bei Modellen ohne Sensor Luftseitiges Adapterkabel fur den Anschluss an die Treiberelektronik E 870 D Sub 15 f auf Mini DIN 4 m 0 3 m 7202500042 0015 Nur bei Modellen mit Sensor Luftseitiges Y Adapterkabel fur den Anschluss an den 7202500043 0015 Controller E 871 D Sub 15 f auf HD D Sub 15 m und HD D Sub 15 f 0 3 m Nur bei Modellen die f r den Betrieb bis 10 hPa geeignet sind Adapter f r den Betrieb au erhalb einer Vakuumkammer 5604500041 D Sub is mim 3 5 Optionales Zubeh r Bestell Beschreibung nummer Luftseitiges Verl ngerungskabel von Vakuumdurchf hrung oder E 873 UHV1 Q 545 xx0 an das Adapterkabel zur Elektronik D Sub 15 f auf D Sub 15 m 1 m Luftseitiges Verl ngerungskabel von Vakuumdurchf hrung oder E 873 UHV2 Q 545 xx0 an das Adapterkabel zur Elektronik D Sub 15 f auf D Sub 15 m 2m Luftseitiges Verl ngerungskabel von Vakuumdurchf hrung oder E 873 UHV3 Q 545 xx0 an das Adapterkabel zur Elektronik D Sub 15 f auf D Sub 15 m 3m Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 17 3 Produktbeschreibung P I Nur f r Modelle Q 545 xx0 geeignet f r den Einsatz im Vakuum bis 10 hPa Selen Beschreibung nummer C 81
7. Originalbetriebsanleitung Erstdruck 09 07 2015 Dokumentnummer MP135D KSch Version 1 0 0 nderungen vorbehalten Dieses Handbuch verliert seine G ltigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision Die jeweils aktuelle Revision ist auf unserer Website zum Herunterladen S 4 verf gbar PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE Inhalt 1 Uber dieses Dokument 1 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs cccceecceceseeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeaees 1 1 2 Symbole und Kennzeichnungen ccccccseeeceeeccaeeseceeeeeeeeceeeeeaeeeeeeesseeeeeeessaeeeees 1 1 3 BEGTIHSELK AFUNG sn anreisen hen nee eh en Ener 3 1 4 PRC GUNS 0 ae cia cs cinate ace E doses anteiauet acaseacenes 3 1 5 Mitgeltende DOKUMENME ccccccccssseceecceeeeceecceeeeeceeseaeaeeeeseuaaseeessseaeeeessnaaass 3 1 6 Handb cher herunterladen ccccccccccceesccecceseceecesceeceeeceeseeeeeeeseeeseessaeeeesaaeees 4 2 Sicherheit 7 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung ccccsseeecceeceeeeeceeecaeeeeeeeeeseeeeeeeeseaeseeesenaaees 7 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise u0s00400400000nnennnnn ne nnennnnnnnnennnnnn nennen 8 2 3 Organisatorische Ma nahmen ccccccssesecceecsseeceeecaeeeeceeeeeeeeeeeeesseaeeeeeeesaeeeees 8 2 4 Ma nahmen bei der Handhabung von vakuumtauglichen Produkten 9 3 Produktbeschreibung 11 3 1 Modell bersicht 0022220002202000020nnnennnnnnnnnnnnnnnnnn
8. 2 Stellen Sie das zum Betrieb des Systems ben tigte Steuersignal bereit Einzelheiten finden Sie in der Technical Note E870T0001 oder E870T0002 3 Wenn notwendig Passen Sie die Parameter PIShift Steps per Second ID 0x1F000600 und PIShift Frequency ID 0x1F000400 an Ihre Anwendung an siehe auch Betriebsdauer S 68 Die folgende Tabelle listet die Einstellungen f r die Parameter der Treiberelektronik E 870 auf Weitere Informationen zu den Parametereinstellungen finden Sie im Abschnitt Betriebsdauer S 68 Parameter in Treiberelektronik E 870 Einheit Betriebsspannung PIShift Upper Supply Voltage 48 Obergrenze ID 0x1F000000 Betriebsspannung PIShift Lower Supply Voltage Untergrenze ID 0x1F000100 Ladestrom f r PIShift Forward Current Vorwartsbewegung ID 0x1F000200 Ladestrom f r PIShift Backward Current R ckw rtsbewegung ID 0x1F000300 Betriebsfrequenz im PlShift Frequency 20000 Hz Schrittbetrieb ID 0x1F000400 Einschaltdauer der PIShift Charge Cycle Stromquelle w hrend p 0x1F000500 der Ausgabe einer Periode des modifizierten S gezahnsignals im Schrittbetrieb Anzahl der Schritte PlShift Steps per Second die der Versteller pro ID 0x1F000600 Sekunde mit der eingestellten Betriebsfrequenz f hrt Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 6 Inbetriebnahme und Betrieb 6 2 2 Q 545 x4x mit Controller E 871 1A1 in Betrieb nehmen INFORMATION
9. Bei Verwendung der im Lieferumfang des Controllers E 871 enthaltenen Software k nnen die Betriebsparameter aus der Verstellerdatenbank P MicosStages2 dat geladen werden Die Eintr ge in der Verstellerdatenbank werden regelm ig aktualisiert gt Laden Sie sich den PI Update Finder von der PI Website http www update pi portal ws herunter und aktualisieren Sie damit die Verstellerdatenbank PIMicosStages2 dat auf Ihrem PC Weitere Informationen siehe Benutzerhandbuch des Controllers E 871 INFORMATION F r optimale Antriebsleistung im Schrittbetrieb hat der Parameter Maximum Motor Output ID 0x9 in der Verstellerdatenbank P MicosStages2 dat den Wert 15 kHz Weitere Informationen siehe Betriebsdauer S 68 und Benutzerhandbuch des Controllers E 871 Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb gelesen und verstanden S 51 Sie haben den Versteller ordnungsgem installiert S 25 Sie haben das Benutzerhandbuch des Controllers gelesen und verstanden Sie haben das Handbuch der PC Software gelesen und verstanden xX N N Der Controller und die ben tigte PC Software sind installiert Alle Anschl sse am Controller sind eingerichtet siehe Benutzerhandbuch des Controllers Q 545 x4x mit Controller E 871 in Betrieb nehmen 1 Nehmen Sie den Versteller in Betrieb siehe E 871 Benutzerhandbuch Die Inbetriebnahme umfasst folgende Schritte Auswahl des Verstellertyps
10. S 16 2 Zylinderstifte 2 5 m6 x 5 ISO 8734 zur Verwendung als Passstifte 4 Zylinderschrauben M2 5x5 ISO 4762 Geeignetes Werkzeug zur Befestigung der Schrauben XY System aufbauen 1 F hren Sie die zwei Passstifte in die Passbohrungen an der Unterseite des oberen Q 545 oder in der bewegten Plattform des unteren Q 545 ein siehe Abbildung oben 2 Setzen Sie den oberen Q 545 so auf den unteren Q 545 dass die Passstifte in die entsprechenden Passbohrungen auf der Gegenseite eingef gt werden 3 Befestigen Sie den oberen Q 545 mit vier Schrauben M2 5 auf dem unteren Q 545 a Verschieben Sie per Hand die bewegte Plattform des oberen Q 545 bis zwei der vier Senkbohrungen im Grundk rper zug nglich sind b F hren Sie eine Schraube in jede der beiden Senkbohrungen ein c Ziehen Sie die Schrauben mit einem Drehmoment von jeweils maximal 72 Necm fest d Stellen Sie sicher dass die Schraubenk pfe vollst ndig abgesenkt sind e Wiederholen Sie die Schritte a bis d f r die beiden anderen Senkbohrungen im Grundk rper des oberen Q 545 4 berpr fen Sie den festen Sitz des oberen Q 545 auf dem unteren Q 545 Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 33 5 Installation Pp I 5 3 3 Z System mit Adapterwinkel aufbauen HINWEIS Zu tiefes Einbringen von Schrauben und Passstiften Zu tief eingebrachte Schrauben und Passstifte besch digen den Q 545 gt Beachten Sie die Tiefe der Montagebohrungen S 69
11. en Sie den Q 545 vor erneuter Inbetriebnahme wieder an den Schutzleiter an Verbrennung durch hei e Oberfl che Im Betrieb kann sich die Oberfl che des Q 545 und seine Umgebung erhitzen Das Ber hren des Q 545 und der Teile in seiner Umgebung kann zu leichten Verletzungen durch Verbrennung f hren gt K hlen Sie den Q 545 so dass die Temperatur seiner Oberfl che und der Teile in seiner Umgebung 65 C nicht bersteigt gt Wenn eine ausreichende K hlung nicht m glich ist Stellen Sie sicher dass der hei e Q 545 und die Teile in seiner Umgebung nicht ber hrt werden k nnen gt Wenn eine ausreichende K hlung und ein Ber hrschutz nicht m glich sind Kennzeichnen Sie den Gefahrenbereich gem den gesetzlichen Vorschriften Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 51 6 Inbetriebnahme und Betrieb Pp I HINWEIS berhitzung bei Dauerbetrieb H chste Geschwindigkeit wird bei maximaler Betriebsfrequenz erreicht allerdings kann der Q 545 damit im Dauerbetrieb berhitzen gt Beachten Sie die empfohlene Betriebsdauer in Abh ngigkeit von der Betriebsfrequenz im Schrittbetrieb S 68 gt Sorgen Sie f r ausreichende Bel ftung am Aufstellungsort HINWEIS Sch den durch Kollisionen Kollisionen k nnen den Versteller die zu bewegende Last und die Umgebung besch digen gt Stellen Sie sicher dass im Bewegungsbereich des Verstellers keine Kollisionen zwischen Versteller zu bewegender
12. siehe Benutzerhandbuch des Controllers b Verbinden Sie die Kupplung HD D Sub 15 f f r den Sensoranschluss mit dem entsprechenden Einbaustecker des Controllers siehe Benutzerhandbuch des Controllers 5 Sichern Sie die Steckverbindungen mit den integrierten Schrauben gegen unbeabsichtigtes Abziehen 48 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Q 545 x4x fur Betrieb im Vakuum am Controller E 871 anschlieBen 1 2 3 4 5 Abbildung 19 Kabeldiagramm f r Q 545 x40 und Controller f r Betrieb im Vakuum bis 10 hPa 1 Controller hier E 871 1A1 2 Y Adapterkabel 7202500043 0015 3 Verlangerungskabel E 873 UHVx 4 Vakuumdurchf hrung C 815 VF 5 Q 545 x40 1 2 3 4 9 Abbildung 20 Kabeldiagramm f r Q 545 x4U und Controller f r Betrieb im Vakuum bis 10 hPa Controller hier E 871 1A1 Y Adapterkabel 7202500043 0015 Verl ngerungskabel E 873 UHVx Vakuumdurchf hrung C 815 VFUx hier C 815 VFU1 Q 545 x4U OQ A NH Ss 1 Vor dem ersten Anschlie en Installieren Sie die Vakuumdurchf hrung a Entnehmen Sie die Abmessungen der entsprechenden Ma zeichnung S 75 Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 49 5 Installation Pp I b Stellen Sie die korrekte Ausrichtung der Vakuumdurchf hrung sicher C 815 VF Vakuumseite Buchse D Sub 15 f C 815 VFUx Siehe MaBzeichnung S 75 c Versehen Sie die Vakuumkammer mit einem passenden Durchbruch d Bauen Sie die
13. D 15 D a 15 D an 15 D 15 En oT 870 a 871 E 873 a 870 al 871 E 873 Controller Treiber Die Verstellerserie Q 545 ersetzt die Serie LPS 45 Die Spezifikationen wurden auf einer Unterlage mit einer Ebenheit von 2 um ermittelt 66 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 1 2 Bemessungsdaten Der Versteller Q 545 ist f r folgende Betriebsgr en ausgelegt Maximale Maximale Maximale Betriebsspannung Betriebsfrequenz Leistungsaufnahme 10 1 3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Folgende Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen sind f r den Q 545 zu beachten Einsatzbereich Nur zur Verwendung in Innenr umen Maximale H he 2000 m Luftdruck Relative Luftfeuchte Betriebstemperatur Lagertemperatur Transporttemperatur Maximale Ausheiztemperatur f r Q 545 xxU Maximale Ausheiztemperatur f r Q 545 xx0 berspannungskategorie gem EN 60664 1 2007 VDE 0110 1 Q 545 Versteller Q 545 xx0 1100 hPa bis 10 hPa Q 545 xxU 1100 hPa bis 10 hPa H chste relative Luftfeuchte 80 f r Temperaturen bis 31 C nichtkondensierend Linear abnehmend bis 50 relativer Luftfeuchte bei 40 C nichtkondensierend 0 C bis 40 C 20 C bis 70 C 20 C bis 70 C 120 C f r 12 Stunden nur im ausgeschalteten Zustand 80 C f r 2 Stunden nur im ausgeschalteten Zustand MP135D Version 1 0
14. Last und Umgebung m glich sind gt Platzieren Sie keine Gegenst nde in Bereichen in denen sie von bewegten Teilen erfasst werden k nnen gt Halten Sie bei einer Fehlfunktion der Elektronik die Bewegung sofort an HINWEIS Zu hohe Betriebsfrequenz Zu hohe Betriebsfrequenz kann Sch den am Q 545 verursachen gt Verwenden Sie nur Controller Treiber und Originalzubeh r von PI f r den Betrieb des Q 545 gt berschreiten Sie nicht den Betriebsfrequenzbereich S 67 f r den der Q 545 spezifiziert ist 52 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 6 Inbetriebnahme und Betrieb HINWEIS Erheblicher Verschlei durch hohe Betriebsfrequenz Hohe Betriebsfrequenz im Schrittbetrieb kann erheblichen Verschlei an der Mechanik verursachen gt Bei Verwendung der Treiberelektronik E 870 Wenn notwendig reduzieren Sie an der Treiberelektronik die Werte der Parameter PIShift Steps per Second ID 0x1F000600 und PIShift Frequency ID 0x1F000400 siehe Dokumentation der Treiberelektronik gt Bei Verwendung des Controllers E 871 Wenn der Parameter PIShift Open Loop Driving Mode ID 0x1F000702 den Wert 0 hat Schrittbetrieb und Bewegungen im ungeregelten Betrieb mit dem Befehl SMO gestartet werden Die Schrittfrequenz hangt direkt vom mit SMO kommandierten Stellwert ab und ist durch den Wert des Parameters Maximum Motor Output ID 0x9 begrenzt Wenn notwendig redu
15. Vakuumdurchf hrung ein 2 Entfernen Sie den ESD Schutz vom Q 545 Q 545 x40 Entfernen Sie ESD Schutzkappe vom Stecker D Sub 15 m Q 545 x4U Entfernen Sie die Schutzfolie von der Kupplung D Sub 15 f 3 Verbinden Sie Versteller Vakuumdurchf hrung Kabel und Controller wie im Kabeldiagramm oben abgebildet miteinander 4 Sichern Sie die Steckverbindungen mit den integrierten Schrauben gegen unbeabsichtigtes Abziehen 50 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 6 Inbetriebnahme und Betrieb 6 Inbetriebnahme und Betrieb In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb u nssennnnnennenne een 51 Versteller in Betrieb nehmen cccccccsseseccecceseeceeccaeseeeeeeceaueeeeeseeseeeeessaaeeeeessaaass 54 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb IN Stromschlaggefahr bei fehlendem Schutzleiter Bei fehlendem oder nicht ordnungsgem angeschlossenem Schutzleiter k nnen im Falle eines Fehlers oder Defekts gef hrliche Ber hrungsspannungen am Q 545 entstehen Wenn Ber hrungsspannungen vorhanden sind kann das Ber hren des Q 545 zu leichten Verletzungen durch Stromschlag f hren gt Schlie en Sie den Q 545 vor Inbetriebnahme an einen Schutzleiter an S 27 gt Entfernen Sie den Schutzleiter nicht w hrend des Betriebs gt Wenn der Schutzleiter vor bergehend entfernt werden muss z B bei Umbauten schlie
16. als optionales Zubeh r S 17 F r Q 545 x40 C 815 VF F r Q 545 x4U C 815 VFUx Geeignetes Werkzeug zur Installation der Vakuumdurchfuhrung Q 545 x4x f r Betrieb bei atmosph rischem Druck am Controller E 871 anschlie en Abbildung 17 Kabeldiagramm f r Q 545 x40 und Controller f r Betrieb bei atmosph rischem Druck 1 Controller hier E 871 1A1 2 Y Adapterkabel 7202500043 0015 3 Q 545 x40 Abbildung 18 Kabeldiagramm f r Q 545 x4U und Controller f r Betrieb bei atmosph rischem Druck Controller hier E 871 1A1 Y Adapterkabel 7202500043 0015 Adapter 5604500041 Q 545 x4U KR MH Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 47 5 Installation Pp I 1 Entfernen Sie den ESD Schutz vom Q 545 Q 545 x40 Entfernen Sie ESD Schutzkappe vom Stecker D Sub 15 m Q 545 x4U Entfernen Sie die Schutzfolie von der Kupplung D Sub 15 f 2 Nur Q 545 x4U Verbinden Sie die Kupplung D Sub 15 f mit dem Adapter 5604500041 3 Verbinden Sie den Q 545 mit dem Y Adapterkabel Q 545 x40 Verbinden Sie den Stecker D Sub 15 m des Q 545 mit der Kupplung des Y Adapterkabels D Sub 15 f Q 545 x4U Verbinden Sie die freie Steckerseite D Sub 15 m des Adapters 5604500041 mit der Kupplung des Y Adapterkabels D Sub 15 f 4 Verbinden Sie das Y Adapterkabel mit dem Controller E 871 a Verbinden Sie den Stecker HD D Sub 15 m fur den Motoranschluss mit der entsprechenden Buchse des Controllers
17. bewegten Plattform gt Beachten Sie die maximale Tiefe f r das Einf hren von Passstiften S 69 in die bewegte Plattform gt Verwenden Sie nur Schrauben und Passstifte mit der richtigen Lange f r die entsprechenden Bohrungen INFORMATION Jedes Modell des Q 545 kann als unterer oder als oberer Versteller verwendet werden Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 31 5 Installation Pp I Bezeichnungen in dieser Anleitung Unterer Versteller Bildet die Basis des Mehrachssystems X Achse ist auf einer Unterlage befestigt Oberer Versteller Bildet die Y Achse des Mehrachssystems wird um 90 gedreht auf dem unteren Versteller befestigt Abbildung 8 Beispiel Q 545 140 auf Q 545 140 befestigen Unterer Versteller 2 Zylinderstifte 2 5 m6 x 5 ISO 8734 Verwendung als Passstifte Oberer Versteller 4 Zylinderschrauben M2 5x5 ISO 4762 KR MH Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 25 Die Versteller sind von der Elektronik getrennt Sie haben den unteren Versteller ordnungsgem auf einer Unterlage befestigt und an einen Schutzleiter angeschlossen S 27 32 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation v Sie haben den Platzbedarf f r eine knickfreie und vorschriftsm ige Kabelf hrung ber cksichtigt Werkzeug und Zubeh r Schraubensatz 5861500010 aus dem Lieferumfang des Q 545
18. 0 67 10 Technische Daten Pp I Schutzklasse gem EN 61140 VDE 0140 1 Verschmutzungsgrad gem EN 60664 1 2007 VDE 0110 1 Schutzart IP20 gem IEC 60529 10 2 Betriebsdauer Die Betriebsdauer und die Betriebsfrequenz im Schrittbetrieb beeinflussen die Lebensdauer des Verstellers Um berhitzung und hohen Verschlei zu vermeiden darf die Betriebsdauer bei gegebener Betriebsfrequenz und 100 Einschaltdauer die in der folgenden Tabelle angegebenen Werte nicht berschreiten Betriebsfrequenz in Hz Betriebsdauer 48 V 0 6 A 20000 10 s max 5000 60 s max lt 1000 120 s max 10000 20 s max F r die entsprechenden Parameter siehe Versteller in Betrieb nehmen S 54 und Benutzerhandbuch der verwendeten Elektronik Bei 100 Einschaltdauer ohne Abf hrung von W rme 68 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 3 Abmessungen 10 3 1 Q 545 10x Abmessungen in mm Zeichen die zur Abtrennung von Dezimalstellen verwendet werden Tiefe und Durchmesser von Bohrungen Punkt Alle anderen Ma angaben Komma O3 4x M2575 4x M2y4 4x M24 COR Abbildung 21 Q 545 10x Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 69 10 Technische Daten Pp I 10 3 2 Q 545 14x Abmessungen in mm Zeichen die zur Abtrennung von Dezimalstellen verwendet werden Tiefe und Durchmesser von Bohrungen Punkt
19. 2 26mm 4 mit Sensor U geeignet bis 10 hPa Wenn in diesem Handbuch fur eine Stelle nach dem Punkt der Wert x verwendet wird trifft die entsorechende Beschreibung oder Anleitung fur alle Auspragungen des entsprechenden Merkmals Zu Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 11 3 Produktbeschreibung PI Detaillierte Modellbezeichnungen Produktname Q Motion Linearversteller 13 mm Stellweg ohne Positionssensor f r ungeregelten Betrieb 8 N Druck Zugkraft Abmessungen 45 x 48 x 15 mm B x L x H piezoelektrischer Tragheitsantrieb vakuumkompatibel bis 10 hPa Q Motion Linearversteller 13 mm Stellweg Linearencoder 1 nm Aufl sung 8 N Druck Zugkraft Abmessungen 45 x 48 x 15 mm B x L x H piezoelektrischer Tr gheitsantrieb vakuumkompatibel bis 10 hPa Q Motion Linearversteller 26 mm Stellweg ohne Positionssensor f r ungeregelten Betrieb 8 N Druck Zugkraft Abmessungen 45 x 63 x 15 mm B x Lx H piezoelektrischer Tragheitsantrieb vakuumkompatibel bis 10 hPa Q Motion Linearversteller 26 mm Stellweg Linearencoder 1 nm Aufl sung 8 N Druck Zugkraft Abmessungen 45 x 63 x 15 mm B x L x H piezoelektrischer Tragheitsantrieb vakuumkompatibel bis 10 hPa Q Motion Linearversteller 13 mm Stellweg ohne Positionssensor f r ungeregelten Betrieb 8 N Druck Zugkraft Abmessungen 45 x 48 x 15 mm B x L x H piezoelektrischer Tr gheitsantrieb vakuumkompatibel bis 10 hPa Q Motion Linea
20. 5 S 16 2 Zylinderstifte 2 5 m6 x 5 ISO 8734 zur Verwendung als Passstifte 4 Zylinderschrauben M2 5x5 ISO 4762 Geeignetes Werkzeug zum Befestigen der Schrauben Schraubenkleber Q 545 auf Unterlage befestigen und an Schutzleiter anschlie en Q 545 Versteller 1 Richten Sie den Q 545 mit Hilfe der Passstifte auf der Unterlage aus a F hren Sie die zwei Passstifte in die Passbohrungen an der Unterseite des Q 545 siehe Abbildung oben oder in der Unterlage ein b Setzen Sie den Q 545 so auf die Unterlage dass die Passstifte in die entsprechenden Passbohrungen auf der Gegenseite eingef gt werden Befestigen Sie den Q 545 mit vier Schrauben M2 5 auf der Unterlage a Verschieben Sie per Hand die bewegte Plattform des Q 545 bis zwei der vier Senkbohrungen im Grundk rper zug nglich sind b F hren Sie eine Schraube in jede der beiden Senkbohrungen ein c Ziehen Sie die Schrauben mit einem Drehmoment von jeweils maximal 72 Nem fest d Stellen Sie sicher dass die Schraubenk pfe vollst ndig abgesenkt sind MP135D Version 1 0 0 29 5 Installation Pp I e Wiederholen Sie die Schritte a bis d f r die beiden anderen Senkbohrungen im Grundk rper des Q 545 3 Sichern Sie die Schrauben gegen selbst ndiges L sen z B durch Schraubenkleber 4 Stellen Sie sicher dass der bergangswiderstand an allen f r die Schutzleitermontage relevanten Verbindungsstellen lt 0 1 bei 25 A ist 5 berpr fen Si
21. 5 VF Vakuumdurchf hrung Antrieb und Sensorsignale D Sub 15 m f inklusive Technical Note C815T0003 Adapterwinkel f r die vertikale Montage von Verstellern Q 545 1x0 Material Aluminium 3 3206 eloxiert Masse 42 g inklusive Q 145 1001 2 Zylinderstifte A2 2 5 m6 x 4 ISO 2338 4 Zylinderschrauben A2 M2 5x8 ISO 4762 Adapterwinkel f r die vertikale Montage von Verstellern Q 545 2x0 Material Aluminium 3 3206 eloxiert Masse 49 g inklusive Q 145 200 2 Zylinderstifte A2 2 5 m6 x 4 ISO 2338 4 Zylinderschrauben A2 M2 5x8 ISO 4762 Nur f r Modelle Q 545 xxU geeignet f r den Einsatz im Vakuum bis 10 hPa lt Antrieb und Sensorsignale D Sub 15 m m ae ee Vakuumdurchf hrung Antrieb und Sensorsignale aan 15 x D Sub 15 m m DN160CF Adapterwinkel f r die vertikale Montage von Verstellern Q 545 1xU Material Aluminium 3 3206 blank Masse 42 9 inklusive Q 145 10U1 2 Zylinderstifte A2 2 5 m6 x 4 ISO 2338 4 Zylinderschrauben A2 M2 5x8 ISO 4762 18 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung Bestell Beschreibung nummer Adapterwinkel f r die vertikale Montage von Verstellern Q 545 2xU Material Aluminium 3 3206 blank Masse 49 9 inklusive 2 Zylinderstifte A2 2 5 m6 x 4 ISO 2338 4 Zylinderschrauben A2 M2 5x8 ISO 4762 Q 145 20U gt Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst S 63
22. 5 ein 5 5 1 Q 545 an Treiberelektronik anschlie en Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 25 Sie haben die Treiberelektronik E 870 S 19 installiert Sie haben das Benutzerhandbuch der Treiberelektronik gelesen und verstanden v Die Treiberelektronik ist ausgeschaltet d h nicht an der Stromversorgung angeschlossen Werkzeug und Zubeh r Wenn die Treiberelektronik eine Buchse Mini DIN 4 hat Modelle E 870 x1 E 870 xG Adapterkabel 7202500042 0015 im Lieferumfang S 16 Wenn die Treiberelektronik eine Stiftleiste hat Modell E 870 10 Geeigneter Adapter von D Sub 15 f auf die Stiftleiste 42 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Entnehmen Sie die Pinbelegung der Stiftleiste J10 2x4 pol der Technical Note E870T0001 Wenn Sie einen geeigneten Adapter ben tigen wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 63 Wenn ein Q 545 x0U bei atmosph rischem Druck betrieben werden soll Adapter 5604500041 im Lieferumfang S 16 Wenn der Q 545 im Vakuum betrieben werden soll Verlangerungskabel E 873 UHVx erh ltlich als optionales Zubeh r S 17 Geeignete Vakuumdurchf hrung erh ltlich als optionales Zubeh r S 17 F r Q 545 x00 C 815 VF F r Q 545 x0U C 815 VFUx Geeignetes Werkzeug zur Installation der Vakuumdurchf hrung Q 545 x0x f r Betrieb bei atmos
23. A E E EA A E EE 10 3 5 Adapterwinkel Q 145 1001 und Q 145 10U1 ees 10 3 6 Adapterwinkel Q 145 200 und Q 145 20U uuusssssesenneeeneennnnns 10 3 7 Vakuumdurchf hrungen cccccseeeeeeceeeeeeeeeeeeeeeceeeesaeeeeeeeeaeneeeeeeeas 10 4 Pinbelegung uus002200000000n0nnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnensnnnnnnnennnnnnnn 10 4 1 iO Wen EL NEN DEPENR NHEIES ONE N 10 4 2 Venetien nee eier 10 4 3 Vakuumdurchf hrung C 815 VF 2uuussnssnnneennennnnnennnennnnne nennen 10 4 4 Vakuumdurchf hrung C 815 VFUX ucsssssenssnnnsssnnnennnnnnnnnennennnnn 10 4 5 Adapter 5604500041 2222222220000snnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnne nennen Altger t entsorgen PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 1 ber dieses Dokument 1 Uber dieses Dokument In diesem Kapitel Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs 2444004242000n0nnnn nn nnnnn nennen 1 Symbole und KeENnZeiChnuUNGeN 0cscccccccceceeesseeececeeeeeeeeeecceeeeesseeaeeeeeeeeeessaaageeeeeeees 1 BC OMMISCR Can UNG nenne asia ansehen a 3 PD MOA GG N sense se set es a a ae ne ee ee 3 Mitgeltende DOKUMENNE ccccccccseeeeceeceeeeeceeeeseeseceeeeeeaecesesuaaeeeessaaaeeeeesseaeeeeeeesaaess 3 Handb cher herunterladen ccccccccseeeceeeeeeeeeceeeeeeeeeeeeecaeeeeeeesseeeeeeeeseaseeeeesaageeeeeeaas 4 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enthalt
24. Alle anderen Ma angaben Komma A A 2 6 40 4x 2 9 _J 05 5 172 6 2x M2 5H 3 8 rer ur ei lt HOK x 2 e u zu ui FT 45 O3 2X 20 Yeo 4x M255 4x M254 4x M24 gorm Abbildung 22 Q 545 14x 70 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 3 3 Q 545 20x Abmessungen in mm Zeichen die zur Abtrennung von Dezimalstellen verwendet werden Tiefe und Durchmesser von Bohrungen Punkt Alle anderen Ma angaben Komma A A 4x 02 9 L_ 05 5 29 2x 2 5H7 3 8 2x 2 5H 1 4 4x M254 40 Abbildung 23 Q 545 20x Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 71 10 Technische Daten Pp I 10 3 4 Q 545 24x Abmessungen in mm Zeichen die zur Abtrennung von Dezimalstellen verwendet werden Tiefe und Durchmesser von Bohrungen Punkt Alle anderen Ma angaben Komma 4x 62 9 L_ 85 5 72 9 A 2x 2 5H7 73 8 Cw hee HE te E F T k l e me ODRE TCE 45 4x M2544 4x M2594 4x M24 Abbildung 24 Q 545 24x 72 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 3 5 Adapterwinkel Q 145 1001 und Q 145 10U1 Abmessungen in mm 40 UN 4x O25 H x3 5 8 4x 2 5 H x3 8 Abbildung 25 Adapterwinkel Q 145 1001 Abmessungen des Adapterwinkels Q 145 10U1 sind identisch Q 545 Versteller MP135D Vers
25. ED OUS i esse nee ee ee nee ee ee ee 68 ABMESSUNGEN essen teapacoownanshiyianndeiaathaBedunccummaneeie iasoureins 69 POCEO nee see see Eee se see ee ee ee ee 80 10 1 Spezifikationen 10 1 1 Datentabelle Vorl ufige Daten Bewegung und Positionieren 13 mm Stellweg ungeregelt UHV Version Q 545 10U 13 mm Stellweg Aufl sung 1 nm UHV Version Q 545 14 U Aktive Achse Stellweg Integrierter Sensor Sensoraufl sung Kleinste Schrittweite Unidirektionale Wiederholgenauigkeit Rotatorisches bersprechen Lineares bersprechen Q 545 Versteller 26 mm Stellweg ungeregelt UHV Version Q 545 20U MP135D Q 545 240 Q 545 24U 26 mm Stellweg Aufl sung 1 nm UHV Version Q 545 24U Toleranz m m nm nm u m um T Q Version 1 0 0 65 10 Technische Daten Pp I Vorl ufige Daten Q 545 100 Q 545 140 Q 545 200 Q 545 240 Toleranz Q 545 10U Q 545 14U Q 545 20U Q 545 24U Maximale 10 10 10 10 mm s Geschwindigkeit en En DE a inal Eigenschaften Druck peepee tinal eigenschaften Motortyp Piezoelektrischer Piezoelektrischer Piezoelektrischer Piezoelektrischer Tr gheitsantrieb Tragheitsantrieb Tragheitsantrieb Tragheitsantrieb Anschlusse und Umgebung Betriebstemperatur O bis 40 O bis 40 O bis 40 O bis 40 bereich an aa 545 100 2 545 140 2 ann 545 200 2 aia 545 240 2 Q 545 10U 1 Q 545 14U 1 Q 545 20U 1 Q 545 24U 1
26. M2 5 Geeignetes Werkzeug zur Befestigung der Schrauben Optional 2 Passstifte von geeigneter Lange f r Passbohrungen mit 2 5 mm H7 Last am Q 545 befestigen Q 545 Versteller 1 Richten Sie die Last so auf dem Q 545 aus dass sich die Montagebohrungen in Last und bewegter Plattform berdecken Wenn Sie Passstifte verwenden um die Last auszurichten a F hren Sie die Passstifte in die Passbohrungen in der bewegten Plattform oder in der Last ein b Setzen Sie die Last so auf die bewegte Plattform dass die Passstifte in die entsprechenden Passbohrungen auf der Gegenseite eingef gt werden MP135D Version 1 0 0 41 5 Installation Pp I 2 Befestigen Sie die Last mit den Schrauben Maximales Drehmoment f r Schrauben M2 35 Necm Maximales Drehmoment f r Schrauben M2 5 72 Necm 3 berpr fen Sie den festen Sitz der Last auf der bewegten Plattform des Verstellers 5 5 Q 545 an Elektronik anschlie en Vom Vorhandensein eines Sensors h ngt ab mit welcher Elektronik der Q 545 betrieben wird siehe auch Geeignete Elektronik S 19 Modelle ohne Sensor Q 545 x0x Treiberelektronik E 870 S 42 Modelle mit Sensor Q 545 x4x Controller E 871 S 46 INFORMATION Q 545 und Elektronik k nnen als vorkonfiguriertes System ausgeliefert werden gt Wenn auf den Etiketten von Q 545 und oder Elektronik eine Zuordnung der Anschl sse angegeben ist halten Sie diese Zuordnung beim Anschlie en des Q 54
27. MP135D Q 545 Versteller Benutzerhandbuch Version 1 0 0 Datum 09 07 2015 PI Dieses Dokument beschreibt die folgenden Produkte Q 545 Q Motion Linearversteller piezoelektrischer Tragheitsantrieb Dieses Dokument gilt fur verschiedene Modellversionen des Q 545 Die Modellversion des Q 545 ist in der Bestellnummer durch drei Stellen nach einem Punkt verschlusselt Bedeutung der Stellen und gultige Werte Erste Stelle nach dem Punkt Stellweg 1 13mm 2 26mm Zweite Stelle nach dem Punkt Ausstattung mit einem Sensor 0 ohne Sensor 4 mit Sensor Dritte Stelle nach dem Punkt Eignung fur Vakuum 0 geeignet bis 10 hPa U geeignet bis 10 hPa PI miCos GmbH Freiburger Stra e 30 79427 Eschbach Deutschland PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE Telefon 49 7634 5057 0 Fax 49 7634 5057 99 E Mail info pimicos de PI Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG ist Inhaberin der nachfolgend aufgef hrten Marken PI PIC PICMA PlLine PIFOC PiezoWalk NEXACT NEXLINE NanoCube NanoAutomation Picoactuator Plnano PlMag 2015 Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Karlsruhe Deutschland Die Texte Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich geschutzt Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG beh lt insoweit s mtliche Rechte vor Die Verwendung dieser Texte Bilder und Zeichnungen ist nur auszugsweise und nur unter Angabe der Quelle erlaubt
28. chreinigung INFORMATION Die positive Bewegungsrichtung der Achse ist in der Produktansicht S 13 angegeben 5 2 Q 545 auf Unterlage befestigen und an Schutzleiter anschlie en HINWEIS Hervorstehende Schraubenk pfe Hervorstehende Schraubenk pfe k nnen den Q 545 besch digen gt Stellen Sie sicher dass die Schraubenk pfe in den Montagebohrungen vollst ndig abgesenkt sind und die Bewegung nicht beeintr chtigen HINWEIS Verspannen des Q 545 durch Montage auf unebenen Fl chen Die Montage des Q 545 auf unebener Grundfl che kann den Q 545 verspannen Ein Verspannen verringert die Genauigkeit gt Befestigen Sie den Q 545 auf ebener Grundfl che Die empfohlene Ebenheit der Grundfl che betr gt 2 um gt Bei Anwendungen mit gro en Temperaturschwankungen Befestigen Sie den Q 545 nur auf Grundfl chen die dieselben oder hnliche W rmeausdehnungseigenschaften wie der Q 545 besitzen Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 27 5 Installation Pp I INFORMATION Der Kontakt des Q 545 zum Schutzleiter wird ber die Unterlage hergestellt auf der der Q 545 befestigt wird Die entsprechenden Kontaktfl chen m ssen ausreichend leitf hig sein Der Schutzleiter ist an der Unterlage angeschlossen auf der der Q 545 befestigt wird Die Schrauben sind gegen selbst ndiges L sen gesichert z B durch Schraubenkleber INFORMATION gt Beachten Sie die jeweils geltenden Normen f r die Schut
29. d hin und her bewegen Kontaktieren Sie unseren Kundendienst S 63 Beim Befestigen einer Kontaktieren Sie unseren Kundendienst S 63 Last oder eines Adapterwinkels auf der bewegten Plattform des Verstellers Zylinderstift wurde zu tief in die bewegte Plattform hineingedr ckt Wenn die St rung Ihres Systems nicht in der Tabelle angef hrt ist oder wenn sie nicht wie beschrieben behoben werden kann kontaktieren Sie unseren Kundendienst S 63 62 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 9 Kundendienst 9 Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre Pl Vertretung oder schreiben Sie uns eine E Mail info pi ws gt Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an Produktcodes und Seriennummern von allen Produkten im System Firmwareversion des Controllers sofern vorhanden Version des Treibers oder der Software sofern vorhanden PC Betriebssystem sofern vorhanden gt Wenn m glich Fertigen Sie Fotografien oder Videoaufnahmen Ihres Systems an die Sie unserem Kundendienst auf Anfrage senden k nnen Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 4 bereit Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 63 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten In diesem Kapitel 10 Technische Daten DDEZHIKANONE Niaresse essen teaser ne ee one nee 65 BOR
30. die erforderlichen Informationen fur die bestimmungsgem e Verwendung des Q 545 Grundsatzliches Wissen zu geregelten Systemen zu Konzepten der Bewegungssteuerung und zu geeigneten Sicherheitsma nahmen wird vorausgesetzt Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 4 bereit 1 2 Symbole und Kennzeichnungen In diesem Benutzerhandbuch werden folgende Symbole und Kennzeichnungen verwendet i Gef hrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen leichte Verletzungen oder Sachsch den A gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 1 1 Uber dieses Dokument PI HINWEIS Gefahrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen Sachsch den gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden INFORMATION Informationen zur leichteren Handhabung Tricks Tipps etc Symbol Kennzeichnung 1 2 gt S 5 RS 232 2 Version 1 0 0 Bedeutung Handlung mit mehreren Schritten deren Reihenfolge eingehalten werden muss Handlung mit einem Schritt oder mehreren Schritten deren Reihenfolge nicht relevant ist Aufz hlung Querverweis auf Seite 5 Bedienelement Beschriftung auf dem Produkt Beispiel Buchse der RS 232 Schnittstelle Auf dem Produkt angebrachtes Warnzeichen das auf ausf hrliche Informationen in diesem Handbuch verweist Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 1 ber dieses Dokument
31. e den Q 545 nur wenn die Parameter der Elektronik korrekt eingestellt sind gt Achten Sie besonders auf die Parametereinstellungen f r Betriebsspannung und Betriebsfrequenz INFORMATION Im Schrittbetrieb entwickelt der PIShift Antrieb Ger usche Die Gerauschentwicklung h ngt von der aktuellen Schrittfrequenz ab 6 2 1 Q 545 x0x mit Treiberelektronik E 870 in Betrieb nehmen INFORMATION Die Werte f r die Parameter der Treiberelektronik E 870 sind in einer Tabelle in diesem Abschnitt aufgelistet F r optimale Antriebsleistung sollten die Werte der folgenden Parameter identisch sein PiIShift Steps per Second ID 0x1F000600 PIShift Frequency ID 0x1F000400 Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb gelesen und verstanden S 51 v Sie haben die Dokumentation der Treiberelektronik E 870 Technical Note E870T0001 oder Technical Note E870T0002 gelesen und verstanden Sie haben den Versteller ordnungsgem installiert S 25 Die Treiberelektronik E 870 wurde ordnungsgem installiert und alle Anschl sse am E 870 wurden eingerichtet siehe Technical Note E870T0001 oder Technical Note E870T0002 Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 55 6 Inbetriebnahme und Betrieb Pp I 56 Q 545 x0x mit Treiberelektronik E 870 in Betrieb nehmen 1 Stellen Sie sicher dass die Parameter der Treiberelektronik E 870 korrekt eingestellt sind Werte siehe untenstehende Tabelle
32. e den festen Sitz des Q 545 auf der Unterlage 5 3 Mehrachssystem aufbauen Der Q 545 kann in Mehrachssystemen verwendet werden Typische Kombinationen m XY System S 31 Z System S 34 XZ oder XYZ Kombination Abbildung 7 Beispiel f r ein XYZ System drei Q 545 140 mit Hilfe eines Adapterwinkels montiert Unterer Versteller Mittlerer Versteller Adapterwinkel Q 145 1001 f r Einsatz im Vakuum bis 10 hPa KR N S Oberer Versteller 30 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation 5 3 1 Allgemeine Hinweise f r den Aufbau eines Mehrachssystems HINWEIS Unzul ssig hohe Last an den Verstellern In einem Mehrachssystem muss der Versteller f r die Y und oder Z Achse mitbewegt werden Unzul ssige hohe Lasten beeintr chtigen die Bewegung und k nnen die Versteller besch digen gt Beziehen Sie die Massen der mitbewegten Versteller und des Adapterwinkels S 17 in die Berechnung der zu bewegenden Last ein gt F r alle Versteller in einem Mehrachssystem berschreiten Sie nicht die maximal zulassige Last gt Stellen Sie sicher dass die installierte Last bei vertikaler Montage eines Verstellers geringer ist als die Selosthemmung des Antriebs 5 3 2 XY System aufbauen HINWEIS Zu lange Schrauben und Passstifte Zu tief eingebrachte Schrauben und Passstifte besch digen den Q 545 gt Beachten Sie die Tiefe der Montagebohrungen S 69 in der
33. eee seen 42 5 5 1 Q 545 an Treiberelektronik anschlie en cccceececeececeececeeeeeeees 42 10 11 12 5 5 2 Q 545 an Controller AnSChli Ben eeeececcceeeeeeeesseeeeeeeeeeaeeeeees Inbetriebnahme und Betrieb 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb ccccceeceeeeeeeeeeees 6 2 Versteller in Betrieb nehmen 0 2222000220nsuennnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nennen 6 2 1 Q 545 x0x mit Treiberelektronik E 870 in Betrieb nehmen 6 2 2 Q 545 x4x mit Controller E 871 1A1 in Betrieb nehmen Wartung 7 1 Allgemeine Hinweise zur Wartung ususuuuussnennnennnnnnennennnn nennen nennen nennne nennen 7 2 Wartungsfahrt durchf hren 0ss0420440000B000nnnnennnnnnnnnnnnennnnnnennennnnnn nenn 7 3 OA STEINE ect een ee ee A Storungsbehebung Kundendienst EG Konformitatserklarung Technische Daten 10 1 Spezifikationen 0 eee 10 1 1 Datentabehlle cccccccccssseecececseseeeeesceeeeeeeeseeeaeeeeesseauseeeesseaeeeeessaaaes 10 1 2 Bemessungsdaten seccccccceeseeceeeceeeeececeeaeeseeeeesseaeeeeesssaaeeessssaaees 10 1 3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen 0 102 Beflnebsd ler en nenne heine kenne nkinenheen 10 3 ADMESSUNgEN anne nn nennen een einen sehe 10 3 1 EA ON een seiten nennen ee 10 3 2 E34 1A ne een unge eier 10 3 3 E 37 a 0 EE A EEE EAE RER NEE EA A E EE E 10 3 4 2 a E er nee
34. entiell Encoder A Encoder B MP135D Version 1 0 0 83 10 Technische Daten PI 10 4 4 Vakuumdurchf hrung C 815 VFUx D Sub 15 m m 84 Abbildung 36 Vakuumdurchf hrung C 815 VFUx 1 2 Vakuumseite Luftseite 1 a i ar 1 Version 1 0 0 l 3383888888 709209099 ee Encoder B Sn jEnderan ID Chip Daten ID Chip Daten Vop CC Von Yosorunassoamana GSW REF Releronsignal arent MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten Luftseite UAURIBER ei KB e e a eE 1 EB e Jeose reader 8 Encoder A Referenzsignal differentiell MI ie i La ei Vakuumseite E EN HE 13 Motorsignal differentiell 1 14 GND 10 15 Motorsignal differentiell 10 4 5 Adapter 5604500041 D Sub 15 m m Die Verwendung des Adapters ist nur erforderlich wenn ein Modell Q 545 xxU bei atmosph rischem Druck d h ohne Vakuumdurchf hrung betrieben werden soll Abbildung 38 Stecker D Sub 15 m Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 85 10 Technische Daten 86 Abbildung 39 Pinbelegung des Adapters 5604500041 Version 1 0 0 MP135D PI Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 11 Altgerat entsorgen 11 Altgerat entsorgen Nach geltendem EU Recht d rfen Elektroger te in den Mitgliedsstaaten der EU nicht ber den kommunalen Restm ll entsorgt werden Entsorgen Sie das Altger t unter Beac
35. er Kabelschirm ist mit dem Steckergeh use verbunden 10 4 2 Q 545 xxU Kupplung D Sub 15 f Die Kupplung D Sub 15 f bertr gt die Signale des Antriebs und f r die Modelle mit Sensor zus tzlich die Signale des Sensors und des ID Chips 8 C boOoO O00 0 amp 000009 19 9 Abbildung 33 Kupplung D Sub 15 f pn Signal Funktion Trihium eo pooo ooo 6 or rooson ferons 0 pe frensa ason e fose fers Truman C CE CE Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 81 10 Technische Daten Pp I Das Zeichen zeigt an dass der entsprechende Anschluss nicht belegt ist Nur bei Modellen mit Sensor Bei Modellen ohne Sensor nicht belegt Der Kabelschirm ist mit dem Steckergeh use verbunden 10 4 3 Vakuumdurchf hrung C 815 VF D Sub 15 m f F Q DD 0 0 0 f OO 0 0 p 15 9 Abbildung 34 Vakuumseite Buchse D Sub 15 f 1 8 t 9808088808 3888888 ee g 15 es Abbildung 35 Luftseite Einbaustecker D Sub 15 m 82 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten Vakuumseite f Q 545 Versteller itis m Referenzsignal differentiell Motor Motorsignal differentiell Motorsignal differentiell Versorgungsspannung 5 V ID Chip Daten ID Chip Daten Ende AD COS Encoder B Motor Motorsignal differentiell GND GND Motor Motorsignal differentiell Referenzsignal differ
36. er r der Versteller kollidieren u kollidieren miteinander Fia miteinander Q 145 1001 oder Q 145 10U1 2 Q 545 2xx Q 145 200 oder Q 145 20U Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 35 5 Installation PI Voraussetzungen v v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 25 Sie haben die allgemeinen Hinweise fur den Aufbau eines Mehrachssystems gelesen und verstanden S 31 Sie haben den Platzbedarf f r eine knickfreie und vorschriftsm ige Kabelf hrung ber cksichtigt Wenn Sie eine XZ Kombination aufbauen Sie haben den unteren Versteller ordnungsgem auf einer Unterlage befestigt Wenn Sie eine XYZ Kombination aufbauen Sie haben die Versteller f r die X und Y Achse ordnungsgem befestigt S 31 Werkzeug und Zubeh r Geeigneter Adapterwinkel Kombinationsm glichkeiten siehe Empfohlene Z Systeme S 34 Die folgenden Winkel sind erh ltlich als optionales Zubeh r S 17 F r Z Systeme die f r den Einsatz im Vakuum bis 10 hPa geeignet sind Adapterwinkel Q 145 1001 oder Q 145 200 F r Z Systeme die f r den Einsatz im Vakuum bis 10 hPa geeignet sind Adapterwinkel Q 145 10U1 oder Q 145 20U F r Durchmesser und Lage der Bohrungen im Adapterwinkel siehe Abmessungen S 69 Montagezubeh r aus dem Lieferumfang des Adapterwinkels 2 Zylinderstifte 2 5 m6 x 4 zur Verwendung als Passstifte 4 Zylinderschrauben M2 5x8 Mo
37. ganisatorische Ma nahmen Benutzerhandbuch gt Halten Sie dieses Benutzerhandbuch st ndig am Q 545 verf gbar Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 4 bereit F gen Sie alle vom Hersteller bereitgestellten Informationen z B Erg nzungen und Technical Notes zum Benutzerhandbuch hinzu Wenn Sie den Q 545 an Andere weitergeben f gen Sie dieses Handbuch und alle sonstigen vom Hersteller bereitgestellten Informationen bei F hren Sie Arbeiten grunds tzlich anhand des vollst ndigen Benutzerhandbuchs durch Fehlende Informationen aufgrund eines unvollst ndigen Benutzerhandbuchs k nnen zu leichten Verletzungen und zu Sachsch den f hren Installieren und bedienen Sie den Q 545 nur nachdem Sie dieses Benutzerhandbuch gelesen und verstanden haben Personalqualifikation Nur autorisiertes und entsprechend qualifiziertes Personal darf den Q 545 installieren in Betrieb nehmen bedienen warten und reinigen 8 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 2 Sicherheit 2 4 Ma nahmen bei der Handhabung von vakuumtauglichen Produkten Beim Umgang mit der Vakuumversion des Verstellers muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden Bei PI werden alle Teile vor dem Zusammenbau gereinigt W hrend der Montage und w hrend des Messens wird mit puderfreien Handschuhen gearbeitet Zus tzlich werden die Modelle Q 545 xxU danach noch ein
38. htung der internationalen nationalen und regionalen Richtlinien Um der Produktverantwortung als Hersteller gerecht zu werden bernimmt die PI miCos GmbH kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines PI miCos Altgerates sofern es nach dem 13 August 2005 in Verkehr gebracht wurde Falls Sie ein solches Altger t von PI miCos besitzen k nnen Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden Pl miCos GmbH Freiburger Stra e 30 D 79427 Eschbach Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 87 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 12 EG Konformitatserklarung 12 EG Konformitatserklarung Fur den Q 545 wurde eine EG Konformit tserkl rung gem den folgenden europ ischen Richtlinien ausgestellt 2006 95 EG Niederspannungsrichtlinie 2004 108 EG EMV Richtlinie 2011 65 EU RoHS Richtlinie Die zum Nachweis der Konformitat zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet Sicherheit Niederspannungsrichtlinie EN 61010 1 2010 EMV EN 61326 1 2013 RoHS EN 50581 2012 Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 89
39. in der bewegten Plattform gt Beachten Sie die maximale Tiefe f r das Einf hren von Passstiften S 69 in die bewegte Plattform gt Verwenden Sie nur Schrauben und Passstifte mit der richtigen L nge f r die entsprechenden Bohrungen Wenn Sie den Adapterwinkel auf dem unteren Versteller ausrichten halten Sie folgende Reihenfolge ein 1 Bringen Sie die Passstifte von unten in den kurzen Schenkel des Adapterwinkels ein 2 Stellen Sie sicher dass die Passstifte bis zum Anschlag eingebracht sind 3 Setzen Sie den Adapterwinkel auf die bewegte Plattform des unteren Verstellers Bezeichnungen in dieser Anleitung Unterer Versteller X Achse in einer XZ Kombination Y Achse in einer XYZ Kombination Der Versteller auf dem der obere Versteller mit einem Adapterwinkel befestigt wird Oberer Versteller Bildet die Z Achse des Mehrachssystems wird in vertikaler Ausrichtung mit einem Adapterwinkel auf dem unteren Versteller befestigt Empfohlene Z Systeme Folgende Kombinationen aus Adapterwinkeln und Verstellern werden empfohlen 34 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Lt Ausrichtung von Adapterwinkel und oberem Versteller zum unteren Versteller Kombination aus Verstellern und Adapterwinkel 2 Q 545 1xx Q 145 1001 oder Q 145 10U1 2 Q 545 2xx Nicht m glich Die a Nicht m glich Die bewegten Plattformen E 4 bewegten Plattformen der Verstell
40. inem milden Reinigungs oder Desinfektionsmittel angefeuchtet wurde Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 59 7 Wartung Fr I Wenn der Versteller im Vakuum eingesetzt wird gt Ber hren Sie den Versteller nur mit puderfreien Handschuhen gt Wenn notwendig s ubern Sie den Versteller per Wischreinigung 60 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 8 St rungsbehebung 8 Storungsbehebung St rung M gliche Ursachen Behebung Beeintr chtigung der Funktion nach System ver nderung Keine oder eingeschr nkte Bewegung Q 545 Versteller Treiberelektronik oder Controller wurde ausgetauscht Versteller wurde ausgetauscht Kabel nicht korrekt angeschlossen oder defekt Zu hohe Last Parameter der verwendeten Elektronik falsch eingestellt Betriebsspannung zu gering Ung nstige Betriebsfrequenz f r den Schrittbetrieb Treiberelektronik E 870 von PI gt Passen Sie die Parameter der Treiberelektronik im PC Programm E 870 Control an den Q 545 an siehe Q 545 x0x mit Treiberelektronik E 870 in Betrieb nehmen S 55 und Technical Note E870T0001 bzw E870T0002 Controller E 871 von PI gt Laden Sie aus der Verstellerdatenbank den Parametersatz der dem Q 545 Modell entspricht Wenn n tig Stellen Sie die Parameter des Controllers im PC Programm PIMikroMove so ein dass sie der Anwendung Last Ausrichtung des Q 545 Modells entsprechen siehe Ben
41. ion 1 0 0 73 10 Technische Daten Pp I 10 3 6 Adapterwinkel Q 145 200 und Q 145 20U Abmessungen in mm 4x 2 5 H7x3 8 Abbildung 26 Adapterwinkel Q 145 200 Abmessungen des Adapterwinkels Q 145 20U sind identisch 74 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 3 7 Vakuumdurchfuhrungen Verf gbare Vakuumdurchf hrungen C 815 VEF S 75 C 815 VFU1 S 76 C 815 VFU3 S 77 0 815 VFU6 S 78 C 815 VFU15 S 79 Vakuumdurchf hrung C 815 VF f r 10 hPa Abmessungen in mm 28 92 Abbildung 27 Vakuumdurchf hrung C 815 VF D Sub 15 m f Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 75 10 Technische Daten Pp I Vakuumdurchf hrung C 815 VFU1 f r 10 hPa Abmessungen in mm A A A 2x 4 40 UNC x4Y 2x 4 40 UNC x4 nt D Sub 15 m D Sub 15 m 12 7 18 2 Abbildung 28 Vakuumdurchf hrung C 815 VFU1 D Sub 15 m m 1 Vakuumseite 2 Luftseite 76 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten Vakuumdurchf hrung C 815 VFU3 f r 10 hPa Abmessungen in mm 6x 4 40 UNC x4V 6x 4 40 UNC x4 3x D Sub 15 m 3x D Sub 15 m Abbildung 29 Vakuumdurchf hrung C 815 VFU3 D Sub 15 m m 1 Vakuumseite 2 Luftseite Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 77 10 Technische Daten Pp I Vakuumdurchf hrung C 815 VFU6 f r 10 hPa Abmessunge
42. it Fl ssigkeiten und leitende Materialien z B Metallstaub hervorgerufen werden Dar ber hinaus k nnen in bestimmten Luftdruckbereichen aufgrund der erh hten Leitf higkeit der Luft elektrische berschl ge auftreten gt Vermeiden Sie den Betrieb des Q 545 in Umgebungen die die elektrische Leitf higkeit erh hen k nnen gt Betreiben Sie den Q 545 nur innerhalb der zul ssigen Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen S 67 gt Bei Einsatz im Vakuum unter 0 1 hPa Betreiben Sie den Q 545 nicht w hrend des Evakuierens HINWEIS dr Erh hter Verschlei durch kleinen Verfahrbereich Das dauerhafte Verwenden eines kleinen Verfahrbereichs erh ht den Verschlei in diesem Bereich gt Wenn m glich W hlen Sie in regelm igen Abst nden einen anderen Teil des Stellwegs als Verfahrbereich 6 2 Versteller in Betrieb nehmen Vom Vorhandensein eines Sensors h ngt ab mit welcher Elektronik der Q 545 betrieben wird siehe auch Geeignete Elektronik S 19 Modelle ohne Sensor Q 545 x0x Treiberelektronik E 870 S 55 Modelle mit Sensor Q 545 x4x Controller E 871 S 57 54 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 6 Inbetriebnahme und Betrieb INFORMATION Wenn die Parameter der Elektronik nicht an den Q 545 und die Anwendung Last Ausrichtung des Q 545 angepasst sind bewegt sich der Q 545 nicht oder nicht zufriedenstellend gt Betreiben Si
43. lektronik E 870 mit Buchse Mini DIN 4 anschlie en 1 2 3 Abbildung 15 Kabeldiagramm f r Q 545 x00 und Treiberelektronik mit Buchse Mini DIN 4 f r Betrieb im Vakuum bis 10 hPa Treiberelektronik mit Buchse Mini DIN hier E 870 xG Adapterkabel 7202500042 0015 Verl ngerungskabel E 873 UHVx Vakuumdurchf hrung C 815 VF Q 545 x00 Oa A MH m Abbildung 16 Kabeldiagramm f r Q 545 x0U und Treiberelektronik mit Buchse Mini DIN4 f r Betrieb im Vakuum bis 10 hPa Treiberelektronik mit Buchse Mini DIN hier E 870 xG Adapterkabel 7202500042 0015 Verl ngerungskabel E 873 UHVx Vakuumdurchf hrung C 815 VFUx hier C 815 VFU1 Q 545 x0U Oa A MH m 1 Vor dem ersten Anschlie en Installieren Sie die Vakuumdurchf hrung a Entnehmen Sie die Abmessungen der entsprechenden Ma zeichnung S 75 Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 45 5 Installation Pp I b Stellen Sie die korrekte Ausrichtung der Vakuumdurchf hrung sicher C 815 VF Vakuumseite Buchse D Sub 15 f C 815 VFUx Siehe MaBzeichnung S 75 c Versehen Sie die Vakuumkammer mit einem passenden Durchbruch d Bauen Sie die Vakuumdurchf hrung ein 2 Verbinden Sie Versteller Vakuumdurchf hrung Kabel und Treiberelektronik wie im Kabeldiagramm oben abgebildet miteinander 3 Sichern Sie die Steckverbindungen durch geeignete Ma nahmen gegen unbeabsichtigtes Abziehen Q 545 x0x an Treiberelektronik E 870 mit Stiftleiste anschlie en Wen
44. llieren Sie den Q 545 so dass die Anwendung nicht durch die abgegebene W rme beeintr chtigt wird gt Sorgen Sie f r ausreichende Bel ftung am Aufstellungsort gt Stellen Sie sicher dass m glichst die komplette Unterseite des Q 545 Kontakt mit der Grundfl che hat auf der der Q 545 ae N U U ist HINWEIS Ungewollte Positions nderungen bei vertikaler Montage Wenn die Last bei vertikaler Montage des Verstellers die Selbsthemmung des Antriebs berschreitet treten ungewollte Positions nderungen der bewegten Plattform auf Ungewollte Positions nderungen der bewegten Plattform k nnen den Antrieb die Last oder die Umgebung besch digen gt Stellen Sie sicher dass die installierte Last bei vertikaler Montage des Verstellers Sie Tl RE ul El ist als die Selosthemmung des Antriebs HINWEIS Sch den durch ungeeignete Kabel Ungeeignete Kabel k nnen Sch den an der Elektronik verursachen gt Verwenden Sie f r den Anschluss des Q 545 an die Elektronik nur Kabel von PI 26 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation INFORMATION F r optimale Wiederholgenauigkeit m ssen alle Komponenten fest miteinander verbunden sein INFORMATION Beim Umgang mit der Vakuumversion des Verstellers muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden gt Ber hren Sie den Versteller nur mit puderfreien Handschuhen gt Wenn notwendig s ubern Sie den Versteller per Wis
45. mal per Wischreinigung ges ubert und doppelt in vakuumtaugliche Folie eingeschwei t gt Ber hren Sie den Versteller nur mit puderfreien Handschuhen gt Wenn notwendig s ubern Sie den Versteller per Wischreinigung nach dem Auspacken Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung In diesem Kapitel IMOOEIUBSISIEHI sas iacrecticsinc Sere ebereatctecteneesecosesazeqhseyaadectqeneseak qpesoseutaseeb acpandeeesasecteseaseeeeee 11 PO SCI een see ee ne nee Ina 13 PFOdURIDSSCHRIIEUING aussen see anne ae ee ee een ee 15 ETT PUI ANG nennen a ange ne Fear ee een 16 Optionales Zubeh r ccccsseesccccceeseeceeecaeeeeeeecaaeusceeseeeaseceeessaeaeeeeessaaaeeeeessaaeeeeesssaages 17 Geeignete Elektronik ccccccccccseesecececseeseeeeeceeesecececsaaeeeesesseaseeesseeeaseeeessaageeeesssaaess 19 Technische Ausstattung is cacceasantaacnsaiinanadsemndanisstunantseandanatsetanddansianiieansmedtasantanatatnensdansien 20 3 1 Modell bersicht Einteilung der Q 545 Modelle Die Modellversion des Q 545 ist in der Bestellnummer durch drei Stellen nach einem Punkt gekennzeichnet siehe auch Detaillierte Modellbezeichnungen Jede Stelle verschl sselt ein Merkmal der Modellversion EEE Erste Stelle Zweite Stelle Dritte Stelle Stellweg Sensor Linearencoder Eignung f r Vakuum Merkmals 1 13 mm 0 ohne Sensor 0 geeignet bis 10 hPa auspr gung
46. messung nicht beeinflussen 3 7 2 Referenzschalter Die Q 545 Modelle die mit einem Sensor ausgestattet sind verf gen ber einen optischen Referenzschalter Die Befehle die das Referenzsignal verwenden sind im Benutzerhandbuch des Controllers und oder in den entsprechenden Softwarehandb chern beschrieben 20 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung 3 7 3 ID Chip Q 545 Modelle mit Sensor enthalten im Anschlussstecker einen ID Chip Auf dem ID Chip sind folgende Daten als Parameter gespeichert Informationen zum Versteller Typ Seriennummer Herstellungsdatum Version der Hardware Einstellungen fur den Sensor Interpolationsrate Hysterese Phasen und Offsetkorrekturen Verstarkungsfaktoren Beim Einschalten oder Neustart lesen Controller von PI die Daten vom ID Chip aus Weitere Informationen zur ID Chip Erkennung finden Sie im Handbuch des verwendeten Controllers Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 21 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 4 Auspacken 4 Auspacken HINWEIS Elektrostatische Gef hrdung Bei Modellen mit Sensor kann das Ber hren der Pins im Anschluss D Sub 15 elektrostatisch auch ESD gef hrdete Bauteile des Q 545 besch digen Deshalb werden diese Modelle mit einem ESD Schutz ausgeliefert Q 545 x40 ESD Schutzkappe am Stecker Q 545 x4U nicht leitf hige Folie an der Kupplung gt Entfernen Sie den ESD Schutz e
47. n Sie die Schrauben mit einem Drehmoment von jeweils maximal 72 Nem fest 3 Uberpriifen Sie den festen Sitz von Adapterwinkel und oberem Versteller 5 4 Last am Q 545 befestigen HINWEIS Unzulassig hohe Krafte und Momente Unzulassig hohe Krafte und Momente die an der bewegten Plattform angreifen k nnen den Q 545 besch digen gt Beachten Sie hinsichtlich Masse und Befestigungsart der Last die maximal zulassigen Krafte gemaB den Spezifikationen S 65 gt Vermeiden Sie Kippmomente an der bewegten Plattform HINWEIS Zu lange Schrauben und Passstifte Zu tief eingebrachte Schrauben und Passstifte besch digen den Q 545 gt Beachten Sie die Tiefe der Montagebohrungen S 69 in der bewegten Plattform gt Beachten Sie die maximale Tiefe f r das Einf hren von Passstiften S 69 in die bewegte Plattform gt Verwenden Sie nur Schrauben und Passstifte mit der richtigen L nge f r die entsprechenden Bohrungen Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 39 5 Installation 40 PI are SL UL RA o m mbo FEN Abbildung 11 Q 545 14x Die Pfeile kennzeichnen folgende Montagebohrungen in der bewegten Plattform des Q 545 1xx Zum Ausrichten der Last Wei e Pfeile Passbohrungen 2 5 mm H7 Tiefe 2 5 mm Zum Befestigen der Last Dunkelgraue Pfeile Gewindebohrungen M2 5 Tiefe 5 mm Hellgraue Pfeile Gewindebohrungen M2 5 Tiefe 4 mm Schwarze Pfeile Gewindebohrungen M2 Tiefe 4 mm
48. n ein Q 545 x0x bei atmosph rischem Druck betrieben werden soll gt Schlie en Sie den Q 545 x0x ber einen geeigneten Adapter an die Stiftleiste der Treiberelektronik an Wenn ein Q 545 x0x im Vakuum betrieben werden soll 1 Folgen Sie f r das Installieren der Vakuumdurchf hrung und das Verbinden von Versteller Vakuumdurchf hrung und Kabeln der Anleitung in Q 545 x0x f r Betrieb im Vakuum an Treiberelektronik E 870 mit Buchse Mini DIN 4 anschlie en 2 Schlie en Sie das Adapterkabel 7202500042 0015 ber einen geeigneten Adapter an die Stiftleiste der Treiberelektronik an 5 5 2 Q 545 an Controller anschlie en Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 25 Sie haben den Controller E 871 S 19 installiert Sie haben das Benutzerhandbuch des Controllers gelesen und verstanden Der Controller ist ausgeschaltet d h das Netzteil ist nicht ber das Netzkabel an der Steckdose angeschlossen Werkzeug und Zubeh r Y Adapterkabel 7202500043 0015 im Lieferumfang S 16 Wenn ein Q 545 x4U bei atmosph rischem Druck betrieben werden soll Adapter 5604500041 im Lieferumfang S 16 Wenn der Q 545 im Vakuum betrieben werden soll 46 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Verlangerungskabel E 873 UH V x erh ltlich als optionales Zubeh r S 17 Geeignete Vakuumdurchf hrung erh ltlich
49. n in mm A A 12x 4 40 UNC x4 F 12x 4 40 UNC x4 A 6x D Sub 15 m 6xD Sub 15 m Abbildung 30 Vakuumdurchf hrung C 815 VFU6 D Sub 15 m m 1 Vakuumseite 2 Luftseite 78 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten Vakuumdurchf hrung C 815 VFU15 f r 10 hPa Abmessungen in mm A A 30x 4 40 UNC x47 A 15x D Sub 15 m 30x 4 40 UNC x4Y 15x D Sub 15m w ANENE EN Abbildung 31 Vakuumdurchf hrung C 815 VFU15 D Sub 15 m m 1 Vakuumseite 2 Luftseite Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 79 10 Technische Daten Pp I 10 4 Pinbelegung 10 4 1 Q 545 xx0 Stecker D Sub 15 m Der Stecker D Sub 15 m bertr gt die Signale des Antriebs und f r die Modelle mit Sensor zus tzlich die Signale des Sensors und des ID Chips Referenzsignal differentiell Motor Motorsignal differentiell Motor Motorsignal differentiell Versorgungsspannung 5 V EEE S an JEmoderan COS Encoder B Motor Motorsignal differentiell GND GND GND Motor Motorsignal differentiell EEE SEHE SEE Referenzsignal differentiell an Eneoder ta coss Encoders t 80 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten Das Zeichen zeigt an dass der entsprechende Anschluss nicht belegt ist Nur bei Modellen mit Sensor Bei Modellen ohne Sensor nicht belegt D
50. nnn nennen ETET 11 3 2 Produktansielil ncne ee ee ee 13 3 3 Produkibeschlifihg a een 15 3 4 UNS TORING AN eese mern nern 16 3 5 Optionales Zubeh r u02222000022000eonennnnnnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnennennnnennnnnn 17 3 6 Geeignete Elektronik 02 2200022020000nnnnnennnnnnennnnnnnnnnnnnennnnnnn nennen nennen 19 3 7 Technische Ausstattung u004444400044nnneonennnnnnnnnnnnennnnnnnnnnnnnennnn nennen enennnnn 20 3 7 1 Linearencoder Sensor ccccssssccccccseseecececeeseeeeeceeeeeeeeesseaeeeeeseaaaess 20 3 7 2 HeIEFENZScH llel nennen een een 20 3 7 3 OS I eree ee er een ee 21 4 Auspacken 23 5 Installation 25 5 1 Allgemeine Hinweise zur Installation u 4s000444400 Rennen nnnnnn nennen nennen 25 5 2 Q 545 auf Unterlage befestigen und an Schutzleiter anschlie en 27 5 3 Mehrachssystem aufbauen cccccccsseeceeecceeeeeeeeseaeeeeeeeeseaeeeeeeesaeaeeeeeesseeeeeeeesas 30 5 3 1 Allgemeine Hinweise f r den Aufbau eines Mehrachssystems 31 5 3 2 XY System aufbauen ueessssennneennnennnnnnnnnennnnnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnn 31 5 3 3 Z System mit Adapterwinkel aufbauen uus 44000440nee nennen 34 5 4 Last am Q 545 befestigen 22222uuuuuuneeeeeeennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 39 55 Q 545 an Elektronik anschlie en uuuuss22220snnnnneeesnnnnnnnnnnnneesnnnnnnnnnnn
51. ntagezubeh r aus dem Lieferumfang des Verstellers S 16 2 Zylinderstifte 2 5 m6 x 5 zur Verwendung als Passstifte 4 Zylinderschrauben M2 5x5 Sechskant Winkelschraubendreher SW 2 36 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Abbildung 9 Beispiel XZ System aus zwei Q 545 140 und Adapterwinkel Q 145 200 oder Q 145 20U aufbauen 1 Unterer Versteller 2 2 Zylinderstifte 2 5 m6 x 4 zur Verwendung als Passstifte aus dem Lieferumfang des Adapterwinkels 3 Adapterwinkel Q 145 200 f r den Betrieb im Vakuum bis 10 hPa oder Q 145 20U f r den Betrieb im Vakuum bis 10 hPa 4 4 Zylinderschrauben M2 5x8 zum Befestigen des Adapterwinkels auf dem unteren Versteller aus dem Lieferumfang des Adapterwinkels 5 2 Zylinderstifte 2 5 m6 x 5 zur Verwendung als Passstifte aus dem Lieferumfang des Verstellers 6 Oberer Versteller 7 4 Zylinderschrauben M2 5x5 zum Befestigen des oberen Verstellers am Adapterwinkel aus dem Lieferumfang des Verstellers Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 37 5 Installation PI Abbildung 10 Adapterwinkel mit Schrauben und Passstiften Die Passstifte fur die Ausrichtung auf dem unteren Versteller mussen von unten bis zum Anschlag in den Winkel eingebracht werden Z System aufbauen 1 Befestigen Sie den oberen Versteller am langen Schenkel des Adapterwinkels a d Richten Sie den oberen Versteller so aus dass der Kabelabgang v
52. om Treffpunkt der Schenkel des Adapterwinkels weg zeigt d h im Z System nach oben F hren Sie die Passstifte 2 5 m6 x 5 in die Passbohrungen an der Unterseite des oberen Verstellers oder im langen Schenkel des Adapterwinkels ein Setzen Sie den Versteller so auf den langen Schenkel des Adapterwinkels dass die Passstifte in die entsprechenden Passbohrungen auf der Gegenseite eingef gt werden Befestigen Sie den Versteller mit vier Schrauben M2 5x5 gem Schritt 3 der Anleitung XY System aufbauen S 31 Befestigen Sie den kurzen Schenkel des Adapterwinkels auf der bewegten Plattform des unteren Verstellers a F hren Sie die Passstifte 2 5 m6 x 4 von unten bis zum Anschlag in die Passbohrungen im kurzen Schenkel des Adapterwinkels ein siehe Abbildung oben 38 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation b Wenn Sie ein Z System aus einem Adapterwinkel Q 145 1xx und zwei Verstellern Q 545 2xx aufbauen Richten Sie den Adapterwinkel so aus dass die bewegten Plattformen der Versteller nicht miteinander kollidieren k nnen zul ssige Ausrichtungen siehe Empfohlene Z Systeme S 34 c Setzen Sie den kurzen Schenkel des Adapterwinkels so auf die bewegte Plattform des unteren Verstellers dass die Passstifte in die entsprechenden Passbohrungen in der Plattform eingef gt werden d F hren Sie vier Schrauben M2 5x8 in die Montagebohrungen des Adapterwinkels ein e Ziehe
53. pe bei Q 545 x40 nicht leitf hige Folie bei Q 545 x4U 6 Typenschild S 15 7 Kabelabgang f r Sensoranschluss 8 _ Grundk rper 14 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung Abbildung 3 Bewegungsrichtung der Plattform des Q 545 am Beispiel von Q 545 240 Der Pfeil in der Abbildung oben zeigt die Bewegungsrichtung bei positiver Kommandierung 3 3 Produktbeschriftung Abbildung 4 Beispiel fur Modelle mit Sensor Produktbeschriftung und Typenschild des Verstellers Q 545 240 Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 15 3 Produktbeschreibung P I m Beschreibung Fe u Konformit tszeichen CE Warnzeichen Handbuch beachten dias Schutzleitersymbol kennzeichnet den Schutzleiteranschluss des Q 545 S 27 Warnzeichen Elektrostatisch gef hrdete Bauteile Seriennummer Beispiel individuell f r jeden Q 545 113064246 Bedeutung der Stellen Zahlung von links 1 interne Information 2 und 3 Herstellungsjahr 4 bis 9 fortlaufende Nummer Produktbezeichnung Beispiel die Stellen pie ne nach dem Punkt kennzeichnen das Modell WWW PIMICOS COM Herstelleradresse Website 3 4 Lieferumfang Der Q 545 wird mit folgenden Komponenten ausgeliefert Artikelnummer Komponenten Q 545 Linearversteller gemaB Bestellung S 11 Schraubensatz zum Befestigen des Q 545 bestehend aus 5861500010 2 Zylinderstifte A2 2 5 m6 x 5 ISO 8734
54. ph rischem Druck an Treiberelektronik E 870 mit Buchse Mini DIN 4 anschlie en 1 2 3 Abbildung 13 Kabeldiagramm f r Q 545 x00 und Treiberelektronik mit Buchse Mini DIN 4 f r Betrieb bei atmosph rischem Druck 1 Treiberelektronik mit Buchse Mini DIN 4 hier E 870 xG 2 Adapterkabel 7202500042 0015 3 Q 545 x00 Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 43 5 Installation Pp I Abbildung 14 Kabeldiagramm f r Q 545 x0U und Treiberelektronik mit Buchse Mini DIN 4 f r Betrieb bei atmosph rischem Druck 1 Treiberelektronik mit Buchse Mini DIN 4 hier E 870 xG 2 Adapterkabel 7202500042 0015 3 Adapter 5604500041 4 Q 545 x0U 1 Nur Q 545 x0U Verbinden Sie die Kupplung D Sub 15 f mit dem Adapter 5604500041 2 Verbinden Sie den Q 545 mit dem Adapterkabel Q 545 x00 Verbinden Sie den Stecker D Sub 15 m des Q 545 mit der Kupplung des Adapterkabels D Sub 15 f Q 545 x0U Verbinden Sie die freie Steckerseite D Sub 15 m des Adapters 5604500041 mit der Kupplung des Adapterkabels D Sub 15 f 3 Verbinden Sie das Adapterkabel mit der Treiberelektronik Verbinden Sie den Stecker Mini DIN 4 des Adapterkabels mit der Buchse Mini DIN 4 der Treiberelektronik 4 Sichern Sie die Steckverbindungen durch geeignete MaBnahmen gegen unbeabsichtigtes Abziehen 44 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Q 545 x0x f r Betrieb im Vakuum an Treibere
55. r dieses Dokument Q 545 Versteller Offnen Sie das FTP Download Verzeichnis ftp pi ftp ws Windows Betriebssysteme ffnen Sie das FTP Download Verzeichnis im Windows Explorer Melden Sie sich mit dem Benutzernamen und dem Kennwort aus den Release News an Wechseln Sie im Verzeichnis des entsprechenden Produkts in das Unterverzeichnis Manuals Kopieren Sie das gewunschte Handbuch auf die Festplatte Ihres PC oder auf einen Datentrager MP135D Version 1 0 0 5 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 2 Sicherheit 2 Sicherheit In diesem Kapitel Bestimmungsgem e Verwendung ccccccseeeeceeeeaeeeeeeeecaeeeceeeeeseeseeeeessaeeeesesaageeeeeeaas 7 Allgemeine Sicherheitshinweise ccccccccssesseccceeeeeeeeeseeeceeeeeeseeeeeseeeeeeesseeeeeeeeeeeeeseaas 8 Organisatorische Ma nahmen cccccccccssesseeeceeeeeeeaeeeeeecceeeeesaeeeeseeeeeeessaaeeeeeeeeeeeseaas 8 Ma nahmen bei der Handhabung von vakuumtauglichen Produkten 9 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung Der Q 545 ist ein Laborger t im Sinne der DIN EN 61010 1 Er ist f r die Verwendung in Innenr umen und in einer Umgebung vorgesehen die frei von Schmutz l und Schmiermitteln ist Entsprechend seiner Bauform ist der Q 545 fur die Positionierung Justierung und Verschiebung von Lasten in einer Achse bei verschiedenen Geschwindigkeiten im Intervallbetrieb vorgesehen Der Q 545 verwendet als Antrieb einen PIShif
56. rst vom Anschluss wenn Sie den Q 545 an den Controller anschlie en INFORMATION Beim Umgang mit der Vakuumversion des Verstellers muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden Bei Pl werden alle Teile vor dem Zusammenbau gereinigt W hrend der Montage und w hrend des Messens wird mit puderfreien Handschuhen gearbeitet Zus tzlich werden die Modelle Q 545 xxU danach noch einmal per Wischreinigung ges ubert und doppelt in vakuumtaugliche Folie eingeschwei t gt Ber hren Sie den Versteller nur mit puderfreien Handschuhen gt Wenn notwendig s ubern Sie den Versteller per Wischreinigung nach dem Auspacken 1 Packen Sie den Q 545 vorsichtig aus 2 Wenn vorhanden entfernen Sie nicht den ESD Schutz vom Anschluss des Q 545 3 Vergleichen Sie die erhaltene Lieferung mit dem Inhalt laut Vertrag und mit der Packliste 4 berpr fen Sie den Inhalt auf Anzeichen von Sch den Bei Anzeichen von Besch digungen oder fehlenden Teilen wenden Sie sich sofort an PI 5 Bewahren Sie das komplette Verpackungsmaterial und den ESD Schutz auf f r den Fall dass das Produkt zur ckgeschickt werden muss Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 23 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation 5 Installation In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Installation u0004444000RRennnennennnn nennen nnennn nennen 25 Q 545 auf Unterlage befestigen und an Schutzleiter anschlie en
57. rversteller 13 mm Stellweg Linearencoder 1 nm Aufl sung 8 N Druck Zugkraft Abmessungen 45 x 48 x 15 mm B x L x H piezoelektrischer Tr gheitsantrieb vakuumkompatibel bis 10 hPa Q Motion Linearversteller 26 mm Stellweg ohne Positionssensor fur ungeregelten Betrieb 8 N Druck Zugkraft Abmessungen 45 x 63 x 15 mm B x Lx H piezoelektrischer Tr gheitsantrieb vakuumkompatibel bis 10 hPa Q Motion Linearversteller 26 mm Stellweg Linearencoder 1 nm Aufl sung 8 N Druck Zugkraft Abmessungen 45 x 63 x 15 mm B x L x H piezoelektrischer Tragheitsantrieb vakuumkompatibel bis 10 hPa 12 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung 3 2 Produktansicht Abbildung 1 Beispiel fur Modelle ohne Sensor Versteller Q 545 200 1 Bewegte Plattform 2 Kabelabgang f r Antriebsanschluss 3 Anschluss f r Antrieb bei Modellen Q 545 x00 Stecker D Sub 15 m bei Modellen Q 545 x0U Kupplung D Sub 15 f 4 Typenschild S 15 5 Grundk rper Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 13 3 Produktbeschreibung P I 8 7 Abbildung 2 Beispiel fur Modelle mit Sensor Versteller Q 545 240 1 2 3 4 Beweote Plattform Kabelabgang f r Antriebsanschluss Warnzeichen Elektrostatisch gefahrdete Bauteile Anschluss f r Antrieb und Sensor bei Modellen Q 545 x40 Stecker D Sub 15 m bei Modellen Q 545 x4U Kupplung D Sub 15 f 5 ESD Schutz ESD Schutzkap
58. t Piezomotor Im Stillstand ist der Antrieb selosthemmend muss nicht bestromt werden erw rmt sich nicht und h lt die Position Der Q 545 kann in beliebiger Orientierung befestigt werden Die Spezifikationen des Q 545 gelten f r die horizontale Montage S 65 Der Q 545 ist nicht vorgesehen f r Anwendungen in Bereichen in denen ein Ausfall erhebliche Risiken f r Mensch oder Umwelt zur Folge h tte Weitere Informationen zu den Einsatzbedingungen des Q 545 siehe Technische Daten S 65 Einige Modelle des Q 545 sind mit einem Linearencoder zur direkten Positionserfassung ausger stet Die bestimmungsgem e Verwendung des Q 545 ist nur in komplett montiertem und angeschlossenem Zustand m glich Der Q 545 muss mit einer geeigneten Elektronik S 19 betrieben werden Die Elektronik ist nicht im Lieferumfang des Q 545 enthalten Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 7 2 Sicherheit PI 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise Der Q 545 ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut Bei unsachgemaBer Verwendung des Q 545 kOnnen Benuizer gefahrdet werden und oder Schaden am Q 545 entstehen gt Benutzen Sie den Q 545 nur bestimmungsgemaB und in technisch einwandfreiem Zustand Lesen Sie das Benutzerhandbuch Beseitigen Sie St rungen die die Sicherheit beeintr chtigen k nnen umgehend Der Betreiber ist f r den korrekten Einbau und Betrieb des Q 545 verantwortlich 2 3 Or
59. unterladen INFORMATION Wenn ein Handbuch fehlt oder Probleme beim Herunterladen auftreten gt Wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 63 INFORMATION F r einige Produkte z B Hexapodsysteme und Elektroniken die mit einer CD ausgeliefert werden ist der Zugang zu den Handb chern durch ein Kennwort gesch tzt Das Kennwort ist auf der CD enthalten Verf gbarkeit der Handb cher Kennwortgesch tzte Handb cher FTP Downloadverzeichnis Frei zug ngliche Handb cher Pl Website gt Folgen Sie zum Herunterladen der entsprechenden Anleitung Frei zug ngliche Handb cher herunterladen 1 ffnen Sie die Website http www pi portal ws 2 Klicken Sie auf Downloads 3 Klicken Sie auf die entsprechende Produktkategorie 4 Gehen Sie zum entsprechenden Produktcode Die vorhandenen Handb cher werden angezeigt 5 Klicken Sie auf das gew nschte Handbuch und speichern Sie es auf der Festplatte Ihres PC oder auf einem Datentr ger Kennwortgesch tzte Handb cher herunterladen 1 Legen Sie die CD des Produkts in das PC Laufwerk ein 2 Wechseln Sie auf der CD in das Verzeichnis Manuals 3 ffnen Sie im Verzeichnis Manuals die Release News Datei mit dem Namensbestandteil Releasenews 4 Entnehmen Sie dem Abschnitt User login for software download in den Release News den Benutzernamen user name und das Kennwort password 4 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 1 Ube
60. utzerhandbuch des Controllers gt berpr fen Sie das bzw die Verbindungskabel Verringern Sie die Last Beachten Sie die Angaben im Abschnitt Technische Daten S 65 Stellen Sie sicher dass die installierte Last bei vertikaler Montage des Verstellers geringer ist als die Selbsthemmung des Antriebs Siehe St rung Beeintr chtigung der Funktion nach Systemver nderung in dieser Tabelle Stellen Sie eine Betriebsspannung von 48 V bereit Passen Sie die Betriebsfrequenz f r den Schrittbetrieb an Einzelheiten siehe Versteller in Betrieb nehmen S 54 und Handbuch der verwendeten Elektronik MP135D Version 1 0 0 61 8 Storungsbehebung P I St rung M gliche Ursachen Behebung Verspannter Montieren Sie den Q 545 auf ebener Grundfl che Grundk rper Die empfohlene Ebenheit der Grundfl che betr gt 2 um Ung nstige Beachten Sie das maximale Drehmoment bei der Lastmontage Lastmontage S 39 Halten Sie den Abstand zwischen dem Schwerpunkt der Last und dem Zentrum der bewegten Plattform in alle Richtungen m glichst gering Ungeeignete Betreiben Sie den Q 545 nur in sauberer Umgebung Umgebungs und bei zul ssigen Umgebungsbedingungen S 67 bedingungen Verschlei des Tauschen Sie den Q 545 aus und stellen Sie sicher Antriebs dass die Betriebsparameter der Elektronik an den Versteller angepasst sind Antrieb ist blockiert L sen Sie vorsichtig die Blockade indem Sie die bewegte Plattform per Han
61. zieren Sie den kommandierten Stellwert und den Wert des Parameters Maximum Motor Output gt Reduzieren Sie die Betriebsdauer bei hoher Betriebsfrequenz S 68 gt Halten Sie bei einer Fehlfunktion der Elektronik die Bewegung sofort an HINWEIS Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung kann Sch den am Q 545 verursachen gt Verwenden Sie nur Controller Treiber und Originalzubeh r von PI f r den Betrieb des Q 545 gt berschreiten Sie nicht den Betriebsspannungsbereich S 67 f r den der Q 545 spezifiziert ist gt Betreiben Sie den Q 545 nur wenn die Betriebsspannung ordnungsgem angeschlossen ist siehe Pinbelegung S 80 HINWEIS Verringerte Lebensdauer des Piezoaktors durch dauerhaft hohe Spannung Das dauerhafte Anlegen einer hohen statischen Spannung an Piezoaktoren f hrt zu einer erheblichen Verringerung der Lebensdauer der Piezokeramik des Verstellers gt Wenn der Q 545 nicht benutzt wird schalten Sie die Elektronik aus Q 545 Versteller MP135D Version 1 0 0 53 6 Inbetriebnahme und Betrieb Pp I HINWEIS Zerst rung der Piezoaktoren durch elektrische berschl ge Der Einsatz des Q 545 in Umgebungen die die elektrische Leitf higkeit erh hen kann zur Zerst rung der Piezoaktoren des Antriebs durch elektrische berschl ge f hren Elektrische berschl ge k nnen durch Feuchtigkeit hohe Luftfeuchtigke
62. zleiterbefestigung Abbildung 6 Beispiel Q 545 140 links Ansicht von unten rechts Ansicht von oben 1 Zwei Passbohrungen an der Unterseite des Verstellers werden zum Ausrichten auf einer Unterlage verwendet 2 Der Versteller wird mit vier Schrauben M2 5 auf der Unterlage befestigt Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 25 v Der Q 545 ist von der Elektronik getrennt 28 Version 1 0 0 MP135D Q 545 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Sie haben eine geeignete Unterlage bereitgestellt f r die erforderliche Lage und Tiefe der Bohrungen zur Aufnahme der Schrauben und Passstifte siehe Abmessungen S 69 Die Unterlage muss an den Schutzleiter angeschlossen sein Zwei Passbohrungen mit 2 5 mm H7 und vier Montagebohrungen M2 5 sind in der Unterlage vorhanden Die Kontaktfl chen zur Unterseite des Verstellers m ssen ausreichend leitf hig sein um die ordnungsgem e Funktion des Schutzleiters sicherzustellen Bei Anwendungen mit gro en Temperaturschwankungen Die Unterlage besitzt m glichst dieselben W rmeausdehnungseigenschaften wie der Q 545 z B Unterlage aus Aluminium Die Ebenheit der Oberfl che ist lt 2 um Sie haben den Platzbedarf f r eine knickfreie und vorschriftsm ige Kabelf hrung ber cksichtigt Werkzeug und Zubeh r Schraubensatz 5861500010 aus dem Lieferumfang des Q 54

Benutzerhandbuch MP135D

Contents

Download Pdf Manuals

Related Search

Related Contents